CN112945996A - 一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法 - Google Patents
一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112945996A CN112945996A CN202110105189.0A CN202110105189A CN112945996A CN 112945996 A CN112945996 A CN 112945996A CN 202110105189 A CN202110105189 A CN 202110105189A CN 112945996 A CN112945996 A CN 112945996A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- scanning electron
- electron microscope
- test point
- coordinate
- rapid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 61
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 5
- 238000011160 research Methods 0.000 claims description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 238000006065 biodegradation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/2202—Preparing specimens therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法，根据步骤1选取的两个标志点和试验点的相对关系，以及下一次镜下这两个标志点的新坐标，运用二元二次方程组求解，计算得到下一次镜下试验点的坐标位置。操作方法为在扫描电镜下利用其自带坐标功能在扫描电镜样品上确定两个标志基点，并寻找试验点，在实际实验中，试验点为多个，本发明具有快速定位和找到试验点原位的特点，解决了在扫描电镜小视野中只能通过小范围的移动从而难以准确、快速定位的问题，以及某些试验中所用到的相同位置的多次对比问题。
Description
技术领域
本发明属于电子显微镜技术应用领域，涉及一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法。
背景技术
扫描电子显微镜技术作为一种简单、高效、快速的物质表面微观形貌表征手段，因具有成本低、分辨率高、放大率高、景深大、成像立体、操作简单等特点，已广泛应用于生物、医学、材料、化学、物理、地质、机械、电子材料等领域。扫描电子显微镜可在低真空条件下观察非导电导热的材料，适用领域和范围广泛。基于扫描电镜可直接观察各种试样表面凹凸不平、形状各异的形貌和微观孔裂隙发育特征，尤其在科学研究中，基于不同的实验方法(如生物降解、流体注入等)，许多学者需要利用扫描电镜来对比样品的某一位置在实验前后的结构、形貌上的变化，但是当试样第二次被放入样品台抽真空后，其位置发生改变，且受限于扫描电镜下视域观察范围小，观察者无法快速寻找并有效定位到上一次拍摄的试验点，不能直观的描述与观察对比。因此多数学者只针对试验后发生明显变化的位置进行观察描述，很少能实现样品的原位对比，而这样的方式仅能说明样品的表面在试验后具有某些特征，难以证明样品的变化结果与试验是否有关，且此种方法无法直观的描述样品某一位置微观形貌的变化。
针对以上问题，有学者提出了几种解决办法，例如蔡潇利用样品的局部构造或特殊矿物寻找原位[1]，这种方法寻找的点位具有特殊性，无法对任意一点进行原位寻找。还有学者提出对样品进行刻画分区来寻找原位[2]，虽然在一定程度下增加了寻找原位对比的可能性，但是由于镜下视域受阻，仍存在效率较低，无法精准定位的缺点。
[1]一种页岩样品扫描电镜和原子力显微镜原位观察的方法[P].蔡潇,何希鹏,高玉巧,高和群,李辉,靳雅夕,夏威,程伟.中国专利：CN111289778A,2020-06-16.
[2]一种水泥净浆溶液侵蚀的原位观察法[P].张亚梅,贾子健,黄时玉,陈春.中国专利：CN110823791A,2020-02-21.
发明内容
本发明的目的是提供一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法，解决了现有技术中存在的无法快速寻找并直观描述样品某一位置微观形貌变化的问题。
本发明所采用的技术方案是，提出一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法，具体按照以下步骤实施：
步骤1、首次观察，确定两个显著的便于识别的标志点并记录这两点的坐标及试验点的坐标，通过计算得到试验点与两个标志点的距离；
步骤2、二次观察，根据公式计算出试验点的新坐标，在扫描电镜下输入试验点新坐标，即可跳跃到试验点位置。
本发明的特点还在于：
步骤1具体按照以下步骤实施：
步骤1.1、根据扫描电镜观察的要求制备实验样品；
步骤1.2、在扫描电镜下观察实验样品，拍摄研究目标的图像，并根据扫描电镜的坐标功能记录试验点坐标C(xc，yc)；
步骤1.3、在扫描电镜下确定样品的两个标志点(实验样品的边缘、具有明显差异的特殊物质或手动刻划的标记点)，坐标记为A(xa，ya)与B(xb，yb)；
步骤1.4、根据标志点和试验点的坐标，计算出试验点与两个标志点的距离。
步骤2具体按照以下步骤实施：
步骤2.1、实验样品在扫描电镜下，再次寻找标志点，记录标志点新坐标为A’(xa’，ya’)、B’(xb’，yb’)，根据公式计算出试验点的新坐标C’(xc’，yc’)；
步骤2.2、在扫描电镜的坐标功能输入步骤2.1所得试验点的新坐标C’(xc’，yc’)，即可跳跃到试验点C’位置。
步骤2的标志点为实验样品的边缘、具有明显差异的特殊物质或手动刻划的标记点；
试验点C与两个标志点A、B的距离计算公式如下：
LAC 2＝(xa-xc)2+(ya-yc)2 (1)
LBC 2＝(xb-xc)2+(yb-yc)2 (2)
式(1)、(2)中，(xa，ya)为标志点A的坐标，(xb，yb)为标志点B的坐标，(xc，yc)为试验点C的坐标。
本发明的有益效果是：
(1)省时。可快速定位到样品的某个位置，无需在小视野中缓慢移动，省去大量的时间，这一特点为原位对比试验提供了较强的可操作性。
(2)简便。无需其他仪器和辅助设备，只需借助扫描电镜自带的坐标功能即可实现。
附图说明
图1是本发明一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法的基本原理实例转换示意图；
图2是本发明一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法的计算结果取值示例图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法，具体按照以下步骤实施：
步骤1、首次观察，计算得到试验点与两个标志点的距离；
步骤2、二次观察，根据公式计算出试验点的新坐标，在扫描电镜下输入试验点新坐标，即可跳跃到试验点位置。
步骤1具体按照以下步骤实施：
步骤1.1、根据扫描电镜观察的要求制备实验样品；
步骤1.2、在扫描电镜下观察实验样品，拍摄带有研究目标的图像，并跟据扫描电镜的坐标功能记录试验点C(xc，yc)；
步骤1.3、在扫描电镜下确定样品的两个标志点(实验样品的边缘、具有明显差异的特殊物质或手动刻划的标记点)，坐标记为A(xa，ya)与B(xb，yb)；
步骤1.4、根据标志点和试验点的坐标，计算出试验点与两个标志点的距离。
步骤2具体按照以下步骤实施：
步骤2.1、实验样品在扫描电镜下，再次定位标志点，记录标志点新坐标为A’(xa’，ya’)、B’(xb’，yb’)，根据公式计算出试验点的新坐标C’(xc’，yc’)；
步骤2.2、在扫描电镜的坐标功能下输入步骤2.1所得试验点的新坐标C’(xc’，yc’)，即可跳跃到试验点位置。
步骤2的标志点为实验样品的边缘、具有明显差异的特殊物质或手动刻划的标记点；
试验点与两个标志点的距离计算公式如下：
LAC 2＝(xa-xc)2+(ya-yc)2 (1)
LBC 2＝(xb-xc)2+(yb-yc)2 (2)
式(1)、(2)中，(xa，ya)为标志点A的坐标，(xb，yb)为标志点B的坐标，(xc，yc)为试验点C的坐标。
本发明的有益效果是：通过一种简单的方法实现对扫描电镜下样品试验前后原位观察对比。运用坐标转换的方式，将目标点位置以坐标形式呈现，实现目标的精确定位；现有方法可通过刻划来寻找原位，但这种方法并不能确保找到目标点，且效率较低。
实施例1
上述给出了计算原理，现定义一组数据，模拟镜下坐标，根据公式进行验证。
一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法，具体按照以下步骤实施：
步骤1、首次观察，计算得到试验点与两个标志点的距离；
步骤2、二次观察，根据公式计算出试验点的新坐标，在扫描电镜下输入试验点新坐标，即可跳跃到试验点位置。
步骤1具体按照以下步骤实施：
步骤1.1、根据扫描电镜观察的要求制备实验样品；
步骤1.2、在扫描电镜下观察实验样品，拍摄研究目标的图像，并跟据扫描电镜的坐标功能记录试验点坐标C(xc，yc)；
步骤1.3、在步骤1.2所得的图像中确定两个标志点(实验样品的边缘、具有明显差异的特殊物质或手动刻划的标记点)，坐标记为A(xa，ya)与B(xb，yb)；
步骤1.4、根据标志点和试验点的坐标，计算出试验点与两个标志点的距离。
步骤2具体按照以下步骤实施：
步骤2.1、实验样品在扫描电镜下，再次定位标志点，记录标志点新坐标为A’(xa’，ya’)、B’(xb’，yb’)，根据公式计算出试验点的新坐标C’(xc’，yc’)；
步骤2.2、在扫描电镜的坐标功能下输入步骤2.1所得试验点的新坐标C’(xc’，yc’)，即可跳跃到试验点位置。
步骤2的标志点为实验样品的边缘、具有明显差异的特殊物质或手动刻划的标记点；
试验点与两个标志点的距离计算公式如下：
LAC 2＝(xa-xc)2+(ya-yc)2 (1)
LBC 2＝(xb-xc)2+(yb-yc)2 (2)
如图1所示，图1(a)为原始基点与目标点的坐标演示，图1(b)为旋转后的基点及目标点坐标演示，取A(10，10)，B(30，10)，目标点位为C(22，30)。易得
将三点同时旋转以模拟坐标系的变化，变化后的A’为(10，20)，B’为(25，33)。
此时，LAC与LBC的距离不变，将数据带入上述公式(1)、(2)得出：
544＝(X-10)2+(Y-20)2
464＝(X-25)2+(Y-33)2
解二元二次方程组结果为
X≈5.9，Y≈42.96，或X≈32.14，Y≈12.68，由于后者与原位差距较大，简单判识(图2)后即可舍去，因此，通过计算得到的C’(5.90，42.96)。
通过图1网格可知C’的坐标为(5.87，42.95)，与坐标计算法结果基本一致。因此，该方法理论可行。
Claims (5)
1.一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：
步骤1、首次观察，计算得到试验点与两个标志点的距离；
步骤2、二次观察，根据公式计算出试验点的新坐标，在扫描电镜下输入试验点新坐标，即可跳跃到试验点位置。
2.根据权利要求1所述的一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法，其特征在于，所述步骤1具体按照以下步骤实施：
步骤1.1、根据扫描电镜观察的要求制备实验样品；
步骤1.2、在扫描电镜下观察所述制备实验样品，拍摄带有研究目标的图像，并跟据扫描电镜的坐标功能记录试验点C(xc，yc)；
步骤1.3、在步骤1.2所得的图像中确定两个标志点，坐标记为A(xa，ya)与B(xb，yb)；
步骤1.4、根据标志点和试验点的坐标，计算出试验点与两个标志点的距离。
3.根据权利要求2所述的一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法，其特征在于，所述步骤2具体按照以下步骤实施：
步骤2.1、实验样品在扫描电镜下，再次定位标志点，记录标志点新坐标为A’(xa’，ya’)、B’(xb’，yb’)，根据公式计算出试验点的新坐标C’(xc’，yc’)；
步骤2.2、在扫描电镜的坐标功能输入步骤2.1所得试验点的新坐标C’(xc’，yc’)，即可跳跃到试验点C’位置。
4.根据权利要求2所述的一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法，其特征在于，所述步骤2的标志点为实验样品的边缘、具有明显差异的特殊物质或手动刻划的标记点。
5.根据权利要求2所述的一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法，其特征在于，所述试验点与两个标志点的距离计算公式如下：
LAC 2＝(xa-xc)2+(ya-yc)2 (1)
LBC 2＝(xb-xc)2+(yb-yc)2 (2)
式(1)、(2)中，(xa，ya)为标志点A的坐标，(xb，yb)为标志点B的坐标，(xc，yc)为试验点C的坐标。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110105189.0A CN112945996A (zh) | 2021-01-26 | 2021-01-26 | 一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110105189.0A CN112945996A (zh) | 2021-01-26 | 2021-01-26 | 一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112945996A true CN112945996A (zh) | 2021-06-11 |
Family
ID=76237161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110105189.0A Pending CN112945996A (zh) | 2021-01-26 | 2021-01-26 | 一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112945996A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113899920A (zh) * | 2021-10-08 | 2022-01-07 | 华南理工大学 | 一种微区定位和寻回方法 |
| CN114778583A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-07-22 | 重庆大学 | 扫描电镜目标点原位观测快速定位方法、装置及存储介质 |
| CN115616018A (zh) * | 2022-11-08 | 2023-01-17 | 北京中科科仪股份有限公司 | 用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备及存储介质 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07282765A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-27 | Nikon Corp | 走査型荷電粒子線顕微鏡とその観察方法 |
| JPH11167893A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-06-22 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
| US20010054692A1 (en) * | 2000-05-29 | 2001-12-27 | Yoshinori Nakada | Scanning electron microscope |
| US20050205777A1 (en) * | 2004-03-22 | 2005-09-22 | Dmitriy Yeremin | Method of evaluating of a scanning electron microscope for precise measurements |
| JP2017010877A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡および試料ステージのキャリブレーション方法 |
| CN207503909U (zh) * | 2017-07-14 | 2018-06-15 | 聚束科技（北京）有限公司 | 一种用于样品位置校准的样品承载装置 |
| CN108548943A (zh) * | 2018-03-07 | 2018-09-18 | 华南理工大学 | 一种将a-s通用样品台的坐标转换为afm样品台的坐标的方法 |
| CN110346230A (zh) * | 2019-07-29 | 2019-10-18 | 江苏省沙钢钢铁研究院有限公司 | 一种不同设备间样品的原位观察及测试方法 |
| CN110534389A (zh) * | 2018-05-25 | 2019-12-03 | 中国石油化工股份有限公司 | 可复位样品桩和样品复位方法 |
-
2021
- 2021-01-26 CN CN202110105189.0A patent/CN112945996A/zh active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07282765A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-27 | Nikon Corp | 走査型荷電粒子線顕微鏡とその観察方法 |
| JPH11167893A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-06-22 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
| US20010054692A1 (en) * | 2000-05-29 | 2001-12-27 | Yoshinori Nakada | Scanning electron microscope |
| US20050205777A1 (en) * | 2004-03-22 | 2005-09-22 | Dmitriy Yeremin | Method of evaluating of a scanning electron microscope for precise measurements |
| JP2017010877A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡および試料ステージのキャリブレーション方法 |
| CN207503909U (zh) * | 2017-07-14 | 2018-06-15 | 聚束科技（北京）有限公司 | 一种用于样品位置校准的样品承载装置 |
| CN108548943A (zh) * | 2018-03-07 | 2018-09-18 | 华南理工大学 | 一种将a-s通用样品台的坐标转换为afm样品台的坐标的方法 |
| CN110534389A (zh) * | 2018-05-25 | 2019-12-03 | 中国石油化工股份有限公司 | 可复位样品桩和样品复位方法 |
| CN110346230A (zh) * | 2019-07-29 | 2019-10-18 | 江苏省沙钢钢铁研究院有限公司 | 一种不同设备间样品的原位观察及测试方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 区仲荣;傅惠南;夏继盛;: "纳米操作加工过程定位检测问题研究" * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113899920A (zh) * | 2021-10-08 | 2022-01-07 | 华南理工大学 | 一种微区定位和寻回方法 |
| CN113899920B (zh) * | 2021-10-08 | 2022-08-23 | 华南理工大学 | 一种微区定位和寻回方法 |
| CN114778583A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-07-22 | 重庆大学 | 扫描电镜目标点原位观测快速定位方法、装置及存储介质 |
| CN115616018A (zh) * | 2022-11-08 | 2023-01-17 | 北京中科科仪股份有限公司 | 用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备及存储介质 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN112945996A (zh) | 一种基于扫描电镜下的快速原位对比方法 | |
| Britton et al. | Tutorial: Crystal orientations and EBSD—Or which way is up? | |
| CN106950234B (zh) | 一种劳厄衍射扫描数据的衍射峰空间分布比对分析法 | |
| US20020149628A1 (en) | Positioning an item in three dimensions via a graphical representation | |
| MX2007016046A (es) | Sistema y metodo para re-ubicar un objeto en una muestra en un portaobjetos con un dispositivo de imagen de microscopio. | |
| US9552958B2 (en) | Alignment marking for rock sample analysis | |
| US8178837B2 (en) | Logical CAD navigation for device characteristics evaluation system | |
| CN108548943B (zh) | 一种将a-s通用样品台的坐标转换为afm样品台的坐标的方法 | |
| JP2002533718A (ja) | ナノトモグラフィ（断層撮影装置及び方法） | |
| CN109523599B (zh) | 一种透射电镜高分辨原子图像中矢量的标定方法及*** | |
| CN110534389B (zh) | 可复位样品桩和样品复位方法 | |
| CN106959312B (zh) | 一种基于峰位比对的扫描式劳厄衍射图谱分析方法 | |
| CN103969168A (zh) | 一种疏松矿物横截面孔隙率的定量测定方法 | |
| CN111289778A (zh) | 一种页岩样品扫描电镜和原子力显微镜原位观察的方法 | |
| CN103884637B (zh) | 试样腐蚀形貌原位显微观察装置及方法 | |
| JPWO2020080508A1 (ja) | アライメントシステム及び位置合わせ用シール | |
| CN104820085B (zh) | 含油有效储集空间和含油孔径下限的测定方法与测定*** | |
| CN106931916A (zh) | 一种微纳米台阶标准样板及其循迹方法 | |
| Gipson Jr | Application of the electron microscope to the study of particle orientation and fissility in shale | |
| CN111141734A (zh) | 一种快速定位钍矿物并识别其共伴生关系的方法 | |
| Acher et al. | An efficient solution for correlative microscopy and co-localized observations based on multiscale multimodal machine-readable nanoGPS tags | |
| CN114778583A (zh) | 扫描电镜目标点原位观测快速定位方法、装置及存储介质 | |
| CN101655440B (zh) | 纳米材料或微纳器件的显微重复定位方法 | |
| CN110346230A (zh) | 一种不同设备间样品的原位观察及测试方法 | |
| CN114910491A (zh) | 储层x射线成像方法及装置、样品制备方法及装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Bao Yuan Inventor after: Wang Wenbo Inventor after: An Chao Inventor after: Li Dan Inventor after: Sun Xueyang Inventor after: Guo Chen Inventor after: Chang Jianing Inventor after: Meng Jiahao Inventor after: Hu Yiliang Inventor before: Bao Yuan Inventor before: Wang Wenbo Inventor before: An Chao Inventor before: Li Dan Inventor before: Sun Xueyang Inventor before: Guo Chen Inventor before: Chang Jianing Inventor before: Meng Jiahao Inventor before: Hu Yiliang |
|
| CB03 | Change of inventor or designer information | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20210611 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |