CN112853308A - 一种有机膜蒸镀机及蒸镀工艺 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种有机膜蒸镀机及蒸镀工艺，包括涂覆箱，所述涂覆箱的右侧固定连接有蒸镀箱，所述涂覆箱内壁的底部固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定连接有放置板。本发明由电机通过往复丝杠和传动套带动喷套和刮套进行左右往复移动，再由有机物喷涂装置将有机物涂覆在涂覆板的表面形成均匀厚度的有机膜，然后由检测摄像头对有机层的厚度进行检测，最后由送料机构通过刮料机构对蒸镀完成后的涂覆板进行输送和清洁，从而具备了自动刮平检测的优点，解决了现有蒸镀机不具备刮平结构，无法对喷涂的有机物质进行刮平，使有机物质形成均匀的有机膜，同时无法进行检测和刮料，浪费使用者较多时间，蒸镀效果较差的问题。

Description

一种有机膜蒸镀机及蒸镀工艺

技术领域

本发明涉及有机膜蒸镀技术领域，具体为一种有机膜蒸镀机及蒸镀工艺。

背景技术

真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法，蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。

而在有机电场发光显示装置以及OLED照明的制造工艺中，会通过蒸镀机将有机膜蒸镀在元件基板上，但现有蒸镀机不具备刮平结构，无法对喷涂的有机物质进行刮平，使有机物质形成均匀的有机膜，同时无法进行检测和刮料，浪费使用者较多时间，蒸镀效果较差。

发明内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本发明的目的在于提供一种有机膜蒸镀机及蒸镀工艺，具备了自动刮平检测的优点，解决了现有蒸镀机不具备刮平结构，无法对喷涂的有机物质进行刮平，使有机物质形成均匀的有机膜，同时无法进行检测和刮料，浪费使用者较多时间，蒸镀效果较差的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种有机膜蒸镀机，包括涂覆箱，所述涂覆箱的右侧固定连接有蒸镀箱，所述涂覆箱内壁的底部固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定连接有放置板，所述涂覆箱顶部的左侧固定连接有有机物喷涂装置，所述有机物喷涂装置的输出端贯穿至涂覆箱的内部并连通有波纹管，所述波纹管的底端连通有喷套，所述涂覆箱内壁右侧的前端与后端均固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有往复丝杠，所述往复丝杠的表面螺纹连接有传动套，所述传动套的底部固定连接有连接板，所述连接板的底部固定连接有刮套，所述喷套的前端与后端均固定连接在连接板的表面，所述涂覆箱内壁的后侧与顶部均固定连接有检测摄像头，所述蒸镀箱右侧的顶部固定连接有抽真空装置，所述蒸镀箱右侧的底部固定连接有气缸一，所述气缸一的输出端固定连接有气缸二，所述蒸镀箱的右侧连通有与气缸二配合使用的密封箱，所述蒸镀箱的内部设置有电阻加热板，所述电阻加热板底部的四角均固定连接有耐高温绝缘板，所述耐高温绝缘板的底端固定连接在蒸镀箱的内部，所述蒸镀箱内腔的顶部设置有凹形套，所述蒸镀箱的后侧设置有密封门，所述凹形套内腔底部的前侧与后侧均横向固定连接有滑杆，所述凹形套内腔的两侧均设置有滑板，所述滑板滑动套接在滑杆的表面，所述凹形套的顶部设置有调节机构，所述气缸二的输出端设置有送料机构，所述喷套的右侧设置有刮料机构，所述放置板的顶部设置有涂覆板。

作为本发明优选的，所述调节机构包括螺杆、螺套、转盘、转杆、定位盘和定位套，所述螺杆设置在凹形套内腔的顶部，所述螺杆的顶端贯穿至凹形套的顶部，所述螺套固定连接在凹形套的内部，所述螺套螺纹连接在螺杆的表面，所述转盘固定连接在螺杆的底端，所述转杆固定连接在转盘的表面，所述定位盘固定连接在螺杆的顶部，所述定位套滑动套接在定位盘的表面，所述定位套的顶部固定连接在蒸镀箱内壁的顶部。

作为本发明优选的，所述凹形套两侧的顶部均固定连接有方板，所述方板的表面与凹形套的内壁接触，所述蒸镀箱内壁底部的右侧固定连接有刻度尺一，所述凹形套背面的底部固定连接有刻度尺二，所述刻度尺一的表面固定连接有挡板，所述挡板的顶部固定连接有橡胶垫，所述气缸二底部的右侧固定连接有加重板，所述气缸二的表面固定连接有三角套，所述三角套的底部固定连接在气缸一输出轴的表面。

作为本发明优选的，所述送料机构包括送料板、横板、横槽、圆杆、圆槽和开口，所述气缸二的输出端与送料板固定连接，所述开口开设在蒸镀箱的左侧与涂覆箱的右侧，所述送料板的左端延伸至涂覆箱的内部，所述横板横向固定连接在送料板内腔的左侧与右侧，所述横槽开设在涂覆板顶部的两侧，所述横板滑动连接在横槽的内部，所述圆杆固定连接在涂覆板底部的四角，所述圆槽开设在横板顶部的前侧与后侧，所述圆杆滑动连接在圆槽的内部。

作为本发明优选的，所述放置板顶部的两侧均开设有定位槽，所述定位槽的内部滑动连接有定位板，所述定位板的表面与涂覆板的表面接触，所述定位板的底部固定连接有定位杆，所述定位杆的表面滑动套接有防护板，所述定位杆的底端固定连接有底板，所述底板的底部固定连接有定位簧，所述定位簧的底端固定连接在定位槽的内部。

作为本发明优选的，所述刮料机构包括电动缸、转板、刮板、合页、弹簧、弧形杆和弧形孔，所述电动缸固定连接在喷套的右侧，所述转板通过销杆铰接在电动缸的输出端，所述刮板通过销杆铰接在转板的底部，所述合页固定连接在刮板的左侧，所述合页固定连接在刮套的右侧，所述弧形杆固定连接在刮套的右侧，所述弹簧套设在弧形杆的表面，所述弹簧的顶端固定连接在转板的底部，所述弧形孔开设在转板的顶部，所述弧形杆的顶端穿过弧形孔并延伸至转板的顶部。

作为本发明优选的，所述涂覆箱内壁的左侧开设有与往复丝杠滑动连接的支撑槽，所述刮套的左侧固定连接有支撑板，所述支撑板的表面固定连接有L形板，所述L形板的表面固定连接有棉套，所述滑板底部的前侧固定连接有齿板，所述凹形套底部的前侧通过销杆铰接有齿轮，所述齿板与齿轮啮合。

一种有机膜蒸镀机的蒸镀工艺，包括以下步骤：

S1：首先将元件基板放置在滑板的顶部，关闭密封门并通过抽真空装置对涂覆箱和蒸镀箱进行抽真空，然后启动有机物喷涂装置和电机，电机通过往复丝杠和传动套带动喷套进行左右往复移动，同时有机物喷涂装置将有机物涂覆在涂覆板的表面，同时刮套会对有机物层进行刮动，使有机物能够形成均匀厚度的有机膜，然后启动检测摄像头，检测摄像头对有机层的厚度进行检测，检测未通过则继续喷涂刮平，检测通过则执行S2；

S2：关闭有机物喷涂装置和电机，然后启动气缸一，气缸一通过气缸二和送料机构带动涂覆板向上移动，当涂覆板移动至合适高度后，关闭气缸一并启动气缸二，使气缸二通过送料机构带动涂覆板移动至电阻加热板的顶部，然后关闭气缸二并启动气缸一，使涂覆板放置在电阻加热板的顶部并启动电阻加热板进行加热蒸镀，蒸镀完成后依次启动气缸一和气缸二，使涂覆板移动至原位，然后执行S3；

S3：启动电机，电机通过刮套通过刮料机构对涂覆板顶部的余料进行刮除，然后启动有机物喷涂装置，即可再次进行涂覆和蒸镀。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

1、本发明由电机通过往复丝杠和传动套带动喷套和刮套进行左右往复移动，再由有机物喷涂装置将有机物涂覆在涂覆板的表面形成均匀厚度的有机膜，然后由检测摄像头对有机层的厚度进行检测，最后由送料机构通过刮料机构对蒸镀完成后的涂覆板进行输送和清洁，从而具备了自动刮平检测的优点，解决了现有蒸镀机不具备刮平结构，无法对喷涂的有机物质进行刮平，使有机物质形成均匀的有机膜，同时无法进行检测和刮料，浪费使用者较多时间，蒸镀效果较差的问题。

2、本发明定位盘固定连接在螺杆的顶部，定位套滑动套接在定位盘的表面，通过设置定位盘和定位套，能够对螺杆进行支撑和限位，避免了螺杆在转动时出现晃动的现象，提高了螺杆的稳定性。

3、本发明凹形套两侧的顶部均固定连接有方板，方板的表面与凹形套的内壁接触，通过设置方板，能够对凹形套进行限位，避免了凹形套在移动时出现转动的现象，提高了凹形套移动时的稳定性。

4、本发明圆杆固定连接在涂覆板底部的四角，圆槽开设在横板顶部的前侧与后侧，通过设置圆杆和圆槽，能够增加横板与涂覆板的接触面积，提高了涂覆板的稳定性。

5、本发明放置板顶部的两侧均开设有定位槽，定位槽的内部滑动连接有定位板，通过设置定位槽和定位板，能够对涂覆板顶部的有机物料层进行阻挡，提高了有机物料层的均匀性。

6、本发明弹簧套设在弧形杆的表面，弹簧的顶端固定连接在转板的底部，通过设置弹簧，能够对转板进行推动，避免了转板容易出现回转的现象，提高了转板的稳定性。

7、本发明滑板底部的前侧固定连接有齿板，凹形套底部的前侧通过销杆铰接有齿轮，通过设置齿板和齿轮，能够使两侧的滑板进行同步移动，提高了使用者在调节滑板时的流畅性。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明结构凹形套的后视剖面图；

图3为本发明结构L形板的正视剖面图；

图4为本发明图1中A处放大结构图；

图5为本发明图1中B处放大结构图；

图6为本发明图1中C处放大结构图；

图7为本发明图1中D处放大结构图；

图8为本发明结构送料板的立体示意图。

图中：1、涂覆箱；2、蒸镀箱；3、固定板；4、放置板；5、有机物喷涂装置；6、波纹管；7、喷套；8、电机；9、往复丝杠；10、传动套；11、连接板；12、刮套；13、检测摄像头；14、抽真空装置；15、气缸一；16、气缸二；17、密封箱；18、电阻加热板；19、耐高温绝缘板；20、凹形套；21、密封门；22、滑杆；23、滑板；24、调节机构；241、螺杆；242、螺套；243、转盘；244、转杆；245、定位盘；246、定位套；25、送料机构；251、送料板；252、横板；253、横槽；254、圆杆；255、圆槽；256、开口；26、刮料机构；261、电动缸；262、转板；263、刮板；264、合页；265、弹簧；266、弧形杆；267、弧形孔；27、涂覆板；28、方板；29、刻度尺一；30、刻度尺二；31、挡板；32、橡胶垫；33、加重板；34、三角套；35、定位槽；36、定位板；37、定位杆；38、防护板；39、底板；40、定位簧；41、支撑槽；42、支撑板；43、L形板；44、棉套；45、齿板；46、齿轮。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1至图8所示，本发明提供的一种有机膜蒸镀机，包括涂覆箱1，涂覆箱1的右侧固定连接有蒸镀箱2，涂覆箱1内壁的底部固定连接有固定板3，固定板3的顶部固定连接有放置板4，涂覆箱1顶部的左侧固定连接有有机物喷涂装置5，有机物喷涂装置5的输出端贯穿至涂覆箱1的内部并连通有波纹管6，波纹管6的底端连通有喷套7，涂覆箱1内壁右侧的前端与后端均固定连接有电机8，电机8的输出端固定连接有往复丝杠9，往复丝杠9的表面螺纹连接有传动套10，传动套10的底部固定连接有连接板11，连接板11的底部固定连接有刮套12，喷套7的前端与后端均固定连接在连接板11的表面，涂覆箱1内壁的后侧与顶部均固定连接有检测摄像头13，蒸镀箱2右侧的顶部固定连接有抽真空装置14，蒸镀箱2右侧的底部固定连接有气缸一5，气缸一5的输出端固定连接有气缸二16，蒸镀箱2的右侧连通有与气缸二16配合使用的密封箱17，蒸镀箱2的内部设置有电阻加热板18，电阻加热板18底部的四角均固定连接有耐高温绝缘板19，耐高温绝缘板19的底端固定连接在蒸镀箱2的内部，蒸镀箱2内腔的顶部设置有凹形套20，蒸镀箱2的后侧设置有密封门21，凹形套20内腔底部的前侧与后侧均横向固定连接有滑杆22，凹形套20内腔的两侧均设置有滑板23，滑板23滑动套接在滑杆22的表面，凹形套20的顶部设置有调节机构24，气缸二16的输出端设置有送料机构25，喷套7的右侧设置有刮料机构26，放置板4的顶部设置有涂覆板27。

参考图6，调节机构24包括螺杆241、螺套242、转盘243、转杆244、定位盘245和定位套246，螺杆241设置在凹形套20内腔的顶部，螺杆241的顶端贯穿至凹形套20的顶部，螺套242固定连接在凹形套20的内部，螺套242螺纹连接在螺杆241的表面，转盘243固定连接在螺杆241的底端，转杆244固定连接在转盘243的表面，定位盘245固定连接在螺杆241的顶部，定位套246滑动套接在定位盘245的表面，定位套246的顶部固定连接在蒸镀箱2内壁的顶部。

作为本发明的一种技术优化方案，通过设置定位盘245和定位套246，能够对螺杆241进行支撑和限位，避免了螺杆241在转动时出现晃动的现象，提高了螺杆241的稳定性。

参考图7，凹形套20两侧的顶部均固定连接有方板28，方板28的表面与凹形套20的内壁接触，蒸镀箱2内壁底部的右侧固定连接有刻度尺一29，凹形套20背面的底部固定连接有刻度尺二30，刻度尺一29的表面固定连接有挡板31，挡板31的顶部固定连接有橡胶垫32，气缸二16底部的右侧固定连接有加重板33，气缸二16的表面固定连接有三角套34，三角套34的底部固定连接在气缸一5输出轴的表面。

作为本发明的一种技术优化方案，通过设置方板28，能够对凹形套20进行限位，避免了凹形套20在移动时出现转动的现象，提高了凹形套20移动时的稳定性。

参考图5，送料机构25包括送料板251、横板252、横槽253、圆杆254、圆槽255和开口256，气缸二16的输出端与送料板251固定连接，开口256开设在蒸镀箱2的左侧与涂覆箱1的右侧，送料板251的左端延伸至涂覆箱1的内部，横板252横向固定连接在送料板251内腔的左侧与右侧，横槽253开设在涂覆板27顶部的两侧，横板252滑动连接在横槽253的内部，圆杆254固定连接在涂覆板27底部的四角，圆槽255开设在横板252顶部的前侧与后侧，圆杆254滑动连接在圆槽255的内部。

作为本发明的一种技术优化方案，通过设置圆杆254和圆槽255，能够增加横板252与涂覆板27的接触面积，提高了涂覆板27的稳定性。

参考图5，放置板4顶部的两侧均开设有定位槽35，定位槽35的内部滑动连接有定位板36，定位板36的表面与涂覆板27的表面接触，定位板36的底部固定连接有定位杆37，定位杆37的表面滑动套接有防护板38，定位杆37的底端固定连接有底板39，底板39的底部固定连接有定位簧40，定位簧40的底端固定连接在定位槽35的内部。

作为本发明的一种技术优化方案，通过设置定位槽35和定位板36，能够对涂覆板27顶部的有机物料层进行阻挡，提高了有机物料层的均匀性。

参考图4，刮料机构26包括电动缸261、转板262、刮板263、合页264、弹簧265、弧形杆266和弧形孔267，电动缸261固定连接在喷套7的右侧，转板262通过销杆铰接在电动缸261的输出端，刮板263通过销杆铰接在转板262的底部，合页264固定连接在刮板263的左侧，合页264固定连接在刮套12的右侧，弧形杆266固定连接在刮套12的右侧，弹簧265套设在弧形杆266的表面，弹簧265的顶端固定连接在转板262的底部，弧形孔267开设在转板262的顶部，弧形杆266的顶端穿过弧形孔267并延伸至转板262的顶部。

作为本发明的一种技术优化方案，通过设置弹簧265，能够对转板262进行推动，避免了转板262容易出现回转的现象，提高了转板262的稳定性。

参考图3，涂覆箱1内壁的左侧开设有与往复丝杠9滑动连接的支撑槽41，刮套12的左侧固定连接有支撑板42，支撑板42的表面固定连接有L形板43，L形板43的表面固定连接有棉套44，滑板23底部的前侧固定连接有齿板45，凹形套20底部的前侧通过销杆铰接有齿轮46，齿板45与齿轮46啮合。

作为本发明的一种技术优化方案，通过设置齿板45和齿轮46，能够使两侧的滑板23进行同步移动，提高了使用者在调节滑板23时的流畅性。

一种有机膜蒸镀机的蒸镀工艺，包括以下步骤：

S1：首先将元件基板放置在滑板23的顶部，关闭密封门21并通过抽真空装置14对涂覆箱1和蒸镀箱2进行抽真空，然后启动有机物喷涂装置5和电机8，电机8通过往复丝杠9和传动套10带动喷套7进行左右往复移动，同时有机物喷涂装置5将有机物涂覆在涂覆板27的表面，同时刮套12会对有机物层进行刮动，使有机物能够形成均匀厚度的有机膜，然后启动检测摄像头13，检测摄像头13对有机层的厚度进行检测，检测未通过则继续喷涂刮平，检测通过则执行S2；

S2：关闭有机物喷涂装置5和电机8，然后启动气缸一5，气缸一5通过气缸二16和送料机构25带动涂覆板27向上移动，当涂覆板27移动至合适高度后，关闭气缸一5并启动气缸二16，使气缸二16通过送料机构25带动涂覆板27移动至电阻加热板18的顶部，然后关闭气缸二16并启动气缸一5，使涂覆板27放置在电阻加热板18的顶部并启动电阻加热板18进行加热蒸镀，蒸镀完成后依次启动气缸一5和气缸二16，使涂覆板27移动至原位，然后执行S3；

S3：启动电机8，电机8通过刮套12通过刮料机构26对涂覆板27顶部的余料进行刮除，然后启动有机物喷涂装置5，即可再次进行涂覆和蒸镀。

本发明的工作原理及使用流程：使用时，首先转动螺杆241，螺杆241通过螺套242带动凹形板移动至合适高度，然后将元件基板放置在滑板23的顶部，关闭密封门21并通过抽真空装置14对涂覆箱1和蒸镀箱2进行抽真空，然后启动有机物喷涂装置5和电机8，电机8带动往复丝杠9转动，往复丝杠9通过传动套10带动喷套7进行左右往复移动，同时有机物喷涂装置5将有机物涂覆在涂覆板27的表面，同时刮套12会对有机物层进行刮动，使有机物能够形成均匀厚度的有机膜，然后启动检测摄像头13，检测摄像头13对有机层的厚度进行检测，检测未通过则继续喷涂刮平，检测通过则关闭有机物喷涂装置5和电机8，然后启动气缸一5，气缸一5带动气缸二16向上移动，气缸二16通过送料板251带动涂覆板27向上移动，当涂覆板27移动至合适高度后，关闭气缸一5并启动气缸二16，使气缸二16通过送料板251带动涂覆板27移动至电阻加热板18的顶部，然后关闭气缸二16并启动气缸一5，使涂覆板27放置在电阻加热板18的顶部并启动电阻加热板18进行加热蒸镀，蒸镀完成后依次启动气缸一5和气缸二16，使涂覆板27移动至原位，然后启动电动缸261和电机8，电动缸261推动转板262，转板262带动刮板263转动，使刮板263与涂覆板27接触后关闭电动缸261，电机8通过刮套12通过刮板263对涂覆板27顶部的余料进行刮除，然后启动有机物喷涂装置5，即可再次进行涂覆和蒸镀，从而达到自动刮平检测的效果。

综上所述：该有机膜蒸镀机，由电机8通过往复丝杠9和传动套10带动喷套7和刮套12进行左右往复移动，再由有机物喷涂装置5将有机物涂覆在涂覆板27的表面形成均匀厚度的有机膜，然后由检测摄像头13对有机层的厚度进行检测，最后由送料机构25通过刮料机构26对蒸镀完成后的涂覆板27进行输送和清洁，从而具备了自动刮平检测的优点，解决了现有蒸镀机不具备刮平结构，无法对喷涂的有机物质进行刮平，使有机物质形成均匀的有机膜，同时无法进行检测和刮料，浪费使用者较多时间，蒸镀效果较差的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种有机膜蒸镀机，包括涂覆箱（1），其特征在于：所述涂覆箱（1）的右侧固定连接有蒸镀箱（2），所述涂覆箱（1）内壁的底部固定连接有固定板（3），所述固定板（3）的顶部固定连接有放置板（4），所述涂覆箱（1）顶部的左侧固定连接有有机物喷涂装置（5），所述有机物喷涂装置（5）的输出端贯穿至涂覆箱（1）的内部并连通有波纹管（6），所述波纹管（6）的底端连通有喷套（7），所述涂覆箱（1）内壁右侧的前端与后端均固定连接有电机（8），所述电机（8）的输出端固定连接有往复丝杠（9），所述往复丝杠（9）的表面螺纹连接有传动套（10），所述传动套（10）的底部固定连接有连接板（11），所述连接板（11）的底部固定连接有刮套（12），所述喷套（7）的前端与后端均固定连接在连接板（11）的表面，所述涂覆箱（1）内壁的后侧与顶部均固定连接有检测摄像头（13），所述蒸镀箱（2）右侧的顶部固定连接有抽真空装置（14），所述蒸镀箱（2）右侧的底部固定连接有气缸一（5），所述气缸一（5）的输出端固定连接有气缸二（16），所述蒸镀箱（2）的右侧连通有与气缸二（16）配合使用的密封箱（17），所述蒸镀箱（2）的内部设置有电阻加热板（18），所述电阻加热板（18）底部的四角均固定连接有耐高温绝缘板（19），所述耐高温绝缘板（19）的底端固定连接在蒸镀箱（2）的内部，所述蒸镀箱（2）内腔的顶部设置有凹形套（20），所述蒸镀箱（2）的后侧设置有密封门（21），所述凹形套（20）内腔底部的前侧与后侧均横向固定连接有滑杆（22），所述凹形套（20）内腔的两侧均设置有滑板（23），所述滑板（23）滑动套接在滑杆（22）的表面，所述凹形套（20）的顶部设置有调节机构（24），所述气缸二（16）的输出端设置有送料机构（25），所述喷套（7）的右侧设置有刮料机构（26），所述放置板（4）的顶部设置有涂覆板（27）。

2.根据权利要求1所述的一种有机膜蒸镀机，其特征在于：所述调节机构（24）包括螺杆（241）、螺套（242）、转盘（243）、转杆（244）、定位盘（245）和定位套（246），所述螺杆（241）设置在凹形套（20）内腔的顶部，所述螺杆（241）的顶端贯穿至凹形套（20）的顶部，所述螺套（242）固定连接在凹形套（20）的内部，所述螺套（242）螺纹连接在螺杆（241）的表面，所述转盘（243）固定连接在螺杆（241）的底端，所述转杆（244）固定连接在转盘（243）的表面，所述定位盘（245）固定连接在螺杆（241）的顶部，所述定位套（246）滑动套接在定位盘（245）的表面，所述定位套（246）的顶部固定连接在蒸镀箱（2）内壁的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种有机膜蒸镀机，其特征在于：所述凹形套（20）两侧的顶部均固定连接有方板（28），所述方板（28）的表面与凹形套（20）的内壁接触，所述蒸镀箱（2）内壁底部的右侧固定连接有刻度尺一（29），所述凹形套（20）背面的底部固定连接有刻度尺二（30），所述刻度尺一（29）的表面固定连接有挡板（31），所述挡板（31）的顶部固定连接有橡胶垫（32），所述气缸二（16）底部的右侧固定连接有加重板（33），所述气缸二（16）的表面固定连接有三角套（34），所述三角套（34）的底部固定连接在气缸一（5）输出轴的表面。

4.根据权利要求1所述的一种有机膜蒸镀机，其特征在于：所述送料机构（25）包括送料板（251）、横板（252）、横槽（253）、圆杆（254）、圆槽（255）和开口（256），所述气缸二（16）的输出端与送料板（251）固定连接，所述开口（256）开设在蒸镀箱（2）的左侧与涂覆箱（1）的右侧，所述送料板（251）的左端延伸至涂覆箱（1）的内部，所述横板（252）横向固定连接在送料板（251）内腔的左侧与右侧，所述横槽（253）开设在涂覆板（27）顶部的两侧，所述横板（252）滑动连接在横槽（253）的内部，所述圆杆（254）固定连接在涂覆板（27）底部的四角，所述圆槽（255）开设在横板（252）顶部的前侧与后侧，所述圆杆（254）滑动连接在圆槽（255）的内部。

5.根据权利要求1所述的一种有机膜蒸镀机，其特征在于：所述放置板（4）顶部的两侧均开设有定位槽（35），所述定位槽（35）的内部滑动连接有定位板（36），所述定位板（36）的表面与涂覆板（27）的表面接触，所述定位板（36）的底部固定连接有定位杆（37），所述定位杆（37）的表面滑动套接有防护板（38），所述定位杆（37）的底端固定连接有底板（39），所述底板（39）的底部固定连接有定位簧（40），所述定位簧（40）的底端固定连接在定位槽（35）的内部。

6.根据权利要求1所述的一种有机膜蒸镀机，其特征在于：所述刮料机构（26）包括电动缸（261）、转板（262）、刮板（263）、合页（264）、弹簧（265）、弧形杆（266）和弧形孔（267），所述电动缸（261）固定连接在喷套（7）的右侧，所述转板（262）通过销杆铰接在电动缸（261）的输出端，所述刮板（263）通过销杆铰接在转板（262）的底部，所述合页（264）固定连接在刮板（263）的左侧，所述合页（264）固定连接在刮套（12）的右侧，所述弧形杆（266）固定连接在刮套（12）的右侧，所述弹簧（265）套设在弧形杆（266）的表面，所述弹簧（265）的顶端固定连接在转板（262）的底部，所述弧形孔（267）开设在转板（262）的顶部，所述弧形杆（266）的顶端穿过弧形孔（267）并延伸至转板（262）的顶部。

7.根据权利要求1所述的一种有机膜蒸镀机，其特征在于：所述涂覆箱（1）内壁的左侧开设有与往复丝杠（9）滑动连接的支撑槽（41），所述刮套（12）的左侧固定连接有支撑板（42），所述支撑板（42）的表面固定连接有L形板（43），所述L形板（43）的表面固定连接有棉套（44），所述滑板（23）底部的前侧固定连接有齿板（45），所述凹形套（20）底部的前侧通过销杆铰接有齿轮（46），所述齿板（45）与齿轮（46）啮合。

8.根据权利要求1所述的一种有机膜蒸镀机的蒸镀工艺，其特征在于：包括以下步骤：

S1：首先将元件基板放置在滑板（23）的顶部，关闭密封门（21）并通过抽真空装置（14）对涂覆箱（1）和蒸镀箱（2）进行抽真空，然后启动有机物喷涂装置（5）和电机（8），电机（8）通过往复丝杠（9）和传动套（10）带动喷套（7）进行左右往复移动，同时有机物喷涂装置（5）将有机物涂覆在涂覆板（27）的表面，同时刮套（12）会对有机物层进行刮动，使有机物能够形成均匀厚度的有机膜，然后启动检测摄像头（13），检测摄像头（13）对有机层的厚度进行检测，检测未通过则继续喷涂刮平，检测通过则执行S2；

S2：关闭有机物喷涂装置（5）和电机（8），然后启动气缸一（5），气缸一（5）通过气缸二（16）和送料机构（25）带动涂覆板（27）向上移动，当涂覆板（27）移动至合适高度后，关闭气缸一（5）并启动气缸二（16），使气缸二（16）通过送料机构（25）带动涂覆板（27）移动至电阻加热板（18）的顶部，然后关闭气缸二（16）并启动气缸一（5），使涂覆板（27）放置在电阻加热板（18）的顶部并启动电阻加热板（18）进行加热蒸镀，蒸镀完成后依次启动气缸一（5）和气缸二（16），使涂覆板（27）移动至原位，然后执行S3；

S3：启动电机（8），电机（8）通过刮套（12）通过刮料机构（26）对涂覆板（27）顶部的余料进行刮除，然后启动有机物喷涂装置（5），即可再次进行涂覆和蒸镀。

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