CN112808531A - 工件点胶贴装设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种工件点胶贴装设备，包括：两个上下料机构、双阀异步点胶装置、散热盖贴装装置和热压装置；工件在所述两个上下料机构之间活动，一所述上下料机构用于对待加工的工件进行上料，另一所述上下料机构用于对已加工的工件进行下料；所述双阀异步点胶装置、散热盖贴装装置和热压装置沿所述工件的活动方向依次设在所述两个上下料机构之间。本发明结构简单，在两个上下料机构之间依次设置双阀异步点胶装置、散热盖贴装装置和热压装置，使得工件自上料至下料的运输过程中自动完成多道工序的连续加工，避免工件滞留，从而提高了成品率。

Description

工件点胶贴装设备

技术领域

本发明属于芯片加工技术领域，具体涉及一种工件点胶贴装设备。

背景技术

芯片封装加工时，工件需要经过点胶、贴装散热盖、热压、检测等多道工序，并且需要在一定时间内加工完成，避免胶水凝固，芯片在此过程中容易受到各种环境影响导致成品率降低。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明提出一种工件点胶贴装设备，该工件点胶贴装设备具有对工件加工全程进行连续化生产的优点。

根据本发明实施例的工件点胶贴装设备，包括：两个上下料机构、双阀异步点胶装置、散热盖贴装装置和热压装置；工件在所述两个上下料机构之间活动，一所述上下料机构用于对待加工的工件进行上料，另一所述上下料机构用于对已加工的工件进行下料；所述双阀异步点胶装置、散热盖贴装装置和热压装置沿所述工件的活动方向依次设在所述两个上下料机构之间。

本发明的有益效果是，本发明结构简单，在两个上下料机构之间依次设置双阀异步点胶装置、散热盖贴装装置和热压装置，使得工件自上料至下料的运输过程中自动完成多道工序的连续加工，避免工件滞留，从而提高了成品率。

根据本发明一个实施例，两个上下料机构、双阀异步点胶装置、散热盖贴装装置和热压装置；工件在所述两个上下料机构之间活动，一所述上下料机构用于对待加工的工件进行上料，另一所述上下料机构用于对已加工的工件进行下料；所述双阀异步点胶装置、散热盖贴装装置和热压装置沿所述工件的活动方向依次设在所述两个上下料机构之间。

根据本发明一个实施例，所述双阀异步点胶装置包括：框架；工件输送装置，所述工件输送装置设于所述框架内，所述工件输送装置上承载有工件；高度自动补偿稳定测量装置，所述高度自动补偿稳定测量装置的补偿部设于所述工件的下方，所述高度自动补偿稳定测量装置的测量部设于所述框架上，并位于所述工件的上方，以对所述工件进行测量；可调平吸附锁紧治具，所述可调平吸附锁紧治具设于所述高度自动补偿稳定测量装置的补偿部上，所述可调平吸附锁紧治具可在所述补偿部的带动下向上移动，以托起所述工件。

根据本发明一个实施例，所述工件输送装置包括：工件搬运装置，所述工件搬运装置用以输送工件沿x向运动，所述工件搬运装置包括：两个输送组件，所述两个输送组件关于xz平面对称布置；多个检测光纤，所述多个检测光纤设于所述第一输送组件和所述第二输送组件上，用以检测工件的输送状态；工件载板，所述工件载板设于所述两个输送组件上，所述工件载板上承载有工件。

根据本发明一个实施例，所述高度自动补偿稳定测量装置包括：三维运动平台，所述三维运动平台设于所述工件输送装置的上方，所述三维运动平台上设有高度测量装置和视觉识别装置，所述高度测量装置和所述视觉识别装置在所述三维运动平台的驱动下在xy平面内活动；顶升机构，所述顶升机构设于所述工件的下方，所述顶升机构的一部分可沿z轴活动，以将所述工件顶起。

根据本发明一个实施例，所述三维运动平台包括：y向运动机构；x向运动机构，所述x向运动机构设于所述y向运动机构上，所述y向运动机构驱动所述x向运动机构沿y轴活动，所述高度测量装置和所述视觉识别装置设于所述x向运动机构上；两个z向运动机构，所述两个z向运动机构设于所述x向运动机构上，所述x向运动机构驱动所述两个z向运动机构沿x轴活动，一所述z向运动机构上设有一流体分配器；一个y向微调装置，所述y向微调装置设于另一所述z向运动机构上，所述z向运动机构驱动所述y向微调装置沿y轴活动，所述y向微调装置上设有另一流体分配器，所述y向微调装置驱动另一流体分配器沿y轴微调；所述y向微调装置包括：壳体，所述壳体外设有直线导轨组件；第一伺服电机，所述第一伺服电机设在所述壳体的一侧；第二丝杆轴，所述第二丝杆轴转动设在所述壳体内，所述第二丝杆轴与所述第一伺服电机的输出端相直联；活动块，所述活动块的一部分滑动设在所述直线导轨组件上，所述活动块的另一部分通过螺母滑块活动设在所述第二丝杆轴上，所述活动块上设有另一流体分配器。

根据本发明一个实施例，所述可调平吸附锁紧治具包括：通用安装转接板，所述通用安装转接板为直板件，所述通用安装转接板的四周设有四个调平螺栓组件，所述调平螺栓组件将所述通用安装转接板固定在顶升装置上，通过拧动四个调平螺栓组件以调节通用安装转接板的上表面达到平行；吸附锁紧治具，所述吸附锁紧治具设于所述通用安装转接板的上表面，所述吸附锁紧治具上承载有工件。

根据本发明一个实施例，所述通用安装转接板沿厚度方向开设有四个细牙螺纹孔，所述调平螺栓组件的一端设于所述细牙螺纹孔内，所述调平螺栓组件的另一端与所述顶升装置相连；所述通用安装转接板沿厚度方向开设有四条缝隙，所述缝隙连通所述细牙螺纹孔；所述通用安装转接板的四周设有四个水平锁紧螺钉，所述水平锁紧螺钉贯穿所述缝隙，转动所述水平锁紧螺钉以调节所述缝隙的大小，进而调节所述细牙螺纹孔的大小；所述水平锁紧螺钉的轴线与所述调平螺栓组件的轴线相垂直。

根据本发明一个实施例，所述调平螺栓组件包括：调平件，所述调平件为柱形件，所述调平件的外周缘上设有细牙外螺纹，所述细牙外螺纹与所述细牙螺纹孔相配合，所述调平件上开设有沿厚度方向贯穿的调平孔；球形垫片，所述球形垫片设于所述调平件与所述顶升装置之间；连接件，所述连接件的一端穿过所述调平孔和所述球形垫片后与所述顶升装置相连；所述调平孔的上部为六角沉头，所述调平孔的中部为圆柱沉孔，所述连接件的另一端卡设于所述圆柱沉孔内。

根据本发明一个实施例，所述双阀异步点胶装置还包括：自动称重断胶装置，所述自动称重断胶装置设于所述工件输送装置上，所述自动称重断胶装置包括：称重防风装置，所述称重防风装置内限定有第一容纳腔；称重装置，所述称重装置设于所述第一容纳腔内；流体分段装置，所述流体分段装置设于所述称重防风装置的上方，所述流体分段装置具有第二容纳腔，所述第二容纳腔与所述第一容纳腔相连通；流体接收容器，所述流体接收容器设于所述第二容纳腔内，所述流体接收容器位于所述称重装置的上方，所述流体接收容器具有断胶和称重两种状态，所述流体接收容器位于断胶状态时，所述流体接收容器向上运动以接收胶水，所述流体接收容器位于称重状态时，所述流体接收容器向下运动并置于所述称重装置上，以对所述胶水进行称重。

根据本发明一个实施例，所述上下料机构包括：型材框架、料仓横移升降机构以及工件夹取搬运机构，其中：所述料仓横移升降机构、所述工件夹取搬运机构均安装于所述型材框架内；所述料仓横移升降机构上用于承载料仓，所述料仓横移升降机构用于将承载的料仓进行升降以及横移运动，以将所述料仓与所述工件夹取搬运机构相对；所述工件夹取搬运机构用于从相对的所述料仓夹取出工件并上料至输送带上；或将所述输送带上的工件推送至相对的所述料仓内；所述上下料机构还包括中间隔板，所述中间隔板用于间隔所述料仓横移升降机构所承载的料仓以及所述工件夹取搬运机构，所述中间隔板上开设有可供工件穿过的通孔；所述料仓横移升降机构对所承载的料仓进行横移和升降，以将所述料仓与所述通孔相对，所述工件夹取搬运机构通过所述通孔夹取所述料仓内的工件，或将工件通过所述通孔推入至所述料仓内。

根据本发明一个实施例，所述散热盖贴装装置包括输送轨道模块、贴装模块、散热盖上料装置和定位模块，其中：所述输送轨道模块被配置为将载板输送至装配工位，所述载板内承载有芯片；所述散热盖上料装置被配置为向吸取工位输送散热盖；所述定位模块安装于定位工位处；所述贴装模块被配置为在所述吸取工位、所述定位工位以及所述装配工位之间移动，所述贴装模块在所述吸取工位吸取散热盖后移动至所述定位工位，所述定位模块对所述贴装模块吸取的散热盖进行定位识别，所述贴装模块在所述定位模块对吸取的散热盖定位识别后，将所述散热盖移动至所述装配工位，并将所述散热盖装配到所述装配工位处载板内的芯片上。

根据本发明一个实施例，所述散热盖上料装置包括上料部、取料定位部、下料部，以及横跨于所述上料部、所述取料定位部和所述下料部的第一横移组件，所述上料部将散热盖承载件顶升到位后，所述第一横移组件将所述散热盖承载件从所述上料部移动至所述取料定位部，所述取料定位部对所述散热盖承载件进行定位固定，取料机构对所述散热盖承载件上的散热盖进行取料，所述第一横移组件将取料后的所述散热盖承载件从所述取料定位部移动至所述下料部。

根据本发明一个实施例，所述热压装置包括：检测部、加热保压部和输送装置，所述检测部为一个，所述检测部设置于所述加热保压部的前道工位或后道工位，或者，所述检测部为两个，两个所述检测部分别设置于所述加热保压部的前道工位和后道工位，其中：所述输送装置将装载有工件的载物治具输送至所述检测部和所述加热保压部；所述检测部对所述工件上至少一处位置的工件额高度进行测量并对所述工件的外观进行检测，所述工件额高度是指所述工件上一位置处的高度与所述载物治具上与所述位置相差预定距离位置处的高度之间的高度差值；所述加热保压部对位于所述加热保压部位置处的所述工件进行加热保压。

根据本发明一个实施例，所述检测部为两个，分别为位于所述加热保压部前道工位的第一检测部和位于所述加热保压部后道工位的第二检测部，所述第一检测部对所述工件上至少一处位置的工件额高度进行测量并对所述工件的外观进行检测，得到第一组检测数据；所述第二检测部对所述工件上至少一处位置的工件额高度进行测量并对所述工件的外观进行检测，得到第二组检测数据；所述热压装置还包括与所述第一检测部和所述第二检测部电性连接的处理器，所述处理器根据所述第一组检测数据和所述第二组检测数据，判定所述加热保压部对所述工件进行加热保压的工艺是否符合要求。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明的工件点胶贴装设备的立体结构示意图；

图2是根据本发明的工件点胶贴装设备中双阀异步点胶装置的立体结构示意图；

图3是根据本发明的工件点胶贴装设备中高度自动补偿稳定测量装置的立体结构示意图；

图4是根据本发明的工件点胶贴装设备中顶升机构的立体结构示意图；

图5是根据本发明的工件点胶贴装设备中顶升机构的剖视结构示意图；

图6是根据本发明的工件点胶贴装设备中三维运动平台的局部立体结构示意图；

图7是根据本发明的工件点胶贴装设备中y向微调装置的剖视结构示意图；

图8是根据本发明的工件点胶贴装设备中工件输送装置的立体结构示意图；

图9是根据本发明的工件点胶贴装设备中工件搬运装置的俯视结构示意图；

图10是根据本发明的工件点胶贴装设备中工件搬运装置的立体结构示意图；

图11是根据本发明的工件点胶贴装设备中皮带驱动装置的结构示意图；

图12是根据本发明的工件点胶贴装设备中可调平吸附锁紧治具的立体结构示意图；

图13是根据本发明的工件点胶贴装设备中可调平吸附锁紧治具的俯视结构示意图；

图14是根据本发明的工件点胶贴装设备中可调平吸附锁紧治具的局部剖视结构示意图；

图15是根据本发明的工件点胶贴装设备中调平螺栓组件的截面结构示意图；

图16是根据本发明的工件点胶贴装设备中自动称重断胶装置的剖视结构示意图；

图17是根据本发明的工件点胶贴装设备中自动称重断胶装置的立体结构示意图；

图18是根据本发明的工件点胶贴装设备中自动称重断胶装置的局部剖视结构示意图；

图19-图20是根据本发明的工件点胶贴装设备中上下料机构的两种不同可视角度的结构示意图；

图21是根据本发明的工件点胶贴装设备中料仓横移升降机构的结构示意图；

图22-图24是根据本发明的工件点胶贴装设备中工件夹取搬运机构的结构示意图；

图25是根据本发明的工件点胶贴装设备中压轮组件的机构示意图；

图26是根据本发明的工件点胶贴装设备中散热盖贴装装置的外部示意图；

图27是根据本发明的工件点胶贴装设备中散热盖贴装装置的结构示意图；

图28是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的散热盖贴装装置吸取散热盖时的俯视图；

图29是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的散热盖贴装装置装配散热盖时的俯视图；

图30A是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的贴装模块的结构示意图；

图30B是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的贴装模块的剖视图；

图30C是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的贴装模块的正面示意图；

图30D是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的真空吸盘被调平时的示意图；

图31A是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的散热盖上料装置的结构示意图；

图31B是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的散热盖上料装置的俯视图；

图31C是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的取料定位部的结构示意图；

图31D是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的顶升上料组件的结构示意图；

图31E是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的散热盖承载件上料至上料部时的示意图；

图31F是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的散热盖承载件被移动至取料定位部时的示意图；

图31G是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的散热盖承载件被移动至下料部时的示意图。

图32是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的热压装置的结构示意图；

图33是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的检测部的结构示意图；

图34是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的压力加载装置的结构示意图；

图35是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的压力加载装置的剖视图；

图36是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的气缸施压原理的气路控制示意图；

图37是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的工件施压设备的结构示意图；

图38是根据本发明的工件点胶贴装设备中提供的工件施压设备的剖视图。

附图标记：

两个上下料机构-1、双阀异步点胶装置-2、散热盖贴装装置-3和热压装置-4、框架-100、工件输送装置-200、高度自动补偿稳定测量装置-300、可调平吸附锁紧治具-400、三维运动平台-1a、高度测量装置-2a、视觉识别装置-3a、顶升机构-5a、自动称重断胶装置-6a、y向调节导轨组件-51、顶升基板-52、z向导向组件-53、顶升板-54、轴承座固定块-55、电机-56、同步带-57、主同步带轮-58、从同步带轮-59、第一丝杆轴-510、丝杆支撑块-511、丝杆滑块-512、调节块-513、y向微调装置-1a1、壳体-1a11、第一伺服电机-1a12、第二丝杆轴-1a13、活动块-1a14、螺母滑块-1a15、直线导轨组件-1a16、工件搬运装置-1c、顶升机构-5a、工件载板-4c、基板-10、底座-11、y向导轨-12、皮带驱动装置-13、入料检测光纤-14、减速检测光纤-15、入料翘曲检测光纤-16、侧推组件-17、到料检测光纤-18、第一联轴器-19、花键轴-110、出料检测光纤-111、到料挡料装置-112、出料翘曲检测光纤-113、升降支架-114、同步带-13a、张紧轮-13b、第一从动轮-13c、皮带支撑条-13d、第一主动轮-13e、第一驱动电机-13f、通用安装转接板-141、加热板-142、隔热板-143、吸附锁紧治具-144、调平螺栓组件-145、水平锁紧螺钉-146、细牙螺纹孔-141a、缝隙-141b、调平件-145a、球形垫片-145b、连接件-145c、细牙外螺纹-145a1、六角沉头-145a2、圆柱沉孔-145a3、本体-144a、吸盘-144b、真空接头-144c、补光板-144d、称重装置-1b、称重防风装置-2b、流体接收容器-3b、流体分段装置-4b、底板-21、防风罩-22、内锥面-31、外锥面-32、z向运动气缸-41、气缸连接块-42、第一密封圈-43、弹性环-44、称重盖-45、正压吹气接头-46、密封罩-47、凸台-47a、抱紧环-48、真空负压接头-49、第二密封圈-410、密封底座-411、秤盘-412、断胶口-45a、环形槽-45b、沉孔-45c、正压槽-45d、导气孔-45e、扩气孔-45f、型材框架a1、料仓横移升降机构a2、第二伺服电机a21、丝杠a22、第二联轴器a23、滑动螺母a24、升降平台a25、滑块连接板a26、第一竖向导轨a27、横移平台a28、第一型材立柱a29、横移模组a230、料仓平台a231、工件夹取搬运机构a3、搬送平台底板a31、第二型材立柱a32、横向导轨a33、滑动立柱安装块a34、导轨滑块a35a、滑块安装板a35b、移动安装竖板a36、固定立柱a37、固定安装竖板a38、输送带动轮a391、输送带张紧惰轮a392、第一驱动电机a393、输送带a340、卡爪取料机构a341、第二驱动电机a3411、第二主动轮a3412、第二从动轮a3413、皮带a3414、夹爪a3415、气缸a3416、气缸安装块a3417、直线导轨a3418、滑动块a3419、压轮组件a350、压轮a351、橡胶圈a352、转轴a353、升降轴a354、机构块a355、中间隔板a4、料仓a5、输送轨道模块b1、贴装模块b2、真空吸盘b21、压力传感器b22、传导杆b23、弹簧b24、气管接头b251、密封腔体b252、第三密封圈b253、第四密封圈b254、花键b26、预压力调节座b27、第三伺服电机b281、第三联轴器b282、第一同步轮b283、第二同步轮b285、传动套b286、转轴b287、皮带张紧螺丝b288、第一调平板b291、第二调平板b292、调节转轴b293、第一调平螺丝b294、第二调平螺丝b295、作用支架b296、调节支架b297、散热盖上料装置b3、上料部b31、第一顶升板b311、顶升定位传感器b312、第一顶升组件b313、第一顶升电机b3131、第一顶升导轨b3132、第一顶升丝杠b3133、第一滑块b3134、第一横向滑轨b314、取料定位部b32、顶升定位块b321、顶升上料组件b322、上料电机b3221、上料丝杠b3222、顶升杆b3223、第二竖向导轨b3224、下料部b33、第二顶升板b331、第二顶升组件b332、第二滑轨b333、第一横移组件b34、移动件b341、夹块b342、散热盖承载件b35、把手b36、Tray上料板b37、定位模块b4、设备框架b5、显示屏b6、折叠键盘b7、贴装模块驱动组件b8、第二驱动电机b81、输送导轨b82、安装架b83、第三驱动电机b84、第一检测部c100、第二检测部c101、第二横移组件c11、测高传感器头c12、AOI相机c13、加热保压部c20、输送装置c30、载物治具c40、工件c50、压力加载装置d1、施压装置底板d11、低摩擦气缸d12、直线轴承d13、压力导向杆d14、隔热工件压板d15、温度传感器头d16、工件压板防转板d17、气缸安装底板d18、连接柱d19、储气罐d110、电气比例阀d111、加热顶升组件d2、工件治具组件d3。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考附图具体描述根据本发明实施例的工件点胶贴装设备。

如图1至图38所示，根据本发明实施例的工件点胶贴装设备，包括：两个上下料机构1、两个双阀异步点胶装置2、两个散热盖贴装装置3和热压装置4；工件在两个上下料机构1之间活动，一上下料机构1用于对待加工的工件进行上料，另一上下料机构1用于对已加工的工件进行下料；两个双阀异步点胶装置2、两个散热盖贴装装置3和热压装置4沿工件的活动方向依次设在两个上下料机构1之间。

上下料机构1、双阀异步点胶装置2、散热盖贴装装置3和热压装置4均有一部分用于输送工件的部件，且这些用于输送工件的部件之间依次连接。

如图2至图18所示，根据本发明实施例的双阀异步点胶装置2，包括：框架100，工件输送装置200，高度自动补偿稳定测量装置300和可调平吸附锁紧治具400，工件输送装置200设于框架100内，工件输送装置200上承载有工件；高度自动补偿稳定测量装置300的补偿部设于工件的下方，高度自动补偿稳定测量装置300的测量部设于框架100上，并位于工件的上方，以对工件进行测量；可调平吸附锁紧治具400设于高度自动补偿稳定测量装置300的补偿部上，可调平吸附锁紧治具400可在补偿部的带动下向上移动，以托起工件。

本发明利用工件输送装置200对工件进行输送，通过测量部对工件进行测量，同时利用补偿部带动可调平吸附锁紧治具400向上托起工件，而可调平吸附锁紧治具400在托起工件时，能够对工件进行吸附锁紧，进而完成点胶前的固定，工件的输送、检测和补偿过程相互配合，并且能够相互独立运行，满足了工件输送稳定、加工前实现自动检测和补偿的要求。

如图2和图3所示，根据本实用新型实施例的高度自动补偿稳定测量装置300，包括：三维运动平台1a和顶升机构5a，工件输送装置200上承载有工件；三维运动平台1a设于工件输送装置200的上方，三维运动平台1a上设有高度测量装置2a和视觉识别装置3a，高度测量装置2a和视觉识别装置3a在三维运动平台1a的驱动下在xy平面内活动；顶升机构5a设于工件的下方，顶升机构5a的一部分可沿z轴活动，以将工件顶起。本实用新型结构简单，通过将高度测量装置2a和视觉识别装置3a设置为在xy平面内活动，避免了高度方向的测量误差，同时利用顶升机构5a调节将工件顶起的高度，实现了高度自动补偿，检测与调试动作分离，相互之间不干扰，检测精度和加工效果得到提高。

根据本实用新型一个实施例，如图3和图7所示，三维运动平台1a包括：y向运动机构，x向运动机构，两个z向运动机构和一个y向微调装置1a1，x向运动机构设于y向运动机构上，y向运动机构驱动x向运动机构沿y轴活动，高度测量装置2a和视觉识别装置3a设于x向运动机构上；两个z向运动机构设于x向运动机构上，x向运动机构驱动两个z向运动机构沿x轴活动，一z向运动机构上设有一流体分配器；y向微调装置1a1设于另一z向运动机构上，z向运动机构驱动y向微调装置1a1沿y轴活动，y向微调装置1a1上设有另一流体分配器，y向微调装置1a1驱动另一流体分配器沿y轴微调。y向运动机构，x向运动机构和z向运动机构相互独立，不存在干扰，能够精确运动到工件的上方。

进一步地，如图7所示，y向微调装置1a1包括：壳体1a11，第一伺服电机1a12，第二丝杆轴1a13和活动块1a14，壳体1a11外设有直线导轨组件1a16；第一伺服电机1a12设在壳体1a11的一侧；第二丝杆轴1a13转动设在壳体1a11内，第二丝杆轴1a13与第一伺服电机1a12的输出端相直联；活动块1a14的一部分滑动设在直线导轨组件1a16上，活动块1a14的另一部分通过螺母滑块1a15活动设在第二丝杆轴1a13上，活动块1a14上设有另一流体分配器。

根据本实用新型一个实施例，如图4和图5所示，顶升机构5a包括：顶升基板52，轴承座固定块55，顶升板54，调节块513和丝杆组件，轴承座固定块55设在顶升基板52上；顶升板54位于顶升基板52的上方；调节块513设在顶升板54上；丝杆组件的一部分与轴承座固定块55相连，丝杆组件的另一部分与调节块513相连，通过转动丝杆组件带动调节块513和顶升板54沿z轴活动。进一步地，如图3所示，丝杆组件包括：第一丝杆轴510，丝杆支撑块511和丝杆滑块512，第一丝杆轴510垂直于顶升板54所在平面；丝杆支撑块511转动套设在第一丝杆轴510上；丝杆滑块512套设在第一丝杆轴510上，丝杆滑块512的内周缘与第一丝杆轴510的外周缘通过螺纹相连，丝杆滑块512的外周缘与调节块513的内周缘转动相连，丝杆组件的传动更加紧密，调节精度更高。

作为本实用新型的一个优选实施方式，顶升机构5a还包括：电机56，主同步带轮58，从同步带轮59和同步带57，电机56设在顶升基板52的侧面；主同步带轮58设于第一丝杆轴510的一端；从同步带轮59设于电机56的输出端，同步带57套设在主同步带轮58和从同步带轮59上，利用同步带57传输电机56的动力，传输过程稳定，电机56位于第一丝杆轴510的一侧，进一步简化了结构，缩小了顶升机构5a的体积。

作为本实用新型的一个优选实施方式，顶升机构5a还包括：两个z向导向组件53，两个z向导向组件53设在轴承座固定块55的左右两侧，z向导向组件53的一端与顶升基板52相连，z向导向组件53的另一端与顶升板54相连，利用两个z向导向组件53在丝杆组件两侧进行导向，确保了顶升时顶升板54平稳运动。

进一步地，顶升基板52的上表面开设有安装槽，轴承座固定块55设于安装槽内，丝杆支撑块511的周侧面具有环形凸起，轴承座固定块55的一部分与环形凸起相抵，以将丝杆支撑块511压在安装槽内，安装槽在安装的同时能够进行定位，同时进一步降低了轴承座固定块55的安装高度，提高了顶升机构5a紧凑程度。

更进一步地，第一丝杆轴510的一端延伸至顶升基板52的下方，同步带57位于顶升基板52的下方。

根据本实用新型一个实施例，顶升机构5a还包括：两个y向调节导轨组件51，两个y向调节导轨组件51设在工件输送装置200上，两个y向调节导轨组件51均平行于y轴，顶升基板52设在两个y向调节导轨组件51上，并在两个y向调节导轨组件51的驱动下沿y轴运动，利用两个y向调节导轨组件51使顶升板54能够随工件输送装置200上工件的位置对应移动，避免顶升发生偏移。

根据本实用新型一个实施例，顶升机构5a还包括：复位光电开关和光电挡片，复位光电开关设在轴承座固定块55的侧面，光电挡片设于z向导向组件53上，并随z向导向组件53沿z轴活动，复位光电开关和光电挡片可以判断每次顶升后的复位是否到位，避免因长时间使用导致顶升机构5a的初始位置出现偏差。

工作时，高度测量装置2a和视觉识别装置3a在y向运动机构和x向运动机构的驱动下运动至工件上方，电机56工作，通过同步带57带动第一丝杆轴510转动，丝杆滑块512向上移动，从而带动顶升板54向上运动将工件顶升至适当位置。

如图8至图11所示，根据本实用新型实施例的工件输送装置4a，包括：工件搬运装置1c和工件载板4c，工件搬运装置1c用以输送工件沿x向运动，工件搬运装置1c包括：两个输送组件和多个检测光纤，两个输送组件关于xz平面对称布置；多个检测光纤设于第一输送组件和第二输送组件上，用以检测工件的输送状态；工件载板4c设于两个输送组件上，工件载板4c上承载有工件。本实用新型结构简单，通过在工件输送路径上设置多个检测光纤，一方面对工件输送位置进行检测，便于进行定位，另一方面对工件状态进行检测，避免因工件状态不良造成的加工资源和加工时间的浪费，进而提高了生产效率，降低了加工成本，减少了后续检测工作，提高了最终成品率。

在本实用新型的一些具体实施方式中，如图11所示，输送组件包括：基板10和皮带驱动装置13，皮带驱动装置13设于基板10上朝向工件载板4c的一侧，皮带驱动装置13驱动工件载板4c移动的过程中，基板10可进行导向，避免工件载板4c运动时发生偏移。

根据本实用新型一个实施例，皮带驱动装置13包括：两个第一从动轮13c，皮带支撑条13d，同步带13a和多个张紧轮13b，两个第一从动轮13c设于基板10的左右两端；皮带支撑条13d设在基板10上，且位于两个第一从动轮13c之间；同步带13a套设在两个第一从动轮13c和皮带支撑条13d上；多个张紧轮13b设在基板10上，多个张紧轮13b与同步带13a的外周缘相抵。进一步地，一个皮带驱动装置13上具有第一主动轮13d和第一驱动电机13f，第一主动轮13d与同步带13a的内周缘相啮合，第一驱动电机13f的输出端与第一主动轮13d相连，第一驱动电机13f设在底座11上。更进一步地，工件搬运装置1c还包括：第一联轴器19和花键轴110，花键轴110的一端与第一个输送组件的第一从动轮13c直联，花键轴110的一端可沿y向活动插接至第一个输送组件的第一从动轮13c的中心，当加工不同尺寸的工件时，需要调整两个基板10的距离，通过花键轴110直联的方式确保了两个基板10无论靠近或远离，始终保持直联状态，动力传输过程不会受到影响，花键轴110的另一端与第一联轴器19的一端相接，第一联轴器19的另一端与另一个输送组件的第一从动轮13c相连。当只采用一个第一驱动电机13f同时带动两条同步带13a时，运动过程能够进行统一控制，避免了两个第一驱动电机13f分别驱动两条同步带13a运动时造成不同步的情况发生，通过第一联轴器19和花键轴110将两个皮带驱动装置13相连，确保了两个皮带驱动装置13运动时，两条同步带13a的运动过程保持一致，进而提升了工件载板4c沿x向运动的稳定性。

根据本实用新型一个实施例，如图9和图10所示，多个检测光纤包括：入料检测光纤14、减速检测光纤15、到料检测光纤18和出料检测光纤111，入料检测光纤14、减速检测光纤15、到料检测光纤18和出料检测光纤111沿x向依次设在基板10上，对工件载板4c进入输送组件至离开输送组件的全过程进行检测和控制，能够时刻获取工件载板4c的运动状态，便于控制加工设备在合适的位置对工件进行加工。

根据本实用新型一个实施例，工件搬运装置1c还包括：侧推组件17和到料挡料装置112，侧推组件17设于基板10上，且位于减速检测光纤15和到料检测光纤18之间；到料挡料装置112设于基板10上，到料挡料装置112与到料检测光纤18的连线平行于y轴。

进一步地，多个检测光纤还包括：入料翘曲检测光纤16和出料翘曲检测光纤113，入料翘曲检测光纤16和出料翘曲检测光纤113可沿z向活动设于基板10上，入料翘曲检测光纤16和出料翘曲检测光纤113分别位于侧推组件17的两侧，入料翘曲检测光纤16对工件加工前的状态进行检测，及时发现翘曲工件，避免对翘曲状态的工件加工造成加工不良；出料翘曲检测光纤113对加工后的工件检测，同时配合入料翘曲检测光纤16的检测结果，可综合判断加工过程是否造成工件翘曲，进而对加工过程进行调整。入料翘曲检测光纤16和出料翘曲检测光纤113均通过升降支架114固定在基板10上，当工件尺寸变化时，根据工件厚度不同进而通过升降支架114调整入料翘曲检测光纤16和出料翘曲检测光纤113的高度，使得检测过程的适用性得到提高。

根据本实用新型一个实施例，工件搬运装置1c还包括：底座11和两个y向导轨12，两个y向导轨12设在底座11上，两个y向导轨12平行于y轴布置，输送组件滑动设在两个y向导轨12上，每个y向导轨12具有两个滑块，两个基板10分别与两个滑块相连，两个基板10的相对位置通过两个滑块调节，便于加工不同尺寸工件时，对两个基板10的相对位置进行调整。

根据本实用新型一个实施例，工件输送装置4a还包括：顶升机构5a和可调平吸附锁紧治具3c，顶升机构5a设于底座11上，且位于工件载板4c运动轨迹的正下方，可调平吸附锁紧治具3c固定设于顶升机构5a的上表面。

如图12至图15所示，根据本实用新型实施例的可调平吸附锁紧治具400，包括：通用安装转接板141和吸附锁紧治具144，通用安装转接板141为直板件，通用安装转接板141的四周设有四个调平螺栓组件145，调平螺栓组件145将通用安装转接板141固定在顶升机构5a上，通过拧动四个调平螺栓组件145以调节通用安装转接板141的上表面达到平行；吸附锁紧治具144设于通用安装转接板141的上表面，吸附锁紧治具144上承载有工件。

本实用新型的有益效果是，本实用新型结构简单，通过四个调平螺栓组件145对通用安装转接板141的四个角落的高度进行调节，进而间接将吸附锁紧治具144上的工件调整平行，调平过程便捷，同时避免了调平与工件发生直接干扰。

根据本实用新型一个实施例，通用安装转接板141沿厚度方向开设有四个细牙螺纹孔141a，调平螺栓组件145的一端设于细牙螺纹孔141a内，调平螺栓组件145的另一端与顶升机构5a相连。通用安装转接板141沿厚度方向开设有四条缝隙141b，缝隙141b连通细牙螺纹孔141a。通用安装转接板141的四周设有四个水平锁紧螺钉146，水平锁紧螺钉146贯穿缝隙141b，转动水平锁紧螺钉146以调节缝隙141b的大小，进而调节细牙螺纹孔141a的大小，最终实现细牙螺纹孔141a与调平螺栓组件145的紧密连接。进一步地，水平锁紧螺钉146的轴线与调平螺栓组件145的轴线相垂直。利用水平锁紧螺钉146从侧面进行锁紧，避免了锁紧时产生z向的作用力，进而减少了锁紧过程对调平过程的干扰。

根据本实用新型一个实施例，如图15所示，调平螺栓组件145包括：调平件145a，球形垫片145b和连接件145c，调平件145a为柱形件，调平件145a的外周缘上设有细牙外螺纹145a1，细牙外螺纹145a1与细牙螺纹孔141a相配合，调平件145a上开设有沿厚度方向贯穿的调平孔；球形垫片145b设于调平件145与顶升机构之间；连接件145c的一端穿过调平孔和球形垫片145b后与顶升机构5a相连。进一步地，调平孔的上部为六角沉头145a2，便于扳手拧入后进行调平操作，调平孔的中部为圆柱沉孔145a3，连接件145c的另一端卡设于圆柱沉孔145a3内，通过圆柱沉孔145a3与连接件145c的配合作用，避免了细牙外螺纹145a1的螺纹连接与变化的调平角度之间产生干扰，同时，球形垫片145b的上下垫片之间通过球面接触，保证了调平过程中，不因角度变化而影响调平效果。优选地，连接件145c为内六角螺钉。

根据本实用新型一个实施例，如图12所示，可调平吸附锁紧治具400还包括：加热板142和隔热板143，加热板142设于通用安装转接板141与顶升机构5a之间；隔热板143设于加热板142与顶升机构15a之间，加热板142和隔热板143上均开设有与调平螺栓组件145间隙配合的通孔。

根据本实用新型一个实施例，如图14所示，吸附锁紧治具144包括：本体144a，多个吸盘144b和真空接头144c，多个吸盘144b间隔开设在本体144a的上表面，吸盘144b上吸附有工件；真空接头144c设于本体144a的侧面，真空接头144c与多个吸盘144b相连通。

进一步地，吸附锁紧治具144还包括：补光板144d，补光板144d设于本体144a的上表面，补光板144d的上表面为镜面，便于视觉识别装置对工件识别轮廓时，利用镜面反光，使得轮廓识别的光源得到补强，提高了工件轮廓识别准确性。

使用时，将调平件145a拧入细牙螺纹孔141a内，随后将连接件145c放入调平孔内，转动连接件145c，使连接件145c下端与顶升机构固定，接着转动调平件145a进行校平，校平完成后，拧紧水平锁紧螺钉146完成调平螺栓组件145的锁紧。

如图16至图18所示，根据本实用新型实施例的自动称重断胶装置6a，包括：称重防风装置2b，称重防风装置2b内限定有第一容纳腔；称重装置1b，称重装置1b设于第一容纳腔内；流体分段装置4b，流体分段装置4b设于称重防风装置2b的上方，流体分段装置4b具有第二容纳腔，第二容纳腔与第一容纳腔相连通；流体接收容器3b，流体接收容器3b设于第二容纳腔内，流体接收容器3b位于称重装置1b的上方，流体接收容器3b具有断胶和称重两种状态，流体接收容器3b位于断胶状态时，流体接收容器3b向上运动以接收胶水，流体接收容器3b位于称重状态时，流体接收容器3b向下运动并置于称重装置1b上，以对胶水进行称重。本实用新型结构简单，通过将称重装置1b和流体接收容器3b置于容纳腔内，确保了称重过程无干扰，利用流体分段装置4b对胶水进行分段，确保每次测量的点胶量更加精确。

根据本实用新型一个实施例，如图16所示，称重防风装置2b包括：底板21和防风罩22，称重装置1b设于底板21的上表面；防风罩22盖设在称重装置1b的上方，且防风罩22与底板21的边缘密封连接，防风罩22的上端具有开口，流体分段装置4b设于开口上。

根据本实用新型一个实施例，如图17和图18所示，流体分段装置4b包括：密封底座411，密封罩47，秤盘412，抱紧环48和z向运动气缸41，密封底座411设在开口处，密封底座411的中部具有通孔；密封罩47位于密封底座411上，且密封罩47的下端设于通孔内，密封罩47具有上开口和下开口，下开口的内周缘向内凸起形成凸台47a；秤盘412设于密封罩47内，流体接收容器3b位于断胶状态时，秤盘412卡设于凸台47a上；抱紧环48套设于密封罩47上；z向运动气缸41的一端设在密封底座411上，z向运动气缸41的另一端通过气缸连接块42与抱紧环48相连，以驱动密封罩47上下运动。

根据本实用新型一个实施例，如图18所示，流体接收容器3b设于秤盘412上，流体接收容器3b包括：外锥面32和内锥面31，外锥面32的直径自上而下减小；内锥面31的直径自上而下增大，内锥面31设于外锥面32的内部，内锥面31的下沿与外锥面32的下沿相连，内锥面31与外锥面32之间形成胶水容纳腔。进一步地，内锥面31的上沿高于外锥面32的上沿，内锥面31和外锥面32均为锥台面。锥台面相对于直筒面，更容易与胶水接触，断胶时胶水更为容易沿内锥面31或外锥面32落下；同时内锥面31与外锥面32之间形成的胶水容纳腔的上部空间较大，使得胶头不会与内锥面31或外锥面32发生碰撞。

根据本实用新型一个实施例，如图17和图18所示，流体分段装置4b还包括：称重盖45，称重盖45设于上开口处，称重盖45上开设有断胶口45a，断胶口45a中心点的正投影落在内锥面31上，断胶口45a上还设有弹性环44，弹性环44对胶头进行缓冲，避免胶头与断胶口45a发生硬接触，这样设计使得胶头进入断胶口45a进行断胶时，胶头的中心处于内锥面31上方，胶水落入内锥面31上，并沿着内锥面31滑落。

根据本实用新型一个实施例，称重盖45的周侧面与上开口的内周面相连，称重盖45的周侧面上开设有两个环形槽45b和正压槽45d，正压槽45d位于两个环形槽45b之间。

根据本实用新型的一个优选实施方式，如图18所示，称重盖45上开设有扩气孔45f和多个导气孔45e，扩气孔45f位于断胶口45a的正下方，且扩气孔45f与断胶口45a相连通，扩气孔45f为开口向下的喇叭口；多个导气孔45e以断胶口45a中心点为圆心按圆形阵列布置，导气孔45e的一端连通扩气孔45f，导气孔45e的另一端连通正压槽45d，通过正压槽45d通入气体，同时利用导气孔45e将气体引入扩气孔45f中，喇叭口能够将气体集中向下喷出，确保气体向下运动时将胶水从胶头上剥离出。

根据本实用新型一个实施例，如图17所示，流体分段装置4b还包括：正压吹气接头46和真空负压接头49，正压吹气接头46与正压槽45d相连通；真空负压接头49设于外锥面32的下部，并与胶水容纳腔相连通，利用分别利用正压气体从胶头处吹气、负压气体从胶水容纳腔内吸气，保证了胶水沿着气体的自上而下的流动方向运动，便于胶水从胶头剥离。

根据本实用新型一个实施例，如图18所示，流体分段装置4b还包括：两个第一密封圈43和第二密封圈410，每个环形槽45b内均设有一个第一密封圈43；第二密封圈410设于密封罩47与密封底座411之间，通过设置第一密封圈43和第二密封圈410，确保了断胶和称重两个过程中，密封罩47和防风罩22内始终处于无风状态，避免了外界干扰，确保测量结果准确。

工作时，工件置于工件载板4c上，工件载板4c的两端在同步带13a的带动下沿x轴运动，入料检测光纤14检测工件载板4c是否进入输送组件中，减速检测光纤15检测到工件载板4c时，第一驱动电机13f开始减速，与此同时，入料翘曲检测光纤16对通过的工件上表面进行检测，若有工件发生翘曲则报警，当工件载板4c运动至到料检测光纤18时，到料挡料装置112向上升高完成对工件载板4c的阻挡，随后侧推组件17推动工件载板4c与基板10相抵，确保工件载板4c在x向和y向完成定位，随后顶升机构5a向上托起工件载板4c，同时可调平吸附锁紧治具400将工件进行吸附固定；高度测量装置2a和视觉识别装置3a在y向运动机构和x向运动机构的驱动下运动至工件上方，高度测量装置2a测量工件载板4c的高度后，由顶升机构5a进行高度补偿，进而完成z向定位，随后由视觉识别装置3a进行拍照检测；y向运动机构，x向运动机构和z向运动机构协同工作，将一流体分配器运动至一个芯片的正上方进行点胶加工，x向运动机构和另一z向运动机构协同工作将另一流体分配器运动至另一芯片上，再利用y向微调装置1a1在y向进行微调，使得另一流体分配器运动至另一芯片的正上方进行点胶加工；待加工完成后，出料时，由出料翘曲检测光纤113对工件进行二次检测，在由出料检测光纤111检测工件载板4c出料位置。

而每次设备启动或更换流体分配器时，对点胶量进行称重校准，z向运动气缸41向上带动密封罩47移动，使得凸台47a向上抬起秤盘412和流体接收容器3b，接着流体分配器的胶头伸入断胶口45a，并进入扩气孔45f中，正压吹气接头46和真空负压接头49工作，通过一吹一吸，将胶头上的胶水顺利引入到流体接收容器3b内，随后正压吹气接头46和真空负压接头49停止工作，z向运动气缸41向下运动，使得秤盘412和流体接收容器3b落在称重装置1b上进行称重。

如图19-图20所示，本发明提供的上下料机构1可以包括型材框架a1、料仓横移升降机构a2以及工件夹取搬运机构a3，料仓横移升降机构a2、工件夹取搬运机构a3均安装于型材框架a1内。

这里的型材框架a1可以根据实际需要设定尺寸和形状，本发明对此不进行过多限定。可选的，这里的型材框架a1可以是铝型材。

料仓横移升降机构a2上用于承载料仓a5，料仓横移升降机构a2用于将承载的料仓a5进行升降以及横移运动，以将料仓a5与工件夹取搬运机构a3相对。

在上料端的应用场景中，工件夹取搬运机构3用于从相对的料仓a5夹取出工件并上料至输送带上；或，在出料端的应用场景中，工件夹取搬运机构a3用于将输送带上的工件推送至相对的料仓a5内。

在一种可能的实现方式中，上下料机构还可以包括中间隔板a4，中间隔板a4用于间隔料仓横移升降机构a2所承载的料仓a5以及工件夹取搬运机构a3，中间隔板a4上开设有可供工件穿过的通孔。

料仓横移升降机构a2对所承载的料仓a5进行横移和升降，以将料仓a5与通孔相对，工件夹取搬运机构a3通过通孔夹取料仓a5内的工件，或将工件通过通孔推入至料仓a5内。

请参见图21所示，本发明提供的料仓横移升降机构a2可以包括：第二伺服电机a21、丝杠a22、第二联轴器a23、滑动螺母a24、升降平台a25、滑块连接板a26、第一竖向导轨a27、横移平台a28、第一型材立柱a29、横移模组a230和料仓平台a231。

丝杠a22的第一端通过第二联轴器a23与第二伺服电机a21连接，丝杠a22的第二端通过滑动螺母a24与升降平台a25连接，升降平台a25上安装有滑块连接板a26，滑块连接板a26安装在第一竖向导轨a27上，第二伺服电机a21通过丝杠a22带动升降平台a25沿着第一竖向导轨a27上下运动。

升降平台a25通过第一型材立柱a29连接横移平台a28，横移模组a230安装在第一型材立柱a29的上端部，横移平台a28上面安装料仓平台a231，料仓平台a231用于承载至少一个料仓a5。料仓a5可以在横移模组a230的带动下横向移动。

请参见图22-图24所示，本发明提供的工件夹取搬运机构a3可以包括搬送平台底板a31、第二型材立柱a32、横向导轨a33、滑动立柱安装块a34、导轨滑块a35a、滑块安装板a35b、移动安装竖板a36、固定立柱a37、固定安装竖板a38、输送带驱动组件、两根输送带a340和卡爪取料机构a341。

料仓a5内设多个上下堆叠的工件载板4c，移动安装竖板a36和固定安装竖板a38的一端与基板10的一端相靠近，便于工件载板4c从料仓a5输送至工件搬运装置1c上。

搬送平台底板a31安装于第二型材立柱a32上端。

横向导轨a33沿着第一水平方向安装于搬送平台底板a31的一端，滑动立柱安装块a34通过导轨滑块a35a和滑块安装板a35b安装于横向导轨a33上，移动安装竖板a36安装于滑动立柱安装块a34上。

固定立柱a37固定安装于搬送平台底板a31的另一端，且与移动安装竖板a36间隔相对设置，固定安装竖板a38安装于固定立柱a37上，两根输送带a340分别安装于移动安装竖板a36和固定安装竖板a38上，输送带驱动组件驱动两根输送带a340同步转动。

固定安装竖板a38上安装卡爪取料机构a341，卡爪取料机构a341朝向或远离相对的料仓a5运动，以将从料仓a5中夹取的工件放置于输送带上，或者将输送带上的工件推入至料仓a5内。

可选的，输送带驱动组件可以包括输送带动轮a391、输送带张紧惰轮a392和第一驱动电机a393，第一驱动电机a393的驱动端与输送带动轮a391连接，输送带a340缠绕于输送带动轮a391和输送带张紧惰轮a392上，第一驱动电机a393通过输送带动轮a391带动输送带a340转动。

在一种可能的实现方式中，卡爪取料机构a341可以包括皮带驱动组件和卡爪取料组件，卡爪取料组件安装于皮带驱动组件上，皮带驱动组件带动卡爪取料组件朝向或远离相对的料仓a5移动。

如图24所示，皮带驱动组件可以包括第二驱动电机a3411、第二主动轮a3412、第二从动轮a3413和皮带a3414，其中：第二驱动电机a3411、第二主动轮a3412、第二从动轮a3413均安装于固定安装竖板a38上，皮带a3414缠绕于第二主动轮a3412和第二从动轮a3413上，第二驱动电机a3411的驱动端与第二主动轮a3412连接，第二驱动电机a3411通过驱动第二主动轮a3412，以带动皮带a3414转动。

仍旧参见图24所示，卡爪取料组件可以包括夹爪a3415、气缸a3416、气缸安装块a3417、直线导轨a3418和滑动块a3419，其中：滑动块a3419的一端与皮带a3414固定连接，滑动块a3419的另一端安装于直线导轨a3418上，夹爪a3415安装于气缸a3416上，气缸a3416通过气缸安装块a3417固定于滑动块a3419上，直线导轨a3418沿着朝向相对的料仓a5设置；滑动块a3419在皮带a3414的带动下沿着直线导轨a3418移动，以带动卡爪朝向或远离相对的料仓a5移动。

在实际应用中，驱动电机正向转动，带动夹爪a3415朝向料仓a5移动，气缸a3416控制夹爪a3415打开及闭合，以实现对料仓a5内工件的夹取，驱动电机反向转动，带动夹爪a3415沿着直线导轨a3418远离料仓a5移动，以将夹持的工件放置于输送带驱动组件的输送带上。

气缸a3416控制夹爪a3415闭合，驱动电机正向转动，带动夹爪a3415推动输送带驱动组件的输送带上的工件。

如图25所示，本发明提供的工件夹取搬运机构a3还包括压轮组件a350，压轮组件a350包括压轮a351、橡胶圈a352、转轴a353、升降轴a354和机构块a355，其中：橡胶圈a352套设于压轮a351上，压轮a351通过转轴a353锁定于升降轴a354上，升降轴a354穿过机构块a355安装于移动安装竖板a36的上端，压轮a351位于移动安装竖板a36靠近固定安装竖板a38的内侧；压轮a351用于对卡爪取料机构a341夹持的工件进行压平。

综上所述，本发明提供的上下料机构1，将料仓横移升降机构和工件夹取搬运机构集成到同一台机器上，通过设置料仓横移升降机构可以实现料仓与工件夹取搬运机构的自动对接，为工件夹取搬运机构拾取料仓内的工件或将工件推入至料仓内提供了保障，另外，通过设置工件夹取搬运机构，实现从料仓内拾取工件并上料至输送带上的自动上料，以及将工件从输送带推送至料仓的自动出料，从而实现了工件的自动上料和自动下料，提高了工件上料、下料的效率，且结构可以同时适用于上料端和出料端，因此结构的适用性更强。

图26是本发明一个实施例中提供的散热盖贴装装置的外部示意图，图27是本发明一个实施例中提供的散热盖贴装装置的结构示意图，本发明提供的散热盖贴装装置可以包括输送轨道模块b1、贴装模块b2、散热盖上料装置b3和定位模块b4。

所述输送轨道模块b1被配置为将载板输送至装配工位，所述载板内承载有芯片；所述散热盖上料装置b3被配置为向吸取工位输送散热盖；所述定位模块b4安装于定位工位处。

所述贴装模块b2被配置为在所述吸取工位、所述定位工位以及所述装配工位之间移动，所述贴装模块b2在所述吸取工位吸取散热盖后移动至所述定位工位，所述定位模块b4对所述贴装模块b2吸取的散热盖进行定位识别，所述贴装模块b2在所述定位模块b4对吸取的散热盖定位识别后，将所述散热盖移动至所述装配工位，并将所述散热盖装配到所述装配工位处载板内的芯片上。

通常，所述散热盖贴装装置还可以包括设备框架b5，所述输送轨道模块b1、所述贴装模块b2、所述散热盖上料装置b3和所述定位模块b4安装于所述设备框架b5内，所述散热盖贴装装置还包括显示屏b6和折叠键盘b7，所述显示屏b6安装于所述设备框架b5的上方，所述折叠键盘b7安装于所述设备框架b5的侧面。

在一种可能的实现中，为了实现贴装模块b2在在所述吸取工位、所述定位工位以及所述装配工位之间的移动，本发明提供的所述散热盖贴装装置还可以包括贴装模块驱动组件b8，所述贴装模块驱动组件b8包括第二驱动电机b81、两个间隔平行安装的输送导轨b82以及搭载于两个所述输送导轨b82上的安装架b83，所述输送导轨b82横跨于所述输送轨道模块b1、所述定位模块b4和散热盖上料装置b3，所述第二驱动电机b81的驱动端与所述安装架b83传动连接，所述安装架b83的两端分别通过滑块安装于所述输送导轨b82上，所述贴装模块b2安装于所述安装架b83上，所述第二驱动电机b81通过所述安装架b83驱动所述贴装模块b2沿着所述输送导轨b82移动。

另外，贴装模块驱动组件b8还可以包括第三驱动电机b84，第三驱动电机b84的驱动端与贴装模块b2连接，以驱动贴装模块b2在安装架b83上沿着安装架b83移动。

图28是本发明一个实施例中提供的散热盖贴装装置吸取散热盖时的俯视图，图29是本发明一个实施例中提供的散热盖贴装装置装配散热盖时的俯视图，结合图28和图29，本发明中，通过输送轨道模块b1为将载板输送至装配工位；将散热盖承载件(承载有散热盖)上料至散热盖上料装置b3上，散热盖上料装置b3将散热盖承载件上料至吸取工位；贴装模块b2移动至吸取工位吸取散热盖，如图3所示，然后贴装模块b2将吸取的散热盖移动至定位工位，由定位模块b4对贴装模块b2吸取的散热盖进行定位识别；再然后贴装模块b2将吸取的散热盖移动至装配工位，并将所述散热盖装配到所述装配工位处载板内的芯片上，如图29所示，从而实现散热盖的自动上料、定位和装配，由于在对散热盖进行装配之前可以对散热盖进行定位，在装配的过程中可以根据对散热盖的定位信息进行装配，使得装配更为精准，符合装配的工艺要求。

下面对散热盖贴装装置中几个主要模块进行解释说明。

在一种可能的实现方式中，输送轨道模块b1可以包括输送轨道、顶升定位模块b4，所述顶升定位模块b4位于所述输送轨道的上料端和下料端之间，所述输送轨道在所述输送轨道的上料端接收载板，将所述载板输送至所述顶升定位模块b4的上方，所述顶升定位模块b4向上顶升所述载板并在顶升到位后对所述载板进行定位固定。所述输送轨道在所述载板内芯片的散热盖装配封装完成后，将所述载板输送至所述输送轨道的下料端进行出料。

结合图30A和图30B，对本发明提供的贴装模块2进行解释说明。

图30A是本发明一个实施例中提供的贴装模块的结构示意图，图30B是本发明一个实施例中提供的贴装模块的剖视图，图30C是本发明一个实施例中提供的贴装模块的正面示意图，结合图30A至图30C所示，本发明提供的贴装模块b2可以包括负压供气组件、真空吸盘b21、角度调整组件、压力传感器b22、传动组件、传导杆b23、弹簧b24。

负压供气组件的气管接头b251与真空吸盘b21的进气口连通，以向真空吸盘b21提供负压。也就是说，负压供气组件通过气管接头b251向真空吸盘b21提供负压。

真空吸盘b21安装于传动组件的第一端，传动组件的第二端与弹簧b24的第一端相抵设置，弹簧b24的第二端与传导杆b23的第一端相抵设置，传导杆b23的第二端与压力传感器b22相抵设置。这样，当真空吸盘b21吸附散热盖之后，传动组件会通过弹簧b24向压力传感器b22传递压力，使压力传感器b22感知到真空吸盘b21对吸附的散热盖的压力值。

角度调整组件与真空吸盘b21传动连接，角度调整组件带动真空吸盘b21进行角度调节。也就是说，角度调整组件可以带动真空吸盘b21旋转，以调节真空吸盘b21与水平方向上的角度。比如，角度调整组件可以带动真空吸盘b21在360°的方位上进行角度调节。

在一种可能的实现方式中，负压供气组件可以包括气管接头b251、密封腔体b252、密封圈，其中：气管接头b251进入密封腔体b252，密封腔体b252与真空吸盘b21连通，密封腔体b252通过密封圈密封。

密封圈的数量可以根据密封腔体b252的实际情况进行设定，比如图27中的第三密封圈b253和第四密封圈b254。

在一种可能的实现方式中，传动组件可以包括花键b26，花键b26为中空结构，花键b26的预定段上设置有通孔，该预定段设置于密封腔体b252内，密封腔体b252通过花键b26的通孔和中空结构与真空吸盘b21连通。

气管接头b251进入密封腔体b252，气管接头b251另一端连通至负载提供装置上，这样负载提供装置会将负压通过气管接头b251导入至密封腔体b252内；又由于花键b26为中空结构，且在密封腔体b252内的部分设置有通孔，因此可以将密封腔体b252内的负压连通至真空吸盘b21，实现对真空吸盘b21的吸附控制。

可选的，花键b26上端与弹簧b24的第一端相抵，花键b26上下运动传递到弹簧b24上，弹簧b24形变产生的压力通过传导杆b23传递到压力传感器b22，也就是说，当真空吸盘b21吸附散热盖之后，花键b26会通过弹簧b24将压力传递到压力传感器b22，压力传感器b22感知压力的大小，从而可以对真空吸盘b21所吸附散热盖时产生的压力进行实时监控。

为了便于调节弹簧b24的初始压缩量，本发明提供的贴装模块b2还可以包括预压力调节座b27，预压力调节座b27安装于压力传感器b22上方，以用于调节弹簧b24的初始压缩量。

在一种可能的实现方式中，角度调整组件可以包括第三伺服电机b281、第三联轴器b282、第一同步轮b283、皮带、第二同步轮b285、传动套b286、转轴b287。

第三伺服电机b281的驱动杆通过第三联轴器b282与第一同步轮b283传动连接；第一同步轮b283固定于转轴b287的第一端，第二同步轮b285和传动套b286均固定于转轴b287的第二端，第二同步轮b285和传动套b286随着转轴b287同步旋转。

皮带套设于第一同步轮b283和第二同步轮b285上，传动套b286套设固定于传动组件的花键b26上。

当传动组件包括上述的花键b26时，这里所讲的传动套b286通常是指花键b26套。

在实际应用中，通常还需要对皮带进行张紧，为了便于调节皮带的张紧度，角度调整组件还可以包括皮带张紧螺丝b288，皮带张紧螺丝b288用于调节皮带的张紧力。

通常，贴装模块b2的吸附面在安装之后可能是倾斜的，为了保证工艺要求，本发明中提供的贴装模块b2还可以包括调平组件，调平组件与真空吸盘b21传动连接，以调节真空吸盘b21的水平角度。

在一种可能的实现方式中，贴装模块b2还可以包括支架，支架包括作用支架b296和调节支架b297，真空吸盘b21安装于作用支架b296上。此外，负压供气组件、角度调整组件、压力传感器b22、传动组件、传导杆b23、弹簧b24等也固定于作用支架b296上。

调平组件可以包括第一调平板b291和第二调平板b292，第一调平板b291通过调节转轴b293安装于调节支架b297上，调节支架b297通过第二调平板b292固定于作用支架b296上。

如图30A和图30C所示，调平组件还可以包括第一调平螺丝b294和第二调平螺丝b295，第二调平板b292上下固定设置有第一螺丝穿孔座和第二螺丝穿孔座，第一调平螺丝b294穿过第一螺丝穿孔座***至第一调平板b291的上端部，第二调平螺丝b295穿过第二螺丝穿孔座***至第二调平板b292的下端部。

第一调平螺丝b294朝向第一调平板b291拧进时，带着第一调平板b291沿着调节转轴b293逆时针转动；第二调平螺丝b295朝向第一调平板b291拧进时，带着第二调平板b292沿着调节转轴b293顺时针转动。

请参见图30D所示，其是本发明一个实施例中提供的真空吸盘被调平时的示意图，对真空吸盘21调平前为图30D中的(a)所示，调平后为图30D中的(b)所示。

本发明提供的贴装模块，通过设置角度调整组件可以比较精确地调整真空吸盘的角度，可满足不同尺寸规格的散热盖贴装，通过设置压力传感器可以实时监控真空吸盘对吸附的工件的压力，实现贴装时的压力反馈，满足了工艺要求的同时，也避免了产品在装配过程中压坏的风险。另外，通过设置高精度的角度调整组件可以保证装配的准确性。

结合图31A和图31B，对本发明提供的散热盖上料装置进行解释说明。

图31A是本实用新型一个实施例中提供的散热盖承载件b3的上下料装置的结构示意图，图31B是本实用新型一个实施例中提供的散热盖承载件b3的上下料装置的俯视图，结合图31A和图31B，本发明提供的散热盖承载件b3的上下料装置可以包括上料部b31、取料定位部b32、下料部b33，以及横跨于上料部b31、取料定位部b32和下料部b33的第一横移组件b34。

上料部b31将散热盖承载件b35顶升到位后，第一横移组件b34将散热盖承载件b35从上料部b31移动至取料定位部b32，取料定位部b32对散热盖承载件b35进行定位固定，取料机构对散热盖承载件b35上的散热盖进行取料，第一横移组件b34将取料后的散热盖承载件b35从取料定位部b32移动至下料部b33。

一般来讲，取料定位部b32位于上料部b31和下料部b33之间，以减少第一横移组件b34的移动行程，且空间排布简单，空间利用率高。

在一种可能的实现方式中，上料部b31可以包括第一顶升板b32、顶升定位传感器b312和第一顶升组件b313，第一横移组件b34包括夹紧气缸和夹块b342。其中，第一顶升组件b313的顶升端上安装第一顶升板b32，第一顶升板b32上方用于承载散热盖承载件b35；夹紧气缸的驱动端与夹块b342连接，以驱动夹块b342开合；第一顶升组件b313顶升散热盖承载件b35到传感器处，夹紧气缸带动夹块b342夹紧散热盖承载件b35。

这里所讲的顶升定位传感器b312可以是光电传感器等，光电传感器通常包括相对安装的光线发射器和光线接收器，当散热盖承载件b35被顶升至光线发射器和光电接收器之间时，光线接收器会产生变化的电信号，从而判定散热盖承载件b35被顶升至光电传感器位置。

可选的，第一顶升组件b313可以包括第一顶升电机b3131、第一顶升导轨b3132和第一顶升丝杠b3133，第一顶升板b32通过第一滑块b3134安装于第一顶升导轨b3132上，第一顶升丝杠b3133安装于第一顶升电机b3131和第一顶升板b32之间，第一顶升电机b3131通过第一顶升丝杠b3133带动第一顶升板b32沿着第一顶升导轨b3132上下移动。

在实际应用中，散热盖承载件b35可以是承载散热盖的Tray上料板b3，也可以承载散热盖的***。

以散热盖承载件b35为Tray上料板b3为例，上料部b31的Tray上料板b3位于第一顶升板b32上方，Tray上料板b3上承载散热盖，第一顶升组件b313通过第一顶升板b32顶升Tray上料板b3，以将Tray上料板b3顶升至顶升定位传感器b312位置处；上料部b31还包括第一横向滑轨b314，Tray上料板b3在外力作用下沿着第一横向滑轨b314上料至第一顶升板b32的正上方。

为了便于操作人员对Tray上料板b3进行操作，可以在Tray上料板b3的端部固定安装有把手b36，操作人员通过操作把手b36作用于Tray上料板b3，以实现在第一横向滑轨b314上的抽拉，对应的，Tray上料板b3在外力作用(通常可以指操作人员的施力，当然也可以通过其他机械施力的形式)下沿着第一横向滑轨b314上料至第一顶升板b32的正上方。

取料定位部b32可以包括多个顶升定位块b321，第一横移组件b34还包括移动件b341、移动件b341驱动模组，夹块b342气缸固定安装于移动件b341上，移动件b341驱动模组驱动移动件b341转动，移动件b341带动夹紧气缸和夹块b342运动，以将夹块b342夹持的散热盖承载件b35移动至顶升定位块b321上方，顶升定位块b321上升***至散热盖承载件b35的对应插孔，实现散热盖承载件b35的定位固定。

可选的，多个顶升定位块b321分别位于取料定位部b32的两端，以保证对散热盖承载件b35定位时的施力均衡，降低散热盖承载件35的角度偏移。

在散热盖承载件b35上的散热盖被取完后，移动件b341驱动模组驱动移动件b341转动，以将散热盖承载件b35移动至下料部b33，夹块b342打开将散热承载件释放至下料部b33。

这里所讲的移动件b341可以是皮带，对应的移动件b341驱动模组可以包括驱动器(比如电机等)、主动轮、从动轮，主动轮和从动轮分别间隔设置于上料部b31的外侧和下料部b33的外侧，驱动器的驱动端与主动轮连接，皮带缠绕于主动轮和从动轮上，驱动器驱动主动轮，以带动皮带在上料部b31和下料部b33之间转动。

这里所讲的移动件b341也可以是丝杠，对应的移动件b341驱动模组可以驱动电机，驱动电机的驱动端安装丝杠，驱动电机带动丝杠转动。

当散热盖承载件b35是Tray上料板b3时，由于散热盖通常是直接放置于Tray上料板b3上的，散热盖的上方或周边没有遮挡，取料头可以直接从Tray上料板b3上拾取散热盖。而在散热盖承载件b35为***时，由于散热盖被装载于***中，取料头在从***中取料时，通常需要先将散热盖从***中顶出或顶升至***的上端部，以便取料头拾取散热盖。

为了兼容通过***实现散热盖的上料方式，请参见图31C和图31D所示，本发明中提供的取料定位部b32还可以包括顶升上料组件b322，顶升上料组件b322包括上料电机b3221、上料丝杠b3222、顶升杆b3223、第二竖向导轨b3224和同步带，上料电机b3221与上料丝杠b3222上的丝杠螺母传动连接，顶升杆b3223安装于丝杠螺母上，丝杠螺母通过滑块安装于第二竖向导轨b3224上，上料电机b3221带动丝杠螺母沿着第二竖向导轨b3224向上运动，顶升杆b3223将***内的散热盖顶升脱离***。

仍旧参见图31A和图31B所示，下料部b33可以包括：第二顶升板b331和第二顶升组件b332，其中：第二顶升组件b332的顶升端上安装第二顶升板b331，第二顶升板b331上方用于承载取料后的散热盖承载件b35；第二顶升组件b332带动第二顶升板b331上升或下降。

类似的，第二顶升组件b332可以包括第二顶升电机、第二顶升导轨和第二顶升丝杠，第二顶升板b331通过滑块安装于第二顶升导轨上，第二顶升丝杠安装于第二顶升电机和第二顶升板b331之间，第二顶升电机通过第二顶升丝杠带动第二顶升板b331沿着第二顶升导轨上下移动。

散热盖承载件b35为Tray上料板b3，下料部b33还可以包括第二滑轨b333，Tray上料板b3位于第二顶升板b331上方，第二顶升组件b332通过第二顶升板b331带动取料后的Tray上料板b3下降，以将Tray上料板b3放置于第二滑轨b333上，Tray上料板b3在外力作用下沿着第二滑轨b333移动，以从下料部b33抽出。

在实际应用中，以散热盖承载件b35为Tray上料板b3为例，首先，操作人员将Tray上料板b3放置于上料部b31，比如图31E中将Tray上料板b37推送至上料部b31的顶升板上，上料部b31的第一顶升组件b313将Tray上料板b37顶升至顶升定位传感器b312位置后，加紧气缸驱动夹块b342以夹住Tray上料板b37；然后横移模组通过移动件b341带动加紧气缸和夹块b342横移，进而实现将Tray上料板b37移动至取料定位部b32，如图31F所示，取料定位部b32的顶升定位块b321对Tray上料板b37进行定位；取料头从Tray上料板b37上拾取散热盖，在拾取完成后，横移模组继续将空的Tray上料板b37移动至下料部b33的第二顶升板b331上，如图31G所示。

若散热盖承载件b35为***时，通常在***移动至取料定位部b32并定位后，顶升上料组件b322会顶升***内的散热盖，以便于取料头从***内拾取散热盖。其余的工作流程均与Tray上料板b37类似。

本发明提供的散热盖承载件b3的上下料装置，通过设置横跨于上料部b3、取料定位部b3和下料部b3的第一横移组件b3，通过第一横移组件b3将在上料部b3上料的散热盖承载件b3移动至取料定位部b3进行取料，在取料完成后再通过第一横移组件b3将空的散热盖承载件b3输送至下料部b3进行下料，实现了散热盖承载件b3的自动上下料，避免了停机上料或停机下料的方式，为生产线的连续作业提供了保障。利用通过在取料定位部b3设置顶升上料组件b3，使得散热盖承载件b3的上下料装置可以兼容***式上料的应用，满足了更多的使用需求。

综上所述，本发明提供的散热盖贴装装置，通过设置定位模块，可以对吸取的散热盖进行定位，然后再将散热盖装配至载板内的芯片上，提高了散热盖装配的精度。

另外，在设置贴装模块时，由于设置了角度调整组件，可以比较精确地调整真空吸盘的角度，可满足不同尺寸规格的散热盖贴装，通过设置压力传感器可以实时监控真空吸盘对吸附的工件的压力，实现贴装时的压力反馈，满足了工艺要求的同时，也避免了产品在装配过程中压坏的风险。

通过在输送轨道模块内设置横跨于上料部、取料定位部和下料部的第一横移组件，通过第一横移组件将在上料部上料的散热盖承载件移动至取料定位部进行取料，在取料完成后再通过第一横移组件将空的散热盖承载件输送至下料部进行下料，实现了散热盖承载件的自动上下料，避免了停机上料或停机下料的方式，为生产线的连续作业提供了保障。

图32是本发明一个实施例中提供的热压装置的结构示意图，本发明提供的热压装置可以包括检测部(图32中示出了第一检测部c100和第二检测部c101)、加热保压部c20和输送装置c30。

在一种可能的实现方式中，检测部为一个，检测部设置于加热保压部c20的前道工位或后道工位。

在另一种可能的实现方式中，如图32所示，检测部为两个，两个检测部分别设置于加热保压部c20的前道工位和后道工位，分别为第一检测部c100和第二检测部c101。

在实际应用中，可以根据分析需要将检测部设置在加热保压部c20的前道工位和/或后道工位。

在实际生产中，输送装置c30将装载有工件c50的载物治具c40输送至检测部和加热保压部c20。

检测部对工件c50上至少一处位置的工件额高度进行测量并对工件c50的外观进行检测。

这里所讲的工件额高度是指工件c50上一位置处的高度与载物治具c40上与位置相差预定距离位置处的高度之间的高度差值。

比如，在工件c50的一个位置A处的高度为Ha，载物治具c40上与该位置A相差预定距离位置处A’的高度为ha，则产生的一组工件额高度为△ha＝ha-Ha。这里所讲的预定距离通常可以根据工件c50的尺寸来设定，一般来讲，用于计算工件额高度的工件c50上的位置以及载物治具c40上的位置之间距离非常接近，这样产生的计算误差会比较低。

加热保压部c20对位于加热保压部c20位置处的工件c50进行加热保压。

请参见图33所示，其是本发明一个实施例中提供的检测部的结构示意图，检测部可以包括第二横移组件c11、测高传感器头c12和AOI相机C13，测高传感器头c12和AOI相机C13安装于第二横移组件c11上，并在第二横移组件c11的带动下在水平调节方向上移动，水平调节方向与输送装置c30的输送方向垂直。

测高传感器头c12对工件c50的预定位置处以及载物治具c40上与预定位置相差预定距离的位置处进行测高；AOI相机C13对工件c50的外观进行拍照检测。

在一种可能的实现方式中，如图32所示，检测部为两个，分别为位于加热保压部c20前道工位的第一检测部c100和位于加热保压部c20后道工位的第二检测部c101。

第一检测部c100可以对工件c50上至少一处位置的工件额高度进行测量并对工件c50的外观进行检测，得到第一组检测数据。

比如，测高传感器头c12对工件c50的3个位置(可以多个位置)进行测高(高度数据H1、H2、H3...)，并对载物治具c40与工件c50测试点位置相近的点也进行测高(高度数据h1、h2、h3...)，对于测试点就产生了工件额高度：(△h1、△h2、△h3...)，其中△h1＝h1-H1，△h2＝h2-H2，△h3＝h3-H3…。

第二检测部c101可以对工件c50上至少一处位置的工件额高度进行测量并对工件c50的外观进行检测，得到第二组检测数据。

比如，测高传感器头c12对工件c50的3个位置(可以多个位置)进行测高(高度数据H1’、H2’、H3’...)，并对载物治具c40与工件c50测试点位置相近的点也进行测高(高度数据h1’、h2’、h3’...)，对于测试点就产生了工件额高度：(△h1’、△h2’、△h3’...)。

通常，热压装置还包括与第一检测部c100和第二检测部c101电性连接的处理器，处理器根据第一组检测数据和第二组检测数据，判定加热保压部c20对工件c50进行加热保压的工艺是否符合要求。

一般来讲，第二组检测数据和第一组检测数据的检测位置相同，这样，可以根据第一组检测数据和第二组检测数据的对比，判定加热保压的工艺是否符合要求。

比如，在加热保压后，工件额高度的变化率要低于预定阈值，根据第二组检测数据和第一组检测数据进行计算，得到的变化率低于预定阈值，则表明加热保压的工艺符合要求；否则，则判定加热保压的工艺不符合要求。

这里的变化率在一种可能的实现中，可以计算第二组检测数据与第一组检测数据之间的差值，将该差值的绝对值除以第一组检测数据，得到变化率。

在实际生产中，当检测出工件c50的外观不合格时，通常需要剔除这些不合格的工件c50，因此，本发明提供的检测部还可以包括移送装置和回收料盒，AOI相机C13在检测到工件c50的外观不合格时，移送装置将工件c50和/或载物治具c40搬运至回收料盒。

综上所述，本发明提供的热压装置，通过在加热保压的工序前后增加对工件额高度以及工件的外观AIO检测，增加了对加热保压效果的判定因素，提高了工件封装的优良率。

其中，在加热保压工序之前增加工件的外观检测，便于直接剔除不良工件，仅对合格的工件进行加热保压，进而避免了对不良工件的加热保压，提高了工件封装的优良率；在加热保压工序之后增加工件的外观检测，便于剔除加热保压后产生质量问题的不良工件，避免了将加热保压后的不良工件流入到后续的封装工序中，也进一步提高了工件封装的优良率；在加热保压工序之前和加热保压工序之后均增加工件的外观检测以及工件额高度检测，从而可以根据工件在加热保压前后的检测数据，分析加热保压工序是否符合要求，进而可以优化加热保压工序中的相应工序、结构或参数。

图34是本发明一个实施例中提供的压力加载装置的结构示意图，图35是本发明一个实施例中提供的压力加载装置的剖视图，结合图34和图35，本发明提供的压力加载装置d1可以包括施压装置底板d11、低摩擦气缸d12、直线轴承d13、压力导向杆d14、隔热工件压板d15、温度传感器头d16和工件压板防转板d17，各部件的安装关系如下：

低摩擦气缸d12的推杆与压力导向杆d14的第一端连接。一般来讲，在对工件进行施压时的施压方向向下，因此低摩擦气缸d12的推杆通常竖向设置，即低摩擦气缸d12位于压力导向杆d14的上方，且低摩擦气缸d12的推杆与压力导向杆d14的第一端连接。

压力导向杆d14安装于施压装置底板d11内且压力导向杆d14的第二端安装有一个隔热工件压板d15，温度传感器安装于隔热工件压板d15的施压面，以便于对所施压的工件的温度进行实时测试。

直线轴承d13设置于施压装置底板d11内，压力导向杆d14容置于直线轴承d13内，直线轴承d13可以对压力导向杆d14进行支撑和导向。

工件压板防转板d17安装于施压装置底板d11的下方，隔热工件压板d15容置于工件压板防转板d17的防转槽内。

在本发明的一种可能的实施例中，一个低摩擦气缸d12对应一个压力导向杆d14，一个压力导向杆d14下方对应安装一个隔热工件压板d15，每个隔热工件压板d15的施压面均安装一个温度传感器，一个隔热工件压板d15通常用于对一个工件进行施压。

为了保证低摩擦气缸d12的安装和固定，本发明提供的压力加载装置d1还可以包括气缸安装底板d18，低摩擦气缸d12安装于气缸安装底板d18上。

可选的，本发明提供的压力加载装置d1还可以包括连接柱d19，连接柱d19的两端分别安装于气缸安装底板d18和施压装置底板d11上。

为了防止隔热工件压板d15在对工件施压过程中转动，隔热工件压板d15可以为方形设计，工件压板防转板d17的防转槽与隔热工件压板d15的形状匹配。

在一种可能的实现方式中，请参见图36所示，其是本发明一个实施例中提供的气缸施压原理的气路控制示意图，本发明提供的压力加载装置d1还可以包括储气罐d110和气腔管道，储气罐d110通过气腔管道与低摩擦气缸d12的进气口连通。

储气罐d110可以增加回路中的气腔，减少气压变化影响气缸的输出压力值。

压力加载装置d1还可以包括电气控制单元和电气比例阀d111，电气控制单元与电气比例阀d111电性连接，电气比例阀d111安装于气腔管道上，电气控制单元控制电气比例阀d111出口的气压压力值，电气比例阀d111出口的气压进入低摩擦气缸d12，使低摩擦气缸d12的推杆有压力施加。

在实际应用中，电气比例阀d111的压力值通常为设置的预定压力，预定压力根据压力导向杆d14、隔热工件压板d15和温度传感器头d16的总重量以及工件所被施压的压力值设定。

工件所需压力值为：压力导向杆d14、方形隔热工件压板d15、温度传感器头d16的总重量G加上气缸的推力。工件所需压力值F如下：

F＝G+Pa*S

其中，F为向工件施压的压力，Pa为电气比例阀d111设定的压力值，S为低摩擦气缸d12的缸径面积。

由上述公式可知，需要调整F的值，只要调整电气比例阀d111设定的压力值来改变。

综上所述，本发明提供的压力加载装置，通过在压力加载装置中设置低摩擦气缸，通过低摩擦气缸的推力实现对工件的施压，解决了在利用砝码对工件施压时的局限，减轻了压力加载装置的重量；通过设置温度传感器头可以对施压的工件的温度进行实时测量，可以随时掌控在施压过程中工件的温度变化。

另外，通过设置电气比例阀，可以根据压力导向杆、所述隔热工件压板和所述温度传感器头的总重量以及所述工件所被施压的压力值来设定电气比例阀的压力，使得电气比例阀出口的气压压力值施加于低摩擦气缸上压力可控，进而可以减少因施压压力过大或过小产生的不良品。

图37是本发明一个实施例中提供的工件施压设备的结构示意图，图38是本发明一个实施例中提供的工件施压设备的剖视图，结合图37和图38，本发明提供的工件施压设备可以包括加热顶升组件d2、工件治具组件d3和压力加载装置d1，这里所讲的压力加载装置d1可以参见图34和图35所示，这里就不再赘述。需要说明的是此处的工件施压设备即是加热保压部c20的其中一种结构。

工件治具组件d3位于加热顶升组件d2的上方，用于承载待施压的工件。

压力加载装置d1与加热顶升组件d2的顶升端相对设置，用于对工件治具组件d3所承载的工件进行施压。

输送机构将工件治具组件d3输送至加热顶升组件d2的上方时，加热顶升组件d2对工件治具组件d3内的工件进行加热，且将工件治具组件d3顶升至压力加载装置d1的下压面，压力加载装置d1中的低摩擦气缸d12推动压力导向杆d14对工件进行施压，压力加载装置d1中的温度传感器头d16对工件上的温度进行感知。

由于加热顶升组件d2对工件有加热作用，因此，本发明提供的工件施压设备还可以包括控制单元，温度传感器头d16与控制单元电性连接，温度传感器头d16检测到工件的温度未处于预定温度范围内时，即对工件的加热温度不合适时，可以利用控制单元调整加热顶升组件d2的加温值，从而更好的监控生产过程。

可选的，压力加载装置d1中的电气控制单元控制电气比例阀d111出口的气压压力值，使低摩擦气缸d12在恒定的压力值下推动压力导向杆d14对工件进行施压。在整个施压过程中，电气比例阀d111设定的压力保持不变，工件的压力值也会保持不变。

在实际应用中，输送机构将工件治具组件d3输送至加热顶升组件d2的上方时，加热顶升组件d2对工件治具组件d3内的工件进行加热，加热顶升组件d2将工件治具组件d3顶升，使工件接触压力加载装置d1的隔热工件压板d15，再继续顶起预定距离以使隔热工件压板d15推动压力导向杆d14来压缩低摩擦气缸d12的推杆，使低摩擦气缸d12的压力施加于工件。

综上所述，本发明提供的工件施压设备，通过在压力加载装置中设置低摩擦气缸，通过低摩擦气缸的推力实现对工件的施压，解决了在利用砝码对工件施压时的局限，减轻了压力加载装置的重量；通过设置温度传感器头可以对施压的工件的温度进行实时测量，可以随时掌控在施压过程中工件的温度变化。

另外，通过设置电气比例阀，可以根据压力导向杆、所述隔热工件压板和所述温度传感器头的总重量以及所述工件所被施压的压力值来设定电气比例阀的压力，使得电气比例阀出口的气压压力值施加于低摩擦气缸上压力可控，进而可以减少因施压压力过大或过小产生的不良品。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (14)

1.一种工件点胶贴装设备，其特征在于，包括：

两个上下料机构(1)、双阀异步点胶装置(2)、散热盖贴装装置(3)和热压装置(4)；

工件在所述两个上下料机构(1)之间活动，一所述上下料机构(1)用于对待加工的工件进行上料，另一所述上下料机构(1)用于对已加工的工件进行下料；

所述双阀异步点胶装置(2)、散热盖贴装装置(3)和热压装置(4)沿所述工件的活动方向依次设在所述两个上下料机构(1)之间。

2.根据权利要求1所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述双阀异步点胶装置(2)包括：

框架(100)；

工件输送装置(200)，所述工件输送装置(200)设于所述框架(100)内，所述工件输送装置(200)上承载有工件；

高度自动补偿稳定测量装置(300)，所述高度自动补偿稳定测量装置(300)的补偿部设于所述工件的下方，所述高度自动补偿稳定测量装置(300)的测量部设于所述框架(100)上，并位于所述工件的上方，以对所述工件进行测量；

可调平吸附锁紧治具(400)，所述可调平吸附锁紧治具(400)设于所述高度自动补偿稳定测量装置(300)的补偿部上，所述可调平吸附锁紧治具(400)可在所述补偿部的带动下向上移动，以托起所述工件。

3.根据权利要求2所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述工件输送装置(200)包括：

工件搬运装置(1c)，所述工件搬运装置(1c)用以输送工件沿x向运动，所述工件搬运装置(1c)包括：

两个输送组件，所述两个输送组件关于xz平面对称布置；

多个检测光纤，所述多个检测光纤设于所述第一输送组件和所述第二输送组件上，用以检测工件的输送状态；

工件载板(4c)，所述工件载板(4c)设于所述两个输送组件上，所述工件载板(4c)上承载有工件。

4.根据权利要求2所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述高度自动补偿稳定测量装置(300)包括：

三维运动平台(1a)，所述三维运动平台(1a)设于所述工件输送装置(200)的上方，所述三维运动平台(1a)上设有高度测量装置(2a)和视觉识别装置(3a)，所述高度测量装置(2a)和所述视觉识别装置(3a)在所述三维运动平台(1a)的驱动下在xy平面内活动；

顶升机构(5a)，所述顶升机构(5a)设于所述工件的下方，所述顶升机构(5a)的一部分可沿z轴活动，以将所述工件顶起。

5.根据权利要求4所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述三维运动平台(1a)包括：

y向运动机构；

x向运动机构，所述x向运动机构设于所述y向运动机构上，所述y向运动机构驱动所述x向运动机构沿y轴活动，所述高度测量装置(2a)和所述视觉识别装置(3a)设于所述x向运动机构上；

两个z向运动机构，所述两个z向运动机构设于所述x向运动机构上，所述x向运动机构驱动所述两个z向运动机构沿x轴活动，一所述z向运动机构上设有一流体分配器；

一个y向微调装置(1a1)，所述y向微调装置(1a1)设于另一所述z向运动机构上，所述z向运动机构驱动所述y向微调装置(1a1)沿y轴活动，所述y向微调装置(1a1)上设有另一流体分配器，所述y向微调装置(1a1)驱动另一流体分配器沿y轴微调；

所述y向微调装置(1a1)包括：

壳体(1a11)，所述壳体(1a11)外设有直线导轨组件(1a16)；

第一伺服电机(1a12)，所述第一伺服电机(1a12)设在所述壳体(1a11)的一侧；

第二丝杆轴(1a13)，所述第二丝杆轴(1a13)转动设在所述壳体(1a11)内，所述第二丝杆轴(1a13)与所述第一伺服电机(1a12)的输出端相直联；

活动块(1a14)，所述活动块(1a14)的一部分滑动设在所述直线导轨组件(1a16)上，所述活动块(1a14)的另一部分通过螺母滑块(1a15)活动设在所述第二丝杆轴(1a13)上，所述活动块(1a14)上设有另一流体分配器。

6.根据权利要求2所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述可调平吸附锁紧治具(400)包括：

通用安装转接板(141)，所述通用安装转接板(141)为直板件，所述通用安装转接板(141)的四周设有四个调平螺栓组件(145)，所述调平螺栓组件(145)将所述通用安装转接板(141)固定在顶升装置上，通过拧动四个调平螺栓组件(145)以调节通用安装转接板(141)的上表面达到平行；

吸附锁紧治具(144)，所述吸附锁紧治具(144)设于所述通用安装转接板(141)的上表面，所述吸附锁紧治具(144)上承载有工件。

7.根据权利要求6所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述通用安装转接板(141)沿厚度方向开设有四个细牙螺纹孔(141a)，所述调平螺栓组件(145)的一端设于所述细牙螺纹孔(141a)内，所述调平螺栓组件(145)的另一端与所述顶升装置相连；所述通用安装转接板(141)沿厚度方向开设有四条缝隙(141b)，所述缝隙(141b)连通所述细牙螺纹孔(141a)；

所述通用安装转接板(141)的四周设有四个水平锁紧螺钉(146)，所述水平锁紧螺钉(146)贯穿所述缝隙(141b)，转动所述水平锁紧螺钉(146)以调节所述缝隙(141b)的大小，进而调节所述细牙螺纹孔(141a)的大小；所述水平锁紧螺钉(146)的轴线与所述调平螺栓组件(145)的轴线相垂直。

8.根据权利要求7所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述调平螺栓组件(145)包括：

调平件(145a)，所述调平件(145a)为柱形件，所述调平件(145a)的外周缘上设有细牙外螺纹(145a1)，所述细牙外螺纹(145a1)与所述细牙螺纹孔(141a)相配合，所述调平件(145a)上开设有沿厚度方向贯穿的调平孔；

球形垫片(145b)，所述球形垫片(145b)设于所述调平件(145)与所述顶升装置之间；

连接件(145c)，所述连接件(145c)的一端穿过所述调平孔和所述球形垫片(145b)后与所述顶升装置相连；

所述调平孔的上部为六角沉头(145a2)，所述调平孔的中部为圆柱沉孔(145a3)，所述连接件(145c)的另一端卡设于所述圆柱沉孔(145a3)内。

9.根据权利要求2所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述双阀异步点胶装置(2)还包括：

自动称重断胶装置(400)，所述自动称重断胶装置(400)设于所述工件输送装置(200)上，所述自动称重断胶装置(400)包括：

称重防风装置(2b)，所述称重防风装置(2b)内限定有第一容纳腔；

称重装置(1b)，所述称重装置(1b)设于所述第一容纳腔内；

流体分段装置(4b)，所述流体分段装置(4b)设于所述称重防风装置(2b)的上方，所述流体分段装置(4b)具有第二容纳腔，所述第二容纳腔与所述第一容纳腔相连通；

流体接收容器(3b)，所述流体接收容器(3b)设于所述第二容纳腔内，所述流体接收容器(3b)位于所述称重装置(1b)的上方，所述流体接收容器(3b)具有断胶和称重两种状态，所述流体接收容器(3b)位于断胶状态时，所述流体接收容器(3b)向上运动以接收胶水，所述流体接收容器(3b)位于称重状态时，所述流体接收容器(3b)向下运动并置于所述称重装置(1b)上，以对所述胶水进行称重。

10.根据权利要求1所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述上下料机构(1)包括：型材框架(a1)、料仓横移升降机构(a2)以及工件夹取搬运机构(a3)，其中：

所述料仓横移升降机构(a2)、所述工件夹取搬运机构(a3)均安装于所述型材框架(a1)内；

所述料仓横移升降机构(a2)上用于承载料仓(a5)，所述料仓横移升降机构(a2)用于将承载的料仓(a5)进行升降以及横移运动，以将所述料仓(a5)与所述工件夹取搬运机构(a3)相对；

所述工件夹取搬运机构(a3)用于从相对的所述料仓(a5)夹取出工件并上料至输送带(a340)上；或将所述输送带(a340)上的工件推送至相对的所述料仓(a5)内；

所述上下料机构(1)还包括中间隔板(a4)，所述中间隔板(a4)用于间隔所述料仓横移升降机构(a2)所承载的料仓(a5)以及所述工件夹取搬运机构(a3)，所述中间隔板(a4)上开设有可供工件穿过的通孔；

所述料仓横移升降机构(a2)对所承载的料仓(a5)进行横移和升降，以将所述料仓(a5)与所述通孔相对，所述工件夹取搬运机构(a3)通过所述通孔夹取所述料仓(a5)内的工件，或将工件通过所述通孔推入至所述料仓(a5)内。

11.根据权利要求1所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述散热盖贴装装置(3)包括输送轨道模块(b1)、贴装模块(b2)、散热盖上料装置(b3)和定位模块，其中：

所述输送轨道模块(b1)被配置为将载板输送至装配工位，所述载板内承载有芯片；

所述散热盖上料装置(b3)被配置为向吸取工位输送散热盖；

所述定位模块安装于定位工位处；

所述贴装模块(b2)被配置为在所述吸取工位、所述定位工位以及所述装配工位之间移动，所述贴装模块(b2)在所述吸取工位吸取散热盖后移动至所述定位工位，所述定位模块对所述贴装模块(b2)吸取的散热盖进行定位识别，所述贴装模块(b2)在所述定位模块对吸取的散热盖定位识别后，将所述散热盖移动至所述装配工位，并将所述散热盖装配到所述装配工位处载板内的芯片上。

12.根据权利要求11所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述散热盖上料装置(b3)包括上料部(b31)、取料定位部(b32)、下料部(b33)，以及横跨于所述上料部(b31)、所述取料定位部(b32)和所述下料部(b33)的第一横移组件(b34)，所述上料部(b31)将散热盖承载件(b35)顶升到位后，所述第一横移组件(b34)将所述散热盖承载件(b35)从所述上料部(b31)移动至所述取料定位部(b32)，所述取料定位部(b32)对所述散热盖承载件(b35)进行定位固定，取料机构对所述散热盖承载件(b35)上的散热盖进行取料，所述第一横移组件(b34)将取料后的所述散热盖承载件(b35)从所述取料定位部(b32)移动至所述下料部(b33)。

13.根据权利要求1所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述热压装置(4)包括：检测部、加热保压部(c20)和输送装置(c30)，所述检测部为一个，所述检测部设置于所述加热保压部(c20)的前道工位或后道工位，或者，所述检测部为两个，两个所述检测部分别设置于所述加热保压部(c20)的前道工位和后道工位，其中：

所述输送装置(c30)将装载有工件(c50)的载物治具(c40)输送至所述检测部和所述加热保压部(c20)；

所述检测部对所述工件(c50)上至少一处位置的工件(c50)额高度进行测量并对所述工件(c50)的外观进行检测，所述工件(c50)额高度是指所述工件(c50)上一位置处的高度与所述载物治具(c40)上与所述位置相差预定距离位置处的高度之间的高度差值；

所述加热保压部(c20)对位于所述加热保压部(c20)位置处的所述工件(c50)进行加热保压。

14.根据权利要求13所述的工件点胶贴装设备，其特征在于，所述检测部为两个，分别为位于所述加热保压部(c20)前道工位的第一检测部(c100)和位于所述加热保压部(c20)后道工位的第二检测部(c101)，

所述第一检测部(c100)对所述工件(c50)上至少一处位置的工件(c50)额高度进行测量并对所述工件(c50)的外观进行检测，得到第一组检测数据；

所述第二检测部(c101)对所述工件(c50)上至少一处位置的工件(c50)额高度进行测量并对所述工件(c50)的外观进行检测，得到第二组检测数据；

所述热压装置(4)还包括与所述第一检测部(c100)和所述第二检测部(c101)电性连接的处理器，所述处理器根据所述第一组检测数据和所述第二组检测数据，判定所述加热保压部(c20)对所述工件(c50)进行加热保压的工艺是否符合要求。

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