CN112760619A - 一种ald自动化上下料机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种ALD自动化上下料机，包括花篮上料模块、花篮发片模块、硅片传送模块、吸盘取料搬运模块、石墨框定位工位、石墨框载具输送模块、硅片下料输送模块、硅片花篮收片模块、花篮下料模块和机架，所述机架的端面一侧固定安装有花篮上料模块，所述花篮上料模块的一侧连接安装有花篮发片模块，所述花篮发片模块的一侧连接安装有硅片传送模块，所述硅片传送模块的外部一侧设置有吸盘取料搬运模块，所述机架的端面中央连接安装有石墨框定位工位，该ALD自动化上下料机，整体结构稳定牢固；在使用时，上下料平稳快捷，吸盘吸取面积大，使得稳定性有效提升，从而能够减少吸盘吸取造成的偏移，大大提高定位准确性。

Description

一种ALD自动化上下料机

技术领域

本发明涉及自动化上下料设备领域，具体为一种ALD自动化上下料机。

背景技术

ALD全称，Atomic Layer Deposition，是指原子层沉积技术，主要应用于超大规模集成电路、OLED 及先进封装领域。硅片在加工的过程中，需要使用到ALD自动化上下料机。由于硅片体积较小，厚度较低，需要使用到上下料机将硅片进行上料和下料；传统的上下料设备，上下料效率较慢，而且，采用普通吸盘进行吸料时，接触面积小，吸力小，使得物料的稳定性减少从而导致吸取发生偏移，也会因为吸力小从而导致物料容易发生脱落，影响上下料，因此，设计一种ALD自动化上下料机是很有必要的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种ALD自动化上下料机，整体结构稳定牢固；在使用时，上下料平稳快捷，吸盘吸取面积大，使得稳定性有效提升，从而能够减少吸盘吸取造成的偏移，大大提高定位准确性。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种ALD自动化上下料机，包括花篮上料模块、花篮发片模块、硅片传送模块、第一吸盘取料搬运模块、第二吸盘取料搬运模块、石墨框定位工位、石墨框载具输送模块、硅片下料输送模块、硅片花篮收片模块、花篮下料模块和机架，所述机架的端面一侧固定安装有花篮上料模块，所述花篮上料模块的一侧连接安装有花篮发片模块，所述花篮发片模块的一侧连接安装有硅片传送模块，所述硅片传送模块的外部一侧设置有第一吸盘取料搬运模块，所述机架的端面中央连接安装有石墨框定位工位，且石墨框定位工位的外部一侧连接安装有石墨框载具输送模块，所述机架的端面另一侧固定安装有硅片下料输送模块，所述第一吸盘取料搬运模块于石墨框定位工位为中部对称设置有第二吸盘取料搬运模块，所述所述硅片下料输送模块设置在第二吸盘取料搬运模块一端，所述硅片下料输送模块的一侧连接安装有硅片花篮收片模块，所述硅片花篮收片模块的一侧连接安装有花篮下料模块；

所述吸盘取料搬运模块包括支撑桁架、伺服驱动丝杆、吸盘升降气缸、伺服吸盘驱动移载和伯努利吸盘，所述支撑桁架固定安装在机架的顶部端面一侧，所述支撑桁架的端面两侧均固定安装有伺服吸盘驱动移载，所述伺服吸盘驱动移载的一侧固定安装有伺服驱动丝杆，所述伺服驱动丝杆的一端固定安装有吸盘升降气缸，且吸盘升降气缸的底部连接安装有若干个伯努利吸盘。

作为本发明进一步的方案：所述花篮上料模块包括上料驱动马达、上料传动同步带、上料传动轴、上料输送同步带和上料架，所述上料架通过螺栓固定安装在机架的端面一侧，所述上料架的外侧固定安装有上料驱动马达，所述上料驱动马达的一侧连接安装有上料驱动轴，所述上料架的端面两端均插接安装有上料传动轴，所述上料传动轴的外侧套接安装有上料输送同步带，所述上料传动轴的外壁两侧均固定安装有上料驱动轮，且上料输送同步带套接安装在上料驱动轮的外侧；所述上料传动轴的一端穿过上料架和上料驱动轴的一端均固定安装有上料传动带轮，且上料传动带轮之间套接安装有上料传动同步带，且上料传动同步带的另一端与上料驱动马达的上料驱动轴连接。

作为本发明进一步的方案：所述花篮发片模块包括花篮发片升降驱动伺服电机、花篮发片升降传动模组、花篮发片载具定位气缸、花篮发片载具侧向定位气缸、花篮发片载具传输驱动马达、花篮发片载具传输同步带、发片框架和硅片花篮发片载具，所述发片框架固定安装在花篮上料模块的一侧，所述发片框架的内部设置有硅片花篮发片载具，所述发片框架的一侧顶部通过外侧设置有花篮发片升降驱动伺服电机，所述花篮发片升降驱动伺服电机的底部连接安装有花篮发片升降传动模组，所述发片框架的端面中央固定安装有花篮发片载具定位气缸，所述发片框架的底部端面中央固定安装有花篮发片载具传输驱动马达，所述花篮发片载具传输驱动马达的外侧连接安装有花篮发片载具传输同步带，所述发片框架的一侧端面底部固定安装有花篮发片载具侧向定位气缸，所述发片框架的底部端面固定安装有一对花篮发片载具传动轴，且花篮发片载具传动轴的外侧均固定安装有两个花篮发片载具传动轮，所述花篮发片载具传输同步带套接安装在一对花篮发片载具传动轮的外侧，所述花篮发片载具传输驱动马达的一端设置有花篮发片载具传输驱动轴，所述花篮发片载具传动轴的一端穿过发片框架和花篮发片载具传输驱动轴的一端均连接安装有花篮发片载具驱动链轮，且两个花篮发片载具驱动链轮之间通过花篮发片驱动链条连接。

作为本发明进一步的方案：所述硅片传送模块包括上料伸缩气缸、上料随动滚轮、上料驱动伺服、上料传动主动轮、上料输送弹力带和上料底架，所述上料底架固定安装在花篮发片模块的端面一侧，所述上料底架的顶部端面一侧通过螺栓固定安装有上料伸缩气缸，且上料伸缩气缸的外部一侧连接安装有上料随动滚轮，所述上料底架的顶部端面另一侧设置有上料轴，且上料轴的两端安装有上料固定滚轮，所述上料底架的顶部端面另一侧通过螺栓固定安装有上料驱动伺服，所述上料底架的端面边缘固定安装有上料传动主动轮，且上料传动主动轮与上料驱动伺服的上料驱动轴连接，所述上料传动主动轮的外部套接安装有上料输送弹力带，且上料输送弹力带的另一端穿过上料固定滚轮与上料随动滚轮连接。

作为本发明进一步的方案：所述石墨框载具输送模块包括输送用支撑框架、输送用导向滚轮、输送用轴承支撑座、输送用驱动马达、输送用传动轴、输送用输送滚轮和到位检查光电开关，所述输送用支撑框架位于石墨框定位工位的端面一侧，所述输送用支撑框架的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个输送用导向滚轮，所述输送用支撑框架的端面一侧设置有输送用驱动马达，所述输送用支撑框架的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个输送用轴承支撑座，所述输送用支撑框架的顶部中央设置有输送用辅助支撑架，且六个所述输送用轴承支撑座的底部通过螺栓固定与输送用辅助支撑架的顶部端面固定连接，所述输送用轴承支撑座之间插接安装有输送用传动轴，且靠近输送用驱动马达一侧的输送用传动轴的一端与输送用驱动马达连接，所述输送用支撑框架的一侧端面通过螺栓固定安装有输送用传动板，且靠近输送用驱动马达一侧的输送用传动轴的一端贯穿输送用传动板，所述输送用传动轴的外侧套接安装有两个输送用输送滚轮，所述输送用驱动马达的底部连接安装有变速器，且变速器固定安装在输送用传动板的一侧，所述输送用驱动马达的输送用驱动轴与变速器的动力输入轴连接，所述变速器的动力输出轴与贯穿输送用传动板的输送用传动轴的一端固定连接，所述输送用轴承支撑座的端面中央固定安装有输送用传动轴承，且输送用传动轴的两端外壁均与输送用传动轴承的内壁贴合连接，所述输送用支撑框架的两侧位于输送用传动轴的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关，所述输送用支撑框架的底部两侧端面均通过螺栓固定安装有输送用缓冲支架。

作为本发明进一步的方案：所述硅片下料输送模块包括下料伸缩气缸、下料随动滚轮、下料驱动伺服、下料传动主动轮、下料输送弹力带和下料底架，所述下料底架固定安装在机架的端面另一侧，所述下料底架的顶部端面一侧通过螺栓固定安装有下料伸缩气缸，且下料伸缩气缸的外部一侧连接安装有下料随动滚轮，所述下料底架的顶部端面另一侧设置有下料轴，且下料轴的两端安装有下料固定滚轮，所述下料底架的顶部端面另一侧通过螺栓固定安装有下料驱动伺服，所述下料底架的端面边缘固定安装有下料传动主动轮，且下料传动主动轮与下料驱动伺服的下料驱动轴连接，所述下料传动主动轮的外部套接安装有下料输送弹力带，且下料输送弹力带的另一端穿过下料固定滚轮与下料随动滚轮连接。

作为本发明进一步的方案：所述硅片花篮收片模块包括花篮收片升降驱动伺服电机、花篮收片升降传动模组、花篮收片载具定位气缸、花篮收片载具侧向定位气缸、花篮收片载具传输驱动马达、花篮收片载具传输同步带、收片框架和硅片花篮收片载具，所述收片框架固定安装在硅片下料输送模块的一侧，所述收片框架的内部设置有硅片花篮收片载具，所述收片框架的一侧顶部通过外侧设置有花篮收片升降驱动伺服电机，所述花篮收片升降驱动伺服电机的底部连接安装有花篮收片升降传动模组，所述收片框架的端面中央固定安装有花篮收片载具定位气缸，所述收片框架的底部端面中央固定安装有花篮收片载具传输驱动马达，所述花篮收片载具传输驱动马达的外侧连接安装有花篮收片载具传输同步带，所述收片框架的一侧端面底部固定安装有花篮收片载具侧向定位气缸，所述收片框架的底部端面固定安装有一对花篮收片载具传动轴，且花篮收片载具传动轴的外侧均固定安装有两个花篮收片载具传动轮，所述花篮收片载具传输同步带套接安装在一对花篮收片载具传动轮的外侧，所述花篮收片载具传输驱动马达的一端设置有花篮收片载具传输驱动轴，所述花篮收片载具传动轴的一端穿过收片框架和花篮收片载具传输驱动轴的一端均连接安装有花篮收片载具驱动链轮，且两个花篮收片载具驱动链轮之间通过花篮收片驱动链条连接。

作为本发明进一步的方案：所述花篮下料模块包括下料驱动马达、下料传动同步带、下料传动轴、下料输送同步带和下料架，所述下料架通过螺栓固定安装在机架的端面另一侧，所述下料架的外侧固定安装有下料驱动马达，所述下料驱动马达的一侧连接安装有下料驱动轴，所述下料架的端面两端均插接安装有下料传动轴，所述下料传动轴的外侧套接安装有下料输送同步带，所述下料传动轴的外壁两侧均固定安装有下料驱动轮，且下料输送同步带套接安装在下料驱动轮的外侧；所述下料传动轴的一端穿过下料架和下料驱动轴的一端均固定安装有下料传动带轮，且下料传动带轮之间套接安装有下料传动同步带，且下料传动同步带的另一端与下料驱动马达的下料驱动轴连接。

本发明的有益效果：该ALD自动化上下料机，整体结构稳定牢固，支撑效果好；在使用时，上下料平稳快捷，不仅使得硅片传输更加平稳，而且也能够大大提高硅片传输的效率；同时，在吸取硅片时，吸盘吸取面积大，使得吸取硅片的稳定性有效提升，从而能够减少吸盘吸取造成的偏移，大大提高定位准确性。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1为本发明整体正视图；

图2为本发明花篮上料模块的结构示意图；

图3为本发明花篮发片模块的结构示意图；

图4为本发明硅片传送模块的结构示意图；

图5为本发明吸盘取料搬运模块的结构示意图；

图6为本发明石墨框载具输送模块的结构示意图；

图7为本发明硅片下料输送模块的结构示意图；

图8为本发明硅片花篮收片模块的结构示意图；

图9为本发明花篮下料模块的结构示意图；

图中：1、花篮上料模块；2、花篮发片模块；3、硅片传送模块；4、第一吸盘取料搬运模块；40、第二吸盘取料搬运模块；5、石墨框定位工位；6、石墨框载具输送模块；7、硅片下料输送模块；8、硅片花篮收片模块；9、花篮下料模块；10、机架；11、上料驱动马达；12、上料传动同步带；13、上料传动轴；14、上料输送同步带；15、上料架；21、花篮发片升降驱动伺服电机；22、花篮发片升降传动模组；23、花篮发片载具定位气缸；24、花篮发片载具侧向定位气缸；25、花篮发片载具传输驱动马达；26、花篮发片载具传输同步带；27、发片框架；28、硅片花篮发片载具；31、上料伸缩气缸；32、上料随动滚轮；33、上料驱动伺服；34、上料传动主动轮；35、上料输送弹力带；36、上料底架；41、支撑桁架；42、伺服驱动丝杆；43、吸盘升降气缸；44、伺服吸盘驱动移载；45、伯努利吸盘；61、输送用支撑框架；62、输送用导向滚轮；63、输送用轴承支撑座；64、输送用驱动马达；65、输送用传动轴；66、输送用输送滚轮；67、到位检查光电开关；71、下料伸缩气缸；72、下料随动滚轮；73、下料驱动伺服；74、下料传动主动轮；75、下料输送弹力带；76、下料底架；81、花篮收片升降驱动伺服电机；82、花篮收片升降传动模组；83、花篮收片载具定位气缸；84、花篮收片载具侧向定位气缸；85、花篮收片载具传输驱动马达；86、花篮收片载具传输同步带；87、收片框架；88、硅片花篮收片载具；91、下料驱动马达；92、下料传动同步带；93、下料传动轴；94、下料输送同步带；95、下料架。

具体实施方式

下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-9所示，一种ALD自动化上下料机，包括花篮上料模块1、花篮发片模块2、硅片传送模块3、第一吸盘取料搬运模块4、第二吸盘取料搬运模块40、石墨框定位工位5、石墨框载具输送模块6、硅片下料输送模块7、硅片花篮收片模块8、花篮下料模块9和机架10，机架10的端面一侧固定安装有花篮上料模块1，花篮上料模块1包括上料驱动马达11、上料传动同步带12、上料传动轴13、上料输送同步带14和上料架15，上料架15通过螺栓固定安装在机架10的端面一侧，上料架15的外侧固定安装有上料驱动马达11，上料驱动马达11的一侧连接安装有上料驱动轴，上料架15的端面两端均插接安装有上料传动轴13，上料传动轴13的外侧套接安装有上料输送同步带14，上料传动轴13的外壁两侧均固定安装有上料驱动轮，且上料输送同步带14套接安装在上料驱动轮的外侧；上料传动轴13的一端穿过上料架15和上料驱动轴的一端均固定安装有上料传动带轮，且上料传动带轮之间套接安装有上料传动同步带12，且上料传动同步带12的另一端与上料驱动马达11的上料驱动轴连接，便于上料；花篮上料模块1的一侧连接安装有花篮发片模块2，花篮发片模块2包括花篮发片升降驱动伺服电机21、花篮发片升降传动模组22、花篮发片载具定位气缸23、花篮发片载具侧向定位气缸24、花篮发片载具传输驱动马达25、花篮发片载具传输同步带26、发片框架27和硅片花篮发片载具28，发片框架27固定安装在花篮上料模块1的一侧，发片框架27的内部设置有硅片花篮发片载具28，发片框架27的一侧顶部通过外侧设置有花篮发片升降驱动伺服电机21，花篮发片升降驱动伺服电机21的底部连接安装有花篮发片升降传动模组22，发片框架27的端面中央固定安装有花篮发片载具定位气缸23，发片框架27的底部端面中央固定安装有花篮发片载具传输驱动马达25，花篮发片载具传输驱动马达25的外侧连接安装有花篮发片载具传输同步带26，发片框架27的一侧端面底部固定安装有花篮发片载具侧向定位气缸24，发片框架27的底部端面固定安装有一对花篮发片载具传动轴，且花篮发片载具传动轴的外侧均固定安装有两个花篮发片载具传动轮，花篮发片载具传输同步带26套接安装在一对花篮发片载具传动轮的外侧，花篮发片载具传输驱动马达25的一端设置有花篮发片载具传输驱动轴，花篮发片载具传动轴的一端穿过发片框架27和花篮发片载具传输驱动轴的一端均连接安装有花篮发片载具驱动链轮，且两个花篮发片载具驱动链轮之间通过花篮发片驱动链条连接，提高发片稳定性；花篮发片模块2的一侧连接安装有硅片传送模块3，硅片传送模块3包括上料伸缩气缸31、上料随动滚轮32、上料驱动伺服33、上料传动主动轮34、上料输送弹力带35和上料底架36，上料底架36固定安装在花篮发片模块2的端面一侧，上料底架36的顶部端面一侧通过螺栓固定安装有上料伸缩气缸31，且上料伸缩气缸31的外部一侧连接安装有上料随动滚轮32，上料底架36的顶部端面另一侧设置有上料轴，且上料轴的两端安装有上料固定滚轮，上料底架36的顶部端面另一侧通过螺栓固定安装有上料驱动伺服33，上料底架36的端面边缘固定安装有上料传动主动轮34，且上料传动主动轮34与上料驱动伺服33的上料驱动轴连接，上料传动主动轮34的外部套接安装有上料输送弹力带35，且上料输送弹力带35的另一端穿过上料固定滚轮与上料随动滚轮32连接，传送稳定；硅片传送模块3的外部一侧设置有第一吸盘取料搬运模块4，第一吸盘取料搬运模块4包括支撑桁架41、伺服驱动丝杆42、吸盘升降气缸43、伺服吸盘驱动移载44和伯努利吸盘45，支撑桁架41固定安装在机架10的顶部端面一侧，支撑桁架41的端面两侧均固定安装有伺服吸盘驱动移载44，伺服吸盘驱动移载44的一侧固定安装有伺服驱动丝杆42，伺服驱动丝杆42的一端固定安装有吸盘升降气缸43，且吸盘升降气缸43的底部连接安装有若干个伯努利吸盘45，第一吸盘取料搬运模块4的接触面积大，吸力大，使得物料的稳定性增加，从而提高吸取准确性，避免物料发生脱落；机架10的端面中央连接安装有石墨框定位工位5，且石墨框定位工位5的外部一侧连接安装有石墨框载具输送模块6，石墨框载具输送模块6包括输送用支撑框架61、输送用导向滚轮62、输送用轴承支撑座63、输送用驱动马达64、输送用传动轴65、输送用输送滚轮66和到位检查光电开关67，输送用支撑框架61位于石墨框定位工位5的端面一侧，输送用支撑框架61的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个输送用导向滚轮62，输送用支撑框架61的端面一侧设置有输送用驱动马达64，输送用支撑框架61的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个输送用轴承支撑座63，输送用支撑框架61的顶部中央设置有输送用辅助支撑架，且六个输送用轴承支撑座63的底部通过螺栓固定与输送用辅助支撑架的顶部端面固定连接，输送用轴承支撑座63之间插接安装有输送用传动轴65，且靠近输送用驱动马达64一侧的输送用传动轴65的一端与输送用驱动马达64连接，输送用支撑框架61的一侧端面通过螺栓固定安装有输送用传动板，且靠近输送用驱动马达64一侧的输送用传动轴65的一端贯穿输送用传动板，输送用传动轴65的外侧套接安装有两个输送用输送滚轮66，输送用驱动马达64的底部连接安装有变速器，且变速器固定安装在输送用传动板的一侧，输送用驱动马达64的输送用驱动轴与变速器的动力输入轴连接，变速器的动力输出轴与贯穿输送用传动板的输送用传动轴65的一端固定连接，输送用轴承支撑座63的端面中央固定安装有输送用传动轴承，且输送用传动轴65的两端外壁均与输送用传动轴承的内壁贴合连接，输送用支撑框架61的两侧位于输送用传动轴65的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关67，输送用支撑框架61的底部两侧端面均通过螺栓固定安装有输送用缓冲支架，便于输送物料，提高使用的方便性；机架10的端面另一侧固定安装有硅片下料输送模块7，第一吸盘取料搬运模块4于石墨框定位工位（5）为中部对称设置有第二吸盘取料搬运模块40，所述硅片下料输送模块7设置在第二吸盘取料搬运模块40一端，硅片下料输送模块7包括下料伸缩气缸71、下料随动滚轮72、下料驱动伺服73、下料传动主动轮74、下料输送弹力带75和下料底架76，下料底架76固定安装在机架10的端面另一侧，下料底架76的顶部端面一侧通过螺栓固定安装有下料伸缩气缸71，且下料伸缩气缸71的外部一侧连接安装有下料随动滚轮72，下料底架76的顶部端面另一侧设置有下料轴，且下料轴的两端安装有下料固定滚轮，下料底架76的顶部端面另一侧通过螺栓固定安装有下料驱动伺服73，下料底架76的端面边缘固定安装有下料传动主动轮74，且下料传动主动轮74与下料驱动伺服73的下料驱动轴连接，下料传动主动轮74的外部套接安装有下料输送弹力带75，且下料输送弹力带75的另一端穿过下料固定滚轮与下料随动滚轮72连接，便于下料；硅片下料输送模块7的一侧连接安装有硅片花篮收片模块8，硅片花篮收片模块8包括花篮收片升降驱动伺服电机81、花篮收片升降传动模组82、花篮收片载具定位气缸83、花篮收片载具侧向定位气缸84、花篮收片载具传输驱动马达85、花篮收片载具传输同步带86、收片框架87和硅片花篮收片载具88，收片框架87固定安装在硅片下料输送模块7的一侧，收片框架87的内部设置有硅片花篮收片载具88，收片框架87的一侧顶部通过外侧设置有花篮收片升降驱动伺服电机81，花篮收片升降驱动伺服电机81的底部连接安装有花篮收片升降传动模组82，收片框架87的端面中央固定安装有花篮收片载具定位气缸83，收片框架87的底部端面中央固定安装有花篮收片载具传输驱动马达85，花篮收片载具传输驱动马达85的外侧连接安装有花篮收片载具传输同步带86，收片框架87的一侧端面底部固定安装有花篮收片载具侧向定位气缸84，收片框架87的底部端面固定安装有一对花篮收片载具传动轴，且花篮收片载具传动轴的外侧均固定安装有两个花篮收片载具传动轮，花篮收片载具传输同步带86套接安装在一对花篮收片载具传动轮的外侧，花篮收片载具传输驱动马达85的一端设置有花篮收片载具传输驱动轴，花篮收片载具传动轴的一端穿过收片框架87和花篮收片载具传输驱动轴的一端均连接安装有花篮收片载具驱动链轮，且两个花篮收片载具驱动链轮之间通过花篮收片驱动链条连接，便于收片；硅片花篮收片模块8的一侧连接安装有花篮下料模块9，花篮下料模块9包括下料驱动马达91、下料传动同步带92、下料传动轴93、下料输送同步带94和下料架95，下料架95通过螺栓固定安装在机架10的端面另一侧，下料架95的外侧固定安装有下料驱动马达91，下料驱动马达91的一侧连接安装有下料驱动轴，下料架95的端面两端均插接安装有下料传动轴93，下料传动轴93的外侧套接安装有下料输送同步带94，下料传动轴93的外壁两侧均固定安装有下料驱动轮，且下料输送同步带94套接安装在下料驱动轮的外侧；下料传动轴93的一端穿过下料架95和下料驱动轴的一端均固定安装有下料传动带轮，且下料传动带轮之间套接安装有下料传动同步带92，且下料传动同步带92的另一端与下料驱动马达91的下料驱动轴连接，提高下料的方便性；

第二吸盘取料搬运模块40与第一吸盘取料搬运模块4为相同结构。

本发明的工作原理：通过机架10能够使得该设备具有良好的结构稳定性，支撑效果牢固；先将装满硅片的硅片花篮发片载具28放入花篮上料模块1，上料架15顶部的上料驱动马达11工作，通过上料传动同步带12带动上料传动轴13和上料输送同步带14转动，从而使得硅片花篮发片载具28由花篮上料模块1带至花篮发片模块2，硅片花篮发片载具28进入发片框架27的内部缓存，由花篮发片载具定位气缸23、花篮发片载具侧向定位气缸24夹紧，花篮发片升降驱动伺服电机21工作，通过花篮发片升降传动模组22将发片框架27内的硅片花篮发片载具28与硅片传送模块3的位置平齐，花篮发片载具传输驱动马达25工作，通过花篮发片载具传输同步带26使得硅片花篮发片载具28内部的硅片流入硅片传送模块3的上料输送弹力带35顶部，通过硅片传送模块3开始上料；上料底架36顶部的上料驱动伺服33工作，通过上料传动主动轮34使得上料输送弹力带35在上料随动滚轮32的外侧转动，从而能够将上料输送弹力带35顶部的硅片进行输送，上料伸缩气缸31工作时，能够调节上料输送弹力带35的松紧性，上料输送弹力带35输送到硅片通过第一吸盘取料搬运模块4进行上料，支撑桁架41一侧的吸盘升降气缸43工作，能够通过伯努利吸盘45将上料输送弹力带35顶部的硅片吸取，伺服吸盘驱动移载44工作，通过伺服驱动丝杆42推动吸盘升降气缸43和伯努利吸盘45移动，从而能够将吸取的硅片移动到石墨框定位工位5，通过石墨框定位工位5进行定位，定位后的硅片通过石墨框载具输送模块6输送到加工工艺设备进行加工，输送用支撑框架61顶部的输送用驱动马达64工作，带动输送用传动轴65和输送用输送滚轮66在输送用轴承支撑座63的上方转动，从而能够将输送用输送滚轮66顶部端面的硅片输送到加工工艺设备进行加工，通过到位检查光电开关67能够到达位置的硅片进行定位，通过输送用导向滚轮62能够避免硅片发生脱落，加工完成后的硅片再通过石墨框载具输送模块6输送到第二吸盘取料搬运模块40的底部另一侧，靠近硅片下料输送模块7一侧的吸盘升降气缸43工作，通过伯努利吸盘45将加工后的硅片吸取，相近位置处的伺服吸盘驱动移载44工作，通过伺服驱动丝杆42带动吸盘升降气缸43和伯努利吸盘45移动，使得硅片移动到硅片下料输送模块7顶部的下料输送弹力带75上后，伯努利吸盘45与硅片分离，下料底架76顶部的下料驱动伺服73工作，通过下料传动主动轮74使得下料随动滚轮72外侧的下料输送弹力带75转动，从而能够将加工后的硅片输送，通过下料伸缩气缸71能够调节下料输送弹力带75的松紧性，下料输送弹力带75将硅片输送到硅片花篮收片模块8进行缓存收集，硅片花篮收片载具88通过花篮收片载具定位气缸83和花篮收片载具侧向定位气缸84被固定在收片框架87的内部，硅片移动到硅片花篮收片载具88的内部后，通过花篮收片升降驱动伺服电机81使得花篮收片升降传动模组82将收片框架87和硅片花篮收片载具88的高度调节，从而能够使得硅片堆积在硅片花篮收片载具88的内部的不同高度位置，当硅片花篮收片载具88内部的硅片堆满后，花篮收片升降驱动伺服电机81通过花篮收片升降传动模组82将收片框架87硅片花篮收片载具88移动到花篮下料模块9的顶部，花篮收片载具传输驱动马达85工作通过花篮收片载具传输同步带86将硅片花篮收片载具88内部的硅片移动到下料架95两侧安装的下料输送同步带94的顶部，下料驱动马达91工作，通过下料传动同步带92带动下料传动轴93转动，通过下料传动轴93能够将硅片输送出下料架95，便于后续收集。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (8)

1.一种ALD自动化上下料机，其特征在于，包括花篮上料模块（1）、花篮发片模块（2）、硅片传送模块（3）、第一吸盘取料搬运模块（4）、第二吸盘取料搬运模块（40）、石墨框定位工位（5）、石墨框载具输送模块（6）、硅片下料输送模块（7）、硅片花篮收片模块（8）、花篮下料模块（9）和机架（10），所述机架（10）的端面一侧固定安装有花篮上料模块（1），所述花篮上料模块（1）的一侧连接安装有花篮发片模块（2），所述花篮发片模块（2）的一侧连接安装有硅片传送模块（3），所述硅片传送模块（3）的外部一侧设置有第一吸盘取料搬运模块（4），所述机架（10）的端面中央连接安装有石墨框定位工位（5），且石墨框定位工位（5）的外部一侧连接安装有石墨框载具输送模块（6），所述机架（10）的端面另一侧固定安装有硅片下料输送模块（7），所述第一吸盘取料搬运模块（4）于石墨框定位工位（5）为中部对称设置有第二吸盘取料搬运模块（40），所述硅片下料输送模块（7）设置在第二吸盘取料搬运模块（40）一端，所述硅片下料输送模块（7）的一侧连接安装有硅片花篮收片模块（8），所述硅片花篮收片模块（8）的一侧连接安装有花篮下料模块（9）；

所述吸盘取料搬运模块（4）包括支撑桁架（41）、伺服驱动丝杆（42）、吸盘升降气缸（43）、伺服吸盘驱动移载（44）和伯努利吸盘（45），所述支撑桁架（41）固定安装在机架（10）的顶部端面一侧，所述支撑桁架（41）的端面两侧均固定安装有伺服吸盘驱动移载（44），所述伺服吸盘驱动移载（44）的一侧固定安装有伺服驱动丝杆（42），所述伺服驱动丝杆（42）的一端固定安装有吸盘升降气缸（43），且吸盘升降气缸（43）的底部连接安装有若干个伯努利吸盘（45）。

2.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机，其特征在于，所述花篮上料模块（1）包括上料驱动马达（11）、上料传动同步带（12）、上料传动轴（13）、上料输送同步带（14）和上料架（15），所述上料架（15）通过螺栓固定安装在机架（10）的端面一侧，所述上料架（15）的外侧固定安装有上料驱动马达（11），所述上料驱动马达（11）的一侧连接安装有上料驱动轴，所述上料架（15）的端面两端均插接安装有上料传动轴（13），所述上料传动轴（13）的外侧套接安装有上料输送同步带（14），所述上料传动轴（13）的外壁两侧均固定安装有上料驱动轮，且上料输送同步带（14）套接安装在上料驱动轮的外侧；所述上料传动轴（13）的一端穿过上料架（15）和上料驱动轴的一端均固定安装有上料传动带轮，且上料传动带轮之间套接安装有上料传动同步带（12），且上料传动同步带（12）的另一端与上料驱动马达（11）的上料驱动轴连接。

3.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机，其特征在于，所述花篮发片模块（2）包括花篮发片升降驱动伺服电机（21）、花篮发片升降传动模组（22）、花篮发片载具定位气缸（23）、花篮发片载具侧向定位气缸（24）、花篮发片载具传输驱动马达（25）、花篮发片载具传输同步带（26）、发片框架（27）和硅片花篮发片载具（28），所述发片框架（27）固定安装在花篮上料模块（1）的一侧，所述发片框架（27）的内部设置有硅片花篮发片载具（28），所述发片框架（27）的一侧顶部通过外侧设置有花篮发片升降驱动伺服电机（21），所述花篮发片升降驱动伺服电机（21）的底部连接安装有花篮发片升降传动模组（22），所述发片框架（27）的端面中央固定安装有花篮发片载具定位气缸（23），所述发片框架（27）的底部端面中央固定安装有花篮发片载具传输驱动马达（25），所述花篮发片载具传输驱动马达（25）的外侧连接安装有花篮发片载具传输同步带（26），所述发片框架（27）的一侧端面底部固定安装有花篮发片载具侧向定位气缸（24），所述发片框架（27）的底部端面固定安装有一对花篮发片载具传动轴，且花篮发片载具传动轴的外侧均固定安装有两个花篮发片载具传动轮，所述花篮发片载具传输同步带（26）套接安装在一对花篮发片载具传动轮的外侧，所述花篮发片载具传输驱动马达（25）的一端设置有花篮发片载具传输驱动轴，所述花篮发片载具传动轴的一端穿过发片框架（27）和花篮发片载具传输驱动轴的一端均连接安装有花篮发片载具驱动链轮，且两个花篮发片载具驱动链轮之间通过花篮发片驱动链条连接。

4.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机，其特征在于，所述硅片传送模块（3）包括上料伸缩气缸（31）、上料随动滚轮（32）、上料驱动伺服（33）、上料传动主动轮（34）、上料输送弹力带（35）和上料底架（36），所述上料底架（36）固定安装在花篮发片模块（2）的端面一侧，所述上料底架（36）的顶部端面一侧通过螺栓固定安装有上料伸缩气缸（31），且上料伸缩气缸（31）的外部一侧连接安装有上料随动滚轮（32），所述上料底架（36）的顶部端面另一侧设置有上料轴，且上料轴的两端安装有上料固定滚轮，所述上料底架（36）的顶部端面另一侧通过螺栓固定安装有上料驱动伺服（33），所述上料底架（36）的端面边缘固定安装有上料传动主动轮（34），且上料传动主动轮（34）与上料驱动伺服（33）的上料驱动轴连接，所述上料传动主动轮（34）的外部套接安装有上料输送弹力带（35），且上料输送弹力带（35）的另一端穿过上料固定滚轮与上料随动滚轮（32）连接。

5.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机，其特征在于，所述石墨框载具输送模块（6）包括输送用支撑框架（61）、输送用导向滚轮（62）、输送用轴承支撑座（63）、输送用驱动马达（64）、输送用传动轴（65）、输送用输送滚轮（66）和到位检查光电开关（67），所述输送用支撑框架（61）位于石墨框定位工位（5）的端面一侧，所述输送用支撑框架（61）的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个输送用导向滚轮（62），所述输送用支撑框架（61）的端面一侧设置有输送用驱动马达（64），所述输送用支撑框架（61）的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个输送用轴承支撑座（63），所述输送用支撑框架（61）的顶部中央设置有输送用辅助支撑架，且六个所述输送用轴承支撑座（63）的底部通过螺栓固定与输送用辅助支撑架的顶部端面固定连接，所述输送用轴承支撑座（63）之间插接安装有输送用传动轴（65），且靠近输送用驱动马达（64）一侧的输送用传动轴（65）的一端与输送用驱动马达（64）连接，所述输送用支撑框架（61）的一侧端面通过螺栓固定安装有输送用传动板，且靠近输送用驱动马达（64）一侧的输送用传动轴（65）的一端贯穿输送用传动板，所述输送用传动轴（65）的外侧套接安装有两个输送用输送滚轮（66），所述输送用驱动马达（64）的底部连接安装有变速器，且变速器固定安装在输送用传动板的一侧，所述输送用驱动马达（64）的输送用驱动轴与变速器的动力输入轴连接，所述变速器的动力输出轴与贯穿输送用传动板的输送用传动轴（65）的一端固定连接，所述输送用轴承支撑座（63）的端面中央固定安装有输送用传动轴承，且输送用传动轴（65）的两端外壁均与输送用传动轴承的内壁贴合连接，所述输送用支撑框架（61）的两侧位于输送用传动轴（65）的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关（67），所述输送用支撑框架（61）的底部两侧端面均通过螺栓固定安装有输送用缓冲支架。

6.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机，其特征在于，所述硅片下料输送模块（7）包括下料伸缩气缸（71）、下料随动滚轮（72）、下料驱动伺服（73）、下料传动主动轮（74）、下料输送弹力带（75）和下料底架（76），所述下料底架（76）固定安装在机架（10）的端面另一侧，所述下料底架（76）的顶部端面一侧通过螺栓固定安装有下料伸缩气缸（71），且下料伸缩气缸（71）的外部一侧连接安装有下料随动滚轮（72），所述下料底架（76）的顶部端面另一侧设置有下料轴，且下料轴的两端安装有下料固定滚轮，所述下料底架（76）的顶部端面另一侧通过螺栓固定安装有下料驱动伺服（73），所述下料底架（76）的端面边缘固定安装有下料传动主动轮（74），且下料传动主动轮（74）与下料驱动伺服（73）的下料驱动轴连接，所述下料传动主动轮（74）的外部套接安装有下料输送弹力带（75），且下料输送弹力带（75）的另一端穿过下料固定滚轮与下料随动滚轮（72）连接。

7.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机，其特征在于，所述硅片花篮收片模块（8）包括花篮收片升降驱动伺服电机（81）、花篮收片升降传动模组（82）、花篮收片载具定位气缸（83）、花篮收片载具侧向定位气缸（84）、花篮收片载具传输驱动马达（85）、花篮收片载具传输同步带（86）、收片框架（87）和硅片花篮收片载具（88），所述收片框架（87）固定安装在硅片下料输送模块（7）的一侧，所述收片框架（87）的内部设置有硅片花篮收片载具（88），所述收片框架（87）的一侧顶部通过外侧设置有花篮收片升降驱动伺服电机（81），所述花篮收片升降驱动伺服电机（81）的底部连接安装有花篮收片升降传动模组（82），所述收片框架（87）的端面中央固定安装有花篮收片载具定位气缸（83），所述收片框架（87）的底部端面中央固定安装有花篮收片载具传输驱动马达（85），所述花篮收片载具传输驱动马达（85）的外侧连接安装有花篮收片载具传输同步带（86），所述收片框架（87）的一侧端面底部固定安装有花篮收片载具侧向定位气缸（84），所述收片框架（87）的底部端面固定安装有一对花篮收片载具传动轴，且花篮收片载具传动轴的外侧均固定安装有两个花篮收片载具传动轮，所述花篮收片载具传输同步带（86）套接安装在一对花篮收片载具传动轮的外侧，所述花篮收片载具传输驱动马达（85）的一端设置有花篮收片载具传输驱动轴，所述花篮收片载具传动轴的一端穿过收片框架（87）和花篮收片载具传输驱动轴的一端均连接安装有花篮收片载具驱动链轮，且两个花篮收片载具驱动链轮之间通过花篮收片驱动链条连接。

8.根据权利要求1所述的ALD自动化上下料机，其特征在于，所述花篮下料模块（9）包括下料驱动马达（91）、下料传动同步带（92）、下料传动轴（93）、下料输送同步带（94）和下料架（95），所述下料架（95）通过螺栓固定安装在机架（10）的端面另一侧，所述下料架（95）的外侧固定安装有下料驱动马达（91），所述下料驱动马达（91）的一侧连接安装有下料驱动轴，所述下料架（95）的端面两端均插接安装有下料传动轴（93），所述下料传动轴（93）的外侧套接安装有下料输送同步带（94），所述下料传动轴（93）的外壁两侧均固定安装有下料驱动轮，且下料输送同步带（94）套接安装在下料驱动轮的外侧；所述下料传动轴（93）的一端穿过下料架（95）和下料驱动轴的一端均固定安装有下料传动带轮，且下料传动带轮之间套接安装有下料传动同步带（92），且下料传动同步带（92）的另一端与下料驱动马达（91）的下料驱动轴连接。

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