CN112585665A - 显示装置 - Google Patents
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Abstract
在显示区域中,分别设置由第二金属膜形成的多条第一显示用配线、覆盖各条第一显示用配线的第一平坦化膜以及在第一平坦化膜上由第三金属膜形成的多条第二显示用配线,在折弯部(B)设置有第一树脂膜(19b),该第一树脂膜(19b)以填埋第一无机绝缘膜(15)的狭缝(S)的方式由与第一平坦化膜相同的材料形成在同一层,在第一树脂膜(19b)的上表面,由第三金属膜形成的多条第一连接配线(20c)以在与折弯部(B)的延伸方向交叉的方向上相互平行地延伸的方式设置。
Description
技术领域
本发明涉及显示装置。
背景技术
近年来,作为代替液晶显示装置的显示装置,使用了有机EL(ElectroLuminescence,电致发光)元件的自发光型的有机EL显示装置备受关注。在该有机EL显示装置中,提出了在具有可弯曲性的树脂基板上形成有机EL元件等的柔性的有机EL显示装置。此处,在有机EL显示装置中,期望设置有进行图像显示的显示区域和在该显示区域周围的边框区域,并减小边框区域。并且,在柔性的有机EL显示装置中,若为了使俯视下的边框区域所占据的面积变小,将边框区域折弯,则有可能导致配置在该边框区域的配线断裂。
例如,专利文献1公开了一种柔性显示装置,其通过形成折弯孔以去除与折弯区域对应的缓冲膜、栅极绝缘膜和层间绝缘膜中的每一个的一部分来防止配线的断线。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特开2014-232300号公报
发明内容
本发明所要解决的技术问题
但是,在柔性的有机EL显示装置中,由于在树脂基板上设置有底涂膜、栅极绝缘膜以及层间绝缘膜等无机绝缘膜,因此,为了抑制配置在边框区域的配线的断裂,去除边框区域的折弯部中的无机绝缘膜,并在该去除的部分处形成平坦化膜,在该平坦化膜上形成配线。然而,在这样构成的有机EL显示装置中,由于需要在去除了边框区域的折弯部的无机绝缘膜的部分处单独形成平坦化膜,因而导致制造成本高。因此有改善的余地。
本发明是鉴于上述点而完成的,其目的在于,在边框区域的折弯部中,在不另外设置平坦化膜的情况下抑制配线的断线。
用于解决技术问题的技术方案
为了达成上述目的,本发明涉及的显示装置的特征在于,包括:树脂基板,分别规定了进行图像显示的显示区域、在所述显示区域周围的边框区域、在所述边框区域的端部的端子部以及在所述端子部和所述显示区域之间向一个方向延伸的折弯部;TFT层,设置于所述树脂基板上,依次层叠有第一金属膜、第一无机绝缘膜、第二金属膜、第一平坦化膜、第三金属膜及第二平坦化膜;以及发光元件,其具有设置在所述TFT层上,配置在所述第二平坦化膜上的多个像素电极以及覆盖各所述像素电极的周缘部的边缘罩,在所述折弯部中,所述第一无机绝缘膜以向所述折弯部的延伸方向延伸的方式设置有向上方开口的狭缝,在所述狭缝的所述显示区域侧以及所述端子部侧分别设置有由所述第一金属膜形成的多条第一引出配线以及多条第二引出配线,以使其在与所述折弯部的延伸方向交叉的方向上彼此平行地延伸,在所述显示区域中分别设置有由所述第二金属膜形成的多条第一显示用配线、覆盖各所述第一显示用配线的所述第一平坦化膜、在所述第一平坦化膜上由所述第三金属膜形成的多条第二显示用配线以及覆盖各所述第二显示用配线的所述第二平坦化膜,在所述折弯部设置有第一树脂膜,所述第一树脂膜以填埋所述狭缝的方式由与所述第一平坦化膜相同的材料形成在同一层,在所述第一树脂膜的上表面,由所述第三金属膜形成的多条第一连接配线以在与所述折弯部的延伸方向交叉的方向上相互平行地延伸的方式设置,所述多条第一连接配线在所述狭缝的所述显示区域侧分别与所述多条第一引出配线电连接,在所述狭缝的所述端子部侧分别与所述多条第二引出配线电连接。
有益效果
根据本发明,在显示区域分别设置有由第二金属膜形成的多条第一显示用配线、覆盖各第一显示用配线的第一平坦化膜以及在第一平坦化膜上由第三金属膜形成的多条第二显示用配线,在折弯部以填埋第一无机绝缘膜的狭缝的方式设置有由与第一平坦化膜相同的材料形成在同一层的第一树脂膜,在第一树脂膜的上表面,由第三金属膜形成的多条第一连接配线以在与折弯部的延伸方向交叉的方向上相互平行地延伸的方式设置,因此能够以低成本抑制边框区域的折弯部中的配线的断线。
附图说明
图1是示出本发明第一实施方式所涉及的有机EL显示装置的概略构成的俯视图。
图2是本发明的第一实施方式涉及的有机EL显示装置的显示区域的俯视图。
图3是沿着图1中的III-III线的有机EL显示装置的显示区域的剖视图。
图4是本发明第一实施方式涉及的有机EL显示装置的TFT层的等效电路图。
图5是示出构成本发明的第一实施方式涉及的有机EL显示装置的有机EL层的剖视图。
图6是将图1中的区域A放大的有机EL显示装置的包括折弯部的边框区域的俯视图。
图7是沿着图6中的VII-VII线的有机EL显示装置的包括折弯部的边框区域的剖视图。
图8是沿着图6中的VIII-VIII线的有机EL显示装置的包括折弯部的边框区域的剖视图。
图9是示出本发明的第二实施方式涉及的有机EL显示装置的包括折弯部的边框区域的截面图,是相当于图6的图。
图10是沿着图9中的X-X线的有机EL显示装置包含折弯部的边框区域的剖视图。
图11是沿着图9中的XI-XI线的有机EL显示装置包含折弯部的边框区域的剖视图。
图12是本发明的第二实施方式的变形例1涉及的有机EL显示装置包括折弯部的边框区域的剖视图,是相当于图10的图。
图13是本发明的第二实施方式的变形例1涉及的有机EL显示装置包括折弯部的边框区域的剖视图,是相当于图11的图。
图14是示出本发明的第二实施方式涉及的变形例2涉及的有机EL显示装置包括折弯部的边框区域的俯视图,是相当于图6的图。
图15是沿着图14中的XV-XV线的有机EL显示装置包括折弯部的边框区域的剖视图。
图16是沿着图14中的XVI-XVI线的有机EL显示装置包括折弯部的边框区域的剖视图。
图17是示出本发明的第三实施方式涉及的有机EL显示装置包括折弯部的边框区域的俯视图,是相当于图6的图。
图18是沿着图17中的XVIII-XVIII线的有机EL显示装置包括折弯部的边框区域的剖视图。
图19是沿着图17中的XIX-XIX线的有机EL显示装置包括折弯部的边框区域的剖视图。
图20是示出本发明的第三实施方式涉及的有机EL显示装置包括折弯部的边框区域的俯视图,是相当于图6的图。
图21是沿着图20中的XXI-XXI线的有机EL显示装置包括折弯部的边框区域的剖视图。
图22是沿着图20中的XXII-XXII线的有机EL显示装置包括折弯部的边框区域的剖视图。
具体实施方式
以下,将基于附图详细说明本发明的实施方式。此外,本发明的实施方式不限于以下示例的实施方式。
[第一实施方式]
图1~图8示出了本发明涉及的显示装置的第一实施方式。另外,作为包括发光元件的显示装置,在以下各实施方式中,示例了包括有机EL元件的有机EL显示装置。在此,图1是示出本实施方式的有机EL显示装置50a的平面图。此外,图2是有机EL显示装置50a的显示区域D的俯视图。此外,图3是沿着图1中的III-III线的有机EL显示装置50a的显示区域D的截面图。此外,图4是示出构成有机EL显示装置50a的TFT层30的等效电路图。此外,图5是构成有机EL显示装置50a的有机EL层33的剖视图。此外,图6是将图1中的区域A放大后的有机EL显示装置50a的包括折弯部B的边框区域F的俯视图。此外,图7及图8是沿着图6中的VII-VII线及沿VIII-VIII线的有机EL显示装置50a的包括折弯部B的边框区域F的剖视图。另外,在图6的俯视图中,省略了后述的第二树脂膜21b及第三树脂膜32b的图示。
如图1所示,有机EL显示装置50a包括例如设置为矩形状的进行图像显示的显示区域D和设置在显示区域D周围的边框区域F。
如图2所示,在显示区域D中,多个子像素P呈矩阵状排列。此外,在显示区域D中,如图2所示,例如设置为具有用于进行红色的显示的红色发光区域Lr的子像素P、具有用于进行绿色的显示的绿色发光区域Lg的子像素P以及具有用于进行蓝色的显示的蓝色发光区域Lb的子像素P彼此相邻。此外,在显示区域D中,例如由具有红色发光区域Lr、绿色发光区域Lg及蓝色发光区域Lb的相邻的三个子像素P构成一个像素。
此外,在边框区域F的图1中的右端部设置具有多个端子E的端子部T。此外,如图1所示,在边框区域F中,在显示区域D和端子部T之间,以沿一个方向(图中纵向)延伸的方式设置有能够以图中纵向为折弯的轴折弯180°(U字状)的折弯部B。此外,在边框区域F中,如图1所示,在后述的第一平坦化膜19a及第二平坦化膜21a中,以贯通第一平坦化膜19a及第二平坦化膜21a的方式设置有大致C状的沟槽G。在此,如图1所示,槽G以端子部T侧开口的方式设置为俯视时大致C字状。
如图3所示,有机EL显示装置50a包括:树脂基板层10,设置为树脂基板;TFT(ThinFilm Transistor)层30,设置在树脂基板层10上;有机EL元件35,作为发光元件设置在TFT层30上;以及密封膜40,设置为覆盖有机EL元件35。
如图3所示,TFT层30包括:设置在树脂基板层10上的底涂膜11;设置在底涂膜11上的多个第一TFT9a、多个第二TFT9b(参照图4)、多个第三TFT9c和多个电容器9d;设置在各第一TFT9a、各第二TFT9b、各第三TFT9c和各电容器9d上的第一平坦化膜19a以及第二平坦化膜21a。
如图3所示,在TFT层30中,底涂膜11、半导体膜、栅极绝缘膜13、第一金属膜、第一层间绝缘膜15(第一无机绝缘膜)、第四金属膜、第二层间绝缘膜17(第二无机绝缘膜)、第二金属膜、第一平坦化膜19a、第三金属膜及第二平坦化膜21a依次层叠在树脂基板层10上。在此,上述半导体膜构成后述的第一半导体层12a等,上述第一金属膜构成后述的栅极线14d等,上述第四金属膜构成后述的上部导电层16a等,上述第二金属膜构成后述的源极线18f等,上述第三金属膜构成后述的电源线20a等。另外,所述第二金属膜以及第三金属膜例如由钛膜、铝膜以及钛膜等金属层叠膜形成,所述第一金属膜以及第四金属膜例如由钼膜等形成。此外,在省略了上述第四金属膜的情况下,作为第一无机绝缘膜,设置有第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17。
在TFT层30中,在显示区域D,如图2及图4所示,沿图中横向相互平行地延伸的方式设置有多条栅极线14d作为多条显示用配线。此外,在TFT层30中,在显示区域D中,如图2和图4所示,以在图中横向上相互平行地延伸的方式设置有多条发光控制线14e作为多条显示用配线。此外,如图2所示,各发光控制线14e设置为与各栅极线14d相邻。另外,在TFT层30中,在显示区域D,如图2和图4所示,以在图中纵向相互平行地延伸的方式设置有多条源极线18f作为多条显示用配线。另外,在TFT层30中,在显示区域D,将在图1中的纵向上相互平行地延伸的多条电源线20a、在图1中的横向上相互平行地延伸的多条电源线20a在各交叉部连结而构成的电源线20a作为多个显示用配线设置成格子状。此外,在TFT层30中,如图4所示,在各子像素中分别设置有第一TFT9a、第二TFT9b以及电容器9d。
底涂膜11由例如氮化硅、氧化硅或氮氧化硅等无机绝缘膜的单层膜或层叠膜构成。
如图4所示,在每个子像素P中,第一TFT9a与对应的栅极线14d、源极线18f以及TFT9b电连接。如图3所示,第一TFT 9a包括依次设置在底涂膜11上的半导体层12a、栅极绝缘膜13、栅极14a、第一层间绝缘膜15、第二层间绝缘膜17以及源极18a和漏极18b。在此,如图3所示,半导体层12a以岛状设置在底涂膜11上,如后述,并具有沟道区域、源极区域和漏极区域。此外,如图3所示,栅极绝缘膜13以覆盖半导体层12a的方式设置。此外,如图3所示,栅极14a以与半导体层12a的沟道区域重叠的方式设置在栅极绝缘膜13上。此外,如图3所示,第一层间绝缘膜15和第二层间绝缘膜17以覆盖栅极14a的方式依次设置。此外,如图3所示,源极18a和漏极18b以彼此分离的方式设置在第二层间绝缘膜17上。此外,如图3所示,源极18a和漏极18b经由形成在栅极绝缘膜13、第一层间绝缘膜15和第二层间绝缘膜17的层叠膜中的各接触孔分别连接到半导体层12a的源极区域和漏极区域。另外,栅极绝缘膜13、第一层间绝缘膜15及第二层间绝缘膜17,例如由氮化硅、氧化硅、氮氧化硅等的无机绝缘膜的单层膜或层叠膜构成。
如图4所示,在每个子像素P中,第二TFT9b与对应的第一TFT9a、电源线20a、第三TFT9c电连接。另外,第二TFT9b具有与第一TFT9a以及第三TFT9c实质上相同的构造。
如图4所示,第3TFT9c在每个子像素P中与对应的第2TFT9a、电源线20a及发光控制线14e电连接。如图3所示,第三TFT9c包括依次设置在底涂膜11上的半导体层12b、栅极绝缘膜13、栅极14b、第一层间绝缘膜15、第二层间绝缘膜17以及源极18c和漏极18d。在此,如图3所示,半导体层12b以岛状设置在底涂膜11上,与半导体层12a同样地,具有沟道区域、源极区域和漏极区域。此外,如图3所示,栅极绝缘膜13以覆盖半导体层12b的方式设置。此外,如图3所示,栅极14b以与半导体层12b的沟道区域重叠的方式设置在栅极绝缘膜13上。此外,如图3所示,第一层间绝缘膜15和第二层间绝缘膜17以覆盖栅极14b的方式依次设置。此外,如图3所示,源极18c和漏极18d以彼此分离的方式设置在第二层间绝缘膜17上。此外,如图3所示,源极18c和漏极18d经由形成在栅极绝缘膜13、第一层间绝缘膜15和第二层间绝缘膜17的层叠膜中的各接触孔分别连接到半导体层12b的源极区域以及漏极区域。
另外,在本实施方式中,例示了顶栅型的第一TFT9a、第二TFT9b以及第三TFT9c,但第一TFT9a、第二TFT9b以及第三TFT9c也可以为底栅型。
如图4所示,在每个子像素P中,电容器9d与对应的第一TFT9a及电源线20a电连接。在此,如图3所示,电容器9d包括:由与栅极电极相同的材料形成在同一层中的下部导电层14c;以覆盖下部导电层14c的方式设置的第一层间绝缘膜15;以及以与下部导电层14c重叠的方式设置在第一层间绝缘膜15上的上部导电层16a。另外,上部导电层16a经由形成于第二层间绝缘膜17以及第一平坦化膜19a的接触孔(不图示),与电源线20a电连接。
第一平坦化膜19a以覆盖各源极线18f的方式设置,例如由聚酰亚胺树脂等有机树脂材料构成。另外,在本实施方式中,例示了聚酰亚胺树脂制的第一平坦化膜19a,但第一平坦化膜19a也可以由丙烯酸树脂、聚硅氧烷树脂等有机树脂材料构成。
第二平坦化膜21a以覆盖电源线20a的方式设置,例如由聚酰亚胺树脂等有机树脂材料构成。另外,在本实施方式中,例示了聚酰亚胺树脂制的第二平坦化膜21a,但第二平坦化膜21a也可以由丙烯酸树脂、聚硅氧烷树脂等有机树脂材料构成。
如图3所示,有机EL元件35包括依次设置在TFT层30上的多个第一电极31a、边缘罩32a、多个有机EL层33和第二电极34。
如图3所示,多个第一电极31a以与多个子像素P对应的方式作为像素电极呈矩阵状地设置在第二平坦化膜21a上。在此,如图3所示,第一电极31a经由形成于第一平坦化膜19a的接触孔、由上述第三金属膜形成的接触层20b以及形成于第二平坦化膜21a的接触孔与各第三TFT9c的漏极18d电连接。此外,第一电极21a还具有将空穴注入到有机EL层33中的功能。此外,为了提高对有机EL层33的空穴注入效率,第一电极31a更优选由功函数大的材料形成。在此,作为形成第一电极31a的材料可以例举例如,银(Ag)、铝(Al)、钒(V)、钴(Co)、镍(Ni)、钨(W)、金(Au)、钛(Ti)、钌(Ru)、锰(Mn)、铟(In)、镱(Yb)、氟化锂(LiF)、铂(Pt)、钯(Pd)、钼(Mo)、铱(Ir)、锡(Sn)等金属材料。此外,构成第一电极31a的材料也可以是例如砹(At)/氧化砹(AtO2)等的合金。进一步地,构成第一电极31a的材料例如也可以为氧化锡(SnO)、氧化锌(ZnO)、铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)那样的导电性氧化物等。此外,第一电极31a也可以通过层叠多个由上述材料构成的多个层来形成。另外,作为功函数大的化合物材料,例如可例举铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)等。
如图3所示,边缘罩32a以覆盖各第一电极31a的周缘部的方式设置成格子状。此处,作为形成边缘罩32a的材料可以例举例如聚酰亚胺树脂、丙烯酸树脂、聚硅氧烷树脂等有机膜。
如图3所示,多个有机EL层33配置在各第一电极31a上,并且以与多个子像素P对应的方式设置成矩阵状。此处,如图5所示,各有机EL层33包括依次设置在第一电极31a上的空穴注入层1、空穴传输层2、发光层3、电子传输层4以及电子注入层5。
空穴注入层1也称为阳极缓冲层,具有使第一电极31a与有机EL层33之间的能级接近,并改善从第一电极31a向有机EL层33注入空穴的效率的功能。此处,构成空穴注入层1的材料例如可列举***衍生物、恶二唑衍生物、咪唑衍生物、聚芳基链烷衍生物、吡唑啉衍生物、苯二胺衍生物、恶唑衍生物、苯乙烯基蒽衍生物、芴酮衍生物、腙衍生物、芪类衍生物等。
空穴输送层2具有提高从第一电极31a向有机EL层33输送空穴的效率的功能。此处,构成空穴输送层2的材料例如可列举卟啉衍生物、芳香族三级胺化合物、苯乙烯胺衍生物、聚乙烯咔唑、聚对苯撑乙烯、聚硅烷、***衍生物、恶二唑衍生物、咪唑衍生物、聚芳基链烷衍生物、吡唑啉衍生物、吡唑啉酮衍生物、苯二胺衍生物、芳基胺衍生物、胺取代查尔酮衍生物、恶唑衍生物、苯乙烯基蒽衍生物、芴酮衍生物、腙衍生物、芪类衍生物、氢化非晶硅、氢化非晶碳化硅、硫化锌、硒化锌等。
发光层3是在对第一电极31a及第二电极34施加电压时,从第一电极31a及第二电极34分别注入空穴及电子且重组空穴和电子的区域。在此,发光层3由发光效率高的材料形成。而且,构成发光层3的材料可列举,例如金属羟基喹啉化合物[8-羟基喹啉金属络合物]、萘衍生物、蒽衍生物、二苯乙烯衍生物、乙烯基丙酮衍生物、三苯胺衍生物、丁二烯衍生物、香豆素衍生物、苯并恶唑衍生物、恶二唑衍生物、恶唑衍生物、苯并咪唑衍生物、噻二唑衍生物、苯并噻唑衍生物、苯乙烯基衍生物、苯乙烯胺衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、三苯乙烯基苯衍生物、苝衍生物、芘酮衍生物、氨基芘衍生物、吡啶衍生物、罗丹明衍生物、吖啶衍生物、吩恶嗪酮、喹吖啶酮衍生物、红荧烯、聚对苯撑乙烯、聚硅烷等。
电子输送层4具有使电子高效率地迁移至发光层3的功能。此处,构成电子输送层4的材料例如可列举作为有机化合物的恶二唑衍生物、***衍生物、苯醌衍生物、萘醌衍生物、蒽醌衍生物、四氰基蒽醌二甲烷衍生物、联苯醌衍生物、芴酮衍生物、噻咯衍生物、金属羟基喹啉化合物等。
电子注入层5接近第二电极34和有机EL层33的能级,具有提高从第二电极34向有机EL层33注入电子的效率的功能,通过该功能,能够降低有机EL元件35的驱动电压。另外,电子注入层5也称为阴极缓冲层。在此,作为构成电子注入层5的材料,例如可举出氟化锂(LiF)、氟化镁(MgF2)、氟化钙(CaF2)、氟化锶(SrF2)、氟化钡(BaF2)那样的无机碱化合物、氧化铝(Al2O3)、氧化锶(SrO)等。
如图3所示,第二电极34作为共用电极并以覆盖各有机EL层33和边缘罩32a的方式设置。此外,第二电极34具有向有机EL层33注入电子的功能。此外,为了提高对有机EL层33的电子注入效率,第二电极34更优选由功函数小的材料构成。在此,作为构成第二电极34的材料,例如可举出银(Ag)、铝(Al)、钒(V)、钙(Ca)、钛(Ti)、钇(Y)、钠(Na)、锰(Mn)、铟(In)、镁(Mg)、锂(Li)、镱(Yb)、氟化锂(LiF)等。此外,第二电极34例如也可以由镁(Mg)/铜(Cu)、镁(Mg)/银(Ag)、钠(Na)/钾(K)、砹(At)/氧化砹(AtO2)、锂(Li)/铝(Al)、锂(Li)/钙(Ca)/铝(Al)、氟化锂(LiF)/钙(Ca)/铝(Al)等合金形成。此外,第二电极34例如也可以由氧化锡(SnO)、氧化锌(ZnO)、铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)等导电性氧化物形成。此外,第二电极34例如也可以如ITO/Ag那样层叠多个由上述材料构成的层而形成。此外,作为功函数小的材料,例如可举出镁(Mg)、锂(Li)、氟化锂(LiF)、镁(Mg)/铜(Cu)、镁(Mg)/银(Ag)、钠(Na)/钾(K)、锂(Li)/铝(Al)、锂(Li)/钙(Ca)/铝(Al)、氟化锂(LiF)/钙(Ca)/铝(Al)等。
如图3所示,密封膜40包括:以覆盖第二电极34的方式设置,且依次设置在第二电极34上的第一无机膜36、有机膜37以及第二无机膜38,并具有保护有机EL元件35的有机EL层33免受水分、氧影响的功能。在此,第一无机膜36和第二无机膜38例如由氮化硅膜、氧化硅膜或氮氧化硅膜等的无机绝缘膜构成。此外,有机膜37由例如丙烯酸树脂、环氧树脂、硅树脂、聚脲树脂、聚对二甲苯树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂等的有机树脂材料构成。
此外,如图1所示,有机EL显示装置50a在边框区域F具备:以框状设置于沟槽G的外侧的第一阻挡壁Wa和以框状设置于第一阻挡壁Wa的周围的第二阻挡壁Wb。在此,第一阻挡壁Wa及第二阻挡壁Wb例如通过将下层树脂层与上层树脂层层叠而形成,该下层树脂层由与第一平坦化膜19a相同的材料形成于同一层,该上层树脂层由与边缘罩32a相同的材料形成于同一层。另外,第一阻挡壁Wa以与密封膜40的有机膜37的周端部重叠的方式设置,以抑制密封膜40的有机膜37的油墨的扩散的方式构成。此外,在沟槽G的内侧例如设置有边框配线(未图示),该边框配线(未图示)在俯视下形成为框状,由延伸的端子部T输入高电平电压(ELVDD),与电源线20a电连接。此外,在沟槽G的外侧,例如设置有其他边框配线(未图示),该其他边框配线在俯视下形成为大致C状,由延伸的端子部T输入低电平电压(ELVSS),与第二电极34电连接。
此外,如图6~图8所示,有机EL显示装置50a在边框区域F的折弯部B具备:第一树脂膜19b,以填平在底涂膜11、栅极绝缘膜13、第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17形成的狭缝S的方式设置;多条第一连接配线20c,设置在第一树脂膜19b上;第二树脂膜21b,以覆盖各第一连接配线20c的方式设置;以及第三树脂膜32b,以覆盖第二树脂膜21b的方式设置。
如图7及图8所示,狭缝S设置成沿折弯部B的延伸方向穿过的沟状,以贯通底涂膜11、栅极绝缘膜13、第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17并向上方开口,使树脂基板层10的上表面露出。此外,在本实施方式中,例示了贯通底涂层11、栅极绝缘膜13、第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的狭缝S,但狭缝S也可以不贯通底涂层11、栅极绝缘膜13、第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17,而在狭缝S的底部残留无机绝缘膜。
如图6以及图7所示,在狭缝S的显示区域D侧(图中左侧),由上述第一金属膜形成的多条第一引出配线14f以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。此外,如图6及图8所示,在狭缝S的显示区域D侧(图中左侧),由上述第四金属膜形成的多条第三引出配线16b以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。另外,如图6所示,各第三引出配线16b设置为与各第一引出配线14f相邻。此外,第一引出配线14f及第三引出配线16b经由引绕配线(未图示)电连接于在显示区域D延伸的信号配线(栅极线14d、发光控制线14e、源极线18f、电源线20a等)。
如图6以及图7所示,在狭缝S的端子部T侧(图中右侧),由上述第一金属膜形成的多条第二引出配线14g以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。此外,如图6及图8所示,在狭缝S的端子部T侧(图中右侧),由上述第四金属膜形成的多条第四引出配线16c以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。另外,如图6所示,各第四引出配线16c以与各第二引出配线14g相邻的方式设置。此外,第二引出配线14g及第四引出配线16c经由其他引绕配线(未图示)与端子部T的端子E电连接。
第一树脂膜19b由与第一平坦化膜19a相同的材料形成在同一层。
多条第一连接配线20c由上述第三金属膜形成,如图6所示,在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸,以跨越第1树脂膜19b的方式设置。在此,如图6及图7所示,相邻的一对第一连接配线20c的一方的显示区域D侧(图中左侧)的端部通过形成于第一层间绝缘膜15及第二层间绝缘膜17的接触孔Ha与第一引出配线14f电连接。此外,如图6及图8所示,相邻的一对第一连接配线20c的另一方的显示区域D侧(图中左侧)的端部经由形成于第二层间绝缘膜17的接触孔Hc与第三引出配线16b电连接。进而,如图6及图7所示,相邻的一对第一连接配线20c的一方的端子部T侧(图中右侧)的端部经由形成于第一层间绝缘膜15及第二层间绝缘膜17的接触孔Hb与第二引出配线14g电连接。此外,如图6及图8所示,相邻的一对第一连接配线20c的另一方端子部T侧(图中右侧)的端部经由形成于第二层间绝缘膜17的接触孔Hd与第四引出配线16c电连接。
第二树脂膜21b通过与第二平坦化膜21a相同的材料形成在同一层。
第三树脂膜32b通过与边缘罩32a相同的材料形成在同一层。
在上述构成的有机EL显示装置50a中,在各子像素P中,通过经由栅极线14d将栅极信号输入到第一TFT9a,使第一TFT9a成为导通状态,通过将与源极信号对应的规定的电压经由源极线18f写入到第二TFT9b的栅极14b及电容器9d,发光控制信号经由发光控制线14e输入到第三TFT9c时,使第三TFT9c成为导通状态,且与第二TFT9b的栅极电压对应的电流从电源线20a供给到有机EL元件33,由此,有机EL层33的发光层3发光,从而进行图像显示。另外,在有机EL显示装置50a中,即使第一TFT9a成为截止状态,由于第二TFT9b的栅极电压通过电容器9d被保持,因此,发光层3的发光也被各像素P维持,直到输入下一帧的栅极信号。
接着,说明本实施方式的有机EL显示装置50a的制造方法。另外,本实施方式的有机EL显示装置50a的制造方法具备TFT层形成工序、有机EL元件形成工序以及密封膜形成工序。
[TFT层形成工序]
例如,通过使用已知的方法,在玻璃基板上所形成的树脂基板层10的表面上形成底涂膜11、第一TFT9a、第二TFT9b、第三TFT9c、电容器9d、第一平坦化膜19a、电源线20a以及第二平坦化膜21a来形成TFT层30。
在此,在显示区域D形成第一TFT9a、第二TFT9b以及第三TFT9c时,在形成源极线18f等之前,在边框区域F的折弯部B,通过干蚀刻除去底涂膜11、栅极绝缘膜13、第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的层叠膜,形成狭缝S。其后,在形成源极线18f等之后,在显示区域D形成第一平坦化膜19a时,在边框区域F以填埋狭缝S的方式形成第一树脂膜19b。接着,在显示区域D形成电源线20a等时,在边框区域F形成第一连接配线20c。进而,在显示区域D以覆盖电源线20a等的方式形成第二平坦化膜21a时,在边框区域F以覆盖第一连接配线20c的方式形成第二树脂膜21b。
[有机EL元件形成工序]
通过使用已知的方法,在上述TFT层形成工序中所形成的TFT层30的第二平坦化膜21a上形成第一电极31a、边缘罩32a、有机EL层33(空穴注入层1、空穴传输层2、发光层3、电子传输层4、电子注入层5)和第二电极34来形成有机EL元件35。
在此,在显示区域D中,在以覆盖第一电极31a的周缘部的方式形成边缘罩32a时,在边框区域F中以覆盖第二树脂膜21b的方式形成第三树脂膜32b。
[密封膜形成工序]
首先,使用掩模,例如,通过等离子体CVD(chemical vapor deposition,化学气相沉积)法在上述有机EL发光元件形成工序中形成有有机EL元件35的基板表面上形成氮化硅膜、氧化硅膜或氮氧化硅膜等无机绝缘膜来形成第一无机膜36。
接着,例如在形成有第一无机膜36的基板表面上通过喷墨法将丙烯酸树脂等有机树脂材料成膜,以形成有机膜37。
进一步地,例如使用掩模,通过等离子体CVD法在形成有有机膜37的基板上形成氮化硅膜、氧化硅膜或氮氧化硅膜等无机绝缘膜,并通过形成第二无机膜38来形成密封膜40。
最后,在形成有密封膜40的基板表面上贴附保护片(未图示)之后,通过从树脂基板层10的玻璃基板照射激光,从而使玻璃基板从树脂基板层10的下表面剥离,进一步地,在剥离了玻璃基板的树脂基板层10的下表面贴附保护片(未图示)。
如上所述,能够制造本实施方式的有机EL显示装置50a。
如上所述,根据本实施方式的有机EL显示装置50a,在显示区域D分别设置有:由第二金属膜形成的多条源极线18f;覆盖各源极线18f的第一平坦化膜19a;以及由第三金属膜形成在第一平坦化膜19a上的多条电源线20a。此外,在边框区域F的折弯部B以填埋在底涂膜11、栅极绝缘膜13、第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17形成的狭缝S的方式设置有第一树脂膜19b。而且,在第一树脂膜19b的上表面,由第三金属膜形成的多条第一连接配线20c以在与折弯部B的延伸方向交叉的方向上彼此平行延伸的方式设置。在此,填充狭缝S的第一树脂膜19b由与第一平坦化膜19a相同的材料形成在同一层,仅以填充折弯部B的狭缝S的方式无需独立设置平坦化膜,因此能够以低成本抑制边框区域F的折弯部B中的第一连接配线20c的断线。
此外,根据本实施方式的有机EL显示装置50a,多条第一连接配线20c中的相邻的一对第一连接配线20c中的一方经由形成于第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的接触孔Ha以及Hb,与第一引出配线14f以及第二引出配线14g电连接。此外,相邻的一对第一连接配线20c的另一方经由形成于第二层间绝缘膜17的接触孔Hc和Hd与第三引出配线16b和第四引出配线16c电连接。在此,第一引出配线14f和第二引出配线14g由第一金属膜形成,第三引出配线16b和第四引出配线16c由第四金属膜形成,因此,第一层间绝缘膜15介于第一引出配线14f和第二引出配线14g和第三引出配线16b和第四引出配线16c之间。由此,能够使第一引出配线14f和第二引出配线14g与第三引出配线16b和第四引出配线16c靠近地配置,因此能够使折弯部B中的相邻的配线间的间距变窄。
[第二实施方式]
图9~图16示出了本发明涉及的显示装置的第二实施方式。在此,图9是示出本实施方式的有机EL显示装置50b包含折弯部B的边框区域F的俯视图,是相当于图6的图。此外,图10及图11是沿着图9中的沿X-X线以及XI-XI线的有机EL显示装置50a包含折弯部B的边框区域F的剖视图。此外,在以下的各实施方式中,在与图1至图8相同的部分添加相同的附图标记,并省略其详细的说明。此外,在图9的俯视图中,省略了后述的第二树脂膜21c及第三树脂膜32c的图示。
在上述第一实施方式中,例示了第一引出配线14f及第二引出配线14g经由第一连接配线20c电连接的有机EL显示装置50a,但在本实施方式中,例示第一引出配线14f及第二引出配线14g经由第一连接配线20d、第二连接配线31b及第三连接配线31c电连接的有机EL显示装置50b。
与上述第一实施方式的有机EL显示装置50a同样地,有机EL显示装置50b具备显示区域D和设置在显示区域D的周围的边框区域F。
与上述第一实施方式的有机EL显示装置50a同样地,有机EL显示装置50b包括树脂基板层10、设置在树脂基板层10上的TFT层30、设置在TFT层30上的有机EL元件35、以覆盖有机EL元件35的方式设置的密封膜40。
与上述第一实施方式的有机EL显示装置50a同样地,有机EL显示装置50b在边框区域F中具备以框状设置于槽G的外侧的第1阻挡壁Wa和以框状设置于第1阻挡壁Wa的周围的第2阻挡壁Wb。
如图9~图11所示,有机EL显示装置50b具备:第一树脂膜19b,以填埋形成于边框区域F的折弯部B的狭缝S的方式设置;多条第一连接配线20d,设置于第一树脂膜19b上;第二树脂膜21c,以覆盖各第一连接配线20d的方式设置;多条第二连接配线31b及多条第三连接配线31c,设置于第二树脂膜21c上;以及第三树脂膜32c,以覆盖各第二连接配线31b及各第三连接配线31c的方式设置。
如图9以及图10所示,在狭缝S的显示区域D侧(图中左侧),由上述第一金属膜形成的多条第一引出配线14fb以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。此外,如图9及图11所示,在狭缝S的显示区域D侧(图中左侧),由上述第四金属膜形成的多条第三引出配线16bb以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。另外,如图9所示,各第三引出配线16bb设置为与各第一引出配线14fb相邻。此外,第一引出配线14fb及第三引出配线16bb经由引绕配线(未图示)电连接于在显示区域D延伸的信号配线(栅极线14d、发光控制线14e、源极线18f、电源线20a等)。
如图9及图10所示,在狭缝S的端子部T侧(图中右侧),由上述第一金属膜形成的多条第二引出配线14gb设置为在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸。此外,如图9及图11所示,在狭缝S的端子部T侧(图中右侧),由上述第四金属膜形成的多条第四引出配线16cb以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。另外,如图9所示,各第四引出配线16cb以与各第二引出配线14gb相邻的方式设置。此外,第二引出配线14gb和第四引出配线16cb经由其他引绕配线(未图示)与端子部T的端子E电连接。
多条第1连接配线20d由上述第三金属膜形成,如图9所示,以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。
第二树脂膜21c通过与第二平坦化膜21a相同的材料形成在同一层。
多条第二连接配线31b与各个第一电极31a由相同的材料形成于同一层,如图9~图11所示,多条第二连接配线31b在第二树脂膜21c的上表面的显示区域D侧(图中左侧)设置为,在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸,并在第二树脂膜21c的显示区域D侧(图中左侧)的侧面以及第二层间绝缘膜17上延伸。
多条第三连接配线31c与各第一电极31a由相同的材料形成于同一层,如图9~图11所示,多条第三连接配线31c在第二树脂膜21c的上表面的端子部T侧(图中右侧)设置为,在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸,并在第二树脂膜21c的端子部T侧(图中右侧)的侧面以及第二层间绝缘膜17上延伸。
第三树脂膜32c通过与边缘罩32a相同的材料形成在同一层。
在此,如图9及图10所示,相邻的一对第一连接配线20d中的一条的显示区域D侧(图中左侧)的端部经由形成于第二树脂膜21c的接触孔Hf、第二连接配线31b和形成于第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的接触孔He与第一引出配线14fb电连接。此外,如图9及图11所示,相邻的一对第一连接配线20d中的另一条的显示区域D侧(图中左侧)的端部经由形成于第二树脂膜21c的接触孔Hf、第二连接配线31b以及形成于第二层间绝缘膜17的接触孔Hi与第三引出配线16bb电连接。进而,如图9及图10所示,相邻的一对第一连接配线20d中的一条的端子部T侧(图中右侧)的端部经由形成于第二树脂膜21c的接触孔Hh、第三连接配线31c和形成于第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的接触孔Hg与第二引出配线14gb电连接。此外,如图9及图11所示,相邻的一对第一连接配线20d中的另一条的端子部T侧(图中右侧)的端部经由形成于第二树脂膜21c的接触孔Hh、第三连接配线31c以及第二层间绝缘膜17的接触孔Hj与第四引出配线16cb电连接。
上述的有机EL显示装置50b构成为,具有与上述第一实施方式的有机EL显示装置50a相同的可挠性,并且在每个子像素中,通过第一TFT9a、第二TFT9b以及第三TFT9c使有机EL层33的发光层3适当地发光来进行图像显示。
另外,在本实施方式中,例示了第二连接配线31b及第三连接配线31c在第二树脂膜21c的侧面延伸的有机EL显示装置50b,但也可以是如图12及图13所示,第二连接配线31ba及第三连接配线31ca为仅形成于第二树脂膜21ca的上表面的有机EL显示装置50ba。在此,图12和图13是包含有机EL显示装置50b的变形例1的有机EL显示装置50ba的折弯部B的边框区域F的剖视图,是相当于图10和图11的图。
具体而言,在有机EL显示装置50ba中,如图12及图13所示,在与有机EL显示装置50b的第二树脂膜21c相当的第二树脂膜21ca的上表面的显示区域D侧(图中左侧),以与各第一电极31a相同的材料形成于同一层的多条第二连接配线31ba在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。此外,在有机EL显示装置50ba中,如图12及图13所示,在第二树脂膜21ca的上表面的端子部T侧(图中右侧),以与各第一电极31a相同的材料形成在同一层上的多条第三连接配线31ca在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。在此,如图12所示,第二连接配线31ba的显示区域D侧(图中左侧)经由形成于第二树脂膜21ca、第二层间绝缘膜17及第一层间绝缘膜15的接触孔Hk与第一引出配线14f电连接,或者经由形成于第二树脂膜21ca及第二层间绝缘膜17的接触孔Hm与第三引出配线16b电连接。此外,如图12所示,第三连接配线31ca的端子部T(图中右侧)经由形成于第二树脂膜21ca、第二层间绝缘膜17及第一层间绝缘膜15的接触孔H1与第一引出配线14g电连接,或者如图13所示,经由形成于第二树脂膜21ca及第二层间绝缘膜17的接触孔Hn与第三引出配线16c电连接。
此外,在本实施方式中,例示了第一树脂膜19b的侧面从金属层露出的有机EL显示装置50b,但也可以如图14~图16所示,是第一树脂膜19b的侧面被金属层20e覆盖的有机EL显示装置50bb。在此,图14是有机EL显示装置50b的变形例2的包括有机EL显示装置50bb的折弯部B的边框区域F的俯视图,是相当于图6的图。此外,图15和图16是包括沿着图14中的XV—XV线和XVI—XVI线的有机EL显示装置的折弯部的边框区域的剖视图。另外,在图14的俯视图中,省略了后述的第二树脂膜21d及第三树脂膜32c的图示。
具体而言,如图14~图16所示,有机EL显示装置50bb具备:第一树脂膜19b,以填埋形成于边框区域F的弯曲部B的狭缝S的方式设置;多条第一连接配线20d,设置于第一树脂膜19b上;金属层20e,设置于第一树脂膜19b的侧面;第二树脂膜21d,以覆盖各第一连接配线20d以及金属层20e的方式设置;多条第二连接配线31b及多条第三连接配线31c,设置于第二树脂膜21d上;以及第三树脂膜32c,以覆盖各第二连接配线31b及各第三连接配线31c的方式设置。在此,金属层20e由上述第三金属膜形成,如图14~图16所示,以覆盖第一树脂膜19b的侧面的方式设置。
如图14以及图15所示,在狭缝S的显示区域D侧(图中左侧),由上述第一金属膜形成的多条第一引出配线14fc以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。此外,如图14及图16所示,在狭缝S的显示区域D侧(图中左侧),由上述第四金属膜形成的多条第三引出配线16bc以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。另外,如图14所示,各第三引出配线16bc设置为与各第一引出配线14fc相邻。此外,第一引出配线14fc及第三引出配线16bc经由引绕配线(未图示)电连接于在显示区域D延伸的信号配线(栅极线14d、发光控制线14e、源极线18f、电源线20a等)。此外,如图14及图15所示,在狭缝S的端子部T侧(图中右侧),由上述第一金属膜形成的多条第二引出配线14gc以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。此外,如图14及图16所示,在狭缝S的端子部T侧(图中右侧),由上述第四金属膜形成的多条第四引出配线16cc以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。另外,如图14所示,各第四引出配线16cc以与各第二引出配线14gc相邻的方式设置。此外,第二引出配线14gc和第四引出配线16cc经由其他引绕配线(未图示)与端子部T的端子E电连接。
如图14及图15所示,相邻的一对第一连接配线20d中的一条的显示区域D侧(图中左侧)的端部经由形成于第二树脂膜21d的接触孔Hf、第二连接配线31b和形成于第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的接触孔He与第一引出配线14fc电连接。此外,如图14及图16所示,相邻的一对第一连接配线20d中的另一条的显示区域D侧(图中左侧)的端部经由形成于第二树脂膜21d的接触孔Hf、第二连接配线31b以及形成于第二层间绝缘膜17的接触孔Hi与第三引出配线16bc电连接。进而,如图14及图15所示,相邻的一对第一连接配线20d中的一条的端子部T侧(图中右侧)的端部经由形成于第二树脂膜21d的接触孔Hh、第三连接配线31c和形成于第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的接触孔Hg与第二引出配线14gc电连接。此外,如图14及图16所示,相邻的一对第一连接配线20d中的另一条的端子部T侧(图中右侧)的端部经由形成于第二树脂膜21d的接触孔Hh、第三连接配线31c以及第二层间绝缘膜17的接触孔Hj与第四引出配线16cc电连接。
根据上述的有机EL显示装置50bb,由于第一树脂膜19b的至少侧面被金属层20e覆盖,因此在将第一连接配线20d形成于第一树脂膜19b的上表面时进行的干蚀刻中,能够抑制第一树脂膜19b的表层的蚀刻,能够抑制干式蚀刻装置的腔室内的污染。
此外,在本变形例2中,例示了在本实施方式的有机EL显示装置50b的第一树脂膜19b的侧面设置有金属层20e的结构,但金属层20e也可以设置在上述变形例1的有机EL显示装置50ba的第一树脂膜19b的侧面。
本实施方式的有机EL显示装置50b能够通过如下方式制造:在上述第一实施方式的有机EL显示装置50a的制造方法中,变更第一连接配线20c的图案形状,在形成第一电极31a时,形成第二连接配线31b及第三连接配线31c。
如以上说明的那样,根据本实施方式的有机EL显示装置50b,在显示区域D分别设置有通过第二金属膜形成的多条源极线18f、覆盖各源极线18f的第一平坦化膜19a以及在第一平坦化膜19a上由第三金属膜形成的多条电源线20a。此外,在边框区域F的折弯部B以填埋在底涂膜11、栅极绝缘膜13、第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17形成的狭缝S的方式设置有第一树脂膜19b。而且,在第一树脂膜19b的上表面,由第三金属膜形成的多条第一连接配线20d以在与折弯部B的延伸方向交叉的方向上彼此平行延伸的方式设置。在此,填充狭缝S的第一树脂膜19b由与第一平坦化膜19a相同的材料形成在同一层,仅以填充折弯部B的狭缝S的方式无需另外设置平坦化膜,因此能够以低成本抑制边框区域F的折弯部B中的第一连接配线20d的断线。
此外,根据本实施方式的有机EL显示装置50b,多条第一连接配线20d中的相邻的一对第一连接配线20d中中的一条经由形成于第二树脂膜21c的接触孔Hf、第二连接配线31b、形成于第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的接触孔He与第一引出配线14fb电连接,同时经由形成于第二树脂膜21c的接触孔Hh、第三连接配线31c、形成于第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的接触孔Hg与第二引出配线14gb电连接。此外,相邻的一对第一连接配线20d的另一条经由形成于第二树脂膜21c的接触孔Hf、第二连接配线31b以及形成于第二层间绝缘膜17的接触孔Hi与第三引出配线16bb电连接,同时经由形成于第二树脂膜21c的接触孔Hh、第三连接配线31c以及形成于第二层间绝缘膜17的接触孔Hj与第四引出配线16cb电连接。在此,第一引出配线14fb和第二引出配线14gb由第一金属膜形成,第三引出配线16bb和第四引出配线16cb由第四金属膜形成,因此,第一层间绝缘膜15介于第一引出配线14fb以及第二引出配线14gb和第三引出配线16bb以及第四引出配线16cb之间。由此,由于能够使第一引出配线14fb以及第二引出配线14gb和第三引出配线16bb以及第四引出配线16cb靠近地配置,因此能够使折弯部B中相邻的配线间的间距变窄。
[第三实施方式]
图17~图22示出了本发明涉及的显示装置的第三实施方式。在此,图17是示出本实施方式的有机EL显示装置50c包含折弯部B的边框区域F的俯视图,是相当于图6的图。此外,图18及图19是沿着图17中的XVIII-XVIII线以及XIX—XIX线的有机EL显示装置50c的折弯部的边框区域的剖视图。
在上述第一和第二实施方式中,例示了第一连接配线20c和20d在显示区域D侧和端子部T侧一体地形成的有机EL显示装置50a和50b,但例示第一连接配线在显示区域D侧和端子部T侧分开地形成的有机EL显示装置50c。
与上述第一实施方式的有机EL显示装置50a同样地,有机EL显示装置50c具备显示区域D和设置在显示区域D的周围的边框区域F。
与上述第一实施方式的有机EL显示装置50a同样地,有机EL显示装置50c包括树脂基板层10、设置在树脂基板层10上的TFT层30、设置在TFT层30上的有机EL元件35、以覆盖有机EL元件35的方式设置的密封膜40。
与上述第一实施方式的有机EL显示装置50a同样地,有机EL显示装置50c在边框区域F中具备以框状设置于槽G的外侧的第1阻挡壁Wa和以框状设置于第1阻挡壁Wa的周围的第2阻挡壁Wb。
如图17图19所示,有机EL显示装置50c包括:多条下层连接配线18g,设置在形成于边框区域F的折弯部B的狭缝S的底部;第一树脂膜19c,以覆盖各下层连接配线18g并填埋狭缝S的方式设置;多条显示侧第一连接配线20f及多条端子侧第一连接配线20g,设置在第一树脂膜19c上;以及第二树脂膜21d,以覆盖各显示侧第一连接配线20f及各端子侧第一连接配线20g的方式设置。
多条下层连接配线18g由上述第二金属膜形成,如图17所示,以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。
多条显示侧第一连接配线20f由上述第三金属膜形成,如图17~图19所示,在第一树脂膜19c的上表面的显示区域D侧(图中左侧),以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸,且在第一树脂膜19c的显示区域D侧(图中左侧)的侧面以及第二层间绝缘膜17上延伸的方式设置。
多条端子侧第一连接配线20g由上述第三金属膜形成,如图17~图19所示,在第一树脂膜19c的上表面的端子部T侧(图中右侧),以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸,且在第一树脂膜19c的端子部T侧(图中右侧)的侧面及第二层间绝缘膜17上延伸的方式设置。
第二树脂膜21d通过与第二平坦化膜21a相同的材料形成在同一层。
在此,如图17及图18所示,相邻的一对显示侧第一连接配线20f中的一条的显示区域D侧(图中左侧)的端部经由形成于第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的接触孔Ha与第一引出配线14fb电连接。此外,相邻的一对显示侧第一连接配线20f中的另一条的显示区域D侧(图中左侧)的端部如图17及图19所示,经由形成于第二层间绝缘膜17的接触孔Hc与第三引出配线16bb电连接。此外,如图17~图19所示,相邻的一对显示侧第一连接配线20f两者的端子部T侧(图中右侧)的端部经由形成于第一树脂膜19c的一对接触孔Ho与下层连接配线18g的显示区域D侧(图中左侧)电连接。
此外,如图17及图18所示,相邻的一对端子侧第一连接配线20g中的一条的端子部T侧(图中右侧)的端部经由形成于第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的接触孔Hb电连接于第二引出配线4gb。此外,如图17以及图19所示,相邻的一对端子侧第一连接配线20g中的另一条的端子部T侧(图中右侧)的端部经由形成于第二层间绝缘膜17的接触孔Hd与第三引出配线16cb电连接。此外,如图17~图19所示,相邻的一对端子侧第一连接配线20g的两者的显示区域D侧(图中左侧)的端部经由形成于第一树脂膜19c的一对接触孔Hp与下层连接配线18g的端子部T侧(图中右侧)电连接。
上述的有机EL显示装置50c构成为,具有与上述第一实施方式的有机EL显示装置50a相同的可挠性,并且在每个子像素中,通过第一TFT9a、第二TFT9b以及第三TFT9c使有机EL层33的发光层3适当地发光来进行图像显示。
另外,在本实施方式中,例示了显示侧第一连接配线20f和端子侧第一连接配线20g在第一树脂膜19c的侧面延伸的有机EL显示装置50c,但如图20~图22所示,也可以是显示侧第一连接配线20f和端子侧第一连接配线20g仅形成于第一树脂膜19ca的上表面的有机EL显示装置50ca。在此,图20是包含有机EL显示装置50c的变形例的有机EL显示装置50ca的折弯部B的边框区域F的俯视图,是相当于图6的图。此外,图21和图22是包括沿着图20中的XXI—XXI线和XXII—XXII线的有机EL显示装置的折弯部的边框区域的剖视图。
具体而言,在有机EL显示装置50ca中,如图20~图22所示,在相当于有机EL显示装置50c的第一树脂膜19c的第一树脂膜19ca的上表面的显示区域D侧(图中左侧),由上述第三金属膜形成的多条显示侧第一连接配线20fa以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。此外,在有机EL显示装置50ca中,如图20~图22所示,在第一树脂膜19ca的上表面的端子部T侧(图中右侧),由上述第三金属膜形成的多条端子侧第一连接配线20ga以在与折弯部B的延伸方向正交的方向上相互平行地延伸的方式设置。
在此,如图20及图21所示,显示侧第一连接配线20fa的显示区域D侧(图中左侧)经由形成于第一树脂膜19ca的接触孔Hq、第一接触层18h和形成于第二层间绝缘膜17以及第一层间绝缘膜15的接触孔Hs与第一引出配线14fb电连接,或者如图20及图22所示,经由形成于第一树脂膜19ca的接触孔Hq、第一接触层18以及第二层间绝缘膜17的接触孔Hu与第三引出配线16bb电连接。此外,如图20~图22所示,显示侧第一连接配线20fa的端子部T侧(图中右侧)经由形成于第一树脂膜19ca的接触孔Ho与下层连接配线18g的显示区域D侧(图中左侧)电连接。进而,如图20及图21所示,端子侧第一连接配线20ga的端子部T侧(图中右侧)经由形成于第一树脂膜19ca的接触孔Hr、第二接触层18i和形成于第二层间绝缘膜17以及第一层间绝缘膜15的接触孔Ht与第二引出配线14gb电连接,或者如图20及图22所示,经由形成于第一树脂膜19ca的接触孔Hr、第二接触层18i以及第二层间绝缘膜17的接触孔Hv与第四引出配线16cb电连接。此外,如图20~图22所示,端子侧第一连接配线20ga的显示区域D侧(图中左侧)经由形成于第一树脂膜19ca的接触孔Hp与下层连接配线18g的端子部T侧(图中右侧)电连接。另外,第一接触层18h以及第二接触层18i由上述第二金属膜形成。
本实施方式的有机EL显示装置50c能够通过在上述第一实施方式的有机EL显示装置50a的制造方法中形成源极线18f等时,形成下层连接配线18g,改变第一连接配线20c的图案形状来制造。
如以上说明的那样,根据本实施方式的有机EL显示装置50c,在显示区域D分别设置有通过第二金属膜形成的多条源极线18f、覆盖各源极线18f的第一平坦化膜19a以及在第一平坦化膜19a上由第三金属膜形成的多条电源线20a。此外,在边框区域F的折弯部B以填埋在底涂膜11、栅极绝缘膜13、第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17形成的狭缝S的方式设置有第一树脂膜19c。而且,在第一树脂膜19c的上表面,由第三金属膜形成的多条显示侧第一连接配线20f及多条端子侧第一连接配线20g以在与折弯部B的延伸方向交叉的方向上相互平行地延伸的方式设置。在此,填充狭缝S的第一树脂膜19c与第一平坦化膜19a由相同的材料形成于同一层,仅填充折弯部B的狭缝S而无需另外设置平坦化膜,因此能够以低成本抑制边框区域F的折弯部B中的显示侧第一连接配线20f和端子侧第一连接配线20g的断线。
此外,根据本实施方式的有机EL显示装置50c,多条显示侧第一连接配线20f中相邻的一对显示侧第一连接配线20f中的一条的显示区域D侧经由形成于第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的接触孔Ha与第一引出配线14fb电连接,并且,多条端子侧第一连接配线20g中的相邻的一对端子侧第一连接配线20g中的一条的端子部T侧经由形成于第一层间绝缘膜15以及第二层间绝缘膜17的接触孔Hb与第二引出配线14gb电连接。此外,多条显示侧第一连接配线20f中的相邻的一对显示侧第一连接配线20f中的另一条的显示区域D侧经由形成于第二层间绝缘膜17的接触孔Hc与第三引出配线16bb电连接,并且多条端子侧第一连接配线20g中的相邻的一对端子侧第一连接配线20g中的另一条的端子部T侧经由形成于第二层间绝缘膜17的接触孔Hd与第四引出配线16cb电连接。在此,第一引出配线14fb和第二引出配线14gb由第一金属膜形成,第三引出配线16bb和第四引出配线16cb由第四金属膜形成,因此,第一层间绝缘膜15介于第一引出配线14fb以及第二引出配线14gb和第三引出配线16bb以及第四引出配线16cb之间。由此,由于能够使第一引出配线14fb以及第二引出配线14gb和第三引出配线16bb以及第四引出配线16cb靠近地配置,因此能够使折弯部B中相邻的配线间的间距变窄。
[其他实施方式]
在上述各实施方式中,例示了空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层及电子注入层的五层层叠构造的有机EL层,但有机EL层例如也可以为空穴注入层兼空穴输送层、发光层及电子输送层兼电子注入层的三层层叠构造。
此外,在上述各实施方式中,例示了将第一电极设为阳极、第二电极设为阴极的有机EL显示装置,但本发明还能够应用于使有机EL层的层叠构造反转,且将第一电极设为阴极,将第二电极设为阳极的有机EL显示装置。
此外,在上述各实施方式中,例示了将与第一电极连接的TFT的电极设为漏极的有机EL显示装置,但本发明还能够应用于将与第一电极连接的TFT的电极设为源极的有机EL显示装置。
此外,在上述各实施方式中,作为显示装置以有机EL显示装置为例进行了说明,但本发明可以适用于包括由电流驱动的多个发光元件的显示装置。例如,可以适用于包括使用了含量子点层的发光元件的QLED(Quantum-dot Light Emitting Diode,量子点发光二极管)的显示装置。
工业上的实用性
如以上说明,本发明可用于柔性的有机EL显示装置。
附图标记说明
B 折弯部
D 显示区域
E 端子
F 边框区域
Ha~Hv 接触孔
S 狭缝
T 端子部
10 树脂基板层
14d 栅极线(显示用配线)
14f、14fb 第一引出配线
14g、14gb 第二引出配线
15 第一层间绝缘膜(第一无机绝缘膜)
16b、16bb 第三引出配线
16c、16cb 第四引出配线
17 第二层间绝缘膜(第一无机绝缘膜、第二无机绝缘膜)
18f 源极线(第一显示用配线)
18g 下层连接配线
18h 第一接触层
18i 第二接触层
19a 第一平坦化膜
19b 第一树脂膜
20a 电源线(第二显示用配线)
20c、20d 第一连接配线
20f、20fa 显示侧第一连接配线
20g、20ga 端子侧第一连接配线
20e 金属层
21a 第二平坦化膜
21c、21ca 第二树脂膜
30 TFT层
31a 第一电极(像素电极)
31b、31ba 第二连接配线
31c、31ca 第三连接配线
32a 边缘罩
35 有机EL元件(发光元件)
50a、50b、50ba、50bb、50c、50ca 有机EL显示装置
Claims (14)
1.一种显示装置,其特征在于,包括:
树脂基板,分别规定了进行图像显示的显示区域、在所述显示区域周围的边框区域、在所述边框区域的端部的端子部以及在所述端子部和所述显示区域之间向一个方向延伸的折弯部;
TFT层,设置于所述树脂基板上,依次层叠有第一金属膜、第一无机绝缘膜、第二金属膜、第一平坦化膜、第三金属膜及第二平坦化膜;以及
发光元件,其具有设置在所述TFT层上且配置在所述第二平坦化膜上的多个像素电极以及覆盖各所述像素电极的周缘部的边缘罩,在所述折弯部中,所述第一无机绝缘膜以向所述折弯部的延伸方向延伸的方式设置有向上方开口的狭缝,
在所述狭缝的所述显示区域侧以及所述端子部侧分别设置有由所述第一金属膜形成的多条第一引出配线以及多条第二引出配线,以使其在与所述折弯部的延伸方向交叉的方向上彼此平行地延伸,
在所述显示区域中分别设置有由所述第二金属膜形成的多条第一显示用配线、覆盖各所述第一显示用配线的所述第一平坦化膜、在所述第一平坦化膜上由所述第三金属膜形成的多条第二显示用配线以及覆盖各所述第二显示用配线的所述第二平坦化膜,
在所述折弯部设置有第一树脂膜,所述第一树脂膜以填埋所述狭缝的方式由与所述第一平坦化膜相同的材料形成在同一层,
在所述第一树脂膜的上表面,由所述第三金属膜形成的多条第一连接配线以在与所述折弯部的延伸方向交叉的方向上相互平行地延伸的方式设置,
所述多条第一连接配线在所述狭缝的所述显示区域侧分别与所述多条第一引出配线电连接,在所述狭缝的所述端子部侧分别与所述多条第二引出配线电连接。
2.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,
所述多条第一连接配线以跨越所述第一树脂膜的方式设置,经由形成于所述第一无机绝缘膜的接触孔与所述多条第一引出配线和所述多条第二引出配线分别电连接。
3.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,
在所述折弯部中,在所述第一树脂膜及所述各第一连接配线上设置有由与所述第二平坦化膜相同的材料形成在同一层的第二树脂膜,
在所述第二树脂膜的上表面的所述显示区域侧和所述端子部侧分别设置有多条第二连接配线及多条第三连接配线,所述多条第二连接配线以及所述多条第三连接配线由与所述各像素电极相同的材料形成于同一层并在与所述折弯部的延伸方向交叉的方向上彼此平行地延伸,
所述多条第二连接配线在所述第二树脂膜的所述显示区域侧的侧面以及所述第一无机绝缘膜上延伸,所述多条第二连接配线经由形成于所述第一无机绝缘膜的接触孔分别与所述多条第一引出配线电连接,并且经由形成在所述第二树脂膜的接触孔分别与所述多条第一连接配线的所述显示区域侧电连接,
所述多条第三连接配线在所述第二树脂膜的所述端子部侧的侧面以及所述第一无机绝缘膜上延伸,经由形成于所述第一无机绝缘膜的接触孔分别与所述多条第二引出配线电连接,并且经由形成于所述第二树脂膜的接触孔分别与所述多条第一连接配线的所述端子部侧电连接。
4.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,
在所述折弯部中,在所述第一树脂膜以及各条所述第一连接配线上设置有由与所述第二平坦化膜相同的材料形成在同一层的第二树脂膜,
在所述第二树脂膜的上表面的所述显示区域侧和所述端子部侧分别设置有多条第二连接配线以及多条第三连接配线,所述多条第二连接配线以及所述多条第三连接配线由与所述各像素电极相同的材料形成于同一层并在与所述折弯部的延伸方向交叉的方向上彼此平行地延伸,
所述多条第二连接配线经由形成于所述第二树脂膜以及所述第一无机绝缘膜的接触孔分别与所述多条第一引出配线电连接,且经由形成于所述第二树脂膜的接触孔分别与所述多条第一连接配线的所述显示区域侧电连接,
所述多条第三连接配线经由形成于所述第二树脂膜以及所述第一无机绝缘膜的接触孔分别与所述多条第二引出配线电连接,并且经由形成于所述第二树脂膜的接触孔分别与所述多条第一连接配线的所述端子部侧电连接。
5.根据权利要求3或4所述的显示装置,其特征在于,
所述第一树脂膜的至少侧面被由所述第三金属膜形成的金属层覆盖。
6.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,
在所述狭缝的底部,由所述第二金属膜形成的多条下层连接配线设置为在与所述折弯部的延伸方向交叉的方向上相互平行地延伸,
所述多条第一连接配线经由形成于所述第一树脂膜的接触孔分别经过所述多条下层连接配线。
7.根据权利要求6所述的显示装置,其特征在于,
所述多条第一连接配线包括设置于所述显示区域侧的多条显示侧第一连接配线以及设置于所述端子部侧的多条端子侧第一连接配线,
所述多条显示侧第一连接配线在所述第一树脂膜的所述显示区域侧的侧面以及所述第一无机绝缘膜上延伸,经由形成于所述第一无机绝缘膜的接触孔分别与所述多条第一引出配线电连接,并且经由形成于所述第一树脂膜的接触孔分别与所述多条下层连接配线的所述显示区域侧电连接,
所述多条端子侧第一连接配线在所述第一树脂膜的所述端子部侧的侧面以及所述第一无机绝缘膜上延伸,经由形成在所述第一无机绝缘膜上的接触孔分别与所述多条第二引出配线电连接,并且经由形成在所述第一树脂膜上的接触孔分别与所述多条下层连接配线的所述端子部侧电连接。
8.根据权利要求6所述的显示装置,其特征在于,
所述多条第一连接配线包括设置于所述显示区域侧的多条显示侧第一连接配线以及设置于所述端子部侧的多条端子侧第一连接配线,
在所述狭缝的所述显示区域侧的边缘部的所述第一无机绝缘膜上,设有由所述第二金属膜形成的多个第一接触层,经由形成在所述第一无机绝缘膜上的接触孔分别与所述多条第一引出配线电连接,
在所述狭缝的所述端子部侧的边缘部的所述第一无机绝缘膜上,设有由所述第二金属膜形成的多个第二接触层,经由形成在该第一无机绝缘膜上的接触孔分别与所述多条第二引出配线电连接,
所述多条显示侧第一连接配线经由形成于所述第一树脂膜的接触孔分别与所述多个第一接触层电连接,并且通过形成于所述第一树脂膜的其它接触孔分别与所述多条下层连接配线的所述显示区域侧电连接,
所述多条端子侧第一连接配线经由形成于所述第一树脂膜的接触孔分别与所述多个第二接触层电连接,并且经由形成于所述第一树脂膜的其它接触孔分别与所述多条下层连接配线的所述端子部侧电连接。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的显示装置,其特征在于,
所述TFT层在所述第一无机绝缘膜和所述第二金属膜之间具备从所述第一无机绝缘膜侧开始依次设置的第四金属膜和第二无机绝缘膜,
在所述狭缝的所述显示区域侧和所述端子部侧分别设置有由所述第四金属膜形成的多条第三引出配线和多条第四引出配线,以使所述多条第三引出配线和所述多条第四引出配线在与所述折弯部的延伸方向交叉的方向上彼此平行地延伸,
所述多条第一连接配线中的相邻的一对第一连接配线中的一条经由形成于所述第一无机绝缘膜和所述第二无机绝缘膜的接触孔与对应的所述第一引出配线和所述第二引出配线电连接,所述相邻的一对第一连接配线的另一条经由形成于所述第二无机绝缘膜的接触孔与对应的所述第三引出配线和所述第四引出配线电连接。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的显示装置,其特征在于,
在所述显示区域中设置有多条显示用配线,
所述端子部设置有多个端子,
所述多条第一引出配线分别与所述多条显示用配线电连接;
所述多条第二引出配线分别与所述多个端子电连接。
11.根据权利要求10所述的显示装置,其特征在于,
在所述显示区域设置有由所述第一金属膜形成的多条栅极线作为所述多条显示用配线。
12.根据权利要求10所述的显示装置,其特征在于,
在所述显示区域设置有由所述第二金属膜形成的多条源极线作为所述多条显示用配线。
13.根据权利要求10所述的显示装置,其特征在于,
在所述显示区域中,设置有由所述第三金属膜形成的多条电源线作为所述多条显示用配线。
14.根据权利要求1至13中的任一项所述的显示装置,其特征在于,
所述发光元件为有机EL元件。
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