CN112573816A - 掺氟石英套管及制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种掺氟石英套管及制造方法：提供一种第一石英件，所述第一石英件包括尾柄、连接杆及插销，所述尾柄一端凹设有腔体，所述连接杆一端伸入所述腔体内，所述腔体管壁与所述连接杆上均设有销孔，所述插销***所述销孔内以连接所述尾柄及所述连接杆；在连接杆上沉积形成与尾柄连接的粉末体；抽出连接杆，在粉末体上形成与腔体贯通的中心孔，所述粉末体套接于所述尾柄外组成石英套管预制件；将石英套管预制件放入加热炉中，在加热炉中及中心孔内通入脱水气体，使粉末体加热脱水；在加热炉中及中心孔内通入掺氟气体，使粉末体在掺氟气氛中加热浸泡以形成掺氟石英套管。上述掺氟石英套管及制造方法中掺氟均匀，材料利用率高。

Description

掺氟石英套管及制造方法
技术领域
本发明涉及光纤预制棒制造领域，尤其涉及一种掺氟石英套管及制造方法。
背景技术
随着光通信技术的快速发展，损耗低、有效面积大的光纤及抗弯曲敏感光纤等会逐渐成为主流。对于这类光纤的生产都需要有深掺氟层的光纤预制棒。目前，较好的方法就是采套管法制造深掺氟层的光纤预制棒。具体的，套管法是将芯棒及掺氟石英套管相互套接在一起，组装成用于制备光纤的光棒，进行高温拉丝以制备光纤。所述掺氟石英套管包括套接的掺氟石英管和高纯石英件。现有技术中制造掺氟石英套管通常采用由石英棒预制体外侧向内侧的掺氟渗透工艺，掺氟效率低，且石英棒预制体由外向内的掺氟量逐渐变小，实际掺氟径向均匀性差。现有的石英套管由烧结制备石英棒或等离子卧式固相外沉积制成，再通过对石英棒中心套孔、内外壁进行珩磨冷加工处理，实际材料利用率低，相应的增加了生产成本。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种掺氟均匀，材料利用率高的掺氟石英套管的制造方法
本发明一实施方式中提供一种掺氟石英套管的制造方法，所述制造方法包括以下步骤：
步骤1，提供一种第一石英件，所述第一石英件包括尾柄、连接杆及插销，所述尾柄一端凹设有腔体，所述连接杆一端伸入所述腔体内，所述腔体管壁与所述连接杆上均设有销孔，所述销孔贯穿所述腔体管壁与所述连接杆，所述插销***所述销孔内以连接所述尾柄及所述连接杆；
步骤2，在连接杆上沉积形成与尾柄连接的粉末体；
步骤3，抽出连接杆，在粉末体上形成与腔体贯通的中心孔，所述粉末体套接于所述尾柄外组成石英套管预制件；
步骤4，将石英套管预制件放入加热炉中，在加热炉中及中心孔内通入脱水气体，使粉末体加热脱水；
步骤5，在加热炉中及中心孔内通入掺氟气体，使粉末体在掺氟气氛中加热浸泡以形成掺氟石英套管。
进一步的，所述制造方法还包括以下步骤：通过打磨设备打磨掺氟石英套管制成设定的内径及外径。
进一步的，所述加热炉包括炉体，加热区、进气管及导气管，所述加热区安装于所述炉体周侧，所述进气管及导气管安装于所述炉体一端，所述导气管伸入所述中心孔中向所述中心孔内通入气体。
进一步的，所述脱水气体包括氯气及氦气，所述氯气的流量范围为500ml/min至1500ml/min，脱水温度的范围为900℃至1150℃，脱水时长范围为1h至2h。
进一步的，所述掺氟气体包括含氟气体及氦气，所述含氟气体的流量范围为10ml/min至2000ml/min，掺氟温度的范围为900℃至1150℃，掺氟时长范围为1h至2h。
进一步的，通过化学气相沉积设备进行沉积，所述化学气相沉积设备包括第一喷灯及第二喷灯，所述第一喷灯及所述第二喷灯设置于所述连接杆周侧。
进一步的，所述第一喷灯灯口的中心点与所述第二喷灯灯口的中心点的连线的距离为70mm至120mm。
进一步的，所述第一喷灯沉积粉末密度范围为0.25g/cm3至0.35g/cm3，所述第二喷灯沉积粉末密度范围为0.28至0.38g/cm3。
进一步的，所述打磨设备包括磨头及第三夹具，通过第三夹具夹持所述掺氟石英套管周侧并保持所述氟石英套管水平，将磨头伸入所述中心孔中，通过所述磨头以第一速度往复珩磨所述中心孔，制成设定内径的掺氟石英套管。
进一步的，所述打磨设备还包括砂轮及第四夹具，通过第四夹具固定于所述中心孔中以固定所述掺氟石英套管并保持所述氟石英套管水平，移动所述第四夹具使所述掺氟石英套管进行往复移动，通过所述砂轮对述掺氟石英套管表面进行打磨处理，制成设定外径的述掺氟石英套管。
进一步的，所述磨头的转速为100rpm，所述第一速度的范围为5000mm/min至9000mm/min。
本发明还提供一种应用所述掺氟石英套管的制造方法制成的掺氟石英套管，所述掺氟石英套管包括掺氟后的粉末体及中心孔，所述中心孔贯穿所述粉末体并沿所述粉末体轴向设置，所述掺氟石英套管的外径范围为50mm至140mm，单侧宽度范围为20mm至120mm，相对折射率范围为-0.05％至-0.45％，羟基含量小于0.1ppm，所述掺氟石英套管内径不均匀性小于0.1mm，外径不均匀性小于0.5mm。
上述掺氟石英套管及制造方法中，在加热炉中及中心孔内通入掺氟气体不仅提高了掺氟效率，同时使所述粉末体产生径向一致性的低折射率剖面。所述连接杆通过所述插销从所述腔体中抽离，以在所述粉末体上形成与腔体贯通的中心孔，提高了材料的利用率，降低了生产成本。
附图说明
图1为本发明一实施例中的掺氟石英套管及制造方法的流程示意图。
图2为本发明一实施例中的第一石英件的结构示意图。
图3为本发明一实施例中的化学气相沉积设备的结构示意图。
图4为本发明一实施例中的加热炉的结构示意图。
图5为本发明一实施例中的打磨设备的结构示意图。
图6为本发明对比例一中的径向折射率分布图。
图7为本发明对比例二中的径向折射率分布图。
图8为本发明实施例一中的径向折射率分布图。
图9为本发明对比例三中的径向折射率分布图。
主要元件符号说明
第一石英件 100
尾柄 10
圆柱体部 11
圆锥体部 12
腔体 15
销孔 17
连接杆 20
插销 30
粉末体 40
中心孔 41
化学气相沉积设备 50
第一喷灯 51
第二喷灯 52
加热炉 60
炉体 61
加热区 62
进气管 64
导气管 65
打磨设备 70
磨头 71
第三夹具 72
掺氟石英套管 200
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本发明实施例的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施方式中的特征可以相互组合。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明实施例，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明实施例保护的范围。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明实施例的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明实施例。
请同时参阅图1、图2、图3及图4，掺氟石英套管200的制造方法具体包括以下步骤：
S1，提供一种第一石英件100，所述第一石英件100包括尾柄10、连接杆20及插销30，所述尾柄10一端凹设有腔体15，所述连接杆20一端伸入所述腔体15内，所述腔体15管壁与所述连接杆20上均设有销孔17，所述销孔17贯穿所述腔体15管壁与所述连接杆20，所述插销30***所述销孔17内，以连接所述尾柄10及所述连接杆20；
请参阅图2，具体在一实施方式中，所述尾柄10包括互相连接的圆柱体部11及圆锥体部12，所述圆柱体部11与所述圆锥体部12一体成型。所述腔体15同轴设于所述圆锥体部12一端。所述销孔17长度方向垂直于所述尾柄10轴线方向，以便于***所述插销30。所述连接杆20外径范围为10mm至100mm，优选的，所述连接杆20外径为50mm。所述连接杆20的长度范围为800mm至2500mm，优选的，所述连接杆20的长度范围为1200mm至1800mm。在一实施方式中，所述尾柄10、所述连接杆20及所述插销30都由石英材料制成。
S2，在连接杆20上沉积形成与尾柄10连接的粉末体40；
请一并参阅图3，具体在一实施方式中，采用化学气相沉积设备50进行沉积。所述尾柄10安装于所述化学气相沉积设备50一侧的夹具上，所述化学气相沉积设备50在所述连接杆20周侧进行沉积形成与尾柄10连接的粉末体40。所述粉末体40一端包裹于所述尾柄10，另一端包裹于所述连接杆20上。所述化学气相沉积设备50包括第一喷灯51及第二喷灯52，所述第一喷灯51及所述第二喷灯52设置于所述连接杆20周侧。具体的，所述第二喷灯52灯设置于所述连接杆20靠近所述尾柄10的一端，所述第一喷灯51设置于所述连接杆20远离所述尾柄10的一端。所述第一喷灯51灯口的中心点与所述第二喷灯52灯口的中心点的连线的距离为60mm至150mm，优选的，连线的距离为70mm至120mm。
所述第一喷灯51及第二喷灯52通入的气体包括H2、O2、Ar及SiCl4，以在所述连接杆20周侧形成纯硅层的粉末体40。所述第一喷灯51沉积粉末密度范围为0.15g/cm3至1.5g/cm3，优选的，所述第一喷灯51沉积粉末密度范围为0.25g/cm3至0.35g/cm3。所述第二喷灯52沉积粉末密度范围为0.15g/cm3至1.5g/cm3，优选的，所述第二喷灯52沉积粉末密度范围为0.28至0.38g/cm3。所述粉末体40呈圆柱体结构，所述粉末体40外径范围为100mm至360mm，优选的，所述粉末体40外径范围为260mm至300mm。
S3，抽出连接杆20，在粉末体40上形成与腔体15贯通的中心孔41，所述粉末体40套接于所述尾柄10外组成石英套管预制件；
具体在一实施方式中，通过拔出所述插销30将所述连接杆20从所述腔体15中抽离出来，以在所述粉末体40上形成与腔体15贯通的中心孔41。与现有的中心钻孔加工方式相比，通过抽离所述连接杆20产生所述中心孔41提高了材料的利用率，降低了生产成本。所述第一石英件100还包括塞子(未示出)，所述塞子用于封堵所述腔体15管壁上的所述销孔17，以防止所述中心孔41内的气体从所述销孔17中溢出。所述粉末体40一端套接于所述尾柄10，以使所述粉末体40与所述尾柄10组成石英套管预制件(未标号)。
S4，将石英套管预制件放入加热炉60中，在加热炉60中及中心孔41内通入脱水气体，使粉末体40加热脱水；
请一并参阅图4，具体在一实施方式中，所述加热炉60包括炉体61，加热区62、第二夹具(未示出)、进气管64及导气管65。所述加热区62安装于所述炉体61周侧，以对所述炉体61内进行加热。所述第二夹具安装于所述炉体61的一端，以夹持所述石英套管预制件。所述进气管64及导气管65安装于所述炉体61与所述第二夹具相对的一端，以分别向所述炉体61及中心孔41内通入气体。所述导气管65伸入所述中心孔41中的距离范围为5mm至50mm，优选的，所述导气管65伸入所述中心孔41中的距离范围为15mm至25mm。所述导气管65与所述中心孔41的间隙范围为2mm至20mm，优选的，所述导气管65与所述中心孔41的间隙范围为4mm至8mm。
将所述尾柄10安装于所述第二夹具上，以固定所述粉末体40。所述导气管65伸入所述中心孔41中，所述进气管64与所述导气管65分别向所述炉体61及中心孔41内通入脱水气体，所述加热区62控制脱水温度，以使所述粉末体40浸泡在脱水气氛中。所述脱水气体包括氯气及氦气，所述氯气用于是置换出所述粉末体40中的水分。所述氯气的流量范围为500ml/min至1500ml/min。所述脱水温度的范围为800℃至1250℃，优选的，所述脱水温度的范围为900℃至1150℃。脱水时长范围为1h至6h，优选的，所述脱水时长范围为1h至2h。
S5，脱水完成后在加热炉60中及中心孔41内通入掺氟气体，使粉末体40在掺氟气氛中加热浸泡，以形成玻璃化后的掺氟石英套管200；
具体在一实施方式中，所述导气管65伸入所述中心孔41中，所述进气管64与所述导气管65分别向所述炉体61及中心孔41内通入掺氟气体。所述掺氟气体包括含氟气体及氦气，所述含氟气体用于在所述粉末体40表面制造一层下陷层。所述加热区62控制掺氟温度，以使所述粉末体40浸泡在掺氟气氛中。所述导气管65通入的掺氟气体沿所述中心孔41由内向外渗透，所述进气管64通入的掺氟气体由所述粉末体40外侧向内侧渗透，最终形成径向及轴向均匀的掺氟下陷层。进而使掺氟后的所述粉末体40玻璃化形成掺氟石英套管200。不仅提高了掺氟效率，同时使所述粉末体40产生径向一致性的低折射率剖面。
所述含氟气体的流量范围为10ml/min至2000ml/min。所述掺氟温度的范围为800℃至1250℃，优选的，所述掺氟温度的范围为900℃至1150℃。掺氟时长范围为1h至6h，优选的，所述掺氟时长范围为1h至2h。所述含氟气体包括CF4、SiF4、C2F6、SF6、SOF2、C2F2Cl2中的一种或多种。所述掺氟石英套管200的外径范围为50mm至140mm，单侧宽度范围为20mm至120mm，相对折射率范围为-0.05％至-0.45％，羟基含量小于0.1ppm。
S6，通过打磨设备打磨掺氟石英套管200制成设定的内径及外径。
请一并参阅图5，具体在一实施例中，所述打磨设备70包括磨头71、第三夹具72、砂轮(未示出)及第四夹具(未示出)。通过第三夹具72夹持所述掺氟石英套管200周侧并保持所述掺氟石英套管200水平，将磨头71伸入所述中心孔41中，通过所述磨头71以第一速度往复珩磨所述中心孔41，制成设定内径的掺氟石英套管200。所述磨头71的转速为100rpm，所述第一速度的范围为5000mm/min至9000mm/min。所述内径不均匀性小于0.1mm。所述磨头71为磨头油石。通过第四夹具固定于所述中心孔41中以固定所述掺氟石英套管200保持所述掺氟石英套管200水平。移动所述第四夹具使所述掺氟石英套管200进行往复移动，通过所述砂轮对述掺氟石英套管200表面进行打磨处理，制成设定外径的述掺氟石英套管200。所述外径不均匀性小于0.5mm。
下面结合具体对比例及实施例对本发明的技术方案做进一步详细的说明。
对比例1：
请一并参阅图6，使用所述第一石英件100进行沉积。所述连接杆20的外径为50mm，通过所述化学气相沉积设备50在所述连接杆20上沉积形成所述粉末体40。所述第一喷灯51及第二喷灯52通入的气体包括H2、O2、Ar及SiCl4，第一喷灯51沉积粉末密度0.28g/cm3，第二喷灯52沉积粉末密度0.3g/cm3。所述粉末体40的外径为280mm。
将所述粉末体40在放置于所述加热炉60依次进行脱水及掺氟。具体的，所述进气管64与所述导气管65分别向所述炉体61及中心孔41内通入脱水气体，所述脱水气体包括氯气及氦气，所述氯气的摩尔比为5％，所述脱水温度为1100℃，脱水时长为2h。
脱水结束后，所述进气管64单独向所述炉体61通入掺氟气体，所述氟的摩尔比为5％，所述含氟气体包括CF4及氦气，所述掺氟温度为1050℃，所述掺氟时长为1.5h。所述粉末体40玻璃化之后即形成了掺氟石英套管200，所述掺氟石英套管200的外径为120mm、内径为22mm、长度为1200mm、羟基含量小于0.1ppm。所述掺氟石英套管200的剖面径向折射率内侧深外侧浅、径向折射率变化大于0.05％。
对比例2：
请一并参阅图7，使用所述第一石英件100进行沉积。所述连接杆20的外径为50mm，通过所述化学气相沉积设备50在所述连接杆20上沉积形成所述粉末体40。所述第一喷灯51及第二喷灯52通入的气体包括H2、O2、Ar及SiCl4，第一喷灯51沉积粉末密度0.28g/cm3，第二喷灯52沉积粉末密度0.3g/cm3。所述粉末体40的外径为280mm。
将所述粉末体40在放置于所述加热炉60依次进行脱水及掺氟。具体的，所述进气管64与所述导气管65分别向所述炉体61及中心孔41内通入脱水气体，所述脱水气体包括氯气及氦气，所述氯气的摩尔比为5％，所述脱水温度为1100℃，脱水时长为2h。
脱水结束后，所述导气管65单独向所述中心孔41通入掺氟气体，所述氟的摩尔比为5％，所述掺氟气体包括CF4及氦气，所述掺氟温度为1050℃，所述掺氟时长为1.5h。所述粉末体40玻璃化之后即形成了掺氟石英套管200，所述掺氟石英套管200的外径为120mm、内径为22mm、长度为1200mm、羟基含量小于0.1ppm。所述掺氟石英套管200的剖面径向折射率内侧深外侧浅、径向折射率变化大于0.05％。
实施例1：
请一并参阅图8，使用所述第一石英件100进行沉积。所述连接杆20的外径为50mm，通过所述化学气相沉积设备50在所述连接杆20上沉积形成所述粉末体40。所述第一喷灯51及第二喷灯52通入的气体包括H2、O2、Ar及SiCl4，第一喷灯51沉积粉末密度0.28g/cm3，第二喷灯52沉积粉末密度0.3g/cm3。所述粉末体40的外径为280mm。
将所述粉末体40在放置于所述加热炉60依次进行脱水及掺氟。具体的，所述进气管64与所述导气管65分别向所述炉体61及中心孔41内通入脱水气体，所述脱水气体包括氯气及氦气，所述氯气的摩尔比为5％，所述脱水温度为1100℃，脱水时长为2h。
脱水结束后，所述进气管64与所述导气管65分别向所述炉体61及中心孔41内通入掺氟气体，所述氟的摩尔比为5％，所述掺氟气体包括CF4及氦气，所述掺氟温度为1050℃，所述掺氟时长为1.5h。所述粉末体40玻璃化之后即形成了掺氟石英套管200，所述掺氟石英套管200的外径为120mm、内径为22mm、长度为1200mm、羟基含量小于0.1ppm。所述掺氟石英套管200具有-0.25％的低折射率剖面低折射率剖面，径向折射率变化小于0.02％。最后通过打磨制成特定内径及外径的掺氟石英套管200。
对比例3：
请一并参阅图9，通过未设有腔体的第二尾柄(未示出)直接进行沉积。通过所述化学气相沉积设备50在所述第二尾柄上沉积形成所述粉末体40。所述第一喷灯51及第二喷灯52通入的气体包括H2、O2、Ar及SiCl4，第一喷灯51沉积粉末密度0.28g/cm3，第二喷灯52沉积粉末密度0.3g/cm3。所述粉末体40的外径为280mm。
将所述粉末体40在放置于所述加热炉60依次进行脱水及掺氟。具体的，所述进气管64与所述导气管65向所述炉体61内通入脱水气体，所述脱水气体包括氯气及氦气，所述氯气的摩尔比为5％，所述脱水温度为1100℃，脱水时长为2h。
脱水结束后，所述进气管64单独向所述炉体61通入掺氟气体，所述氟的摩尔比为5％，所述掺氟气体包括CF4及氦气，所述掺氟温度为1050℃，所述掺氟时长为1.5h。所述粉末体40玻璃化之后即形成了掺氟石英套管200，所述掺氟石英套管200的外径为120mm、内径为22mm、长度为1200mm、羟基含量小于0.1ppm。所述掺氟石英套管200径向折射率变化大于0.02％。
对比对比例1、对比例2、实施例1及对比例3，可以看出通过所述进气管64与所述导气管65分别向所述炉体61及中心孔41内通入掺氟气体进行掺氟浸泡，能够使所述掺氟石英套管200产生径向一致性低折射率剖面。
本发明还提供一种掺氟石英套管200，所述掺氟石英套管200包括掺氟后的粉末体40及中心孔41，所述中心孔41贯穿所述粉末体40并沿所述粉末体40轴向设置，所述掺氟石英套管200的外径范围为50mm至140mm，单侧宽度范围为20mm至120mm，相对折射率范围为-0.05％至-0.45％，羟基含量小于0.1ppm，所述掺氟石英套管200内径不均匀性小于0.1mm，外径不均匀性小于0.5mm。
上述掺氟石英套管及制造方法中，所述导气管65通入的掺氟气体沿所述中心孔41由内向外渗透，所述进气管64通入的掺氟气体由所述粉末体40外侧向内侧渗透，最终形成径向及轴向均匀的掺氟下陷层。不仅提高了掺氟效率，同时使所述粉末体40产生径向一致性的低折射率剖面。所述连接杆20通过所述插销30从所述腔体15中抽离，以在所述粉末体40上形成与腔体15贯通的中心孔41。与现有的中心钻孔加工方式相比，通过抽离所述连接杆20产生所述中心孔41提高了材料的利用率，降低了生产成本。
以上实施方式仅用以说明本发明实施例的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本发明实施例进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明实施例的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本发明实施例的技术方案的精神和范围。

Claims (12)

1.一种掺氟石英套管的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：
步骤1，提供一种第一石英件，所述第一石英件包括尾柄、连接杆及插销，所述尾柄一端凹设有腔体，所述连接杆一端伸入所述腔体内，所述腔体管壁与所述连接杆上均设有销孔，所述销孔贯穿所述腔体管壁与所述连接杆，所述插销***所述销孔内以连接所述尾柄及所述连接杆；
步骤2，在连接杆上沉积形成与尾柄连接的粉末体；
步骤3，抽出连接杆，在粉末体上形成与腔体贯通的中心孔，所述粉末体套接于所述尾柄外组成石英套管预制件；
步骤4，将石英套管预制件放入加热炉中，在加热炉中及中心孔内通入脱水气体，使粉末体加热脱水；
步骤5，在加热炉中及中心孔内通入掺氟气体，使粉末体在掺氟气氛中加热浸泡以形成掺氟石英套管。
2.根据权利要求1所述的掺氟石英套管的制造方法，其特征在于，所述制造方法还包括以下步骤：通过打磨设备打磨掺氟石英套管制成设定的内径及外径。
3.根据权利要求1所述的掺氟石英套管的制造方法，其特征在于，所述加热炉包括炉体，加热区、进气管及导气管，所述加热区安装于所述炉体周侧，所述进气管及导气管安装于所述炉体一端，所述进气管伸入所述炉体中向所述炉体内通入气体，所述导气管伸入所述中心孔中向所述中心孔内通入气体。
4.根据权利要求1所述的掺氟石英套管的制造方法，其特征在于，所述脱水气体包括氯气及氦气，所述氯气的流量范围为500ml/min至1500ml/min，脱水温度的范围为900℃至1150℃，脱水时长范围为1h至2h。
5.根据权利要求1所述的掺氟石英套管的制造方法，其特征在于，所述掺氟气体包括含氟气体及氦气，所述含氟气体的流量范围为10ml/min至2000ml/min，掺氟温度的范围为900℃至1150℃，掺氟时长范围为1h至2h。
6.根据权利要求1所述的掺氟石英套管的制造方法，其特征在于，通过化学气相沉积设备进行沉积，所述化学气相沉积设备包括第一喷灯及第二喷灯，所述第一喷灯及所述第二喷灯设置于所述连接杆周侧。
7.根据权利要求6所述的掺氟石英套管的制造方法，其特征在于，所述第一喷灯灯口的中心点与所述第二喷灯灯口的中心点的连线的距离为70mm至120mm。
8.根据权利要求7所述的掺氟石英套管的制造方法，其特征在于，所述第一喷灯沉积粉末密度范围为0.25g/cm3至0.35g/cm3，所述第二喷灯沉积粉末密度范围为0.28至0.38g/cm3。
9.根据权利要求2所述的掺氟石英套管的制造方法，其特征在于，所述打磨设备包括磨头及第三夹具，通过第三夹具夹持所述掺氟石英套管周侧并保持所述氟石英套管水平，将磨头伸入所述中心孔中，通过所述磨头以第一速度往复珩磨所述中心孔，制成设定内径的掺氟石英套管。
10.根据权利要求9所述的掺氟石英套管的制造方法，其特征在于，所述打磨设备还包括砂轮及第四夹具，通过第四夹具固定于所述中心孔中以固定所述掺氟石英套管并保持所述氟石英套管水平，移动所述第四夹具使所述掺氟石英套管进行往复移动，通过所述砂轮对述掺氟石英套管表面进行打磨处理，制成设定外径的述掺氟石英套管。
11.根据权利要求9所述的掺氟石英套管的制造方法，其特征在于，所述磨头的转速为100rpm，所述第一速度的范围为5000mm/min至9000mm/min。
12.一种应用如权利要求1至11中任一项中所述掺氟石英套管的制造方法制成的掺氟石英套管，所述掺氟石英套管包括掺氟后的粉末体及中心孔，所述中心孔贯穿所述粉末体并沿所述粉末体轴向设置，其特征在于，所述掺氟石英套管的外径范围为50mm至140mm，单侧宽度范围为20mm至120mm，相对折射率范围为-0.05％至-0.45％，羟基含量小于0.1ppm，所述掺氟石英套管内径不均匀性小于0.1mm，外径不均匀性小于0.5mm。
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