CN112549176A - 一种半导体集成电路板制造用数控加工机床 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，具体涉及电路板加工领域，包括钻孔机构和设置于钻孔机构下方的工作台，所述工作台内部设有工作仓，且工作仓贯穿工作台上表面形成开口，所述工作仓内设置有加工台组件，所述加工台组件一侧对应的工作台上设有带式输送机。本发明利用驱动机构驱动带式输送机以及同时驱动加工台组件和挡风板的旋转倾斜，加工台组件的倾斜能够配合带式输送机和出料口完成自动上下料，挡风板的倾斜与吸风箱贴合能够将风力集中在需要粉尘清洁的位置，整个装置结构简单，能够实现电路板的自动上下料，且同时能够在电路板加工到下料过程中实现全面的粉尘清洁，不影响加工效率。

Description

一种半导体集成电路板制造用数控加工机床

技术领域

本发明涉及电路板加工领域，具体涉及一种半导体集成电路板制造用数控加工机床。

背景技术

电路板加工全流程线路板厂，都会有钻孔这麽一道工序。看起来钻孔是很简单，只是把板子放在钻机上钻孔，其实那是只是表面的动作，而实际上钻孔是一道非常关键的工序，很多厂因为钻孔不能过关而面对报废，导致亏本。

传统技术中对电路板的钻孔加工过程中，会产生大量的粉尘，无论是电路板上方空间还是钻孔内以及电路板下表面，钻孔产生的粉尘四处飘散，传统的处理方式都是通过吸风结构对粉尘进行抽取，并且抽取范围一般就是在电路板上方，这样就导致钻孔的孔内、电路板的下表面以及夹取电路板的夹具的夹取面上都不能够得到有效的清理，当钻孔后的电路板下料后，其孔内和下表面携带粉尘会影响产品质量、影响加工环境以及污染下一步加工设备，另外新输送至钻孔工位的电路板也因为粉尘而定位不精准、夹取夹取不精准、钻孔受压过程中下表面和夹取面会被粉尘磨损，因此保持钻孔工位、夹具和电路板各表面清洁是非常重要的，同时也不能够因为清洁钻孔工位、夹具和电路板等影响电路板的连续加工效率。

因此，亟需发明一种半导体集成电路板制造用数控加工机床来解决上述技术问题。

发明内容

为此，本发明提供一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，通过利用驱动机构驱动带式输送机以及同时驱动加工台组件和挡风板的旋转倾斜，加工台组件的倾斜能够配合带式输送机和出料口完成自动上下料，挡风板的倾斜与吸风箱贴合能够将风力集中在需要粉尘清洁的位置，整个装置结构简单，能够实现电路板的自动上下料，且同时能够在电路板加工到下料过程中实现全面的粉尘清洁，不影响加工效率，以解决现有技术中存在的问题。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，包括钻孔机构和设置于钻孔机构下方的工作台，所述工作台内部设有工作仓，且工作仓贯穿工作台上表面形成开口，所述工作仓内设置有加工台组件，所述加工台组件一侧对应的工作台上设有带式输送机，所述加工台组件另一侧对应的工作台上开设有出料口，所述加工台组件底部固定设有挡风板，所述挡风板由驱动机构带动做旋转动作，同时挡风板带动加工台组件旋转，旋转后的加工台组件两端分别与带式输送机和出料口相对应，所述驱动机构同时驱动带式输送机；

加工台组件包括上加工板和下底板，所述下底板设置于上加工板底部，所述下底板底部前后两侧边缘均固定一个挡风板，所述下底板上表面两侧均嵌设有拉伸组件，所述上加工板通过拉伸组件与下底板固定连接，当上加工板和下底板与工作仓平行设置时，上加工板和下底板的端部分别抵住工作仓两侧内壁；当上加工板和下底板旋转时，上加工板和下底板通过拉伸组件发生水平交错移动，且上加工板与带式输送机相对应，下底板与出料口相对应；

工作仓前后内侧壁上均固定设有吸风箱，所述吸风箱内侧壁上开设有多个吸风口，两个吸风箱分别与两个挡风板贴合设置，两个吸风箱通过三通管连接吸风泵，所述吸风箱工作产生的吸风空间将加工台组件包围。

进一步的，所述上加工板上表面中部开设有卡槽，所述卡槽内活动放置有钻孔模具，所述钻孔模具底部四角固定设有支撑腿，所述支撑腿与卡槽底部四角相配合，四个支撑腿之间的卡槽为粉末下料空间。

进一步的，所述粉末下料空间前后两侧对应开设有吸风槽，所述吸风槽端部贯穿上加工板前后两侧壁与吸风箱相对应。

进一步的，所述钻孔模具前后两侧对应的上加工板上均设有夹板，两个夹板设置为L型且关于钻孔模具中心轴线对称设置，所述夹板底部表面开设有L型开孔，每个夹板远离钻孔模具的一侧壁上均固定设有电动推杆，所述电动推杆固定设置于上加工板上表面。

进一步的，所述钻孔机构包括钻孔机头和驱动钻孔机头在X、Y、Z三个方向上移动的三轴移动平台。

进一步的，所述工作台一侧壁上开设有插口，所述带式输送机一端***插口内，所述插口对应的工作台内侧壁顶部固定设有挡板。

进一步的，所述上加工板和下底板两端端面均设置为弧形曲面且与工作仓两侧内壁贴合，所述上加工板和下底板前后两端与工作仓前后两侧内壁贴合，所述挡风板设置为U型且底端延伸至吸风箱下方。

进一步的，所述下底板顶部两侧表面开设有嵌槽，所述拉伸组件固定设置于嵌槽内，所述拉伸组件包括导杆、弹簧和推板，所述导杆两端与嵌槽两侧内壁固定连接，所述推板活动套设于导杆外部，所述推板顶端与上加工板下表面固定连接，所述弹簧套设于导杆外部且两端分别与推板和嵌槽内壁固定连接。

进一步的，所述驱动机构包括旋转轴、齿轮、齿条、双向滚珠丝杆、丝杆滑座、一号锥齿轮、二号锥齿轮和皮带轮组，所述旋转轴后端贯穿工作台前侧壁和两个挡风板与工作台通过轴承连接，且旋转轴前端固定设有齿轮，所述齿轮底部设有齿条，所述齿条与齿轮啮合，所述丝杆滑座套设于双向滚珠丝杆外部，所述双向滚珠丝杆一端外部固定设有一号锥齿轮，所述一号锥齿轮后侧啮合有二号锥齿轮，所述二号锥齿轮后侧设有皮带轮组，且二号锥齿轮与其中一个皮带轮通过一号转轴固定设置，一号转轴后端通过轴承与工作台外壁固定连接，另一个皮带轮通过二号转轴与皮带输送机的输送辊固定连接，两个皮带轮由皮带传动连接。

进一步的，所述双向滚珠丝杆两端固定设有轴承，所述轴承通过支架与工作台外壁固定连接，所述双向滚珠丝杆一端与步进电机的输出轴固定连接。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

1、本发明利用驱动机构驱动带式输送机以及同时驱动加工台组件和挡风板的旋转倾斜，加工台组件的倾斜能够配合带式输送机和出料口完成自动上下料，挡风板的倾斜与吸风箱贴合能够将风力集中在需要粉尘清洁的位置，整个装置结构简单，能够实现电路板的自动上下料，且同时能够在电路板加工到下料过程中实现全面的粉尘清洁，不影响加工效率；

2、本发明通过拉伸组件将上加工板和下底板连接，在加工台组件不旋转时，受到加工仓的限位加工台组件处于水平状态，可以进行钻孔工作，在加工台组件旋转倾斜时，上加工板与下底板之间受到拉伸组件的推力，实现水平交错设置，可以延长整个加工台组件，使其两端分别与带式输送机端口和出料口相对应，方便进行上下料工作；

3、通过驱动机构的设置，能够同时驱动工作台组件和挡风板旋转以及驱动带式输送机步进上料，通过驱动结构间协调配合工作，只需要启动步进电机即可实现上下料工作，结构简单，节约能耗，经济环保。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引申获得其它的实施附图。

本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

图1为本发明实施例1提供的整体剖视图；

图2为本发明实施例1提供的加工台组件旋转时的工作台剖视图；

图3为本发明实施例1提供的驱动机构结构示意图；

图4为本发明实施例1提供的工作台侧面剖视图；

图5为本发明实施例1提供的拉伸组件剖视图；

图6为本发明实施例1提供的上加工板俯视图；

图7为本发明实施例1提供的夹板结构示意图；

图8为本发明实施例2提供的上加工板局部结构示意图；

图中：1工作台、2钻孔机构、3工作仓、4加工台组件、41上加工板、42下底板、43拉伸组件、431导杆、432弹簧、433推板、44转动辊、5带式输送机、6驱动机构、61旋转轴、62齿轮、63齿条、64双向滚珠丝杆、65丝杆滑座、66一号锥齿轮、67二号锥齿轮、68皮带轮组、69一号转轴、610二号转轴、7挡风板、8吸风箱、9吸风口、10吸风泵、11卡槽、12钻孔模具、13支撑腿、14吸风槽、15夹板、16L型开孔、17电动推杆、18插口、19嵌槽、20出料口、21钻孔机头、22三轴移动平台。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

参照说明书附图1-7，该实施例的一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，包括钻孔机构2和设置于钻孔机构2下方的工作台1，所述工作台1内部设有工作仓3，且工作仓3贯穿工作台1上表面形成开口，所述工作仓3内设置有加工台组件4，所述加工台组件4一侧对应的工作台1上设有带式输送机5，所述加工台组件4另一侧对应的工作台1上开设有出料口20，所述加工台组件4底部固定设有挡风板7，所述挡风板7由驱动机构6带动做旋转动作，同时挡风板7带动加工台组件4旋转，旋转后的加工台组件4两端分别与带式输送机5和出料口20相对应，所述驱动机构6同时驱动带式输送机5；

加工台组件4包括上加工板41和下底板42，所述下底板42设置于上加工板41底部，所述下底板42底部前后两侧边缘均固定一个挡风板7，所述下底板42上表面两侧均嵌设有拉伸组件43，所述上加工板41通过拉伸组件43与下底板42固定连接，当上加工板41和下底板42与工作仓3平行设置时，上加工板41和下底板42的端部分别抵住工作仓3两侧内壁；当上加工板41和下底板42旋转时，上加工板41和下底板42通过拉伸组件43发生水平交错移动，且上加工板41与带式输送机5相对应，下底板42与出料口20相对应；

工作仓3前后内侧壁上均固定设有吸风箱8，所述吸风箱8内侧壁上开设有多个吸风口9，两个吸风箱8分别与两个挡风板7贴合设置，两个吸风箱8通过三通管连接吸风泵10，所述吸风箱8工作产生的吸风空间将加工台组件4包围。

进一步的，所述钻孔机构2包括钻孔机头21和驱动钻孔机头21在X、Y、Z三个方向上移动的三轴移动平台22。

进一步的，所述工作台1一侧壁上开设有插口18，所述带式输送机5一端***插口18内，所述插口18对应的工作台1内侧壁顶部固定设有挡板。

进一步的，所述上加工板41和下底板42两端端面均设置为弧形曲面且与工作仓3两侧内壁贴合，所述上加工板41和下底板42前后两端与工作仓3前后两侧内壁贴合，所述挡风板7设置为U型且底端延伸至吸风箱8下方。

实施场景具体为：本发明在进行电路板加工工作时，首先启动驱动机构6，其驱动带式输送机5输送电路板至插口18处，同时驱动挡风板7旋转，挡风板7带动上方的上加工板41和下底板42旋转，在旋转过程中，由上加工板41和下底板42逐渐倾斜，可以扩张的空间逐渐变大，此时上加工板41受到拉伸组件43一个向左侧的推力而发生向左侧移动，与下底板42逐渐水平交错，当上加工板41顶端逐渐旋转伸长至插口18处时，下底板42底端与出料口20对应，此时驱动机构6停止工作，在加工台组件4旋转开始到结束，驱动机构6驱动带式输送机5步进一个工位，即将位于带式输送机5端部的一个电路板输送至倾斜的上加工板41上准备钻孔工作，而同时上加工板41上加工好的电路板从出料口20下料；

在新的电路板移动至加工工位同时钻孔后的电路板下料完成后，驱动机构6驱动带式输送机5将下一个电路板输送至插口18处，而同时驱动机构6带动挡风板7和加工台组件4反向旋转至原水平位置，旋转过程中上加工板41不断被工作仓3内壁推至逐渐与下底板42重合，待加工台组件4水平放置后，由三轴移动平台22带动钻孔机头21在X、Y、Z三个方向上移动，对下方的电路板进行多处钻孔，直至钻孔结束进行下一步的上料、下料工作；

在钻孔加工期间，吸风泵10工作，通过三通管将吸风箱8内抽气，形成负压，吸风口9将钻孔产生的粉尘都吸入吸风箱8内，接着从三通管排出，该三通管与吸风泵10的连接管路上还可以设置空气过滤器，用于将粉尘吸附收集，干净的空气即可从吸风泵10的出风口排出；

另外在加工台组件4水平时，吸风板上的吸风口9下半部分被挡风板7和加工台组件4遮挡，不会进行吸风工作，此时上半部分的吸风口9能够进行更大吸力的吸尘工作，能够对钻孔期间上加工板41上方产生的粉尘都进行清理，剩余的电路板钻孔内以及电路板下表面的粉尘可能并未清理干净；

当旋转加工台组件4是，位于上下料期间，此时的挡风板7倾斜能够将左下方三角形区域内的吸风口9基本挡住，位于右上方的三角形区域内的风力增加，而此时的加工好的电路板经倾斜坡面右侧滑落，此时电路板钻孔内的粉尘在下移时会逐渐落在倾斜的上加工板41表面，而电路板下表面的粉尘更是逐渐落在倾斜的上加工板41表面，因此不断滑落的电路板下表面的粉尘以及其钻孔内的粉尘都会经右上方的三角形区域内的吸风口9吸附清理，直至该电路板下料，完成该电路板从加工到下料过程中的粉尘清理；

整个装置利用驱动机构6驱动带式输送机5以及同时驱动加工台组件4和挡风板7的旋转倾斜，加工台组件4的倾斜能够配合带式输送机5和出料口20完成自动上下料，挡风板7的倾斜与吸风箱8贴合能够将风力集中在需要粉尘清洁的位置，整个装置结构简单，能够实现电路板的自动上下料，且同时能够在电路板加工到下料过程中实现全面的粉尘清洁，不影响加工效率。

参照说明书附图4和图6-7，所述上加工板41上表面中部开设有卡槽11，所述卡槽11内活动放置有钻孔模具12，所述钻孔模具12底部四角固定设有支撑腿13，所述支撑腿13与卡槽11底部四角相配合，四个支撑腿13之间的卡槽11为粉末下料空间。

进一步的，所述粉末下料空间前后两侧对应开设有吸风槽14，所述吸风槽14端部贯穿上加工板41前后两侧壁与吸风箱8相对应。

进一步的，所述钻孔模具12前后两侧对应的上加工板41上均设有夹板15，两个夹板15设置为L型且关于钻孔模具12中心轴线对称设置，所述夹板15底部表面开设有L型开孔16，每个夹板15远离钻孔模具12的一侧壁上均固定设有电动推杆17，所述电动推杆17固定设置于上加工板41上表面。

实施场景具体为：本发明通过在上加工板41上设置卡槽11，能够方便更换里面卡接的钻孔模具12，适用于不同钻孔位置的电路板加工使用；

在电路板钻孔期间，由电动推杆17可以推动夹板15对电路板进行夹取固定，从而能够方便稳定、精准的钻孔，当新的电路板从带式输送机5上输送至倾斜的上加工板41时，两个夹板15松开钻孔后的电路板，该电路板和新的电路板同时跟随倾斜的坡面滑落，在加工后的电路板移出夹板15范围时，电动推杆17驱动夹板15逐渐靠近，当新的电路板滑落至夹板15处时两个L型的夹板15并未夹紧，便于新的电路板滑动至夹板15内侧，接着电动推杆17继续推动夹板15将电路板夹紧即可，而加工后的电路板能够顺着坡面滑动至出料口20处，实现下料；

另外由于卡槽11和钻孔都比较深，为了清理卡槽11内以及钻孔内残留的粉尘，钻孔产生的粉末落入粉末下料空间内，同时与吸风槽14相对应的吸风口9能够通过吸风槽14将粉末下料空间内的粉末吸取，同时也能够将钻孔模具12的钻孔内的粉尘清理，方便下一次使用；而L型开孔16的设置能够方便吸风口9将夹板15夹取面上的粉尘清理，通过L型开孔16也更加方便电路板的清理。

参照说明书附图5，所述下底板42顶部两侧表面开设有嵌槽19，所述拉伸组件43固定设置于嵌槽19内，所述拉伸组件43包括导杆431、弹簧432和推板433，所述导杆431两端与嵌槽19两侧内壁固定连接，所述推板433活动套设于导杆431外部，所述推板433顶端与上加工板41下表面固定连接，所述弹簧432套设于导杆431外部且两端分别与推板433和嵌槽19内壁固定连接。

实施场景具体为：在加工台组件4旋转倾斜时，弹簧432拉长回复至自然状态，即推动推板433将往反方向移动，即将上加工板41向左侧推动，这样在旋转后上加工板41就能够延伸至带式输送机5的端口，下底板42一端就能够旋转移动至出料口20处，方便上下料。

参照说明书附图3，所述驱动机构6包括旋转轴61、齿轮62、齿条63、双向滚珠丝杆64、丝杆滑座65、一号锥齿轮66、二号锥齿轮67和皮带轮组68，所述旋转轴61后端贯穿工作台1前侧壁和两个挡风板7与工作台1通过轴承连接，且旋转轴61前端固定设有齿轮62，所述齿轮62底部设有齿条63，所述齿条63与齿轮62啮合，所述丝杆滑座65套设于双向滚珠丝杆64外部，所述双向滚珠丝杆64一端外部固定设有一号锥齿轮66，所述一号锥齿轮66后侧啮合有二号锥齿轮67，所述二号锥齿轮67后侧设有皮带轮组68，且二号锥齿轮67与其中一个皮带轮通过一号转轴69固定设置，一号转轴69后端通过轴承与工作台1外壁固定连接，另一个皮带轮通过二号转轴610与皮带输送机的输送辊固定连接，两个皮带轮由皮带传动连接。

进一步的，所述双向滚珠丝杆64两端固定设有轴承，所述轴承通过支架与工作台1外壁固定连接，所述双向滚珠丝杆64一端与步进电机的输出轴固定连接。

实施场景具体为：本发明驱动机构6工作时，启动步进电机，步进电机带动双向滚珠丝杆64转动，其带动丝杆滑座65和齿条63做直线往复运动，齿条63能够带动齿轮62和旋转轴61做正反向旋转运动，在齿条63一个往复运动过程时，旋转轴61带动挡风板7和工作台1组件做一个旋转复位动作，同时双向滚珠丝杆64带动一号锥齿轮66、二号锥齿轮67换向转动，即带动皮带轮组68同步转动，能够带动带式输送机5输送电路板前进一个工位；

整个工作过程就是：双向滚珠丝杆64带动丝杆滑座65右移时，齿条63带动齿轮62正向转动，齿轮62带动旋转轴61正向转动，挡风板7和工作台1组件正向旋转，双向滚珠丝杆64通过锥齿轮62组带动皮带轮组68转动，带式输送机5输送一步(相当于相邻两个电路板之间距离的一半)，即电路板从待上料位置输送至倾斜的上加工板41上，实现上下料，在双向滚珠丝杆64继续转动并带动丝杆滑座65左移时，挡风板7和工作台1组件反向旋转至水平设置，进行钻孔加工，同时带动带式输送机5输送一步即相当于相邻两个电路板之间距离的一半，此时下一个工位的电路板移动至待上料位置；

通过驱动结构间协调配合工作，只需要启动步进电机即可实现上下料工作，结构简单，节约能耗，经济环保。

实施例2

参照说明书附图8，还可以在上加工板41靠近出料口20的上表面设置一排转动辊44，该转动辊44嵌入上加工板41上表面，并且顶端超出上加工板41表面0.5-1毫米，在加工好的电路板滑动下料时，电路板在转动辊44上滚动，并且在下移滑落过程中有高低差，因此就可以将电路板下表面和钻孔内的粉尘抖落，方便被吸风口9吸取，实现电路板的全面清洁。

虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。

Claims (10)

1.一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，包括钻孔机构(2)和设置于钻孔机构(2)下方的工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)内部设有工作仓(3)，且工作仓(3)贯穿工作台(1)上表面形成开口，所述工作仓(3)内设置有加工台组件(4)，所述加工台组件(4)一侧对应的工作台(1)上设有带式输送机(5)，所述加工台组件(4)另一侧对应的工作台(1)上开设有出料口(20)，所述加工台组件(4)底部固定设有挡风板(7)，所述挡风板(7)由驱动机构(6)带动做旋转动作，同时挡风板(7)带动加工台组件(4)旋转，旋转后的加工台组件(4)两端分别与带式输送机(5)和出料口(20)相对应，所述驱动机构(6)同时驱动带式输送机(5)；

加工台组件(4)包括上加工板(41)和下底板(42)，所述下底板(42)设置于上加工板(41)底部，所述下底板(42)底部前后两侧边缘均固定一个挡风板(7)，所述下底板(42)上表面两侧均嵌设有拉伸组件(43)，所述上加工板(41)通过拉伸组件(43)与下底板(42)固定连接，当上加工板(41)和下底板(42)与工作仓(3)平行设置时，上加工板(41)和下底板(42)的端部分别抵住工作仓(3)两侧内壁；当上加工板(41)和下底板(42)旋转时，上加工板(41)和下底板(42)通过拉伸组件(43)发生水平交错移动，且上加工板(41)与带式输送机(5)相对应，下底板(42)与出料口(20)相对应；

工作仓(3)前后内侧壁上均固定设有吸风箱(8)，所述吸风箱(8)内侧壁上开设有多个吸风口(9)，两个吸风箱(8)分别与两个挡风板(7)贴合设置，两个吸风箱(8)通过三通管连接吸风泵(10)，所述吸风箱(8)工作产生的吸风空间将加工台组件(4)包围。

2.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，其特征在于：所述上加工板(41)上表面中部开设有卡槽(11)，所述卡槽(11)内活动放置有钻孔模具(12)，所述钻孔模具(12)底部四角固定设有支撑腿(13)，所述支撑腿(13)与卡槽(11)底部四角相配合，四个支撑腿(13)之间的卡槽(11)为粉末下料空间。

3.根据权利要求2所述的一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，其特征在于：所述粉末下料空间前后两侧对应开设有吸风槽(14)，所述吸风槽(14)端部贯穿上加工板(41)前后两侧壁与吸风箱(8)相对应。

4.根据权利要求2所述的一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，其特征在于：所述钻孔模具(12)前后两侧对应的上加工板(41)上均设有夹板(15)，两个夹板(15)设置为L型且关于钻孔模具(12)中心轴线对称设置，所述夹板(15)底部表面开设有L型开孔(16)，每个夹板(15)远离钻孔模具(12)的一侧壁上均固定设有电动推杆(17)，所述电动推杆(17)固定设置于上加工板(41)上表面。

5.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，其特征在于：所述钻孔机构(2)包括钻孔机头(21)和驱动钻孔机头(21)在X、Y、Z三个方向上移动的三轴移动平台(22)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，其特征在于：所述工作台(1)一侧壁上开设有插口(18)，所述带式输送机(5)一端***插口(18)内，所述插口(18)对应的工作台(1)内侧壁顶部固定设有挡板。

7.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，其特征在于：所述上加工板(41)和下底板(42)两端端面均设置为弧形曲面且与工作仓(3)两侧内壁贴合，所述上加工板(41)和下底板(42)前后两端与工作仓(3)前后两侧内壁贴合，所述挡风板(7)设置为U型且底端延伸至吸风箱(8)下方。

8.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，其特征在于：所述下底板(42)顶部两侧表面开设有嵌槽(19)，所述拉伸组件(43)固定设置于嵌槽(19)内，所述拉伸组件(43)包括导杆(431)、弹簧(432)和推板(433)，所述导杆(431)两端与嵌槽(19)两侧内壁固定连接，所述推板(433)活动套设于导杆(431)外部，所述推板(433)顶端与上加工板(41)下表面固定连接，所述弹簧(432)套设于导杆(431)外部且两端分别与推板(433)和嵌槽(19)内壁固定连接。

9.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，其特征在于：所述驱动机构(6)包括旋转轴(61)、齿轮(62)、齿条(63)、双向滚珠丝杆(64)、丝杆滑座(65)、一号锥齿轮(66)、二号锥齿轮(67)和皮带轮组(68)，所述旋转轴(61)后端贯穿工作台(1)前侧壁和两个挡风板(7)与工作台(1)通过轴承连接，且旋转轴(61)前端固定设有齿轮(62)，所述齿轮(62)底部设有齿条(63)，所述齿条(63)与齿轮(62)啮合，所述丝杆滑座(65)套设于双向滚珠丝杆(64)外部，所述双向滚珠丝杆(64)一端外部固定设有一号锥齿轮(66)，所述一号锥齿轮(66)后侧啮合有二号锥齿轮(67)，所述二号锥齿轮(67)后侧设有皮带轮组(68)，且二号锥齿轮(67)与其中一个皮带轮通过一号转轴(69)固定设置，一号转轴(69)后端通过轴承与工作台(1)外壁固定连接，另一个皮带轮通过二号转轴(610)与皮带输送机的输送辊固定连接，两个皮带轮由皮带传动连接。

10.根据权利要求9所述的一种半导体集成电路板制造用数控加工机床，其特征在于：所述双向滚珠丝杆(64)两端固定设有轴承，所述轴承通过支架与工作台(1)外壁固定连接，所述双向滚珠丝杆(64)一端与步进电机的输出轴固定连接。

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