CN112505374A - 适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，包含有内侧面面向相反方向的第一、二探针座以及分别设于第一、二探针座的多个第一、二探针，各探针包含有一悬臂段及一点触段，所述悬臂段具有一与第一或二探针座固接的固定部，以及一连接于固定部且自第一或二探针座的内侧面延伸而出的外露部，所述点触段连接于外露部，所述探针模块能定义出至少一假想探针单元分界线而划分出多个探针单元，同一探针单元仅有第一或二探针且其点触段末端全部位于一所述假想探针单元分界线的同一侧；由此，所述探针模块可同时检测较多待测单元并避免探针干涉。

Description

适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块
技术领域
本发明与探针卡的探针模块有关，特别是指一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元(multi-UUT)的探针模块。
背景技术
请参阅图1，其中显示一具有倾斜导电接点的待测单元10(unit under test；简称UUT)，待测单元10可为未封装的芯片(die)或已封装的芯片(chip)，待测单元10具有排成一或多行的多个用于输出讯号的第一导电接点11，以及排成一行的多个用于输入讯号的第二导电接点12，例如图1所示的待测单元10具有由其一基板13的一第一长边131朝向一第二长边132排列的三行第一导电接点11，以及沿基板13的第二长边132设置的一行第二导电接点12，各第一、二导电接点11、12排成多列，每一列的排列方向实质上平行于一垂直于第一、二长边131、132的假想分界轴线L，且靠近假想分界轴线L的列，例如图1中一中间区块14所包含的，其中的第一、二导电接点11、12的长边111、121实质上平行于假想分界轴线L，而距离假想分界轴线L较远的列的第一、二导电接点11、12则为倾斜导电接点，其较靠近基板13第一长边131的一端也较靠近假想分界轴线L，较远离基板13第一长边131的一端则也较远离假想分界轴线L，即倾斜导电接点以图1的方向来看是由上而下且由内而外地倾斜，且距离假想分界轴线L越远的第一、二导电接点11、12相对于假想分界轴线L的角度越大，例如图1中二外侧区块15、16所包含的第一、二导电接点11、12的长边111、121相对于假想分界轴线L的角度θ1、θ2最大。
前述的待测单元10可利用具有悬臂式探针的探针卡进行检测，为简化图式，图1中仅示意性地显示一对应最左边的第二导电接点12的探针17，实际上每一导电接点11、12均对应一探针，探针17的悬臂段171可自一位于待测单元10的第二长边132外侧上方的探针座18延伸至导电接点12上方，使得探针17的一自其悬臂段171末端向下延伸的点触段(图中未示)可点触对应的导电接点12。
然而，由于待测单元10具有倾斜角度不一致的倾斜导电接点，其检测所需的探针难以配置于探针座上，尤其对于多待测单元的检测，也就是同时检测至少二待测单元10，将会有探针17相互干涉的疑虑。甚至，为了提升检测效率，可能必须以同一探针卡同时检测四个、六个、八个或更多待测单元10，更容易产生探针17相互干涉的问题。
发明内容
针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种探针模块，其适用于类同上述的具有倾斜导电接点的多待测单元的检测而可避免探针相互干涉，且可同时检测较多待测单元而可产生较高的检测效率。
为达到上述目的，本发明所提供的一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测至少一第一待测单元及至少一第二待测单元，各所述第一待测单元及第二待测单元具有排成至少一行的多个导电接点；其特征在于所述探针模块包含有：一第一探针座及一第二探针座，分别具有一内侧面，所述第一探针座的内侧面与所述第二探针座的内侧面实质上面向相反方向；多个探针，包含设置于所述第一探针座的多个第一探针以及设置于所述第二探针座的多个第二探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，各所述第一探针的悬臂段具有一与所述第一探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第一探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述第二探针的悬臂段具有一与所述第二探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第二探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述探针的点触段连接于所述外露部；其中，所述探针模块能定义出至少一假想探针单元分界线，各所述探针由所述至少一假想探针单元分界线划分成多个探针单元，同一探针单元仅包含有第一探针或者仅包含有第二探针，且同一探针单元的探针的点触段末端全部位于一所述假想探针单元分界线的同一侧；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，各所述第一探针全部以其点触段点触所述至少一第一待测单元的导电接点，各所述第二探针全部以其点触段点触所述至少一第二待测单元的导电接点。
上述本发明的技术方案中，所述多个探针单元包含一包含有全部第一探针的第一探针单元，以及一包含有全部第二探针的第二探针单元。
所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线及一第二假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元，以及一仅包含有第一探针的第三探针单元，所述第一探针单元与所述第二探针单元分别位于所述第一假想探针单元分界线二侧，所述第二探针单元与所述第三探针单元分别位于所述第二假想探针单元分界线二侧。
所述至少一假想探针单元分界线还包含一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元更包含一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第三探针单元与所述第四探针单元分别位于所述第三假想探针单元分界线二侧。
各所述第一探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，各所述第二探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第二探针座之间。
所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线，以及实质上垂直于所述第一假想探针单元分界线的一第二假想探针单元分界线及一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元、一仅包含有第一探针的第三探针单元，以及一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第一探针单元及所述第三探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，所述第二探针单元及所述第四探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第二探针座之间，所述第二假想探针单元分界线与所述第三假想探针单元分界线之间有一未设置任何探针的点触段末端的间隔空间，所述第一探针单元及所述第二探针单元与所述间隔空间位于所述第二假想探针单元分界线的不同侧，所述第三探针单元及所述第四探针单元与所述间隔空间位于所述第三假想探针单元分界线的不同侧，所述间隔空间的宽度大于一所述第一、二待测单元的宽度。
各所述第一探针在所述第一探针座形成不同高度的多个针层，各所述第二探针在所述第二探针座形成不同高度的多个针层；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，同一针层且同一探针单元的探针以其点触段点触同一行导电接点。
位置越高的针层的第一探针的点触段末端与所述第一探针座的内侧面距离越远，位置越高的针层的第二探针的点触段末端与所述第二探针座的内侧面距离越远。
用于同时通过各所述第一探针检测排成至少一列的多个所述第一待测单元以及通过各所述第二探针检测排成至少另一列的多个所述第二待测单元；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，同一针层且同一探针单元的第一探针点触同一第一待测单元的同一行导电接点，同一针层且同一探针单元的第二探针点触同一第二待测单元的同一行导电接点。
用于同时通过各所述第一探针检测多个所述第一待测单元以及通过各所述第二探针检测多个所述第二待测单元，且各所述第一待测单元及第二待测单元共同排成一列；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，同一针层的第一探针点触同一第一待测单元的同一行导电接点，同一针层的第二探针点触同一第二待测单元的同一行导电接点。
当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，各所述第一探针仅点触各所述第一待测单元的距离所述第一探针座最远的一行导电接点，各所述第二探针仅点触各所述第二待测单元的距离所述第二探针座最近的一行导电接点。
用于同时检测八待测单元时，其中包含四所述第一待测单元以及四所述第二待测单元，所述八待测单元中最靠近所述第二探针座的第一待测单元与所述八待测单元中最靠近所述第一探针座的第二待测单元相邻。
各所述第一待测单元及第二待测单元具有实质上朝向相反方向的一第一主边缘及一第二主边缘，以及连接所述第一主边缘及所述第二主边缘且实质上朝向相反方向的一第一侧边缘及一第二侧边缘，一所述第一待测单元的第二主边缘与第二侧边缘的一相交点与一所述第二待测单元的第一主边缘与第一侧边缘的一相交点相邻。
各所述第一待测单元及第二待测单元具有实质上朝向相反方向的一第一主边缘及一第二主边缘，以及连接所述第一主边缘及所述第二主边缘且实质上朝向相反方向的一第一侧边缘及一第二侧边缘，一所述第一待测单元的第二侧边缘与一所述第二待测单元的第一侧边缘相邻。
同一探针单元的第一探针能定义出一垂直于所述第一探针座的内侧面的第一假想分界线，同一探针单元的第一探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向系平行于所述第一假想分界线或逐渐远离所述第一假想分界线地相对于所述第一假想分界线呈倾斜；同一探针单元的第二探针能定义出一垂直于所述第二探针座的内侧面的第二假想分界线，同一探针单元的第二探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或朝所述第二假想分界线靠近地相对于所述第二假想分界线呈倾斜。
仅包含有第一探针的探针单元能以其最外侧的二所述第一探针的固定部的距离定义为一第一固定部分布宽度，仅包含有第二探针的探针单元能以其最外侧的二所述第二探针的固定部的距离定义为一第二固定部分布宽度，所述第二固定部分布宽度系大于所述第一固定部分布宽度。
所述第一固定部分布宽度小于所述第一待测单元的宽度，所述第二固定部分布宽度大于所述第二待测单元的宽度。
为达到上述目的，本发明还提供了一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于包含有：一第一探针座及一第二探针座，分别具有一内侧面，所述第一探针座的内侧面与所述第二探针座的内侧面实质上面向相反方向；多个探针，包含设置于所述第一探针座的多个第一探针以及设置于所述第二探针座的多个第二探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，各所述第一探针的悬臂段具有一与所述第一探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第一探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述第二探针的悬臂段具有一与所述第二探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第二探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述探针的点触段连接于所述外露部；其中，所述探针模块能定义出至少一假想探针单元分界线，各所述探针由所述至少一假想探针单元分界线划分成多个探针单元，同一探针单元仅包含有第一探针或者仅包含有第二探针，且同一探针单元的探针的点触段末端全部位于一所述假想探针单元分界线的同一侧。
其中，所述多个探针单元包含一包含有全部第一探针的第一探针单元，以及一包含有全部第二探针的第二探针单元。
所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线及一第二假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元，以及一仅包含有第一探针的第三探针单元，所述第一探针单元与所述第二探针单元分别位于所述第一假想探针单元分界线二侧，所述第二探针单元与所述第三探针单元分别位于所述第二假想探针单元分界线二侧。
所述至少一假想探针单元分界线还包含一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元更包含一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第三探针单元与所述第四探针单元分别位于所述第三假想探针单元分界线二侧。
各所述第一探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，各所述第二探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第二探针座之间。
所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线，以及实质上垂直于所述第一假想探针单元分界线的一第二假想探针单元分界线及一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元、一仅包含有第一探针的第三探针单元，以及一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第一探针单元及所述第三探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，所述第二探针单元及所述第四探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第二探针座之间，所述第二假想探针单元分界线与所述第三假想探针单元分界线之间有一未设置任何探针的点触段末端的间隔空间，所述第一探针单元及所述第二探针单元与所述间隔空间位于所述第二假想探针单元分界线的不同侧，所述第三探针单元及所述第四探针单元与所述间隔空间位于所述第三假想探针单元分界线的不同侧。
各所述第一探针在所述第一探针座形成不同高度的多个针层，各所述第二探针在所述第二探针座形成不同高度的多个针层，同一针层的第一探针的点触段末端与所述第一探针座内侧面的垂直距离实质上相同，同一针层的第二探针的点触段末端与所述第一探针座内侧面的垂直距离实质上相同。
位置越高的针层的第一探针的点触段末端与所述第一探针座的内侧面距离越远，位置越高的针层的第二探针的点触段末端与所述第二探针座的内侧面距离越远。
同一探针单元的第一探针能定义出一垂直于所述第一探针座的内侧面的第一假想分界线，同一探针单元的第一探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第一假想分界线或逐渐远离所述第一假想分界线地相对于所述第一假想分界线呈倾斜；同一探针单元的第二探针能定义出一垂直于所述第二探针座的内侧面的第二假想分界线，同一探针单元的第二探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或朝所述第二假想分界线靠近地相对于所述第二假想分界线呈倾斜。
仅包含有第一探针的探针单元能以其最外侧的二所述第一探针的固定部的距离定义为一第一固定部分布宽度，仅包含有第二探针的探针单元能以其最外侧的二所述第二探针的固定部的距离定义为一第二固定部分布宽度，所述第二固定部分布宽度大于所述第一固定部分布宽度。
换言之，探针模块所点触的第一待测单元的导电接点全部受第一探针点触，探针模块所点触的第二待测单元的导电接点全部受第二探针点触，即，同一待测单元的导电接点受同一探针座延伸出的探针点触，因此，在第一、二待测单元的分布位置很明显地可区隔开的情况下，第一、二探针也可对应地划分成多个探针单元。当探针模块检测各第一、二待测单元时，第一待测单元的导电接点与第二待测单元的导电接点位于假想探针单元分界线的不同侧，即，本发明的探针模块主要用于同时检测分布位置可由假想探针单元分界线区隔开的待测单元，如此一来，即使仍有一第一待测单元与一第二待测单元相邻，其对应的探针分别由第一、二探针座延伸而出，因此可避免探针干涉问题。本发明的探针模块特别适合用于检测呈矩阵排列的多个待测单元，至少一第一待测单元及至少一第二待测单元可为其中一部分待测单元且分别位于相邻两列，探针模块同时检测所述部分待测单元之后，只要移动一小段距离即可再检测位于相邻两列的另一部分待测单元，由此，探针模块不但可同时检测较多待测单元，也可针对更大量的待测单元进行分次检测而产生更高的检测效率。
不论同时检测的第一、二待测单元的数量分别为一个或多个个，一第一待测单元可与一第二待测单元相邻，即使各待测单元如同先前技术中所述的具有倾斜导电接点的待测单元，各第一、二探针的悬臂段的外露部自第一、二探针座内侧面延伸而出的方向仍可配合所对应的导电接点的延伸方向，以避免探针在点测时意外滑动至非对应的导电接点上，在此情况下，由于分别用于点触第一、二待测单元的第一、二探针位于假想探针单元分界线的不同侧，因此可避免产生探针相互干涉的问题。
附图说明
图1是一具有倾斜导电接点的待测单元、一探针及一探针座的顶视示意图；
图2是本发明一第一较佳实施例所提供的探针模块及八待测单元的顶视示意图，但其中显示的探针仅为第一针层的第一、二探针；
图3类同于图2，但其中显示的探针仅为第二针层的第一、二探针；
图4类同于图3，但其中显示的探针仅为第三针层的第一、二探针；
图5类同于图4，但其中显示的探针仅为第四针层的第一、二探针；
图6是本发明第一较佳实施例所提供的探针模块、各待测单元及一电路板的侧视图；
图7类同于图5，但显示不同排列方式的八待测单元以及对应的本发明一第二较佳实施例所提供的探针模块；
图8是本发明第二较佳实施例所提供的探针模块、各待测单元及一电路板的侧视图；
图9是本发明一第三较佳实施例所提供的探针模块及十二待测单元的顶视示意图，但其中显示的探针仅为第四针层的第一、二探针；
图10是本发明一第四较佳实施例所提供的探针模块及十二待测单元的顶视示意图，但其中显示的探针仅为第四针层的第一、二探针；
图11是本发明一第五较佳实施例所提供的探针模块及十六待测单元的顶视示意图，但其中显示的探针仅为第四针层的第一、二探针；
图12是本发明一第六较佳实施例所提供的探针模块及十六待测单元的顶视示意图，但其中显示的探针仅为第四针层的第一、二探针；
图13是本发明一第七较佳实施例所提供的探针模块及八待测单元的顶视示意图，但其中显示的探针仅为第四针层的第一、二探针；
图14是本发明一第八较佳实施例所提供的探针模块及十六待测单元的顶视示意图，但其中显示的探针仅为第四针层的第一、二探针。
具体实施方式
现举以下实施例并结合附图对本发明的结构、特点、组装或使用方式及功效进行详细说明。然而，在本发明领域中具有通常知识者应能了解，这些详细说明以及实施本发明所列举的特定实施例，仅用于说明本发明，并非用来限制本发明的专利保护范围。
申请人首先在此说明，在以下将要介绍的实施例以及图式中，相同的参考号码，表示相同或类似的元件或其结构特征。需注意的是，图式中的各元件及构造为例示方便并非依据真实比例及数量绘制，且若实施上为可能，不同实施例的特征可以交互应用。
请参阅图2至图6所示，本发明一第一较佳实施例所提供的探针模块20主要包含有一第一探针座21、一第二探针座22、多个第一探针30A～30D，以及多个第二探针30E～30H。
各第一、二探针30A～30H由导电材料(例如金属)制成的直线针通过机械加工弯曲而成，如图6所示，各第一、二探针30A～30H包含有一悬臂段31及一点触段32，悬臂段31具有一与第一探针座21或第二探针座22固接的固定部311，以及一连接于固定部311且自第一探针座21的一内侧面211或第二探针座22的一内侧面221延伸而出的外露部312。如图2至图5所示，部分的第一、二探针30A～30H的悬臂段31未经弯折而使其固定部311与外露部312呈一直线，而另一部分的第一、二探针30A～30H的悬臂段31则经由弯折而使其固定部311与外露部312非呈一直线。如图6所示，各第一、二探针30A～30H的点触段32自外露部312末端向下延伸。
第一探针座21及第二探针座22由绝缘材料(例如俗称黑胶的环氧树脂)制成，第一、二探针座21、22以其内侧面211、221面向彼此的方向地设置，即，第一、二探针座21、22的内侧面211、221实质上面向相反方向。此外，如图6所示，第一、二探针座21、22通常固定于一电路板40的底面41，使得电路板40、第一、二探针座21、22以及各第一、二探针30A～30H结合成一探针卡。
在本发明的实施例中，各第一、二探针30A～30H的固定部311位于第一或第二探针座21、22内，其固定方式利用黑胶同时将同一针层(详述于下文)的探针设置于探针座上的预定位置，再将黑胶烤干而使探针固定于探针座上。然而，各第一、二探针30A～30H的固定部311也可通过黏胶固定于第一或第二探针座21、22的外表面。各第一、二探针30A～30H可更具有一自第一探针座21的一外侧面212或第二探针座22的一外侧面222延伸而出的连接段(图中未示)，以通过连接段电性连接于电路板40底面41的导电接点(图中未示)。
本实施例中的倾斜探针30A～30H(即外露部312呈倾斜的第一、二探针30A～30H)的固定部311包含有一与外露部312连接的内侧区段311a(如图2所示)，以及一自内侧区段311a延伸至探针座外侧面而与前述的连接段连接的外侧区段311b，内侧区段311a与外露部312成一直线而呈倾斜，外侧区段311b则与前述的连接段成一直线且垂直于探针座的内、外侧面(即平行于未倾斜的探针)，如此的探针形成倾斜的方式，是先根据所对应的导电接点的延伸方向D2(详述于下文)将直线针摆放于探针座上并以黑胶固定其固定部311的内侧区段311a，以将探针的外露部312固定于所需的角度(即平行于对应的导电接点的延伸方向D2)，此时探针已固定于探针座上，再弯折其固定部311而使其外侧区段311b连同连接段垂直于探针座的内、外侧面，然后再以黑胶固定外侧区段311b，如此的方式可利于弯折作业的进行，并可使探针的弯折角度固定良好而不易回弹。
本发明的探针模块用于进行多待测单元的检测，也就是同时检测多个待测单元，例如，如图2所示，本实施例的探针模块20用于同时检测八待测单元，其中包含排成一第一列C1且位置偏向第一探针座21的四第一待测单元50A～50D，以及排成一第二列C2且位置偏向第二探针座22的四第二待测单元50E～50H。本发明的实施例中的待测单元与先前技术中所述的待测单元10(如图1所示)相同，但为了更明确地描述本发明的特征，在实施例中以不同的描述方式搭配与图1中不同的元件标号而更进一步地说明待测单元。
八待测单元中最靠近第二探针座22的第一待测单元50D与八待测单元中最靠近第一探针座21的第二待测单元50H相邻。更明确地说，如图3所示，各待测单元50A～50H的一上表面56具有朝向相反方向的第一、二主边缘51、52(通常为长边)、连接第一、二主边缘51、52且朝向相反方向的第一、二侧边缘53、54(通常为短边)，以及多个导电接点55，第一待测单元50D的第二主边缘52与第二侧边缘54的相交点与第二待测单元50H的第一主边缘51与第一侧边缘53的相交点相邻。当探针模块20检测各待测单元50A～50H时，第一探针座21位于第一待测单元50A的第一主边缘51的外侧上方，第二探针座22位于第二待测单元50E的第二主边缘52的外侧上方，换言之，各待测单元50A～50H的第一主边缘51比第二主边缘52更靠近第一探针座21，各待测单元50A～50H的第二主边缘52比第一主边缘51更靠近第二探针座22，探针模块20为整体(连同电路板40)向下移动，进而以各第一、二探针30A～30H的点触段32末端点触各待测单元50A～50H的导电接点55。
在此须先说明的是，本实施例的待测单元50A～50H分别具有排成多行的导电接点，其中包含靠近第一主边缘51的多行用于输出讯号的导电接点，以及沿着第二主边缘52设置的一行用于输入讯号的导电接点55。本实施例的探针模块20主要仅对此一行用于输入讯号的导电接点55进行检测，更明确地说，当探针模块20检测各第一、二待测单元50A～50H时，各第一探针30A～30D仅点触各第一待测单元50A～50D的距离第一探针座21最远的一行导电接点55，各第二探针30E～30H仅点触各第二待测单元50E～50H的距离第二探针座22最近的一行导电接点55，因此，本发明的图式中仅对一行导电接点提供标号55，其他导电接点则未标号，下文中仅以导电接点55为代表而对导电接点进一步描述，其他导电接点的形状及配置则类同于导电接点55。
此外，本发明将第一、二探针30A～30H的点触方向D1(如图6所示)定义为向下，并以此为基准描述其他特征的方向性(例如上、下、顶、底等用语)，例如，各待测单元50A～50H设有导电接点55的上表面56即为面向点触方向D1的相反方向的表面，电路板40固设第一、二探针座21、22的底面41即为面向点触方向D1的表面。然而，前述的方向性只是描述各特征是趋于点触方向D1(例如向下)或点触方向D1的相反方向(例如向上)，而非毫无误差地符合点触方向D1或点触方向D1的相反方向，例如，各第一、二探针30A～30H的点触段32自外露部312末端向下延伸，其意思可包含点触段32朝点触方向D1延伸，或者，点触段32如图6所示地趋于点触方向D1地相对点触方向D1呈倾斜。
在各待测单元50A～50H中，各导电接点55具有一朝向第一主边缘51的第一端551以及一朝向第二主边缘52的第二端552，为简化图式，仅在图3中的三导电接点55上标示出其第一端551及第二端552，各导电接点55能定义出一自其第一端551往第二端552的延伸方向D2。在本实施例中，各待测单元50A～50H能定义出一假想分界轴线A1(如图2所示)，各待测单元50A～50H的假想分界轴线A1与第一侧边缘53之间的导电接点55的延伸方向D2平行于假想分界轴线A1(例如位于图4所标示的中间区块57的导电接点55)或朝第一侧边缘53靠近地相对于假想分界轴线A1呈倾斜(例如位于图4所标示的左侧区块58的导电接点55)，各待测单元50A～50H的假想分界轴线A1与第二侧边缘54之间的导电接点55的延伸方向D2平行于假想分界轴线A1(例如位于图4所标示的中间区块57的导电接点55)或朝第二侧边缘54靠近地相对于假想分界轴线A1呈倾斜(例如位于图4所标示的右侧区块59的导电接点55)。更明确地说，在假想分界轴线A1附近的导电接点55(位于中间区块57的导电接点55)的延伸方向D2平行于假想分界轴线A1，距离假想分界轴线A1越远的导电接点55，其相对于假想分界轴线A1倾斜的程度越大。
本实施例的探针模块20能定义出一假想探针单元分界线A2(如图2所示)，第一探针座21及各第一探针30A～30D大部分都位于假想探针单元分界线A2的一第一侧(左侧)，且各第一探针30A～30D的点触段32末端全部位于假想探针单元分界线A2的第一侧，用于点触各第一待测单元50A～50D的导电接点55；第二探针座22及各第二探针30E～30H大部分都位于假想探针单元分界线A2的一第二侧(右侧)，且各第二探针30E～30H的点触段32末端全部位于假想探针单元分界线A2的第二侧，用于点触各第二待测单元50E～50H的导电接点55。
如图2至图6所示，各第一探针30A～30D以实质上对应各第一待测单元50A～50D的导电接点55的排列方式排成四行而在第一探针座21形成不同高度的第一至第四针层L11～L14，同一针层的第一探针30A～30D延伸至同一行导电接点55，更明确地说，同一针层的第一探针30A～30D的点触段22末端与第一探针座21的内侧面211的垂直距离可实质上相同，但不一定要很准确地相同，只要可用于点触同一行导电接点即可。第一探针座21的第一至第四针层L11～L14由下而上依序设置，位置越高的针层的第一探针的悬臂段31越长且点触段32末端与第一探针座21的内侧面211的距离越远，用于点触距离第一探针座21越远的第一待测单元的50A～50D导电接点55，即，第一至第四针层L11～L14分别对应各第一待测单元50A～50D，当探针模块20检测各待测单元50A～50H时，第一针层L11的第一探针30A以其悬臂段31经过第一待测单元50A的第一主边缘51上方而分别延伸至第一待测单元50A的导电接点55上方(如图2所示)，进而以其点触段32分别点触第一待测单元50A的导电接点55，第二针层L12的第一探针30B以其悬臂段31经过第一待测单元50A的第一、二主边缘51、52及第一待测单元50B的第一主边缘51上方而分别延伸至第一待测单元50B的导电接点55上方(如图3所示)，进而以其点触段分别点触第一待测单元50B的导电接点55，以此类推。
同样地，各第二探针30E～30H以实质上对应各第二待测单元50E～50H的导电接点55的排列方式排成四行而在第二探针座22形成不同高度的第一至第四针层L21～L24，同一针层的第二探针30E～30H延伸至同一行导电接点55，更明确地说，同一针层的第二探针30E～30H的点触段32末端与第二探针座22的内侧面221的垂直距离(例如图6所示的垂直距离d为第一针层L21的第二探针30E的点触段32末端与第二探针座22的内侧面221的垂直距离)可实质上相同，但不一定要很准确地相同，只要可用于点触同一行导电接点即可。第二探针座22的第一至第四针层L21～L24由下而上依序设置，位置越高的针层的第二探针30E～30H的悬臂段31越长且点触段32末端与第二探针座22的内侧面221的距离越远，用于点触距离第二探针座22越远的第二待测单元50E～50H的导电接点55，即，第一至第四针层L21～L24分别对应各第二待测单元50E～50H，当探针模块20检测各待测单元50A～50H时，第一针层L21的第二探针30E以其悬臂段31经过第二待测单元50E的第二主边缘52上方而分别延伸至第二待测单元50E的导电接点55上方(如图2所示)，进而以其点触段32分别点触第二待测单元50E的导电接点55，第二针层L22的第二探针30F以其悬臂段31经过第二待测单元50E的第一、二主边缘51、52及第二待测单元50F的第二主边缘52上方而分别延伸至第二待测单元50F的导电接点55上方(如图3所示)，进而以其点触段32分别点触第二待测单元50F的导电接点55，以此类推。
在本实施例中，各第一、二探针30A～30H的外露部312自探针座21、22延伸而出的方向实质上对应其所属第一、二探针30A～30H将点触的导电接点55的延伸方向D2，此处所称“实质上对应”，指外露部312自探针座21、22延伸而出的方向不一定要与对应的导电接点55的延伸方向D2相同或相反，而是从上往下看时(即图2至图5的方向)，外露部312概与其对应的导电接点55的延伸方向D2平行，如此可避免第一、二探针30A～30H的点触段32在进行点触时偏离至对应的导电接点55之外而产生点触不确实的问题。换言之，各第一、二探针30A～30H的外露部312的倾斜角度配置类同于各导电接点55的倾斜角度配置。
详而言之，如图2所示，各第一探针30A～30D能定义出一垂直于第一探针座21的内侧面211的第一假想分界线A3(与第一待测单元50A～D的假想分界轴线A1重合)，各第一探针30A～30D的外露部312自内侧面211延伸而出的方向平行于第一假想分界线A3(例如对应图4所标示的中间区块57的第一探针30A～30D)或逐渐远离第一假想分界线A3地相对于第一假想分界线A3呈倾斜(例如对应图4所标示的左、右侧区块58、59的第一探针30A～30D)。同样地，各第二探针30E～30H能定义出一垂直于第二探针座22的内侧面221的第二假想分界线A4(与第二待测单元50E～50H的假想分界轴线A1重合)，各第二探针30E～30H的外露部312自内侧面221延伸而出的方向平行于第二假想分界线A4(例如对应图4所标示的中间区块57的第二探针30E～30H)或朝第二假想分界线A4靠近地相对于第二假想分界线A4呈倾斜(例如对应图4所标示的左、右侧区块58、59的第二探针30E～30H)。
通过本发明的探针模块的探针配置，可在将如此繁多的探针以适当间距配置于探针座的前提下，仍可达到前述的确保探针点触确实的功效。此外，在本实施例中，各第一、二探针30A～30H的固定部311的外侧区段311b实质上相互平行，如此较方便于将探针配置于探针座；然而，通过本发明的探针模块的探针配置，也可便于将固定部311与外露部312实质上呈一直线的探针(即倾斜探针是在固定部与外露部的连接点弯折，其固定部未分成内、外侧区段而是整体同一方向)配置于探针座，如此更可简化探针的弯折加工程序。
更重要的是，本发明的探针模块可用于同时检测较多待测单元，且特别适合用于检测呈矩阵排列的多个待测单元，各第一、二待测单元可为其中一部分待测单元且分别位于相邻两列，探针模块同时检测部分待测单元之后，只要移动一小段距离即可再检测位于相邻两列的另一部分待测单元。以本实施例的探针模块20及待测单元50A～50H为例，并以图2至图5的方向来看，第一待测单元50A～50D下侧(甚至上侧)以及各第二待测单元50E～50H上侧(甚至下侧)可设有其他待测单元，即第一列C1及第二列C2可分别更具有除了各第一、二待测单元50A～50H以外的待测单元，且第一列C1左侧及第二列C2右侧可设有更多列的待测单元，探针模块20检测完本实施例的图式所示的八个待测单元50A～50H之后，可再检测邻近的另八个待测单元，例如各第二待测单元50E～50H上侧的四待测单元及右侧的四待测单元(图中未示)，以此方式进行多次检测即可快速检测全部待测单元而达到良好的检测效率。
前述实施例是以同时检测八个待测单元50A～50H且仅检测各待测单元50A～50H的一行导电接点55为例，因此针层L11～L14、L21～L24的总数与待测单元50A～50H的数量相同，如此可在方便配置探针的前提下，达到所需的检测目的并达到良好的检测效率。然而，本发明的探针模块可依使用需求而配置成针对单一或多个第一待测单元以及单一或多个第二待测单元，且也可通过同一探针座的多个针层分别检测同一待测单元的多个行导电接点，即，针层的总数不一定与待测单元的数量相同，而是与所需检测的导电接点的行数相同。
不论同时检测的第一、二待测单元的数量分别为一个或多个，一第一待测单元可与一第二待测单元相邻，其相邻的形态可如前述第一较佳实施例中第一待测单元50D与第二待测单元50H相邻的形态，或者，如图7及图8所示的本发明一第二较佳实施例中第一待测单元50D与第二待测单元50H相邻的形态，在第二较佳实施例中，第一待测单元50D的第二侧边缘54与第二待测单元50H的第一侧边缘53相邻，因此第一待测单元50D邻近第二侧边缘54的导电接点55的延伸方向D2与第二待测单元50H邻近第一侧边缘53的导电接点55的延伸方向D2相互靠近，即使在这样的情况下，由于分别用于点触第一、二待测单元的第一、二探针位于不同侧，各第一、二探针30A～30H的悬臂段31的外露部312自第一、二探针座21、22的内侧面211、221延伸而出的方向仍可配合所对应的导电接点55的延伸方向D2，而不会产生探针相互干涉的问题。
在前述的实施例中，探针模块20的探针仅由一假想探针单元分界线A2划分成二探针单元，即包含有全部第一探针30A～30D的第一探针单元61，以及包含有全部第二探针30E～30H的第二探针单元62，如图2及图7所示(图2及图7中仅显示出部分探针)。然而，本发明也可应用于如图9及图10所示的本发明第三及第四较佳实施例中排成三列的待测单元，其中第一列C1及第三列C3为偏向第一探针座21的第一待测单元50A～50D，第二列C2则为偏向第二探针座22的第二待测单元50E～50H，即，第三及第四较佳实施例中的待测单元分别以第一及第二较佳实施例的待测单元再加上与第一列C1相同的第三列C3待测单元。在第三及第四较佳实施例中，探针模块20的探针由一第一假想探针单元分界线A21及一第二假想探针单元分界线A22划分成一仅包含有第一探针30A～30D(图9及图10中仅显示出第一探针30D)的第一探针单元61、一仅包含有第二探针30E～30H(图9及图10中仅显示出第二探针30H)的第二探针单元62，以及一仅包含有第一探针30A～30D(图9及图10中仅显示出第一探针30D)的第三探针单元63，即，第三及第四较佳实施例中的探针模块20分别以第一及第二较佳实施例的探针模块20再加上与第一探针单元61相同的第三探针单元63，第一探针单元61与第二探针单元62分别位于第一假想探针单元分界线A21二侧，第二探针单元62与第三探针单元63分别位于第二假想探针单元分界线A22二侧，即，第一探针单元61的第一探针30A～30D的点触段32末端与第二探针单元62的第二探针30E～30H的点触段32末端位于第一假想探针单元分界线A21的不同侧，第二探针单元62的第二探针30E～30H的点触段32末端与第三探针单元63的第一探针30A～30D的点触段32末端位于第二假想探针单元分界线A22的不同侧，如此也可达成前述的功效。
可想而知，本发明也可应用于以类同前述排列方式排列成更多列的待测单元，例如图11及图12所示的本发明第五及第六较佳实施例中排成四列的待测单元，是分别以第三及第四较佳实施例的待测单元再加上一与第二列C2相同的第四列C4的第二待测单元50E～50H。在第五及第六较佳实施例中，探针模块20的探针由第一至第三假想探针单元分界线A21～A23划分成四探针单元，其中除了第三及第四较佳实施例中所述的第一至第三探针单元61～63，更加上一与第二探针单元62相同、仅包含有第二探针30E～30H(图11及图12中仅显示出第二探针30H)的第四探针单元64，第三探针单元63与第四探针单元64分别位于第三假想探针单元分界线A23二侧，即，第三探针单元63的第一探针30A～30D的点触段32末端与第四探针单元64的第二探针30E～30H的点触段32末端位于第三假想探针单元分界线A23的不同侧，如此也可达成前述的功效。
再者，本发明也可应用于如图13所示的本发明一第七较佳实施例中排成一列的待测单元，本实施例中待测单元的分布方式是将第一较佳实施例中的第一、二待测单元50A～50H由原本排成相邻两列改为排成同一列，本实施例的探针模块20的第一、二探针可由一平行于第一、二探针座21、22的内侧面211、221的假想探针单元分界线A2划分开，各第一探针30A～30D(图13中仅显示出第一探针30D)的点触段32末端全部位于假想探针单元分界线A2与第一探针座21之间，各第二探针30E～30H(图13中仅显示出第二探针30H)的点触段32末端全部位于假想探针单元分界线A2与第二探针座22之间，如此也可达成前述的功效。
更进一步地，本发明的探针模块20也可应用于如图14所示的本发明一第八较佳实施例中排成一第一列C1及一第二列C2(甚至可更多列)的待测单元50A～50H，第一列C1及第二列C2的待测单元50A～50H分别如同第七较佳实施例中的第一、二待测单元50A～50H的排列方式，且第一列C1及第二列C2间隔一大于一第一、二待测单元50A～50H的宽度W3、W4(在本实施例中W3、W4相等)的距离。对应地，本实施例的探针模块20包含有与第七较佳实施例的探针分布方式相同、用于点触第一列C1待测单元50A～50H的一第一探针单元61及一第二探针单元62，以及与第一探针单元61及第二探针单元62相同、用于点触第二列C2待测单元50A～50H的一第三探针单元63及一第四探针单元64。
详而言之，本实施例的探针模块20能定义出一平行于第一、二探针座21、22的内侧面211、221的第一假想探针单元分界线A21，以及实质上垂直于第一假想探针单元分界线A21的一第二假想探针单元分界线A22及一第三假想探针单元分界线A23，仅包含有第一探针30A～30D(图14中仅显示出第一探针30D)的第一、三探针单元61、63位于第一假想探针单元分界线A21与第一探针座21之间，仅包含有第二探针30E～30H(图14中仅显示出第二探针30H)的第二、四探针单元62、64位于第一假想探针单元分界线A21与第二探针座22之间，第二假想探针单元分界线A22与第三假想探针单元分界线A23之间有一未设置任何探针的点触段末端的间隔空间P，间隔空间P的宽度W5大于一第一、二待测单元50A～50H的宽度W3、W4，第一、二探针单元61、62与间隔空间P位于第二假想探针单元分界线A22的不同侧，第三、四探针单元63、64与间隔空间P位于第三假想探针单元分界线A23的不同侧，更明确地说，间隔空间P位于第二假想探针单元分界线A22的右侧及第三假想探针单元分界线A23的左侧，即间隔空间P位于第二假想探针单元分界线A22及第三假想探针单元分界线A23之间，第一、二探针单元61、62的探针30A～30H(图14中仅显示出探针30D、30H)的点触段末端全部位于第二假想探针单元分界线A22的左侧，第三、四探针单元63、64的探针30A～30H(图14中仅显示出探针30D、30H)的点触段末端全部位于第三假想探针单元分界线A23的右侧。
本实施例的探针模块20不但可达成如前述的高检测效率及避免探针干涉的功效，更重要的是，间隔空间P内事实上更设置另一列待测单元50A～50H，且第一列C1待测单元的左侧及第二列C2待测单元的右侧也设置更多列待测单元50A～50H，本实施例的探针模块20同时检测图14所示的第一、二列C1、C2共十六个待测单元50A～50H之后，只要移动一小段距离即可再检测分别与第一、二列C1、C2待测单元50A～50H相邻的另二列待测单元50A～50H，例如间隔空间P内的一列待测单元50A～50H(图中未示)以及第二列C2待测单元右侧的一列待测单元50A～50H(图中未示)，以此方式进行多次检测即可快速检测全部待测单元而达到更加良好的检测效率。
在前述本发明的较佳实施例中，仅包含有第一探针30A～30D的探针单元，例如前述的第一、三探针单元61、63，能以其最外侧的二第一探针(即最外侧的第一探针30A)的固定部311的距离定义为一第一固定部分布宽度W1(如图2所示)，第一固定部分布宽度W1小于第一待测单元50A～50D的宽度W3。此外，仅包含有第二探针30E～30H的探针单元，例如前述的第二、四探针单元62、64，能以其最外侧的二第二探针(即最外侧的第二探针30H)的固定部311的距离定义为一第二固定部分布宽度W2，第二固定部分布宽度W2大于第二待测单元50E～50H的宽度W4(在本发明的较佳实施例中W3与W4相等)。再者，第二固定部分布宽度W2大于第一固定部分布宽度W1。通过前述的探针单元的分布方式，搭配上述的探针固定部的分布方式，更可使如此繁多的探针以适当间距配置于探针座，以达到高检测效率以及避免探针干涉的功效。
最后，必须再次说明，本发明在前述实施例中所揭示的构成元件，仅为举例说明，并非用来限制本案的专利保护范围，其他等效元件的替代或变化，也应被本案的专利保护范围所涵盖。

Claims (27)

1.一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测至少一第一待测单元及至少一第二待测单元，各所述第一待测单元及第二待测单元具有排成至少一行的多个导电接点；其特征在于所述探针模块包含有：
一第一探针座及一第二探针座，分别具有一内侧面，所述第一探针座的内侧面与所述第二探针座的内侧面面向相反方向；
多个探针，包含设置于所述第一探针座的多个第一探针以及设置于所述第二探针座的多个第二探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，各所述第一探针的悬臂段具有一与所述第一探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第一探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述第二探针的悬臂段具有一与所述第二探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第二探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述探针的点触段连接于所述外露部；
其中，所述探针模块能定义出至少一假想探针单元分界线，各所述探针由所述至少一假想探针单元分界线划分成多个探针单元，同一探针单元仅包含有第一探针或者仅包含有第二探针，且同一探针单元的探针的点触段末端全部位于一所述假想探针单元分界线的同一侧；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，各所述第一探针全部以其点触段点触所述至少一第一待测单元的导电接点，各所述第二探针全部以其点触段点触所述至少一第二待测单元的导电接点。
2.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述多个探针单元包含一包含有全部第一探针的第一探针单元，以及一包含有全部第二探针的第二探针单元。
3.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线及一第二假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元，以及一仅包含有第一探针的第三探针单元，所述第一探针单元与所述第二探针单元分别位于所述第一假想探针单元分界线二侧，所述第二探针单元与所述第三探针单元分别位于所述第二假想探针单元分界线二侧。
4.如权利要求3所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述至少一假想探针单元分界线还包含一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元更包含一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第三探针单元与所述第四探针单元分别位于所述第三假想探针单元分界线二侧。
5.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述第一探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，各所述第二探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第二探针座之间。
6.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线，以及垂直于所述第一假想探针单元分界线的一第二假想探针单元分界线及一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元、一仅包含有第一探针的第三探针单元，以及一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第一探针单元及所述第三探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，所述第二探针单元及所述第四探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第二探针座之间，所述第二假想探针单元分界线与所述第三假想探针单元分界线之间有一未设置任何探针的点触段末端的间隔空间，所述第一探针单元及所述第二探针单元与所述间隔空间位于所述第二假想探针单元分界线的不同侧，所述第三探针单元及所述第四探针单元与所述间隔空间位于所述第三假想探针单元分界线的不同侧，所述间隔空间的宽度大于一所述第一、二待测单元的宽度。
7.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述第一探针在所述第一探针座形成不同高度的多个针层，各所述第二探针在所述第二探针座形成不同高度的多个针层；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，同一针层且同一探针单元的探针以其点触段点触同一行导电接点。
8.如权利要求7所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：位置越高的针层的第一探针的点触段末端与所述第一探针座的内侧面距离越远，位置越高的针层的第二探针的点触段末端与所述第二探针座的内侧面距离越远。
9.如权利要求7所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：用于同时通过各所述第一探针检测排成至少一列的多个所述第一待测单元以及通过各所述第二探针检测排成至少另一列的多个所述第二待测单元；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，同一针层且同一探针单元的第一探针点触同一第一待测单元的同一行导电接点，同一针层且同一探针单元的第二探针点触同一第二待测单元的同一行导电接点。
10.如权利要求7所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：用于同时通过各所述第一探针检测多个所述第一待测单元以及通过各所述第二探针检测多个所述第二待测单元，且各所述第一待测单元及第二待测单元共同排成一列；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，同一针层的第一探针点触同一第一待测单元的同一行导电接点，同一针层的第二探针点触同一第二待测单元的同一行导电接点。
11.如权利要求9或10所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，各所述第一探针仅点触各所述第一待测单元的距离所述第一探针座最远的一行导电接点，各所述第二探针仅点触各所述第二待测单元的距离所述第二探针座最近的一行导电接点。
12.如权利要求9所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：用于同时检测八待测单元时，其中包含四所述第一待测单元以及四所述第二待测单元，所述八待测单元中最靠近所述第二探针座的第一待测单元与所述八待测单元中最靠近所述第一探针座的第二待测单元相邻。
13.如权利要求1或12所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述第一待测单元及第二待测单元具有朝向相反方向的一第一主边缘及一第二主边缘，以及连接所述第一主边缘及所述第二主边缘且朝向相反方向的一第一侧边缘及一第二侧边缘，一所述第一待测单元的第二主边缘与第二侧边缘的一相交点与一所述第二待测单元的第一主边缘与第一侧边缘的一相交点相邻。
14.如权利要求1或12所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述第一待测单元及第二待测单元具有朝向相反方向的一第一主边缘及一第二主边缘，以及连接所述第一主边缘及所述第二主边缘且朝向相反方向的一第一侧边缘及一第二侧边缘，一所述第一待测单元的第二侧边缘与一所述第二待测单元的第一侧边缘相邻。
15.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：同一探针单元的第一探针能定义出一垂直于所述第一探针座的内侧面的第一假想分界线，同一探针单元的第一探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向系平行于所述第一假想分界线或逐渐远离所述第一假想分界线地相对于所述第一假想分界线呈倾斜；同一探针单元的第二探针能定义出一垂直于所述第二探针座的内侧面的第二假想分界线，同一探针单元的第二探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向系平行于所述第二假想分界线或朝所述第二假想分界线靠近地相对于所述第二假想分界线呈倾斜。
16.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：仅包含有第一探针的探针单元能以其最外侧的二所述第一探针的固定部的距离定义为一第一固定部分布宽度，仅包含有第二探针的探针单元能以其最外侧的二所述第二探针的固定部的距离定义为一第二固定部分布宽度，所述第二固定部分布宽度大于所述第一固定部分布宽度。
17.如权利要求16所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述第一固定部分布宽度小于所述第一待测单元的宽度，所述第二固定部分布宽度大于所述第二待测单元的宽度。
18.一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于包含有：
一第一探针座及一第二探针座，分别具有一内侧面，所述第一探针座的内侧面与所述第二探针座的内侧面面向相反方向；
多个探针，包含设置于所述第一探针座的多个第一探针以及设置于所述第二探针座的多个第二探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，各所述第一探针的悬臂段具有一与所述第一探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第一探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述第二探针的悬臂段具有一与所述第二探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第二探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述探针的点触段连接于所述外露部；
其中，所述探针模块能定义出至少一假想探针单元分界线，各所述探针由所述至少一假想探针单元分界线划分成多个探针单元，同一探针单元仅包含有第一探针或者仅包含有第二探针，且同一探针单元的探针的点触段末端全部位于一所述假想探针单元分界线的同一侧。
19.如权利要求18所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述多个探针单元包含一包含有全部第一探针的第一探针单元，以及一包含有全部第二探针的第二探针单元。
20.如权利要求18所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线及一第二假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元，以及一仅包含有第一探针的第三探针单元，所述第一探针单元与所述第二探针单元分别位于所述第一假想探针单元分界线二侧，所述第二探针单元与所述第三探针单元分别位于所述第二假想探针单元分界线二侧。
21.如权利要求20所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述至少一假想探针单元分界线还包含一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元更包含一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第三探针单元与所述第四探针单元分别位于所述第三假想探针单元分界线二侧。
22.如权利要求18所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述第一探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，各所述第二探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第二探针座之间。
23.如权利要求18所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线，以及垂直于所述第一假想探针单元分界线的一第二假想探针单元分界线及一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元、一仅包含有第一探针的第三探针单元，以及一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第一探针单元及所述第三探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，所述第二探针单元及所述第四探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第二探针座之间，所述第二假想探针单元分界线与所述第三假想探针单元分界线之间有一未设置任何探针的点触段末端的间隔空间，所述第一探针单元及所述第二探针单元与所述间隔空间位于所述第二假想探针单元分界线的不同侧，所述第三探针单元及所述第四探针单元与所述间隔空间位于所述第三假想探针单元分界线的不同侧。
24.如权利要求18所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述第一探针在所述第一探针座形成不同高度的多个针层，各所述第二探针在所述第二探针座形成不同高度的多个针层，同一针层的第一探针的点触段末端与所述第一探针座内侧面的垂直距离相同，同一针层的第二探针的点触段末端与所述第一探针座内侧面的垂直距离相同。
25.如权利要求24所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：位置越高的针层的第一探针的点触段末端与所述第一探针座的内侧面距离越远，位置越高的针层的第二探针的点触段末端与所述第二探针座的内侧面距离越远。
26.如权利要求18所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：同一探针单元的第一探针能定义出一垂直于所述第一探针座的内侧面的第一假想分界线，同一探针单元的第一探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第一假想分界线或逐渐远离所述第一假想分界线地相对于所述第一假想分界线呈倾斜；同一探针单元的第二探针能定义出一垂直于所述第二探针座的内侧面的第二假想分界线，同一探针单元的第二探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或朝所述第二假想分界线靠近地相对于所述第二假想分界线呈倾斜。
27.如权利要求18所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：仅包含有第一探针的探针单元能以其最外侧的二所述第一探针的固定部的距离定义为一第一固定部分布宽度，仅包含有第二探针的探针单元能以其最外侧的二所述第二探针的固定部的距离定义为一第二固定部分布宽度，所述第二固定部分布宽度大于所述第一固定部分布宽度。
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