CN1124683C - 压电元件及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的压电元件包括：压电元件；装配基板；多个图案电极；输入、输出和公共电极；第一、第二导电支承件；压电元件第一主表面面向放置图案电极的装配基板表面并且支承件电学连接并固定在放置于装配基板的图案电极上。本发明的制造压电元件的方法包括：提供装配基板；形成图案电极；提供压电元件；形成输入、输出和公共电极；形成导电支承件；将导电粘合剂涂覆在图案电极上；以及将压电元件的主表面排列为面向形成图案电极的装配基板表面，并用导电粘合剂将支承件粘合到图案电极上；其中，形成输入和输出电极的步骤包括：在压电元件的第一主表面整个区域上淀积电极材料并形成两条纵向延伸槽以形成三根分开的电极；导电支承件排列为之字形。

Description

压电元件及其制造方法

(1)技术领域

本发明涉及AM滤波器或其它电子元件中使用的以纵向振荡模式工作的压电元件。

(2)背景技术

正如日本专利特许公报No.2-224515所揭示的那样，在已知的压电元件中，一般将利用纵向振荡模式的压电元件放置在盒罩内。在这种压电元件中，通过将压电元件整个第一主表面上的电极材料划分形成纵向延伸的线性槽得到输入和输出电极，压电元件第二主表面上提供有公共电极，其中每根输入和输出电极的一部分带有分立、独立的支承区域，该区域由各向异性弹性导电材料构成并且形成与外部导体电学接触的电学触点区域。上述支承区域排列在槽的任意一侧并沿着输入和输出电极的纵向延伸。压电元件在弹簧件的压迫下，上述支承区域与固定在盒罩上的输入和输出端弹压接触以实现接触导电。

在上述压电元件中，支承件相互之间的间隔较小。因此当上述压电元件与外部导体(例如固定在盒罩上的端子)连接时，外部导体必须相互靠近地放置。这样，如果压电元件有小的位置偏移就会在输入和输出电极之间引起短路。

在上述压电元件中，它的弹性支承区域通过与端子的弹压接触与盒罩上的端子连接起来。在完成这种连接的过程中，如果对压电元件有振动，则其位置很容易发生偏移。有鉴于此，为了提高压电元件位置的稳定性和导电性，采用导电粘合剂等将支承区域连接并固定在装配基板的图案电极上。在这种情况下，由于输入和输出电极支承区域间距较小，所以如果导电粘合剂哪怕扩展一小部分都会引起输入和输出电极之间的短路，导致所需导电连接的可靠性变差。

(4)发明内容

本发明的较佳实施例提供了一种压电元件，其中采用纵向振荡模式的压电元件被装配在装配基板的图案电极上，避免了压电元件分立电极之间的短路，从而改善了电学连接的可靠性。

根据本发明的较佳实施例，提供了一种压电元件，其中利用纵向振荡模式的压电元件被装配在位于绝缘装配基板上表面的图案电极上，压电元件具有第一主表面，其上的输入和输出电极由纵向延伸的线性槽分隔，公共电极提供在另一主表面上，导电的支承件固定在输入和输出电极的节点部分从而在纵向相互隔开，具有输入和输出电极的压电元件第一主表面面对上有图案电极的装配基板的表面，支承件连接并固定在装配基板的图案电极上。

当压电元件的输入和输出电极与装配基板的图案电极连接时，由于提供了固定在电极上的支承件，所以可以使图案电极在纵向上相互隔开。这样即使在压电元件位置发生偏移时，输入与输出电极之间也不会引起短路。

支承件比较好的是位于压电元件的节点部分，即大体上在纵向的中间位置处。在本发明较佳实施例中，节点部分不仅包括全部非振荡部分，而且还包括即使限定该部分也不会影响振荡特性的其它区域。由于位于输入和输出电极上的支承件在纵向上需要尽可能地相互隔开，所以支承件被固定在靠近节点部分与非节点部分之间界面的位置处。一般来说，在纵向振荡模式元件中，节点范围大约为元件长度的1/4，从而可以使支承件按照所需的距离相隔。

有各种将支承件连接到图案电极上的方法。例如支承件可以由导电粘合剂、金属凸起构成，并依靠粘合剂粘结到图案电极上。当支承件由未凝固粘合剂构成时，它们可以直接与图案电极结合在一起。为了提高压电元件与装配基板之间的粘合强度，除了导电粘合剂以外还可以使用绝缘粘合剂。这种绝缘粘合剂比较好的用在压电元件的节点部分而避免用在导电支承区域。

当压电元件主表面上提供两条槽以利用它们划分电极材料形成三个电极时，固定在利用槽划分形成的输入中央电极上的导电支承件和固定在输出电极上的导电支承件需要排列成之字形，输出电极位于输入电极任意一侧上。

当压电元件附着在装配基板上时，会引起下列问题。即如果压电元件倾斜地附着，则输入或输出电极可能会与不同电势的图案电极接触从而使振荡特性变差。但是当支承件以上述之字形排列时，支承结构为三点支承，所以较易达到水平状态，从而改进稳定性。

除了导电支承件以外，还需要将绝缘支承件固定在输入和输出电极的节点部分。在这种情况下，比较好的做法是对一个电极提供多个支承件，或者支承件的尺寸较大，从而在利用支承件使压电元件附着在装配基板上时，增加支承面积，从而改进稳定性。在偶然的情况下，导电支承件可能会在元件宽度方向上非常靠近绝缘支承件。但是即使在这种情况下，也不可能发生短路。

本发明提供了一种压电元件，它包括：具有第一主表面和第二主表面的压电元件；装配基板；位于装配基板上表面上的多个图案电极；位于压电元件第一主表面上的输入和输出电极；位于压电基板第二主表面上的公共电极；以及位于输入电极上的第一导电支承件和位于输出电极上的第二导电支承件，所述输入和输出导电支承件相互隔开；其中，放置输入和输出电极的压电元件第一主表面面向放置图案电极的装配基板表面，并且支承件电学连接并机械固定在放置于装配基板的图案电极上；压电元件的第一主表面具有包括输入和输出电极的三个电极，位于第一主表面上的所述三个电极由形成于第一主表面上的两条纵向延伸槽相互隔开；位于三个电极上的导电支承件排列为之字形。

本发明还提供了一种制造压电元件的方法，它包括以下步骤：提供装配基板；在装配基板的上表面形成图案电极；提供具有第一主表面和第二主表面的压电元件；在压电元件的第一主表面上形成输入和输出电极并在压电元件的第二主表面上形成公共电极；在输入和输出电极上形成导电支承件从而使导电支承件在压电元件纵向上相互隔开；将导电粘合剂涂覆在所述装配基板的图案电极上；以及将放置输入和输出电极的所述压电元件的主表面排列为面向形成图案电极的所述装配基板表面，并且用导电粘合剂将所述支承件粘合到所述装配基板的图案电极上；其中，在压电元件的第一主表面上形成输入和输出电极的步骤包括：在压电元件的第一主表面整个区域上淀积电极材料并在第一主表面上的电极材料中形成两条纵向延伸槽以形成三根分开的电极；位于三个分立电极上的导电支承件排列为之字形。

(4)附图说明

通过以下借助附图对本发明的描述可以进一步理解本发明较佳实施例的要素、特征和优点。

图1为按照本发明第一实施例的压电元件的分解透视图；

图2为图1所示压电元件的盖子和装配基板的分解透视图；

图3为装配在图1所示压电元件上的压电元件的透视图；

图4为图3所示压电元件节点部分的放大透视图；

图5为压电元件与装配基板另一种连接结构的示意图；

图6为压电元件与装配基板另一种连接结构的示意图；

图7为按照本发明第二实施例的压电元件的分解透视图；

图8为压电元件装配到装配基板上的放大示意图；

图9为图7所示压电元件中所用压电元件的透视图；

图10为在装配基板上装配图7所示压电元件的另一种方法的放大示意图；

图11为压电元件另一实例的透视图；

图12为压电元件另一实例的透视图；

图13为按照本发明第三实施例的压电元件的分解透视图；以及

图14为图13所示压电元件完成装配后的透视图。

(5)具体实施方式

图1和图2示出了构成本发明较佳实施例的压电元件实例的表面安装型压电AM滤波器。这种压电滤波器由装配基板20、压电元件1和盖子30构成。

装配基板20比较好的是为接近矩形的绝缘薄板，由氧化铝陶瓷、玻璃陶瓷、玻璃环氧树脂或其它合适的材料构成。如图1所示，在装配基板20的上表面上，采用熟知的方法(例如溅射、蒸发或印制)在输入侧、输出侧和接地侧形成三个图案电极21、22和23。图案电极21、22和23比较好的是沿着装配基板20的边缘延伸至背面。导电胶通过丝网印制等方法涂覆在位于输入和输出侧的图案电极21和22的内端部分。

压电元件1采用的是纵向振荡，并且配以细长的近似矩形的压电陶瓷基板2。在压电基板2的其中一个主表面上，通过所形成的两条沿纵向延伸的线性槽3划分图3所示电极材料，提供了三个电极4、5a和5b。在这些电极中，比较好的是用位于中央并且较宽的电极4构成输入电极，而位于输入电极两侧的较窄电极5a和5b用作输出电极。输入电极4的宽度比较好的是输出电极5a和5b宽度的两倍。也可以将中央电极4作为输出电极而将其两侧的电极5a和5b作为输入电极。公共电极(接地电极7)比较好的是覆盖压电基板2整个另一主表面。

导电支承件6a、6b和6c固定在位于输入电极4和输出电极5a和5b的元件1部分(比较好的是位于元件1节点部分的两端)，并且支承件6a、6b和6c一般排列成之字形。本较佳实施例的支承件6a、6b和6c比较好的是通过在电极4、5a和5b上涂覆例如100微米左右厚的导电胶并加以凝固成形。也可以将形成的电极4、5a和5b构成焊接凸起或金凸起等。如图4所示，位于输出电极5a和5b上的支承件6b和6c比较好的是位于纵向同一位置上，而位于输入电极4上的支承件6a比较好的是位于与支承件6b和6c纵向相隔最小距离S的位置上。该距离S比较好的是设定为大于槽3的宽度α。支承件6a与支承件6b和6c之间相隔的最大距离L与节点范围基本相同(例如元件长度的1/4)。固定在电极4、5a和5b上的支承件6a、6b和6c的宽度比较好的是分别与电极4、5a和5b的宽度相同。

上述压电元件1被装配在装配基板20上，从而使输入和输出电极4、5a和5b所在一侧面向装配基板20的上表面。即利用导电胶24、25将位于输入电极4上的支承件6a粘附在输入侧图案电极22上，而将位于输出电极5a和5b上的支承件6b和6c粘附在输出侧图案电极22上。支承件6a、6b和6c的高度比较好的要小，设定为例如100微米左右，从而使压电元件1在压电元件1端部略微倾斜。这种略微倾斜通常使压电元件与装配基板20的上表面接触从而影响振荡特性，或者使输出电极4、5a和5b与电势不同的图案电极21-23接触从而引起连接缺陷。但是由于压电元件1受到三根支承件6a、6b和6c的稳定支承，所以单元具有极佳的水平稳定性并且避免了对压电元件1振荡特性的影响和压电元件1与装配基板之间的缺陷连接。

在粘合压电元件1之后，如图2所示，压电元件1的公共电极7和接地侧图案电极23通过导线26互相连接起来。引线26可以方便地采用熟知的引线粘结方法连接。

在完成引线连接之后，覆盖压电元件1的盖子30被粘合到装配基板20上从而密封压电元件1的四周。比较好的做法是通过转移之类的方法将密封粘合剂31涂覆在盖子30开口的整个四周。在盖子30粘结到装配基板20之后，凝固密封粘合剂31，从而使盖子30固定在基板上。盖子30由诸如氧化铝陶瓷之类绝缘材料或诸如铝之类的金属构成。在密封粘合剂31凝固的同时，可以凝固导电胶24、25。

虽然在上述较佳实施例中压电元件1是单单通过导电胶24、25粘合到装配基板20上去的，但是除了导电胶24、25之外还可以采用绝缘粘合剂32来固定单元。在这种情况下，绝缘粘合剂32被涂覆在输入侧电极21与输出侧电极22之间的部分，并且当压电元件1凝固在装配基板1上时使绝缘粘合剂32粘合在支承件6a-6c之间，从而将压电元件1牢固地固定在基板上。

如上所述，当采用导电胶24、25和绝缘粘合剂32时，导电粘合剂24、25主要用于支承件36-38的导电部分36a-38a与图案电极21和22的导电连接，而绝缘粘合剂32用于将装配基板20与压电元件30固定在一起，所以粘合剂的作用各异，从而装配到基板上后既能导电又能固定住。

而且如图6所示，可以利用各向异性导电粘合剂33将压电元件1与装配基板20互相固定在一起。众所周知，各向异性粘合剂33只在相对方向上导电，所以它只在相对的支承件6a、6b和6c与图案电极21和22之间导电。在这种情况下，如果各向异性导电粘合剂33扩展到支承件6a-6c与图案电极21和22相对的部分以外也不会有问题。因此可以将各向异性导电粘合剂33涂覆在压电元件1与装配基板20之间更宽的范围内。但是节点区域以外的区域无需涂覆各向异性导电粘合剂33。

图7示出了本发明第二较佳实施例，它是一种包含两个压电元件60和61的表面安装型压电AM滤波器。

在基板40上是输入侧图案电极41、输出侧图案电极42、接地侧图案电极43和过渡电极44。输入、输出和接地侧电极41-43沿着基板40边缘上形成的槽部分40a延伸到背面或底面。在粘合盖子的基板40部分为框架形绝缘层45。

如图8(A)所示，利用丝网印刷方法将导电胶46、47、48、49沿两维方向涂覆在输入侧和输出侧图案电极41和42以及过渡电极44的元件装配部分。而且固定压电元件60、61用的绝缘粘合剂50、51以液滴方式涂覆在输入侧图案电极41与过渡电极44之间的部分并以插脚转移、分配等方式涂覆在输出侧图案电极42与过渡电极44之间的部分。绝缘粘合剂部分50和51的厚度最好大于图案电极41、42和44与导电电极部分46-49厚度之和。

每个压电元件60和61比较好的是利用纵向振荡模式，并且如图9所示包括细长矩形压电基板62。在该压电基板62的其中一个主表面上，通过利用两条槽63划分电极材料形成了三个电极64、65a和65b。中央较宽的电极64为输入电极，而其两侧较窄的电极65a和65b为输出电极。在压电基板62的另一个主表面上设置了公共电极66。

纵向延伸的支承件67-69固定在位于输入电极64和输出电极65a和65b上并属于元件60、61节点部分的区域，从而使其平行纵向放置在相同位置上。本较佳实施例的支承件67-69比较好的是由导电部分67a-69a和绝缘部分67b和69b构成。输入电极64上的导电部分67a和输出电极65a和65b上的导电部分68a和69a比较好的是位于支承件67-69的相对端部。这样导电部分67a-69a比较好的是沿元件纵向相互隔开并且排列为之字形。在本较佳实施例中，比较好的是形成支承件67-69以覆盖压电元件60、61的整个节点区域，并且支承件的长度L设定为压电元件60、61整个长度的1/4左右。

在压电元件60、61的输入和输出电极64、65a和65b端部附近，所形成的抑制杂散噪声用的槽70沿宽度方向延伸。

压电元件60、61装配成输入和输出电极所在的侧面面向装配基板40的上表面。即，就一个压电元件60而言，输入电极64上的支承件67的导电部分67a通过导电胶46与输入侧图案电极41连接，并且输出电极65a和65b上的支承件68和69的导电部分68a和69a通过导电胶48与过渡电极44连接。就另一个压电元件61而言，输入电极64上的支承件67的导电部分67a通过导电胶49与过渡电极44连接，并且输出电极65a和65b上的支承件68和69的导电部分68a和69a通过导电胶47与输出侧图案电极42连接。这样两个压电元件60和61在输入侧电极41与输出侧电极42之间级联连接。当压电元件60和61装配在装配基板40上时，涂覆在输入侧图案电极41与过渡电极44之间区域和输出侧图案电极42与过渡电极44之间区域上的绝缘粘合剂50、51使装配基板40牢固地粘合在支承件67-69的绝缘部分67b-69b，从而使压电元件60和62水平稳定地固定在位置上。

在将压电元件60和61固定在装配基板40上之后，压电元件60和61的公共电极66分别通过引线71和72与装配基板40的接地侧图案电极43连接。

盖子80由尺寸足以同时覆盖两个单元60和61的金属构成，并且密封粘合剂81涂覆在盖子开口的整个四周。当盖子80抵压住基板40时，盖子80的开口粘合在绝缘层45上。在这种情况下，密封粘合剂81和导电粘合部分46-49同时凝固，从而完成盖子80内部的密封和电学连接，由此提供压电滤波器。

虽然在上述较佳实施例中，当将元件60和61的支承件67-69与装配基板40连接起来时采用了导电粘合剂46-49和固定粘合剂50、51，但是如图10所示，也可以采用各向异性导电粘合剂82。在这种情况下，各向异性导电粘合剂不仅可以涂覆在支承件67-69与图案电极41、42和44的相对区域，而且可以涂覆在其它区域，从而将元件60和61稳定地固定在装配基板40上，并获得高度可靠的导电连接。

当提供具有导电和绝缘部分的支承件67-69时，无需沿纵向连续延伸，并且如图11和12所示，可以将导电部分67a-69a和绝缘部分67b-69b相互隔开。导电部分67a-69a比较好的是沿元件纵向相互隔开并且排列成之字形。虽然在本实例中介于导电部分67a-69a与绝缘部分67b-69b之间的电极64、65a和65b部分是暴露的，但是也可以用薄支承件覆盖该部分。

图13示出了按照本发明第三较佳实施例的引线端型压电AM滤波器。该压电滤波器提供有装配基板90、压电元件100、金属盖子110和引线端120-122。

装配基板90比较好的是接近矩形的细长绝缘薄板，由氧化铝陶瓷、玻璃陶瓷、玻璃环氧树脂等构成。在装配基板90的上表面上，采用熟知的方法(例如溅射、蒸发或印制)形成输入和输出图案电极91和92。图案电极91和92比较好的是对称形成，并且外部连接部分91a和92a沿着装配基板90的短边排列，从而沿着装配基板90两端部形成的槽部分90a延伸至背面或后面。内部连接部分91a和92a从外部连接部分91b和92b向装配基板90的中央部分延伸。

在装配基板90的上表面，利用丝网印刷等方法形成了诸如绝缘耐腐蚀图案之类的绝缘层93从而覆盖部分图案电极91和92。图案电极91和92的内部连接部分91b和92b透过绝缘层93的中央开口部分93a暴露出来。该绝缘层93用来防止装配基板的图案电极91和92与金属盖子110之间的短路，减缓因图案电极91和92厚度引起的装配基板90表面的不规则并避免盖子110的密封缺陷。

压电元件100为利用纵向振荡模式的压电滤波器单元并且比较好的是与图9所示的压电元件60和61的结构相同，因此与压电元件60和61相似的部分用相同的标号表示，并且不再赘述。与图9所示一样，具有导电部分和绝缘部分的支承件67-69固定在压电元件100的输入和输出电极64、65a和65b上。

较好的是包含金等材料的导线101通过引线键合方法被固定到中央部分，该部分用于构成压电元件100的公共电极66的节点部分构成。虽然在本实例的引线为直径30微米的Au引线，但是只要其它引线的导电性、弹性和抗恶劣天气能力符合要求，也可以采用。引线键合涉及主面与辅面。从改善引线101弹性和导电可靠性出发，主辅侧面固定在公共电极66上，并且其间的部分为环状。环的高度任意选定。但是考虑到元件100安装时的变动、盖子110的大小等，比较好的是将引线101设计成与盖子110内顶面可靠抵压。

覆盖元件100的金属110粘结到装配基板90上用于密封。在盖子110的开口上，通过转移等方法将密封用的粘结剂111事先涂覆成均匀的厚度。而且在盖子110内部顶面部分，特别是在与元件100引线101相对的部分，利用分散、插脚转移等方法涂覆导电粘结剂112。涂覆量，即导电粘结剂112的厚度必须调整为当盖子110粘结到装配基板90上时使导电粘合剂112粘合到引线101上但是不与压电元件100粘合。通过用盖子110盖住装配基板90，盖子110的开口与装配基板90的绝缘层93紧密接触，从而密封住盖子110的内部。而且，当盖子110覆盖装配基板90时，引线101与盖子110的内侧抵压并浸入导电粘合剂112和压碎。在这种情况下，当在预定温度下加热一段时间时，密封粘合剂111和导电粘合剂112几乎同时凝固，从而使盖子110粘合在装配基板90上密封，并且元件100的公共电极66与盖子110电学连接。由于导电粘合剂112与压电元件100隔开一段距离，所以盖子110热处理时的热量不会直接传导到压电元件100上，从而例如减缓了加热对压电元件100的影响。

输入和输出引线端120和121通过焊接等方法与延伸至装配基板90背面或反面的图案电极91和92的外部连接部分91a与92a相连，从而防止输入和输出引线端120和121靠近盖子110。接地引线端122通过焊剂或焊接等方法与盖子110外表面结合在一起。可以在盖子110粘结到装配基板90之前将接地引线端122与盖子110结合在一起。

在连接了引线端120-122之后，装配基板90的四周和盖子110用外涂层123覆盖从而提供完整的产品。

对于上述较佳实施例的压电元件，压电元件100接地侧公共电极66通过引线101与盖子110电连接，并且盖子110与接地引线端122电连接，所以无需在装配基板90上形成接地电极，从而可以缩小装配基板90的尺寸并便于连接工艺。而且由于无需通过引线将压电元件100的公共电极66与装配基板的接地电极连接起来，所以可以杜绝连接点高度差异引起的问题，避免引线脱落或断裂并缩小盖子尺寸。

本发明并不局限于上述较佳实施例。

虽然在上述较佳实施例中，通过利用多条槽将电极材料划分为三个部分形成了压电元件的输入和输出电极，但是也可以利用一条槽将电极材料划分为两个部分形成电极。在这种情况下，固定在电极上的支承件不再排列成之字形，而是相对单元的纵向相互作偏移定位。

而且虽然在上述较佳实施例中，当通过利用二条槽将电极材料划分为三个部分形成压电元件的输入和输出电极时，中央电极的宽度大于其两侧电极的宽度，但是电极的宽度可以相同。但是当如同较佳实施例那样，中央电极的宽度大于其两侧电极的宽度时，固定在中央电极上的支承件的宽度也相对较大，从而在将压电元件粘结到装配基板上时改进了稳定性，从而避免元件相对纵向倾斜。

代替图3所示装配在第一较佳实施例压电元件上的压电元件可以是图9、11或12所示的压电元件。而且装配在第二和第三较佳实施例(图7和13)上的压电元件的压电元件可以是图3、11和12所示的压电元件。

由上述描述可见，根据本发明较佳实施例，压电基板的一个主表面上提供有输入和输出电极，它们通过利用沿基板纵向延伸的线性槽划分电极材料形成，并且导电支承件固定在输入和输出电极的节点部分，从而使它们沿压电基板相互隔开，并且压电元件的输入和输出电极经过渡支承件与装配基板的图案电极相连，所以即使压电元件发生一些偏离，也不会在输入和输出电极之间引起短路，从而获得连接高度可靠的压电元件。

而且由于支承件固定在相对压电基板纵向隔开一定距离的位置上，所以当压电元件装配在外部导体上时进一步避免了压电元件相对纵向倾斜，从而可以防止和限制因为压电元件端部与装配基板接触等引起的短路或振荡。

虽然借助较佳实施例对本发明作了描述，但是本发明的范围和精神由后面所附权利要求限定。

Claims (12)

1.一种压电元件，其特征在于，包括：

具有第一主表面和第二主表面的压电元件；

装配基板；

位于装配基板上表面上的多个图案电极；

位于压电元件第一主表面上的输入和输出电极；

位于压电基板第二主表面上的公共电极；以及

位于输入电极上的第一导电支承件和位于输出电极上的第二导电支承件，所述第一和第二导电支承件相互隔开；

其中，放置输入和输出电极的压电元件第一主表面面向放置图案电极的装配基板表面，并且所述支承件电学连接并机械固定在放置于装配基板的图案电极上；

所述压电元件的第一主表面具有包括输入和输出电极的三个电极，位于第一主表面上的所述三个电极由形成于第一主表面上的两条纵向延伸槽相互隔开；

位于所述三个电极上的所述导电支承件排列为之字形。

2.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，位于所述压电元件第一主表面上的所述三个电极中的中央电极的宽度大于其两侧电极的宽度。

3.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，进一步包括固定在所述压电元件的输入和输出电极上的绝缘支承件以提高输入和输出电极与装配基板之间的物理结合强度。

4.如权利要求3所述的压电元件，其特征在于，所述绝缘支承件与位于压电元件节点部分附近的输入和输出电极连接。

5.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，覆盖所述压电元件的盖子粘合在所述装配基板上从而密封所述盖子的内部。

6.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，压电元件以纵向振荡模式振动。

7.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，导电支承件与位于压电元件节点部分附近的输入和输出电极连接。

8.一种制造压电元件的方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供装配基板；

在装配基板的上表面形成图案电极；

提供具有第一主表面和第二主表面的压电元件；

在压电元件的第一主表面上形成输入和输出电极并在压电元件的第二主表面上形成公共电极；

在输入和输出电极上形成导电支承件从而使导电支承件在压电元件纵向上相互隔开；

将导电粘合剂涂覆在所述装配基板的图案电极上；以及

将放置输入和输出电极的所述压电元件的主表面排列为面向形成图案电极的所述装配基板表面，并且用导电粘合剂将所述支承件粘合到所述装配基板的图案电极上；

其中，在压电元件的第一主表面上形成输入和输出电极的步骤包括：在压电元件的第一主表面整个区域上淀积电极材料并在第一主表面上的电极材料中形成两条纵向延伸槽以形成三根分开的电极；

位于所述三个分立电极上的所述导电支承件排列为之字形。

9.如权利要求8所述的制造压电元件的方法，其特征在于，在形成的所述三个分立电极中，中央电极的宽度大于其两侧电极的宽度。

10.如权利要求8所述的制造压电元件的方法，其特征在于，进一步包括以下步骤：在压电元件粘合到所述装配基板之前将绝缘粘合剂涂覆在所述装配基板的图案电极之间，其中利用所述导电粘合剂和所述绝缘粘合剂将压电元件粘合到所述装配基板上。

11.如权利要求10所述的制造压电元件的方法，其特征在于，涂覆绝缘粘合剂的步骤包括：将绝缘粘合剂涂覆在位于压电元件节点部分附近的输入和输出电极上。

12.如权利要求8所述的制造压电元件的方法，其特征在于，在输入和输出电极上形成导电支承件的步骤包括：将导电支承件连接到位于压电元件节点部分附近的输入和输出电极上。

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