CN112055793A - 柔性齿轮的制造方法、柔性齿轮单元的制造方法以及齿轮 - Google Patents
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Abstract
提供了：一种能够进一步提高生产率、进一步降低制作成本的柔性齿轮制作方法和柔性齿轮单元制作方法；以及能够进一步提高生产率和进一步降低制作成本的齿轮。该柔性齿轮制作方法包括：准备具有柔性齿轮形状的模具，并通过使用该模具的电铸，通过沉积和脱离形成柔性齿轮的形状。该柔性齿轮单元制作方法包括所述柔性齿轮制作方法和将柔性齿轮与轴和/或毂接合的步骤。该柔性齿轮配备有齿轮部、主体和隔膜部，并由适合于电铸的材料制成。
Description
技术领域
本技术涉及柔性齿轮的制造方法、柔性齿轮单元的制造方法以及齿轮。
背景技术
谐波驱动(harmonic drive)减速机可以用相对小的尺寸的小数量的部件形成，具有高减速比和小后冲(backlash)。另外，谐波驱动减速机允许同轴地设置输入和输出轴。因此，它们作为旋转控制装备(主要作为用于机床、工业机器人等的中小型减速机)的用途变得更广泛。谐波驱动减速机使用柔性齿轮(柔轮(flex spline))，近年来，在目前的情况下，关于柔性齿轮(柔轮)的技术得到了积极的开发。
例如，提出了以改进柔性齿轮(柔轮)的结构及制造方法为目的的技术(参照专利文献1及2)。
引文列表
专利文献
专利文献1：日本专利申请公开No.H2-72260
专利文献2：日本专利申请公开No.2003-97654
发明内容
发明要解决的问题
然而，专利文献1和2中提出的技术可能不能实现生产率的进一步提高和制作成本的进一步降低。
因此，鉴于这样的状况完成了本技术，其主要目的是提供能够实现生产率的进一步提高和制作成本的进一步降低的柔性齿轮的制造方法以及柔性齿轮单元的制造方法，以及允许生产率的进一步提高和生产成本的进一步降低的齿轮。
针对问题的解决方案
作为为了解决上述目的而进行的认真研究的结果，本发明人成功开发了显著提高生产率并显著降低制作成本的柔性齿轮的制造方法和柔性齿轮单元的制造方法、以及允许进一步提高生产率并进一步降低制作成本的齿轮，并完成了本技术。
具体来说，本技术提供一种柔性齿轮的制造方法，包括：准备柔性齿轮形状的母型；以及使用所述母型通过电铸法形成预定厚度的柔性齿轮形状，以及将所述柔性齿轮形状从所述母型脱离。
在根据本技术的柔性齿轮的制造方法中，准备所述母型可以包括通过机械加工来制作所述母型，或者可以包括通过对模型的复制来制作母型。
在根据本技术的柔性齿轮的制造方法中，所述复制可以使用注射成型法，或者可以使用电铸法。
在根据本技术的柔性齿轮的制造方法中，所述母型可以包括与所述柔性齿轮的齿对应的凹部，以及可以通过用镀覆液填充所述凹部来形成所述柔性齿轮的所述齿。
在根据本技术的柔性齿轮的制造方法中，沿着每个凹部的凹陷方向切割所述凹部的截面形状可以为大致三角形状。
在根据本技术的柔性齿轮的制造方法中，可以对所述母型进行导电处理，或者可以对所述母型进行遮蔽处理。
在根据本技术的柔性齿轮的制造方法中，所述母型可以由金属材料制成，以及可以在所述母型的形成所述柔性齿轮形状的表面上形成脱离层。
在根据本技术的柔性齿轮的制造方法中，所述母型可以由非金属材料制成，并且可以在所述母型的形成所述柔性齿轮形状的表面上形成导电层。
此外，本技术提供一种柔性齿轮单元的制造方法，包括：根据本技术的柔性齿轮的制造方法；以及将轴和/或毂接合到所述柔性齿轮。
在根据本技术的柔性齿轮单元的制造方法中，所述接合可以使用***注射成型法。
此外，本技术提供一种齿轮，包括齿轮部、主体部以及隔膜部，所述齿轮由适合于电铸法的材料制成，并且具有柔性。
在根据本技术的齿轮中，所述隔膜部可以具有不平坦形状。
发明的效果
根据本技术，可以实现生产率的进一步提高和制作成本的进一步降低。注意，这里描述的效果不一定是限制性的，并且可以包括在本公开中描述的任何效果。
附图说明
图1是示出根据应用了本技术的第一实施例的柔性齿轮的制造方法的示例的截面图。
图2是示出一般金属材料和电铸材料的机械特性数据的示例的表。
图3是示出母型(matrix)和柔性齿轮的构成示例的透视图。
图4是用于说明通过电铸形成柔性齿轮的齿轮部(齿部分)的图。
图5是示出根据应用了本技术的第二实施例的柔性齿轮的制造方法的示例的截面图。
图6是示出根据应用了本技术的第三实施例的柔性齿轮的制造方法的示例的截面图。
图7是示出根据应用了本技术的第四实施例的柔性齿轮的制造方法的示例的截面图。
图8是示出根据应用了本技术的第五实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例的截面图。
图9是示出根据应用了本技术的第五实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例的截面图。
图10是示出根据应用了本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例的一部分的截面图。
图11是示出根据应用了本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例的一部分的截面图。
图12是示出根据应用了本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例的一部分的截面图。
图13是示出根据应用了本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例的一部分的截面图。
图14是示出根据应用了本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例的一部分的截面图。
图15是示出根据应用了本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例的一部分的截面图。
具体实施方式
以下，参照附图说明用于实施本技术的优选实施例。以下说明的实施例示出了本技术的代表性实施例的示例。这些不限缩本技术的范围的解释。注意，在附图中，对相同或等同的要素或构件赋予相同的标号，而不进行重复的说明。
注意，描述按以下顺序进行。
1.本技术的概要
2.第一实施例(柔性齿轮的制造方法的示例1)
3.第二实施例(柔性齿轮的制造方法的示例2)
4.第三实施例(柔性齿轮的制造方法的示例3)
5.第四实施例(柔性齿轮的制造方法的示例4)
6.第五实施例(柔性齿轮单元的制造方法的示例1)
7.第六实施例(柔性齿轮单元的制造方法的示例2)
8.第七实施例(齿轮的示例)
9.第八实施例(柔性齿轮制造装置的示例)
＜1.本技术的概要＞
首先，说明本技术的概要。
本技术涉及谐波驱动齿轮装置(gearing)的柔性齿轮(柔轮)的制造方法和齿轮。在谐波驱动齿轮的柔性齿轮(柔轮)的制造中，例如，通过模塑成型(molding)或机械加工个别地制作隔膜部(diaphragm part)、主体部以及齿轮部，并通过电子束焊接等接合起来，以制作柔性齿轮。在该制造方法中，需要在单独的柔性齿轮形状的制作中精密地进行材料切割、模塑成型及接合的步骤。因此，为了获得单个柔性齿轮，需要许多步骤、时间以及劳力，所以可能成本很大。
另外，在通过切割从一块钢材切割薄壁柔性齿轮的情况下，单独的一块钢材的大部分成为切屑，所以导致材料利用率很低。还要花费机械加工时间和刀片成本，并且可能成本很高。考虑到这一点，存在使用管状金属的塑性形成和树脂填充接合的制造方法。然而，所制造的柔性齿轮可能是不合适的，因为它在强度上可能比包含钢的一体型柔性齿轮差，考虑到反复变形，不同类型的材料之间的接合部反复受到应力变化，所以与包含具有同一机械特性的材料的相比，将出现诸如分离之类的缺陷的可能性高，并且寿命可能短。
另外，在谐波驱动齿轮装置的制造中，钢的机械加工很昂贵。可以通过使用聚合物材料的模塑成型来制造它，但是存在缺点，如不能期望像钢那样高的强度和耐久性的可能性高。
本技术是鉴于以上情况完成的。根据本技术，仅通过一个制作步骤(如母型的机械加工)就通过电铸法来制作柔性齿轮，这些柔性齿轮原本需要单独地被切割和焊接，允许多次制作。因此，可以降低制造成本。此外，可以重复同一形状的非常精细且忠实的复制，所以允许保持高质量。另外，如后述的图4所示，齿轮部起到用厚度填充槽的作用，因此在机械特性和结构强度两者上能够发挥与钢的性能可比较的性能。另外，根据本技术，通过模型的复制来制作母型，可以低成本地准备很大数量的母型。因此，可以同时电铸多件，并且可以使电铸时间缩短与件数对应的量。因此，可以预期产品数量的进一步增大和制造成本的进一步降低。另外，对模型的忠实复制允许保持形状质量。而且，根据本技术，如果通过电铸MMS方法制作母型，那么不使用注射成型机，仅通过电铸装置就能够从模型制造多个母型，进而从所述多个母型中的每一个制造多个柔性齿轮。因此，可以降低装备成本，以降低制造成本。另外，也可以以每个柔性齿轮为模型制作多个母型，并从每个母型制造柔性齿轮。结果，能够进一步提高生产率，以降低制造成本。通过将轴或毂(hub)接合到以该方式制造的柔性齿轮，能够容易地获得输出。通过使用***式注射成型，能够制造用于谐波驱动减速器的高精度、高强度的柔性齿轮。这些效果允许提高谐波驱动减速器的生产率，降低制造成本，并稳定地获得高质量。
<2.第一实施例(柔性齿轮的制造方法的示例1)>
根据本技术的第一实施例(柔性齿轮的制造方法的示例1)的柔性齿轮的制造方法是包括准备具有柔性齿轮形状的母型，以及通过使用母型的电铸方法形成预定厚度的柔性齿轮形状，并将柔性齿轮形状从母型脱离的制造方法。另外，根据本技术的第一实施例(柔性齿轮的制造方法的示例1)的柔性齿轮的制造方法可以是包括准备具有柔性齿轮形状的母型，以及通过使用母型的电铸方法从适合于电铸方法的材料的镀覆液形成预定厚度的柔性齿轮形状，并将柔性齿轮形状从母型脱离的制造方法。
根据本技术的第一实施例的柔性齿轮的制造方法可以实现生产率的进一步提高和制作成本的进一步降低。
以下，参照图1～图4，对根据本技术的第一实施例的柔性齿轮的制造方法进行详细说明。图1是示出根据本技术的第一实施例的柔性齿轮的制造方法的示例的截面图。图2是示出电铸材料的示例的机械特性的数据的表。图3是示出母型和柔性齿轮的构成示例的透视图。图4是用于说明通过电铸的柔性齿轮的齿轮部(齿部分)的形成的图。
首先，参考图1，说明根据本技术的第一实施例的柔性齿轮的制造方法。
图1(a)是示出例如通过机械加工制作的柔性齿轮形状的母型200的截面图。如图1(a)所示，母型200一体地包括齿轮部201、主体部202和隔膜部203。对母型200的母型材料进行导电处理、遮蔽处理，如果必要，还进行脱离处理。然后，在其上形成沉积的部分可以被形成为导电表面，在其上不形成沉积的部分可以被形成为非导电表面。
图1(b)是示出通过使用母型200的电铸沉积适合于电铸的材料，在母型200的内侧形成的预定厚度的柔性齿轮形状300的截面图。如图1(b)所示，柔性齿轮形状300的齿轮部形状301是通过从母型200的齿轮部201的沉积而形成的，柔性齿轮形状300的主体部形状302是通过从母型200的主体部202的沉积而形成的，以及柔性齿轮形状300的隔膜部形状303是通过从母型200的隔膜部203的沉积而形成的。
图1(c)是示出通过从母型200脱离柔性齿轮形状300而形成的柔性齿轮100的截面图。如图1(c)所示，柔性齿轮100一体地包括齿轮部101、主体部102和隔膜部103。齿轮部101具有齿轮部形状301，主体部102具有主体部形状302，以及隔膜部103具有隔膜部形状303。
作为电铸用镀覆金属，通常使用铜和镍。为了制作装饰品，使用金和银。然而，随着镀覆技术的最近进展，开始使用包括性能很好的Ni-Co合金在内的各种复合分散镀覆等。在电铸中，最重要的是使用具有最小可能的内部应力的镀覆。一般来说，在镀覆层中存在较大的内部应力。如果使用它进行电铸，那么产品扭曲以及变形，导致精度的显著降低。因此，可以选择防止产生内部应力的镀覆浴组成和镀覆条件。因此，在镍镀覆中，广泛使用氨基磺酸浴(sulfamate bath)和糖精等作为内部应力减少部分。
用于母型200的材料包括诸如铁、不锈钢、铜及铜合金、铝及铝合金、锌以及铅之类的金属，和诸如环氧树脂、油和脂、各种塑料、石膏、玻璃、橡胶、陶瓷以及皮革之类的非金属。这些材料根据目的来使用。在金属的情况下，为了便于镀覆后的脱离，可以在表面上形成脱离层。在非金属的情况下，为了赋予导电性，可以设置导电层(导电涂层)。对于脱离层，使用金属的氧化膜或化合物膜。为了赋予导电性，使用银镜反应法、无电镀法、石墨或金属粉末的涂敷法等。当母型200包含非金属材料时，可以同时设置导电层和脱离层。在这种情况下，导电层和脱离层可以按期望的顺序层叠。也就是说，该顺序可以是从母型200的表面起的导电层和脱离层，或者该顺序可以是从母型200的表面起的脱离层和导电层。
沉积的柔性齿轮形状300的材料可以是可电镀材料，或多层材料，以获得与钢可比较的强度、表面硬度以及耐磨性。
图2示出了典型金属材料和电铸材料的示例。具体而言，示出了与作为典型金属材料的铝合金、工具钢以及结构碳钢和作为电铸材料的镍和镍钴有关的机械特性(硬度(HV)、拉伸强度(Mpa)、伸长率(％)、杨氏模量(Gpa)、线性热膨胀系数(x10-6/k)、传热系数(W/(m·k)以及比重)的数据。示出了电铸材料具有与典型金属材料可比较的机械特性。
图3示出了母型200(图3(a))和通过电铸制作的柔性齿轮100(柔性外齿轮)(图3(b))的示例。如图3(b)所示，柔性外齿轮100包括隔膜部103、主体部102以及作为外齿的齿轮部101，它们是一体地以该顺序连续形成的。齿轮部101包括环状构件。主体部102包括圆筒构件。组成齿轮部101的环状构件的内径和组成主体部102的圆筒构件的内径大致相同。隔膜部103包括圆盘构件。注意，图3(b)图示了刚性齿轮具有内齿且柔性齿轮具有外齿的情况。然而，尽管未示出，但是刚性齿轮具有外齿且柔性齿轮具有内齿的构成也是可行的。可取的是，对隔膜部103设置以诸如孔或凹陷之类的不平坦性，以在将输出轴或输出法兰接合到它时能够保持转矩，因为它们使得能够传递大于或等于接合强度的转矩。在图3(b)中，示出了中央孔104维持隔膜部103和输出轴或输出法兰之间的同轴配合，并且四个周围的孔105-1～105-4(可以使用不平坦形状)传递旋转转矩的结构。作为转矩传递的形状，存在诸如通常使用的多边形、星形和齿轮形状之类的各种方式。图3(b)所示的四个周围孔105-1至105-4的示例不意图限制形状。
如图3(a)和(b)所示，柔性齿轮100的齿轮部101是通过从母型200的齿轮部201沉积适合于电铸的材料而形成的。柔性外齿轮100的主体部102是通过从母型200的主体部202沉积适合于电铸的材料而形成的。柔性外齿轮100的隔膜部103是通过从母型200的主体部203沉积适合于电铸的材料而形成的。中央孔104以及周围四个孔105-1～105-4例如是通过遮蔽母型200的中央孔204以及周围四个孔205-1～205-4而形成的。当将与中央孔104以及周围四个孔105-1～105-4对应的部分形成为凹形状时，例如，可以将母型200的母型200的中央孔204以及周围四个孔205-1～205-4形成为凸形状。
图4是图3中的齿轮部101的一部分的部分截面图，示出了如何通过电铸形成柔性齿轮100的齿轮部101(对应于齿轮部101的齿)。图4(a)示出了母型200的齿轮部201的三个齿201-1～201-3。图4(b)到图4(g)示出了当从柔性齿轮100的齿轮部101b进展到齿轮部101g时，齿201-2的凹部(沿着凹陷方向截取的截面形状为大致三角形)通过以均匀膜厚度进行沉积而逐渐被填充，并且随着槽106b到106f的进展，槽的大小变小，并且在图4(g)中槽消失，从而形成齿轮部101。另外，如图4(b)到图4(g)所示，随着从与齿轮101的齿之间的凹谷对应的槽部107b向槽部107g进展，通过以均匀膜厚度进行沉积而逐渐增大槽部107的膜厚度，形成与主体部102连续的齿轮101的内径部分，其内径与主体部102大致相同。
即，已经发现通过电铸形成的柔性齿轮100相对于母型200起到形成均匀膜厚度的作用，所以，如图4(b)～图4(f)所示，随着锐角的大致三角形的槽106b～106f被填充厚度的增大，以均匀厚度形成的齿201-2的锐角部分变小，最后，如图4(g)所示，槽被填充。由于齿201-2(也对应于101b～101g)的高度和主体102b～102g的厚度之间的关系，槽106(106b～106f)实际上可能不被填充。在该情况下，可以形成比想要的更厚的沉积以填充槽，或者可以沉积例如预定厚度的镍，然后可以进一步用诸如铜之类的容易切割的可电铸材料进一步将槽填充得厚，最后可以通过诸如机械加工(诸如切割、研磨或抛光)或者化学或电化学处理或者其复合处理(诸如电解抛光或电解研磨(grinding))之类的方法使其具有预定厚度。
谐波驱动减速器常常是以获得大的减速比为目的而设计的，所以往往齿数多且齿高小。因此，可能常常出现在达到所需的主体厚度的时间点，如上所述齿根处的槽106(106b～106f)被填充的情况。或者，如果槽的尺寸小，那么它们可能不显著影响转矩传递性能和寿命。在这种情况下，以不变的预定厚度原样使用它们能够避免额外的成本，而不会增加处理和处理时间。
＜3.第二实施例(制造柔性齿轮的方法的示例2)＞
根据本技术的第二实施例的制造柔性齿轮的方法(制造柔性齿轮的方法的示例2)是包括如下步骤的制造方法：准备柔性齿轮形状的母型；以及通过使用母型的电铸方法形成预定厚度的柔性齿轮形状，并将柔性齿轮形状从母型脱离，其中柔性齿轮形状的母型的准备是对模型的复制，该复制使用注射成型法。另外，根据本技术的第二实施例的柔性齿轮的制造方法(柔性齿轮的制造方法的示例2)可以是包括准备具有柔性齿轮形状的母型，以及通过使用母型的电铸方法从适合于电铸方法的材料的镀覆液形成预定厚度的柔性齿轮形状，并将柔性齿轮形状从母型脱离的制造方法，其中柔性齿轮形状的母型的准备是对模型的复制，该复制使用注射成型法。
根据本技术的第二实施例的柔性齿轮的制造方法(其中通过使用注射成型法复制模型来制作母型)允许容易地准备母型，通过对母型进行电铸、将适合于电铸的材料沉积成预定厚度的柔性齿轮形状、并将它从母型脱离，来形成柔性齿轮。通过对同时排列的多个制作的母型进行一次电铸，能够同时制作作为电铸产品的多个柔性齿轮。这意味着，与一次对一件进行电铸的情况相比，电铸处理的时间缩短了与数量对应的量，从而可以增加制作量。例如，从光盘原盘(master)电铸厚度为300μm的压模(stamper)所需的时间大约为1小时。因此，通过沉积形成厚度为100μm的柔性齿轮所需的时间被认为约20分钟。通过从模型制作20个母型，并同时通过沉积形成20个柔性齿轮，一分钟可以制作一件，与常规方法相比显著地提高了生产率。
以下，参照图5，详细说明根据本技术的第二实施例的柔性齿轮的制造方法。图5是示出根据应用了本技术的第二实施例的柔性齿轮的制造方法的示例的截面图。
图5(a)是示出例如通过机械加工制作的模型(模具)400的截面图。如图5(a)所示，模型400形成有用于通过注射成型注射树脂等的空腔404。空腔404包括对应于齿轮的部分401、对应于主体的部分402以及对应于隔膜的部分403。
图5(b)是示出使用模型400通过注射成型形成的柔性齿轮形状的母型500的截面图。如图5(b)所示，柔性齿轮形状的母型500的齿轮部形状501是从模型400的与齿轮对应的部分401通过注射成型而形成的，柔性齿轮形状的母型500的主体部形状502是从模型400的与主体对应的部分402通过注射成型而形成的，以及柔性齿轮形状的母型500的隔膜部形状503是从模型400的与隔膜对应的部分403通过注射成型而形成的。
从模型400的柔性齿轮形状的母型500的形成可以是使用能够注射成型的材料(如树脂、金属、金属玻璃、陶瓷或导电陶瓷)的注射成型。注射成型的特征是能够在短时间内忠实且精确地拷贝作为模型400的模具的形状，并广泛用于一般的工业产品。其特点是质量可靠性和生产率非常高。一旦被设定了，它便利自动制作，因此可以以较低的成本实现。对于注射成型，广泛且普遍地使用热塑性树脂。或者，可以使陶瓷或金属微粉末化并使用粘合剂(树脂、蜡等)将其捏合成成形性好的颗粒，通过与用于树脂成型的注射成型机相似的注射成型机来注射成型，脱脂(经过加热处理或使用有机溶剂、水等的溶剂处理))以去除粘合剂，以及在烧结炉中烧结，从而形成母型。如果母型500是金属母型，那么它是导体，从而仅需要遮蔽处理。如果它是陶瓷的，那么由于它通常为非导体，所以可能需要导电处理和遮蔽处理。与树脂相比，金属和陶瓷的表面硬度、机械强度以及耐热性优异，所以允许更反复地使用母型。因此，在制作数量大的情况下，金属或陶瓷的母型结果可以更加降低母型制作成本。另外，低熔点金属玻璃材料可以在不使用粘合剂的情况下注射成型，因此可以期待具有与树脂类似的成型精度，并且可以延长母型寿命。
图5(c)是示出通过将柔性齿轮形状的母型500从模型400脱离而形成的母型200的截面图。如图5(c)所示，母型200包括一体的齿轮部201、主体部202和隔膜部203。
图5(d)是示出通过使用母型200的电铸，通过沉积适合于电铸的材料在母型200的内侧形成的预定厚度的柔性齿轮形状300的截面图。如图5(d)所示，柔性齿轮形状300的齿轮部形状301是通过从母型200的齿轮部201的沉积而形成的，柔性齿轮形状300的主体部形状302是通过从母型200的主体部202的沉积而形成的，以及柔性齿轮形状300的隔膜部形状303是通过从母型200的隔膜部203的沉积而形成的。
图5(e)是示出通过将柔性齿轮形状300从母型200脱离而形成的柔性齿轮100的截面图。如图5(e)所示，柔性齿轮100包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。齿轮部101具有齿轮部形状301，主体部102具有主体部形状302，以及隔膜部103具有隔膜部形状303。
<4.第三实施例(柔性齿轮的制造方法的示例3)>
根据本技术的第三实施例(柔性齿轮的制造方法的示例3)的柔性齿轮的制造方法是包括如下步骤的制造方法：准备具有柔性齿轮形状的母型，以及通过使用母型的电铸方法形成预定厚度的柔性齿轮形状，并将柔性齿轮形状从母型脱离，其中具有柔性齿轮形状的母型的准备是对模型的复制，并且该复制使用电铸法。另外，根据本技术的第三实施例的柔性齿轮的制造方法(柔性齿轮的制造方法的示例3)可以是包括以下步骤的制造方法：准备具有柔性齿轮形状的母型，以及通过使用母型的电铸方法从适合于电铸方法的材料的镀覆液形成预定厚度的柔性齿轮形状，并将柔性齿轮形状从母型脱离，其中具有柔性齿轮形状的母型的准备是对模型的复制，该复制使用电铸法。
根据本技术第三实施例的柔性齿轮的制造方法(其中通过使用电铸法的模型复制来制作母型)允许容易地准备母型，以及通过对母型进行电铸，将适合于电铸的材料以预定厚度沉积成柔性齿轮形状，以及将其从母型脱离，来形成柔性齿轮。通过对同时排列的多个制作的母型进行一次电铸，能够同时制作作为电铸产品的多个柔性齿轮。这意味着，与一次对一件进行电铸的情况相比，电铸处理的时间缩短了与数量对应的量，从而可以增加制作量。例如，可以在约20分钟中形成厚度为100μm的柔性齿轮。通过从模型制作20个母型，并同时通过沉积形成20个柔性齿轮，一分钟可以制作一件，与常规方法相比显著地提高了生产率。
根据本技术的第三实施例的柔性齿轮的制造方法是可以应用于音乐唱片和光盘的压模的制作的方法。通过从树脂原盘进行电铸来形成金属原盘。可以从该金属原盘通过电铸来制作多个母压模。可以从每个母压模通过电铸进一步形成多个压模。利用所述压模，可以通过注射成型制作大量音乐唱片或光盘。在从一个树脂原盘移除一个金属原盘的脱离处理等中，脆弱的树脂原盘的细微图案容易劣化。然而，金属原盘的硬度和强度都很好，因此允许制作多个母压模。每个母压模允许制作多个压模。因此，一个树脂原盘上刻有的音乐或数据可以通过多个注射成型机同时作为唱片和光盘大量复制。
以下，参照图6，详细说明根据本技术的第三实施例的柔性齿轮的制造方法。图6是示出根据本技术的第三实施例的柔性齿轮的制造方法的示例的截面图。
图6(a)是示出例如通过机械加工制作的模型(模具)600的截面图。如图6(a)所示，模型600包括对应于齿轮的部分601、对应于主体的部分602以及对应于隔膜的部分603。
图6(b)是示出通过使用模型600进行电铸，通过沉积适合于电铸的材料在模型600的外侧形成的具有预定厚度的柔性齿轮形状的母型700的截面图。如图6(b)所示，柔性齿轮形状的母型700的齿轮部形状701是从模型600的与齿轮对应的部分601通过沉积而形成的，柔性齿轮形状的母型700的主体部形状702是从模型600的与主体对应的部分602通过沉积而形成的，以及柔性齿轮形状的母型700的隔膜部形状703是从模型600的与隔膜对应的部分603通过沉积而形成的。
为了通过电铸形成母型700，对模型600进行导电处理和遮蔽处理，使得通过电铸形成母型700。
图6(c)是示出通过将具有柔性齿轮形状的母型700从模型600脱离而形成的母型800的截面图。如图6(c)所示，母型800包括一体的齿轮部801、主体部802和隔膜部803。注意，除了在该第三实施例的部分中叙述的以外，可以将对母型200进行的描述在不变更的情况下应用于母型800。
图6(d)是示出通过对母型800进行遮蔽处理等，以及通过使用母型800的电铸沉积适合于电铸的材料，在母型800(电铸母型)的内侧形成的预定厚度的柔性齿轮形状300的截面图。如图6(d)所示，柔性齿轮形状300的齿轮部形状301是通过从母型800的齿轮部801的沉积而形成的，柔性齿轮形状300的主体部形状302是通过从母型800的主体部802的沉积而形成的，以及柔性齿轮形状300的隔膜部形状303是通过从母型800的隔膜部803的沉积而形成的。注意，尽管在本实施例中未示出，但是在通过电铸形成柔性齿轮形状300之前，可以在母型800的表面上形成例如约几nm的氧化膜作为脱离层。
图6(e)是示出通过将柔性齿轮形状300从母型800脱离而形成的柔性齿轮100的截面图。如图6(e)所示，柔性齿轮100包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。齿轮部101具有齿轮部形状301，主体部102具有主体部形状302，以及隔膜部103具有隔膜部形状303。
<5.第四实施例(柔性齿轮的制造方法的示例4)>
根据本技术的第四实施例(柔性齿轮的制造方法的示例4)的柔性齿轮的制造方法是包括如下步骤的制造方法：准备具有柔性齿轮形状的母型，以及通过使用母型的电铸方法形成预定厚度的柔性齿轮形状，并将柔性齿轮形状从母型脱离，其中具有柔性齿轮形状的母型的准备是对模型和作为模型的柔性齿轮的复制，并且该复制使用电铸法。另外，根据本技术的第四实施例的柔性齿轮的制造方法(柔性齿轮的制造方法的示例4)可以是包括以下步骤的制造方法：准备具有柔性齿轮形状的母型，以及通过使用母型的电铸方法从适合于电铸方法的材料的镀覆液形成预定厚度的柔性齿轮形状，并将柔性齿轮形状从母型脱离，其中具有柔性齿轮形状的母型的准备是对模型和作为模型的柔性齿轮的复制，该复制使用电铸法。
根据本技术第四实施例的柔性齿轮的制造方法(其中通过使用电铸法的模型和作为模型的柔性齿轮的复制来制作母型)允许容易地准备母型，以及通过对母型进行电铸，将适合于电铸的材料以预定厚度沉积成柔性齿轮形状，以及将其从母型脱离，来形成柔性齿轮。通过对同时排列的多个制作的母型进行一次电铸，能够同时制作作为电铸产品的多个柔性齿轮。这意味着，与一次对一件进行电铸的情况相比，电铸处理的时间缩短了与数量对应的量，从而可以增加制作量。例如，可以在约20分钟中形成厚度为100μm的柔性齿轮。通过从模型制作20个母型，并同时通过沉积形成20个柔性齿轮，一分钟可以制作一件，与常规方法相比显著地提高了生产率。
另外，根据本技术的第四实施例的柔性齿轮的制造方法，从模型制作多个母型，以及能够从每个母型制作多个柔性齿轮，并且，以每个柔性齿轮为模型制作母型，并且能够从每个母型进一步制作多个柔性齿轮。因此，可以在不损坏通过机械加工精密完成的齿轮形状等的情况下制作具有相同形状的大量柔性齿轮。
在下文中，将参考图7，详细描述根据本技术的第四实施例的柔性齿轮的制造方法。图7是示出根据本技术的第四实施例的柔性齿轮的制造方法的示例的截面图。
图7(a)是示出例如通过机械加工制作的模型(模具)600的截面图。如图7(a)所示，模型600包括对应于齿轮的部分601、对应于主体的部分602以及对应于隔膜的部分603。
图7(b)是示出通过使用模型600进行电铸，通过沉积适合于电铸的材料在模型600的外侧形成的具有预定厚度的柔性齿轮形状的母型700的截面图。如图7(b)所示，柔性齿轮形状的母型700的齿轮部形状701是从模型600的与齿轮对应的部分601通过沉积而形成的，柔性齿轮形状的母型700的主体部形状702是从模型600的与主体对应的部分602通过沉积而形成的，以及柔性齿轮形状的母型700的隔膜部形状703是从模型600的与隔膜对应的部分603通过沉积而形成的。
为了通过电铸形成母型700，对模型600进行导电处理和遮蔽处理，使得通过电铸形成母型700。
图7(c)是示出通过将具有柔性齿轮形状的母型700从模型600脱离而形成的母型800的截面图。如图7(c)所示，母型800包括一体的齿轮部801、主体部802和隔膜部803。
图7(d)是示出通过对母型800进行遮蔽处理等，以及通过使用母型800的电铸沉积适合于电铸的材料，在母型800(电铸母型)的内侧形成的预定厚度的柔性齿轮形状900的截面图。如图7(d)所示，柔性齿轮形状900的齿轮部形状901是通过从母型800的齿轮部801的沉积而形成的，柔性齿轮形状900的主体部形状902是通过从母型800的主体部802的沉积而形成的，以及柔性齿轮形状900的隔膜部形状903是通过从母型800的隔膜部803的沉积而形成的。注意，尽管未示出，但是在通过电铸形成柔性齿轮形状900之前，可以在母型800的表面上形成例如约几nm的氧化膜作为脱离层。
图7(e)是示出通过将柔性齿轮形状900从母型800脱离而形成的柔性齿轮100的截面图。如图7(e)所示，柔性齿轮100包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。齿轮部101具有齿轮部形状901，主体部102具有主体部形状902，以及隔膜部103具有隔膜部形状903。
图7(f)是示出作为模型准备的柔性齿轮100的截面图。
图7(g)是示出通过使用作为模型的柔性齿轮100进行电铸，通过沉积适合于电铸的材料在柔性齿轮100的外侧形成的具有预定厚度的柔性齿轮形状的母型1000的截面图。如图7(g)所示，柔性齿轮形状的母型1000的齿轮部形状1001是从柔性齿轮100的齿轮部101通过沉积而形成的，柔性齿轮形状的母型1000的主体部形状1002是从柔性齿轮100的主体部102通过沉积而形成的，以及柔性齿轮形状的母型1000的隔膜部形状1003是从柔性齿轮100的隔膜部103通过沉积而形成的。
为了通过电铸形成母型1000，对柔性齿轮100进行导电处理和遮蔽处理，使得通过电铸形成母型1100。
图7(h)是示出通过将具有柔性齿轮形状的母型1000从作为模型的柔性齿轮100脱离而形成的母型1100的截面图。如图7(h)所示，母型1100包括一体的齿轮部1101、主体部1102和隔膜部1103。注意，除了在该第四实施例的部分中叙述的以外，可以将对母型200进行的描述在不变更的情况下应用于母型1100。
图7(i)是示出通过对母型1100进行遮蔽处理等，以及通过使用母型1100的电铸沉积适合于电铸的材料，在母型1100(电铸母型)的内侧形成的预定厚度的柔性齿轮形状1200的截面图。如图7(i)所示，柔性齿轮形状1200的齿轮部形状1201是通过从母型1100的齿轮部1101的沉积而形成的，柔性齿轮形状1200的主体部形状1202是通过从母型1100的主体部1102的沉积而形成的，以及柔性齿轮形状1200的隔膜部形状1203是通过从母型1100的隔膜部1103的沉积而形成的。
图7(j)是示出通过将柔性齿轮形状1200从母型1100脱离而形成的柔性齿轮100的截面图。如图7(j)所示，柔性齿轮100包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。齿轮部101具有齿轮部形状1201，主体部102具有主体部形状1202，以及隔膜部103具有隔膜部形状1203。
＜6.第五实施例(柔性齿轮单元的制造方法的示例1)>
根据本技术的第五实施例(柔性齿轮单元的制造方法的示例1)的柔性齿轮单元的制造方法包括：根据本技术的第一～第四实施例中的任一个实施例的柔性齿轮的制造方法，以及将轴和/或毂接合到柔性齿轮。
如上所述，通过电铸沉积制作的柔性齿轮被制作成以均匀厚度形成，因此可能不适合于与用于取出输出转矩或旋转的轴或毂同时形成。因此，轴或毂可能需要分开地组合设置，因此将轴或毂接合到柔性齿轮，以取出输出。对于接合方法，可以从诸如电铸金属和金属或者树脂、陶瓷等的使用粘接剂的粘接、熔接、焊接以及扩散接合之类的不同种类的方法中选择提供大于或等于谐波驱动齿轮的最大容许转矩的接合强度且具有1或更高的安全系数的方法。
在下文中，参照图8和图9，详细描述根据本技术的第五实施例的柔性齿轮单元的制造方法。图8是根据本技术的第五实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例，是示出接合到通过根据本技术的第一～第四实施例中的任意一个实施例的柔性齿轮的制造方法制作的柔性齿轮的轴的截面图。图9是根据本技术的第五实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例，是示出接合到通过根据本技术的第一～第四实施例中的任意一个实施例的柔性齿轮的制造方法制作的柔性齿轮的毂的截面图。
首先，参照图8，说明根据本技术的第五实施例的柔性齿轮单元的制造方法。
图8(a)是示出通过根据本技术的第一～第四实施例中的任一个实施例的柔性齿轮的制造方法制作的柔性齿轮100和轴2000的准备的截面图。如图8(a)所示，柔性齿轮100包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。
图8(b)是示出接合在一起的柔性齿轮100的隔膜部103和轴2000的垂直面(在图8(b)的垂直方向上)的截面图。如图8(b)所示，柔性齿轮100和轴2000面对面地接合，以制作柔性齿轮单元。另外，如在图8(a)中说明的，在图8(b)中，柔性齿轮100也包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。注意，尽管在图中以示意方式呈现，但是在要求高转矩的情况下，可以将轴2000的端部以适当地分支的形状形成，以配合到设置在柔性齿轮100中的凹部105-1～105-4中。
图9(a)是示出通过根据本技术的第一～第四实施例中的任一个实施例的柔性齿轮的制造方法制作的柔性齿轮100和毂3000的准备的截面图。如图9(a)所示，柔性齿轮100包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。
图9(b)是示出接合在一起的柔性齿轮100的隔膜部103和组成毂3000的两个构件中的较小构件的垂直面(在图9(b)的垂直方向上)的截面图。如图9(b)所示，柔性齿轮100和毂3000面对面地接合，以制作柔性齿轮单元。另外，如在图9(a)中说明的，在图9(b)中，柔性齿轮100也包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。
如上所述，图8和图9示出了面对面接合。或者，可以在隔膜部103上形成圆筒部，以将圆筒接合到轴或组成毂的圆筒、面等。或者，可以在隔膜部103上形成棱柱，以将棱柱接合到轴或组成毂的棱柱、圆筒、面等。不排除接合的很多变化。
<7.第六实施例(柔性齿轮单元的制造方法的示例2)>
根据本技术的第六实施例(柔性齿轮单元的制造方法的示例2)的柔性齿轮单元的制造方法包括：根据本技术的第一至第四实施例中的任一个实施例的柔性齿轮的制造方法，以及将轴和/或毂接合到柔性齿轮，其中接合采用***注射成型法。
具体来说，根据本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法是如下制造方法：使用***柔性齿轮的***注射成型，以及使用具有轴或毂形状的模具，利用树脂、金属、金属玻璃、陶瓷等进行注射成型，以将柔性齿轮和轴或柔性齿轮和毂集成。
根据按照本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法，能够将成型的轴或毂的形状组合或结合以不分离，使得能够获取更强的接合强度。此外，通过设置在模具中，能够以高精度容易地保持齿轮部与轴或毂的同心度。另外，也可以使用安装和移除手或机器人通过自动操作来制作，因此可以预期降低制造成本中的人工成本的效果。
以下，参照图10～图12及图13～图15，对根据本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法进行详细说明。图10～图12是根据本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例，是示出使用***注射成型法接合到根据本技术的第一～第四实施例中的任意一个实施例的柔性齿轮的制造方法制作的柔性齿轮的轴的截面图。图13～图15是根据本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法的示例，是示出使用***注射成型法接合到根据本技术的第一～第四实施例中的任意一个实施例的柔性齿轮的制造方法制作的柔性齿轮的毂的截面图。
首先，参照图10～图12，说明根据本技术的第六实施例的柔性齿轮单元的制造方法。
图10是示出通过根据本技术的第一～第四实施例中的任一个实施例的柔性齿轮的制造方法制作的柔性齿轮100、模具核心部100a和模具腔部20a的布置的截面图。用于轴的模具内部20包括模具核心部100a和模具腔部20a。模具核心部100a和模具腔部20a沿着分模线P1和P2接合起来。轴按照用于轴的模具内部20的形状成型。如图10所示，柔性齿轮100包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。另外，形成在隔膜部103中的中心孔104配置在模具内部20中。将填充有树脂等11的注射部10连接到图10中的模具内部20的最右部。
图11是示出树脂等11从注射部10已注射到模具内部20中的截面图。在图11中，模具核心部100a和模具腔部20a沿着分模线P1和P2保持接合在一起，并且未打开，在模具内部20中成型轴2001。另外，如图10中说明的那样，在图11中，柔性齿轮100也包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。
图12是示出模具核心部100a和模具腔部20a已打开，并且已制作了包括柔性齿轮100和轴2002的柔性齿轮单元2102的截面图。如图12所示，从分模线P1和P2(未示出)开始，模具核心部100a沿箭头R1方向打开，模具腔部20a沿箭头R2的方向打开。模具核心部100a和模具腔部20a已从柔性单元2102移除。然后，柔性齿轮100和轴2002接合，以制作柔性齿轮单元2102。注意，如图10和图11中说明的那样，在图12中，柔性齿轮100也包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。
图13是示出通过根据本技术的第一～第四实施例中的任意一个实施例的柔性齿轮的制造方法制作的柔性齿轮100、模具核心部100b、模具腔部40a、模具半圆分开模具部100c以及模具半圆分开模具部100d的布置的截面图。用于毂的模具内部40包括模具核心部100b、模具腔部40a、模具半圆分开模具部100c和模具半圆分开模具部100d。模具核心部100b和模具半圆分开模具部100c沿着分模线Q1接合在一起。模具核心部100b和模具半圆分开模具部100d沿着分模线Q2接合在一起。模具腔部40a和模具半圆分开模具部100c沿着分模线Q3接合在一起。模具腔部40a和模具半圆分开模具部100d沿着分模线Q4接合在一起。毂按照用于毂的模具内部40的形状成型。如图13所示，柔性齿轮100包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。另外，形成在隔膜部103中的中心孔104配置在模具内部40中。将填充有树脂等31的注射部30连接到图13中的模具内部40的最右部。
图14是示出已经将树脂等31从注射部30注射到用于毂的模具内部40中的截面图。在图14中，模具核心部100b和模具半圆分开模具部100c沿着分模线Q1保持接合在一起，并且未打开。模具核心部100b和模具半圆分开模具部100d沿着分模线Q2保持接合在一起，并且未打开。模具腔部40a和模具半圆分开模具部100c沿着分模线Q3保持接合在一起，并且没有打开。模具腔部40a和模具半圆分开模具部100d沿着分模线Q4保持接合在一起，并且没有打开。在模具内部40中成型毂3001。另外，如在图13中说明的那样，在图14中，柔性齿轮100也包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。
图15是示出已打开模具核心部100b、模具腔部40a、模具半圆分开模具部100c和模具半圆分开模具部100d，并且制作了包括柔性齿轮100和毂3002的柔性齿轮单元3102的截面图。如图15所示，从分模线Q1～Q2(未图示)开始，模具核心部100b在箭头S1方向上打开。从分模线Q1及Q3(未图示)开始，模具半圆分开模具部100c在箭头S2方向上打开。从分模线Q3及Q4(未图示)开始，模具腔部40a在箭头S3方向上打开。从分模线Q2及Q4(未图示)开始，模具半圆分开模具部100d沿箭头S4方向打开。模具核心部100b、模具腔部40a、模具半圆分开模具部100c以及模具半圆分开模具部100d已从柔性齿轮单元3102移除。然后，柔性齿轮100和毂3002接合，以制作柔性齿轮单元3102。注意，如图13和图14中说明的那样，在图15中，柔性齿轮100也包括一体的齿轮部101、主体部102和隔膜部103。
<8.第七实施例(齿轮的示例)>
根据本技术的第七实施例(齿轮的示例)的齿轮是包括齿轮部、主体部和隔膜部的齿轮，包含适合于电铸法的材料，并且具有柔性。适合于电铸法的材料的示例包括上述图2所示的电铸材料、金、银、铜、铁、镍和磷的合金等。另外，适合于电铸法的材料可以是层叠材料。示例是包括表层镍、中间层铜以及最下层镍的层叠材料。该层叠材料具有如下效果：中间部分柔软且弹性优异，表层坚硬且耐磨性优异。另外，作为适合于电铸法的材料，例如，也包括通过无电镍镀覆制作的致密且无缺陷的镀层。
根据本技术的第七实施例的齿轮允许进一步提高生产率以及进一步降低制作成本。
根据本技术的第七实施例的齿轮中包括的隔膜部可以具有不平坦形状。这里，不平坦形状是包括不平坦形状和孔形状两者的概念。
<9.第八实施例(柔性齿轮制造装置的示例)>
根据本技术的第八实施例(柔性齿轮制造装置的示例)的柔性齿轮制造装置是如下制造装置：其包括准备柔性齿轮形状的母型的母型准备单元，和柔性齿轮形状形成单元，其通过使用母型的电铸法，从适合于电铸法的材料的镀覆液形成预定厚度的柔性齿轮形状，以及将柔性齿轮形状从母型脱离。
根据本技术的第八实施例的柔性齿轮制造装置允许进一步提高生产率以及进一步降低制作成本。
注意，本技术的实施例不限于上述实施例，在不脱离本技术的范围的情况下可以进行各种变更。
另外，本公开中记载的效果仅仅是示例而不是限制性的，可以包括其他效果。
另外，本技术也可以采用以下构成。
[1]一种柔性齿轮的制造方法，包括：
准备柔性齿轮形状的母型；以及
使用所述母型通过电铸法形成预定厚度的柔性齿轮形状，以及将所述柔性齿轮形状从所述母型脱离。
[2]根据[1]所述的柔性齿轮的制造方法，其中，准备所述母型包括通过机械加工制作所述母型。
[3]根据[1]所述的柔性齿轮的制造方法，其中，准备所述母型包括通过对模型的复制来制作所述母型。
[4]根据[3]所述的柔性齿轮的制造方法，其中，所述复制使用注射成型法。
[5]根据[3]所述的柔性齿轮的制造方法，其中，所述复制使用电铸法。
[6]根据[1]至[5]中的任一个所述的柔性齿轮的制造方法，其中，所述母型包括与所述柔性齿轮的齿对应的凹部，以及通过用镀覆液填充所述凹部来形成所述柔性齿轮的所述齿。
[7]根据[6]所述的柔性齿轮的制造方法，其中，沿着每个凹部的凹陷方向切割所述凹部的截面形状为大致三角形状。
[8]根据[1]至[7]中的任一个所述的柔性齿轮的制造方法，其中，对所述母型进行导电处理。
[9]根据[1]至[8]中的任一个所述的柔性齿轮的制造方法，其中，对所述母型进行遮蔽处理。
[10]根据[1]至[9]中的任一个所述的柔性齿轮的制造方法，其中，所述母型由金属材料制成，以及在所述母型的形成所述柔性齿轮形状的表面上形成脱离层。
[11]根据[1]至[9]中的任一个所述的柔性齿轮的制造方法，其中，所述母型由非金属材料制成，并且在所述母型的形成所述柔性齿轮形状的表面上形成导电层。
[12]一种柔性齿轮单元的制造方法，包括：
根据[1]至[11]中的任一项所述的柔性齿轮的制造方法；以及
将轴和/或毂接合到所述柔性齿轮。
[13]根据[12]所述的柔性齿轮单元的制造方法，其中，所述接合使用***注射成型法。
[14]一种齿轮，包括齿轮部、主体部以及隔膜部，
所述齿轮由适合于电铸法的材料制成，并且具有柔性。
[15]根据[14]所述的齿轮，其中，所述隔膜部具有不平坦形状。
标符列表
100 柔性齿轮
101 齿轮部
102 主体部
103 隔膜部
200，800，1100 母型
400，600 模型
2000，2001，2002 轴
300，3001，3002 毂
2100，2102，3100，3102 柔性齿轮单元
Claims (15)
1.一种柔性齿轮的制造方法，包括：
准备柔性齿轮形状的母型；以及
使用所述母型通过电铸法形成预定厚度的柔性齿轮形状，以及将所述柔性齿轮形状从所述母型脱离。
2.根据权利要求1所述的柔性齿轮的制造方法，其中，准备所述母型包括通过机械加工制作所述母型。
3.根据权利要求1所述的柔性齿轮的制造方法，其中，准备所述母型包括通过对模型的复制来制作所述母型。
4.根据权利要求3所述的柔性齿轮的制造方法，其中，所述复制使用注射成型法。
5.根据权利要求3所述的柔性齿轮的制造方法，其中，所述复制使用电铸法。
6.根据权利要求1所述的柔性齿轮的制造方法，其中，所述母型包括与所述柔性齿轮的齿对应的凹部，以及通过用镀覆液填充所述凹部来形成所述柔性齿轮的所述齿。
7.根据权利要求6所述的柔性齿轮的制造方法，其中，沿着所述凹部的凹陷方向切割的所述凹部的截面形状为大致三角形状。
8.根据权利要求1所述的柔性齿轮的制造方法，其中，对所述母型进行导电处理。
9.根据权利要求1所述的柔性齿轮的制造方法，其中，对所述母型进行遮蔽处理。
10.根据权利要求1所述的柔性齿轮的制造方法，其中，所述母型由金属材料制成，以及在所述母型的形成所述柔性齿轮形状的表面上形成脱离层。
11.根据权利要求1所述的柔性齿轮的制造方法，其中，所述母型由非金属材料制成，并且在所述母型的形成所述柔性齿轮形状的表面上形成导电层。
12.一种柔性齿轮单元的制造方法，包括：
根据权利要求1至11中的任一项所述的柔性齿轮的制造方法；以及
将轴和/或毂接合到所述柔性齿轮。
13.根据权利要求12所述的柔性齿轮单元的制造方法，其中，所述接合使用***注射成型法。
14.一种齿轮，包括齿轮部、主体部以及隔膜部，
所述齿轮由适合于电铸法的材料制成，并且具有柔性。
15.根据权利要求14所述的齿轮，其中，所述隔膜部具有不平坦形状。
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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