CN112028129A - 三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置及工艺 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺：(1)先蒸发浓缩，再冷却结晶(2)用氨水去调结晶母液的pH，分别控制4‑4.5的情况下沉铁，11‑12的情况下沉铬；(3)用汽提脱氨回收氨，汽提过程氨，镍解络，氢氧化镍沉淀回收。本发明还提供一种三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置，包括氧化反应槽、蒸发冷却结晶装置、溶解槽、第一pH调节装置、第二过滤器、第二pH调节装置、第三过滤器、中和反应装置、第三pH调节装置、汽提脱氨装置、第四过滤器、原料储罐、水储罐、浓盐酸储罐、氧化剂储罐、再生蚀刻液储罐、氨水储罐和液碱储罐；本发明即有效的回收了铁盐、镍盐，又利用蒸发冷却结晶与加氨沉淀结合，降低了液碱使用量，降低了工艺的生产成本。

Description

三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置及工艺

技术领域

本发明涉及环保领域技术，具体涉及一种三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置及工艺。

背景技术

钢铁等金属蚀刻在国民生活各领域的应用较为广泛，采用FeCl3蚀刻液进行各种牌号钢、铁、铜等的蚀刻技术成熟，可用于制造印刷用的金属字板、花辊等，对机械加工较为困难的薄片零件进行蚀刻，如金属网版、小孔、光栅等，用于牌匾、仪器设备金属表面图文刻印等。蚀刻过程中FeCl3蚀刻液中的Fe3+逐渐变成Fe2+而失去蚀刻能力，同时总铁含量增加，三氯化铁蚀刻废液产量大，除了富含大量的Fe外，金属材料中夹带Cr、Ni、Cu等重金属也进入废液，排放不达标，而且大量的铁等作为废弃物对资源也造成浪费。

目前国内针对FeCl3蚀刻废液的再生循环利用方法较多，归纳起来可分为沉淀法、化学氧化再生法、萃取法和电解法等。

沉淀法再生(专利CN1540036和CN1566401)主要应用浓缩或焙烧废液得到FeCl3结晶回收，再复溶实现三氯化铁的回收再生，浓缩或焙烧过程能耗高，回收率有限。

化学氧化再生法(中专利CN1309194、CN107162276A、CN101462803、CN106348509A和CN206872949U等)主要采用氯气、H2O2、NaClO3等氧化剂和HCl等辅助试剂再生三氯化铁，存在氧化剂有毒、氧化效果有限或氧化剂本身增加额外杂离子等问题，再生过程中废液增量，再生循环次数有限，增加了废液的排放量，实际生产应用有限。

萃取法(专利CN1470674和CN101497484)主要通过有机溶剂萃取获得铁、镍等的分离，再反萃得到FeCl3回用，存在工艺复杂，成本高，萃取剂需进一步处理等问题，不适于大范围工业应用。

近年来，电化学法(专利CN106958021A、CN107059011A、CN206872948U、CN206033893U、CN104131285A、CN104451688A、CN103710706A)应用于三氯化铁废液再生技术较多，目前多采用隔膜将电解槽阴阳极隔开，电解时阳极区废液中的Fe2+氧化为Fe3+，实现部分废液的再生和循环利用，而阴极区废液由于发生Fe3+还原为Fe2+的氧化逆过程，阴极室的废液必需经过阳极二次氧化处理才能再利用，或者经过后续处理(如沉淀铁粉置换或萃取)后废弃掉，增加了再生成本和固体废弃物的排放，废液总体循环利用率低，很难达到生产应用要求。

因此，需要对现有技术进行改进。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种高效的三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置及工艺。

为解决上述技术问题，本发明提供一种三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺，包括以下步骤：

步骤一、将蚀刻液中的氯化亚铁氧化成三氯化铁；得到氧化后蚀刻液；

步骤二、对步骤一所得的氧化后蚀刻液进行蒸发浓缩，将大部分三氯化铁蒸发浓缩，再冷却结晶成六水氯化铁晶体；得到结晶母液；

步骤三、在步骤二所得的结晶母液中加入氨水或液氨，控制pH在3-5之间，沉淀溶液中大部分三价铁转化成氢氧化铁沉淀；得到步骤三所得的过滤液；

步骤四、在步骤三所得的过滤液中继续加氨水或液氨，控制pH在9-12之间，沉淀溶液中剩余的铁离子和铬离子，形成氢氧化铁和氢氧化铬的混合物，溶液中的镍与氨形成络合，溶解在溶液中；得到步骤四所得的过滤液；

步骤五、在步骤四所得的过滤液中加液碱或氢氧化钙，控制pH在12-13之间，然后汽提脱氨回收得到氨水或液氨，镍离子与氨解络，形成氢氧化镍沉淀回收。

作为对本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺的改进：

在步骤一中：

原料储罐中的三氯化铁废蚀刻液在氧化反应槽中加入氧化剂溶液以及浓盐酸进行反应，三氯化铁废蚀刻液中的氯化亚铁氧化为三氯化铁，得到氧化后蚀刻液。

作为对本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺的进一步改进：

在步骤二中：

氧化后蚀刻液常压或减压蒸发浓缩，再冷却结晶，得到六水氯化铁结晶物和结晶母液；

六水氯化铁结晶物可直接外售，或在溶解槽中与水溶解，形成三氯化铁溶解液暂存在再生蚀刻液储罐中，作为再生蚀刻液或符合国标的净水剂外售。

作为对本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺的进一步改进：

在步骤三中：

结晶母液在第一pH调节装置中加入质量浓度20％的氨水或液氨调节pH到4-4.5，大部分的三价铁转为氢氧化铁沉淀，接着在第二过滤器中过滤，得到第二滤饼和第二过滤液；第二过滤液作为步骤三所得的过滤液；

第二滤饼可直接外售处理，或在中和反应装置中加入盐酸和水，反应得到三氯化铁溶液；三氯化铁溶液暂存在再生蚀刻液储罐中外售。

作为对本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺的进一步改进：

在步骤四中：

第二过滤液在第二pH调节装置中继续加入质量浓度20％的氨水或液氨，控制pH在11，溶液中氨含量约3-10％，剩余的铁与铬盐分别形成氢氧化铁和氢氧化铬沉淀析出，全部镍与氨反应为镍氨络合物；再在第三过滤器中过滤，得到第三滤饼和第三过滤液；第三过滤液作为步骤四所得的过滤液。

作为对本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺的进一步改进：

在步骤五中：

第三过滤液在第三pH调节装置中加入质量分数30％的氢氧化钠溶液或氢氧化钙溶液调节pH>12，将氯化铵转换为游离氨；接着在汽提脱氨装置中汽提脱氨回收质量浓度为20％的氨水或液氨；得到塔釜液和质量浓度为20％的氨水或液氨；

汽提过程，镍氨络合物解络，形成氢氧化镍和氨，氨被汽提冷凝回收成20％的氨水或液氨，氢氧化镍析出后形成沉淀后过滤，滤饼外售或热解成氧化镍。塔釜液调节pH后排放或蒸发结晶得到氯化钠晶体外售。

作为对本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺的进一步改进：

在步骤一中，氧化剂溶液与三氯化铁蚀刻液的质量比为0.1：2，浓盐酸溶液与蚀刻液的质量比为0.1：5。

作为对本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺的进一步改进：

在步骤二中，蒸发浓缩的温度为90-120度，蒸发质量分数40-80％的水分，冷却结晶的温度为0-40度，结晶母液的pH值为0-1.5。

作为对本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺的进一步改进：

在步骤三中，参与反应的盐酸的质量浓度为10-31％，控制pH在1-3，控制加入的水量，使得氯化铁质量含量>38％。

本发明还提供一种三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置，包括氧化反应槽、蒸发冷却结晶装置、溶解槽、第一pH调节装置、第二过滤器、第二pH调节装置、第三过滤器、中和反应装置、第三pH调节装置、汽提脱氨装置、第四过滤器、原料储罐、水储罐、浓盐酸储罐、氧化剂储罐、再生蚀刻液储罐、氨水储罐和液碱储罐；

所述原料储罐、氧化剂储罐和浓盐酸储罐的出口均与氧化反应槽进口连接；

所述氧化反应槽出口与蒸发冷却结晶装置进口连接；

所述蒸发冷却结晶装置固体出口与溶解槽进口连接；水储罐出口与溶解槽进口连接；

所述溶解槽出口与再生蚀刻液储罐进口连接；

所述蒸发冷却结晶装置液体出口与第一pH调节装置进口连接；

所述第一pH调节装置出口与第二过滤器进口连接；

所述第二过滤器固体出口与中和反应装置进口连接；

所述水储罐和浓盐酸储罐的出口均与中和反应装置进口连接；

所述中和反应装置出口与再生蚀刻液储罐进口连接；

所述第二过滤器液体出口与第二pH调节装置进口连接；

所述第二pH调节装置出口与第三过滤器进口连接；

所述第三过滤器液体出口与第三pH调节装置进口连接；液碱储罐出口与第三pH调节装置进口连接；

所述第三pH调节装置出口与汽提脱氨装置进口连接；

所述汽提脱氨装置塔釜液出口与第四过滤器进口连接；

所述汽提脱氨装置氨水出口与氨水储罐进口连接；

所述氨水储罐出口分别与第一pH调节装置进口和第二pH调节装置进口连接。

作为对本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置的改进：

所述第一pH调节装置、第二pH调节装置和第三pH调节装置用于调节pH值；

所述第二过滤器、第三过滤器和第四过滤器用于过滤溶液；

所述氧化反应槽用于氧化蚀刻液中的氯化亚铁，氧化后为都转化为氯化铁；

所述蒸发冷却结晶装置用于常压或减压蒸发浓缩，再冷却结晶得到六水三氯化铁晶体；

所述溶解槽用于溶解结晶；

所述汽提脱氨装置用于对溶液进行汽提脱氨处理回收20％的氨水；

所述原料储罐储存有三氯化铁废蚀刻液；

所述氧化剂储罐用于储存氧化剂，氧化剂为双氧水或次氯酸溶液；

所述水储罐用于储存水；

所述浓盐酸储罐用于储存盐酸溶液，质量浓度为20-31％；

所述氨水储罐用于储存质量浓度20％的氨水；

所述液碱储罐用于储存质量浓度30％的氢氧化钠溶液；

所述中和反应装置用于氢氧化铁与盐酸中和反应；

所述再生蚀刻液储罐用于存储再生氯化铁溶液。

作为对本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置的进一步改进：

所述氧化剂采用以下三种成分之一：

一、双氧水溶液；

二、次氯酸钠溶液；

三、氧气或臭氧。

作为对本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置的进一步改进：

所述氧化剂储罐中的氧化剂溶液的双氧水浓度为10-40％、次氯酸钠质量浓度为5-20％。氧化剂也可以用浓度为21-99％的氧气或空气，也可用臭氧。

本发明采用三级处理方法：(1)先蒸发浓缩，再冷却结晶，将蚀刻液中40-90％的三氯化铁转换为六水氯化铁晶体，控制浓缩倍率而控制晶体中的氯化铬/氯化镍的含量；(2)用氨水去调结晶母液的pH，分别控制4-4.5的情况下沉铁，11-12的情况下沉铬；由于氨与镍有络合作用，因此沉铬状态下，氨与镍形成络合溶解物(Ni(NH3)₂Cl₂、Ni(NH3)₄Cl₂、Ni(NH3)₆Cl₂)溶解在溶液中；(3)用汽提脱氨回收氨，汽提过程氨，镍解络，氢氧化镍沉淀回收。

本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置及工艺的技术优势为：

1、采用了蒸发冷却结晶与调pH沉淀的方法控制回收铁盐的品质，控制蒸发量从而控制6水三氯化铁中氯化铬和氯化镍的含量，从而保证6水氯化铁的质量，溶液后的氯化铁可做蚀刻液或净水剂；

2、采用20％的氨水或液氨来调节pH，由于氨水的弱碱性，pH易于精确控制，因此氢氧化铬不沉淀从而控制氢氧化铁的质量，氢氧化铁酸化后可作为蚀刻液或净水剂外售；

3、氨与镍形成可溶性络合剂，从而实现了镍与铬、铁的分离，脱氨回收氨后析出氢氧化镍，得到纯度很高的氢氧化镍产品外售，或热解成氧化镍外售。

4、本发明即有效的回收了铁盐、镍盐，又利用蒸发冷却结晶与加氨沉淀结合，降低了液碱使用量，降低了工艺的生产成本。

附图说明

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细说明。

图1是三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明进行进一步描述，但本发明的保护范围并不仅限于此。

实施例1、三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置，如图1所示，包括氧化反应槽3、蒸发冷却结晶装置4、溶解槽5、第一pH调节装置7、第二过滤器10、第二pH调节装置12、第三过滤器13、中和反应装置11、第三pH调节装置15、汽提脱氨装置16、第四过滤器17、原料储罐1、水储罐6、浓盐酸储罐7、氧化剂储罐2、再生蚀刻液储罐18、氨水储罐8和液碱储罐14。

第一pH调节装置9、第二pH调节装置12和第三pH调节装置15用于调节pH值；

第二过滤器10、第三过滤器13和第四过滤器17用于过滤溶液；

氧化反应槽3用于将蚀刻液中的氯化亚铁氧化成三氯化铁；

蒸发冷却结晶装置4用于常压或减压蒸发浓缩，再冷却结晶得到六水三氯化铁晶体；

溶解槽5用于溶解结晶。

汽提脱氨装置16用于对溶液进行汽提脱氨处理回收20％的氨水；

原料储罐1储存有三氯化铁废蚀刻液；

氧化剂储罐2用于储存氧化剂，氧化剂为双氧水或次氯酸溶液；

水储罐6用于储存水；

浓盐酸储罐7用于储存盐酸溶液，质量浓度为20-31％；

氨水储罐8用于储存质量浓度20％的氨水；

液碱储罐14用于储存质量浓度30％的氢氧化钠溶液；

中和反应装置11用于氢氧化铁与盐酸中和反应；

再生蚀刻液储罐18用于存储再生三氯化铁溶液。

本发明三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置的连接关系为：

原料储罐1、氧化剂储罐2和浓盐酸储罐7的出口均与氧化反应槽3进口连接；

氧化反应槽3出口与蒸发冷却结晶装置4进口连接；

蒸发冷却结晶装置4固体出口与溶解槽5进口连接；水储罐6出口与溶解槽5进口连接；

溶解槽5出口与再生蚀刻液储罐18进口连接；

蒸发冷却结晶装置4液体出口与第一pH调节装置9进口连接；

第一pH调节装置9出口与第二过滤器10进口连接；

第二过滤器10固体出口与中和反应装置11进口连接；

水储罐6和浓盐酸储罐7的出口均与中和反应装置11进口连接；

中和反应装置11出口与再生蚀刻液储罐18进口连接；

第二过滤器10液体出口与第二pH调节装置12进口连接；

第二pH调节装置12出口与第三过滤器13进口连接；

第三过滤器13液体出口与第三pH调节装置15进口连接；液碱储罐14出口与第三pH调节装置15进口连接；

第三pH调节装置15出口与汽提脱氨装置16进口连接；

汽提脱氨装置16塔釜液出口与第四过滤器17进口连接；

汽提脱氨装置16氨水出口与氨水储罐8进口连接；

氨水储罐8出口分别与第一pH调节装置9进口和第二pH调节装置12进口连接。

利用三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置进行的三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺，包括以下步骤：

1)、原料储罐1中的三氯化铁废蚀刻液在氧化反应槽3中加入氧化剂溶液以及浓盐酸进行反应，三氯化铁废蚀刻液中的氯化亚铁氧化为氯化铁，得到氧化后蚀刻液；

氧化剂储罐中的氧化剂溶液采用以下三种成分之一：

一、双氧水溶液；

二、次氯酸钠溶液；

三、氧气或臭氧。

双氧水浓度为10-40％、次氯酸钠质量浓度为5-20％。氧化剂也可以用浓度为30-99％的氧气，或用臭氧。

氧化剂溶液与三氯化铁蚀刻液的质量比为0.1：2，浓盐酸溶液与蚀刻液的质量比为0.1：5。

2)、氧化后蚀刻液常压或减压在90-120度下蒸发浓缩，蒸发质量分数40-80％的水分，再冷却结晶(0-40度)，得到六水氯化铁结晶物和结晶母液；

结晶母液的pH值约为0.1-1.5；

3)、六水氯化铁结晶物在溶解槽5中与水溶解，形成氯化铁溶解液加入到再生蚀刻液储罐18中，作为再生蚀刻液或符合国标的净水剂外售；

4)、结晶母液在第一pH调节装置9中加入质量浓度20％的氨水调节pH到4-4.5，大部分的氯化铁转为氢氧化铁沉淀，接着在第二过滤器10中过滤，得到第二滤饼和第二过滤液；

5)、第二滤饼在中和反应装置11中加入盐酸和水，反应得到氯化铁溶液；氯化铁溶液加入到再生蚀刻液储罐18中外售；

加入的盐酸的质量浓度为10-31％，控制pH在1-3，控制加入的水量，使得氯化铁质量含量>38％；

6)、第二过滤液在第二pH调节装置12中继续加入质量浓度20％的氨水，控制pH在11-12之间，溶液中氨含量约3-10％，剩余的铁与铬分别形成氢氧化铁和氢氧化铬析出，全部镍溶解为镍氨络合物；再在第三过滤器13中过滤，得到第三滤饼和第三过滤液；

7)、第三过滤液在第三pH调节装置15中加入质量分数30％的氢氧化钠溶液调节pH到＞12，将氯化铵转换为游离氨；接着在汽提脱氨装置16中汽提脱氨回收质量浓度为20％的氨水；得到塔釜液和质量浓度为20％的氨水；

汽提过程，镍氨络合物解络，形成氢氧化镍和氨，氨被汽提冷凝回收成20％的氨水，氢氧化镍析出后形成沉淀；

8)、塔釜液在第四过滤器17中过滤，得到第四滤饼和第四过滤液；

第四滤饼作为氢氧化镍回收外售，或高温热解后得到氧化镍外售；

第四过滤液调PH到中性后外派或蒸发结晶得到氯化钠晶体。

9)、质量浓度20％的氨水分别加入到第一pH调节装置9和第二pH调节装置12。

最后，还需要注意的是，以上列举的仅是本发明的若干个具体实施例。显然，本发明不限于以上实施例，还可以有许多变形。本领域的普通技术人员能从本发明公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本发明的保护范围。

Claims (10)

1.三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一、对蚀刻液中进行氧化；得到氧化后蚀刻液；

步骤二、对步骤一所得的氧化后蚀刻液进行浓缩后结晶；得到结晶母液；

步骤三、在步骤二所得的结晶母液中加入氨水或液氨，控制pH在3-5之间，然后过滤得到步骤三所得的过滤液；

步骤四、在步骤三所得的过滤液中继续加氨水或液氨，控制pH在9-12之间，然后过滤得到步骤四所得的过滤液；

步骤五、在步骤四所得的过滤液中加液碱或氢氧化钙，控制pH在12-13之间，然后汽提脱氨。

2.根据权利要求1所述的三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺，其特征在于：

在步骤一中：

原料储罐中的三氯化铁废蚀刻液在氧化反应槽中加入氧化剂溶液以及浓盐酸进行反应，三氯化铁废蚀刻液中的氯化亚铁氧化为氯化铁，得到氧化后蚀刻液。

3.根据权利要求2所述的三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺，其特征在于：

在步骤二中：

氧化后蚀刻液常压或减压蒸发浓缩，再冷却结晶，得到六水氯化铁结晶物和结晶母液；

六水氯化铁结晶物直接外售，或在溶解槽中与水溶解，形成氯化铁溶解液加入到再生蚀刻液储罐中，作为再生蚀刻液或符合国标的净水剂外售。

4.根据权利要求3所述的三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺，其特征在于：

在步骤三中：

结晶母液在第一pH调节装置中加入质量浓度20％的氨水或液氨调节pH到4-4.5，大部分的三价铁转为氢氧化铁沉淀，接着在第二过滤器中过滤，得到第二滤饼和第二过滤液；第二过滤液作为步骤三所得的过滤液；

第二滤饼可直接外售处理，或在中和反应装置中加入盐酸和水，反应得到氯化铁溶液；氯化铁溶液加入到再生蚀刻液储罐中外售。

5.根据权利要求4所述的三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺，其特征在于：

在步骤四中：

第二过滤液在第二pH调节装置中继续加入质量浓度20％的氨水或液氨，控制pH在11，溶液中氨含量约3-10％，剩余的铁与铬盐分别形成氢氧化铁和氢氧化铬沉淀析出，全部镍与氨反应为镍氨络合物；再在第三过滤器中过滤，得到第三滤饼和第三过滤液；第三过滤液作为步骤四所得的过滤液。

6.根据权利要求5所述的三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺，其特征在于：

在步骤五中：

第三过滤液在第三pH调节装置中加入质量分数30％的氢氧化钠溶液或氢氧化钙溶液调节pH到12，将氯化铵转换为游离氨；接着在汽提脱氨装置中汽提脱氨回收质量浓度为20％的氨水或液氨；得到塔釜液和质量浓度为20％的氨水或液氨；

汽提过程，镍氨络合物解络，形成氢氧化镍和氨，氨被汽提冷凝回收成20％的氨水或液氨，氢氧化镍析出后形成沉淀后过滤，滤饼外售或热解成氧化镍外售；塔釜液调节pH后达标排放或蒸发结晶得到氯化钠晶体外售。

7.应用于三氯化铁蚀刻液的再资源化处理工艺的三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置，其特征在于：包括氧化反应槽(3)、蒸发冷却结晶装置(4)、溶解槽(5)、第一pH调节装置(7)、第二过滤器(10)、第二pH调节装置(12)、第三过滤器(13)、中和反应装置(11)、第三pH调节装置(15)、汽提脱氨装置(16)、第四过滤器(17)、原料储罐(1)、水储罐(6)、浓盐酸储罐(7)、氧化剂储罐(2)、再生蚀刻液储罐(18)、氨水储罐(8)和液碱储罐(14)；

所述原料储罐(1)、氧化剂储罐(2)和浓盐酸储罐(7)的出口均与氧化反应槽(3)进口连接；

所述氧化反应槽(3)出口与蒸发冷却结晶装置(4)进口连接；

所述蒸发冷却结晶装置(4)固体出口与溶解槽(5)进口连接；水储罐(6)出口与溶解槽(5)进口连接；

所述溶解槽(5)出口与再生蚀刻液储罐(18)进口连接；

所述蒸发冷却结晶装置(4)液体出口与第一pH调节装置(9)进口连接；

所述第一pH调节装置(9)出口与第二过滤器(10)进口连接；

所述第二过滤器(10)固体出口与中和反应装置(11)进口连接；

所述水储罐(6)和浓盐酸储罐(7)的出口均与中和反应装置(11)进口连接；

所述中和反应装置(11)出口与再生蚀刻液储罐(18)进口连接；

所述第二过滤器(10)液体出口与第二pH调节装置(12)进口连接；

所述第二pH调节装置(12)出口与第三过滤器(13)进口连接；

所述第三过滤器(13)液体出口与第三pH调节装置(15)进口连接；液碱储罐(14)出口与第三pH调节装置(15)进口连接；

所述第三pH调节装置(15)出口与汽提脱氨装置(16)进口连接；

所述汽提脱氨装置(16)塔釜液出口与第四过滤器(17)进口连接；

所述汽提脱氨装置(16)氨水出口与氨水储罐(8)进口连接；

所述氨水储罐(8)出口分别与第一pH调节装置(9)进口和第二pH调节装置(12)进口连接。

8.根据权利要求7所述的三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置，其特征在于：

所述第一pH调节装置(9)、第二pH调节装置(12)和第三pH调节装置(15)用于调节pH值；

所述第二过滤器(10)、第三过滤器(13)和第四过滤器(17)用于过滤溶液；

所述氧化反应槽(3)用于氧化蚀刻液中的氯化亚铁，氧化后为都转化为氯化铁；

所述蒸发冷却结晶装置(4)用于常压或减压蒸发浓缩，再冷却结晶得到六水三氯化铁晶体；

所述溶解槽(5)用于溶解结晶；

所述汽提脱氨装置(16)用于对溶液进行汽提脱氨处理回收20％的氨水；

所述原料储罐(1)储存有三氯化铁废蚀刻液；

所述氧化剂储罐(2)用于储存氧化剂，氧化剂为双氧水或次氯酸溶液；

所述水储罐(6)用于储存水；

所述浓盐酸储罐(7)用于储存盐酸溶液，质量浓度为20-31％；

所述氨水储罐(8)用于储存质量浓度20％的氨水；

所述液碱储罐(14)用于储存质量浓度30％的氢氧化钠溶液；

所述中和反应装置(11)用于氢氧化铁与盐酸中和反应；

所述再生蚀刻液储罐(18)用于存储再生氯化铁溶液。

9.根据权利要求8所述的三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置，其特征在于：

所述氧化剂采用以下三种成分之一：

一、双氧水溶液；

二、次氯酸钠溶液；

三、氧气或臭氧。

10.根据权利要求9所述的三氯化铁蚀刻液的再资源化处理装置，其特征在于：

所述氧化剂储罐(2)中的氧化剂溶液的双氧水浓度为10-40％、次氯酸钠质量浓度为5-20％；氧化剂也可以用浓度为30-99％的氧气或空气，也可用臭氧。

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