CN111964705A - 一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置 - Google Patents

Abstract

本发明提出了一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，包括工控机、运动控制***、数据采集***、仪器仪表***、打印机、高低温试验箱、运动机构；所述工控机分别与运动控制***、数据采集***、仪器仪表***、打印机连接；所述高低温试验箱内设置接近传感器组件；所述接近传感器组件分别与数据采集***、仪器仪表***连接；用于检测接近传感器组件的所述运动机构安装在所述高低温试验箱上，且与运动控制***、数据采集***、仪器仪表***连接。本发明具有可靠性高、稳定性好、性价比优、关键技术先进、控制平台开放和操作简洁等优点。

Description

一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置

技术领域

本发明属于传感器检测领域，具体地说，涉及一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置。

背景技术

随着我国的工业技术的发展，电子产品逐步向小型化、轻量化、高性能化发展，这样导致产品功能密集度增高，敏感元器件增多，设计寿命增长，特别是大量新型复合型材料，聚合物材料的使用，微电子线路集成度不断提高，使电子产品对空间环境效应的的影响变得更加敏感，原来没有引起足够重视的空间特殊环境效应测试方法，现影响变得日益突出，成为产品高精度、高稳定性设计的瓶颈。

接近传感器是一种开关型传感器（即无触点开关），以无需接触检测对象进行位置检测。目前这类位置检测传感器在越来越多的领域中得到应用，空间特殊环境影响要求越来越高，并且精度要求也越来越高，要对产品进行环境温度补偿，就必须得准确摸清产品的高低温环境中的性能参数。

高低温试验箱具有模拟大气环境中温度变化规律。主要针对电子产品以及其他材料在高温、低温综合环境下运输、使用时的适应性试验。用于产品的设计，改进，鉴定及检验等环节。而接近传感器工作性能的测试不仅需要高低温环境，还需要精密的运动机构和一套精密的测试***。为了满足位置检测传感器在高低温下的性能情况，需要保持在某个恒定/固定变化率的温度下进行试验，还需要对其与靶标的相对位置进行改变，另外还需要对电子产品的性能数据进行采集、处理、判断生成测试结果数据。

发明内容

本发明为了实现上述复合性的需求，提出了一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，通过设置运动机构，对高低温试验箱中的接近传感器组件检测靶标位置进行改变，同时通过高低温试验箱改变温度，实现对接近传感器的复合性检测，同时由数据采集***进行接近传感器数据的采集分析。

本发明具体实现内容如下：

本发明提出了一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，包括工控机、运动控制***、数据采集***、仪器仪表***、打印机、高低温试验箱、运动机构；

所述工控机分别与运动控制***、数据采集***、仪器仪表***、打印机连接；

所述高低温试验箱内设置接近传感器组件；所述接近传感器组件分别与数据采集***、仪器仪表***连接；

用于检测接近传感器组件的所述运动机构安装在所述高低温试验箱上，且与运动控制***、数据采集***、仪器仪表***连接。

为了更好地实现本发明，进一步地，所述运动机构包括内部平面支撑结构、X1轴运动模组、X1轴闭环五相电机、结构安装面组件、外部支撑结构、信号连接器；

所述内部平面支撑结构为多层固定架体，安装在高低温试验箱内，且底部与高低温试验箱内部固定连接；

所述接近传感器组件包括固定安装在高低温试验箱内位于内部平面支撑结构上端面上的上层被测接近传感器组件；

所述结构安装面组件包括分别安装在高低温试验箱一面壁内外侧的两块面板，所述外部支撑结构为矩形箱体，且矩形箱体的一面与结构安装面组件安装在高低温试验箱外侧的面板固定连接；

所述信号连接器安装在外部支撑结构上，依次与安装在外部支撑结构上端面的X1轴闭环五相电机、X1轴运动模组连接；所述X1轴运动模组的输出端连接X1轴辅助测试件；所述X1轴辅助测试件包括与所述X1轴运动模组连接的X1轴连接杆和用于辅助检测的X1轴辅助靶标组件；所述结构安装面组件的两块面板上设置穿过孔，所述X1轴连接杆通过穿过孔进入高低温试验箱内；所述X1轴辅助靶标组件安装在X1轴连接杆的末端且与上层被测接近传感器组件对应。

为了更好地实现本发明，进一步地，所述上层被测接近传感器组件包括传感器安装座、上层被测接近传感器、蝶型锁紧螺钉；

所述传感器安装座安装在内部平面支撑结构的上端面，所述上层被测接近传感器通过蝶型锁紧螺钉安装在传感器安装座上；

所述X1轴辅助靶标组件包括靶标安装板、靶标安装柱、推拉连杆、蝶型锁紧螺钉；

所述靶标安装板通过推拉连杆与X1轴连接杆固定连接；所述靶标安装柱通过蝶型锁紧螺钉安装在靶标安装板靠向上层被测接近传感器的一侧，且与上层被测接近传感器的位置在Y轴和Z轴位置上对应一致；所述靶标安装板端面上安装有用于让上层被测接近传感器感应的靶标。

为了更好地实现本发明，进一步地，还包括零位挡块；所述零位挡块通过螺纹件可调节高度地安装在传感器安装座上面向靶标安装板的一侧，且满足当零位挡块调节到最高高度时，可挡在靶标与上层被测接近传感器的检测头之间。

为了更好地实现本发明，进一步地，还包括导向对齐装置，所述导向对齐装置包括定位导向轴、导向柱；

所述定位导向轴安装在靶标安装板上与靶标安装柱同侧面上；

所述导向柱安装在传感器安装座上朝向靶标安装板的一面，且导向柱内设置定位导向轴可以***的槽；

当定位导向轴***导向柱固定时，所述靶标安装柱上的靶标与上层被测接近传感器的检测头在Y轴和Z轴位置上刚好对应一致。

为了更好地实现本发明，进一步地，还包括光学安装平台、开放式直线光栅组件；所述光学安装平台安装在所述外部支撑结构的矩形箱体的顶端面，所述X1轴运动模组、X1轴闭环五相电机安装在所述光学安装平台上，所述开放式直线光栅组件安装在光学安装平台上，且通过所述信号连接器与所述数据采集***、仪器仪表***连接。

为了更好地实现本发明，进一步地，所述X1轴运动模组包括联轴器、轴承、滑块、安装板、滚珠丝杆；

所述安装板固定安装在光学安装平台上，所述轴承安装在安装板上，且一端连接滚珠丝杆，另一端通过联轴器与X1轴闭环五相电机的输出轴连接；

所述滚珠丝杠安装在安装板上端，所述安装板上设置一体型直线滚珠导轨，所述滑块通过一体型直线滚珠导轨在安装板上运动；

所述X1轴连接杆一端安装在滑块上，另一端穿过结构安装面组件进入高低温试验箱中与X1轴辅助靶标组件连接。

为了更好地实现本发明，进一步地，还包括内置限位开关，所述内置限位开关设置在安装板上位于滚珠丝杠的末端。

为了更好地实现本发明，进一步地，所述接近传感器组件还包括下层被测接近传感器组件；所述装置还包括X2轴闭环五相电机、X2轴运动模组、X2轴辅助测试件；

所述下层被测接近传感器组件安装在高低温试验箱中位于内部平面支撑结构下层的位置，与所述上层被测接近传感器组件结构一致；

所述X2轴闭环五相电机、X2轴运动模组、X2轴辅助测试件安装在外部支撑结构矩形箱体的底端面上；与X1轴运动模组、X1轴闭环五相电机、X1轴辅助测试件结构对应一致；

所述X2轴闭环五相电机与信号连接器连接，所述X2轴闭环五相电机的输出端依次连接X2轴运动模组、X2轴辅助测试件，所述X2轴辅助测试件在高低温试验箱内与所述下层被测接近传感器组件对应。

为了更好地实现本发明，进一步地，所述外部支撑结构底端面同样设置光学安装平台、开放式直线光栅组件，所述X2轴闭环五相电机、X2轴运动模组安装在位于外部支撑结构底端面的光学安装平台上，底端面的开放式直线光栅组件安装在光学安装平台上X2轴运动模组侧边。

本发明与现有技术相比具有以下优点及有益效果：

（1）既能满足待测接近传感器在高低温下的静态性能，又能测试待测接近传感器的动态性能。本发明可自动控制靶标与接近传感器在高低温试验箱内相对运动，其运动方向为轴向运动；

（2）控制***软件实现靶标位移设定、位移方向、起始位移、截至位移、位移速度等运动参数设定和实时显示功能；具备自动、快速和精确的定位和位置保持功能；靶标中心线与接近传感器的中心线对齐；靶标与接近传感器感应面自动对零；采集显示接近传感器输出电压、电阻、电感信号；***自检；***具有自动测试和手动测试功能；可自动打印测试报告；

（3）仪表仪器***人机界面良好，具有良好的操作性和适应性。具有可靠性高、稳定性好、性价比优、关键技术先进、控制平台开放等优点；

（4）接近传感器和靶标的安装夹具均可拆装，以便于安装不同形状的产品和靶标；工装夹具材料要求为非磁性材料。

附图说明

图1为本装置完整***框架构成图；

图2为本装置高低温试验箱与运动机构的连接关系示意图；

图3为运动机构与接近传感器组件进行测试对应的的平面主视图；

图4为X1轴辅助测试件或X2轴辅助测试件与上层被测接近传感器组件或下层被测接近传感器组件对应测试的结构示意图；

图5为X1轴辅助测试件或X2轴辅助测试件与上层被测接近传感器组件或下层被测接近传感器组件进行重合加工时，定位导向轴***导向柱中的示意图；

图6为靶标安装板与传感器安装座的对应位置结构示意图；

图7为光学安装平台、开放式直线光栅组件与X1轴运动模组、X1轴闭环五相电机或者X2轴运动模组、X2轴闭环五相电机安装示意图；

图8为X1轴运动模组和X1轴闭环五相电机的结构连接安装俯视图；

图9为X1轴运动模组和X1轴闭环五相电机的结构连接安装的右视图；

图10为X1轴运动模组和X1轴闭环五相电机的结构连接安装的立体图；

图11为本装置进行高低温测试时的测试流程图；

图12为信号连接器示意图；

图13为本装置立体示意图。

其中：1、下层被测接近传感器组件，2、上层被测接近传感器组件，3、内部平面支撑结构，4、X2轴闭环五相电机，5、X1轴运动模组，6、X1轴闭环五相电机，7、结构安装面组件，8、X2轴运动模组，9、外部支撑结构，10、信号连接器，11、传感器安装座，12、上层被测接近传感器，13、蝶型锁紧螺钉，14、零位挡块，15、定位导向轴，16、导向柱，17、靶标安装板，18、靶标安装柱，19、推拉连杆，20、光学安装平台，21、开放式直线光栅组件，22、联轴器，23、轴承，24、滑块，25、一体型直线滚珠导轨，26、内置限位开关，27、滚珠丝杆，28、安装板，29、高低温试验箱。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，应当理解，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例，因此不应被看作是对保护范围的限定。基于本发明中的实施例，本领域普通技术工作人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；也可以是直接相连，也可以是通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例1：

一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，如图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9、图10所示，包括工控机、运动控制***、数据采集***、仪器仪表***、打印机、高低温试验箱29、运动机构；

所述工控机分别与运动控制***、数据采集***、仪器仪表***、打印机连接；

所述高低温试验箱29内设置接近传感器组件；所述接近传感器组件分别与数据采集***、仪器仪表***连接；

用于检测接近传感器组件的所述运动机构安装在所述高低温试验箱29上，且与运动控制***、数据采集***、仪器仪表***连接。

为了更好地实现本发明，进一步地，所述运动机构包括内部平面支撑结构3、X1轴运动模组5、X1轴闭环五相电机6、结构安装面组件7、外部支撑结构9、信号连接器10；

所述内部平面支撑结构3为多层固定架体，安装在高低温试验箱29内，且底部与高低温试验箱29内部固定连接；

所述接近传感器组件包括固定安装在高低温试验箱29内位于内部平面支撑结构3上端面上的上层被测接近传感器组件2；

所述结构安装面组件7包括分别安装在高低温试验箱29一面壁内外侧的两块面板，所述外部支撑结构9为矩形箱体，且矩形箱体的一面与结构安装面组件7安装在高低温试验箱29外侧的面板固定连接；

所述信号连接器10安装在外部支撑结构9上，依次与安装在外部支撑结构9上端面的X1轴闭环五相电机6、X1轴运动模组5连接；所述X1轴运动模组5的输出端连接X1轴辅助测试件；所述X1轴辅助测试件包括与所述X1轴运动模组5连接的X1轴连接杆和用于辅助检测的X1轴辅助靶标组件；所述结构安装面组件7的两块面板上设置穿过孔，所述X1轴连接杆通过穿过孔进入高低温试验箱29内；所述X1轴辅助靶标组件安装在X1轴连接杆的末端且与上层被测接近传感器组件2对应。

为了更好地实现本发明，进一步地，所述上层被测接近传感器组件2包括传感器安装座11、上层被测接近传感器12、蝶型锁紧螺钉13；

所述传感器安装座11安装在内部平面支撑结构3的上端面，所述上层被测接近传感器12通过蝶型锁紧螺钉13安装在传感器安装座11上；

所述X1轴辅助靶标组件包括靶标安装板17、靶标安装柱18、推拉连杆19、蝶型锁紧螺钉13；

所述靶标安装板17通过推拉连杆19与X1轴连接杆固定连接；所述靶标安装柱18通过蝶型锁紧螺钉13安装在靶标安装板17靠向上层被测接近传感器12的一侧，且与上层被测接近传感器12的位置在Y轴和Z轴位置上对应一致；所述靶标安装板17端面上安装有用于让上层被测接近传感器12感应的靶标。

为了更好地实现本发明，进一步地，还包括光学安装平台20、开放式直线光栅组件21；所述光学安装平台20安装在所述外部支撑结构9的矩形箱体的顶端面，所述X1轴运动模组5、X1轴闭环五相电机6安装在所述光学安装平台20上，所述开放式直线光栅组件21安装在光学安装平台20上，且通过所述信号连接器10与所述数据采集***、仪器仪表***连接。

为了更好地实现本发明，进一步地，所述X1轴运动模组5包括联轴器22、轴承23、滑块24、安装板28、滚珠丝杆27；

所述安装板28固定安装在光学安装平台20上，所述轴承23安装在安装板28上，且一端连接滚珠丝杆27，另一端通过联轴器22与X1轴闭环五相电机6的输出轴连接；

所述滚珠丝杠27安装在安装板28上端，所述安装板28上设置一体型直线滚珠导轨25，所述滑块24通过一体型直线滚珠导轨25在安装板28上运动；

所述X1轴连接杆一端安装在滑块24上，另一端穿过结构安装面组件7进入高低温试验箱29中与X1轴辅助靶标组件连接。

为了更好地实现本发明，进一步地，还包括内置限位开关26，所述内置限位开关26设置在安装板28上位于滚珠丝杠27的末端。

工作原理：通过运动机构控制靶标进行移动，同时调整高低温试验箱29的温度，从而可以实现接近传感器组件各种温度特性下不同距离反馈的测量，同时通过工控机控制数据采集***对接近传感器组件的变化趋势进行实时采集。同时工控机还通过运动控制***对运动机构进行X轴运动的控制。最后控制***软件实现靶标位移设定、位移方向、起始位移、截至位移、位移速度等运动参数设定和实时显示功能；具备自动、快速和精确的定位和位置保持功能；靶标中心线与接近传感器（接近开关）的中心线对齐；靶标与接近传感器（接近开关）感应面自动对零；采集显示接近传感器（接近开关）输出电压、电阻、电感信号；***自检；***具有自动测试和手动测试功能；可自动打印测试报告。高低温试验箱29设置在-65~180℃环境下运行。

开放式直线光栅组件21，其设计如下：

X1X2轴直线运动范围：0~50mm，运动速率：0~10mm/s；

X轴直线运动轴采用滚珠丝杆27和一体型直线滚珠导轨25传动模式，将电机旋转运动转换为直线运动。X轴运动模组通过X轴闭环五相驱动电机驱动滚珠丝杆27，带动滑块24前后运动，滑块24推动靶标前后滑动，从而实现靶标与接近传感器间的位置距离变化。

本装置选用滚珠丝杆27驱动，滚珠丝杆27的雄螺纹的山与雌螺纹的谷之间，放入滚珠，滚珠和螺纹面的滑动运动转换为接触运动。与普通驱动螺纹比较，更小的扭矩即可实现旋转。

X轴运动模组搭载五相闭环步进电机，步距角（无细分情况下）：0.36°，在不通过驱动器细分的情况下，可实现2um步进移动量，在驱动器细分的情况下，可实现0.125um的移动量，同时安装开放式直线光栅组件21，分辨率0.01um,重复定位精度：±0.1um。采用32位工控机与控制算法，可以精确到微米级。满足运动指标要求。

实施例2：

本实施例在上述实施例1的基础上，为了更好地实现本发明，进一步地，还包括内置限位开关26，所述内置限位开关26设置在安装板28上位于滚珠丝杠27的末端。

为了更好地实现本发明，进一步地，所述接近传感器组件还包括下层被测接近传感器组件1；所述装置还包括X2轴闭环五相电机4、X2轴运动模组8、X2轴辅助测试件；

所述下层被测接近传感器组件1安装在高低温试验箱29中位于内部平面支撑结构3下层的位置，与所述上层被测接近传感器组件2结构一致；

所述X2轴闭环五相电机4、X2轴运动模组8、X2轴辅助测试件安装在外部支撑结构9矩形箱体的底端面上；与X1轴运动模组5、X1轴闭环五相电机6、X1轴辅助测试件结构对应一致；

所述X2轴闭环五相电机4与信号连接器10连接，所述X2轴闭环五相电机4的输出端依次连接X2轴运动模组8、X2轴辅助测试件，所述X2轴辅助测试件在高低温试验箱29内与所述下层被测接近传感器组件1对应。

为了更好地实现本发明，进一步地，所述外部支撑结构9底端面同样设置光学安装平台20、开放式直线光栅组件21，所述X2轴闭环五相电机4、X2轴运动模组8安装在位于外部支撑结构9底端面的光学安装平台20上，底端面的开放式直线光栅组件21安装在光学安装平台20上X2轴运动模组8侧边。

工作原理：当上层被测接近传感器组件2的接近传感器数量较多时，仅仅是X1轴上设置的靶标不足以进行测量，可以在内部平面支撑机构3的下层设置与上层被测接近传感器组件2结构一致的下层被测接近传感器组件1进行测量，下层被测接近传感器组件1对应设置X2轴的测量装置在外部支撑结构9的底端面。

本实施例的其他部分与上述实施例1相同，故不再赘述。

实施例3：

本实施例在上述实施例1-2任一项的基础上，如图11所示，测控***主要由运动控制***和数据采集***组成，运动控制***结构采用基于PC+运动控制器的伺服控制***，具有高可靠性、快速性、稳定性、开放性好、运算能力强等特点。数据采集装置主要由程控电源、PCI数据采集器、PCI数字I/O模块、电感测试仪、信号调理箱等组成。为满足接近开关位移机构多轴精密控制、数据传输和自动精确定位的控制要求，设计了基于工控机的上位控制***，基于以太网总线的高性能伺服控制***和电气保护***。整个控制***由上位机控制单元、数据采集***、LAN网络运动控制器、开放式光栅反馈***、精密伺服驱动***组成。整个控制***采用上、下位机总线结构，上位机选用工业控制计算机，主要实现操作人员的人机交互、显示***的各种状态、***参数配置和在线的***监督、控制、维护等功能。下位机采用LAN、RS232、USB等通信，主要实现现场信号的采集、向上位机传递实时数据、向伺服驱动器实时传递控制指令等功能，采用双闭环位置控制方式，达到***的各项运动参数指标。具体的测试流程如图11所示。

本实施例的其他部分与上述实施例1-2任一项相同，故不再赘述。

实施例4：

本实施例在上述实施例1-3任一项的基础上，为了更好地实现本发明，如图5所示，进一步地，还包括零位挡块14；所述零位挡块14通过螺纹件可调节高度地安装在传感器安装座11上面向靶标安装板17的一侧，且满足当零位挡块14调节到最高高度时，可挡在靶标与上层被测接近传感器12的检测头之间。

为了更好地实现本发明，进一步地，还包括导向对齐装置，所述导向对齐装置包括定位导向轴15、导向柱16；

所述定位导向轴15安装在靶标安装板17上与靶标安装柱18同侧面上；

所述导向柱16安装在传感器安装座11上与零位挡块14同侧一面，且导向柱16内设置定位导向轴15可以***的槽；

当定位导向轴15***导向柱16固定时，所述靶标安装柱18上的靶标与上层被测接近传感器12的检测头在Y轴和Z轴位置上刚好对应一致。

工作原理：为了保证靶标与接近传感器中心同心，所以在制造设备时固定接近传感器的零件孔位，与固定靶标的靶标安装柱18的零件孔位同时重合加工，保证孔位对齐同心。结构件加工时通过精密数控整体加工，在机械结构上保证同心。固定接近传感器的零件不动，固定靶标的靶标安装板17滑动，靶标安装板17与传感器安装座11由定位导向轴和导向柱保证运动时的同心度。

为了实现测试***的精确的对零功能，设计了2种对零方式，包括机械对零和控制对零，根据试验结果选择其中效果好的一种。

A、机械挡块对零方式：

为了保证每个接近传感器安装的位置一样对齐，设计零位挡块14，***对零原理如下：

（1）将零位挡块14向上升起，并且固定；

（2）安装接近传感器，开关头抵拢零位挡块14；

（3）靶标也抵拢零位挡块14，这时通过计算机将推拉连杆（19）零位设置为零。靶标与接近传感器的检测端的端面的距离为零位挡块14的厚度（6mm）；

（4）零位对准，并且设置好后，零位挡块14向下移动，即可完成对零。

B、计算机控制对零方式：

首先通过试验方式，测试出电机运动遇到堵转时的电流和扭矩值。控制电机带动靶标向被测接近传感器方向运动，通过工控机实时监控电机扭矩和电流值，当靶标和被测接近传感器重合时，电机近似于堵转状态，当此时电机电流和扭矩增大，将这一数值和之前测试的电流和扭矩值比较，当电流值、扭矩值和测试值相等时，停止电机运行，将电机当前位置设为零点。

本实施例的其他部分与上述实施例1-3任一项相同，故不再赘述。

实施例5：

本实施例在上述实施例1-4任一项的基础上，进一步地，所述零位挡块14还可用作对位标准板，对位标准板立在靶标与被测试接近传感器之间，通过控制电机将靶标推动靠紧对位标准板，然后将被测试接近传感器安装在传感器安装座11上，端面靠紧对位标准板，拧紧蝶形锁紧螺钉13，这时测出显示器读出基础X轴向位置尺寸；

将对位标准板取开，电机拉动靶标向测试的起始位置移动，起始位置是接近传感器无感应的位置，根据不同的接近传感器自主设定。然后开始测试，缓慢推动靶标向接近传感器靠近，直到所有接近传感器逐一感应为止。每个接近传感器的感应距离会被及时记录下来，对比接近传感器的感应标准范围，即可测出接近传感器是否合格。

本实施例的其他部分与上述实施例1-4任一项相同，故不再赘述。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例，并非对本发明做任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均落入本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，其特征在于，包括工控机、运动控制***、数据采集***、仪器仪表***、打印机、高低温试验箱（29）、运动机构；

所述工控机分别与运动控制***、数据采集***、仪器仪表***、打印机连接；

所述高低温试验箱（29）内设置接近传感器组件；所述接近传感器组件分别与数据采集***、仪器仪表***连接；

用于检测接近传感器组件的所述运动机构安装在所述高低温试验箱（29）上，且与运动控制***、数据采集***、仪器仪表***连接。

2.如权利要求1所述的一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，其特征在于，所述运动机构包括内部平面支撑结构（3）、X1轴运动模组（5）、X1轴闭环五相电机（6）、结构安装面组件（7）、外部支撑结构（9）、信号连接器（10）；

所述内部平面支撑结构（3）为多层固定架体，安装在高低温试验箱（29）内，且底部与高低温试验箱（29）内部固定连接；

所述接近传感器组件包括固定安装在高低温试验箱（29）内位于内部平面支撑结构（3）上端面上的上层被测接近传感器组件（2）；

所述结构安装面组件（7）包括分别安装在高低温试验箱（29）一面壁内外侧的两块面板，所述外部支撑结构（9）为矩形箱体，且矩形箱体的一面与结构安装面组件（7）安装在高低温试验箱（29）外侧的面板固定连接；

所述信号连接器（10）安装在外部支撑结构（9）上，依次与安装在外部支撑结构（9）上端面的X1轴闭环五相电机（6）、X1轴运动模组（5）连接；所述X1轴运动模组（5）的输出端连接X1轴辅助测试件；所述X1轴辅助测试件包括与所述X1轴运动模组（5）连接的X1轴连接杆和用于辅助检测的X1轴辅助靶标组件；所述结构安装面组件（7）的两块面板上设置穿过孔，所述X1轴连接杆通过穿过孔进入高低温试验箱（29）内；所述X1轴辅助靶标组件安装在X1轴连接杆的末端且与上层被测接近传感器组件（2）对应。

3.如权利要求2所述的一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，其特征在于，所述上层被测接近传感器组件（2）包括传感器安装座（11）、上层被测接近传感器（12）、蝶型锁紧螺钉（13）；

所述传感器安装座（11）安装在内部平面支撑结构（3）的上端面，所述上层被测接近传感器（12）通过蝶型锁紧螺钉（13）安装在传感器安装座（11）上；

所述X1轴辅助靶标组件包括靶标安装板（17）、靶标安装柱（18）、推拉连杆（19）、蝶型锁紧螺钉（13）；

所述靶标安装板（17）通过推拉连杆（19）与X1轴连接杆固定连接；所述靶标安装柱（18）通过蝶型锁紧螺钉（13）安装在靶标安装板（17）靠向上层被测接近传感器（12）的一侧，且与上层被测接近传感器（12）的位置在Y轴和Z轴位置上对应一致；所述靶标安装板（17）端面上安装有用于让上层被测接近传感器（12）感应的靶标。

4.如权利要求3所述的一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，其特征在于，还包括零位挡块（14）；所述零位挡块（14）通过螺纹件可调节高度地安装在传感器安装座（11）上面向靶标安装板（17）的一侧，且满足当零位挡块（14）调节到最高高度时，可挡在靶标与上层被测接近传感器（12）的检测头之间。

5.如权利要求3所述的一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，其特征在于，还包括导向对齐装置，所述导向对齐装置包括定位导向轴（15）、导向柱（16）；

所述定位导向轴（15）安装在靶标安装板（17）上与靶标安装柱（18）同侧面上；

所述导向柱（16）安装在传感器安装座（11）上朝向靶标安装板（17）的一面，且导向柱（16）内设置定位导向轴（15）可以***的槽；

当定位导向轴（15）***导向柱（16）固定时，所述靶标安装柱（18）上的靶标与上层被测接近传感器（12）的检测头在Y轴和Z轴位置上刚好对应一致。

6.如权利要求2所述的一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，其特征在于，还包括光学安装平台（20）、开放式直线光栅组件（21）；所述光学安装平台（20）安装在所述外部支撑结构（9）的矩形箱体的顶端面，所述X1轴运动模组（5）、X1轴闭环五相电机（6）安装在所述光学安装平台（20）上，所述开放式直线光栅组件（21）安装在光学安装平台（20）上，且通过所述信号连接器（10）与所述数据采集***、仪器仪表***连接。

7.如权利要求6所述的一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，其特征在于，所述X1轴运动模组（5）包括联轴器（22）、轴承（23）、滑块（24）、安装板（28）、滚珠丝杆（27）；

所述安装板（28）固定安装在光学安装平台（20）上，所述轴承（23）安装在安装板（28）上，且一端连接滚珠丝杆（27），另一端通过联轴器（22）与X1轴闭环五相电机（6）的输出轴连接；

所述滚珠丝杠（27）安装在安装板（28）上端，所述安装板（28）上设置一体型直线滚珠导轨（25），所述滑块（24）通过一体型直线滚珠导轨（25）在安装板（28）上运动；

所述X1轴连接杆一端安装在滑块（24）上，另一端穿过结构安装面组件（7）进入高低温试验箱（29）中与X1轴辅助靶标组件连接。

8.如权利要求7所述的一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，其特征在于，还包括内置限位开关（26），所述内置限位开关（26）设置在安装板（28）上位于滚珠丝杠（27）的末端。

9.如权利要求2-8任一项所述的一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，其特征在于，所述接近传感器组件还包括下层被测接近传感器组件（1）；所述装置还包括X2轴闭环五相电机（4）、X2轴运动模组（8）、X2轴辅助测试件；

所述下层被测接近传感器组件（1）安装在高低温试验箱（29）中位于内部平面支撑结构（3）下层的位置，与所述上层被测接近传感器组件（2）结构一致；

所述X2轴闭环五相电机（4）、X2轴运动模组（8）、X2轴辅助测试件安装在外部支撑结构（9）矩形箱体的底端面上；与X1轴运动模组（5）、X1轴闭环五相电机（6）、X1轴辅助测试件结构对应一致；

所述X2轴闭环五相电机（4）与信号连接器（10）连接，所述X2轴闭环五相电机（4）的输出端依次连接X2轴运动模组（8）、X2轴辅助测试件，所述X2轴辅助测试件在高低温试验箱（29）内与所述下层被测接近传感器组件（1）对应。

10.如权利要求9所述的一种自动检测接近传感器高低温运动特性的装置，其特征在于，所述外部支撑结构（9）底端面同样设置光学安装平台（20）、开放式直线光栅组件（21），所述X2轴闭环五相电机（4）、X2轴运动模组（8）安装在位于外部支撑结构（9）底端面的光学安装平台（20）上，底端面的开放式直线光栅组件（21）安装在光学安装平台（20）上X2轴运动模组（8）侧边。

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