CN111584566A - 显示面板及其制作方法、掩模版组 - Google Patents
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Abstract
本申请提供了显示面板及其制作方法、掩模版组，显示面板包括显示区域和感光区域，该显示面板包括衬底、设于衬底一侧的阳极层、设于所述衬底远离所述阳极层的一侧的感光器件，阳极层中与显示区域对应的部分包括层叠设置的第一透光层和反射层，阳极层中与所述感光区域对应的部分包括第二透光层，感光器件设于感光区域；该方案可以提高OLED显示屏的屏下摄像头或者其它感光器件上方的膜层的透光率，以提高OLED显示屏的屏下摄像头或者其它感光器件的工作性能。
Description
技术领域
本申请涉及显示技术领域，尤其涉及显示器件的制造，具体涉及显示面板及其制作方法、掩模版组。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示屏的柔性可弯折性质为其进军全面屏带来了巨大优势，其中屏下摄像头技术尤为重要。
然而，现有的阳极层、发光层、阴极层等膜层的透光率较低，导致屏下摄像头或者其它感光器件无法捕捉到足够的光线，无法较好地实现相应的功能。
因此，有必要提供显示面板及其制作方法、掩模版组，增加穿过屏下摄像头或者其它感光器件的光线，以提高OLED显示屏的屏下摄像头或者其它感光器件的工作性能。
发明内容
本申请的目的在于提供显示面板及其制作方法、掩模版组，通过将阳极层中与所述显示区域对应的部分设置为包括层叠设置的第一透光层和反射层，而将所述阳极层中与所述感光区域对应的部分设置为包括第二透光层，解决了现有的OLED显示屏中屏下摄像头或者其它感光器件的上方膜层较厚，从而导致的透光率较低，以至于屏下摄像头或者其它感光器件无法较好地实现相应的功能的问题。
本申请实施例提供显示面板，所述显示面板包括显示区域和感光区域，所述显示面板包括：
衬底；
阳极层，所述阳极层设于所述衬底的一侧，所述阳极层中与所述显示区域对应的部分包括层叠设置的第一透光层和反射层，所述阳极层中与所述感光区域对应的部分包括第二透光层；
感光器件，所述感光器件设于所述衬底远离所述阳极层的一侧，所述感光器件设于所述感光区域。
在一实施例中，所述衬底包括：
第一衬底，所述第一衬底设于所述感光区域；
第二衬底，所述第二衬底设于所述显示区域，所述第一衬底的厚度小于所述第二衬底的厚度。
在一实施例中，所述显示面板还包括：
薄膜晶体管层，所述薄膜晶体管层设于所述阳极层靠近所述衬底的一侧，所述薄膜晶体管层包括多个薄膜晶体管，所述多个薄膜晶体管设于所述显示区域。
在一实施例中，所述显示面板还包括：
阴极层，所述阴极层设于所述阳极层远离所述衬底的一侧，所述阴极层设于所述显示区域。
在一实施例中，当所述第一透光层和所述第二透光层同层设置时，所述阳极层还包括：
第三透光层，所述第三透光层设于所述第二透光层和所述反射层远离所述感光器件的一侧。
本申请实施例提供掩模版组，所述掩模版组用于制作如上任一所述的显示面板，所述显示面板包括显示区域和感光区域，所述掩模版组包括第一掩模版，用于处理与所述显示区域和所述感光区域对应的光阻层，所述第一掩模版包括：
第一开口部，所述第一开口部与所述感光区域相对设置，用于曝光所述光阻层中位于所述感光区域中的部分；
第一遮挡部，所述第一遮挡部与所述显示区域相对设置，所述光阻层位于反射膜上方，所述第一遮挡部用于遮挡所述光阻层中位于所述显示区域中的部分，进而保留所述光阻层中位于所述显示区域中的部分，进而保留所述反射膜中位于所述显示区域中的部分以形成反射层。
在一实施例中，所述掩模版组还包括第二掩模版，所述第二掩模版包括：
第二遮挡部，所述第二遮挡部与所述感光区域相对设置，在蒸镀时，用于阻挡蒸镀材料沉积在所述感光区域；
第二开口部，所述第二开口部与所述显示区域相对设置，用于使所述蒸镀材料沉积在所述显示区域，以形成阴极层。
本申请实施例提供显示面板的制作方法，所述方法用于制作如上任一所述的显示面板，所述显示面板包括显示区域和感光区域，所述方法包括：
提供衬底；
在所述衬底上形成阳极层，所述阳极层中与所述显示区域对应的部分包括层叠设置的第一透光层和反射层，所述阳极层中与所述感光区域对应的部分包括第二透光层；
在所述衬底远离所述阳极层的一侧设置感光器件，所述感光器件与所述感光区域对应。
在一实施例中，所述在所述衬底上形成阳极层，所述阳极层中与所述显示区域对应的部分包括层叠设置的第一透光层和反射层，所述阳极层中与所述感光区域对应的部分包括第二透光层的步骤，包括：
在所述衬底上形成所述第一透光层和所述第二透光层，以及在所述第一透光层和所述第二透光层上依次形成反射膜、光阻层，其中所述第一透光层设于所述显示区域，所述第二透光层设于所述感光区域，所述反射膜和所述光阻层设于所述显示区域和所述感光区域；
采用第一掩模版对所述光阻层进行曝光，所述第一掩模版包括第一开口部和第一遮挡部，所述第一开口部与所述感光区域相对设置，用于曝光所述光阻层中位于所述感光区域中的部分，所述第一遮挡部与所述显示区域相对设置，用于遮挡所述光阻层中位于所述显示区域中的部分；
去除所述光阻层中位于所述感光区域中的部分，并保留所述光阻层中位于所述显示区域中的部分，以形成光阻图案；
去除所述反射膜中未被所述光阻图案覆盖的部分，并保留所述反射膜中被所述光阻图案覆盖的部分，以形成所述反射层。
在一实施例中，所述在所述衬底远离所述阳极层的一侧设置感光器件的步骤之前，包括：
对所述衬底进行处理，以形成第一衬底和第二衬底，所述第一衬底的厚度小于所述第二衬底的厚度，所述第一衬底与所述感光区域对应，所述第二衬底与所述显示区域对应。
本申请提供了显示面板及其制作方法、掩模版组，所述显示面板包括显示区域和感光区域，阳极层中与所述显示区域对应的部分包括层叠设置的第一透光层和反射层，所述阳极层中与所述感光区域对应的部分包括第二透光层，感光器件设于衬底远离所述阳极层的一侧中所述感光区域对应的区域。该方案中将阳极层中与感光器件对应区域仅设置第二透光层，而省去反射层，使得显示面板中感光器件上方的膜层的透光率较高，提高了显示面板中感光器件的工作性能。
附图说明
下面通过附图来对本申请进行进一步说明。需要说明的是，下面描述中的附图仅仅是用于解释说明本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的第一种显示面板的截面示意图。
图2为本申请实施例提供的第二种显示面板的截面示意图。
图3为本申请实施例提供的第三种显示面板的截面示意图。
图4为本申请实施例提供的第四种显示面板的截面示意图。
图5为本申请实施例提供的第五种显示面板的截面示意图。
图6为本申请实施例提供的一种掩模版组的应用场景示意图。
图7为本申请实施例提供的另一种掩模版组的应用场景示意图。
图8为本申请实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程图。
图9为本申请实施例提供的另一种显示面板的制作方法的流程图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“远离”、“靠近”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，例如，“上”只是表面在物体上方，具体指代正上方、斜上方、上表面都可以，只要居于物体水平之上即可；“靠近”是指代图中物体两侧中，与另一物体距离更近的一侧。以上方位或位置关系仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
另外，还需要说明的是，附图提供的仅仅是和本申请关系比较密切的结构，省略了一些与申请关系不大的细节，目的在于简化附图，使申请点一目了然，而不是表明实际中装置就是和附图一模一样，不作为实际中装置的限制。
本申请提供显示面板，所述显示面板包括但不限于以下实施例。
在一实施例中，如图1所示，所述显示面板00包括显示区域01和感光区域02，所述显示面板00包括：衬底100；阳极层200，所述阳极层200设于所述衬底100的一侧，所述阳极层200中与所述显示区域01对应的部分包括层叠设置的第一透光层201和反射层202，所述阳极层200中与所述感光区域02对应的部分包括第二透光层203；感光器件300，所述感光器件300设于所述衬底100远离所述阳极层200的一侧，所述感光器件300设于所述感光区域02。
其中，所述显示区域01可以全部或者部分包围所述感光区域02而设置，例如所述感光区域02可以位于所述显示面板00的左上角、右上角或者前几行的中间位置。所述感光区域02的具体形状可以根据所述感光器件300的竖直投影形状设置，所述感光区域02的尺寸不小于所述感光器件300的尺寸，以保证所述感光器件300的正常工作。
其中，所述感光器件300可以作为单独的器件进行工作，也可以集成于摄像头或者指纹识别器件中进行工作。
可以理解的，由于所述阳极层200中与所述显示区域01对应的部分包括层叠设置的第一透光层201和反射层202，所述阳极层200中与所述感光区域02对应的部分包括第二透光层203，即所述阳极层200中与所述显示区域01对应的部分的厚度大于所述阳极层200中与所述感光区域02对应的部分的厚度，所述阳极层200中与所述感光区域02对应的部分的透光率大于与所述显示区域01对应的部分的透光率。
其中，如图1所示，所述第一透光层201和所述第二透光层203可以同层设置，且至少保证所述第二透光层203具有透光性，使得外界光线可以通过所述第二透光层203进入至所述感光器件300。进一步的，所述第一透光层201和所述第二透光层203的厚度可以相等，且两者的组成材料可以相同，例如所述第一透光层201和所述第二透光层203可以采用相同的材料同时形成于所述衬底100上，以提高制作效率，具体的，可以通过沉积法在所述衬底100或者在另外的膜层上整面形成透明导电膜作为所述第一透光层201和所述第二透光层203，所述透明导电膜可以为ITO(Indium Tin Oxide，氧化铟锡)薄膜或者掺铝氧化锌薄膜。
其中，所述反射层202的组成材料可以为导电的且反射能力较高的材料，以提高对外界光或者发光器件发出的光线的反射能力，提高显示面板的发光亮度，例如所述反射层202的组成材料可以为金属单质，具体的，可以采用银单质制作反射层202。
在一实施例中，如图2所示，当所述第一透光层201和所述第二透光层203同层设置时，所述阳极层200还包括：第三透光层204，所述第三透光层204设于所述第二透光层203和所述反射层202远离所述感光器件300的一侧。
其中，至少保证所述第三透光层204中与所述感光区域02对应的部分具有透光性，使得外界光线可以通过所述第二透光层203和所述第三透光层204进入至所述感光器件300。具体的，所述第三透光层204远离所述衬底100一侧的表面为一水平面，即所述第一透光层201、所述反射层202以及所述第三透光层204中位于所述显示区域01中的部分的厚度之和，可以等于所述第二透光层203以及所述第三透光层204中位于所述感光区域02中的部分的厚度之和，这样可以使得所述阳极层200平坦化，有利于在所述阳极层200上形成其它膜层。具体的，所述第三透光层204的组成材料和形成方式也可以和所述第一透光层201的组成材料和形成方式相同。
进一步的，所述第一透光层201和所述第二透光层203的厚度可以为50纳米，所述反射层202的厚度可以为10纳米，所述第三透光层204中位于所述反射层202上的部分厚度为50纳米。此时，所述阳极层200中位于所述显示区域01中的部分的平均透光率高达83.17％，可以理解的，由于所述感光区域02中未设置所述反射层202，所述感光区域02的透光率可以大于83.17％。
在一实施例中，如图3所示，所述衬底100包括：第一衬底101，所述第一衬底101设于所述感光区域02；第二衬底102，所述第二衬底102设于所述显示区域01，所述第一衬底101的厚度小于所述第二衬底102的厚度。
其中，所述第一衬底101可以为厚度均一的膜层或者所述第一衬底101靠近所述感光器件300一侧的表面可以为曲面，所述第一衬底101的总体厚度可以根据所述感光器件300的高度设置，所述第一衬底101靠近所述感光器件300一侧的表面形状可以根据所述感光器件300的形状设置。
在一实施例中，如图4所示，所述显示面板00还包括：薄膜晶体管层400，所述薄膜晶体管层400设于所述阳极层200靠近所述衬底100的一侧，所述薄膜晶体管层400包括多个薄膜晶体管401，所述多个薄膜晶体管401设于所述显示区域01。
具体的，所述多个薄膜晶体管401和所述阳极层200中对应的区域电性连接，以控制所述阳极层200中对应的区域的发光情况。可以理解的，所述薄膜晶体管401包括透光率极低的器件，且同一行或者同一列的多个所述薄膜晶体管401与同一栅极线或者同一数据线连接以传输信号。此处，不在所述感光区域02中设置所述薄膜晶体管401，即所述薄膜晶体管层400中与所述感光区域02对应的区域不包含透光率极低的所述薄膜晶体管401、以及不包括所述栅极线和所述数据线，即本方案通过避免在所述薄膜晶体管层400中与所述感光区域02对应的区域设置所述薄膜晶体管401，进一步可以减少所述感光区域02中所述栅极线和所述数据线等金属走线的数量，以提高所述所述感光区域02的透光率。
在一实施例中，如图5所示，所述显示面板00还包括：阴极层500，所述阴极层500设于所述阳极层200远离所述衬底100的一侧，所述阴极层500设于所述显示区域01。
可以理解的，由于所述多个薄膜晶体管401、所述反射层202仅设置在所述显示区域01中，可以仅将所述阴极层500设置在所述显示区域01中，保证所述显示区域01中的画面可以正常显示，以及进一步提高所述显示面板00中位于所述感光器件300上方的膜层的透光率。
其中，所述阴极层500的组成材料可以为镁银合金或者锂铝合金，具体的，可以将性质活泼的低功函数金属和化学性能较稳定的高功函数金属一起蒸发形成所述阴极层500，以提高器件量子效率和稳定性。或者，所述阴极层500可以为由金属单质组成的金属单层、和位于所述金属单层和对应的发光器件之间的如氟化锂、氟化铯、氟化铷等组成的阻挡层共同构成的双电极，可得到更高的发光效率和更好的电流-电压特性曲线。或者，所述阴极层500可以包括所述金属单层、和位于所述金属单层和对应的发光器件之间的掺杂有低功函数金属的有机层，可大大改善发光器件性能。
本申请还提供掩模版组，所述掩模版组用于制作如上任一所述的显示面板，所述掩模版组包括但不限于以下实施例。
在一实施例中，如图6所示，所述掩模版组包括第一掩模版600，所述第一掩模版600用于处理与所述显示区域01和所述感光区域02对应的光阻层700，所述第一掩模版600包括：第一开口部601，所述第一开口部601与所述感光区域02相对设置，用于曝光所述光阻层700中位于所述感光区域02中的部分701；第一遮挡部602，所述第一遮挡部602与所述显示区域01相对设置，所述光阻层700位于反射膜800上方，所述第一遮挡部602用于遮挡所述光阻层700中位于所述显示区域01中的部分702，进而保留所述光阻层700中位于所述显示区域01中的部分702，进而保留所述反射膜800中位于所述显示区域01中的部分以形成反射层802。
其中，所述第一开口部601的尺寸和形状可以根据上文中所述感光器件300的具体结构进行设置，所述第一开口部601用于使得曝光的光线照射到所述光阻层700中位于所述感光区域02中的部分701，在后期显影后去除该部分701，在后期刻蚀时去除所述反射膜800中位于所述感光区域02中的部分801；所述第一遮挡部602为所述第一掩模版600中除去所述第一开口部601的部分，所述第一遮挡部602用于阻止曝光的光线照射到所述光阻层700中位于所述显示区域01中的部分702，避免在后期显影后去除该部分702，在后期刻蚀时通过该部分702保护所述反射膜800中位于所述显示区域01中的部分，使得该部分作为所述反射层802保留下来；因此，提高了所述感光器件300上方膜层的透光率。
需要注意的是，所述第一掩模版600用于对所述光阻层700的部分区域进行曝光，故所述第一掩模版600的本质可以为光学掩模板或者称为光罩，所述第一掩模版600为在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。
在一实施例中，如图7所示，所述掩模版组还包括第二掩模版900，所述第二掩模版900包括：第二遮挡部901，所述第二遮挡部901与所述感光区域02相对设置，在蒸镀时，用于阻挡蒸镀材料沉积在所述感光区域02；第二开口部902，所述第二开口部902与所述显示区域01相对设置，用于使所述蒸镀材料沉积在所述显示区域01，以形成阴极层1000。
可以理解的，由于所述显示面板00的尺寸是有限的，考虑到可操作性和节约蒸镀材料等方面，所述第二掩模版900还可以包括***遮挡部903，所述***遮挡部903围绕所述第二开口部902而设置，所述***遮挡部903和所述第二遮挡部901共同限定蒸镀的区域为所述显示区域01。
其中，所述第二遮挡部901的尺寸和形状可以根据上文中所述感光器件300的具体结构进行设置，在蒸镀时，所述蒸镀材料通过所述第二开口部902沉积在所述显示区域01，以形成所述阴极层1000，由于所述第二遮挡部901阻挡所述蒸镀材料在所述感光区域02沉积，所述阴极层1000具有一与所述感光区域02对应的开口1001，提高了所述感光器件300上方膜层的透光率。
需要注意的是，所述第二掩模版900用于在特定区域沉积蒸镀材料形成所述阴极层1000，故所述第二掩模版900的本质可以为精细金属掩模版，所述第二掩模版900的主材可以是金属、或金属和树脂的混合物，主要用于在OLED生产过程中沉积发光材料形成发光器件，以及沉积金属或者金属合金材料形成所述阴极层1000。
本申请还提供显示面板的制作方法，所述方法用于制作如上任一所述的显示面板。
在一实施例中，如图8所示，所述方法包括如下步骤。
S10，提供衬底。
其中，根据所述显示面板的类型可以设置不同的所述衬底。例如，当所述显示面板为柔性OLED显示面板时，所述衬底可以为塑料基底等柔性衬底，具体的，可以采具有较好的耐热性和稳定性的聚酰亚胺制作所述衬底，进一步的，可以采用聚合物和纳米无机的叠层结构作为所述衬底，以极大改善单纯使用聚合物材料制作所述衬底的水汽传输特性，并且能够保持所述衬底的柔性可弯曲特性。又例如，当所述显示面板为刚性OLED显示面板时，所述衬底可以为玻璃基底等刚性衬底。
S20，在所述衬底上形成阳极层，所述阳极层中与所述显示区域对应的部分包括层叠设置的第一透光层和反射层，所述阳极层中与所述感光区域对应的部分包括第二透光层。
其中，所述第一透光层和所述第二透光层可以同层设置，且至少保证所述第二透光层具有透光性，使得外界光线可以通过所述第二透光层进入至所述感光器件。进一步的，所述第一透光层和所述第二透光层的厚度可以相等，且两者的组成材料可以相同，例如所述第一透光层和所述第二透光层可以采用相同的材料同时形成于所述衬底上，以提高制作效率。
可以理解的，由于所述阳极层中与所述显示区域对应的部分包括层叠设置的第一透光层和反射层，所述阳极层中与所述感光区域对应的部分包括第二透光层，即所述阳极层中与所述显示区域对应的部分的厚度大于所述阳极层中与所述感光区域对应的部分的厚度，所述阳极层中与所述感光区域对应的部分的透光率大于与所述显示区域对应的部分的透光率。
在一实施例中，如图9所示，所述步骤S20可以包括如下步骤。
S201，在所述衬底上形成所述第一透光层和所述第二透光层，以及在所述第一透光层和所述第二透光层上依次形成反射膜、光阻层，其中所述第一透光层设于所述显示区域，所述第二透光层设于所述感光区域，所述反射膜和所述光阻层设于所述显示区域和所述感光区域。
其中，所述第一透光层和所述第二透光层通过采用相同的材料同时形成于所述衬底上，并且完全覆盖所述显示区域和所述感光区域具体的，可以通过沉积法在所述衬底或者在另外的膜层上整面形成透明导电膜作为所述第一透光层和所述第二透光层，所述透明导电膜可以为ITO(Indium Tin Oxide，氧化铟锡)薄膜或者掺铝氧化锌薄膜。
其中，所述反射膜的组成材料可以为导电的且反射能力较高的材料，以提高对外界光或者发光器件发出的光线的反射能力，提高显示面板的发光亮度，例如所述反射膜的组成材料可以为金属单质，所述金属单质可以为银单质，可以采用沉积法在所述第一透光层和所述第二透光层上形成所述反射膜。
其中，所述光阻层的组成材料可以为正型光阻剂或者负型光阻剂，所述正型光阻剂本身难溶于显影液，曝光后解离成小分子，形成容易溶于显影液的结构；所述负型光阻剂曝光后形成不容易溶于显影液的结构。具体的，可以采用涂布的方式在所述反射膜上形成所述光阻层，确保完全覆盖所述反射膜。
S202，采用第一掩模版对所述光阻层进行曝光，所述第一掩模版包括第一开口部和第一遮挡部，所述第一开口部与所述感光区域相对设置，用于曝光所述光阻层中位于所述感光区域中的部分，所述第一遮挡部与所述显示区域相对设置，用于遮挡所述光阻层中位于所述显示区域中的部分。
其中，所述第一掩模版针对所述光阻层的组成材料为正型光阻剂的情况。具体的，所述第一开口部的尺寸和形状可以根据上文中所述感光器件的具体结构进行设置，所述第一开口部用于使得曝光的光线照射到所述光阻层中位于所述感光区域中的部分；所述第一遮挡部为所述第一掩模版中除去所述第一开口部的部分，所述第一遮挡部用于阻止曝光的光线照射到所述光阻层中位于所述显示区域中的部分。
可以理解的，由于所述光阻层曝光后解离成小分子，形成容易溶于显影液的结构，即所述光阻层中位于所述感光区域中的部分被曝光后，形成了容易溶于显影液的结构。
S203，去除所述光阻层中位于所述感光区域中的部分，并保留所述光阻层中位于所述显示区域中的部分，以形成光阻图案。
其中，可以采用显影液处理经过曝光后的所述光阻层，所述显影液可以根据所述光阻层的具体材料进行选择。可以理解的，由于仅所述光阻层中位于所述感光区域中的部分经过曝光，因此，仅所述光阻层中位于所述感光区域中的部分会溶解于所述显影液而被去除，即所述光阻层中仅位于所述显示区域中的部分在经过显影后仍保留于所述反射膜上，构成所述光阻图案。
S204，去除所述反射膜中未被所述光阻图案覆盖的部分，并保留所述反射膜中被所述光阻图案覆盖的部分，以形成所述反射层。
其中，可以采用刻蚀液处理所述反射膜，所述刻蚀液用于溶解所述反射膜，例如当所述反射膜的组成材料为银单质时，可以采用磷酸、硝酸、醋酸的混酸作为所述刻蚀液。可以理解的，由于所述反射膜中位于所述感光区域的部分未被所述光阻图案，直接裸露在空气中，因此在刻蚀后会被去除，从而所述反射膜中仅保留了位于所述显示区域的部分，构成所述反射层。可以理解的，去除所述反射膜中未被所述光阻图案覆盖的部分后，还需要通过光阻剥离液浸泡所述光阻图案，以去除所述光阻图案，使得所述反射层裸露出来。
进一步的，形成所述反射层后，还可以在所述反射层和所述第二透光层上设置第三透光层。具体的，所述第三透光层的组成材料和形成方式也可以和所述第一透光层的组成材料和形成方式相同。
S30，在所述衬底远离所述阳极层的一侧设置感光器件，所述感光器件与所述感光区域对应。
其中，所述感光器件可以作为单独的器件进行工作，也可以集成于摄像头或者指纹识别器件中进行工作。
可以理解的，由于所述阳极层中的所述反射层仅设置在所述显示区域中，即所述感光区域中不包含反射率较高的所述反射层，且所述感光器件与所述感光区域对应设置，增加了进入到所述感光器件中的光量，提高了所述感光器件的工作性能。
在一实施例中，在所述步骤S30之前可以包括如下步骤。
S40，对所述衬底进行处理，以形成第一衬底和第二衬底，所述第一衬底的厚度小于所述第二衬底的厚度，所述第一衬底与所述感光区域对应，所述第二衬底与所述显示区域对应。
具体的，当所述衬底为柔性衬底时，可以先将所述柔性衬底形成于一刚性基底上，以维持所述柔性衬底的稳定；在所述柔性衬底上制备完所有相关的膜层结构以后，再去除所述刚性基底；然后在进行所述步骤S40，可以避免前期因所述衬底厚度不一致导致其上方膜层不均一。
其中，所述第一衬底可以为厚度均一的膜层或者所述第一衬底靠近所述感光器件一侧的表面可以为曲面，所述第一衬底的总体厚度可以根据所述感光器件的高度设置，所述第一衬底靠近所述感光器件一侧的表面形状可以根据所述感光器件的形状设置。进一步的，由于所述第二衬底不与所述感光器件相对设置，所述第二衬底的厚度可以等于进行所述步骤S40之前的所述衬底的厚度，即可以仅对所述衬底中与所述感光器件对应的区域进行处理形成所述第一衬底。
具体的，可以参考所述反射层的形成方式对所述衬底中靠近所述感光器件的一侧中与所述感光器件对应的目标区域进行刻蚀，以形成所述第一衬底，具体的，可以采用氢氧化钾和碳酸钾的混合溶液、水合肼或者六氟异丙醇等刻蚀液进行刻蚀。或者，可以采用物理打磨的方式对所述衬底中的所述目标区域进行打磨，以形成所述第一衬底。又或者，可以采用离子辐射方法对所述衬底中的所述目标区域进行辐射，以形成所述第一衬底，具体的，可以在有氧参与的重离子的作用下，对所述目标区域进行离子辐照，当离子辐照的强度达到一定范围时，所述目标区域中的部分材料会发生一定的氧化裂解，酰亚胺环和苯环都会受到破坏，产生一些过氧化物和羧酸等，所述目标区域中的部分材料会变脆，强度变差，最终被破坏，以实现变薄的目标。
本申请提供了显示面板及其制作方法、掩模版组，所述显示面板包括显示区域和感光区域，阳极层中与所述显示区域对应的部分包括层叠设置的第一透光层和反射层，所述阳极层中与所述感光区域对应的部分包括第二透光层，感光器件设于衬底远离所述阳极层的一侧中所述感光区域对应的区域。该方案中将阳极层中与感光器件对应区域仅设置第二透光层，而省去反射层，使得显示面板中感光器件上方的膜层的透光率较高，提高了显示面板中感光器件的工作性能。
以上对本申请实施例所提供的显示面板和掩模版组的结构以及显示面板的制作方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括显示区域和感光区域，所述显示面板包括：
衬底；
阳极层，所述阳极层设于所述衬底的一侧，所述阳极层中与所述显示区域对应的部分包括层叠设置的第一透光层和反射层，所述阳极层中与所述感光区域对应的部分包括第二透光层；
感光器件，所述感光器件设于所述衬底远离所述阳极层的一侧，所述感光器件设于所述感光区域。
2.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述衬底包括：
第一衬底，所述第一衬底设于所述感光区域；
第二衬底，所述第二衬底设于所述显示区域，所述第一衬底的厚度小于所述第二衬底的厚度。
3.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：
薄膜晶体管层，所述薄膜晶体管层设于所述阳极层靠近所述衬底的一侧，所述薄膜晶体管层包括多个薄膜晶体管，所述多个薄膜晶体管设于所述显示区域。
4.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：
阴极层，所述阴极层设于所述阳极层远离所述衬底的一侧，所述阴极层设于所述显示区域。
5.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，当所述第一透光层和所述第二透光层同层设置时，所述阳极层还包括：
第三透光层，所述第三透光层设于所述第二透光层和所述反射层远离所述感光器件的一侧。
6.一种掩模版组，其特征在于，所述掩模版组用于制作如权利要求1-5任一所述的显示面板，所述显示面板包括显示区域和感光区域，所述掩模版组包括第一掩模版，用于处理与所述显示区域和所述感光区域对应的光阻层，所述第一掩模版包括：
第一开口部，所述第一开口部与所述感光区域相对设置，用于曝光所述光阻层中位于所述感光区域中的部分；
第一遮挡部，所述第一遮挡部与所述显示区域相对设置，所述光阻层位于反射膜上方，所述第一遮挡部用于遮挡所述光阻层中位于所述显示区域中的部分，进而保留所述光阻层中位于所述显示区域中的部分，进而保留所述反射膜中位于所述显示区域中的部分以形成反射层。
7.如权利要求6所述的掩模版组，其特征在于，所述掩模版组还包括第二掩模版，所述第二掩模版包括：
第二遮挡部，所述第二遮挡部与所述感光区域相对设置，在蒸镀时，用于阻挡蒸镀材料沉积在所述感光区域；
第二开口部，所述第二开口部与所述显示区域相对设置，用于使所述蒸镀材料沉积在所述显示区域，以形成阴极层。
8.一种显示面板的制作方法，其特征在于，所述方法用于制作如权利要求1-5任一所述的显示面板，所述显示面板包括显示区域和感光区域，所述方法包括：
提供衬底；
在所述衬底上形成阳极层，所述阳极层中与所述显示区域对应的部分包括层叠设置的第一透光层和反射层，所述阳极层中与所述感光区域对应的部分包括第二透光层；
在所述衬底远离所述阳极层的一侧设置感光器件，所述感光器件与所述感光区域对应。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述在所述衬底上形成阳极层，所述阳极层中与所述显示区域对应的部分包括层叠设置的第一透光层和反射层，所述阳极层中与所述感光区域对应的部分包括第二透光层的步骤，包括：
在所述衬底上形成所述第一透光层和所述第二透光层，以及在所述第一透光层和所述第二透光层上依次形成反射膜、光阻层，其中所述第一透光层设于所述显示区域，所述第二透光层设于所述感光区域，所述反射膜和所述光阻层设于所述显示区域和所述感光区域；
采用第一掩模版对所述光阻层进行曝光，所述第一掩模版包括第一开口部和第一遮挡部，所述第一开口部与所述感光区域相对设置，用于曝光所述光阻层中位于所述感光区域中的部分，所述第一遮挡部与所述显示区域相对设置，用于遮挡所述光阻层中位于所述显示区域中的部分；
去除所述光阻层中位于所述感光区域中的部分，并保留所述光阻层中位于所述显示区域中的部分，以形成光阻图案；
去除所述反射膜中未被所述光阻图案覆盖的部分，并保留所述反射膜中被所述光阻图案覆盖的部分，以形成所述反射层。
10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述在所述衬底远离所述阳极层的一侧设置感光器件的步骤之前，包括：
对所述衬底进行处理，以形成第一衬底和第二衬底，所述第一衬底的厚度小于所述第二衬底的厚度，所述第一衬底与所述感光区域对应，所述第二衬底与所述显示区域对应。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010393167.4A CN111584566A (zh) | 2020-05-11 | 2020-05-11 | 显示面板及其制作方法、掩模版组 |
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