CN111438356B - 一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法，该制备方法包括：提供钛粉和铝粉；将所述钛粉和铝粉混合均匀；将混合均匀的粉末装填进入包套；对装满粉末的包套进行除气；将除气完成的包套进行热等静压处理，在高温高压下，粉末在包套内部致密并形成锭坯；将锭坯进行机械加工制成钛铝靶材。制备得到的钛铝靶材有以下优点：(1)靶材材质和密度分布均匀，且致密度高、无气孔；(2)由于没有脆性金属间化合物的生成，靶材机加工性能良好，可实现复杂形状靶材的加工；(3)本发明所提供的钛铝靶材制备方法，可实现熔炼法无法实现的高铝含量的钛铝靶材的生产；(4)相对于热压方法和熔炼方法，可实现大尺寸钛铝靶材的生产。

Description

一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法
技术领域
本发明涉及粉末冶金技术领域，尤其涉及一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法。
背景技术
伴随着物理气相沉积技术的发展与成熟，薄膜及涂层在现代工业中的应用越来越广泛。钛铝靶材通过物理气相沉积技术在工件表面制备氮化物硬质涂层，这种硬质涂层具有高硬度、化学性质稳定、耐高温等特点，从而起到耐磨、防腐、抗氧化等目的，尤其在模具、工具、机械等领域具有广泛的应用。另外，随着现代装饰行业的迅速发展，对装饰材料的颜色及耐磨防腐的要求也越来越高，利用物理气相沉积技术，选用不同原子配比的钛铝靶材，通调整溅射工艺(包括气氛、偏压、温度等阐述)可在工件表面制备出黄色、黑色、玫瑰色等不同颜色的涂层，用于满足对装饰色彩的要求；同时，这种涂层又具有耐磨防腐的功效。
目前钛铝靶材的制作方法主要有粉末冶金和真空熔炼两种方法。中国发明专利ZL200910043144.4公开了一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺，中国发明专利ZL201711034130.7公开了一种钛铝合金靶材的制备方法，以上专利均属于采用热压工艺(粉末冶金法)制备钛铝靶材。该方法通过高温下压头施加的压力将材料密实而形成靶材。采用热压工艺存在如下问题：(1)有时需要加入成型剂，这些成型剂很难在后续脱剂工艺中完全去除，这将会引起靶材的污染，最终影响涂层质量。(2)上述专利均选用较高温度进行热压，导致在靶材内部生成硬且脆的金属间化合物，给后续的机械加工带来很多麻烦，甚至会在加工中崩裂，无法生产带有孔和螺纹等复杂形状的靶材。(3)生产厚度大于30毫米以上的靶材时容易引起靶材沿厚度方向密度的差异，当溅射工艺参数确定后，这种密度的差异将引起涂层厚度的变化，最终导致涂层性能的变化。
中国发明专利ZL 201310088019.1公开了一种钛铝合金靶材的生产方法，该方法是采用热等静压工艺(粉末冶金法)制备钛铝靶材，该方法具体工艺为：首先将钛粉铝粉混合，然后对混合均匀的粉末进行冷等静压形成冷压坯料，并通过自蔓延反应将冷压坯料制备成泡沫状钛铝合金，再将泡沫钛铝合金粉碎成一定粒度的粉末，将粉末装入包套，对装满粉末的包套除气并封焊，对封焊完成的包套进行热等静压处理而制备成靶材锭坯，机加工制成靶材。
用冷等静压或其它预压方式确实可以提高包套的装填密度，但是同时带来了其它不良影响：一、增加了生产工序，增加生产成本；二、采用冷等静压需要用到液体介质，这将增加材料被污染的机会；三、采用模压时，较大高度的坯料无法实现，而且容易造成靠近压头的位置粉末致密度大，而远离压头的位置粉末致密度小，热等静压后造成坯料两头尺寸大，而中间尺寸小。
发明内容
鉴于目前钛铝靶材制备中存在的技术问题，本发明提供了一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法，通过本方法制备的钛铝靶材有以下优点：
(1)靶材材质和密度分布均匀，且致密度高、无气孔；
(2)由于没有脆性金属间化合物的生成，靶材机加工性能良好，可实现复杂形状靶材的加工；
(3)本发明所提供的钛铝靶材制造方法，可实现熔炼法无法实现的高铝含量的钛铝靶材的生产；
(4)相对于热压方法和熔炼方法，可实现大尺寸钛铝靶材(长度达2000毫米)的生产；
(5)无需经过冷等静压或其它预压方式，使材料更加纯净，坯料更加均匀，节约成本。
本发明提供的制备钛铝靶材的步骤如下：
步骤(1)，将钛粉、铝粉混合均匀；其中钛粉的粒度为-300目～+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目～+500目，纯度99.6％，铝粉的原子百分比大于等于5％且小于100％；
步骤(2)，将混合均匀的粉末装入包套；
步骤(3)，将装有粉末的包套进行高温除气；除气结束后，将除气管封焊；封焊前应将先除气管砸扁，然后剪断封焊。
步骤(4)，将封焊完成的包套进行热等静压；所述的热等静压保温温度为400～479℃，保温压力为120～150MPa，保温时间2～5h。
步骤(5)，将热等静压完成的包套进行机械加工而制成钛铝靶材。
优选的，所述步骤(1)中所述铝粉原子百分比为40～70％，其余为钛粉。
优选的，步骤(1)中所述混合粉末选用三维混料机或V字型混料机进行混合，混合时加入一定量的直径10～20mm不锈钢球。
优选的，步骤(2)所述的包套材料选用纯铝或铝合金，包套厚度为2～5mm。
优选的，步骤(3)说述的包套除气温度为200～500℃，真空度小于5×10-3Pa方可封焊除气管。
优选的，步骤(3)所述的除气管封焊，封焊前应将先除气管砸扁，然后剪断封焊。
优选的，步骤(4)所述的热等静压保温温度为470℃。
机械加工，可实现熔炼法无法制备的高铝含量靶材的生产。
钛的密度为4.5g/cm3，而铝的密度为2.7g/cm3；当选择钛粉(-300目，+500目)和铝粉(-200目，+500目)有利于粉末的混合均匀；此粒度的钛粉和铝粉混合有助于在装填过程中避免宏观偏析的产生。
封焊时需要先将脱气管剪断，如果直接将脱气管剪断，则空气会迅速进入已经脱气完成的包套；如果将脱气管砸扁，则在砸扁位置剪断脱气管，则阻断了外部空气的进入，保持了包套内部的真空度。
当温度高于510℃时，发生铝热反应，热等静压腔室无法控制，温度会急剧升高，会发生钛铝之间的铝热反应并烧化铝包套皮。
在混料时加入一定量10～20mm的不锈钢球，用以保证钛粉和铝粉混合均匀，而且由于不锈钢球的撞击作用使粉末产生咬合，在装粉过程中避免了偏析的发生。
本发明的有益效果是：
1、本发明选用直接装粉的方式减少了冷等静压或其它预压方式，缩短了生产工序、降低了生产升本、材料不会被污染、可实现较大高度的坯料的加工、坯料两头和中间尺寸均匀；
2、选用合适的粉末粒度以及混料时加入混料球的生产工艺，保证了粉末的均匀性，避免了偏析的产生；
3、选用了低的热等静压温度，使靶材内部无脆性金属间化合物的生成，从而靶材机加工性能良好，可实现复杂形状靶材的加工；
4、封焊前先将除气管砸扁，保证了包套内的真空度，使钛铝靶材元素分布均匀、靶材密度高。
附图说明
图1为本发明实施例1所制备的TiAl(33/67at％)靶材的背散射照片；
图2为本发明实施例2所制备的TiAl(50/50at％)靶材的背散射照片；
图3为本发明中原始粉末与实施例中钛铝靶材的XRD图谱；其中：(1)Ti粉；(2)Al粉；(3)460℃～470℃热等静压Ti33Al67at％靶材；(4)480℃热等静压Ti33Al67at％靶材；
图4a～图4c为本发明实施例中热等静压温度对包套及锭坯可加工性的影响；其中：
图4(a)460～470℃热等静压钛铝锭坯；
图4(b)460～470℃热等静压钛铝成品；
图4(c)480℃热等静压钛铝锭坯。
具体实施方式
下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
实施例1
步骤(1)，称量重量比为46.65份钛粉和53.35份铝粉(对应于原子百分比TiAl33/67at％)，钛粉和铝粉放入V字型混料机中进行混料，其中钛粉的粒度为-300目，+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目，+500目，纯度99.6％。
步骤(2)，将步骤(1)混合均匀的粉末装入3毫米厚度的铝包套。
步骤(3)，将步骤(2)装满粉末的包套放入井式电阻炉中，进行除气；除气温度为350℃，真空度达到2×10-3Pa后再保温10小时；除气完成后，将包套脱气管砸扁并剪断，快速用氩弧焊封焊。
步骤(4)，将步骤(3)脱气完成的包套进行热等静压，热等静压保温温度为460～470℃，保温压力大于120MPa，保温保压时间为4h。
步骤(5)，将步骤(4)热等静压完的包套进行铣皮、线切割、平磨等机械加工工序而制成成品靶材。
图1为实施例1所制备的TiAl(33/67at％)靶材的显背散射照片，图中，白色的部分为钛，黑色的部分为铝，钛和铝的分布均匀，靶材由钛和铝的简单混合组成，无金属间化合物的生成。
实施例2
步骤(1)，称量重量比为63.95份钛粉和36.05份铝粉(对应于原子百分比TiAl50/50at％)，钛粉和铝粉放入V字型混料机中进行混料，其中钛粉的粒度为-300目，+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目，+500目，纯度99.6％。
步骤(2)，将步骤(1)混合均匀的粉末装入3毫米厚度的铝包套。
步骤(3)，将步骤(2)装满粉末的包套放入井式电阻炉中，进行除气；除气温度为350℃，真空度达到2×10-3Pa后再保温12小时；除气完成后，将包套脱气管砸扁并剪断，快速用氩弧焊封焊。
步骤(4)，将步骤(3)脱气完成的包套进行热等静压，热等静压保温温度为460～470℃，保温压力大于120MPa，保温保压时间为4h。
步骤(5)，将步骤(4)热等静压完的包套进行铣皮、线切割、平磨等机械加工工序而制成成品靶材。
图2为实施例2所制备的TiAl(50/50at％)靶材的显背散射照片，图中，白色的部分为钛，黑色的部分为铝，钛和铝的分布均匀，靶材由钛和铝的简单混合组成，无金属间化合物的生成；相对于图1，由于钛含量的增加，所以白色部分占有面积增加。
实施例3
步骤(1)，称量重量比为46.65份钛粉和53.35份铝粉(对应于原子百分比TiAl33/67at％)，钛粉和铝粉放入V字型混料机中进行混料，其中钛粉的粒度为-300目，+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目，+500目，纯度99.6％。
步骤(2)，将步骤(1)混合均匀的粉末装入3毫米厚度的铝包套。
步骤(3)，将步骤(2)装满粉末的包套放入井式电阻炉中，进行除气；除气温度为350℃，真空度达到2×10-3Pa后再保温10小时；除气完成后，将包套脱气管砸扁并剪断，快速用氩弧焊封焊。
步骤(4)，将步骤(3)脱气完成的包套进行热等静压，热等静压保温温度为400℃，保温压力大于120MPa，保温保压时间为4h。
步骤(5)，将步骤(4)热等静压完的包套进行铣皮、线切割、平磨等机械加工工序而制成成品靶材。
实施例4
步骤(1)，称量重量比为46.65份钛粉和53.35份铝粉(对应于原子百分比TiAl33/67at％)，钛粉和铝粉放入V字型混料机中进行混料，其中钛粉的粒度为-300目，+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目，+500目，纯度99.6％。
步骤(2)，将步骤(1)混合均匀的粉末装入3毫米厚度的铝包套。
步骤(3)，将步骤(2)装满粉末的包套放入井式电阻炉中，进行除气；除气温度为350℃，真空度达到2×10-3Pa后再保温12小时；除气完成后，将包套脱气管砸扁并剪断，快速用氩弧焊封焊。
步骤(4)，将步骤(3)脱气完成的包套进行热等静压，热等静压保温温度为480℃，保温压力大于120MPa，保温保压时间为4h。
钛铝粉末在热等静压过程中发生自蔓延反应，生成脆性的金属间化合物，导致锭坯已经无法加工，见图4(c)。
在本发明中，分别测量了不同材质、不同热等静压温度所制备的靶材密度，如表1所示：
表1：
实施例 热等静压工艺 材质 理论密度(g/cm<sup>3</sup>) 实测密度(g/cm<sup>3</sup>)
实施例1 460～470℃、120MPa、4h TiAl33/67at％ 3.32 3.32
实施例2 460～470℃、120MPa、4h TiAl50/50at％ 3.63 3.63
实施例3 400℃、120MPa、4h TiAl33/67at％ 3.32 3.02
由实施例所测量的密度发现，当热等静压温度降低时，锭坯密度会降低；例如实施例3中，当在400℃进行热等静压时，实测锭坯密度只达到理论密度的91％。
在本发明中，还分别检测了Ti粉、Al粉、460～470℃热等静压Ti33Al67at％靶材(实施例1)以及480℃热等静压Ti33Al67at％靶材(实施例4)的XRD图谱。
结果如图3所示，当选用460～470℃对包套进行热等静压，钛铝靶材为钛粉和铝粉的简单混合物，并没有发生元素扩散而生成钛铝金属间化合物；当选用480℃对包套进行热等静压，由于发生了铝热反应而生成了Al2Ti、Al3Ti和AlTi3钛铝金属间化合物。
此外，本发明还分析了不同热等静压温度对包套及锭坯可加工性的影响，结果如图4(a)～图4(c)所示。
对比图4(a)和图4(c)可知：当热等静压温度为460～470℃时(实施例1和实施例2)，包套收缩均匀，包套外皮完整，锭坯可加工性良好；当热等静压温度为480℃时(实施例4)，由于发生了铝热反应，迅速且大量的放热导致铝制包套外皮熔化，而且由于脆性金属间化合物的生成，锭坯可加工性能大大降低，锭坯***变脆，无法加工成所需形状。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将钛粉、铝粉混合均匀；其中钛粉的粒度为-300目～+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目～+500目，纯度99.6％；铝粉原子百分比为40～70％，其余为钛粉；
(2)将步骤(1)所述混合均匀的粉末装入包套；
(3)将步骤(2)所述装满粉末的包套进行高温除气，除气完成后对包套进行封焊；封焊前应先将除气管砸扁，然后剪断封焊；
(4)将步骤(3)所述脱气完成的包套进行热等静压处理；所述的热等静压保温温度为400～479℃，保温压力为120～150MPa，保温时间2～5h；
(5)将步骤(4)所述热等静压完成后形成的锭坯进行机械加工制备成钛铝靶材。
2.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：钛粉和铝粉的混合选用三维混料机或V字型混料机进行混合，混合时加入一定量的直径10～20mm不锈钢球。
3.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：步骤(2)所述的包套材质选自普通碳钢、不锈钢、铝、铝合金、铜或铜合金的一种。
4.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：步骤(3)所述的包套除气温度为200～500℃，真空度小于5×10-3Pa。
5.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：步骤(4)所述的热等静压保温温度为470℃。
6.一种用于物理气相沉积的钛铝靶材，采用上述权利要求1-5任一项所述的制备方法制备。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113981388B (zh) * 2021-10-25 2022-10-28 北京安泰六九新材料科技有限公司 一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法
CN116804265B (zh) * 2023-07-21 2024-01-30 苏州六九新材料科技有限公司 一种CrAlCuFe合金靶材及其制备方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003301264A (ja) * 2002-04-11 2003-10-24 Hitachi Metals Ltd 切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲット材およびその製造方法ならびに皮膜コーティング方法
CN101214546A (zh) * 2007-12-26 2008-07-09 安泰科技股份有限公司 一种钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法
CN102352483A (zh) * 2011-11-15 2012-02-15 江苏美特林科特殊合金有限公司 一种真空溅射镀膜用硅铝合金中空旋转靶材的制备方法
CN105328193A (zh) * 2014-08-12 2016-02-17 有研亿金新材料有限公司 一种粉末冶金靶材及其制造方法
CN105478756A (zh) * 2014-09-17 2016-04-13 宁波江丰电子材料股份有限公司 Ti-Al合金的成型方法
EP3323902A1 (de) * 2016-11-22 2018-05-23 Deutsche Edelstahlwerke GmbH Pulvermetallurgisch hergestellter, hartstoffpartikel enthaltender stahlwerkstoff, verfahren zur herstellung eines bauteils aus einem solchen stahlwerkstoff und aus dem stahlwerkstoff hergestelltes bauteil
CN109072419A (zh) * 2016-05-25 2018-12-21 山阳特殊制钢株式会社 溅射靶材
CN110257687A (zh) * 2019-05-31 2019-09-20 河北宏靶科技有限公司 一种含有稀土元素的合金靶材及其制备方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070196563A1 (en) * 2004-11-18 2007-08-23 Yi Wuwen Three-dimensional pvd targets, and methods of forming three-dimensional pvd targets
JP2010095770A (ja) * 2008-10-17 2010-04-30 Hitachi Metals Ltd Ｔｉ−Ａｌ系合金ターゲット及びその製造方法
CN101524754B (zh) * 2009-04-17 2010-10-13 中南大学 一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺
CN103071791B (zh) * 2013-01-18 2015-02-11 航天材料及工艺研究所 一种大长径比TiAl管靶材成形方法
CN103205721B (zh) * 2013-03-19 2015-10-28 昆山海普电子材料有限公司 一种钛铝合金靶材的生产方法
CN104416157B (zh) * 2013-09-11 2019-03-19 安泰科技股份有限公司 钛铝硅合金靶材的制备方法
CN104419846B (zh) * 2013-09-11 2017-09-12 安泰科技股份有限公司 钛铝锆合金靶材及其制备方法
CN109811288A (zh) * 2019-01-23 2019-05-28 上海航天精密机械研究所 快速制备TiAl合金板材的方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003301264A (ja) * 2002-04-11 2003-10-24 Hitachi Metals Ltd 切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲット材およびその製造方法ならびに皮膜コーティング方法
CN101214546A (zh) * 2007-12-26 2008-07-09 安泰科技股份有限公司 一种钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法
CN102352483A (zh) * 2011-11-15 2012-02-15 江苏美特林科特殊合金有限公司 一种真空溅射镀膜用硅铝合金中空旋转靶材的制备方法
CN105328193A (zh) * 2014-08-12 2016-02-17 有研亿金新材料有限公司 一种粉末冶金靶材及其制造方法
CN105478756A (zh) * 2014-09-17 2016-04-13 宁波江丰电子材料股份有限公司 Ti-Al合金的成型方法
CN109072419A (zh) * 2016-05-25 2018-12-21 山阳特殊制钢株式会社 溅射靶材
EP3323902A1 (de) * 2016-11-22 2018-05-23 Deutsche Edelstahlwerke GmbH Pulvermetallurgisch hergestellter, hartstoffpartikel enthaltender stahlwerkstoff, verfahren zur herstellung eines bauteils aus einem solchen stahlwerkstoff und aus dem stahlwerkstoff hergestelltes bauteil
CN110257687A (zh) * 2019-05-31 2019-09-20 河北宏靶科技有限公司 一种含有稀土元素的合金靶材及其制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
钛铝合金溅射镀膜靶材的研究进展;陈希;《湖南有色金属》;20120131;51-53 *

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