CN111298542A - 气体循环器以及层叠加工装置 - Google Patents

Abstract

本发明作为包括安装在腔室部的下部的气体流入部、安装在腔室部的上部的气体排放部、连接气体流入部以及气体排放部的气体循环部、设置在气体流入部以及气体排放部中的至少一个的送风部、设置在气体流入部以及气体排放部中的至少一个的过滤器部的气体循环器以及具备该气体循环器的层叠加工装置，提出了能够防止烟气堆积的气体循环器以及具备该气体循环器的层叠加工装置。

Description

气体循环器以及层叠加工装置

技术领域

本发明涉及气体循环器以及层叠加工装置，更详细地说涉及能够防止烟气(Fume)堆积的气体循环器以及具备该气体循环器的层叠加工装置。

背景技术

SLS(Selective Laser Sintering,选择性激光烧结)方式的3D(3-Dimensio n,三维)打印机(以下，简称为3D打印机)是从下向上层层堆积粉末层的同时利用激光束将粉末层选择性烧结成三维结构物的剖面形状来制作三维结构物的装置。利用3D打印机，可轻易制作用现有的机械性加工难以制造的复杂形状的精密零部件。

通常的3D打印机包括：形成多个气缸室的粉末床；分别安装在多个气缸室的活塞台；在多个气缸室之间输送粉末的刮片；放射激光束的激光源；以及引导激光束路径的扫描仪。其中，多个气缸室包括粉末层叠加工(additive manufacturing)的加工室以及向上部排放粉末的供应室。

若供应室的活塞台上升，则供应室内的粉末向供应室的上部排放。粉末被刮片输送到加工室内，且在加工室的活塞台上以固定厚度被层叠。此时，加工室的活塞台下降。然后，从激光源发射的激光束通过扫描仪照射于加工室内。此时，加工室内的粉末层被烧结成所希望的三维结构物的剖面形状。反复执行这种过程，进而在加工室的活塞台上制作三维结构物。

粉末床的上部由腔室保护，而在腔室填充氩气。氩气在粉末以所希望的形状的三维结构物层叠加工的期间，防止粉末的氧化以及***。

另一方面，在选择性烧结粉末层的期间，发生大量的烟气。据此，存在大量的烟气堆积在腔室内部的问题。

本发明的背景技术记载于以下的专利文献。

(现有技术文献)

(专利文献)

(专利文献1)KR10-2016-0065441 A

(专利文献2)KR10-2018-0076951 A

发明内容

(要解决的问题)

本发明提供可防止烟气堆积的气体循环器以及层叠加工装置。

本发明提供能够保持气体清洁的气体循环器以及层叠加工装置。

(解决问题的手段)

根据本发明的实施形态的气体循环器包括：气体流入部，安装在内部形成有处理空间的腔室部的下部；气体排放部，安装在所述腔室部的上部；气体循环部，在所述腔室部的外侧连接所述气体流入部以及所述气体排放部；送风部，设置在所述气体流入部以及所述气体排放部中的至少一个；过滤器部，设置在所述气体流入部以及所述气体排放部中的至少一个。

所述气体流入部以及所述气体排放部向水平方向延伸，所述气体循环部以上下方向延伸，且所述送风部以及过滤器部可设置成为贯通所述气体流入部以及所述气体排放部。

所述送风部包括设置在所述气体流入部的第一送风部件以及设置在所述气体排放部的第二送风部件，且所述过滤器部可包括设置在所述气体流入部的第一过滤器部件以及设置在所述气体排放部的第二过滤器部件。

所述第一送风部件可形成从所述腔室部向所述气体循环部的方向的气体流动，且所述第二送风部件可形成从所述气体循环部向所述腔室部的方向的气流。

所述气体循环器可由所述腔室部、所述气体流入部、所述气体循环部以及所述气体排放部形成气体的循环流动，且在所述第一送风部件的前方配置所述第一过滤器部件，并且在所述第二送风部件的后方可配置所述第二过滤器部件。

所述气体循环器可包括冷却部，所述冷却部向所述气体循环部的内部延伸，并且具有冷却通道。

所述气体循环器可包括：电源供应部，连接于所述第一送风部件以及所述第二送风部件；监测部，连接于所述电源供应部，并且感应所述电源供应部的负荷变化，预测所述第一过滤器部件以及所述第二过滤器部件的替换时期。

所述气体循环器可包括：闸门部，间隔于所述第一过滤器部件的前方，并设置在所述气体循环部的内部；粉尘排放部，在所述闸门部与所述第一过滤器部件之间以贯通所述气体循环部的下部进行安装；振动部，贯通所述气体循环部的上部，并且连接于所述第一过滤器部件；控制部，连接于所述闸门部以及所述振动部，周期性地关闭所述闸门部，启动所述振动部，将附着于所述第一过滤器部件的粉尘向所述粉尘排放部排放。

根据本发明的实施形态的层叠加工装置包括：腔室部，在内部形成有处理空间；床部，形成所述腔室部的底面；活塞部，以上下方向贯通所述床部，并且上部装载有粉末；激光束生成部，设置在所述腔室部上部，并且以朝向所述活塞部的方向将激光束照射于所述腔室部内部；气体循环器，形成在所述腔室部内以循环气体。

通过所述气体循环器可形成连接所述腔室部的内部以及所述气体循环器内部的气体循环通道。

所述气体循环器在内部可具有至少一个送风部以及过滤器部。

所述气体循环器可包括：气体流入部，安装在所述腔室部的下部；气体排放部，安装在所述腔室部的上部；气体循环部，在所述腔室部外部连接所述气体流入部以及所述气体排放部，且所述送风部以及所述过滤器部分别设置在所述气体流入部以及所述气体排放部。

所述送风部包括设置在所述气体流入部的第一送风部件以及设置在所述气体排放部的第二送风部件，所述过滤器部包括设置在所述气体流入部的第一过滤器部件以及设置在所述气体排放部的第二过滤器部件，且所述第一送风部件、所述第二送风部件、所述第一过滤器部件以及所述第二过滤器部件以横跨所述气体流入部以及所述气体排放部的方向滑动地设置，并且可替换。

所述第一送风部件以及所述第二送风部件以所述腔室部的下部、所述气体流入部、所述气体循环部、所述气体排放部以及所述腔室部的上部的顺序形成气体的循环流动，在所述第一过滤器部件的后方设置所述第一送风部件，且在所述第二过滤器部件的前方可设置所述第二送风部件。

所述气体循环器可包括：冷却部，向所述气体循环部的内部延伸，并且具有冷却通道；电源供应部，连接于所述送风部；冷却控制部，感应所述电源供应部的负荷变化，以调节向所述冷却通道供应的制冷剂的流量。

(发明的效果)

根据本发明的实施形态，形成经过气体循环器以循环于腔室部的下部与上部的气体循环流动，进而可防止烟气集中在腔室部下部。

另外，根据本发明的实施形态，气体循环器可具有过滤器部。然后，使气体通过过滤器部，进而从循环腔室部的下部与上部的气体中清除烟气，进而可防止烟气堆积在腔室部内部。

据此，气体循环器可保持气体清洁。从而，稳定地运行层叠加工装置，并且可精确地制造三维结构物。

附图说明

图1是根据本发明的实施例的层叠加工装置的主视图。

图2是根据本发明的实施例的层叠加工装置的侧视图。

图3是根据本发明的实施例的气体循环器的概略图。

图4是根据本发明的变形示例的气体循环器的部分放大图。

(附图标记说明)

100：床部 200：活塞部

600：腔室部 810：气体流入部

820：气体排放部 830：气体循环部

P：粉末 f：烟气

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的实施例。然而，本发明不限于在以下公开的实施例，而是可实现相互不同的各种形态。本发明的实施例只是使本发明的公开更加完整，并且是为了将发明的范畴告知该技术领域的技术人员而提供的。为了说明本发明的实施例，可夸张示出附图，附图上的相同的附图标记是指相同构成要素。

根据本发明的实施例的气体循环器以及层叠加工装置可适用于3D打印机。具体地说，根据本发明的实施例的层叠加工装置可以是一种3D打印机，气体循环器可以是设置在3D打印机的气体循环器。

根据本发明实施例的气体循环器以及具备该气体循环器的层叠加工装置提出了能够防止烟气堆积的技术特征。

以下，以3D打印机为基准详细说明本发明的实施例的气体循环器以及层叠加工装置。

图1是根据本发明的实施例的层叠加工装置的主视图。图2是根据本发明的实施例的层叠加工装置的侧视图。图3是根据本发明的实施例的气体循环器的概略图。

参照图1至图3，根据本发明的实施例的气体循环器作为设置在层叠加工装置以循环腔室部内气体的气体循环器，包括：气体流入部810，安装在内部形成有处理空间的腔室部600的下部D1；气体排放部820，安装在腔室部600的上部D2；气体循环部830，配置在腔室部600的外侧，并且连接气体流入部810与气体排放部820；送风部840，设置在气体流入部810与气体排放部820中的至少一个；过滤器部850，设置在气体流入部810与气体排放部820中的至少一个。

所述气体流入部810能够向水平方向延伸。气体流入部810内部可具有气体通道。气体流入部810可以称为气体流入管道。气体流入部810可与腔室部600的下部D1连通。另一方向，气体流入部810可由单一管道形成，且多个管道以水平方向可结合形成气体流入部810。

气体流入部810可从腔室部600的下部D1导入气体。导入于气体流入部810的气体经过气体循环部830与气体排放部820向腔室部600的上部D2排放。

气体循环部830可向上下方向延伸。气体循环部830配置在腔室部600的外侧，并可连接气体流入部810与气体排放部820。气体循环部830可称为气体循环管道。

气体排放部820可向水平方向延伸。气体排放部820内部可具有气体通道。气体排放部820可称为气体排放管道。气体排放部820可与腔室部600的上部D2连通。另一方面，气体排放部820可由单一管道形成，并且可多个管道以水平方向结合形成气体排放部820。

从气体排放部820向腔室部600的上部D2排放的气体向腔室部600的下部D1移动可流入气体流入部810。

由腔室部600、气体流入部810、气体循环部830以及气体排放部820可形成气体的循环流动C。

为了形成上述的气体的循环流动C，可在气体流入部810以及气体排放部820中的至少一个设置送风部840。

送风部840都可设置在气体流入部810以及气体排放部820。送风部840可贯通气体流入部810以及气体排放部820设置。送风部840可包括设置在气体流入部810的第一送风部件841以及设置在气体排放部820的第二送风部件842。

第一送风部件841可从腔室部600朝向气体循环部830的方向形成气体流动。另外，第二送风部件842可从气体循环部830朝向腔室部600的方向形成气体流动。

第二送风部件842重叠于气体的循环流动C，并且贯通气体排放部820，并且可包括可拆卸的长条部件842a、以长条部件842a的长度方向排列的送风工具842b。送风工具842b可以是风扇、鼓风机和气动马达等各种各样的工具。例如，送风工具842b可使气体以每分钟数千升的流量流动。第一送风部件841的结构可与第二送风部件842相同。另一方面，第二送风部件842的结构不限于上述的。第二送风部件842可具有各种结构。

另一方面，在腔室部600的内部可产生异物，诸如烟气f。尤其是，烟气f主要生成在腔室部600的下部D1。这种烟气f可沿着气体的循环流动C流动，可对在腔室部600的内部执行的处理工艺(例如，三维结构物的制造工艺)产生不好的影响。

据此，为了清除流入于上述的气体的循环流动C的烟气f，在气体流入部810以及气体排放部820中的至少一个可设置过滤器部850。

具体地说，过滤器部850可设置在气体流入部810以及气体排放部820。过滤器部850可设置为贯通气体流入部810以及气体排放部820。过滤器部850可包括设置在气体流入部810的第一过滤器部件851以及设置在气体排放部820的第二过滤器部件852。即，可双重设置过滤器部850。

此时，以气体的流动为基准，在第一送风部件841的前方可配置第一过滤器部件851，在第二送风部件842的后方可配置第二过滤器部件852。在此，前方是指气体先通过的位置，而后方是指气体稍后通过的位置。

即，向气体流入部810导入的气体通过前方的第一过滤器部件851之后可通过后方的第一送风部件841，从气体排放部820排放的气体通气前方的第二过滤器部件852之后可通过后方的第二送风部件842。

第二过滤器部件852重叠于气体的循环流动C，可包括可拆卸地设置在气体排放部820的条形状的过滤器外壳852a以及安装在过滤器外壳852a的过滤器852b。过滤器852b可包括捕集烟气f并且可从气体清除该烟气f的各种干式过滤器。第一过滤器部件851的结构可与第二过滤器部件852相同。另一方面，第二过滤器部件852的结构不特别限于上述的。第二过滤器部件852可具有各种结构。

根据本发明的实施例的气体循环器还可包括冷却部860，冷却部860可冷却沿着气体的循环流动C流动的气体。

冷却部860向气体循环部830的内部延伸可直接与气体接触。冷却部860可具有冷却通道，并且可连接于制冷剂供应源(未示出)。冷却部860可从制冷剂供应源接收制冷剂并且使制冷剂向冷却通道流动。沿着气体的循环流动C循环的气体与制冷剂进行热交换，可冷却所述气体。制冷剂可包括水。当然，制冷剂的种类可以是各种各样的。

以下，参照图2，说明本发明的实施例的气体循环部的运作。参照图2，在粉末P制作成三维结构物S时，在腔室部600的下部可生成烟气f。烟气f沿着经过气体循环部的气体循环流动C流动时，通过过滤器部850可从气体清除烟气f。具体地说，烟气f从腔室部600的下部D1向气体流入部810流动的同时可在过滤器部850过滤。之后，清洁的气体经过气体循环部830与气体排放部820可排放于腔室部600的上部D2。

据此，腔室部600的内部的气体，例如，氩气始终可被控制为清洁的状态。

以下，说明本发明的实施例的层叠加工装置。

本发明的实施例的层叠加工装置作为适用上述的气体循环器的层叠加工装置，包括：腔室部600，在内部形成有处理空间；床部100，形成腔室部600的底面；活塞部200，以上下方向贯通床部100地进行设置，并且装载有粉末P；激光束生成部700，设置在腔室部600的上部以朝向活塞部200的方向将激光束L发射于腔室部600的内部；以及气体循环器的810、820、830、840、850、860，以使气体在腔室部600内循环。

通过气体循环器可形成连接腔室部600的内部以及气体循环器的内部的气体循环通道。即，气体可通过腔室部600的下部D1、气体循环器的内部以及腔室部600的上部D2循环。气体的循环通道可以是环形通道。在气体的循环通道的固定位置可设置过滤器部850。气体可经过过滤器部850。过滤器部850可从气体过滤烟气f。

根据本发明的实施例的层叠加工装置还可包括：平台400、密封部300以及输送部500。

粉末P可包括金属粉末以及塑料粉末。当然，粉末P除了金属粉末以及塑料粉末以外也可具有各种种类的粉末。例如，粉末P可包含在3D打印机制作三维结构物时使用的各种原料物质。

粉末P可具有数十至数百微米的粒径。粉末P被激光束L选择性烧结，从而可制作成所希望的形状的产品，例如三维结构物S。

床部100可安装在平台400的上部。平台400可形成能够安装床部100的各种结构。

床部100以水平方向以及上下方向延伸，可具有固定的面积与厚度。床部100可形成四边形板件形状。当然，床部100的形状可以是各种各样的。床部100也可成为“粉末床”。

在床部100可形成以上下方向开放的一个以上的开口110。更加具体地说，在床部100可形成多个，例如，三个开口110。

多个开口110在以水平方向排列的多个位置以上下方向贯通床部100。多个开口110起到能够设置活塞部200的气缸室的作用。

多个开口110中的任意一个可起到层叠加工粉末P的加工室的作用。多个开口110中的至少另一个起到向上部排放粉末P的供应室的作用。例如，在多个开口110中，中间的开口可以是加工室，且除了中间的开口以外的剩余开口可以是供应室。

活塞部200可分别设置在多个开口110。更加详细的说，活塞部200分别可升降地设置在多个开口110的内部。活塞部200可形成开口110的底面。在活塞部200的上部可装载粉末P。

若供应室的活塞部200上升至数十至数百微米的高度，则可向开口110的上部排放相当于数十至数百微米的厚度的粉末P。之后，粉末P通过设置在床部100上部的输送部500的刮片510沿着床部100的上面输送从而供应到加工室。

此时，加工室的活塞部200下降数十至数百微米的高度，而粉末P可在加工室内部形成数十至数百微米的厚度均匀度的粉末层。

如此，反复排放、输送以及供应粉末P，可在加工室的内部形成以上下方向层叠的多个粉末层。

活塞部200可包括：形成开口110的底面的垫块210；升降垫块210的活塞块220；设置有活塞块220的支撑架230。

垫块210可具有能够形成开口110的底面的形状与大小。垫块210可称为活塞台。

垫块210可配置在开口110的内部。垫块210侧面与开口110的内壁111之间可设置间距。此时，间距的大小可以是数毫米左右。

在垫块210的侧面可凹陷形成密封部***槽。密封部***槽可沿着垫块210的侧面(例如，周围)延伸。

活塞块220可配置在开口110的下部，并且可向开口110的下方延伸。活塞块220能够以上下方向伸缩地形成。在活塞块220的上端可支撑垫块210。支撑架230覆盖开口210的下面。活塞块220可贯通支撑架230。

密封部300可设置在垫块210的侧面。具体地说，密封部300可***于密封部***槽。密封部300起到润滑以及密封垫块210的侧面与开口110的内壁111之间的作用。

输送部500可设置在床部100的上面。输送部500可包括刮片510以及输送架520。输送架520可沿着开口110排列的方向延伸，输送架520可使用扫描架的结构与方式。

刮片510以水平方向且可行驶地设置在输送部500。刮片510下端可沿着床部100的上面延伸。此时，刮片510下端的延伸长度可大于开口110的水平方向的大小。刮片510以开口110排列的方向左右移动并且可向加工室推动向供应室上部排放的粉末P。

腔室部600内部可形成处理空间。腔室部600下部可开放。腔室部600可覆盖床部100的上部。腔室部600可以是四边形柱体的形状。当然，腔室部600可形成各种各样的形状。在腔室部600的上部设置透射窗610，激光束L通过透射窗610可向腔室部600的内部照射。

激光束生成部700可包括激光源710以及扫描仪720。若从激光源710发射激光束，则扫描仪720向透射窗610侧引导激光束，可照射于加工室内的粉末层。据此，加工室内的粉末层可被烧结成所希望的三维结构物的剖面形状。

本发明的实施例的气体循环器已在上文中详细说明，因此在以下将省略该说明。

气体循环器可包括：气体流入部810，安装在腔室部600的下部D1；气体排放部820，安装在腔室部600的上部D2；气体循环部830，在腔室部600的外部连接气体流入部810以及气体排放部820。另外，气体循环器可包括：至少一个送风部840以及过滤器部850，设置在气体流入部810以及气体排放部820内部；冷却部860，向气体循环部830的内部延伸并且具有冷却通道。

此时，送风部840以及过滤器部850可分别设置在气体流入部810以及气体排放部820。更加详细地说，送风部840可包括设置在气体流入部810的第一送风部件841以及设置在气体排放部820的第二送风部件842。另外，过滤器部850可包括设置在气体流入部810的第一过滤器部件851以及设置在气体排放部820的第二过滤器部件852。

第一送风部件841、第二送风部件842、第一过滤器部件851以及第二过滤器部件852以横跨气体流入部810以及气体排放部820的方向可滑动地设置，从而容易替换。

第一送风部件841以及第二送风部件842能够以腔室部600的下部、气体流入部810、气体循环部830、气体排放部820以及腔室部600的上部D2的顺序形成气体的循环流动C。此时，在第一过滤器部件851的后方配置第一送风部件841，在第二过滤器部件852的前方可配置第二送风部件842。

图4是根据本发明的变形示例的气体循环器的部分放大图。

根据本发明的变形示例的气体循环器以及层叠加工装置可具有过滤器再生结构870。

根据本发明的变形示例的过滤器再生结构870可包括：闸门部871，设置在气体流入部810内部，并且间隔于第一过滤器部件851的前方；粉尘排放部872，在闸门部871与第一过滤器部件851之间贯通气体流入部810的下部；开关阀874，设置在粉尘排放部872入口；振动部873贯通气体流入部810的上部，并且连接于第一过滤器部件851；控制部(未示出)，连接于闸门部871与振动部873，周期性地关闭闸门部871，开放开关阀874，启动振动部873，将附着于第一过滤器部件851的粉尘，例如，烟气f向粉尘排放部872排放。上述的过滤器再生结构870可增加第一过滤器部件的使用寿命。

本发明的另一变形示例的气体循环器以及层叠加工装置可包括：电源供应部(未示出)，连接于第一送风部件841以及第二送风部件842；监测部(未示出)，连接于电源供应部，感应电源供应部的负荷变化预测第一过滤器部件851以及第二过滤器部件852的替换时期。更加详细地说，若烟气f堆积在各个过滤器部件，则通道变窄，因此增加对第一送风部件841以及第二送风部件842供应电源的电源供应部的负荷。据此，若在电源供应部的负荷大于固定的基准负荷，则监测部可判断是第一过滤器部件851以及第二过滤器部件852的替换时期。

另外，根据本发明其他一变形示例的气体循环器以及层叠加工装置可包括：电源供应部(未示出)，连接于送风部840；冷却控制部(未示出)，感应电源供应部的负荷变化来调节向冷却部860的冷却通道供应的冷却剂的流量。即，若沿着气体的循环通道流动的气体的流量少，则供应少量地制冷剂；相反，若气体的流量大，则可供应大量的制冷剂。

本发明的上述实施例是用于说明本发明的，并不是要限制本发明。在本发明的上述实施例公开的结构与方式可相互结合或者交叉变成各种形状，这种变形示例也应该视为包括在本发明的范围内。即，本发明在权利要求以及与此相同的技术思想范围内以相互不同的各种形状实现，并且本发明所属技术领域的技术人员应该理解可在本发明的技术思想范围没实施各种实施例。

Claims (15)

1.一种气体循环器，其特征在于，包括：

气体流入部，安装在内部形成有处理空间的腔室部的下部；

气体排放部，安装在所述腔室部的上部；

气体循环部，在所述腔室部的外侧连接所述气体流入部以及所述气体排放部；

送风部，设置在所述气体流入部以及所述气体排放部中的至少一个；

过滤器部，设置在所述气体流入部以及所述气体排放部中的至少一个。

2.根据权利要求1所述的气体循环器，其特征在于，

所述气体流入部以及所述气体排放部向水平方向延伸；

所述气体循环部向上下方向延伸；

所述送风部以及过滤器部设置成为贯通所述气体流入部以及所述气体排放部。

3.根据权利要求1所述的气体循环器，其特征在于，

所述送风部包括设置在所述气体流入部的第一送风部件以及设置在所述气体排放部的第二送风部件；

所述过滤器部包括设置在所述气体流入部的第一过滤器部件以及设置在所述气体排放部的第二过滤器部件。

4.根据权利要求3所述的气体循环器，其特征在于，

所述第一送风部件形成从所述腔室部向所述气体循环部的方向的气体流动；

所述第二送风部件形成从所述气体循环部向所述腔室部的方向的气体流动。

5.根据权利要求4所述的气体循环器，其特征在于，

由所述腔室部、所述气体流入部、所述气体循环部以及所述气体排放部形成气体的循环流动；

在所述第一送风部件的前方配置所述第一过滤器部件；

在所述第二送风部件的后方配置所述第二过滤器部件。

6.根据权利要求1所述的气体循环器，其特征在于，包括：

冷却部，向所述气体循环部的内部延伸，并且具有冷却通道。

7.根据权利要求5所述的气体循环器，其特征在于，包括：

电源供应部，连接于所述第一送风部件以及所述第二送风部件；

监测部，连接于所述电源供应部，并且感应所述电源供应部的负荷变化，以预测所述第一过滤器部件以及所述第二过滤器部件的替换时期。

8.根据权利要求5所述的气体循环器，其特征在于，包括：

闸门部，间隔于所述第一过滤器部件的前方，并设置在所述气体循环部的内部；

粉尘排放部，安装在所述闸门部与所述第一过滤器部件之间以贯通所述气体循环部的下部；

振动部，贯通所述气体循环部的上部，并且连接于所述第一过滤器部件；

控制部，连接于所述闸门部以及所述振动部，周期性地关闭所述闸门部，驱动所述振动部，将附着于所述第一过滤器部件的粉尘向所述粉尘排放部排放。

9.一种层叠加工装置，其特征在于，包括：

腔室部，内部形成有处理空间；

床部，形成所述腔室部的底面；

活塞部，向上下方向贯通所述床部，并且上部装载有粉末；

激光束生成部，设置在所述腔室部上部，并且以朝向所述活塞部的方向将激光束照射于所述腔室部内部；

气体循环器，形成在所述腔室部内以循环气体。

10.根据权利要求9所述的层叠加工装置，其特征在于，

通过所述气体循环器形成连接所述腔室部的内部以及所述气体循环器内部的气体循环通道。

11.根据权利要求9所述的层叠加工装置，其特征在于，

所述气体循环器内部至少具有一个送风部以及过滤器部。

12.根据权利要求11所述的层叠加工装置，其特征在于，

所述气体循环器包括：

气体流入部，安装在所述腔室部的下部；

气体排放部，安装在所述腔室部的上部；

气体循环部，在所述腔室部外部连接所述气体流入部以及所述气体排放部；

所述送风部以及所述过滤器部分别设置在所述气体流入部以及所述气体排放部。

13.根据权利要求12所述的层叠加工装置，其特征在于，

所述送风部包括设置在所述气体流入部的第一送风部件以及设置在所述气体排放部的第二送风部件；

所述过滤器部包括设置在所述气体流入部的第一过滤器部件以及设置在所述气体排放部的第二过滤器部件；

所述第一送风部件、所述第二送风部件、所述第一过滤器部件以及所述第二过滤器部件以横跨所述气体流入部以及所述气体排放部的方向滑动地设置，并且可替换。

14.根据权利要求13所述的层叠加工装置，其特征在于，

所述第一送风部件以及所述第二送风部件以所述腔室部的下部、所述气体流入部、所述气体循环部、所述气体排放部以及所述腔室部的上部的顺序形成气体的循环流动；

在所述第一过滤器部件的后方设置所述第一送风部件；

在所述第二过滤器部件的前方设置所述第二送风部件。

15.根据权利要求12所述的层叠加工装置，其特征在于，

所述气体循环器包括：

冷却部，向所述气体循环部的内部延伸，并且具有冷却通道；

电源供应部，连接于所述送风部；

冷却控制部，感应所述电源供应部的负荷变化，以调节向所述冷却通道供应的制冷剂的流量。

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