CN111044218A - 真空压力计响应时间测量装置 - Google Patents
真空压力计响应时间测量装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111044218A CN111044218A CN201911424691.7A CN201911424691A CN111044218A CN 111044218 A CN111044218 A CN 111044218A CN 201911424691 A CN201911424691 A CN 201911424691A CN 111044218 A CN111044218 A CN 111044218A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pressure gauge
- vacuum pressure
- response time
- vacuum
- cavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 51
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims description 33
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 2
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
一种真空压力计响应时间测量装置,应用于压力计技术领域,包括:充气装置上安装有标准真空压力计,充气装置与稳压腔连通,稳压腔和测试腔连接,且稳压腔和测试腔之间设置有阀门,待测真空压力计安装在测试腔上,数据采集模块连接待测真空压力计,标准真空压力计用于测量充气装置内的压力,充气装置用于给稳压腔内冲入气体,直至其压力值达到待测真空压力计的满量程值,阀门用于在该压力值达到待测真空压力计的满量程值后开启,以使稳压腔内的气体进入测试腔,待测真空压力计测量测试腔内的实时压力,数据采集模块用于采集待测真空压力计的输出信号。
Description
技术领域
本申请涉及压力计技术领域,尤其涉及一种真空压力计响应时间测量装置。
背景技术
在真空压力计研发和某些对响应时间敏感的场合下,真空压力计响应时间都是真空压力计的一个重要参数。在研发和测试过程中较为方便地对真空压力计的响应时间进行测量,不仅能够对真空压力计的性能进行考察,也对研发过程有指导意义。
发明内容
本申请的主要目的在于提供一种真空压力计响应时间测量装置,可测量真空压力计的响应时间。
为实现上述目的,本申请实施例第一方面提供一种真空压力计响应时间测量装置,包括:
充气装置、标准真空压力计、稳压腔、阀门、测试腔和数据采集模块;
所述充气装置上安装有所述标准真空压力计,所述充气装置与所述稳压腔连通,所述稳压腔和所述测试腔连接,且所述稳压腔和所述测试腔之间设置有所述阀门,待测真空压力计安装在所述测试腔上,所述数据采集模块连接所述待测真空压力计;
所述标准真空压力计,用于测量所述充气装置内的压力;
所述充气装置,用于给所述稳压腔内冲入气体,直至所述标准真空压力计的压力值达到所述待测真空压力计的满量程值;
所述阀门,用于在所述标准真空压力计的压力值达到所述待测真空压力计的满量程值后开启所述阀门,以使所述稳压腔内的气体通过所述阀门进入所述测试腔,所述待测真空压力计测量所述测试腔得到的实时压力值;
所述数据采集模块,用于按照预设采样频率采集所述待测真空压力计的输出信号。
进一步地,所述测试腔的形状为球体或圆柱体。
进一步地,所述稳压腔的体积大于所述测试腔的体积。
进一步地,所述预设采样频率大于一千赫兹。
从上述本申请实施例可知,本申请提供的真空压力计响应时间测量装置及方法,充气装置上安装有标准真空压力计,充气装置与稳压腔连通,稳压腔和测试腔连接,且稳压腔和测试腔之间设置有阀门,待测真空压力计安装在测试腔上,数据采集模块连接待测真空压力计,标准真空压力计用于测量充气装置内的压力,充气装置用于给稳压腔内冲入气体,直至标准真空压力计的压力值达到待测真空压力计的满量程值,阀门用于在标准真空压力计的压力值达到待测真空压力计的满量程值后开启阀门,以使稳压腔内的气体通过阀门进入测试腔,待测真空压力计测量测试腔内的实时压力,数据采集模块用于按照预设采样频率采集待测真空压力计的输出信号,可根据该装置得到的输出信号,分析真空压力计的响应时间。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请一实施例提供的真空压力计响应时间测量装置的结构示意图。
具体实施方式
为使得本申请的申请目的、特征、优点能够更加的明显和易懂,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而非全部实施例。基于本申请中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
请参阅图1,图1为本申请一实施例提供的真空压力计响应时间测量装置的结构示意图,该装置主要包括:
充气装置1、标准真空压力计2、稳压腔3、阀门4、测试腔5和数据采集模块6;
充气装置上安装有标准真空压力计2,充气装置1与稳压腔3连通,稳压腔3和测试腔5连接,且稳压腔3和测试腔5之间设置有阀门4,待测真空压力计7安装在测试腔5上,数据采集模块6连接待测真空压力计7;
标准真空压力计2,用于测量充气装置内的压力;
充气装置1,用于给稳压腔3内冲入气体,直至标准真空压力计2的压力值达到待测真空压力计7的满量程值;
阀门4,用于在标准真空压力计2的压力值达到待测真空压力计7的满量程值后开启阀门4,以使稳压腔3内的气体通过阀门4进入测试腔5,以使待测真空压力计7测量测试腔5内的实时压力;
数据采集模块6,用于按照预设采样频率采集待测真空压力计7的输出信号。
其中,真空压力计响应时间是指在压力变化与输出信号变化之间的滞后时间,常见的真空压力计的响应时间为≥100毫秒,目前业内最高水平的快速响应真空压力计的响应时间为不快于1毫秒。
其中,连接充气装置1、稳压腔3、阀门4、测试腔5之间的管路应尽量保证短粗直,以保证真空压力的获得和快速膨胀压力平衡的过程均能在短时间内达到。
在本申请实施例中,充气装置上安装有标准真空压力计,充气装置与稳压腔连通,稳压腔和测试腔连接,且稳压腔和测试腔之间设置有阀门,待测真空压力计安装在测试腔上,数据采集模块连接待测真空压力计,标准真空压力计用于测量充气装置内的压力,充气装置用于给所稳压腔内冲入气体,直至标准真空压力计的压力值达到待测真空压力计的满量程值,阀门用于在标准真空压力计的压力值达到所待测真空压力计的满量程值后开启阀门,以使稳压腔内的气体通过阀门进入测试腔,待测真空压力计测量测试腔内的实时压力,数据采集模块用于按照预设采样频率采集待测真空压力计的输出信号,根据输出信号,分析真空压力计的响应时间。
在本申请其中一个实施例中,测试腔5的形状为球体或圆柱体,以保证气体进入测试腔5后可以较为快速地完成压力平衡。其中,当测试腔5的形状为圆柱体时,保持圆柱体的半径和高之间的比值较大。
在本申请其中一个实施例中,稳压腔3的体积大于测试腔5的体积。具体的,稳压腔3与测试腔5的体积比可根据测量精度进行调整,例如,50:1、100:1等。
在本申请其中一个实施例中,该预设采样频率大于一千赫兹,以对待测真空压力计7的信号进行采集以便分析其压力响应数据采集及响应时间的分析。
在本申请其中一个实施例中,根据所测试真空压力计量程的不同,可以变换真空***主泵和密封形式。如果在低真空测试,可以选用成本较低的机械泵及橡胶密封确保真空。而如果需要测试量程在高真空段的真空压力计,主泵需要变换为分子泵或其它高真空泵,密封形式改为金属密封,并且配有相应的保护阀门,防止泄露或者冲击对真空压力计及真空***主泵有破坏。
更多的,在比较法测试***中,可以根据不同量程的测试需求,增加一路抽气旁路,将真空压力计响应时间装置串联。这样在不影响装置基本功能及操作流程的情况下,易于集成在多参数联合测试装置中,增加了装置可以测试的参数。
更多的,气体种类可以根据实际工况进行选择,气体必须不易被液化,并气体压力范围在理想气体状态方程成立范围内。气体不能损伤真空压力计,为了保证操作人员的安全,一般建议采用无毒无害的气体。在操作的同时,需要保证通风,使用易燃易爆气体进行试验时,需要采取相应的保护措施。
在上述实施例中,对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详述的部分,可以参见其它实施例的相关描述。
以上为对本申请所提供的真空压力计响应时间测量装置的描述,对于本领域的技术人员,依据本申请实施例的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上,本说明书内容不应理解为对本申请的限制。
Claims (6)
1.一种真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,包括:
充气装置、标准真空压力计、稳压腔、阀门、测试腔和数据采集模块;
所述充气装置上安装有所述标准真空压力计,所述充气装置与所述稳压腔连通,所述稳压腔和所述测试腔连接,且所述稳压腔和所述测试腔之间设置有所述阀门,待测真空压力计安装在所述测试腔上,所述数据采集模块连接所述待测真空压力计;
所述标准真空压力计,用于测量所述充气装置内的压力;
所述充气装置,用于给所述稳压腔内冲入气体,直至所述标准真空压力计的压力值达到所述待测真空压力计的满量程值;
所述阀门,用于在所述标准真空压力计的压力值达到所述待测真空压力计的满量程值后开启所述阀门,以使所述稳压腔内的气体通过所述阀门进入所述测试腔,以使所述待测真空压力计测量所述测试腔内的实时压力;
所述数据采集模块,用于按照预设采样频率采集所述待测真空压力计的输出信号。
2.根据权利要求1所述的真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,所述测试腔的形状为球体或圆柱体。
3.根据权利要求1所述的真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,所述稳压腔的体积大于所述测试腔的体积。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,当所述真空压力计响应时间测量装置需要进行低真空测试时,采用机械泵对所述真空压力计响应时间测量装置进行抽真空,并所述真空压力计响应时间测量装置对橡胶密封。
5.根据权利要求1至3任意一项所述的真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,当所述真空压力计响应时间测量装置需要进行高真空测试时,采用分子泵对所述真空压力计响应时间测量装置进行抽真空,并对所述真空压力计响应时间测量装置进行金属密封。
6.根据权利要求1至3任意一项所述的真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,所述预设采样频率大于一千赫兹。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911424691.7A CN111044218A (zh) | 2019-12-31 | 2019-12-31 | 真空压力计响应时间测量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911424691.7A CN111044218A (zh) | 2019-12-31 | 2019-12-31 | 真空压力计响应时间测量装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111044218A true CN111044218A (zh) | 2020-04-21 |
Family
ID=70243425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201911424691.7A Pending CN111044218A (zh) | 2019-12-31 | 2019-12-31 | 真空压力计响应时间测量装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111044218A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111044219A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-21 | 中国科学院微电子研究所 | 真空压力计响应时间测量装置及方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6629444B2 (en) * | 2001-08-08 | 2003-10-07 | Industrial Scientific Corporation | Method and apparatus for diagnosing gas sensors |
CN104316654A (zh) * | 2014-10-28 | 2015-01-28 | 东南大学 | 用于测试气体传感器件快速响应特性的装置及测试方法 |
CN105021777A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-11-04 | 湖北大学 | 一种多功能气体传感器测试*** |
CN105486811A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-04-13 | 东南大学 | 用于气体传感器件快速响应特性的测试装置及测试方法 |
CN106645572A (zh) * | 2016-12-12 | 2017-05-10 | 歌尔股份有限公司 | 气体传感器测试装置以及测试方法 |
CN107367580A (zh) * | 2017-07-18 | 2017-11-21 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 传感器测试装置及方法 |
US9945827B2 (en) * | 2015-11-25 | 2018-04-17 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Method for testing a gas sensor in a gas-measuring system |
CN108680702A (zh) * | 2018-03-20 | 2018-10-19 | 东南大学 | 一种测试传感器响应速度的装置及其测试方法 |
CN209311425U (zh) * | 2018-12-06 | 2019-08-27 | 中国工程物理研究院计量测试中心 | 一种气体传感器响应时间的校准装置 |
CN110274989A (zh) * | 2018-03-15 | 2019-09-24 | 日本碍子株式会社 | 气体传感器的响应时间评价装置以及方法 |
CN209459820U (zh) * | 2019-04-11 | 2019-10-01 | 华能国际电力股份有限公司 | 一种压力传感器动静态标定*** |
-
2019
- 2019-12-31 CN CN201911424691.7A patent/CN111044218A/zh active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6629444B2 (en) * | 2001-08-08 | 2003-10-07 | Industrial Scientific Corporation | Method and apparatus for diagnosing gas sensors |
CN104316654A (zh) * | 2014-10-28 | 2015-01-28 | 东南大学 | 用于测试气体传感器件快速响应特性的装置及测试方法 |
CN105021777A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-11-04 | 湖北大学 | 一种多功能气体传感器测试*** |
US9945827B2 (en) * | 2015-11-25 | 2018-04-17 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Method for testing a gas sensor in a gas-measuring system |
CN105486811A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-04-13 | 东南大学 | 用于气体传感器件快速响应特性的测试装置及测试方法 |
CN106645572A (zh) * | 2016-12-12 | 2017-05-10 | 歌尔股份有限公司 | 气体传感器测试装置以及测试方法 |
CN107367580A (zh) * | 2017-07-18 | 2017-11-21 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 传感器测试装置及方法 |
CN110274989A (zh) * | 2018-03-15 | 2019-09-24 | 日本碍子株式会社 | 气体传感器的响应时间评价装置以及方法 |
CN108680702A (zh) * | 2018-03-20 | 2018-10-19 | 东南大学 | 一种测试传感器响应速度的装置及其测试方法 |
CN209311425U (zh) * | 2018-12-06 | 2019-08-27 | 中国工程物理研究院计量测试中心 | 一种气体传感器响应时间的校准装置 |
CN209459820U (zh) * | 2019-04-11 | 2019-10-01 | 华能国际电力股份有限公司 | 一种压力传感器动静态标定*** |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
习振华等: "快速动态真空校准装置的研制", 《仪器仪表学报》 * |
周红军等: "真空联锁保护用传感器及真空计的响应时间测试", 《真空》 * |
高辉等: "电离真空计用作真空保护***传感器的响应时间的研究", 《真空科学与技术》 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111044219A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-21 | 中国科学院微电子研究所 | 真空压力计响应时间测量装置及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10816434B2 (en) | Apparatus and method for leak testing | |
US8448498B1 (en) | Hermetic seal leak detection apparatus | |
CN107340101B (zh) | 一种密封装置气体微泄漏检测装置及方法 | |
CN201965006U (zh) | 锂离子电池差压式检漏装置 | |
US9429493B2 (en) | Manifold assembly for a portable leak tester | |
CN207675383U (zh) | 一种气密性测试仪 | |
CN112840192A (zh) | 用于检验线缆密封性的检验方法以及用于执行该方法的密封性检验装置 | |
CN103398830B (zh) | 一种有载分接开关的油室密封检漏方法 | |
CN201083591Y (zh) | 一种***气密性检测装置 | |
CN112113703A (zh) | 一种发动机压力传感器测试装置 | |
CN107907273B (zh) | 一种产品局部密封外表面气密性检测方法 | |
CN109341979A (zh) | 氮气与氦气检漏*** | |
CN111044218A (zh) | 真空压力计响应时间测量装置 | |
CN102235936B (zh) | 汽车电子控制单元壳体密封测试方法及密封测试仪 | |
CN109916568A (zh) | 电机控制器密封性检测***、装置及方法 | |
CN105021982A (zh) | 一种六氟化硫密度继电器的校验*** | |
CN204988873U (zh) | 飞机波纹管密封压力测试夹具 | |
CN220322645U (zh) | 一种密封性测试*** | |
CN112665782A (zh) | 一种气体压力在线监测***及在线监测方法 | |
CN103759785B (zh) | 用于定量气体配置的双真空计体积测量装置及方法 | |
CN201247102Y (zh) | 内置式温度传感器气室 | |
CN104833464A (zh) | 一种多功能气密性检测仪及其检测方法 | |
CN215811476U (zh) | 一种流量式气密测试装置 | |
US20220316978A1 (en) | System and method for dynamic signal processing for vacuum decay leak detection | |
CN111044219A (zh) | 真空压力计响应时间测量装置及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20200421 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |