CN111025861A - 一种应用于光刻机自动上板的控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及曝光设备领域，尤指一种应用于光刻机自动上板的控制方法，控制方法中具备对执行部输出的时间点进行记录与对比，而光刻机由主机控制，那么，主机在应用本发明的控制方法实现分时复用的方式，去同时操控多台光刻机，从而节约了成本并提高生产效率。

Description

一种应用于光刻机自动上板的控制方法
技术领域
本发明涉及曝光设备领域，尤指一种应用于光刻机自动上板的控制方法。
背景技术
经检索发现，光刻工艺是集成电路芯片制造的核心工艺，光刻机设备根据机械结构模式可分为内鼓式光刻机、外鼓式光刻机和平台式三种。
专利号201910522206.3专利名称为一种曲面光刻机，包括机架、X向运动模组、Y向运动模组、Z向编码板、光刻镜头、连接机构；所述X向运动模组安装于机架内，所述Y向运动模组位于于X向运动模组上方，所述X向运动模组通过连接机构驱动Y向运动模组沿Z向编码板上表面的路径向前移动，所述光刻镜头安装于Y向运动模组上且由Y向运动模组驱动沿Y轴移动。本发明中X向运动模组、Y向运动模组、Z向编码板配合作用，使光刻镜头以曲面工件上表面的形状为路径前进，从而完成对曲面工件上表面的逐行扫描光刻。
但是，这种，只能每次同时制作一块板，效率低下，增加设备还要增加操作人员。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种应用于光刻机自动上板的控制方法，可以解决背景技术中效率低下的问题。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：
一种应用于光刻机自动上板的控制方法，其特征在于，包含：
至少一台光刻机以及一台主机，由主机控制执行，是控制光刻机中执行部以及控制光刻机中至少一台上板组件或者下板组件上下料的控制方法，所述控制方法具备：
判定多台上板组件或者下板组件是否为预定时间内传输的步骤；
判定多台上板组件在预定时间内传输的情况下，判定各个执行部是否为相同时间点输出的步骤；
判定各个执行部在相同时间点输出的情况下，主机对各个下板组件进行择一驱动处理。
进一步地，在判定多台上板组件或者下板组件是否为预定时间内传输的步骤前，还具备有判定光刻机与主机的连接状态的步骤，所述连接状态为异常状态或者关联状态中的一种。
进一步地，根据连接状态判定是否为预定通知的步骤。
本发明的有益效果在于：
控制方法中具备对执行部输出的时间点进行记录与对比，而光刻机由主机控制，那么，主机在应用本发明的控制方法实现分时复用的方式，去同时操控多台光刻机，从而节约了成本并提高生产效率。
附图说明
图1是本发明的框架原理图。
图2是本发明上板组件的结构图。
附图标号说明：1-第一传输带；2-滚筒；3-导板压辊；4-进板压辊；5-出板压辊；6-进板压臂；7-出板压臂；8-第二传输带；9-第一导向板；10-第二导向板。
具体实施方式
请参阅图1所示，本发明关于一种应用于光刻机自动上板的控制方法，其特征在于，包含：
至少一台光刻机以及一台主机，由主机控制执行，是控制光刻机中执行部以及控制光刻机中至少一台上板组件或者下板组件上下料的控制方法，所述控制方法具备：
判定多台上板组件或者下板组件是否为预定时间内传输的步骤；
判定多台上板组件在预定时间内传输的情况下，判定各个执行部是否为相同时间点输出的步骤；
判定各个执行部在相同时间点输出的情况下，主机对各个下板组件进行择一驱动处理。
本发明的使用原理：控制方法中具备对执行部输出的时间点进行记录与对比，而光刻机由主机控制，那么，主机在应用本发明的控制方法实现分时复用的方式，去同时操控多台光刻机，从而节约了成本并提高生产效率。
进一步地，在判定多台上板组件或者下板组件是否为预定时间内传输的步骤前，还具备有判定光刻机与主机的连接状态的步骤，所述连接状态为异常状态或者关联状态中的一种。
进一步地，根据连接状态判定是否为预定通知的步骤。
图2为上板组件的结构图。上板组件具备输送板头的第一传输带1、带动板头旋转的滚筒2、引导板头向滚筒2方向移动的导板压辊3、检测板头进入到滚筒2的传感器、夹紧板头的进板压臂6和出板压臂7、将板头压紧贴合在滚筒2上的出板压棍和进板压辊4、将制板完成后的板头运送下一工序的第二传输带8，其中，进板压臂6上具备有首板夹，出板压臂7具有尾板夹，上板组件还包含有第一导向板9、第二导向板10，第一导向板9位于第一传输带1与滚筒2之间，第二导向板10位于第二传输带8与滚筒2之间，其中，第一导向板9或者第二导向板10任意一的表面上具有开孔，具体地，开孔设置在第一导向板9的表面，第二导向板10穿过开口，在传输板头时，第一导向板9、第二导向板10互不影响。
在本具体实例中，光刻机具有四台，预定时间由定时器测量，结合附图1-2对本发明进行详细说明，
具体使用过程为：
主机发出一个制板信号，板材随着第一传输带1向滚筒2方向移动，板头到达指定工作的导板压辊3位置，导板压辊3压下，打开首板夹，板材顺着第一导向板9到达滚筒2位置，并被传感器检测到，松开首板夹，夹住板头，滚筒2继续运转，进板压辊4压住板材，检测板尾信号，进板压臂6抬起并打开尾夹，滚筒2逆时针送板到尾夹，松开进板压臂6，进板完成，开始制板。
制板完成后，首板夹转动至出板压臂7出，出板压臂7和出板压辊5同时动作，松开首板夹，滚筒2顺时针运转，板材退出首板夹，出板压辊5保证出板时板材退出首板夹时紧贴滚筒2，然后顺时针运转滚筒2进入出板导向板，出板导向压辊保证出板的方向和动力，这样就完成了一次自动进出板。
需要说明的是，执行部记录板材的出入时间以及光刻机的当前状态，该当前状态为光刻机不工作、处于制板中的一种，当任意一光刻机完成制板并向传输带输送后，执行部停止对其余光刻机对已经制作好板材向传输带运送的工序，避免板材相互碰撞而损坏；
在本具体实施例中，本发明包含有四个光刻机中，板材经第一个光刻机完成制板后向相邻的第二光刻机输送板材，即在向第二传输带8输送板材中，第二个光刻机不会将制板后的板材输出，避免两个板材相撞。
具体地，判断光刻机与主机连接状态的方法为通过有线连接或者无线连接中的一种连接方式，并且对各个光刻机的基本参数进行复位。
具体地，还包含有报警器，当定时器检测到的传输时间超出预定时间则会向执行部输出对应的信号，执行部控制报警器报警；当然，如果是处于上述择一输送板材的现象不会触发报警器报警。
当不需要相邻的光刻机工作时，制板完成后的板材直接通过另一台光刻机上第二传输带8到达下一工位，第二传输带8上方的导板压辊3不工作。
以上实施方式仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通工程技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (3)

1.一种应用于光刻机自动上板的控制方法，其特征在于，包含：
至少一台光刻机以及一台主机，由主机控制执行，是控制光刻机中执行部以及控制光刻机中至少一台上板组件或者下板组件上下料的控制方法，所述控制方法具备：
判定多台上板组件或者下板组件是否为预定时间内传输的步骤；
判定多台上板组件在预定时间内传输的情况下，判定各个执行部是否为相同时间点输出的步骤；
判定各个执行部在相同时间点输出的情况下，主机对各个下板组件进行择一驱动处理。
2.根据权利要求1所述的一种应用于光刻机自动上板的控制方法，其特征在于：在判定多台上板组件或者下板组件是否为预定时间内传输的步骤前，还具备有判定光刻机与主机的连接状态的步骤，所述连接状态为异常状态或者关联状态中的一种。
3.根据权利要求2所述的一种应用于光刻机自动上板的控制方法，其特征在于：根据连接状态判定是否为预定通知的步骤。
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