CN111007069B - 有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法。本发明的目的在于提供一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法，能够通过在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序，在发现缺陷或异常时省略后续工序的进行并反馈给沉积设备，由此实现生产费用的降低及生产效率的提高。本发明的另一目的在于提供一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法，能够正确地自动对齐(align)多个检查用设备，以在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序的过程中，为了防止因与外部大气的接触引起的变质，将老化及光学检查工序均在氮腔室内顺利地自动进行。

Description

有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法
技术领域
本发明涉及一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法(Deviceand method for aging and vision-inspecting OLED)，用于容易且顺利地进行在出库已制造的有机发光二极管面板之前将其人为地老化特定程度的老化(aging)工序、以及在老化工序之后检查稳定化后的有机发光二极管面板的图像质量、颜色特性、颜色异常等的光学检查工序。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light Emitting Diodes，OLED)是指，利用电流流过荧光有机化合物时发光的电致发光现象来自行发光的自发光有机物质。有机发光二极管具有能够在低的电压下驱动，能够做得薄，并且具有宽的视角及快的响应速度等的优点。由于这样的多个优点，有机发光二极管作为各种电子产品的显示器面板现在被广泛使用，并且其使用范围逐渐扩大。
已知通常有机发光二极管具有在初始驱动期间迅速被劣化之后被稳定化的特性。由于这样的特性，在制造有机发光二极管面板之后直接出库的情况下，存在在刚刚出库之后产品的品质或可靠性大幅下降的风险。因此，通常在制造有机发光二极管面板之后在出库之前必不可少地进行老化(aging)工序，在该老化工序中，对有机发光二极管施加规定时间(通常为10～30分钟左右)的高电压来使其全面性发光，由此进行人为地进行老化来将有机发光二极管充分稳定化。
通常在制造有机发光二极管面板时，在由玻璃(glass)形成的大型母基板上利用有机物质沉积图案。此时，在要制造的产品的尺寸比母基板小时，可用一个母基板制造多个产品，在这样的情况下可在一个母基板上沉积多个有机物质图案，通常将相当于一个产品的有机物质图案称为单元(cell)。在母基板沉积单元并经过干燥等多个工序之后，通过将粘贴基板重叠于母基板粘贴来将形成有单元的空间称为相对于外部封闭的状态的工序就是如上所述的密封工序。在这样的密封工序之后将基板切割为相当于各单元的尺寸来完成有机发光二极管面板产品的制造。
另外，构成有机发光二极管的有机物对水分及氧非常敏感，因此若暴露于空气中则立即会变质。因此，通常只有在经过如上所述的密封工序等多个步骤的制造工序来产品成为能够驱动的状态之后，才进行老化工序。另一方面，在光学检查工序中检查图像质量、颜色特性、颜色异常等，显然这样的检查结果只有在有机发光二极管面板经过老化工序成为稳定化后的状态下才能得到正确的检查结果。即，光学检查工序必须在老化工序之后进行，因此其结果光学检查工序也在密封工序之后进行。在韩国专利申请第1149055号(“OLED面板的老化装置”，2012.05.16，下面称为“现有文献”)中，公开了通过将从母基板切割的多个有机发光二极管面板以面板为单位进行连续的老化处理，由此缩小设备规模并提高生产量的技术，在此技术中也明确记载在完成密封工序并从母基板切割下来之后进行老化工序。
但是，在进行检查的结果在某个产品检测出缺陷的情况下，将与该缺陷产品同时生产的所有产品判定为存在缺陷，所以存在制造费用的损失增加且生产效率也大幅下降等的诸多问题。因此，存在在沉积工序之后在进行其他工序之前进行老化工序及光学检查工序的需求。但是，如上所述，若构成有机发光二极管的有机物质暴露于空气中时迅速变质，需要改良在沉积工序之后使得不发生空气中暴露的同时最大程度迅速且正确地进行老化工序及光学检查工序的设备。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：韩国专利申请第1149055号(“OLED面板的老化装置”，2012.05.16)
发明内容
(发明要解决的课题)
因此，本发明是为了解决如上所述的以往技术的问题而做出的，本发明的目的在于提供一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法，能够通过在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序在发现缺陷或异常时省略后续工序的进行并反馈给沉积设备，由此实现生产费用的降低及生产效率的提高。本发明的另一目的在于提供一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法，能够正确地自动对齐(align)多个检查用设备,以在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序的过程中，为了防止因与外部大气的接触引起的变质，将老化及光学检查工序均在氮腔室内顺利地自动进行。
(用于解决课题的技术方案)
用于达成如上所述的目的的本发明的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，是对基板500进行老化及光学检查的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置100，在该基板500的上表面沉积形成有形成有机发光二极管面板的由有机物质图案构成的至少一个单元550、以及由向所述单元550供电的电路图案构成且形成在所述单元550的***部分的多个连接部555，该该有机发光二极管面板的老化及光学检查装置可包括：真空吸附单元110，配置于所述基板500的下表面，使所述基板500上升或者吸附并固定所述基板500；多个机械对齐单元120，分散配置于所述基板500的下表面的多个位置，直接移动所述基板500来将所述基板500对齐到所述真空吸附单元110上的固定位置；光学对齐单元130，分散配置于所述基板500的下侧的多个位置，光学识别在所述基板500上形成的对齐标识；UVW平台140，配置于所述基板500的上侧，能够沿作为水平方向的X、Y、θ进行3轴驱动，并且能够沿作为垂直方向的Z轴进行驱动；探针板150，通过所述UVW平台140被移动，包括与所述连接部555连接来供电的多个探针销155；探针对齐单元160，分散配置于所述探针板150的上侧的多个位置，光学识别在所述探针板150上形成的对齐销；信号生成单元170，与所述探针板150电连接来按照已设定的信号模式供电；以及光学检查单元180，能够移动地配置于所述基板500的下侧，对所述基板500进行光学检查。
此时，所述老化及光学检查装置100可通过所述探针销155与所述连接部555的连接来被传递从所述信号生成单元170施加的电量，由此所述单元550被点亮并进行所述单元550的老化工序，并通过在所述单元550被点亮的状态下由所述光学检查单元180扫描所述单元550的区域，进行所述单元550的光学检查工序。
另外，在所述老化及光学检查装置100中，可以以在所述真空吸附单元110、所述UVW平台140及所述探针板150各自的与所述单元550的区域对应的区域能够通过光的方式，在所述真空吸附单元110、所述UVW平台140及所述探针板150分别形成有分别具有与所述单元550的区域对应的位置及面积的贯通孔形状的真空吸附单元窗111、UVW平台窗141及探针板窗151。
另外，在所述老化及光学检查装置100中，可在所述真空吸附单元110形成有贯通路形状的对齐单元配置路径112，所述机械对齐单元120以贯通所述对齐单元配置路径112的方式被配置来直接移动所述基板500。
另外，所述光学检查单元180包括：颜色异常***181，包括相机及透镜且能够调节分辨率，检查点亮状态的所述单元550的图像质量及颜色异常；以及颜色特性***182，检查点亮状态的所述单元550的包括亮度、灰度及效率的颜色特性。
此时，所述光学检查单元180还包括变焦范围部183，该变焦范围部183包括变焦透镜且能够调节倍率，并配置于所述颜色异常***181，推摄点亮状态的所述单元550的被选择的区域，以使所述颜色异常***181再次检查被选择的区域。
另外，在所述光学检查单元180中，所述颜色异常***181及所述颜色特性***182可分别能够沿水平方向移动，以扫描并检查所述单元550的全部面积。
此时，所述光学检查单元180可包括引导杆185，该引导杆185沿从X、Y中选择的一轴延伸，并且能够沿另一轴移动，所述颜色异常***181及所述颜色特性***182能够随所述引导杆185移动。
另外，所述老化及光学检查装置100可通过在内部形成惰性气体的气体环境的腔室200与外部隔离。
另外，可通过使外部振动衰减的振动衰减部250支撑所述老化及光学检查装置100的下部。
另外，本发明的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法，使用如上所述的的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置100，该有机发光二极管面板的老化及光学检查方法可包括：基板配置步骤，通过所述机械对齐单元120及所述光学对齐单元130将所述基板500配置到已设定的固定位置之后，将所述基板500吸附并固定到所述真空吸附单元110；对齐及接触步骤，通过所述探针对齐单元160及所述UVW平台140将所述基板500与所述探针板150对齐之后，使所述基板500与所述探针板150相互接触；以及老化及光学检查步骤，通过所述信号生成单元170及所述探针板150点亮所述单元550来进行老化工序，并通过所述光学检查单元180进行被点亮的所述单元550的光学检查工序。
此时，所述基板配置步骤可包括：将所述基板500导入所述老化及光学检查装置100的步骤；通过所述真空吸附单元110使所述基板500上升的步骤；在所述基板500上升的状态下通过所述机械对齐单元120将所述基板500移动来配置到已设定的初始位置的步骤；通过所述真空吸附单元110将所述基板500第一次吸附并固定的步骤；通过所述光学对齐单元130光学识别在所述基板500上形成的对齐标识的步骤；在通过所述光学对齐单元130识别的对齐标识未对齐的情况下，通过所述真空吸附单元110使所述基板500上升并通过所述机械对齐单元120再次移动所述基板500来修正位置，由此将所述基板500配置到已设定的固定位置的步骤；以及通过所述真空吸附单元110将所述基板500最终吸附并固定的步骤。
另外，所述对齐及接触步骤可包括：在所述UVW平台140组装所述探针板150的步骤；通过所述探针对齐单元160光学识别在所述探针板150上形成的对齐销的步骤；利用通过所述探针对齐单元160识别的对齐销位置来计算所述基板500与所述探针板150之间的修正值的步骤；通过所述UVW平台140根据修正值来将所述基板500与所述探针板150对齐的步骤；以及通过所述UVW平台140使所述探针板150下降来连接所述探针销155与所述连接部555的步骤。
此时，所述老化及光学检查步骤可包括：通过所述探针销155与所述连接部555的连接来被传递从所述信号生成单元170施加的电量，由此所述单元550被点亮并进行所述单元550的老化工序的步骤；以及通过在所述单元550被点亮的状态下由所述光学检查单元180扫描所述单元550的区域来进行所述单元550的光学检查工序的步骤。
另外，此时，进行所述光学检查工序的步骤可包括：通过所述颜色异常***181检查点亮状态的所述单元550的图像质量及颜色异常的步骤；以及通过所述颜色特性***182检查点亮状态的所述单元550的包括亮度、灰度及效率的颜色特性的步骤。
另外，进行所述光学检查工序的步骤可包括：通过配置于所述颜色异常***181的变焦范围部183推摄点亮状态的所述单元550的被选择的区域的步骤；以及通过所述颜色异常***181再次检查被推摄的区域的步骤。
另外，所述有机发光二极管面板的老化及光学检查方法可包括通过反馈在所述老化及光学检查步骤中导出的检查结果来修正在所述基板500进行沉积的沉积设备工序条件的步骤。
(发明效果)
根据本发明，具有能够在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序的效果。由此，根据本发明，在进行检查的结果发现缺陷或异常时，能够省略后续的工序的进行并反馈给沉积设备，由此其结果存在能够实现生产费用的降低及生产效率的提高的显著效果。
另外，根据本发明，具有能够通过正确地自动对齐(align)用于进行老化及光学检查工序的多个检查用设备来将老化及光学检查工序均在氮腔室内顺利地自动进行的效果。由此，根据本发明，具有从根本上防止在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序的过程中因与外部大气的接触引起的变质的效果。
附图说明
图1是本发明的老化及光学检查装置的基板的详图。
图2是本发明的老化及光学检查装置的外形图。
图3是本发明的老化及光学检查装置的立体图。
图4是本发明的老化及光学检查装置的分解侧视图。
图5是本发明的老化及光学检查装置的分解立体图。
图6是本发明的老化及光学检查装置的真空吸附单元的详图。
图7是本发明的老化及光学检查装置的UVW平台的详图。
图8是本发明的老化及光学检查装置的探针板的详图。
图9是UVW平台-探针板-基板的配置的立体图。
图10是本发明的老化及光学检查装置的探针对齐单元的详图。
图11是本发明的老化及光学检查装置的光学检查单元的详图。
具体实施方式
下面，参照附图，详细说明具有如上所述的结构的本发明的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法。
本发明的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置
本发明的老化及光学检查装置100是基本上用于在有机发光二极管面板的制造过程中进行老化及光学检查的装置。如上面的说明，以往在完成有机发光二极管面板的制造之后，即，在完全结束密封工序及切割工序之后才进行老化及光学检查，但在本发明中公开能够在完成密封工序之前的步骤中进行老化及光学检查的技术。即，在本发明中进行老化及光学检查对象并不是完成制造的有机发光二极管面板，而是处于有机发光二极管面板的制造中的状态的基板500。图1作为本发明的老化及光学检查装置的基板的详图，参照图1进行更具体则如下。如图1所示，在所述基板500的上表面沉积形成至少一个单元550及多个连接部555。所述单元550是指形成有机发光二极管面板的有机物质图案，所述连接部555是指对所述单元550供电的电路图案，形成于所述单元550的***部分。
图2示出本发明的老化及光学检查装置的外形图，图3示出本发明的老化及光学检查装置的立体图。如上面的说明，本发明的老化及光学检查装置100用于在制造过程中对所述基板500进行老化及光学检查工序的装置，形成所述单元550的有机物质具有与氧、水分等接触时立即变质的特性，因此这样的工序需要在与外部大气隔断的状态下完成。为此，如图2所示，本发明的老化及光学检查装置100优选地通过在内部形成惰性气体(例如氮)的气体环境的腔室200来与外部隔离。另外，为了这样在与外部完全隔离的所述腔室200内顺利地进行老化及光学检查工序，需要在所述腔室200内自动、非常精确且正确地进行对齐等动作。在此过程中为了防止因外部振动等的影响而引发噪声，如图3所示，本发明的老化及光学检查装置100优选地其下部被使外部振动衰减的振动衰减部250支撑。
图4示出本发明的老化及光学检查装置的分解侧视图，图5示出本发明的老化及光学检查装置的分解立体图，通过这些图说明本发明的老化及光学检查装置100的具体的结构。如图4及图5所示，本发明的老化及光学检查装置100可包括真空吸附单元110、机械对齐单元120、光学对齐单元130、UVW平台140、探针板150、探针对齐单元160、信号生成单元170、及光学检查单元180。
所述真空吸附单元110配置于所述基板500的下表面，使所述基板500上升或吸附固定。具体地，在进行对齐所述基板500的动作的期间，通过鼓风机(airblow)使所述基板500上升来使基板500能够顺利移动，在所述基板500的对齐结束时，通过吸附并固定所述基板500来在后续进行其他工序的过程中稳定地支撑所述基板500。图6示出了本发明的老化及光学检查装置的真空吸附单元的详图，如图所示，在所述真空吸附单元110以在与所述单元550的区域对应的区域能够使光通过的方式，形成有具有与所述单元550的区域对应的位置及面积的贯通孔形状的真空吸附单元窗111。另外，在所述真空吸附单元110还形成有对齐单元配置路径112，对此在说明所述机械对齐单元120时进行详细说明。
所述机械对齐单元120分散配置于所述基板500的下表面的多个位置，发挥直接移动所述基板500来将所述基板500对齐到所述真空吸附单元110上的固定位置的作用。此时，如图6所示，在所述真空吸附单元110形成有贯通路形状的所述对齐单元配置路径112，所述机械对齐单元120以贯通所述对齐单元配置路径112的方式被配置。由此，所述真空吸附单元110及所述机械对齐单元120的上端可配置于几乎相同的位置，因此，所述能够在真空吸附单元110使所述基板500稍稍上升的状态下由所述机械对齐单元120顺利地进行将所述基板500抓住移动等的动作。
所述光学对齐单元130分散配置于所述基板500的下侧的多个位置，发挥光学识别在所述基板500上形成的对齐标识的作用。考虑到所述光学对齐单元130的位置，用于基板-真空吸附单元间对齐的对齐标识可形成于所述基板500的下表面的所述单元550的区域的内部位置。当然这只是一个例子，为了更高效的对齐，能够通过各种变更来实施对齐标识的形状、位置、个数、排列等。所述光学对齐单元130并不直接进行所述基板500的对齐，但通过利用所述光学对齐单元130光学识别所述对齐标识，能够判断是否需要进行对所述基板500的对齐的修正。因此，必要时能够使所述真空吸附单元110及所述机械对齐单元120再次进行工作来更精确且正确地修正所述基板500的对齐。
所述UVW平台140配置于所述基板500的上侧，形成为能够沿作为水平方向的X、Y、θ进行3轴驱动，并且能够沿垂直方向Z轴进行驱动。所述UVW平台140用于将下面说明的所述探针板150对齐到所述基板500进行对齐或者使两者接触，这里，沿水平方向(X，Y，θ3轴)的移动用于对齐，沿垂直方向(Z轴)的移动用于接触。图7示出了本发明的老化及光学检查装置的UVW平台的详图，如图所示，与所述真空吸附单元110同样地，在所述UVW平台140也以能够在与所述单元550的区域对应的区域使光通过的方式，形成有具有与所述单元550的区域对应的位置及面积的贯通孔形状的UVW平台窗141。
如上所述，所述探针板150通过所述UVW平台140被移动，包括与所述连接部555的连接来供电的多个探针销155。如上面的说明，所述连接部555作为与所述单元550的连接来对所述单元550供电的电路图案，为了对所述单元550的全体施加信号，所述探针销155需要与所述连接部555的全体良好地正确连接。图8示出了本发明的老化及光学检查装置的探针板的详图，如图所示，与所述真空吸附单元110同样地，在所述探针板150也以能够在与所述单元550的区域对应的区域使光通过的方式，形成有具有与所述单元550的区域对应的位置及面积的贯通孔形状的探针板窗151。图9示出了UVW平台-探针板-基板的配置的立体图，如图所示，即使所述UVW平台140及所述探针板150配置于所述基板500的上方，也能够通过所述UVW平台窗141及所述探针板窗151来光学观察所述基板500上的各单元555。
所述探针对齐单元160分散配置于所述探针板150的上侧的多个位置，发挥光学识别在所述探针板150上形成的对齐销的作用。考虑到所述探针对齐单元160的位置，用于基板-真空吸附单元间对齐的对齐销能够形成于所述探针板150的对角线部分。当然这只是一个例子，为了更高效的对齐，能够通过各种变更来实施对齐销的形状、位置、个数、排列等。通过由所述探针对齐单元160光学识别所述对齐销与所述基板500的缘部(edge)是否正确对齐，能够计算出对齐所需的所述探针板150的变更需要程度，并由所述UVW平台140根据这样计算出的值来使所述探针板150沿水平方向移动，由此能够精确且正确地进行所述基板500及所述探针板150的对齐。并且，图10示出了本发明的老化及光学检查装置的探针对齐单元的详图，如图所示，所述探针对齐单元160可包括用于捕获图像的微透镜161、以及用于识别所捕获的图像的CCD相机162。
所述信号生成单元170与所述探针板150电连接来按照已设定的信号模式供电。例如，在进行老化工序的情况下，所述信号生成单元170发送用于将所述单元550的所有区域点亮进行老化所需的时间(例如10～30分钟)的信号。或者，在进行R元件的光学检查工序的情况下，所述信号生成单元170发送用于仅点亮所述单元550内的R元件的信号。这样能够利用所述信号生成单元170自由实现所需的点亮状态。
所述光学检查单元180能够移动地配置于所述基板500的下侧，进行所述基板500的光学检查。如上面的说明，在利用多个对齐单元进行基板-探针板间的正确的对齐之后，能够通过所述探针销155与所述连接部555的连接来传递从所述信号生成单元170施加的电量，从而使所述单元550点亮并进行所述单元550的老化工序，在老化工序完成之后，能够在所述单元550被点亮的状态下由所述光学检查单元180扫描所述单元550的区域，从而进行所述单元550的光学检查工序。
对所述光学检查单元180进行更详细的说明则如下。所述光学检查单元180基本上可包括颜色异常***181及颜色特性***182。所述颜色异常***181包括相机及透镜，形成为能够调节分辨率，检查点亮状态的所述单元550的图像质量及颜色异常。所述颜色特性***182检查点亮状态的所述单元550的包括亮度、灰度、效率的颜色特性。另一方面，所述光学检查单元180还可包括变焦范围部183，所述变焦范围部183包括变焦透镜且能够调节倍率，并且配置于所述颜色异常***181，发挥推摄点亮状态的所述单元550的被选择的区域以使所述颜色异常***181再次检查被选择的区域的作用。
这样构成的所述光学检查单元180需形成为使所述颜色异常***181及所述颜色特性***182能够分别沿水平方向移动，以扫描并检查所述单元550的全部面积。这样的移动结构能够以多种方式实现，其一实施例示出于图11。图11示出了本发明的老化及光学检查装置的光学检查单元的详图，在图11的实施例中，所述光学检查单元180包括引导杆185，该引导杆185沿从X，Y中选择的某一轴延伸，并能够沿剩余一轴移动。另外，此时，所述颜色异常***181及所述颜色特性***182能够沿所述引导杆185移动。例如在所述引导杆185沿X轴方向延伸的情况下，所述颜色异常***181及所述颜色特性***182能够随所述引导杆185沿X轴方向移动的同时进行扫描。但是，此时所述引导杆185自身能够沿Y轴方向移动，因此其结果所述颜色异常***181及所述颜色特性***182能够沿包括X，Y这二轴的所有方向进行扫描。
本发明的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法
下面，分步骤说明使用由如上所述的结构构成的本发明的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置100的本发明的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法。
本发明的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法大体上包括基板配置步骤、对齐及接触步骤、及老化及光学检查步骤。如上面的说明，以往在进行沉积经由多个工序步骤完成密封工序进而完成切割工序之后，才进行及光学检查工序，因此在现缺陷或异常时废弃所有的经同一工序制造的面板的过程中产生不需要的工序时间的浪费。相对于此，在本发明中，通过在进行密封工序之前进行老化及光学检查工序，更明确地通过在刚刚对所述基板500进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序，在发现缺陷或异常时立即废弃相应的产品而并不进行后续的工序，由此可大幅减少工序时间的浪费。并且，在该过程中进行向沉积设备的反馈，从而能够对缺陷或异常产生问题进行更迅速且正确的对策。但是，为了这样在进行密封工序之前进行老化及光学检查工序，需要在与外部大气隔离的所述腔室200内自动进行所有工序。在此过程中只有实现所述基板500与所述探针板150之间的正确的对齐，才能正确地实现老化及光学检查工序。因此，本发明的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法通过包括首先将基板正确地配置于固定位置的所述基板配置步骤、以及正确地对齐基板-探针板的所述对齐及接触步骤，由此能够最大程度精确且正确地实现固定位置配置及对齐。
在所述基板配置步骤中，通过所述机械对齐单元120及所述光学对齐单元130将所述基板500配置于已设定的固定位置之后，将所述基板500吸附并固定到所述真空吸附单元110。更具体地进行说明则如下。
首先，如图2所示，通过形成于所述腔室200的门部将所述基板500导入所述老化及光学检查装置100。通常通过机器人移动所述基板500，在所述老化及光学检查装置100的下部配置有如图2及图3所示的输送机，当通过机械手经由所述门部将所述基板500的端部放置于所述输送机时，所述输送机进行工作来将所述基板500配置于大致上固定位置的附近。
在该时间所述基板500仅配置于大致上的固定位置，处于配置于与进行进行老化及光学检查工序所需的位置大幅偏离的位置上的状态的可能性很大。因此，需要变更所述基板500的位置，为了自由顺利地变更所述基板500的位置，需通过所述真空吸附单元110使所述基板500上升。
这样在所述基板500上升的状态下通过所述机械对齐单元120使所述基板500移动来配置到已设定的初始位置，通过所述真空吸附单元110第一次吸附并固定所述基板500。此时，所述由机械对齐单元120配置所述基板500的初始位置取决于对所述机械对齐单元120所包含的各马达已设定的初始设定值。能够由所述机械对齐单元120通过移动所述基板500的机械对齐来大概控制所述基板500的位置的大的误差，但以此扔就难以实现精确的固定位置配置，因此利用所述光学对齐单元130还进行如下所述的光学对齐。
接着，通过所述光学对齐单元130光学识别在所述基板500上形成的对齐标识。此时，在通过所述光学对齐单元130识别的对齐标识未对齐的情况下，通过所述真空吸附单元110使所述基板500上升，并通过所述机械对齐单元120使所述基板500再次移动来修正位置。这样通过进行机械对齐及光学对齐这两种对齐，能够将所述基板500完美地配置于所述真空吸附单元110上的所希望的已设定的固定位置。
这样若所述基板500完美地配置于所述真空吸附单元110上的所希望的固定位置上，则最后通过所述真空吸附单元110将所述基板500最终吸附并固定，从而完成所述基板配置步骤。
在所述对齐及接触步骤中，通过所述探针对齐单元160及所述UVW平台140使所述基板500与所述探针板150对齐之后使两者相互接触。更具体地详细说明则如下。
首先，在配置于所述基板500的上侧的所述UVW平台140组装所述探针板150。在当前时间，所述基板500通过所述基板配置步骤处于正确地配置于所述真空吸附单元500上的所希望的固定位置上的状态。另一方面，通常在所述UVW平台140组装所述探针板150的过程通过手动实现，在该过程中肯定会发生若干的偏向等的误差。因此，在该时间处于基板-探针板间对齐尚未完成的状态。
接着，通过所述探针对齐单元160光学识别在所述探针板150上形成的对齐销，并利用通过所述探针对齐单元160识别的对齐销位置来计算所述基板500与所述探针板150之间的修正值。根据这样计算出的修正值，通过所述UVW平台140将所述探针板150沿水平方向即X、Y、θ这3轴方向移动，由此能够实现所述基板500与所述探针板150之间的正确的对齐。
最后，通过所述UVW平台140使所述探针板150下降来使所述探针销155与所述连接部555连接，从而完成所述对齐及接触步骤。
在所述老化及光学检查步骤中，通过所述信号生成单元170及所述探针板150点亮所述单元550来进行老化工序，并通过所述光学检查单元180进行被点亮的所述单元550的光学检查工序。更具体地详细说明则如下。
为了得到所述单元550的正确的光学检查结果，首先需要进行老化工序。因此，首先通过所述探针销155与所述连接部555的连接来传递从所述信号生成单元170施加的电量，从而点亮所述单元550来进行所述单元550的老化工序。
接着，在所述单元550被点亮的状态下，通过所述光学检查单元180扫描所述单元550的区域来进行所述单元550的光学检查工序，将更详细说明此过程则如下。通过所述颜色异常***181检查点亮状态的所述单元550的图像质量及颜色异常，并通过所述颜色特性***182检查包括点亮状态的所述单元550的亮度、灰度、效率的颜色特性。此时，由于老化工序已结束，因此先进行颜色异常检查或颜色特性检查中的哪一个也无妨，例如先进行图像质量检查(属于颜色异常检查)之后进行亮度检查(属于颜色特性检查)此后再进行颜色异常检查(属于颜色异常检查)等，显然可根据使用人员的目的及方便性来以自由的顺序进行光学检查。在这样的过程中发现被判断为需要尤其更精确的再次检查的部分的情况下，可进行通过配置于所述颜色异常***181的变焦范围部183推摄点亮状态的所述单元550的被选择的区域，并通过所述颜色异常***181再次检查所推摄的区域的过程。
如上面的说明，在本发明的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法中，通过对刚刚进行沉积工序之后的基板进行进行老化及光学检查工序，根本上除去在发生缺陷或异常时对该基板进行的后续工序，具有能够大幅减少不需要的工序及时间浪费的优点。不仅如此，在本发明的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法中，通过反馈在所述老化及光学检查步骤中导出的检查结果，能够修正对所述基板500进行沉积的沉积设备工序条件。这样在工序中发生缺陷或异常时与以往相比能够进行更迅速且正确的对策，其结果更加提高生产效率。
本发明并不限定于所述的实施例，显然有多种适用范围，本领域技术人员在不脱离权利要求书中所要求的本发明的宗旨的前提下能够进行各种变形实施。
(标号说明)
100 老化及光学检查装置 110 真空吸附单元
111 真空吸附单元窗 112 对齐单元配置路径
120 机械对齐单元 130 光学对齐单元
140 UVW平台 141 UVW平台窗
150 探针板 151 探针板窗
155 探针销 160 探针对齐单元
161 微透镜 162 CCD相机
170 信号生成单元 180 光学检查单元
181 颜色异常*** 182 颜色特性***
183 变焦范围部 185 引导杆
200 腔室 250 振动衰减部
500 基板 550 单元
555 连接部。

Claims (17)

1.一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，
是对基板(500)进行老化及光学检查的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置(100)，在该基板(500)的上表面沉积形成有形成有机发光二极管面板的由有机物质图案构成的至少一个单元(550)、以及由向所述单元(550)供电的电路图案构成且形成在所述单元(550)的***部分的多个连接部(555)，
该有机发光二极管面板的老化及光学检查装置的特征在于，包括：
真空吸附单元(110)，配置于所述基板(500)的下表面，使所述基板(500)上升或者吸附并固定所述基板(500)；
多个机械对齐单元(120)，分散配置于所述基板(500)的下表面的多个位置，直接移动所述基板(500)来将所述基板(500)对齐到所述真空吸附单元(110)上的固定位置；
光学对齐单元(130)，分散配置于所述基板(500)的下侧的多个位置，光学识别在所述基板(500)上形成的对齐标识；
UVW平台(140)，配置于所述基板(500)的上侧，能够沿作为水平方向的X、Y、θ进行3轴驱动，并且能够沿作为垂直方向的Z轴进行驱动；
探针板(150)，通过所述UVW平台(140)被移动，包括与所述连接部(555)连接来供电的多个探针销(155)；
探针对齐单元(160)，分散配置于所述探针板(150)的上侧的多个位置，光学识别在所述探针板(150)上形成的对齐销；
信号生成单元(170)，与所述探针板(150)电连接来按照已设定的信号模式供电；以及
光学检查单元(180)，能够移动地配置于所述基板(500)的下侧，对所述基板(500)进行光学检查。
2.根据权利要求1所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
在所述老化及光学检查装置(100)中，
通过所述探针销(155)与所述连接部(555)的连接来被传递从所述信号生成单元(170)施加的电量，由此所述单元(550)被点亮并进行所述单元(550)的老化工序，
通过在所述单元(550)被点亮的状态下由所述光学检查单元(180)扫描所述单元(550)的区域，进行所述单元(550)的光学检查工序。
3.根据权利要求1所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
在所述老化及光学检查装置(100)中，
以在所述真空吸附单元(110)、所述UVW平台(140)及所述探针板(150)各自的与所述单元(550)的区域对应的区域能够通过光的方式，
在所述真空吸附单元(110)、所述UVW平台(140)及所述探针板(150)分别形成有分别具有与所述单元(550)的区域对应的位置及面积的贯通孔形状的真空吸附单元窗(111)、UVW平台窗(141)及探针板窗(151)。
4.根据权利要求1所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
在所述老化及光学检查装置(100)中，
在所述真空吸附单元(110)形成有贯通路形状的对齐单元配置路径(112)，
所述机械对齐单元(120)以贯通所述对齐单元配置路径(112)的方式被配置来直接移动所述基板(500)。
5.根据权利要求1所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
所述光学检查单元(180)包括：
颜色异常***(181)，包括相机及透镜且能够调节分辨率，检查点亮状态的所述单元(550)的图像质量及颜色异常；以及
颜色特性***(182)，检查点亮状态的所述单元(550)的包括亮度、灰度及效率的颜色特性。
6.根据权利要求5所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
所述光学检查单元(180)还包括变焦范围部(183)，该变焦范围部(183)包括变焦透镜且能够调节倍率，并配置于所述颜色异常***(181)，推摄点亮状态的所述单元(550)的被选择的区域，以使所述颜色异常***(181)再次检查被选择的区域。
7.根据权利要求5所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
在所述光学检查单元(180)中，
所述颜色异常***(181)及所述颜色特性***(182)分别能够沿水平方向移动，以扫描并检查所述单元(550)的全部面积。
8.根据权利要求7所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
所述光学检查单元(180)包括引导杆(185)，该引导杆(185)沿从X、Y中选择的一轴延伸，并且能够沿另一轴移动，
所述颜色异常***(181)及所述颜色特性***(182)能够随所述引导杆(185)移动。
9.根据权利要求1所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
所述老化及光学检查装置(100)通过在内部形成惰性气体的气体环境的腔室(200)与外部隔离。
10.根据权利要求1所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
通过使外部振动衰减的振动衰减部(250)支撑所述老化及光学检查装置(100)的下部。
11.一种有机发光二极管面板的老化及光学检查方法，使用根据权利要求1所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置(100)，
该有机发光二极管面板的老化及光学检查方法的特征在于，包括：
基板配置步骤，通过所述机械对齐单元(120)及所述光学对齐单元(130)将所述基板(500)配置到已设定的固定位置之后，将所述基板(500)吸附并固定到所述真空吸附单元(110)；
对齐及接触步骤，通过所述探针对齐单元(160)及所述UVW平台(140)将所述基板(500)与所述探针板(150)对齐之后，使所述基板(500)与所述探针板(150)相互接触；以及
老化及光学检查步骤，通过所述信号生成单元(170)及所述探针板(150)点亮所述单元(550)来进行老化工序，并通过所述光学检查单元(180)进行被点亮的所述单元(550)的光学检查工序。
12.根据权利要求11所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法，其特征在于，
所述基板配置步骤包括：
将所述基板(500)导入所述老化及光学检查装置(100)的步骤；
通过所述真空吸附单元(110)使所述基板(500)上升的步骤；
在所述基板(500)上升的状态下通过所述机械对齐单元(120)将所述基板(500)移动来配置到已设定的初始位置的步骤；
通过所述真空吸附单元(110)将所述基板(500)第一次吸附并固定的步骤；
通过所述光学对齐单元(130)光学识别在所述基板(500)上形成的对齐标识的步骤；
在通过所述光学对齐单元(130)识别的对齐标识未对齐的情况下，通过所述真空吸附单元(110)使所述基板(500)上升并通过所述机械对齐单元(120)再次移动所述基板(500)来修正位置，由此将所述基板(500)配置到已设定的固定位置的步骤；以及
通过所述真空吸附单元(110)将所述基板(500)最终吸附并固定的步骤。
13.根据权利要求11所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法，其特征在于，
所述对齐及接触步骤包括：
在所述UVW平台(140)组装所述探针板(150)的步骤；
通过所述探针对齐单元(160)光学识别在所述探针板(150)上形成的对齐销的步骤；
利用通过所述探针对齐单元(160)识别的对齐销位置来计算所述基板(500)与所述探针板(150)之间的修正值的步骤；
通过所述UVW平台(140)根据修正值来将所述基板(500)与所述探针板(150)对齐的步骤；以及
通过所述UVW平台(140)使所述探针板(150)下降来连接所述探针销(155)与所述连接部(555)的步骤。
14.根据权利要求11所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法，其特征在于，
所述老化及光学检查步骤包括：
通过所述探针销(155)与所述连接部(555)的连接来被传递从所述信号生成单元(170)施加的电量，由此所述单元(550)被点亮并进行所述单元(550)的老化工序的步骤；以及
通过在所述单元(550)被点亮的状态下由所述光学检查单元(180)扫描所述单元(550)的区域来进行所述单元(550)的光学检查工序的步骤。
15.根据权利要求14所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法，其特征在于，
进行所述光学检查工序的步骤包括：
通过所述光学检查单元(180)的颜色异常***(181)检查点亮状态的所述单元(550)的图像质量及颜色异常的步骤；以及
通过所述光学检查单元(180)的颜色特性***(182)检查点亮状态的所述单元(550)的包括亮度、灰度及效率的颜色特性的步骤。
16.根据权利要求15所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法，其特征在于，
进行所述光学检查工序的步骤包括：
通过配置于所述颜色异常***(181)的变焦范围部(183)推摄点亮状态的所述单元(550)的被选择的区域的步骤；以及
通过所述颜色异常***(181)再次检查被推摄的区域的步骤。
17.根据权利要求11所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查方法，其特征在于，
所述有机发光二极管面板的老化及光学检查方法包括：
通过反馈在所述老化及光学检查步骤中导出的检查结果来修正在所述基板(500)进行沉积的沉积设备工序条件的步骤。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102418506B1 (ko) * 2020-08-20 2022-07-07 엘아이지넥스원 주식회사 점탄성 특성을 이용한 고댐핑 적층형 인쇄회로기판 및 그 제조방법

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4163435B2 (ja) * 2002-03-29 2008-10-08 株式会社日本マイクロニクス 被検査基板の検査装置
JP4319068B2 (ja) * 2004-03-01 2009-08-26 株式会社日鉄エレックス 発光パネルのエイジング検査装置
JP2008066003A (ja) * 2006-09-04 2008-03-21 Sanyo Electric Co Ltd エレクトロルミネッセンス表示装置の欠陥検査方法及び欠陥修正方法及びエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法
KR101279656B1 (ko) * 2008-12-22 2013-06-27 엘지디스플레이 주식회사 프로브 검사장치
KR20110073318A (ko) * 2009-12-22 2011-06-29 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 유기 ｅｌ 디스플레이 기판의 점등 검사 설비 및 점등 검사 방법, 유기 ｅｌ 디스플레이 기판의 결함 검사 수정 장치 및 결함 검사 수정 방법, 유기 ｅｌ 디스플레이 패널 수정 설비 및 수정 방법 및 유기 ｅｌ 디스플레이 제조 시스템 및 제조 방법
KR101149055B1 (ko) * 2010-05-25 2012-05-24 주식회사 영우디에스피 오엘이디 패널의 에이징 장치
CN101986376B (zh) * 2010-09-28 2012-07-25 彩虹显示器件股份有限公司 整片oled基板玻璃点亮老化时检查串笔的走线方法
JP2012146529A (ja) * 2011-01-12 2012-08-02 Hitachi High-Technologies Corp 薄膜表示素子の検査修正方法及び検査修正装置
KR101573459B1 (ko) * 2013-11-29 2015-12-01 (주) 루켄테크놀러지스 에이징 시스템
CN108594494B (zh) * 2018-06-14 2023-08-29 广东速美达自动化股份有限公司 一种不带fpc液晶屏自动检测流水线

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