CN110858627A - 有机el器件的制造方法及有机el器件 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种有机EL器件，其具备像素、基板和堤，所述像素包含第一电极、有机发光层和第二电极，所述堤设置于该基板且用于规定像素，该像素配置于堤内，有机发光层具有在俯视下具有长边方向和短边方向的形状、并且具有在通过短边方向的中心且与长边方向平行的截面中长边方向中心的厚度小于两端的厚度的凹形状，像素在电流值为10mA/cm²时的平均亮度为3000cd/m²以上，关于进行了将上述截面中的最大亮度值设为1的规格化的上述截面中的亮度分布曲线，像素满足式：SL(70)≤0.01[SL(70)表示：在将长边方向中心的位置设为0、将一端的位置设为+100、并且将另一端的位置设为‑100时，在位置+70和位置‑70处的亮度分布曲线的斜率的绝对值的平均值。]。

Description

有机EL器件的制造方法及有机EL器件

技术领域

本发明涉及有机EL器件的制造方法及有机EL器件。

背景技术

有机EL(电致发光)器件是包含利用了有机化合物的场致发光的发光元件的器件。有机EL器件中，在各像素内设置有机发光层，并且使每个像素发光(例如国际公开第2008/149499号)。

发明内容

从低消耗电力及长寿命化的观点出发，对有机EL器件要求提高外部量子效率(EQE)。

另一方面，在具有带堤(bank)的像素的有机EL器件中，从在端部发光的情况下会导致泄漏(短路)的危险性的方面出发，通过使设置于各像素的有机发光层的截面形状为长边方向中心的厚度小于两端的厚度的凹形状，由此抑制了泄漏的危险性。但是，在这样的有机EL器件中，对于EQE尚有改善的余地。

本发明的目的在于提供EQE良好的有机EL器件。

本发明的另一目的在于提供能够生产率良好地制造EQE良好的有机EL器件的方法。

本发明提供以下所示的有机EL器件的制造方法及有机EL器件。

[1]一种有机EL器件，其是具备包含第一电极、有机发光层和第二电极的像素的有机EL器件，

上述有机EL器件具备基板和设置于上述基板且用于规定上述像素的堤，

上述像素配置于上述堤内，

上述有机发光层具有在俯视下具有长边方向和短边方向的形状，并且具有在通过上述短边方向的中心且与上述长边方向平行的截面中长边方向中心的厚度小于两端的厚度的凹形状，

上述像素在电流值为10mA/cm²时的平均亮度为3000cd/m²以上，

关于进行了将上述截面中的最大亮度值设为1的规格化的上述截面中的亮度分布曲线，上述像素满足下述式(1)，

SL(70)≤0.010 (1)

[式中，SL(70)表示：在将上述长边方向中心的位置设为0、将在上述长边方向的一端的位置设为+100、并且将在上述长边方向的另一端的位置设为-100时，位置+70处的亮度分布曲线的斜率的绝对值与位置-70处的亮度分布曲线的斜率的绝对值的平均值。]。

[2]一种有机EL器件的制造方法，其包括形成包含第一电极、有机发光层和第二电极的像素的工序，

上述有机EL器件具备基板和设置于上述基板且用于规定上述像素的堤，

上述像素配置于上述堤内，

形成上述像素的工序包括：

在上述第一电极上形成上述有机发光层的工序；

在上述有机发光层上形成上述第二电极的工序；以及

对所得的像素进行检查的工序，

上述有机发光层以具有在俯视下具有长边方向和短边方向的形状、并且具有在通过上述短边方向的中心且与上述长边方向平行的截面中长边方向中心的厚度小于两端的厚度的凹形状的方式来形成，

上述像素在电流值为10mA/cm²时的亮度为3000cd/m²以上，

进行上述检查的工序包括：取得与上述像素的上述截面中的亮度分布曲线的斜率有关的信息、并基于该信息进行上述像素的好坏判定的工序。

[3]根据[2]所述的有机EL器件的制造方法，其中，在进行上述像素的好坏判定的工序中，关于利用上述长边方向中心的亮度进行了规格化时的上述截面中的亮度分布曲线，基于上述像素是否满足下述式(1)来进行上述像素的好坏判定。

SL(70)≤0.010 (1)

[式中，SL(70)表示：在将上述长边方向中心的位置设为0、将在上述长边方向的一端的位置设为+100、并且将在上述长边方向的另一端的位置设为-100时，位置+70处的亮度分布曲线的斜率的绝对值与位置-70处的亮度分布曲线的斜率的绝对值的平均值。]

[4]根据[2]或[3]所述的有机EL器件的制造方法，其在上述第一电极上利用涂布法形成有机发光层。

根据本发明，可以提供EQE良好的有机EL器件。

另外，根据本发明，可以提供能够生产率良好地制造EQE良好的有机EL器件的方法。

附图说明

图1是从像素形成面侧观察一个实施方式所述的有机EL器件时的俯视图。

图2是沿着图1的II-II线的截面的部分放大图。

图3是对图1的有机EL器件所具有的带堤的基板进行说明的图。

图4是显示像素的亮度分布曲线的一例的图。

图5是用于对有机结构体形成工序进行说明的图。

图6是用于对有机发光层形成工序进行说明的图。

图7是表示使实施例、比较例及参考例中的形成有机发光层时的涂布膜真空干燥的工序中的减压曲线的图。

附图标记说明

1有机EL器件、2像素、2a像素区域、2R红色像素、2G绿色像素、2B蓝色像素、10带堤的基板、11基板、11a基板的表面、12阳极(第一电极)、13堤、13a堤的侧面、14凹部、20有机EL结构部、21空穴注入层、22空穴传输层、23有机发光层、30阴极(第二电极)、40有机结构体。

具体实施方式

以下，示出实施方式来对本发明进行说明。对同一要素标记同一符号。省略重复的说明。附图的尺寸比率未必与说明的物体的尺寸比率一致。

<有机EL器件>

图1是从像素形成面侧观察一个实施方式所述的有机EL器件时的俯视图。

图1所示的有机EL器件1为有机EL显示器面板，并且具有多个像素2。各个像素2为有机EL元件部。即，有机EL器件1具有一体地连结有多个有机EL元件部的结构。

在本说明书中，“像素”是指发光的单元(或区域)，至少包含第一电极、有机发光层和第二电极。在本实施方式中，像素2包含阳极(第一电极)12、空穴注入层21、空穴传输层22、有机发光层23及阴极(第二电极)30。

通过像素2的发光而使像素2具有颜色信息。在图1中，用虚线示意性地显示像素2。

多个像素2分别射出红色、绿色及蓝色中的任一种光。从该观点出发，有机EL器件1具有3种像素2，即，射出红色光的红色像素2R、射出绿色光的绿色像素2G及射出蓝色光的蓝色像素2B。以下，在对像素2发光的颜色进行区分说明的情况下，也有时将像素2如上述那样称作红色像素2R、绿色像素2G及蓝色像素2B。

多个像素2配置成二维阵列(或矩阵状)。将二维阵列的互相正交的两个方向也称作X方向(或行方向)及Y方向(或列方向)。在该情况下，构成多个像素2的3种的红色像素2R、绿色像素2G及蓝色像素2B通过在Y方向上依次重复配置例如以下的(i)、(ii)、(iii)的列，从而分别排列而进行配置。

(i)将红色像素2R在X方向上隔开规定的间隔而配置的列。

(ii)将绿色像素2G在X方向上隔开规定的间隔而配置的列。

(iii)将蓝色像素2B在X方向上隔开规定的间隔而配置的列。

有机EL器件1例如可以通过以并列的红色像素2R、绿色像素2G及蓝色像素2B作为一个显示像素单元，并控制显示像素单位中所含的红色像素2R、绿色像素2G及蓝色像素2B来进行全彩色显示。

各列中的像素2之间的间隔、各行中的像素2之间的间隔、像素2的配置例及像素2的数量等根据有机EL器件1的样式等进行适当设定。

对有机EL器件1的结构更详细地进行说明。

图2是沿着图1的II-II线的截面的部分放大图。图3是对图1的有机EL器件所具有的带堤的基板进行说明的附图，与从图2中省略了除带堤的基板10以外的构成要素后的附图相对应。

有机EL器件1具备带堤的基板10、多个有机EL结构部20和阴极(第二电极)30。有机EL器件1可以为顶部发光型的器件，也可以为底部发光型的器件。以下，只要没有特别说明，则对底部发光型、即从带堤的基板10侧取出光的情况进行说明。

如图2及图3所示，带堤的基板10具有基板11、多个阳极(第一电极)12和堤13。

(1)基板

基板11是对可见光(波长400nm～800nm的光)具有透光性的板状的透明构件。基板11是支撑阳极12及堤13的支撑体。基板11的厚度为例如30μm以上且1100μm以下。基板11可以是例如玻璃基板或硅基板等刚性基板，也可以是塑料基板或高分子膜等挠性基板。通过使用挠性基板，从而有机EL器件1可以具有挠性。

基板11可以预先形成有用于驱动像素2的电路。基板11也可以预先形成有例如TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)、电容器等。

(2)阳极(第一电极)

阳极12在基板11的表面11a上设置于与各像素2对应的像素区域2a上。作为阳极12的俯视形状(从基板11的厚度方向观察到的形状)，可列举例如长方形、正方形等四边形、其他多边形、以及对四边形或其他多边形的角部倒圆后的形状等。阳极12的俯视形状可以为圆形或椭圆形。另外，阳极12的俯视形状可以是将四边形或其他多边形的至少1边制成弧状(例如圆弧状)而得的形状。

作为阳极12，可以使用包含金属氧化物、金属硫化物及金属等的薄膜，具体而言，使用包含氧化铟、氧化锌、氧化锡、氧化铟锡(Indium Tin Oxide：简称ITO)、氧化铟锌(Indium Zinc Oxide：简称IZO)、金、铂、银及铜等的薄膜。在有机EL器件1从带堤的基板10侧射出光的情况下，使用显示光透过性的阳极12。

阳极12的厚度可以考虑光透过性、电导率等来适当确定。阳极12的厚度为例如10nm以上且10μm以下，优选为20nm以上且1μm以下，更优选为50nm以上且500nm以下。

阳极12可以利用蒸镀法或涂布法来形成。在利用蒸镀法形成的情况下，只要在基板11上形成包含阳极12的材料的层后将该层图案化为多个阳极12的图案即可。在利用涂布法形成阳极12时，可以通过将包含阳极12的材料的涂布液以与多个阳极12对应的图案而涂布于基板11上，然后使涂布膜干燥来形成。或者，也可以在将包含应该形成为阳极12的材料的涂布膜形成于基板11并使其干燥后图案化为阳极12的图案。

当在阳极12的形成中使用涂布法的情况下，作为涂布法，可列举喷墨印刷法，此外，还可以使用公知的涂布法、例如狭缝涂布法、微凹版涂布法、凹版涂布法、棒涂法、辊涂法、绕线棒涂法、喷涂法、丝网印刷法、柔版印刷法、胶版印刷法及喷嘴印刷法等。包含阳极12的材料的涂布液的溶剂只要是能够溶解阳极12的材料的溶剂即可。

在一个实施方式中，可以在阳极12与基板11之间设置包含绝缘层等的层。绝缘层等层也可以视为基板11的一部分。

(3)堤

如图2及图3所示，堤13设置于各阳极12的周围。堤13跨设于相邻的阳极12之间。堤13的一部分可以覆盖于阳极12的周边部。堤13是用于规定(区划)像素2(像素区域2a)的隔壁。即，堤13以具有用于区划在基板11的表面11a上预先设定的像素区域2a的开口那样的图案而设置于基板11上。在本实施方式中，如图1所示，以二维阵列而配置有多个像素2，因此在基板11上设有格子状的堤13。

堤13可以由例如树脂形成。堤13为例如包含斥液剂的感光性树脂组合物的固化物。作为斥液剂的例子，可列举含有氟树脂的斥液剂。在以堤13所规定的像素区域2a上如后述那样利用例如涂布法形成有机发光层23等有机层。因此，通常当在以堤13所规定的像素区域2a上利用涂布法形成有机层时，以具有能够适合形成该有机层的特性(例如润湿性)的方式形成堤13。

堤13的形状及其配置根据像素2的数量及分辨率等有机EL器件1的样式或制造容易性等进行适当设定。例如，在图2及图3中，堤13的面向像素区域2a的侧面13a与基板11的表面11a实质上正交。然而，侧面13a可以以相对于表面11a成锐角的方式倾斜，也可以以成钝角的方式倾斜。在侧面13a与表面11a为锐角的情况下，已知堤13的形状为顺锥形，在侧面13a与基板11的表面为钝角的情况下，已知堤13的形状为逆锥形。堤13的厚度(高度)为例如0.3μm以上且5μm以下左右。

带堤的基板10可以通过例如在预先设定于基板11的多个像素区域2a上形成阳极12后形成堤13来制造。

堤13可以利用例如涂布法来形成。具体而言，可以通过使在形成有阳极12的基板11上涂布包含堤13的材料的涂布液而成的涂布膜干燥后，将该涂布膜图案化为规定的图案来形成。作为涂布法，可列举例如旋涂法、狭缝涂布法等。包含堤13的涂布液的溶剂只要是能够溶解堤13的材料的溶剂即可。

(4)空穴注入层

空穴注入层21是具有改善从阳极12向有机发光层23中注入空穴的空穴注入效率的功能的有机层。作为空穴注入层21的材料，可以使用公知的空穴注入材料。作为空穴注入材料，可列举例如氧化钒、氧化钼、氧化钌及氧化铝等氧化物；苯基胺化合物；星爆(StarBurst)式胺化合物；酞菁化合物；无定形碳；聚苯胺；聚乙烯二氧噻吩(PEDOT)等聚噻吩衍生物。

空穴注入层21的厚度的最佳值根据所使用的材料的不同而不同，可斟酌所需的特性及层的形成容易性等进行适当确定。空穴注入层21的厚度为例如1nm以上且1μm以下，优选为2nm以上且500nm以下，更优选为5nm以上且200nm以下。

空穴注入层21可根据需要按照像素2的种类、即红色像素2R、绿色像素2G及蓝色像素2B变更其材料或厚度来设置。从空穴注入层21的形成工序的简易性的观点出发，可以以相同的材料、相同的厚度形成全部的空穴注入层21。

(5)空穴传输层

空穴传输层22是具有改善从阳极12、空穴注入层21或更接近于阳极12的空穴传输层22向有机发光层23中注入空穴的功能的层。空穴传输层22的材料可以使用公知的空穴传输材料。作为空穴传输层22的材料，可列举例如聚乙烯基咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链具有芳香族胺的聚硅氧烷或其衍生物、吡唑啉或其衍生物、芳基胺或其衍生物、芪(stilbene)或其衍生物、三苯基二胺或其衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚吡咯或其衍生物、聚(对苯乙炔)或其衍生物、以及聚(2，5-噻吩乙炔)或其衍生物等。另外，作为空穴传输层22的材料，也可列举日本特开2012-144722号公报中公开的空穴传输层材料。

空穴传输层22的厚度的最佳值根据所使用的材料的不同而不同，可以按照使驱动电压和发光效率成为适度的值的方式进行适当设定。空穴传输层22的厚度为例如1nm以上且1μm以下，优选为2nm以上且500nm以下，更优选为5nm以上且200nm以下。

空穴传输层22可根据需要按照像素2的种类、即红色像素2R、绿色像素2G及蓝色像素2B变更其材料或厚度来设置。从空穴传输层22的形成工序的简易性的观点出发，可以以相同的材料、相同的厚度形成全部的空穴传输层22。

(6)有机发光层

有机发光层23设置在空穴传输层22上。有机发光层23是具有发出规定波长的光的功能的有机层。有机发光层23通常主要由发出荧光和/或磷光的有机物形成、或者由该有机物和辅助该有机物的掺杂剂形成。例如为了提高发光效率、使发光波长发生变化而添加掺杂剂。

有机发光层23中所含的有机物可以是低分子化合物，也可以是高分子化合物。作为构成有机发光层23的发光材料，可列举例如下述的色素系材料、金属络合物系材料、高分子系材料、掺杂材料。

作为色素系的发光材料，可列举例如环戊胺或其衍生物、四苯基丁二烯或其衍生物、三苯基胺或其衍生物、噁二唑或其衍生物、吡唑并喹啉或其衍生物、二苯乙烯基苯或其衍生物、二苯乙烯基亚芳基(distyryl arylene)或其衍生物、吡咯或其衍生物、噻吩环化合物、吡啶环化合物、紫环酮或其衍生物、苝或其衍生物、低聚噻吩或其衍生物、噁二唑二聚物或其衍生物、吡唑啉二聚物或其衍生物、喹吖啶酮或其衍生物、香豆素或其衍生物等。

作为金属络合物系的发光材料，可列举例如具有Tb、Eu、Dy等稀土金属或A1、Zn、Be、Pt、Ir等作为中心金属并且具有噁二唑、噻二唑、苯基吡啶、苯基苯并咪唑、喹啉结构等作为配位体的金属络合物。作为金属络合物，可列举例如铱络合物、铂络合物等具有来自三重激发态的发光的金属络合物、喹啉醇铝络合物、苯并喹啉醇铍络合物、苯并噁唑锌络合物、苯并噻唑锌络合物、偶氮甲基锌络合物、卟啉锌络合物、菲咯啉铕络合物等。

作为高分子系的发光材料，可列举例如聚对苯乙炔或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚苯(polyparaphenylene)或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、聚乙炔或其衍生物、聚芴或其衍生物、聚乙烯基咔唑或其衍生物、将上述色素材料、金属络合物材料进行高分子化后的材料等。

在上述发光材料中，作为发出红色光的材料(以下也称作“红色发光材料”)，可列举例如香豆素或其衍生物、噻吩环化合物及它们的聚合物、聚对苯乙炔或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芴或其衍生物等。作为红色发光材料，也可列举日本特开2011-105701号公报中公开的材料。

作为发出绿色光的材料(以下也称作“绿色发光材料”)，可列举例如喹吖啶酮或其衍生物、香豆素或其衍生物、以及它们的聚合物、聚对苯乙炔或其衍生物、聚芴或其衍生物等。作为绿色发光材料，也可列举日本特开2012-036388号公报中公开的材料。

作为发出蓝色光的材料(以下也称作“蓝色发光材料”)，可列举例如二苯乙烯基亚芳基或其衍生物、噁二唑或其衍生物、以及它们的聚合物、聚乙烯基咔唑或其衍生物、聚苯或其衍生物、聚芴或其衍生物等。作为蓝色发光材料，也可列举日本特开2012-144722号公报中公开的材料。

作为掺杂材料，可列举例如苝或其衍生物、香豆素或其衍生物、红荧烯或其衍生物、喹吖啶酮或其衍生物、方酸菁或其衍生物、卟啉或其衍生物、苯乙烯基色素、并四苯或其衍生物、吡唑啉酮或其衍生物、十环烯(decacyclene)或其衍生物、吩噁嗪酮(phenoxazone)或其衍生物等。

有机发光层23可以根据像素2的种类、即红色像素2R、绿色像素2G及蓝色像素2B来设置。在与红色像素2R对应的凹部14的空穴传输层22上设置发出红色光的有机发光层23，在与绿色像素2G对应的凹部14的空穴传输层22上设置发出绿色光的有机发光层23，在与蓝色像素2B对应的凹部14的空穴传输层22上设置发出蓝色光的有机发光层23。以下，有时也将红色像素2R、绿色像素2G及蓝色像素2B中所含的有机发光层23称作红色发光层23R、绿色发光层23G及蓝色发光层23B。

如图2所示，在带堤的基板10中，在由堤13和阳极12形成的凹部14(参照图2及图3)内设置多个有机EL结构部20。在本实施方式中，有机EL结构部20具有空穴注入层21、空穴传输层22及有机发光层23。

即，各像素2配置在堤13内(被堤13所规定的凹部14内)。

在至少1个像素2中，优选的是：在全部的像素2中，有机发光层23如图1所示那样具有在俯视下具有长边方向和短边方向的形状。在本说明书中，俯视是指从层的厚度方向进行观察。在本实施方式中，构成有机EL结构部20的各层在俯视下为同一形状。

作为具有长边方向和短边方向的形状，可列举长方形、对长方形的角部倒圆后的形状、使长方形的至少1边为弧状(例如圆弧状)的形状、椭圆形等。

在至少1个像素2中，优选的是：在全部的像素2中，具有在俯视下具有长边方向和短边方向这一形状的有机发光层23具有在通过短边方向的中心且与长边方向平行的截面中长边方向中心的厚度小于两端的厚度的凹形状(参照图2)。通过赋予这样的凹形状，从而减少容易发生泄漏或局部发光的有机发光层23向外周部注入电流的电流注入量，可以抑制像素的亮度特性的降低。

具有上述凹形状的有机发光层23中的长边方向两端的厚度与中心的厚度之差为例如1nm以上且20nm以下，从提高亮度及提高EQE的观点出发，优选为1nm以上且10nm以下，更优选为1nm以上且5nm以下。

有机发光层的平均厚度为例如1nm以上且2μm以下，优选为5nm以上且500nm以下，更优选为10nm以上且100nm以下。

有机发光层23具有凹形状例如可以通过使用光学显微镜观察截面来确认。

若在堤13内利用涂布法形成有机发光层23，则通常因表面张力的影响而使有机发光层23具有凹形状。

(7)阴极(第二电极)

阴极30设置在有机发光层23上。作为阴极30的材料，优选功函数小、容易向有机发光层23中注入电子、且电导率高的材料。另外，如在本实施方式中所说明那样，在有机EL器件1从阳极12侧取出光的情况下，为了使从有机发光层23放射的光被阴极30反射至阳极12侧，作为阴极30的材料，优选可见光反射率高的材料。在阴极30中，可以使用例如碱金属、碱土金属、过渡金属及元素周期表的13族金属等。另外，作为阴极30，也可以使用包含导电性金属氧化物或导电性有机物等的透明导电性阴极。

阴极30的厚度可考虑电导率、耐久性而进行适当设定。阴极30的厚度为例如10nm以上且10μm以下，优选为20nm以上且1μm以下，更优选为50nm以上且500nm以下。

可以在有机发光层23与阴极30之间设置1个或2个以上的电子注入层、电子传输层等其他层。

电子注入层是具有改善从阴极向有机发光层注入电子的电子注入效率的功能的层。电子注入层可以使用公知的电子注入材料。在这样设置电子注入层的情况下，可以在电子注入层与有机发光层之间设置电子传输层。电子传输层是具有改善从阴极、电子注入层或更接近于阴极的电子传输层注入电子的功能的层。电子传输层可以使用公知的电子传输材料。

在本实施方式中，阴极30形成在设有多个像素2的显示区域的整面。即，阴极30不仅形成在有机发光层23上，而且形成在堤13上，以多个像素2中通用的阴极的形式设置。

虽然在图1及图2中省略了图示，但是，在有机EL器件1的阴极30上通常设有密封基板。此外，有机EL器件1可以具备例如有机EL显示器面板所具备的公知的其他要素。

(8)像素的亮度特性及亮度分布特性

在有机EL器件1中，多个像素2中的至少1个满足下述〔A〕及〔B〕。以下，将满足下述〔A〕及〔B〕的像素也称作“特定像素”。

〔A〕电流值为10mA/cm²时的平均亮度为3000cd/m²以上。

〔B〕关于进行了将通过有机发光层23的短边方向的中心且与长边方向平行的截面中的最大亮度的值设为1的规格化的、该截面中的亮度分布曲线，满足下述式(1)。

SL(70)≤0.010 (1)

本发明在包含满足上述〔A〕的亮度效率(单位：cd/A)高的特定像素的有机EL器件中显著地提高了改善EQE的效果。在此所说的亮度效率为亮度(单位：cd/m²)的值除以电流值(单位：mA/cm²)所得的值。

上述平均亮度是指在通过有机发光层23的短边方向的中心且与长边方向平行的截面中的遍布有机发光层23的长边方向的亮度的平均值。

电流值为10mA/cm²时的平均亮度优选为4000cd/m²以上，更优选为5000cd/m²以上。

电流值为10mA/cm²时的平均亮度(平均亮度效率)主要依赖于有机发光层23中所含的发光材料的种类。因此，作为多个像素2所具有的有机发光层23的至少一者中使用的发光材料，从例如以上例示的发光材料中选用电流值为10mA/cm²时的平均亮度处于上述范围的发光材料。

若对上述〔B〕进行说明，则参照表示像素的亮度分布曲线的一例的图4，在将有机发光层(像素)的长边方向中心的位置设为0、将在长边方向的一端的位置设为+100、并且将在长边方向的另一端的位置设为-100时，SL(70)表示位置+70处的亮度分布曲线的斜率的绝对值与位置-70处的亮度分布曲线的斜率的绝对值的平均值。

在此所说的亮度分布曲线是指表示有机发光层(像素)的长边方向上的位置(横轴)与该位置处的亮度(纵轴)的关系的曲线图，纵轴的亮度进行了将有机发光层23的长边方向中心的最大亮度值设为1的规格化(参照图4)。

位置+70处的亮度分布曲线的斜率是指：在将该亮度分布曲线的坐标设为(位置，该位置处的亮度)时，使用5个坐标点(+68.4，该位置处的亮度)、(+69.2，该位置处的亮度)、(+70.0，该位置处的亮度)、(+70.8，该位置处的亮度)及(+71.6，该位置处的亮度)进行线性近似而得的直线的斜率。

同样地，位置-70处的亮度分布曲线的斜率是指：使用5个坐标点(-71.6，该位置处的亮度)、(-70.8，该位置处的亮度)、(-70.0，该位置处的亮度)、(-69.2，该位置处的亮度)及(-68.4，该位置处的亮度)进行线性近似而得到的直线的斜率。

与满足〔A〕但不满足〔B〕的像素及包含该像素的有机EL器件相比，满足〔A〕及〔B〕的特定像素及包含该特定像素的有机EL器件可以显示更高的EQE。推测这是由于：在像素中，也是产生EQE更低的发光的区域部分的比例减少，产生EQE更高的发光的区域部分的比例增加。

从改善EQE的效果的观点出发，SL(70)优选为0.008以下，更优选为0.005以下，进一步优选为0.003以下，特别优选为0.002以下。

SL(70)理想的是0附近。

为了得到更显著的EQE提高效果，特定像素优选满足〔A〕及〔B〕、并且满足下述〔C〕。

〔C〕在将横轴设为对像素供给的电流量(单位：mA/cm²)、将纵轴设为平均亮度(单位：cd/m²)的、表示电流量与平均亮度的关系的图表中，随着电流量的增加，该电流值时的平均亮度的值除以该电流值所得的值(即为上述图表中的该电流值时的斜率，是指在该电流值时的上述平均亮度效率)逐渐降低。

存在如下倾向：上述降低的程度越大，则EQE提高效果越大。

予以说明，根据本发明人等的研究而明确了：在求得上述亮度分布曲线的斜率的位置如例如以绝对值计超过80的情况那样为有机发光层的端部(位置以绝对值计为100)或者接近于端部的情况下，还存在干扰等因素，在上述亮度分布曲线的斜率与EQE之间未确认到相关性。

已明确：在求得上述亮度分布曲线的斜率的位置例如以绝对值计小于60的情况下，在上述亮度分布曲线的斜率与EQE之间也未确认到相关性。

与此相对，已明确：在求得上述亮度分布曲线的斜率的位置例如以绝对值计为60以上且80以下的情况下，可以确认到上述相关性，尤其在以绝对值计为70的情况下，该相关性更为明确，在SL(70)为0.010以下时和不为0.010以下时，明显确认到EQE具有显著的差异。

在本发明中，在有机EL器件具有多个像素的情况下，如果至少1个像素为特定像素，则在该像素中可以得到EQE提高效果。但是，从作为有机EL器件的EQE提高效果的观点出发，有机EL器件优选具有2个以上的特定像素，更优选具有尽可能多的特定像素。

从作为有机EL器件的EQE提高效果的观点及提高有机EL器件的生产率的观点出发，有机EL器件优选的是：全部的红色像素2R为特定像素，或者全部的绿色像素2G为特定像素，或者全部的蓝色像素2B为特定像素。尤其是绿色像素2G在其能见度曲线的特性方面亮度容易上升，因此优选为特定像素，接着，更优选依照红色像素2R、蓝色像素2B的顺序为特定像素。进而，特别优选使选自全部的红色像素2R、全部的绿色像素2G及全部的蓝色像素2B中的2种以上像素为特定像素。

在以上的说明中，带堤的基板所具有的第一电极为阳极，第二电极为阴极，但是，也可以使第一电极为阴极、第二电极为阳极。另外，在以上的说明中，有机EL器件具有红色像素2R、绿色像素2G及蓝色像素2B这三种像素，但颜色的种类并无特别限定，可以使全部的像素射出相同的颜色。

在以上的说明中，在有机发光层与带堤的基板所具有的电极之间形成了空穴注入层及空穴传输层，但是也可以不形成它们。例如，可以与带堤的基板所具有的电极邻接地形成有机发光层。或者，也可以不形成空穴传输层而与空穴注入层邻接地形成有机发光层。

作为有机EL器件的例子，并不限定于有机显示器面板，只要是有机发光装置即可。

<有机EL器件的制造方法>

接着，对有机EL器件1的制造方法进行说明。在此，对准备带堤的基板10后的有机EL器件1的制造方法进行说明。

有机EL器件1的制造方法包括形成像素的工序，形成像素的工序包括下述的工序。

在阳极(第一电极)12上形成有机发光层23的工序(有机发光层形成工序)S101、

在有机发光层23上形成阴极(第二电极)30的工序(阴极形成工序)S102、以及

对所得的像素进行检查的工序S103。

在有机EL器件1的制造中，首先，在准备带堤的基板10之后且在工序S101之前实施在阳极(第一电极)12上形成有机结构体40的工序(有机结构体形成工序)S100。在有机结构体形成工序S100中，如图5所示，在设置于像素区域2a的、换言之设置于凹部14的阳极12上利用涂布法依次形成空穴注入层21和空穴传输层22，从而制作作为空穴注入层21与空穴传输层22的层叠体的有机结构体40。有机结构体40为像素的一部分。

具体而言，在凹部14的阳极12上滴加包含空穴注入材料的涂布液而形成涂布膜后，使涂布膜干燥，由此形成空穴注入层21。

作为涂布法，可列举例如喷墨印刷法。但是，如果是能够在凹部14内形成层的涂布法，则可以使用其他公知的涂布法、例如微凹版涂布法、凹版涂布法、棒涂法、辊涂法、绕线棒涂法、喷涂法、丝网印刷法、柔版印刷法、胶版印刷法及喷嘴印刷法，可优选使用丝网印刷法、柔版印刷法、胶版印刷法及喷嘴印刷法。

作为在涂布液中使用的溶剂，只要能够溶解空穴注入材料，则并无限定，可列举例如：氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷等氯化物溶剂；四氢呋喃等醚溶剂；甲苯、二甲苯等芳香族烃溶剂；丙酮、甲乙酮等酮溶剂；乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙基溶纤剂乙酸酯等酯溶剂等。

涂布膜的干燥方法只要能够干燥涂布膜，则并无限定，可列举真空干燥及加热干燥等。

接着，将包含空穴传输材料的涂布液滴加到凹部14内的空穴注入层21上而形成涂布膜后，使涂布膜干燥，由此形成空穴传输层22。溶剂及干燥方法的例子可以与空穴注入层21的情况同样。

在实施有机结构体形成工序S100之后，实施有机发光层形成工序S101。在有机发光层形成工序S101中，如图6所示，在有机结构体40上优选利用涂布法形成有机发光层23。

具体而言，将包含应该形成为有机发光层23的发光材料的涂布液滴加到堤13内、即凹部14内的空穴传输层22上而形成涂布膜后，使涂布膜干燥，由此形成有机发光层23。

在与红色像素2R、绿色像素2G及蓝色像素2B对应的凹部14上使用分别包含红色用发光材料、绿色发光材料及蓝色发光材料的涂布液，形成红色发光层23R、绿色发光层23G及蓝色发光层23B。

作为涂布法，可例示喷墨印刷法，也可以利用对空穴注入层21所例示的其他公知的涂布法。涂布液所使用的溶剂只要能够溶解发光材料，则并无限定，可以与形成空穴注入层21时例示的溶剂同样。

与空穴注入层21的情况同样，涂布膜的干燥方法只要能够干燥涂布膜，则并无限定，可列举真空干燥及加热干燥等。

利用有机发光层形成工序S101，在凹部14内，在阳极12上形成由有机结构体40和有机发光层23构成的有机EL结构体20。

如上所述，在至少1个像素2中，优选在全部的像素2中，有机发光层23具有在俯视下具有长边方向和短边方向的形状。在本实施方式所述的有机EL器件1中，构成有机EL结构部20的各层在俯视下为同一形状。

另外，如上所述，在至少1个像素2中，优选在全部的像素2中，具有在俯视下具有长边方向和短边方向的形状的有机发光层23具有在通过短边方向的中心且与长边方向平行的截面中长边方向中心的厚度小于两端的厚度的凹形状(参照图6)。

若在堤13内利用涂布法形成有机发光层23，则通常因表面张力的影响而使有机发光层23具有凹形状。

在有机发光层形成工序S101中，以使多个像素2中的至少1个满足上述〔A〕的方式形成有机发光层23。以满足上述〔A〕的方式，从例如以上例示的发光材料中选择电流值为10mA/cm²时的平均亮度处于上述范围的发光材料来形成有机发光层23。关于〔A〕的详细情况，引用上述的记载。

在形成有机发光层23后，实施形成阴极(第二电极)30的工序(阴极形成工序)S102。作为阴极30的形成方法，可列举例如与阳极12的情况同样的蒸镀法及涂布法。在该工序中，阴极30遍布形成于在多个凹部14上所形成的有机发光层23上。由此，能够得到在堤13内形成有像素2的图1及图2所示的有机EL器件1。

在阴极形成工序S102之后，实施对所得的像素进行检查的工序(检查工序)S103。检查工序S103包括：取得与像素中所含的有机发光层23的通过短边方向的中心且与长边方向平行的截面中的亮度分布曲线的斜率有关的信息、并基于该信息进行该像素的好坏判定的工序。对于亮度分布曲线，引用上述的记载。

根据测定像素的亮度分布曲线并基于由该曲线得到的信息而进行像素的好坏判定的方法，与测定有机发光层23本身的形状(例如厚度或厚度分布等)并基于该测定结果来进行像素的好坏判定的方法相比，能够简便且容易地进行好坏判定，因此能够提高有机EL器件1的生产率。

与亮度分布曲线的斜率有关的信息优选为与以绝对值计为60以上且80以下的位置处的亮度分布曲线的斜率有关的信息，更优选为与以绝对值计为70的位置处的亮度分布曲线的斜率有关的信息、即SL(70)。通过选择与以绝对值计为60以上且80以下的位置处的亮度分布曲线的斜率有关的信息、尤其是SL(70)作为与亮度分布曲线的斜率有关的信息，从而能够简便地进行像素的好坏判定，并且通过将是否满足上述式(1)设为好坏判定基准，从而可以精度良好地生产EQE良好的有机EL器件。

对于SL(70)、其范围及优选的范围、以及式(1)，引用上述的记载。

作为以满足上述〔B〕的方式形成像素的方法，可列举：在有机发光层23的形成中调整使涂布膜真空干燥的工序中的减压曲线(将干燥炉内的气体一边排气一边减压的操作中的排气时间与干燥炉内的真空度的关系)和/或干燥温度。例如，作为一例，较大地设定减压速度或较低地设定干燥温度在形成满足〔B〕的像素方面较为有利。

在对满足上述〔A〕的像素进行的检查工序S103中，例如，在将是否满足上述式(1)设为好坏判定基准、并且SL(70)超过0.010的情况下，优选的是：为了满足上述〔B〕，而实施对有机发光层23的形成进行上述调整的工序。

从提高EQE的观点出发，利用本发明所述的制造方法得到的有机EL器件包含至少1个特定像素、即满足上述〔A〕及〔B〕的像素。但是，从作为有机EL器件的EQE提高效果的观点出发，有机EL器件优选具有2个以上的特定像素，更优选具有尽可能多的特定像素。

从作为有机EL器件的EQE提高效果的观点及提高有机EL器件的生产率的观点出发，有机EL器件优选的是：全部的红色像素2R为特定像素，或者全部的绿色像素2G为特定像素，或者全部的蓝色像素2B为特定像素。尤其是，绿色像素2G在其能见度曲线的特性方面亮度容易上升，因此优选为特定像素，接着，更优选依照红色像素2R、蓝色像素2B的顺序为特定像素。进而，特别优选使选自全部的红色像素2R、全部的绿色像素2G及全部的蓝色像素2B中的2种以上像素为特定像素。

实施例

以下，示出实施例对本发明更具体地进行说明，但是，本发明并不受这些例子的限定。

<实施例1>

在带堤的基板10的多个凹部14上从阳极12侧起形成空穴注入层21、空穴传输层22及有机发光层23，在有机发光层23上形成阴极30，制作多个像素。由此，得到有机EL器件。空穴注入层21、空穴传输层22及有机发光层23通过利用喷墨印刷法使用与各层对应的涂布液形成涂布膜，并使其真空干燥来形成。作为各凹部14内的有机发光层23，使用了绿色发光层23G。构成像素的有机EL结构部20具有在俯视下具有长边方向和短边方向的形状。

使用非接触三维表面形状测定装置(Zygo公司制)进行了确认，其结果，有机发光层23具有在通过短边方向的中心且与长边方向平行的截面中长边方向中心的厚度小于两端的厚度的凹形状。在以下的实施例2、比较例1及2、以及参考例1及2中也同样。

在所形成的多个像素2中，在空穴注入层21、空穴传输层22及有机发光层23中分别使用相同的空穴注入材料、空穴传输材料及绿色发光材料。在形成有机发光层23时进行的真空干燥中，真空室内的温度为25℃。另外，该真空干燥中的真空室内的减压曲线如图7所示。

<实施例2>

除了将在形成有机发光层23时进行的真空干燥中的干燥温度设为35℃以外，与实施例1同样地制作有机EL器件1。在实施例1和实施例2中，阳极12、空穴注入层21、空穴传输层22、有机发光层23及阴极30的材料分别相同。

<比较例1>

除了将在形成有机发光层23时进行的真空干燥中的真空室内的减压曲线设为如图7所示以外，与实施例1同样地制作有机EL器件1。在实施例1和比较例1中，阳极12、空穴注入层21、空穴传输层22、有机发光层23及阴极30的材料分别相同。

<比较例2>

除了将在形成有机发光层23时进行的真空干燥中的真空室内的减压曲线设为如图7所示以外，与实施例1同样地制作有机EL器件1。在实施例1和比较例2中，阳极12、空穴注入层21、空穴传输层22、有机发光层23及阴极30的材料分别相同。

<参考例1>

在带堤的基板10的多个凹部14上从阳极12侧起形成空穴注入层21、空穴传输层22及有机发光层23，在有机发光层23上形成阴极30，制作多个像素。由此，得到有机EL器件。空穴注入层21、空穴传输层22及有机发光层23通过利用喷墨印刷法使用与各层对应的涂布液形成涂布膜，并使其真空干燥来形成。作为各凹部14内的有机发光层23，使用了蓝色发光层23B。构成像素的有机EL结构部20具有在俯视下具有长边方向和短边方向的形状。

在所形成的多个像素2中，在空穴注入层21、空穴传输层22及有机发光层23中分别使用相同的空穴注入材料、空穴传输材料及蓝色发光材料。在形成有机发光层23时进行的真空干燥中，真空室内的温度为35℃。另外，在该真空干燥中的真空室内的减压曲线如图7所示。

<参考例2>

除了将在形成有机发光层23时进行的真空干燥中的干燥温度设为55℃以外，与参考例1同样地制作有机EL器件1。在参考例1和参考例2中，阳极12、空穴注入层21、空穴传输层22、有机发光层23及阴极30的材料分别相同。

[测定·评价]

(1)电流值为10mA/cm²时的平均亮度

使用Radiant Vision Systems公司制的二维色彩亮度计，对于多个像素中的1个，求得由所施加的电流[单位：mA]及发光面积[单位：cm²]求出的电流值为10mA/cm²时的平均亮度[单位：cd/m²]。将结果示于表1中。对于通过有机发光层23的短边方向的中心且与长边方向平行的截面，求出平均亮度。

(2)亮度分布曲线及SL(70)

对于进行了上述(1)的测定的像素，使用Radiant Vision Systems公司制的二维色彩亮度计，取得像素内的亮度分布，求出亮度分布曲线。对于通过有机发光层23的短边方向的中心且与长边方向平行的截面，求出亮度分布曲线。

另外，按照上述的定义，由所得的亮度分布曲线求出SL(70)。将结果示于表1中。

(3)EQE

对于进行了上述(1)的测定的像素，使用Radiant Vision Systems公司制的二维色彩亮度计，由电压[单位：V]、电流[单位：mA]及发光光谱求出EQE。将结果示于表1中。

[表1]

Claims (4)

1.一种有机EL器件，其是具备包含第一电极、有机发光层和第二电极的像素的有机EL器件，

所述有机EL器件具备基板和设置于所述基板且用于规定所述像素的堤，

所述像素配置于所述堤内，

所述有机发光层具有在俯视下具有长边方向和短边方向的形状，并且具有在通过所述短边方向的中心且与所述长边方向平行的截面中长边方向中心的厚度小于两端的厚度的凹形状，

所述像素在电流值为10mA/cm²时的平均亮度为3000cd/m²以上，

关于进行了将所述截面中的最大亮度值设为1的规格化的所述截面中的亮度分布曲线，所述像素满足下述式(1)，

SL(70)≤0.010 (1)

式中，SL(70)表示：在将所述长边方向中心的位置设为0、将在所述长边方向的一端的位置设为+100、并且将在所述长边方向的另一端的位置设为-100时，位置+70处的亮度分布曲线的斜率的绝对值与位置-70处的亮度分布曲线的斜率的绝对值的平均值。

2.一种有机EL器件的制造方法，其包括：形成包含第一电极、有机发光层和第二电极的像素的工序，

所述有机EL器件具备基板和设置于所述基板且用于规定所述像素的堤，

所述像素配置于所述堤内，

形成所述像素的工序包括：

在所述第一电极上形成所述有机发光层的工序；

在所述有机发光层上形成所述第二电极的工序；以及

对所得的像素进行检查的工序，

所述有机发光层以具有在俯视下具有长边方向和短边方向的形状、并且具有在通过所述短边方向的中心且与所述长边方向平行的截面中长边方向中心的厚度小于两端的厚度的凹形状的方式来形成，

所述像素在电流值为10mA/cm²时的亮度为3000cd/m²以上，

进行所述检查的工序包括：取得与所述像素的所述截面中的亮度分布曲线的斜率有关的信息、并基于该信息进行所述像素的好坏判定的工序。

3.根据权利要求2所述的有机EL器件的制造方法，其中，在进行所述像素的好坏判定的工序中，关于利用所述长边方向中心处的亮度进行了规格化时的所述截面中的亮度分布曲线，基于所述像素是否满足下述式(1)来进行所述像素的好坏判定，

SL(70)≤0.010 (1)

式中，SL(70)表示：在将所述长边方向中心的位置设为0、将在所述长边方向的一端的位置设为+100、并且将在所述长边方向的另一端的位置设为-100时，位置+70处的亮度分布曲线的斜率的绝对值与位置-70处的亮度分布曲线的斜率的绝对值的平均值。

4.根据权利要求2或3所述的有机EL器件的制造方法，其在所述第一电极上利用涂布法形成有机发光层。

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