CN110823127A - 一种基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***及方法 - Google Patents
一种基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***及方法 Download PDFInfo
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Abstract
本发明公开了一种基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***及方法，本发明***包括波面干涉仪、平面镜头、圆柱面部分补偿器、待测非圆柱面、高精度测距装置，方法步骤包括在波面干涉仪的平面镜头与待测非圆柱面之间***圆柱面部分补偿器；调整待测非圆柱面到圆柱面部分补偿器之间的距离，使干涉条纹可解析，并实施干涉检测；在圆柱面部分补偿器和波面干涉仪平面镜头之间***高精度测距装置，测量圆柱面部分补偿器到待测非圆柱面的距离；在光学设计软件中对检测光路进行仿真，得到理论剩余像差；根据干涉测量结果和理论剩余像差获取待测非圆柱面的面形误差。本发明具有在不更换补偿器的情况下可对多种非圆柱面面形进行干涉测量的优点。
Description
技术领域
本发明涉及光学精密测量领域，具体涉及一种基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***及方法。
背景技术
柱面是直线沿着一条定曲线平行移动所形成的曲面。直线称为柱面的直母线，定曲线称为柱面的准线。类比球面和非球面的命名，当准线是圆时所得柱面称为圆柱面，当准线是二次曲线和高次曲线时所得柱面称为非圆柱面。柱面光学元件因具有子午面和弧矢面光焦度不同的特点，广泛应用于校正像散、光束整形、线聚焦或线成像等光学***中。与非球面相对于球面的优势类似，非圆柱面相对于圆柱面引入了更多的设计参数，大大增加了光学***设计的自由度，对于光学***矫正像差、改善像质以及轻量化设计具有重要作用。
光学面形的超精密加工与测量水平的跃升往往是推动光学***变革性发展的核心动力。二十世纪七八十年代以来，以计算机控制光学表面成形为代表的光学加工技术和以补偿法为代表的激光干涉面形检测技术逐渐发展成熟，使得30余年内非球面便取代了传统的球面成为光学***的主角。从非球面逐步取代球面的发展趋势来看，非圆柱面也有望逐步替代圆柱面，成为柱面光学***的主角，进而驱动光学***的革新。非圆柱面的面形误差超精密测量是其制造的前提。波面干涉测量是最主要的面形测量方法之一。传统干涉检测要求干涉仪发出的波面形状与被测面的理论形状完全一致。但干涉仪标准镜头只有平面和球面两种，测量非圆柱面时，因为非圆柱面相对标准平面或球面有偏离，此时即使没有面形误差，干涉图也不是零条纹。干涉条纹反映了非圆柱面与平面或球面偏离度的大小，偏离度太大时，条纹太密使CCD无法解析，超出干涉仪的动态测量范围。传统的非圆柱面补偿干涉检测方法是在干涉仪平面或球面镜头后放置一个CGH，将标准波前变换为与被测非圆柱面理想匹配的波前。然而，CGH只能实现一种形式的波前变换，是“一对一”定制化设计的，因此只能实现一种被测非圆柱面的检测。检测不同非圆柱面需要定制不同的CGH，这造成时间和经济成本的巨大浪费。
为了提高补偿器的灵活性，目前主流的方法是采用非零位检测，适当放松补偿器完全补偿像差的要求，只进行部分像差的补偿，使得像差在干涉仪的解析能力范围内即可。公告号为CN1587950A的中国专利文献公开了“一种用部分补偿透镜实现非球面面形的干涉测量方法”，可以对某一补偿镜而言扩展其测量范围，但仅仅适用于测量旋转对称的非球面。公告号为CN101241232A的中国专利文献公开了“可实现非球面通用化检测的大球差补偿镜及其装置”，通过一个大球差透镜即可实现对一系列非球面透镜的补偿，然而其补偿镜采用了回转对称的球面透镜的组合，也仅仅适用于测量旋转对称的非球面。刘惠兰、郝群等在“利用部分补偿透镜进行非球面面形测量”，刘惠兰，郝群，朱秋东，沙定国，北京理工大学学报24(7)：625-628，2004中证明用球面透镜或球面透镜组合形式的部分补偿透镜可以实现不同的非球面的检测。总之，部分补偿检测的方法可以提高补偿器的灵活性，但现有文献仅公开了采用回转对称类部分补偿器实现回转对称非球面的检测，不能适用于非圆柱面的检测。公告号为CN 108267094A的中国专利文献公开了“一种基于旋转CGH的非圆柱面干涉拼接测量***及方法”，通过旋转CGH柱面波转换器绕自身中心轴线的旋转角度可以使检测非圆柱面不同子孔径时的干涉条纹可以解析，其方法必须配合子孔径拼接使用，无法直接用来实现非圆柱面的全口径检测，且CGH的旋转角度和旋转轴线难以确定和监控，CGH旋转角度之后也难以实现CGH相对于干涉仪的对准，装置较为复杂。
发明内容
本发明要解决的技术问题：针对现有技术的上述问题，提供一种基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***及方法，本发明能够实现在不更换补偿器的情况下可对多种非圆柱面面形进行干涉测量，能够降低检测的时间和经济成本，提高检测效率，具有装置简洁、易于操作的优点。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：
一种基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***，其特征在于，包括波面干涉仪、平面镜头、高精度测距装置和圆柱面部分补偿器，所述平面镜头布置于波面干涉仪的输出端，所述圆柱面部分补偿器布置于波面干涉仪的平面镜头与待测非圆柱面之间以用于将平面镜头发出的平面波面转换成非圆柱面波面，所述高精度测距装置布置于平面镜头和圆柱面部分补偿器之间以测量圆柱面部分补偿器与待测非圆柱面之间的距离。
可选地，所述波面干涉仪为菲索型干涉仪或泰曼-格林型干涉仪。
可选地，所述高精度测距装置为基于短相干的干涉仪、或双频激光干涉仪、或外差测距干涉仪、或迈克耳逊干涉仪、或光纤干涉测距仪、或激光跟踪仪。
可选地，所述圆柱面部分补偿器为双凸圆柱面透镜、双凹圆柱面透镜、平凸圆柱面透镜、平凹圆柱面透镜、将平面波前转换为柱面波前的CGH元件中的一种或多种元件的任意组合。
可选地，所述待测非圆柱面的截线为二次曲线或高次曲线的非圆柱面，其方程为：
上式中，z表示非圆柱面的矢高，c为顶点曲率，k为非圆柱面截面曲线的二次常数，A4,A6,A8,…分别为非圆柱面的截面曲线高次项x4,x6,x8,…的系数。
此外，本发明还提供一种前述基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***的应用方法，包括如下步骤：
1)在平面镜头与待测非圆柱面之间***圆柱面部分补偿器；
2)调整待测非圆柱面到圆柱面部分补偿器之间的距离，使待测非圆柱面经圆柱面部分补偿器补偿后的剩余像差在波面干涉仪的动态测量范围内，使得干涉条纹能被波面干涉仪解析并实施干涉检测得到干涉测量结果；
3)通过高精度测距装置测量圆柱面部分补偿器到待测非圆柱面的距离；
4)基于圆柱面部分补偿器到待测非圆柱面的距离、圆柱面部分补偿器和待测非圆柱面的设计参数在光学设计软件中对检测光路进行仿真得到检测光路的理论剩余像差，并根据干涉测量结果和检测光路的理论剩余像差获取待测非圆柱面的面形误差。
和现有技术相比，本发明具有下述优点：
1、本发明的基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量的***不需额外增加补偿器，只需沿光轴方向一维平移被测非圆柱面即可实现不同非圆柱面的检测，且平移精度通过高精度测距装置保证，装置简洁、易于操作。
2、本发明的基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量的方法通过平移被测非圆柱面，使不同非圆柱面与不同传播距离处的非圆柱面波前近似匹配，达到部分补偿条件，即可实现多个非圆柱面的检测，从而降低检测的时间和经济成本，提高检测效率。
附图说明
图1为本发明实施例测量方法的基本原理图。
图2为本发明实施例中对检测光路进行仿真得到的理论剩余像差。
图3为本发明实施例中的仿真光路的实验结果截图。
图4为本发明实施例中仿真得到的理论干涉条纹的实验结果截图。
图中各标号表示：1、波面干涉仪；2、平面镜头；3、高精度测距装置；4、圆柱面部分补偿器；5、待测非圆柱面。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。
如图1所示，本实施例基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***包括波面干涉仪1、平面镜头2、高精度测距装置3和圆柱面部分补偿器4，所述平面镜头2布置于波面干涉仪1的输出端，所述圆柱面部分补偿器4布置于波面干涉仪1的平面镜头2与待测非圆柱面5之间以用于将平面镜头2发出的平面波面转换成非圆柱面波面，所述高精度测距装置3布置于平面镜头2和圆柱面部分补偿器4之间以测量圆柱面部分补偿器4与待测非圆柱面5之间的距离。本实施例基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***的测量原理为：传统非圆柱面补偿检测要求非圆柱面补偿器完全匹配被测非圆柱面的像差，即波面干涉仪的标准波前经非圆柱面补偿器转换成与被测非圆柱面理论形状完全匹配的非圆柱面波前。而本实施例基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***只要求被测非圆柱面5的部分像差能被圆柱面部分补偿器4补偿。具体方法是通过改变被测非圆柱面5到圆柱面部分补偿器4的距离，只要剩余像差在波面干涉仪1的动态范围之内(条纹可解析)就可认为被测非圆柱面5可以被相同的补偿器检测，从而打破了非圆柱面补偿器“一对一”的限制，实现“一对多”的非圆柱面补偿检测。
参见图1，圆柱面部分补偿器4布置于波面干涉仪1的平面镜头2与待测非圆柱面5之间，用于将平面镜头2发出的平面波面转换成非圆柱面波面。根据波前传播理论，该非圆柱面波前的形状随传播距离而改变。待测非圆柱面5可以沿光轴移动，从而与特定传播距离处的非圆柱面波前形状近似匹配，当待测非圆柱面5与非圆柱面波前的剩余像差在干涉仪的动态测量范围内，满足部分补偿条件，干涉条纹即可解析，可以实施干涉测量。所述的高精度测距装置3用以测量圆柱面部分补偿器与待测非圆柱面之间的距离。基于高精度测距装置3的测量结果，在光学设计软件中对检测光路进行仿真，得到检测光路的理论剩余像差。根据干涉测量结果和检测光路的理论剩余像差获取所述待测非圆柱面5的面形误差。
波面干涉仪1用以产生测试波前，与其内部的参考波前发生干涉，产生干涉条纹图，用以记录测试波前的畸变，被测面的面形误差在检测光路中体现为测试波前的畸变。波面干涉仪1可以根据需要采用菲索型干涉仪或泰曼-格林型干涉仪。
高精度测距装置3用以检测圆柱面部分补偿器与待测非圆柱面之间的距离，精度在微米量级。基于高精度测距装置3的测量结果，可以在光学设计软件中对检测光路进行仿真，得到检测光路的理论剩余像差。进而获取被测面的面形误差。高精度测距装置3可以根据需要采用基于短相干的干涉仪、或双频激光干涉仪、或外差测距干涉仪、或迈克耳逊干涉仪、或光纤干涉测距仪、或激光跟踪仪。
圆柱面部分补偿器4用以将波面干涉仪1发出的标准平面波前转换为非圆柱面波前。非圆柱面波前的形状随传播距离而改变，通过沿光轴移动待测非圆柱面5可以使待测非圆柱面与特定距离处的非圆柱面波前近似匹配，达到部分补偿条件，即条纹可以解析。圆柱面部分补偿器4可以根据需要采用双凸圆柱面透镜、双凹圆柱面透镜、平凸圆柱面透镜、平凹圆柱面透镜、将平面波前转换为柱面波前的CGH元件中的一种或多种元件的任意组合。在本实施例中，圆柱面部分补偿器4为平凸圆柱面透镜，材料为K9，折射率n＝1.51630，通光口径50mm×50mm,中心厚度18.5mm，圆柱面弧矢半径R为54.274mm。
本实施例中，待测非圆柱面5的截线为二次曲线或高次曲线的非圆柱面，其方程为：
上式中，z表示非圆柱面的矢高，c为顶点曲率，k为非圆柱面截面曲线的二次常数，A4,A6,A8,…分别为非圆柱面的截面曲线高次项x4,x6,x8,…的系数。
此外，本实施例还提供一种本实施例前述基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***的应用方法，包括如下步骤：
1)在平面镜头2与待测非圆柱面5之间***圆柱面部分补偿器4，使得圆柱面部分补偿器4的凸面面向波面干涉仪1、平面面向待测非圆柱面5；
2)调整待测非圆柱面5到圆柱面部分补偿器4之间的距离，使待测非圆柱面5经圆柱面部分补偿器4补偿后的剩余像差在波面干涉仪的动态测量范围内，使得干涉条纹能被波面干涉仪1解析并实施干涉检测得到干涉测量结果；
3)通过高精度测距装置3测量圆柱面部分补偿器4到待测非圆柱面5的距离；
4)基于圆柱面部分补偿器4到待测非圆柱面5的距离、圆柱面部分补偿器4和待测非圆柱面5的设计参数在光学设计软件中对检测光路进行仿真得到检测光路的理论剩余像差，并根据干涉测量结果和检测光路的理论剩余像差获取待测非圆柱面的面形误差。
在光学设计软件中对该圆柱面部分补偿器可测的非圆柱面进行仿真，在距离圆柱面部分补偿器不同距离处，可以检测不同形状、不同口径的非圆柱面。表1列出了使用该圆柱面部分补偿器能够检测的部分典型可测非圆柱面。
表1：使用圆柱面部分补偿器能够检测的部分典型可测非圆柱面。
参见表1，表1包含了抛物柱面、双曲柱面、椭球柱面和高次非圆柱面。表1的最后一列表示使用圆柱面部分补偿器检测相应非圆柱面时理论剩余像差的峰谷值，剩余像差的幅值均在一般商用激光波面干涉仪的测量能力范围内，满足干涉检测的部分补偿检测条件。表1中采用的非圆柱面的方程为：
上式中，z表示非圆柱面的矢高，c为顶点曲率，k为非圆柱面截面曲线的二次常数，A4,A6,A8,…分别为非圆柱面的截面曲线高次项x4,x6,x8,…的系数。c＝1/R，R为顶点曲率半径。以表1中的抛物柱面为例，本实施例基于本实施例中圆柱面部分补偿器检测非圆柱面干涉测量方法的具体步骤中：
步骤2)中调整待测非圆柱面5到圆柱面部分补偿器4之间的距离时，当待测非圆柱面到圆柱面部分补偿器之间的距离接近293.037mm时，待测非圆柱面经本实施例中圆柱面部分补偿器补偿后的剩余像差在波面干涉仪的动态测量范围内，即干涉条纹能被波面干涉仪解析，并实施干涉检测；
步骤3)通过高精度测距装置3测量圆柱面部分补偿器4到待测非圆柱面5的距离时，高精度测距装置3采用一台基于短相干干涉原理的LenScan LS600激光测距仪，其测量范围最大为600mm，绝对测量精度为±1μm。使用该高精度测距装置3测量圆柱面部分补偿器4到待测非圆柱面5的距离，记为L，在本实施例中假定L＝293.037mm；
步骤4)中基于圆柱面部分补偿器4到待测非圆柱面5的距离L、圆柱面部分补偿器4和待测非圆柱面5的设计参数在光学设计软件中对检测光路进行仿真时，具体是在光学设计软件ZEMAX中对检测光路进行仿真，仿真光路如图2所示。检测光路的理论剩余像差如图3所示，干涉图如图4所示。将理论剩余像差从干涉测量结果中去除即可获取待测非圆柱面的面形误差。本实施例基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量的应用方法通过平移被测非圆柱面，使不同非圆柱面与不同传播距离处的非圆柱面波前近似匹配，达到部分补偿条件，即可实现多个非圆柱面的检测，从而降低检测的时间和经济成本，提高检测效率。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (6)
1.一种基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***，其特征在于，包括波面干涉仪(1)、平面镜头(2)、高精度测距装置(3)和圆柱面部分补偿器(4)，所述平面镜头(2)布置于波面干涉仪(1)的输出端，所述圆柱面部分补偿器(4)布置于波面干涉仪(1)的平面镜头(2)与待测非圆柱面(5)之间以用于将平面镜头(2)发出的平面波面转换成非圆柱面波面，所述高精度测距装置(3)布置于平面镜头(2)和圆柱面部分补偿器(4)之间以测量圆柱面部分补偿器(4)与待测非圆柱面(5)之间的距离。
2.根据权利要求1所述基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***，其特征在于：所述波面干涉仪(1)为菲索型干涉仪或泰曼-格林型干涉仪。
3.根据权利要求1所述基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***，其特征在于：所述高精度测距装置(3)为基于短相干的干涉仪、或双频激光干涉仪、或外差测距干涉仪、或迈克耳逊干涉仪、或光纤干涉测距仪、或激光跟踪仪。
4.根据权利要求1所述基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***，其特征在于：所述圆柱面部分补偿器(4)为双凸圆柱面透镜、双凹圆柱面透镜、平凸圆柱面透镜、平凹圆柱面透镜、将平面波前转换为柱面波前的CGH元件中的一种或多种元件的任意组合。
5.根据权利要求1所述基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***，其特征在于：所述待测非圆柱面(5)的截线为二次曲线或高次曲线的非圆柱面，其方程为：
上式中，z表示非圆柱面的矢高，c为顶点曲率，k为非圆柱面截面曲线的二次常数，A4,A6,A8,…分别为非圆柱面的截面曲线高次项x4,x6,x8,…的系数。
6.根据权利要求1～5中任意一项所述基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量***的应用方法，其特征在于包括如下步骤：
1)在平面镜头(2)与待测非圆柱面(5)之间***圆柱面部分补偿器(4)；
2)调整待测非圆柱面(5)到圆柱面部分补偿器(4)之间的距离，使待测非圆柱面(5)经圆柱面部分补偿器(4)补偿后的剩余像差在波面干涉仪的动态测量范围内，使得干涉条纹能被波面干涉仪(1)解析并实施干涉检测得到干涉测量结果；
3)通过高精度测距装置(3)测量圆柱面部分补偿器(4)到待测非圆柱面(5)的距离；
4)基于圆柱面部分补偿器(4)到待测非圆柱面(5)的距离、圆柱面部分补偿器(4)和待测非圆柱面(5)的设计参数在光学设计软件中对检测光路进行仿真得到检测光路的理论剩余像差，并根据干涉测量结果和检测光路的理论剩余像差获取待测非圆柱面的面形误差。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113008159A (zh) * | 2021-02-05 | 2021-06-22 | 中国人民解放军国防科技大学 | 非圆柱面面形的可变一维球差干涉测量***及应用方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030002049A1 (en) * | 2001-06-20 | 2003-01-02 | Michael Kuchel | Scanning interferometer for aspheric surfaces and wavefronts |
| CN101949691A (zh) * | 2010-09-07 | 2011-01-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 非零位补偿浅度光学非球面面形检测方法 |
| CN102506750A (zh) * | 2011-10-28 | 2012-06-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 部分补偿非球面反射镜面形检测方法 |
| CN105444693A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-03-30 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种浅度非球面的面形误差测量方法 |
| CN106052583A (zh) * | 2016-05-24 | 2016-10-26 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于可变补偿透镜的非球面面形干涉测量方法及装置 |
| CN108267094A (zh) * | 2018-01-12 | 2018-07-10 | 暨南大学 | 一种基于旋转cgh的非圆柱面干涉拼接测量***及方法 |
-
2019
- 2019-11-14 CN CN201911113702.XA patent/CN110823127A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030002049A1 (en) * | 2001-06-20 | 2003-01-02 | Michael Kuchel | Scanning interferometer for aspheric surfaces and wavefronts |
| CN101949691A (zh) * | 2010-09-07 | 2011-01-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 非零位补偿浅度光学非球面面形检测方法 |
| CN102506750A (zh) * | 2011-10-28 | 2012-06-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 部分补偿非球面反射镜面形检测方法 |
| CN105444693A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-03-30 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种浅度非球面的面形误差测量方法 |
| CN106052583A (zh) * | 2016-05-24 | 2016-10-26 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于可变补偿透镜的非球面面形干涉测量方法及装置 |
| CN108267094A (zh) * | 2018-01-12 | 2018-07-10 | 暨南大学 | 一种基于旋转cgh的非圆柱面干涉拼接测量***及方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113008159A (zh) * | 2021-02-05 | 2021-06-22 | 中国人民解放军国防科技大学 | 非圆柱面面形的可变一维球差干涉测量***及应用方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
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Application publication date: 20200221 |