CN110774180A - 一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮及其制作方法 - Google Patents
一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮及其制作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110774180A CN110774180A CN201911127878.0A CN201911127878A CN110774180A CN 110774180 A CN110774180 A CN 110774180A CN 201911127878 A CN201911127878 A CN 201911127878A CN 110774180 A CN110774180 A CN 110774180A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- working layer
- powder
- silicon wafer
- grinding wheel
- base body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 26
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 26
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 238000007688 edging Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010974 bronze Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 14
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000010892 electric spark Methods 0.000 claims description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 6
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 claims description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 229910001651 emery Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000004134 energy conservation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 abstract 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 15
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D5/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D18/00—Manufacture of grinding tools or other grinding devices, e.g. wheels, not otherwise provided for
- B24D18/0009—Manufacture of grinding tools or other grinding devices, e.g. wheels, not otherwise provided for using moulds or presses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D5/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
- B24D5/16—Bushings; Mountings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
本发明公开了一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮及其制作方法,包括:基体、安装孔、工作层和槽体;在所述基体的中心开设安装孔;在所述基体的外侧边缘设置工作层;在所述工作层上开设槽体。本装置结构简单,设计合理,采用青铜结合剂制造,可重复使用,达到节能减排目的,同时本装置可重复使用,降低使用成本。
Description
技术领域
本发明涉及砂轮技术领域,尤其是涉及一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮及其制作方法。
背景技术
目前硅片外圆倒角(磨边)砂轮采用以电镀方法制造,存在以下不足:1、污染环境,电镀工艺使用的电镀液,酸,碱均对环境存在严重污染。2、工作层薄,(1mm以内)一次性使用,造出极大浪费,使用成本高。基体v型槽先通过机械加工成型,再电镀金刚石,电镀工艺不能保证金刚石颗粒的分布平整性和均匀性,使得砂轮加工硅片会出现崩边,毛刺等不合格现象。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮及其制作方法。
为实现上述目的,本发明采用以下内容:
一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮,包括:基体、安装孔、工作层和槽体;在所述基体的中心开设安装孔;在所述基体的外侧边缘设置工作层;在所述工作层上开设槽体。
优选的是,所述槽体为V型槽;所述V型槽通过电火花设备或者激光设备加工而成。
优选的是,所述基体由金属材料制成;所述工作层由金刚石粉、铜粉、锌粉、锡粉、镍粉、钴粉或钨粉制成。
优选的是,还包括过渡层;在所述基体和工作层中间设置过渡层;所述工作层、过渡层和基体之间通过模具热压成型。
一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮的制作方法,其包括步骤如下:
工作层采用金刚石磨料与青铜结合剂在模具中经高温压制成型;
接着通过模具将基体、过渡层和工作层热压成型,或者直接将工作层与基体热压成型;
然后通过机械加工在基体的中心开设安装孔,后经车磨整体达到要求尺寸;
然后通过电火花设备或者激光设备在工作层上开槽,开成V型槽;
最后把V型槽修整成0.1mm-0.8mm之间的深度。
所述基体由金属材料制成;所述工作层由金刚石粉、铜粉、锌粉、锡粉、镍粉、钴粉或钨粉制成。
本发明具有以下优点:
1、本装置结构简单,设计合理,采用青铜结合剂制造,可重复使用,达到节能减排目的。
2、本装置可重复使用,降低使用成本。
3、经修整后的V型槽平整度好,无大的突起,加工硅片无崩边,无毛刺。
附图说明
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。
图1是本发明的一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮的结构示意图。
图2是本发明的一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮的主视图。
图中,各附图标记为:
1-基体,2-安装孔,3-过渡层,4-工作层,5-槽体。
具体实施方式
为了更清楚地说明本发明,下面结合优选实施例对本发明做进一步的说明。本领域技术人员应当理解,下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的,不应以此限制本发明的保护范围。
如图1和2所示,一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮,包括:基体1、安装孔2、工作层4和槽体5;在基体1的中心开设安装孔2;在基体1的外侧边缘设置工作层4,且工作层4的厚度为3-20mm;在工作层4上开设槽体5。
进一步地,所述槽体5为V型槽,且V型槽通过电火花设备或者激光设备加工而成,以达到硅片倒角尺寸要求。
进一步地,所述基体1由金属材料制成,可以是钢、铁或不锈钢等材料;所述工作层4由金刚石粉、铜粉、锌粉、锡粉、镍粉、钴粉或钨粉制成。
进一步地,本装置还包括过渡层;在基体1和工作层4中间设置过渡层3;所述工作层4、过渡层3和基体1之间通过模具热压成型;通过设置过渡层3,便于桥接工作层4和基体1;同时可以根据情况不使用过渡层3,直接将工作层4和基体1热压成型在一起。
一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮的制作方法,其包括步骤如下:
采用金刚石磨料与青铜结合剂在模具中经高温压制成型呈工作层4,且工作层4的厚度为3-20mm,达到了可重复使用的条件;同时在加工的过程中无污染物排放,可以达到节能减排的目的;
接着通过模具将基体1、过渡层3和工作层4热压成型,或者根据情况可以直接将工作层4与基体1热压成型;
通过机械加工在基体1的中心开设安装孔2,后经车磨整体达到要求尺寸;
然后通过电火花设备或者激光设备在工作层4上开设槽体5,且槽体5呈V型槽,以达到硅片倒角尺寸要求;
最后把V型槽修整成0.1mm-0.8mm之间的深度,使得槽平整,金刚石无突起,以达到稳定加工的目的。
进一步地,所述基体1由金属材料制成;所述工作层4由金刚石粉、铜粉、锌粉、锡粉、镍粉、钴粉或钨粉制成;使用后的砂轮经修整再次循环使用,使用次数为工作层4修整完为终止。
显然,本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定,对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动,这里无法对所有的实施方式予以穷举,凡是属于本发明的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。
Claims (8)
1.一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮,其特征在于,包括:基体、安装孔、工作层和槽体;在所述基体的中心开设安装孔;在所述基体的外侧边缘设置工作层;在所述工作层上开设槽体。
2.根据权利要求1所述的一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮,其特征在于,所述槽体为V型槽;所述V型槽通过电火花设备或者激光设备加工而成。
3.根据权利要求1所述的一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮,其特征在于,所述基体由金属材料制成;所述工作层由金刚石粉、铜粉、锌粉、锡粉、镍粉、钴粉或钨粉制成。
4.根据权利要求3所述的一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮,其特征在于,还包括过渡层;在所述基体和工作层中间设置过渡层;所述工作层、过渡层和基体之间通过模具热压成型。
5.根据权利要求4所述的一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮,其特征在于,所述工作层的厚度为3-20mm。
6.一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮的制作方法,其特征在于,该制作方法用于加工权利要求1—4任一项所述的可重复使用的硅片倒角磨边砂轮,其包括步骤如下:
工作层采用金刚石磨料与青铜结合剂在模具中经高温压制成型;
接着通过模具将基体、过渡层和工作层热压成型,或者直接将工作层与基体热压成型;
然后通过机械加工在基体的中心开设安装孔,后经车磨整体达到要求尺寸;
然后通过电火花设备或者激光设备在工作层上开槽,开成V型槽;
最后把V型槽修整成0.1mm-0.8mm之间的深度。
7.根据权利要求6所述的一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮的制作方法,其特征在于,所述基体由金属材料制成;所述工作层由金刚石粉、铜粉、锌粉、锡粉、镍粉、钴粉或钨粉制成。
8.根据权利要求6所述的一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮的制作方法,其特征在于,所述工作层的厚度为3-20mm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911127878.0A CN110774180A (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮及其制作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911127878.0A CN110774180A (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮及其制作方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110774180A true CN110774180A (zh) | 2020-02-11 |
Family
ID=69392006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201911127878.0A Pending CN110774180A (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮及其制作方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110774180A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111230761A (zh) * | 2020-03-03 | 2020-06-05 | 沈阳工业大学 | 一种用于硅片倒角的砂轮制造方法与制造装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN203125337U (zh) * | 2013-02-05 | 2013-08-14 | 江西冠亿砂轮有限公司 | 磨挖掘机眼镜板专用碳化硅陶瓷砂轮 |
CN205799271U (zh) * | 2016-07-07 | 2016-12-14 | 李游 | 一种电镀金刚石砂轮 |
CN106695579A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-05-24 | 江苏索力德机电科技股份有限公司 | 一种超硬磨料磨轮 |
CN106944941A (zh) * | 2017-03-23 | 2017-07-14 | 镇江丰成特种工具有限公司 | 一种15槽金刚石磨盘 |
CN207788688U (zh) * | 2017-12-29 | 2018-08-31 | 佛山市南海区新维科技有限公司 | 一种用于陶瓷砖下倒角的金属结合剂金刚石砂轮 |
CN108527174A (zh) * | 2018-04-27 | 2018-09-14 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种碳化硅衬底倒角用砂轮及其制备方法 |
CN108747877A (zh) * | 2018-06-15 | 2018-11-06 | 江苏赛扬精工科技有限责任公司 | 一种自锐性硬质合金刀具抛光砂轮及其制备方法 |
CN211163563U (zh) * | 2019-11-18 | 2020-08-04 | 杨金全 | 一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮 |
-
2019
- 2019-11-18 CN CN201911127878.0A patent/CN110774180A/zh active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN203125337U (zh) * | 2013-02-05 | 2013-08-14 | 江西冠亿砂轮有限公司 | 磨挖掘机眼镜板专用碳化硅陶瓷砂轮 |
CN205799271U (zh) * | 2016-07-07 | 2016-12-14 | 李游 | 一种电镀金刚石砂轮 |
CN106695579A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-05-24 | 江苏索力德机电科技股份有限公司 | 一种超硬磨料磨轮 |
CN106944941A (zh) * | 2017-03-23 | 2017-07-14 | 镇江丰成特种工具有限公司 | 一种15槽金刚石磨盘 |
CN207788688U (zh) * | 2017-12-29 | 2018-08-31 | 佛山市南海区新维科技有限公司 | 一种用于陶瓷砖下倒角的金属结合剂金刚石砂轮 |
CN108527174A (zh) * | 2018-04-27 | 2018-09-14 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种碳化硅衬底倒角用砂轮及其制备方法 |
CN108747877A (zh) * | 2018-06-15 | 2018-11-06 | 江苏赛扬精工科技有限责任公司 | 一种自锐性硬质合金刀具抛光砂轮及其制备方法 |
CN211163563U (zh) * | 2019-11-18 | 2020-08-04 | 杨金全 | 一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111230761A (zh) * | 2020-03-03 | 2020-06-05 | 沈阳工业大学 | 一种用于硅片倒角的砂轮制造方法与制造装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101870092B (zh) | 用于加工水晶的磨盘及其制作方法 | |
CN106956224B (zh) | 一种金刚石砂轮棒及其制备方法 | |
CN105538174A (zh) | 一种砂轮块及其制备方法,抛光砂轮 | |
CN1562569A (zh) | 可在线电解的金属结合剂超硬磨料砂轮及其制备方法 | |
CN211163563U (zh) | 一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮 | |
CN102490255A (zh) | 修整陶瓷结合剂cbn砂轮的薄片金刚石滚轮制造新工艺 | |
CN110774180A (zh) | 一种可重复使用的硅片倒角磨边砂轮及其制作方法 | |
CN108161778B (zh) | 一种金刚石磨头及其制备工艺 | |
CN103659577A (zh) | 球面工件研磨抛光用固结磨料垫及制备方法 | |
CN109277957B (zh) | 一种金刚石均匀分布的刀头及其制备工艺 | |
CN111975659B (zh) | 单斜边结构冷锯砂轮的制备方法 | |
CN205520984U (zh) | 一种直径可调装配式砂轮 | |
CN102490127A (zh) | 一种固着磨料研磨盘的磨料 | |
CN202264158U (zh) | 整环压制的cbn砂轮 | |
CN209887412U (zh) | 一种弹簧端面磨削用砂轮结构 | |
CN203197758U (zh) | 一种用于高效深切磨削的砂轮 | |
WO2021097988A1 (zh) | 一种轮毂型电镀超薄金刚石切割片的制作方法 | |
CN207971814U (zh) | 一种易于排屑的可修复性铜盘研磨盘 | |
CN207710589U (zh) | 一种钎焊磨轮 | |
CN112847168A (zh) | 一种超薄陶瓷结合剂磨转子槽cbn砂轮增加粘接强度的制作方法 | |
CN214135551U (zh) | 一种磨砂面抛光专用模具 | |
CN101274420A (zh) | 软弹体抛磨头 | |
CN201597364U (zh) | 一种新型金刚石刀具 | |
CN114633207A (zh) | 一种钻石减薄垫及其制造方法 | |
CN216577379U (zh) | 一种新型角磨片 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |