CN110690152A - 大尺寸晶片接合装置 - Google Patents

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CN110690152A CN201910799369.6A CN201910799369A CN110690152A CN 110690152 A CN110690152 A CN 110690152A CN 201910799369 A CN201910799369 A CN 201910799369A CN 110690152 A CN110690152 A CN 110690152A
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Abstract

一种大尺寸晶片接合装置，其包含有：一供应单元；一中继单元，相邻于供应单元；一第一取放单元，位于中继单元与供应单元之间；一接收单元，相邻于中继单元；以及一第二取放单元，位于中继单元与接收单元之间；其中，供应单元供至少一晶片设置；接收单元转动一预定角度；第一取放单元将该至少一晶片放置于中继单元，中继单元转动该预定角度；第二取放单元将该晶片由中继单元放置于接收单元。通过接收单元与中继单元转动相同的预定角度，以使晶片依序放置于接收单元后的方向能够一致。

Description

大尺寸晶片接合装置
技术领域
本发明涉及一种大尺寸晶片接合装置，具体涉及一种能够提升速度与精度的晶片接合装置。
背景技术
大尺寸晶片的应用与生产已被各厂商所重视，但大尺寸晶片于各制程的机台之间运送时往往要考虑速度与精度的问题。若厂商欲提升大尺寸晶片的运送速度，则要面临精度的降低。若厂商欲提升精度，则恐面临速度的降低。
如上所述，目前于运送大尺寸晶片，于提升速度时，则面临精度的降低，而于提升精度时，速度恐会丧失。因此如何于运送大尺寸晶片同时提升精度与速度则为厂商可发展的空间。
综上，如何解决上述现有技术存在的不足，便成为本发明所要研究解决的课题。
发明内容
本发明的目的是提供一种大尺寸晶片接合装置。
为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：
一种大尺寸晶片接合装置；包含有：
一供应单元；
一中继单元，相邻于所述供应单元；
一第一取放单元，位于所述中继单元与所述供应单元之间；
一接收单元，相邻于所述中继单元；以及
一第二取放单元，位于所述中继单元与所述接收单元之间；
其中，所述供应单元供至少一晶片设置；所述接收单元转动一预定角度；所述第一取放单元将至少一晶片放置于所述中继单元，该中继单元转动所述预定角度；所述第二取放单元将所述晶片由中继单元放置接收单元。
上述技术方案中的有关内容解释如下：
1．上述方案中，所述中继单元具有一第一中继模块与一第二中继模块，两中继模块供所述第一取放单元放置所述晶片，待该晶片于所述第一中继模块已达一预定数量后，该第一中继模块与该第二中继模块互换位置，以使第一取放单元将晶片放置于所述第二中继模块。
2．上述方案中，所述第一中继模块具有一第一中继载台与一第一中继移动组件，该第一中继移动组件位于第一中继载台的下方，该第二中继模块具有一第二中继载台与一第二中继移动组件，第二中继载台位于第二中继移动组件的上方。
3．上述方案中，更具有一第一视觉单元，该第一视觉单元位于所述供应单元的上方。
4．上述方案中，更具有一第二视觉单元，该第二视觉单元位于所述中继单元的上方。
5．上述方案中，更具有一第三视觉单元，该第三视觉单元位于所述接合单元的上方。
6．上述方案中，所述第一取放单元具有至少一第一吸取模块。
7．上述方案中，所述第一取放单元更具有至少一第二吸取模块。
8．上述方案中，所述第一取放单元具有一第一旋转模块与至少一第一吸取模块，该至少一第一吸取模块设于所述第一旋转模块。
9．上述方案中，所述第二取放单元具有一旋转模块与至少一吸取模块，该至少一吸取模块设于所述旋转模块。
10．上述方案中，更具有一翻转单元，该翻转单元位于所述第一取放单元与所述中继单元之间。
11．上述方案中，所述接合单元具有一接合载台与一接收位移模块，该接收位移模块设于所述接合载台的下方。
12．上述方案中，所述接合载台具有一第一区与一第二区。
13．上述方案中，所述接合载台具有一第一区、一第二区、一第三区与一第四区。
本发明的工作原理及优点如下：
本发明一种大尺寸晶片接合装置，其包含有：一供应单元；一中继单元，相邻于供应单元；一第一取放单元，位于中继单元与供应单元之间；一接收单元，相邻于中继单元；以及一第二取放单元，位于中继单元与接收单元之间；其中，供应单元供至少一晶片设置；接收单元转动一预定角度；第一取放单元将该至少一晶片放置于中继单元，中继单元转动该预定角度；第二取放单元将该晶片由中继单元放置于接收单元。通过接收单元与中继单元转动相同的预定角度，以使晶片依序放置于接收单元后的方向能够一致。
附图说明
附图1为本发明第一实施例的示意图；
附图2为本发明第一实施例的俯视示意图；
附图3为至少一晶片放置于一第一中继模块的示意图；
附图4为第一中继模块调整至少一晶片位置的示意图；
附图5为本发明第二实施例的示意图；
附图6为本发明第二实施例的俯视示意图；
附图7为本发明第三实施例的示意图；
附图8为本发明第三实施例的俯视示意图；
附图9为本发明第三实施例又一俯视示意图；
附图10为本发明第四实施例的示意图。
以上附图中：10．供应单元；11．中继单元；110．第一中继模块；1100．第一中继载台；1101．第一中继位移组件；111．第二中继模块；1110．第二中继载台；1111．第二中继位移组件；12．第一取放单元；120．第一吸取模块；13．接收单元；130．接收载台；131．接收位移模块；1300．第一区；1301．第二区；14．第二取放单元；140．旋转模块；141．吸取单元；15．第一视觉单元；16．第二视觉单元；17．第三视觉单元；20．晶片；30．供应单元；31．中继单元；310．第一中继模块；3100．第一中继载台；3101．第一中继位移组件；311．第二中继模块；3110．第二中继载台；3111．第二中继位移组件；32．第一取放单元；320．第一吸取模块；321．第二吸取模块；33．接收单元；330．接收载台；3300．第一区；3301．第二区；331．接收位移模块；34．第二取放单元；340．旋转模块；341．吸取单元；35．第一视觉单元；36．第二视觉单元；37．第三视觉单元；40．晶片；50．供应单元；51．中继单元；510．第一中继模块；5100．第一中继载台；5101．第一中继移动组件；511．第二中继模块；5110．第一中继载台；5111．第二中继移动组件；52．第一取放单元；521．第一吸取模块；53．接收单元；530．接收载台；5300．第一区；5301．第二区；5302．第三区；5303．第四区；531．接收位移模块；54．第二取放单元；540．旋转模块；541．吸取模块；55．第一视觉单元；56．第二视觉单元；57．第三视觉单元；58．翻转单元；60．晶片；70．供应单元；71．中继单元；710．第一中继模块；711．第二中继模块；72．第一取放单元；720．第一旋转模块；721．第一吸取模块；73．接收单元；74．第二取放单元；740．旋转模块；741．吸取模块；75．第一视觉单元；76．第二视觉单元；77．第三视觉单元；80．晶片。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：
实施例：以下将以图式及详细叙述对本案进行清楚说明，任何本领域技术人员在了解本案的实施例后，当可由本案所教示的技术，加以改变及修饰，其并不脱离本案的精神与范围。
本文的用语只为描述特定实施例，而无意为本案的限制。单数形式如“一”、“这”、“此”、“本”以及“该”，如本文所用，同样也包含复数形式。
关于本文中所使用的“第一”、“第二”等，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本案，其仅为了区别以相同技术用语描述的组件或操作。
关于本文中所使用的“连接”或“定位”，均可指二或多个组件或装置相互直接作实体接触，或是相互间接作实体接触，亦可指二或多个组件或装置相互操作或动作。
关于本文中所使用的“包含”、“包括”、“具有”等，均为开放性的用语，即意指包含但不限于。
关于本文中所使用的用词（terms），除有特别注明外，通常具有每个用词使用在此领域中、在本案内容中与特殊内容中的平常意义。某些用以描述本案的用词将于下或在此说明书的别处讨论，以提供本领域技术人员在有关本案之描述上额外的引导。
关于本文中所使用的“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”等，均为方向性用词，在本案中仅为说明各结构之间位置关系，并非用以限定本案保护反应及实际实施时的具体方向。
请配合参考图1所示，为本发明一种大尺寸晶片接合装置的第一实施例，其具有一供应单元10、一中继单元11、一第一取放单元12、一接收单元13、一第二取放单元14、一第一视觉单元15、一第二视觉单元16与一第三视单元17。
供应单元10供至少一晶片20设置。
中继单元11相邻于供应单元10。中继单元11具有一第一中继模块110与一第二中继模块111。第一中继模块110具有一第一中继载台1100与一第一中继位移组件1101。第一中继位移组件1101设于第一中继载台1100的下方。第二中继模块111具有一第二中继载台1110与一第二中继位移组件1111。第二中继载台1110设于第二中继位移组件1111的上方。第一中继位移组件1101使第一中继载台1100转动一设定角度。第二中继位移组件1111使第二中继载台1110转动设定角度。该设定角度为90度或180度。
另外，第一中继位移组件1101可进一步使第一中继载台1100呈一横向或前后向往复移动。第二中继位移组件1111可使第二载台1110呈一横向或前后往复移动。
第一取放单元12设于供应单元10与中继单元11之间。于本实施例中，第一取放单元12具有至少一第一吸取模块120。第一吸取模块120的数量可为单个或数个。
请配合参考图2所示，接收单元13相邻于中继单元11。接收单元13具有一接收载台130与一接收位移模块131。接收载台130的顶端区分为一第一区1300与一第二区1301。接收位移模块131设于接收载台130的底端。接收位移模块131使接收载台130旋转一设定角度。该设定角度为90度或180度。
第二取放单元14设于中继单元11与接收单元13之间。第二接收单元14具有一旋转模块140与至少二吸取模块141。
第一视觉单元15设于供应单元10的上方。第二视觉单元16设于中继单元11的上方。第三视觉单元17设于接收单元13的上方。
请再配合参考图1所示，第一视觉单元15撷取供应单元10的晶片20的影像信息，并将该影像信息传送给第一取放单元12。
第一取放单元12依据第一视觉单元15的影像信息，以使第一取放单元12的第一吸取模块120吸取位于供应单元10的晶片20。若第一吸取模块120为单个，则第一吸取模块120吸取位于供应单元10的单一晶片20。若第一吸取模块120为数个，则第一吸取模块120吸取位于供应单元10的数个晶片20。第一吸取模块120将晶片20移动至中继单元11。
第二视觉单元16撷取位于第一吸取模块120的晶片20与中继单元11的影像信息。第一吸取模块120依据第二视觉单元16的影像信息，以将晶片20放置于中继单元11。
举例而言，第一吸取模块120将晶片20放置于中继单元11的第一中继模块110。或者第一吸取模块120将晶片20放置于第二中继模块111。
若第一吸取模块120先将晶片20放置于第一中继模块110，并且第一中继模块110的晶片20数量已达到一预定数量，则第一中继模块110与第二中继模块111两者交换位置，以使第一吸取模块120能将晶片20放置于第二中继模块111。
或者第一吸取模块120先将晶片20放置于第二中继模块111，并且第二中继模块111的晶片20数量已达到一预定数量，则第一中继模块110与第二中继模块111两者交换位置，以使第一吸取模块120能将晶片20放置于第一中继模块110。
请配合参考图3与图4所示，若以第一中继模块110为例，第二视觉单元16撷取位于第一中继模块110的晶片20的影像信息，若该影像信息显示该晶片20未放置于第一中继载台1100的默认位置时，第一中继位移组件1101可使第一中继载台1100呈一横向或前后向往复移动，以使晶片20移动至默认位置。同理，第二视觉单元16撷取位于第二中继模块111的晶片20的影像信息，若该影像信息显示该晶片20未放置于第二中继载台1110的默认位置时，第二中继位移组件1111可使第二中继载台1110呈一横向或前后向往复移动，以使晶片20移动至默认位置。
于另一实施例，请配合参考图2与图3所示，第二视觉单元16先截取第一中继载台1100的影像信息，并将该影像信息传送给第一取放单元12，以使吸取有晶片20的第一吸取模块120能补正其相对于第一中继载台1100的默认位置，以此使得第一中继载台1100能精准地将晶片30放置于该默认位置。
第二视觉单元16撷取位于中继单元11的晶片20与第二取放单元14的吸取模块141的影像信息。第二取放单元14依据第二视觉单元16的影像信息，以使吸取模块141吸取位于中继单元11的晶片20。
旋转模块140将吸取有晶片20的吸取模块141移动至接收单元13的第一区1300。旋转模块140亦将未吸取有晶片的吸取模块141移动至中继单元11，以使吸取模块141吸取位于中继单元11的晶片20。
第三视觉单元17撷取接收单元13与位于吸取模块141的晶片20的影像信息。第二取放单元14依据第三视觉单元17的影像信息，以将晶片20放置于第一区1300。
或者，第二取放单元14依据第三视觉单元17的影像信息，而将晶片20放置于第一区1300或第二区1301，具体可依据实际状况而设定，非限制于本实施例中。
如上所述，若第二取放单元14先取下位于第一中继模块110的晶片20，则第一取放单元12将位于供应单元10的晶片20放置于第二中继模块111。
待第二取放单元14已无法由第一中继模块110取下晶片20后，第一中继模块110与第二中继模块111二者交换位置，已使第二取放单元14取下位于第二中继模块111的晶片20，第一取放单元12将位于供应单元10的晶片20放置于第一中继模块110。
同理，若第二取放单元14先取下位于第二中继模块111的晶片20，第一取放单元12将位于供应单元10的晶片20放置于第一中继模块110。
待第二取放单元14已无法由第二中继模块111取下晶片20后，第一中继模块110与第二中继模块111二者交换位置，并进行上述取放晶片20的动作。
而当第一区1300的晶片1300的数量已达到一预定数量后，接收位移模块131将接收载台130转动一设定角度，以使第二取放单元14能将晶片20放置于第二区1301。于本实施例中，该设定角度为180度。
接收载台130转动至设定角度后，若第一中继模块110相邻于接收载台130。第二中继模块111相邻于供应单元10。第一中继载台1100转动至设定角度。如前所述，该设定角度为180度。转动该设定角度的目的为使位于第一区1300与第二区1301的晶片20的方向能够一致。
第一吸取模块120将晶片20由供应单元10放置于第二中继模块111。待第一中继模块110的晶片20已移至接收载台130后，第一中继模块110的第一中继载台1100转动回至未转动前的状态，并且第一中继模块110与第二中继模块111二者位置互换，第二中继模块111的第二中继载台1110转动至预定角度，以使第二取放单元14能将晶片20由第二中继模块111的第二中继载台1110放置于第二区1301。
请配合参考图5与图6所示，为本发明一种大尺寸晶片接合装置的第二实施例，其具有一供应单元30、一中继单元31、一第一取放单元32、一接收单元33、一第二取放单元34、一第一视觉单元35、一第二视觉单元36与一第三视觉单元37。
供应单元30供至少一晶片40设置。翻转单元31相邻于供应单元30。
中继单元31相邻于供应单元30。中继单元31具有一第一中继模块310与一第二中继模块311。第一中继模块310具有一第一中继载台3100与一第一中继位移组件3101。第一中继载台3100位于第一中继位移组件3101。第二中继模块311具有一第二中继载台3110与一第二中继位移组件3111。第二中继位移组件3111位于第二中继载台3110的下方。
第一取放单元32设于供应单元30与中继单元31之间。第一取放单元32具有一第一吸取模块320与一第二吸取模块321。第一吸取模块320与第二吸取模块321于供应单元30与中继单元31之间交替移动，以轮流将晶片40由供应单元30放置于中继单元31。
接收单元33相邻于中继单元31。接收单元33具有一接收载台330与一接收位移模块331。接收载台330区分为一第一区3300与一第二区3301。接收位移模块331设于接收载台330的下方。
第二取放单元34设于接收单元33与中继单元31之间。第二取放单元34具有一旋转模块340与至少二吸取模块341。至少二吸取模块341设于旋转模块340。
第一视觉单元35位于供应单元30的上方。第二视觉单元36位于中继单元31的上方。第三视觉单元37位于接收单元33的上方。
请再配合参考图5与图6所示，第一视觉单元35撷取位于供应单元30的晶片40的影像信息，并将该影像信息传送给第一取放单元32。第一吸取模块320与第二吸取模块321依据该影像信息，以轮流吸取位于供应单元30的晶片40。
第二视觉单元36撷取中继单元31的影像信息，并将该影像信息传送给第一取放单元32与第二取放单元34。
举例而言，若第一中继模块310相邻于供应单元30，则第一取放单元32先将晶片30放置于第一中继模块310。假设第二中继模块311相邻于供应单元30，则第一取放单元32将晶片30放置于第二中继模块311。
于本实施例中，第一取放单元33依据第二视觉单元37的影像信息，以使第一吸取模块330与第二吸取模块331依序将晶片40放置于第一中继单元310。
待第一中继单元310的晶片310已达预定数量，则第一中继模块310与第二中继模块311二者互换位置。
第二取放单元34依据第二视觉单元36的影像信息，以使吸取模块341吸取位于中继单元31的第一中继模块310的晶片40。旋转模块340转动吸取有晶片40的吸取模块341，以使吸取模块341位于接收单元33的上方。同时，另一未吸取有晶片40的吸取模块341被旋转模块340旋转至中继单元31的第一中继模块310的上方，以使吸取模块341吸取位于中继单元31的第一中继模块310的晶片40。
第三视觉单元37撷取吸取有晶片40的吸取模块341与接收单元33的影像信息。该影像信息传送给第二取放单元34。第二取放单元34依据第三视觉单元37的影像信息，以使吸取模块341将晶片40放置于接收单元33的第一区3300。
举例而言，请配合参阅图6所示，若第二取放单元34将晶片40放置于第一区3300，待第一区3300的晶片40的数量已达预定数量或已呈饱和状态时，接收位移模块331将接收载台330转动一预定角度，该预定角度为180度。转动接收载台330的目的使第二取放单元34能够将晶片40放置于第二区3301。
当接收载台330转动180度后，若第二中继模块311相邻于接收单元33。第二中继位移组件3111将第二中继载台3110转动180度。
假若第一中继模块310相邻于接收单元33。则第一中继位移组件3101将第一中继载台3100转动180度。
呈上所述，若第二中继载台3111已转动与接收载台330同样的预定角度，位于第二中继载台3111的晶片40的方向与位于接收载台330的晶片40的方向一致。借此当晶片40被放置于第二区3301时，位于第二区3301的晶片40的方向能与位于第一区3300的晶片40的方向一致。
请配合参阅图7与图8所示，为本发明一种大尺寸晶片接合装置的第三实施例，其具有一供应单元50、一中继单元51、一第一取放单元52、一接收单元53、一第二取放单元54、一第一视觉单元55、一第二视觉单元56、一第三视觉单元57与一翻转单元58。
供应单元50供至少一晶片60设置。
中继单元51相邻于供应单元50。中继单元51具有一第一中继模块510与一第二中继模块511。第一中继模块510具有一第一中继载台5100与一第一中继移动总成5101。第一中继载台5100设于第一中继移动总成5101的上方。第二中继模块511具有一第二中继载台5110与一第二中继移动总成5111。第二中继移动总成5111位于第二中继载台5110的下方。
第一取放单元52位于中继单元51与供应单元50之间。第一取放单元52具有至少一第一吸取模块520。
接收单元53相邻于中继单元51。接收单元53具有一接收载台530与一接收位移模块531。接收载台530区分为一第一区5300、一第二区5301、一第三区5302与一第四区5303。接收位移模块531设于接收载台530的下方。
第二取放单元54位于中继单元51与接收单元53之间。第二取放单元54具有一旋转模块540与至少一吸取模块541。吸取模块541设于旋转模块540。
第一视觉单元55位于供应单元50的上方。第二视觉单元56设于中继单元51的上方。第三视觉单元57设于接收单元53的上方。
翻转单元58位于第一取放单元52与中继单元51之间。
请再配合参考图7与图8所示，第一视觉单元55撷取位于供应单元50的晶片60的影像信息，并将该影像信息传送给第一取放单元52。第一吸取模块520依据该影像信息，以吸取位于供应单元50的晶片60。第一吸取模块520将晶片60由供应单元50移动至翻转单元58。
翻转单元58接收晶片60，并将晶片60翻转一角度。若第一中继模块510相邻于翻转单元58，则翻转单元58将晶片60放置于第一中继模块510。若第二中继模块511相邻于翻转单元58，则翻转单元58将晶片60放置于第二中继模块511。
于本实施例中，第一中继模块510相邻于翻转单元58。所以翻转单元58将已翻转的晶片60放置于第一中继模块510。待位于第一中继模块510的晶片60已达预定数量后，第一中继模块510与第二中继模块511二者互换位置，以使翻转单元58将晶片60放置于第二中继模块511。
请再配合参考图8所示，第二中继模块511相邻于接收单元53。第二视觉单元56撷取位于第二中继模块511的晶片60与吸取模块541的影像信息，并将该影像信息传送给第二取放单元541，以使吸取模块541吸取位于第二中继模块511的晶片60。
旋转模块540将已吸取有晶片60的吸取模块541转动至接收载台530的上方。
第三视觉单元57撷取接收载台530与位于吸取模块541的晶片60的影像信息，并将影像信息传送给第二取放单元54。
第二取放单元54依据该影像信息，而将晶片60放置于接收载台530的任一区，如第一区5300、第二区5301、第三区5302或第四区5303。
请配合参考图9所示，若晶片60于上述任一区所放置的数量已达预定数量后，接收载台530被接收位移模块531转动预定角度，该预定角度可为90度。
如图9所示，第二中继模块511如接收载台530转动预定角度。第二取放单元54将晶片60由第二中继模块511移动至接收单元53。
于一实施例，举例而言，第二取放单元54先将晶片60放置于第一区5300。当接收转台530转动至预定角度后，第二取放单元54可将晶片60放置于第二区5301、第三区5302或第四区5303的至少任一区。
于另一实施例，第二取放单元54先将晶片60放置于第二区5301或第三区5302，当接收转台530转动至预定角度后，第二取放单元54可将晶片60放置于第一区5300或第四区5303的至少任一区。
请配合参考图10所示，为本发明一种大尺寸晶片接合装置的第四实施例，其具有一供应单元70、一中继单元71、一第一取放单元72、一接收单元73、一第二取放单元74、一第一视觉单元75、一第二视觉单元76、一第三视觉单元77与一翻转单元78。
于本实施例中，供应单元70、中继单元71、第一取放单元72、接收单元73、第二取放单元74、第一视觉单元75、第二视觉单元76、第三视觉单元77与翻转单元78的设置如上述的第三实施例，故不于此多赘述，特先陈明。
于本实施例中，第一取放单元72具有一第一旋转模块720与至少一第一吸取模块721。第一吸取模块721位于第一旋转模块720。
如图10所示，第一取放单元72的第一吸取模块721吸取位于供应单元70的晶片80。第一取放单元72将晶片80放置于翻转单元78。
翻转单元78用于翻转晶片80，并将晶片80放置于中继单元71，若第一中继模块710相邻于翻转单元78，则翻转单元78将晶片80放置于第一中继单元710。若第二中继模块711相邻于翻转单元78，则翻转单元78将晶片80放置于第二中继模块711。
如图10所示，翻转单元78将晶片80放置于第一中继模块710。待第一中继模块710的晶片80已达预定数量后，第一中继模块710与第二中继模块711互换位置，以使翻转单元78将晶片80放置于第二中继模块711。
如图10所示，第二中继模块711相邻于接收单元73。第二取放单元74的吸取模块741吸取位于第二中继模块711的晶片80。旋转模块740将具有晶片80的吸取模块741移动至接收单元73的上方，以使吸取模块741将晶片80放置于接收单元80。
综合上述，本发明先将接收单元区分为数区，再将晶片放置于该数区中的任一区。若放置区的晶片已达饱和或达到默认数量，接收单元则转动一预定角度，当晶片被放置于中继单元后，中继单元转动与接收单元相同的角度，以使晶片被放置于接收单元时，所有的晶片的放置角度能够一致。通过接收单元与中继单元依序转动相同的角度，而使先后放置的晶片能够一致，以提升晶片的运送速度，以及提升精准度。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种大尺寸晶片接合装置；其特征在于：
包含有：
一供应单元；
一中继单元，相邻于所述供应单元；
一第一取放单元，位于所述中继单元与所述供应单元之间；
一接收单元，相邻于所述中继单元；以及
一第二取放单元，位于所述中继单元与所述接收单元之间；
其中，所述供应单元供至少一晶片设置；所述接收单元转动一预定角度；所述第一取放单元将至少一晶片放置于所述中继单元，该中继单元转动所述预定角度；所述第二取放单元将所述晶片由中继单元放置接收单元。
2.根据权利要求1所述的晶片接合装置，其特征在于：所述中继单元具有一第一中继模块与一第二中继模块，两中继模块供所述第一取放单元放置所述晶片，待该晶片于所述第一中继模块已达一预定数量后，该第一中继模块与该第二中继模块互换位置，以使第一取放单元将晶片放置于所述第二中继模块。
3.根据权利要求2所述的晶片接合装置，其特征在于：所述第一中继模块具有一第一中继载台与一第一中继移动组件，该第一中继移动组件位于第一中继载台的下方，该第二中继模块具有一第二中继载台与一第二中继移动组件，第二中继载台位于第二中继移动组件的上方。
4.根据权利要求1所述的晶片接合装置，其特征在于：更具有一第一视觉单元，该第一视觉单元位于所述供应单元的上方。
5.根据权利要求1所述的晶片接合装置，其特征在于：更具有一第二视觉单元，该第二视觉单元位于所述中继单元的上方。
6.根据权利要求1所述的晶片接合装置，其特征在于：更具有一第三视觉单元，该第三视觉单元位于所述接合单元的上方。
7.根据权利要求1所述的晶片接合装置，其特征在于：所述第一取放单元具有至少一第一吸取模块。
8.根据权利要求7所述的晶片接合装置，其特征在于：所述第一取放单元更具有至少一第二吸取模块。
9.根据权利要求1所述的晶片接合装置，其特征在于：所述第一取放单元具有一第一旋转模块与至少一第一吸取模块，该至少一第一吸取模块设于所述第一旋转模块。
10.根据权利要求1所述的晶片接合装置，其特征在于：所述第二取放单元具有一旋转模块与至少一吸取模块，该至少一吸取模块设于所述旋转模块。
11.根据权利要求1所述的晶片接合装置，其特征在于：更具有一翻转单元，该翻转单元位于所述第一取放单元与所述中继单元之间。
12.根据权利要求1所述的晶片接合装置，其特征在于：所述接合单元具有一接合载台与一接收位移模块，该接收位移模块设于所述接合载台的下方。
13.根据权利要求12所述的晶片接合装置，其特征在于：所述接合载台具有一第一区与一第二区。
14.根据权利要求12所述的晶片接合装置，其特征在于：所述接合载台具有一第一区、一第二区、一第三区与一第四区。
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