CN110618136A - 一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 22
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 15
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 9
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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Abstract
一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪,包括推架和立板支架,所述推架包括顶板、底板和位于两者之间的多个支腿,该顶板上设置有观察孔和供立板支架通过的安装孔,立板支架下端与底板固接,上端穿过顶板上的安装孔,该立板支架采用燕尾导轨机构,上面滑动安装有位于顶板上部的可沿立板支架长度方向滑动的工业相机,立板支架在顶板下部由上至下依次滑动安装有第一透镜、第二透镜和激光发射器,所述激光发射器位于第二透镜的正下方且与放置在底板上的激光电源电性连接。本发明只需通过调节第一透镜和第二透镜的高度便可在外接的显示器中观察石英晶体图像,可有效的检测石英晶体是否有条纹缺陷。
Description
技术领域
本发明属于人造石英晶体加工领域,特别涉及一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪。
背景技术
人造光学石英晶体在高压釜内生长过程中,生长周期长达100多天,不仅由于釜体内部上中下各部位的温度、压力存在差异,溶液的流动性变化较大,而且受外部环境气温、季节、保温***等变化影响,导致在生长过程中不同阶段和位置对在晶体结晶时的晶格排列产生影响,继而产生透光不均性。而这种不均匀缺陷部分只有在晶体加工为抛光片后才能使用专业检测仪器观察到,其特征为呈现一定的条纹状缺陷。对于这些条纹缺陷的检测传统操作方式是采用进口专业设备检查,由于国内目前光学石英晶体加工企业较少,仪器开发难度较大,市场需用量不大,所以国内目前无人开发。日本电子工业较为发达,所以该类检查仪器只有少数日本企业能够生产,但是价格高昂、订货周期较长。
发明内容
为了克服现有不足,本发明的目的在于提出一种易于操作并能够快速实现光学条纹缺陷检测的一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪。
本发明的目的是采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪,包括立板支架、推架,推架包括顶板、底板以及用于支撑顶板和底板的多个支腿,顶板上设有观察孔和供立板支架通过的安装孔,立板支架上由上至下依次安装有工业相机、第一透镜、第二透镜、激光发射器;工业相机、第一透镜、第二透镜与立板支架滑动连接,激光发射器与立板支架固接;工业相机位于顶板上部,第一透镜、第二透镜、激光发射器位于顶板和底板之间且激光发射器设于第二透镜的正下方,该激光发射器还与激光电源电性连接,顶板上端面与工业相机镜头下端面之间的区域为石英晶体的检测区域。
进一步的,立板支架固接在底板上,其上端穿过顶板上的安装孔。
进一步的,立板支架和推架均为铝合金材质。
进一步的,立板支架沿其长度方向设置有燕尾导轨机构,用于安装第一透镜的第一安装架和用于安装第二透镜的第二安装架以及用于安装工业相机的第三安装架均与该燕尾导轨机构滑动连接使第一透镜、第二透镜和工业相机均可以沿立板支架长度方向位移。
进一步的,激光发射器、第二透镜、第一透镜和工业相机的光轴位于同一竖直线上。
进一步的,支腿的底部安装有脚杯。
进一步的,所述激光发射器上端面与用于安装第二透镜的第二安装架上端面之间的距离为L1,第二安装架上端面与第一安装架上端面之间的距离为L2,且L2>L1。
借由上述技术方案,本发明一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪的立板支架和推架等均采用了整体铝合金材质,避免了锈蚀杂质产生的污染,稳定可靠。该装置采用工业相机,采集显示***解析度好,成像清晰,易于目测判断;该立板支架采用铝合金燕尾导轨机构,方便定位安装透镜、工业相机、激光发射器,第一透镜和第二透镜可以沿立板支架长度方向上下移位来调整L1、L2的距离实现图像大小和显示幅面的调整。本发明操作简单、检测可靠、方便灵活、实用性强、检测效果理想,可以保证在线产品质量缺陷的有效检测。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能更清楚了解本发明的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。
附图说明
图1是发明一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪实施例立体结构示意图。
图2是图1所示实施例的正视图。
【附图标记】
1-立板支架 2-推架 3-观察孔 4-顶板 5-底板 6-第一透镜 7-第二透镜 8-工业相机 9-激光发射器 10-激光电源 11-脚杯 12-支腿 13-第一安装架 14-显示器 15-第二安装架 16-镜头 17-第三安装架 18-螺钉
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对本发明提出的一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪其具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
请参阅图1,本实施例中的检测仪包括立板支架1、推架2、第一透镜6、第二透镜7、工业相机8、激光发射器9、激光电源10、显示器14。
所述立板支架1和推架2等均采用了整体铝合金材质,可以避免锈蚀杂质带来的污染,所述推架2包括水平设置的顶板4与底板5以及用于支撑顶板4与底板5且底部设置有脚杯11的多个支腿12,顶板4上设置有位于其中心位置的圆形观察孔3和位于顶板4一侧供立板支架1穿过的安装孔,该立板支架1呈竖直状态,其一端穿过顶板4上的安装孔,另一端固定于底板5上。
所述立板支架1上由上至下依次安装有工业相机8、第一透镜6、第二透镜7和激光发射器9,其中,工业相机8、第一透镜6、第二透镜7与立板支架1滑动连接,激光发射器9与立板支架1固接。第一透镜6、第二透镜7和激光发射器9位于顶板4和底板5之间且激光发射器9设置于第二透镜7的正下方并与设置于底板5上的激光电源10电性连接。工业相机8位于顶板4的上方。
所述立板支架1沿其长度方向设置有燕尾导轨机构,用于安装第一透镜6的第一安装架13和用于安装第二透镜7的第二安装架15以及用于安装工业相机8的第三安装架17均与该燕尾导轨机构滑动连接使第一透镜6、第二透镜7和工业相机8均可以沿立板支架1长度方向位移。第一安装架13、第二安装架15以及第三安装架17侧部均设有能够将第一安装架13、第二安装架15以及第三安装架17固定到立板支架1的螺钉18。
较佳地,第一透镜6靠近观察孔3,第二透镜7靠近激光发射器9,激光发射器9、第二透镜7、第一透镜6和工业相机8的光轴位于同一竖直线上。
请参阅图2,定义激光发射器9的上端面与第二安装架15上端面之间的距离为L1,第二安装架15上端面与第一安装架13上端面之间的距离为L2,第一安装架13上端面与工业相机镜头16下端面之间的距离为L3,将第一安装架13、第二安装架15、第三安装架17上的螺钉调松,使第一透镜6、第二透镜7和工业相机8可以分别通过各自的安装架上下位移以此调整L1、L2和L3的距离从而调整与工业相机8信号连接的外部显示器14上显示的当前图像大小和显示幅面及清晰度。较佳地,L2远远大于L1时才能实现图像采集的清晰度。
本发明的工作原理如下:
使用时,打开工业相机8和与激光发射器9连接的激光电源10,此时激光发射器9发射出的激光穿过第二透镜7和第一透镜6的中心到达工业相机镜头16中心位置,将待测石英晶体放置在顶板4的上端面和工业相机镜头16下端面之间的检测区域内,并让该石英晶体中心正对着观察孔3中心,工业相机8接收并放大采集到的图像信号并传输至与工业相机8信号连接的外部显示器14成像,操作者观察显示器14成像的清晰度,通过调松第一安装架13和第二安装架15侧面的螺钉18可以缓慢调节第一透镜6、第二透镜7的高度,从而调整L1、L2和L3的距离,直到在显示器14上观察到清晰的成像,然后调紧第一安装架13和第二安装架15侧面的螺钉18,将第一透镜6和第二透镜7固定在立板支架1上,此时就可以清晰的看到检测的石英晶体是否有条纹状缺陷。整个检测过程操作简单,只需通过观察显示器14并调节第一透镜6和第二透镜7的位置就可以观察到石英晶体是否有缺陷,能够有效提高检验人员的工作效率。
作为本发明的进一步改善,该立板支架1为一体式,也可设计为分上下两部分的分体式,此时,顶板4上不设供立板支架1通过的安装孔,立板支架1的上部分的底部与顶板4固接,下部分的两端分别与顶板4和底板5固接。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (7)
1.一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪,包括立板支架(1)、推架(2),推架(2)包括顶板(4)、底板(5)以及用于支撑顶板(4)和底板(5)的多个支腿(12),其特征在于:顶板(4)上设有观察孔(3)和供立板支架(1)通过的安装孔,立板支架(1)上由上至下依次安装有工业相机(8)、第一透镜(6)、第二透镜(7)、激光发射器(9);工业相机(8)、第一透镜(6)、第二透镜(7)与立板支架(1)滑动连接,激光发射器(9)与立板支架(1)固接;工业相机(8)位于顶板(4)上部,第一透镜(6)、第二透镜(7)、激光发射器(9)位于顶板(4)和底板(5)之间且激光发射器(9)设于第二透镜(7)的正下方,该激光发射器(9)还与激光电源(10)连接,顶板(4)的上端面与工业相机镜头(16)下端面之间的区域为石英晶体的检测区域。
2.根据权利要求1所述的一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪,其特征在于:立板支架(1)固接在底板(5)上,其上端穿过顶板(4)上的安装孔。
3.根据权利要求1或2所述的一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪,其特征在于:立板支架(1)和推架(2)均为铝合金材质。
4.根据权利要求1所述的一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪,其特征在于:立板支架(1)沿其长度方向设置有燕尾导轨机构,用于安装第一透镜(6)的第一安装架(13)和用于安装第二透镜(7)的第二安装架(15)以及用于安装工业相机(8)的第三安装架(17)均与该燕尾导轨机构滑动连接使第一透镜(6)、第二透镜(7)和工业相机(8)均可以沿立板支架(1)长度方向位移。
5.根据权利要求1所述的一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪,其特征在于:激光发射器(9)、第二透镜(7)、第一透镜(6)和工业相机(8)的光轴位于同一竖直线上。
6.根据权利要求1所述的一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪,其特征在于:支腿(12)的底部安装有脚杯(11)。
7.根据权利要求4所述的一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪,其特征在于:所述激光发射器(9)上端面与用于安装第二透镜(7)的第二安装架(15)上端面之间的距离为L1,第二安装架(15)上端面与第一安装架(13)上端面之间的距离为L2,且L2>L1。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911018487.5A CN110618136A (zh) | 2019-10-24 | 2019-10-24 | 一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪 |
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Country | Link |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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