CN110597016B - 一种光刻胶组合物、制备方法及图案化方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及光刻胶领域，尤其涉及一种光刻胶组合物、制备方法及图案化方法。所述光刻胶组合物，包括以下组分：1～10wt％的感光剂；10～20wt％的酚醛树脂；0.1～5.5wt％的添加剂；75～88wt％的溶剂；其中，所述感光剂包括：20～70wt％的式(1)所示的第一感光化合物，20～70wt％的式(2)所示的第二感光化合物，以及1～35wt％的式(3)所示的第三感光化合物。本发明的光刻胶组合物同时保证了分辨率以感度，以满足实际生产的需求。经过试验测试，本发明的光刻胶组合物的分辨率低于2.5微米，且最小分辨率可以达到1.5微米，同时感度较快，有利于精确图案化，提高OLED显示面板的产率。

Description

一种光刻胶组合物、制备方法及图案化方法
技术领域
本发明涉及光刻胶领域，尤其涉及一种光刻胶组合物、制备方法及图案化方法。
背景技术
光刻胶是有机发光二极管(OLED)面板制造的重要上游材料之一，是一种用于图案转移的组合物，通常分为正性光刻胶和负性光刻胶。使用正性光刻胶形成图形的方法为，在基板上涂一层光刻胶，光通过掩膜版对光刻胶进行曝光，曝光后光刻胶在碱性溶液中的溶解性会发生变化，曝光部分的溶解性增加，未曝光的部分溶解性减弱，经过碱性溶液显影后在基板上形成所需的图案。常用的曝光光源有G线(436nm)和I线(365nm)，G线光刻胶具有高感度的优势，但分辨率较低，I线光刻胶具有高分辨的优势，但感度慢。
中国专利CN 101561632A中，提出了一种光刻胶组合物以及利用其制造显示面板的方法，该组合物中的碱溶性树脂为水杨醛酚醛树脂，感光剂为邻叠氮萘醌化合物，优选邻叠氮萘醌三羟基二苯甲酮酯，采用此种光刻胶组合物形成的图案表现出高达140℃以上的耐热性。同时该专利中提出了使用单个掩膜形成半导体层和数据传导层以减少掩膜数目的方法，从而可以降低面板的制造时间和生产成本。该发明的光刻胶树脂可通过满足耐热性、光敏度和膜厚均匀性实现图案均匀性，但是形成的线宽为3μm以上，分辨率不能满足高分辨率的要求。中国专利CN102786662A涉及一种高分子感光剂与光刻胶组合物，该光刻胶具有良好的感度和成膜性，但最优的分辨率为3.0μm，无法获得更高的分辨率。光刻胶的耐热性越好越利于形成精细的图形，中国专利CN104614942A提出了一种高耐热成膜树脂及其正型光刻胶组合物，该种成膜树脂为有机硅改性的线性酚酸树脂，可以改善耐热性能和抗干刻蚀性能，但由于只应用了g线感光化合物，所以对于分辨率的提高不明显。
随着平板显示器在多媒体领域的广泛应用，面板厂商需要不断提高面板的解析度，对现有光刻胶的分辨率提出了改善的要求，并且为了提高产能，要求光刻胶具有高感度，因此需要开发能够同时满足高分辨率和高感度的光刻胶组合物。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：提供一种光刻胶组合物、制备方法及图案化方法，所述光刻胶组合物具有高感度及高分辨率，可用于OLED显示装置领域。
本发明提供了一种光刻胶组合物，包括以下组分：
1～10wt％的感光剂；10～20wt％的酚醛树脂；0.1～5.5wt％的添加剂；75～88wt％的溶剂；
其中，所述感光剂包括：20～70wt％的式(1)所示的第一感光化合物，20～70wt％的式(2)所示的第二感光化合物，以及1～35wt％的式(3)所示的第三感光化合物；
Figure BDA0002220968070000021
其中，R1，R2，R3，R4独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R1，R2，R3，R4中至少有三个为式(4)或者式(5)所示结构；
R5，R6，R7独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R5，R6，R7中至少有一个为式(4)或者式(5)所示结构；n1为1或2；
R8，R9，R10独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R8，R9，R10中至多有一个为式(4)或者式(5)所示结构；其余为氢原子；n2为5～50；
Figure BDA0002220968070000031
优选地，所述式(3)所示结构中，n3为2，n2为1。
优选地，所述第一感光化合物与第二感光化合物的质量比为3:7～7:3。
优选地，所述第一感光化合物与第三感光化合物的质量比为1:4～4:1。
优选地，所述添加剂包括表面活性剂和粘性促进剂。
优选地，所述表面活性剂的添加量为0.1～0.5wt％；所述粘性促进剂的添加量为1～5wt％。
优选地，所述表面活性剂为有机硅类表面活性剂或者氟碳化合物；所述粘附性促进剂选自蜜胺树脂、硅烷偶联剂和聚乙烯基类化合物中的一种或多种。
优选地，所述酚醛树脂的分子量为4000～8000。
本发明提供了一种光刻胶组合物的制备方法，包括以下步骤：将1～10wt％的感光剂，10～20wt％的酚醛树脂，0.1-5.5wt％的添加剂在75-88wt％的溶剂中混合溶解均匀，得到光刻胶组合物；其中，感光剂包括20-70wt％的式(1)所示的第一感光化合物，20-70wt％的式(2)所示的第二感光化合物，以及1～35wt％的式(3)；
其中，
Figure BDA0002220968070000041
其中，R1，R2，R3，R4独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R1，R2，R3，R4中至少有三个为式(4)或者式(5)所示结构；
R5，R6，R7独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R5，R6，R7中至少有一个为式(4)或者式(5)所示结构；n1为1或2；
R8，R9，R10独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R8，R9，R10中至多有一个为式(4)或者式(5)所示结构；其余为氢原子；n2为5～50；
Figure BDA0002220968070000042
本发明提供了一种图案化的方法，包括以下步骤：
提供一衬底基板；
在所述衬底基板上形成功能材料层；
在所述功能材料层上涂覆上述技术方案所述的光刻胶组合物，形成光刻胶层；
H线、I线和G线的混合光源通过掩模板对所述光刻胶层进行曝光；
对经过曝光的光刻胶层进行显影，形成光刻胶图案；
以光刻胶图案为掩膜，对所述功能材料层进行刻蚀，形成功能图形。
与现有技术相比，本发明的光刻胶组合物包括的感光剂有三种，其中第二感光化合物，有利于形成高分率的图形；第三感光化合物，经过树脂的改性，羟基含量高，有利于提高组合物的光敏性。三种感光化合物相互配合，协同作用，同时保证了光刻胶组合物的分辨率以感度，以满足实际生产的需求。经过试验测试，本发明的光刻胶组合物的分辨率低于2.5微米，且最小分辨率可以达到1.5微米，同时感度较快，有利于精确图案化，提高OLED显示面板的产率。
附图说明
图1表示实施例1制备的光刻胶组合物分辨率测试结果图；
图2表示实施例2制备的光刻胶组合物分辨率测试结果图；
图3表示比较例1制备的光刻胶组合物分辨率测试结果图。
具体实施方式
为了进一步理解本发明，下面结合实施例对本发明优选实施方案进行描述，但是应当理解，这些描述只是为进一步说明本发明的特征和优点，而不是对本发明的限制。
本发明实施例公开了一种光刻胶组合物，其特征在于，包括以下组分：
1～10wt％的感光剂；10～20wt％的酚醛树脂；0.1～5.5wt％的添加剂；75～88wt％的溶剂；
其中，所述感光剂包括：20～70wt％的式(1)所示的第一感光化合物，20～70wt％的式(2)所示的第二感光化合物，以及1～35wt％的式(3)所示的第三感光化合物；
Figure BDA0002220968070000061
其中，R1，R2，R3，R4独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R1，R2，R3，R4中至少有三个为式(4)或者式(5)所示结构；
R5，R6，R7独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R5，R6，R7中至少有一个为式(4)或者式(5)所示结构；n1为1或2；
R8，R9，R10独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R8，R9，R10中至多有一个为式(4)或者式(5)所示结构；其余为氢原子；n2为5～50；
Figure BDA0002220968070000062
本发明的光刻胶组合物为正性光刻胶组合物，经曝光后，在碱性溶解度增加。
本发明的光刻胶组合物包括1～10wt％的感光剂；10～20wt％的酚醛树脂；0.1～5.5wt％的添加剂；75～88wt％的溶剂。其中，以光刻胶组合物为整体，所述各组分的质量百分含量之和为100％。
其中，所述感光剂包括三种，20～70wt％的式(1)所示的第一感光化合物，20～70wt％的式(2)所示的第二感光化合物，以及1～35wt％的式(3)所示的第三感光化合物。所述第一感光化合物、第二感光化合物和第三感光化合物的质量百分含量以感光剂的总质量为标准，感光剂的总质量视为100％。
所述式(1)所示的第一感光化合物可以被具有G线波长的光线曝光，R1，R2，R3，R4独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R1，R2，R3，R4中至少有三个为式(4)或者式(5)所示结构；优选地，R1，R2，R3，R4中至少三个为式(4)所示结构，剩余一个为氢原子。在感光剂中，所述第一感光化合物的含量为20～70wt％，优选为40～60wt％。
所述式(2)所示的第二感光化合物可以被具有I线波长的光线曝光，可以由式(6)所示化合物与2叠氮-1-萘酚-5-磺酰氯或2-叠氮-1-萘酚-4-磺酰氯反应获得，
Figure BDA0002220968070000071
R5，R6，R7独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R5，R6，R7中至少有一个为式(4)或者式(5)所示结构；n1为1或2；优选地，R5，R6，R7中至少有一个为式(4)所示结构，n1为1。在感光剂中，所述第二感光化合物的含量为20～70wt％，优选为30～50wt％。
所述式(3)所示的第三感光化合物为经过树脂改性的感光化合物，可以由式(7)所示的化合物与2-叠氮-1-萘酚-5-磺酰氯或2-叠氮-1-萘酚-4-磺酰氯反应获得，
Figure BDA0002220968070000081
其中n3为1～4的整数。
优选地，所述式(3)所示结构中，n2为10～25。
所述第一感光化合物与第二感光化合物的质量比优选为3:7～7:3，更有选为4:6～6:4。两种混合使用可以平衡感度和分辨率。
所述第一感光化合物与第三感光化合物的质量比优选为1:4～4:1，还可以优选为7:3～4:1。第三感光化合物对于感度的提高效果优于第一感光化合物，相应地对分辨率的不利影响也大于第一感光化合物。所以适量添加第三感光化合物可以在不影响分辨率的情况下，进一步提高感度。同时第三感光化合物的苯环含量高，有利于提高耐热性。本发明涉及的第一感光化合物、第二感光化合物和第三感光化合物均可有现有技术方法合成得到。
按照本发明，光刻胶组合物中的酚醛树脂，优选为线性酚醛树脂，是在酸催化剂存在的条件下，酚类化合物和醛类化合物经过反应得到，优选地分子量为4000～8000。所述酚类化合物可以选自邻甲酚，间甲酚，对甲酚，2,3-二甲苯酚，2,4-二甲苯酚，2,5-二甲苯酚，3,5-二甲苯酚等二甲苯酚，2,3,5-三甲基苯酚，邻乙基苯酚，间乙基苯酚，对乙基苯酚，2,3,5-三乙基苯酚，邻叔丁基苯酚，间叔丁基苯酚，对叔丁基苯酚，2-叔丁基-4-甲基苯酚，邻异丙基苯酚，间异丙基苯酚，对异丙基苯酚，3-甲基-4-异丙基苯酚等烷基酚；优选为间甲氧基苯酚，对甲氧基苯酚，邻甲氧基苯酚等烷氧基酚以及多羟基苯酚，间甲酚，对甲酚，2,4-二甲苯酚，或者3,5-二甲苯酚。
所述醛类化合物可以为甲醛，乙醛，丙醛，苯甲醛，苯乙醛，邻甲基苯甲醛，间甲基苯甲醛，对甲基苯甲醛，邻羟基苯甲醛，间羟基苯甲醛，对羟基苯甲醛，水杨醛等；优选为甲醛。
所述酚醛树脂还可以选用以上两种或者多种酚类化合物与醛类化合物生成酚醛树脂。如：间甲酚，对甲酚，2,4-二甲酚，2,5-二甲酚和3,5-二甲酚中的任意多种与甲醛生成酚醛树脂。其中多种为两种或者两种以上。
按照本发明，光刻胶组合物中的添加剂，优选地，包括表面活性剂和粘性促进剂；
所述表面活性剂的添加量为0.1～0.5wt％；所述粘性促进剂的添加量为1～5wt％。
所述表面活性剂优选为有机硅类表面活性剂或者氟碳化合物；更优选为氟碳化合物，有利于提高狭缝涂布(slit coating)时膜厚的均一性。
所述粘附性促进剂优选地选自蜜胺树脂、硅烷偶联剂和聚乙烯基类化合物中的一种或多种。
按照本发明，光刻胶组合物中的溶剂，有良好的溶解性和良好的涂布性能，可选自丙二醇甲醚乙酸酯，乙二醇单甲醚，丙二醇单甲醚，二乙二醇单甲醚，二乙二醇二甲醚，乳酸乙酯，乙酸乙酯，乙酸正丁酯，N-甲基吡咯烷酮等。优选的是丙二醇甲醚乙酸酯。
本发明的实施例公开了一种光刻胶组合物的制备方法，包括以下步骤：
将1～10wt％的感光剂，10～20wt％的酚醛树脂，0.1～5.5wt％的添加剂在75～88wt％的溶剂中混合溶解均匀，得到光刻胶组合物；其中，感光剂包括20～70wt％的式(1)所示的第一感光化合物，20～70wt％的式(2)所示的第二感光化合物，以及1～35wt％的式(3)；
其中，
Figure BDA0002220968070000091
Figure BDA0002220968070000101
其中，R1，R2，R3，R4独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R1，R2，R3，R4中至少有三个为式(4)或者式(5)所示结构；
R5，R6，R7独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R5，R6，R7中至少有一个为式(4)或者式(5)所示结构；n1为1或2；
R8，R9，R10独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R8，R9，R10中至多有一个为式(4)或者式(5)所示结构；其余为氢原子；n4为5～50；
Figure BDA0002220968070000102
对于光刻胶组合物内的组分，与上述技术方案相同，再此不在赘述。
本发明实施例公开了一种图案化的方法，包括以下步骤：
提供一衬底基板；
在所述衬底基板上形成功能材料层；
在所述功能材料层上在所述基板上涂覆上述技术方案所述的光刻胶组合物，形成光刻胶层；
H线、I线和G线的混合光源通过掩模板对所述光刻胶层进行性曝光；
对已曝光的光刻胶层进行显影，形成光刻胶图案；
以光刻胶图案为掩膜，对所述功能材料层进行刻蚀，形成功能图形。
本发明中所述的光刻胶组合物相对于G线、H线和I线波长的光，有良好的感度和分辨率。
根据本发明的光刻胶组合物，首先在基板上形成功能材料层；然后在功能材料层上形成光刻胶层，接着使用掩模板遮挡所述光刻胶层，利用混合光源对光刻胶胶层进行曝光。本发明可以使用具有G线、H线和I线波长的混合光对光刻胶层进行曝光。曝光后，对已曝光的光刻胶层进行显影，去除具有高溶解性的曝光部分，具有低溶解性的未曝光的部分保留下来，形成光刻胶图案；最后，以光刻胶图案为掩膜，对所述功能材料层进行刻蚀，形成功能图形形成图案。
经过试验测试，本发明的光刻胶组合物的分辨率低于2.5微米，且最小分辨率可以达到1.5微米，同时感度较快，例如感度可达到70mj以下，有利于精确图案化，提高OLED显示面板的产率。
为了进一步理解本发明，下面结合实施例对本发明提供的光刻胶组合物及其制备方法进行详细说明，本发明的保护范围不受以下实施例的限制。
实施例1～9
将酚醛树脂13g，感光剂3g，表面活性剂0.5g，粘附性促进剂1.5以及溶剂82g混合，得到光刻胶组合物。
上述酚醛树脂为甲酚、二甲酚与甲醛反应制成，分子量为4000；
所述表面活性剂为氟碳化合物；
所述粘附性促进剂为蜜胺树脂；
所述溶剂为丙二醇甲醚乙酸酯；
所述感光剂包括式(1)所示的第一感光化合物，式(2)所示的第二感光化合物，以及式(3)所示的第三感光化合物；
Figure BDA0002220968070000111
Figure BDA0002220968070000121
R1，R2，R3，R4中至少有三个为式(4)所示结构，剩余为氢原子；
R5，R6，R7中至少有一个为式(4)所示结构；n1为1；
R8为式(4)所示结构，n2为12。
改变三种感光化合物的质量比，具体参见表1。
比较例1
将酚醛树脂13g，实施例所述的第一感光化合物3g，表面活性剂0.5g，粘附性促进剂1.5以及溶剂82g混合，得到光刻胶组合物。
比较例2
将酚醛树脂13g，实施例所述的第二感光化合物3g，表面活性剂0.5g，粘附性促进剂1.5以及溶剂82g混合，得到光刻胶组合物。
比较例3
将酚醛树脂13g，实施例所述的第三感光化合物3g，表面活性剂0.5g，粘附性促进剂1.5以及溶剂82g混合，得到光刻胶组合物。
比较例4
将酚醛树脂13g，实施例所述的第一感光化合物和第二感光化合物共3g，表面活性剂0.5g，粘附性促进剂1.5以及溶剂82g混合，得到光刻胶组合物。
第一感光化合物和第二感光化合物的质量比参见表1。
比较例5
将酚醛树脂13g，实施例所述的第一感光化合物和第三感光化合物共3g，表面活性剂0.5g，粘附性促进剂1.5以及溶剂82g混合，得到光刻胶组合物。
第一感光化合物和第三感光化合物的质量比参见表1。
比较例6
将酚醛树脂13g，实施例所述的第二感光化合物和第三感光化合物共3g，表面活性剂0.5g，粘附性促进剂1.5以及溶剂82g混合，得到光刻胶组合物。
第二感光化合物和第三感光化合物的质量比参见表1。
表1实施例与比较例中感光化合物的比例
第一感光化合物 第二感光化合物 第三感光化合物
实施例1 50 40 10
实施例2 50 30 20
实施例3 50 25 25
实施例4 40 50 10
实施例5 30 50 20
实施例6 25 50 25
实施例7 45 25 30
实施例8 35 35 30
实施例9 30 40 30
比较例1 100 0 0
比较例2 0 100 0
比较例3 0 0 100
比较例4 50 50 0
比较例5 50 0 50
比较例6 0 50 50
对上述实施例及比较例中的光刻胶组合物进行评价，评价方法为：用狭缝涂布方式在硅片上涂布上述实施例或者比较例中的光刻胶组合物，经过VCD真空干燥后，在温度为110℃的热板上进行90s烘烤，形成光刻胶涂层，涂层厚度约1.5μm。然后使用H线、G线和I线的混合光源对光刻胶层进行不同能量的曝光，曝光后用2.38wt％的TMAH显影1分钟，水洗25秒，再进行干燥除去曝光部分，形成光刻胶图形。通过膜厚仪检查曝光前后光刻胶层的厚度，以评价光刻胶的残膜率。使用扫描电子显微镜对光刻胶图形进行检查，以对比光刻胶的感度，分辨率。感度以3μm线条对应的曝光能量为准，曝光能量越小越有利于提高产能；分辨率以可以达到的最小线宽为准，线宽越小表明分辨率约高。
不同实施例和比较例的测试结果如表2所示。
感度(mj) 残膜率(％) 分辨率(μm)
实施例1 63 99 1.5
实施例2 53 96 2.5
实施例3 53 92 2.5
实施例4 77 99 1.5
实施例5 70 99 1.5
实施例6 66 99 2.0
实施例7 52 90 3.0
实施例8 57 94 2.5
实施例9 60 96 2.5
比较例1 50 97 3.0
比较例2 98 99 1.5
比较例3 X X X
比较例4 79 99 1.5
比较例5 33 63 3.5
比较例6 56 89 3.0
注：X表示感度太快，无法检测。
从表2中，比较实施例1～3的分辨率结果可知，同时使用三种感光化合物，第二感光化合物的含量越高，图形的分辨率越好，第三感光化合物的含量越高，图形的分辨越差。经扫描电镜显示，实施例1的分辨率测试结果如图1所示，分辨率为1.5μm；实施例2的分辨率测试结果如图2所示，分辨率为1.5μm。
比较实施例1～9的结果可知，实施例1，实施例4和实施例5线宽可达到1.5μm，可以实现高分辨率的图形。进一步考虑感度和残膜率，实施例1，实施例4和实施例5的残膜率均可以达到99％，但实施例1和实施例5的感度较实施例4快，实施例1和实施例5更能满足提高产能的需求。综合考虑，实施例1和实施例5可以同时满足高分辨率和高感度的要求。
比较例1～3结果可知，比较例1仅用第一感光化合物，感度快但分辨率低，分辨率为3μm，经扫描电镜显示，结果如图3所示，分辨率为3.5μm；比较例2仅用第二感光化合物，分辨率高但感度太慢，约为比较例1的2倍；对比3仅用第三感光化合物，感度太快，无法单独使用。
从比较例4～6结果可知，比较例4同时使用第一感光化合物和第二感光化合物可以实现1.5μm的分辨率，但是感度仍然较慢；比较例5同时使用第一感光化合物和第三感光化合物，感度很快，残膜率低且分辨率差；而比较例6同时使用第二感光化合物和第三感光化合物，可以实现高感度，但是分辨率不理想。从比较例3，比较例5和比较例6可知，第三感光化合物含量较高时，对残膜率和分辨率均不利，所以须严格控制低三感光化合物用量。
综上所述，本发明中的光刻胶可以满足高分辨率、高感度、高残膜率的要求从而提高OLED平板显示器制造业的产率。
以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种光刻胶组合物，其特征在于，包括以下组分：
1～10wt％的感光剂；10～20wt％的酚醛树脂；0.1～5.5wt％的添加剂；75～88wt％的溶剂；
其中，所述感光剂包括：20～70wt％的式(1)所示的第一感光化合物，20～70wt％的式(2)所示的第二感光化合物，以及1～35wt％的式(3)所示的第三感光化合物；
Figure FDA0002220968060000011
其中，R1，R2，R3，R4独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R1，R2，R3，R4中至少有三个为式(4)或者式(5)所示结构；
R5，R6，R7独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R5，R6，R7中至少有一个为式(4)或者式(5)所示结构；n1为1或2；
R8，R9，R10独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R8，R9，R10中至多有一个为式(4)或者式(5)所示结构；其余为氢原子；n2为5～50；
Figure FDA0002220968060000021
2.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述式(3)所示结构中，n2为10～25。
3.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述第一感光化合物与第二感光化合物的质量比为3:7～7:3。
4.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述第一感光化合物与第三感光化合物的质量比为1:4～4:1。
5.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述添加剂包括表面活性剂和粘附 性促进剂。
6.根据权利要求5所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述表面活性剂的添加量为0.1～0.5wt％；所述粘性促进剂的添加量为1～5wt％。
7.根据权利要求5所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述表面活性剂为有机硅类表面活性剂或者氟碳化合物；所述粘附性促进剂选自蜜胺树脂、硅烷偶联剂和聚乙烯基类化合物中的一种或多种。
8.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述酚醛树脂的分子量为4000～8000。
9.一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将1～10wt％的感光剂，10～20wt％的酚醛树脂，0.1～5.5wt％的添加剂在75～88wt％的溶剂中混合溶解均匀，得到光刻胶组合物；其中，感光剂包括20～70wt％的式(1)所示的第一感光化合物，20～70wt％的式(2)所示的第二感光化合物，以及1～35wt％的式(3)；
其中，
Figure FDA0002220968060000031
其中，R1，R2，R3，R4独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R1，R2，R3，R4中至少有三个为式(4)或者式(5)所示结构；
R5，R6，R7独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R5，R6，R7中至少有一个为式(4)或者式(5)所示结构；n1为1或2；
R8，R9，R10独立选自式(4)所示结构、式(5)所示结构或氢原子，且R8，R9，R10中至多有一个为式(4)或者式(5)所示结构；其余为氢原子；n2为5～50；
Figure FDA0002220968060000032
10.一种图案化的方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供一衬底基板；
在所述衬底基板上形成功能材料层；
在所述功能材料层上涂覆权利要求1～8任意一项所述的光刻胶组合物，形成光刻胶层；
H线、I线和G线的混合光源通过掩模板对所述光刻胶层进行曝光；
对经过曝光的光刻胶层进行显影，形成光刻胶图案；
以光刻胶图案为掩膜，对所述功能材料层进行刻蚀，形成功能图形。
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