CN110571348A - 柔性显示面板和柔性显示面板的制备方法 - Google Patents
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- CN110571348A CN110571348A CN201910745902.0A CN201910745902A CN110571348A CN 110571348 A CN110571348 A CN 110571348A CN 201910745902 A CN201910745902 A CN 201910745902A CN 110571348 A CN110571348 A CN 110571348A
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- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title abstract description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 188
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 133
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 128
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 128
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 87
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 85
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 85
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 66
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims abstract description 11
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 24
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 24
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 24
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 24
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 21
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 21
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 19
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 19
- 239000010408 film Substances 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical class [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 description 2
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
- G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
- G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
- G09F9/301—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements flexible foldable or roll-able electronic displays, e.g. thin LCD, OLED
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/1201—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
- H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
- H10K77/111—Flexible substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/311—Flexible OLED
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/80—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass using temporary substrates
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
本发明提供一种柔性显示面板和柔性显示面板的制备方法,柔性显示面板包括显示区和弯曲区,柔性显示面板还包括柔性衬底、驱动电路层和发光功能层,驱动电路层形成在柔性衬底一侧;发光功能层形成在驱动电路层远离柔性衬底的一侧;其中,柔性衬底包括第一柔性层、第一阻隔层和第二柔性层,第一阻隔层包括位于显示区内的金属氧化物、以及位于弯曲区内的金属和金属氧化物叠层。通过将显示区内所有金属均氧化形成金属氧化物,在弯曲区内金属部分氧化形成金属氧化物,在显示区内,金属氧化物可以起到隔绝水氧的作用,在弯曲区内,金属可提高显示面板的弯折性能,金属氧化物可以增强弯折状态下的稳定性,改善了无机薄膜减弱柔性基板柔性的技术问题。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示面板和柔性显示面板的制备方法。
背景技术
目前,用作柔性基板最具发展前景的高分子材料是聚酰亚胺。由于聚酰亚胺阻水阻氧的能力较弱,通常在其表面沉积厚度均匀的单层或多层堆叠结构的无机薄膜,或采用多层聚酰亚胺/无机薄膜交替堆叠的结构来阻隔水氧,但无机薄膜存在应力集中、弯折时易断裂的问题,减弱了柔性显示面板的柔性。
因此,现有的柔性显示面板存在无机薄膜减弱柔性基板柔性的技术问题,需要改进。
发明内容
本发明提供一种柔性显示面板和柔性显示面板的制备方法,以缓解现有的柔性显示面板中无机薄膜减弱柔性基板柔性的技术问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种柔性显示面板,包括显示区和弯曲区,所述柔性显示面板还包括:
柔性衬底;
驱动电路层,形成在所述柔性衬底一侧;
发光功能层,形成在所述驱动电路层远离所述柔性衬底的一侧;
其中,所述柔性衬底包括第一柔性层、第一阻隔层和第二柔性层,所述第一阻隔层包括位于显示区内的第一金属氧化物、以及位于弯曲区内的第一金属和第一金属氧化物叠层。
在本发明的柔性显示面板中,所述第一金属的材料为铝。
在本发明的柔性显示面板中,在所述弯曲区内,所述第一金属氧化物与所述弯曲区的面积相等。
在本发明的柔性显示面板中,所述弯曲区内形成有多列沿第一方向排布的所述第一金属氧化物。
在本发明的柔性显示面板中,所述弯曲区内形成有多个呈陈列分布的所述第一金属氧化物。
在本发明的柔性显示面板中,在所述弯曲区内,所述第一金属氧化物的厚度小于所述第一阻隔层厚度的四分之一。
在本发明的柔性显示面板中,所述柔性衬底还包括第二阻隔层,所述第二阻隔层形成在所述第二柔性层远离所述第一阻隔层的一侧,所述第二阻隔层包括第二金属和第二金属氧化物的叠层。
在本发明的柔性显示面板中,所述第二金属氧化物形成在所述弯曲区和所述显示区中的至少一个区域内。
在本发明的柔性显示面板中,所述第二金属氧化物的厚度,与所述弯曲区内的所述第一金属氧化物的厚度相等。
本发明还提供一种柔性显示面板的制备方法,包括:
提供基板;
在所述基板的一侧制备柔性衬底,所述柔性衬底包括第一柔性层、第一阻隔层和第二柔性层,所述第一阻隔层包括位于显示区内的第一金属氧化物、以及位于弯曲区内的第一金属和第一金属氧化物叠层;
在所述柔性衬底远离所述基板的一侧制备驱动电路层和发光功能层;
剥离所述基板。
本发明的有益效果为:本发明提供一种柔性显示面板和柔性显示面板的制备方法,柔性显示面板包括显示区和弯曲区,柔性显示面板还包括柔性衬底、驱动电路层和发光功能层,所述驱动电路层形成在所述柔性衬底一侧;所述发光功能层形成在所述驱动电路层远离所述柔性衬底的一侧;其中,所述柔性衬底包括第一柔性层、第一阻隔层和第二柔性层,所述第一阻隔层包括位于显示区内的金属氧化物、以及位于弯曲区内的金属和金属氧化物叠层。通过将显示区内所有金属均氧化形成金属氧化物,在弯曲区内金属部分氧化形成金属氧化物,在显示区内,金属氧化物可以起到隔绝水氧的作用,在弯曲区内,金属可提高显示面板的弯折性能,金属氧化物可以提高与第二柔性层的粘附力,从而增强弯折状态下的稳定性,显示区和弯曲区内的金属氧化物共同作用,使柔性显示面板同时具备良好的水氧隔绝能力和弯折性能,改善了无机薄膜减弱柔性基板柔性的技术问题。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的柔性显示面板的第一种结构示意图;
图2为本发明实施例提供的柔性显示面板的弯曲结构示意图;
图3为本发明实施例提供的柔性显示面板的第二种结构示意图;
图4为本发明实施例提供的柔性显示面板的制备方法的流程示意图;
图5为本发明实施例提供的柔性显示面板的制备方法的第一阶段示意图;
图6为本发明实施例提供的柔性显示面板的制备方法的第二阶段示意图;
图7为本发明实施例提供的柔性显示面板的制备方法的第三阶段示意图;
图8为本发明实施例提供的柔性显示面板的制备方法的第四阶段示意图;
图9为本发明实施例提供的柔性显示面板的制备方法的第五阶段示意图;
图10为本发明实施例提供的柔性显示面板的制备方法的第六阶段示意图;
图11为本发明实施例提供的柔性显示面板的制备方法的第七阶段示意图;
图12为本发明实施例提供的柔性显示面板的制备方法的第八阶段示意图;
图13为本发明实施例提供的柔性显示面板的制备方法的第九阶段示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。在图中,结构相近的单元是用以相同标号表示。
本发明提供一种柔性显示面板和柔性显示面板的制备方法,以缓解现有的柔性显示面板中无机薄膜减弱柔性基板柔性的技术问题。
如图1所示,本发明提供一种柔性显示面板,包括显示区100和弯曲区200,柔性显示面板还包括柔性衬底10、驱动电路层20以及发光功能层30。
柔性衬底10包括第一柔性层12、第一阻隔层13和第二柔性层14,第一阻隔层13包括位于显示区100内的第一金属氧化物131、以及位于弯曲区100内的第一金属132和第一金属氧化物131叠层。
驱动电路层20形成在柔性衬底10一侧。
发光功能层30形成在驱动电路层20远离柔性衬底10的一侧。
在本实施例中,第一柔性衬底12和第二柔性衬底14可以是聚酰亚胺,也可以是柔性玻璃。
第一金属132的材料为金属铝,形成的第一金属氧化物131为氧化铝。第一金属132通过物理气相沉积的方式形成在第一柔性层12上。
在显示区1000内,第一阻隔层13包括第一金属氧化物131,即金属铝完全被氧化形成氧化铝,第一金属氧化物131的面积与显示区100的面积相等,且厚度与第一阻隔层13的厚度相同,形成的第一金属氧化物131为致密的氧化铝层,氧化铝层具有良好的隔绝水氧的能力。
在弯曲区200内,第一阻隔层13包括第一金属132和第一金属氧化物131叠层,即金属铝仅在远离第一柔性层12的一侧表面被氧化成氧化铝,第一金属氧化物131的厚度小于第一阻隔层13的厚度。
在一种实施例中,在弯曲区200内,第一阻隔层13中的第一金属氧化物131的厚度小于第一阻隔层13厚度的四分之一。第一阻隔层13在弯曲区200内只形成薄层的第一金属氧化物131,大部分还是第一金属132,第一金属132具有优异的延展性,可以实现柔性显示面板更优异的弯折性能。
第二柔性层14形成在第一阻隔层13上,与第一金属氧化物131接触,在弯曲区200内,第一金属氧化物131具有较好的表面粗糙度,相对于金属铝直接与第二柔性层14接触,第一金属氧化物131可以提高与第二柔性层14之间的粘附力,在高温高湿环境或弯折状态下具有优异的稳定性,可避免因弯折导致的内应力增加及无机层断裂等问题。
驱动电路层20包括驱动电路,发光功能层30形成在驱动电路层30上,发光功能层30在驱动电路的驱动下发光。
在弯曲区200内,第一金属氧化物131的形状有多种情况,在本实施例中,在弯曲区200内,第一金属氧化物131与弯曲区200的面积相等。
在制备好第一金属132后,先将弯曲区200遮挡住,对显示区100内的第一金属132进行加热氧化,使显示区100内的第一金属132全部氧化层第一金属氧化物131,采用的氧化方法为加热氧化;再对弯曲区200内的第一金属132进行氧化,使第一金属132的表面形成薄层的第一金属氧化物131,采用的氧化方法为自然氧化或加热氧化,氧化完成后,第一阻隔层13在弯曲区200内还有未被氧化的铝,即剩余的第一金属132。经过上述步骤,制得第一阻隔层13。
在现有技术中,通常采用聚酰亚胺作为柔性显示面板的衬底,聚酰亚胺具有优异的耐热性、耐辐射性能、耐化学性、电绝缘性、机械性能等,但其自身的阻水阻氧能力较弱。为提高衬底的阻水阻氧能力,通常在聚酰亚胺表面沉积厚度均匀的单层或多层堆叠结构的无机薄膜,或采用多层聚酰亚胺/无机薄膜交替堆叠的结构,但这些结构均存在无机薄膜应力集中、弯曲区易断裂、高温高湿易分离等问题。
本发明不采用无机薄膜,而是采用柔性层加金属阻隔层的结构,金属铝的延展性能优异,高温下难与水氧反应,且是热的良导体,氧化铝化学性质稳定,具有极其优异的阻水阻氧性能。
本发明通过在显示区100内将金属铝完全氧化成致密的氧化铝层,氧化铝化学性质稳定,具有极其优异的阻水阻氧性能。在弯曲区200内将金属铝部分氧化成薄层的氧化铝层,未氧化的金属铝相对于现有技术中的无机膜层具有更好的延展性,可以提供柔性显示面板的柔性,薄层的氧化铝层与现有技术中沉积的无机膜层相比,具有更好的表面粗糙度,可以提高与第二柔性层14之间的粘附力,弯曲区200内第一金属132和第一金属氧化物131的叠层结构使得柔性显示面板在高温高湿环境或弯折状态下具有优异的稳定性。
本发明在聚酰亚胺表面沉积一定厚度的金属铝,使显示区100的金属铝完全氧化成致密的氧化铝层,而弯曲区域的金属铝仅需氧化成一层薄薄的氧化铝层,从而制备聚酰亚胺-氧化铝(PI-Al2O3)复合薄膜基板,在保持聚酰亚胺优异性能的同时,利用致密的第一金属氧化物131改善阻水阻氧能力,用第一金属132和薄层的第一金属氧化物131改善弯折性能,避免采用多层聚酰亚胺/无机薄膜交替结构而产生的内应力增加、弯折易断裂、高温高湿易分离等问题。采用本发明的结构,柔性显示面板的柔性增加,有利于形成双曲面的折叠柔性显示面板,双曲面的柔性显示面板结构如图2所示。
在一种实施例中,柔性衬底10还包括第二阻隔层15,第二阻隔层15包括第二金属152和第二金属氧化物151的叠层。其中第一金属152也为金属铝,第二金属氧化物151也为氧化铝。
在一种实施例中,第二金属氧化物151的厚度,与弯曲区200内的第一金属氧化物131的厚度相等。由于第一阻隔层13中的金属氧化物131已实现水氧阻隔及优异的弯折性能,第二阻隔层15只需表面氧化成一层薄薄的第二金属氧化物151,在保持优异阻水氧性能和弯折性能同时实现工艺优化,第二金属氧化物151可以形成在弯曲区200和显示区100中的至少一个区域内,即第二金属氧化物151可以仅形成在显示区100内,也可以仅形成在弯曲区200内,还可以同时形成在显示区100和弯曲区200内。在本实施例中,第二金属氧化物151同时形成在显示区100和弯曲区200内,即整层设置,可采用自然氧化或加热氧化的方式形成。
在第一阻隔层13中,弯曲区200内的第一金属氧化物131主要为了提高与第二柔性层14之间的黏附里,因此除了图1中在整个弯曲区200内均形成第一金属氧化物131外,在弯曲区200内还可以有其他设置方式。
在一种实施例中,如图3所示,弯曲区200内形成有多列沿第一方向X排布的第一金属氧化物131,即在弯曲区200内,金属铝远离第一柔性层12的一侧表面不是全部都氧化成氧化铝,而只是氧化了部分,氧化铝在弯曲区200内为条状结构,多条氧化铝沿第一方向X排列,其中第一方向X为柔性显示面板未弯折时,由一个显示区200指向与其相邻的另一个显示区200的方向。
相邻的第一金属氧化物131之间存在间隙。在一种实施例中,多条第一金属氧化物131等间距设置。
多个第一金属氧化物131也可以不等间距设置,可以将第一金属氧化物131设置为在弯曲区200的中间区域密度较大,在弯曲区200的边缘区域密度较小,由于在形成双曲面的柔性显示面板时,弯曲区200的中间区域所受应力较大,将该区域内设置尽可能多的第一金属氧化物131,可提高与第二柔性层14间的粘附力,进而提高柔性显示面板的弯折性能。
在一种实施例中,弯曲区200内形成有多个呈陈列分布的第一金属氧化物131,即在弯曲区200内,金属铝远离第一柔性层12的一侧表面不是全部都氧化成氧化铝,而只是氧化了部分,氧化铝在弯曲区200内为块状结构,块状结构的第一金属氧化物131在弯曲区200内呈阵列分布,各第一金属氧化物131之间可以等间距设置,也可以不等间距设置。
需要说明的是,弯曲区200内第一金属氧化物131的设置方式不限于此,还可以有其他设置方法,如在弯曲区200内呈网格状分布等,本领域的技术人员可根据需要设计第一金属氧化物131的形状,只要能起到增大与第二柔性层14间的粘附力,从而减小弯折时的内应力,提高弯折性能的作用即可。
如图4所示,本发明还提供一种柔性显示面板的制备方法,具体步骤包括:
S1:提供基板;
S2:在基板的一侧制备柔性衬底,柔性衬底包括第一柔性层、第一阻隔层和第二柔性层,第一阻隔层包括位于显示区内的金属氧化物、以及位于弯曲区内的金属和金属氧化物叠层;
S3:在柔性衬底远离基板的一侧制备驱动电路层和发光功能层;
S4:剥离基板。
下面结合图1至图13对该方法进行具体说明。
在S1中,提供基板11。如图5所示,基板11为刚性基板,通常为玻璃,由于柔性显示面板的衬底为柔性衬底,柔性衬底不能直接使用,需先制备在刚性的基板11上。
在S2中,在基板11的一侧制备柔性衬底10,柔性衬底10包括第一柔性层12、第一阻隔层13和第二柔性层14,第一阻隔层13包括位于显示区100内的第一金属氧化物131、以及位于弯曲区200内的第一金属132和第一金属氧化物131的叠层。
如图5所示,首先,在基板11上制备第一柔性层12,第一柔性衬底12可以是聚酰亚胺,也可以是柔性玻璃,采用涂布的方式形成在基板11上。在本实施例中,第一柔性衬底12为聚酰亚胺。
然后,在第一柔性层12上形成第一阻隔层13。
制备第一阻隔层13时,先在第一柔性层12上用物理气相沉积或其他方式形成整层的铝,形成第一金属132,如图5,第一金属132位于显示区100和弯曲区200内。
接着,对第一金属132进行图案化氧化,使第一金属132在显示区100氧化形成第一金属氧化物131,在弯曲区200内氧化形成第一金属132和第一金属氧化物131叠层,制得第一阻隔层13。
如图6所示,图案化氧化时,先使用遮挡构件40将弯曲区200遮挡住,对显示区100内的第一金属132进行氧化,氧化采用加热氧化的方式,直至显示区100内所有的第一金属132均被氧化成第一金属氧化物131,氧化后的结构如图7所示。
然后,再对弯曲区200内的第一金属132进行氧化,使第一金属132的表面形成薄层的第一金属氧化物131,采用的氧化方法为自然氧化或加热氧化,氧化完成后,第一阻隔层13在弯曲区200内还有未被氧化的铝,即剩余的第一金属132。经过上述步骤,制得第一阻隔层13,结构如图8所示。
在弯曲区200内,第一阻隔层13包括第一金属132和第一金属氧化物131叠层,即金属铝仅在远离第一柔性层12的一侧表面被氧化成氧化铝,第一金属氧化物131的厚度小于第一阻隔层13的厚度。
在一种实施例中,在弯曲区200内,第一阻隔层13中的第一金属氧化物131的厚度小于第一阻隔层13厚度的四分之一。第一阻隔层13在弯曲区200内只形成薄层的第一金属氧化物131,大部分还是第一金属132,第一金属132具有优异的延展性,可以实现柔性显示面板更优异的弯折性能。
在弯曲区200内,第一金属氧化物131的形状有多种情况,在本实施例中,在弯曲区200内,第一金属氧化物131与弯曲区200的面积相等。
接下来,如图9所示,在第一阻隔层13上形成第二柔性层14,第二柔性层14的材料也为聚酰亚胺。
第二柔性层14形成在第一阻隔层13上,与第一金属氧化物131接触,在弯曲区200内,第一金属氧化物131具有较好的表面粗糙度,相对于金属铝直接与第二柔性层14接触,第一金属氧化物131可以提高与第二柔性层14之间的粘附力,在高温高湿环境或弯折状态下具有优异的稳定性,可避免因弯折导致的内应力增加及无机层断裂等问题。
在现有技术中,通常采用聚酰亚胺作为柔性显示面板的衬底,聚酰亚胺具有优异的耐热性、耐辐射性能、耐化学性、电绝缘性、机械性能等,但其自身的阻水阻氧能力较弱。为提高衬底的阻水阻氧能力,通常在聚酰亚胺表面沉积厚度均匀的单层或多层堆叠结构的无机薄膜,或采用多层聚酰亚胺/无机薄膜交替堆叠的结构,但这些结构均存在无机薄膜应力集中、弯曲区易断裂、高温高湿易分离等问题。
本发明不采用无机薄膜,而是采用柔性层加金属阻隔层的结构,金属铝的延展性能优异,高温下难与水氧反应,且是热的良导体,氧化铝化学性质稳定,具有极其优异的阻水阻氧性能。
本发明通过在显示区100内将金属铝完全氧化成致密的氧化铝层,氧化铝化学性质稳定,具有极其优异的阻水阻氧性能。在弯曲区200内将金属铝部分氧化成薄层的氧化铝层,未氧化的金属铝相对于现有技术中的无机膜层具有更好的延展性,可以提供柔性显示面板的柔性,薄层的氧化铝层与现有技术中沉积的无机膜层相比,具有更好的表面粗糙度,可以提高与第二柔性层14之间的粘附力,弯曲区200内第一金属132和第一金属氧化物131的叠层结构使得柔性显示面板在高温高湿环境或弯折状态下具有优异的稳定性。
在第一阻隔层13中,弯曲区200内的第一金属氧化物131主要为了提高与第二柔性层14之间的黏附里,因此除了图1中在整个弯曲区200内均形成第一金属氧化物131外,在弯曲区200内还可以有其他设置方式。
在一种实施例中,如图3所示,弯曲区200内形成有多列沿第一方向X排布的第一金属氧化物131,即在弯曲区200内,金属铝远离第一柔性层12的一侧表面不是全部都氧化成氧化铝,而只是氧化了部分,氧化铝在弯曲区200内为条状结构,多条氧化铝沿第一方向X排列,其中第一方向X为柔性显示面板未弯折时,由一个显示区200指向与其相邻的另一个显示区200的方向。
相邻的第一金属氧化物131之间存在间隙。在一种实施例中,多条第一金属氧化物131等间距设置。
多个第一金属氧化物131也可以不等间距设置,可以将第一金属氧化物131设置为在弯曲区200的中间区域密度较大,在弯曲区200的边缘区域密度较小,由于在形成双曲面的柔性显示面板时,弯曲区200的中间区域所受应力较大,将该区域内设置尽可能多的第一金属氧化物131,可提高与第二柔性层14间的粘附力,进而提高柔性显示面板的弯折性能。
在一种实施例中,弯曲区200内形成有多个呈陈列分布的第一金属氧化物131,即在弯曲区200内,金属铝远离第一柔性层12的一侧表面不是全部都氧化成氧化铝,而只是氧化了部分,氧化铝在弯曲区200内为块状结构,块状结构的第一金属氧化物131在弯曲区200内呈阵列分布,各第一金属氧化物131之间可以等间距设置,也可以不等间距设置。
需要说明的是,弯曲区200内第一金属氧化物131的设置方式不限于此,还可以有其他设置方法,如在弯曲区200内呈网格状分布等,本领域的技术人员可根据需要设计第一金属氧化物131的形状,只要能起到增大与第二柔性层14间的粘附力,从而减小弯折时的内应力,提高弯折性能的作用即可。
在一种实施例中,第二柔性层14制备完成后,还形成有第二阻隔层15,第二阻隔层15为第二金属152和第二金属氧化物151的叠层。
如图9中所示,先在第二柔性层14上形成第二金属152,第二金属152也为金属铝,第二金属层152为整层设置,即形成在显示区100和弯曲区200中。
然后,如图10中所示,对第二金属152进行整面氧化,整面氧化可以采用自然氧化或加热氧化。将第二金属152远离第二柔性层14的一侧表面全部氧化成第二氧化物151,第二氧化物151为氧化铝。
在一种实施例中,第二金属氧化物151的厚度,与弯曲区200内的第一金属氧化物131的厚度相等。由于第一阻隔层13中的金属氧化物131已实现水氧阻隔及优异的弯折性能,第二阻隔层15只需表面氧化成一层薄薄的第二金属氧化物151,在保持优异阻水氧性能和弯折性能同时实现工艺优化。
第二金属氧化物151可以形成在弯曲区200和显示区100中的至少一个区域内,即第二金属氧化物151可以仅形成在显示区100内,也可以仅形成在弯曲区200内,还可以同时形成在显示区100和弯曲区200内。在本实施例中,第二金属氧化物151同时形成在显示区100和弯曲区200内,即整层设置,可采用自然氧化或加热氧化的方式形成。
至此,柔性衬底10制备完成。
在S3中,在柔性衬底10远离基板11的一侧制备驱动电路层20和发光功能层30。
如图11所示,驱动电路层20形成在柔性衬底10一侧,发光功能层30形成在驱动电路层20远离柔性衬底10的一侧,驱动电路层20包括驱动电路,发光功能层30在驱动电路的驱动下发光。
在S4中,剥离基板11。如图12所示,柔性显示面板制备完成后,需要将柔性衬底10下的基板11剥离,剥离采用激光剥离技术或机械玻璃技术。在本实施例中,采用激光18照射基板11,将基板11与柔性衬底10剥离,最终形成的柔性显示面板如图13所示。
本方法在聚酰亚胺表面沉积一定厚度的金属铝,使显示区100的金属铝完全氧化成致密的氧化铝层,而弯曲区域的金属铝仅需氧化成一层薄薄的氧化铝层,从而制备聚酰亚胺-氧化铝(PI-Al2O3)复合薄膜基板,在保持聚酰亚胺优异性能的同时,利用致密的第一金属氧化物131改善阻水阻氧能力,用第一金属132和薄层的第一金属氧化物131改善弯折性能,避免采用多层聚酰亚胺/无机薄膜交替结构而产生的内应力增加、弯折易断裂、高温高湿易分离等问题。采用本方法制备的柔性显示面板的柔性增加,有利于形成双曲面的折叠柔性显示面板,双曲面的柔性显示面板结构如图2所示。
根据上述实施例可知:
本发明提供一种柔性显示面板和柔性显示面板的制备方法,柔性显示面板包括显示区和弯曲区,柔性显示面板还包括柔性衬底、驱动电路层和发光功能层,驱动电路层形成在柔性衬底一侧;发光功能层形成在驱动电路层远离柔性衬底的一侧;其中,柔性衬底包括第一柔性层、第一阻隔层和第二柔性层,第一阻隔层包括位于显示区内的金属氧化物、以及位于弯曲区内的金属和金属氧化物叠层。通过将显示区内所有金属均氧化形成金属氧化物,在弯曲区内金属部分氧化形成金属氧化物,在显示区内,金属氧化物可以起到隔绝水氧的作用,在弯曲区内,金属可提高显示面板的弯折性能,金属氧化物可以提高与第二柔性层的粘附力,从而增强弯折状态下的稳定性,显示区和弯曲区内的金属氧化物共同作用,使柔性显示面板同时具备良好的水氧隔绝能力和弯折性能,改善了无机薄膜减弱柔性基板柔性的技术问题。
综上所述,虽然本发明已以优选实施例揭露如上,但上述优选实施例并非用以限制本发明,本领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与润饰,因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (10)
1.一种柔性显示面板,包括显示区和弯曲区,其特征在于,包括:
柔性衬底;
驱动电路层,形成在所述柔性衬底一侧;
发光功能层,形成在所述驱动电路层远离所述柔性衬底的一侧;
其中,所述柔性衬底包括第一柔性层、第一阻隔层和第二柔性层,所述第一阻隔层包括位于显示区内的第一金属氧化物、以及位于弯曲区内的第一金属和第一金属氧化物叠层。
2.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述第一金属的材料为铝。
3.如权利要求2所述的柔性显示面板,其特征在于,在所述弯曲区内,所述第一金属氧化物与所述弯曲区的面积相等。
4.如权利要求2所述的柔性显示面板,其特征在于,所述弯曲区内形成有多列沿第一方向排布的所述第一金属氧化物。
5.如权利要求2所述的柔性显示面板,其特征在于,所述弯曲区内形成有多个呈陈列分布的所述第一金属氧化物。
6.如权利要求2所述的柔性显示面板,其特征在于,在所述弯曲区内,所述第一金属氧化物的厚度小于所述第一阻隔层厚度的四分之一。
7.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述柔性衬底还包括第二阻隔层,所述第二阻隔层形成在所述第二柔性层远离所述第一阻隔层的一侧,所述第二阻隔层包括第二金属和第二金属氧化物的叠层。
8.如权利要求7所述的柔性显示面板,其特征在于,所述第二金属氧化物形成在所述弯曲区和所述显示区中的至少一个区域内。
9.如权利要求7所述的柔性显示面板,其特征在于,所述第二金属氧化物的厚度,与所述弯曲区内的所述第一金属氧化物的厚度相等。
10.一种柔性显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
提供基板;
在所述基板的一侧制备柔性衬底,所述柔性衬底包括第一柔性层、第一阻隔层和第二柔性层,所述第一阻隔层包括位于显示区内的第一金属氧化物、以及位于弯曲区内的第一金属和第一金属氧化物叠层;
在所述柔性衬底远离所述基板的一侧制备驱动电路层和发光功能层;
剥离所述基板。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910745902.0A CN110571348A (zh) | 2019-08-13 | 2019-08-13 | 柔性显示面板和柔性显示面板的制备方法 |
PCT/CN2019/115907 WO2021027102A1 (zh) | 2019-08-13 | 2019-11-06 | 柔性显示面板和柔性显示面板的制备方法 |
US16/625,807 US11196014B2 (en) | 2019-08-13 | 2019-11-06 | Flexible display panel and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910745902.0A CN110571348A (zh) | 2019-08-13 | 2019-08-13 | 柔性显示面板和柔性显示面板的制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110571348A true CN110571348A (zh) | 2019-12-13 |
Family
ID=68775393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910745902.0A Pending CN110571348A (zh) | 2019-08-13 | 2019-08-13 | 柔性显示面板和柔性显示面板的制备方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11196014B2 (zh) |
CN (1) | CN110571348A (zh) |
WO (1) | WO2021027102A1 (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111146342A (zh) * | 2020-01-22 | 2020-05-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性衬底基板、显示面板及显示装置 |
CN111900191A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-11-06 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 柔性衬底、显示面板及其制备方法 |
CN111987238A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-11-24 | Tcl华星光电技术有限公司 | 显示面板及其制备方法 |
CN113285046A (zh) * | 2021-05-21 | 2021-08-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 衬底基板、衬底基板制造方法与显示面板 |
WO2023226121A1 (zh) * | 2022-05-24 | 2023-11-30 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 背板、背光模组及显示面板 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108054292A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-05-18 | 云谷(固安)科技有限公司 | 封装结构及包括封装结构的柔性显示装置 |
CN108257982A (zh) * | 2018-01-23 | 2018-07-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性衬底基板及其制造方法、柔性面板、和电子设备 |
CN109065758A (zh) * | 2018-08-10 | 2018-12-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示装置及其制造方法 |
CN109461830A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-03-12 | 云谷(固安)科技有限公司 | 一种柔性显示面板、显示设备及其制备方法 |
CN109524563A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-03-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板及其制备方法、显示面板 |
CN110071230A (zh) * | 2019-05-30 | 2019-07-30 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种柔性基板及其制作方法、显示面板 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102281329B1 (ko) * | 2014-12-19 | 2021-07-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법 |
US10103201B2 (en) * | 2016-07-05 | 2018-10-16 | E Ink Holdings Inc. | Flexible display device |
KR102557892B1 (ko) * | 2016-08-19 | 2023-07-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
CN109256400B (zh) * | 2018-11-16 | 2021-01-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示基板及其制造方法、显示装置 |
CN109658831B (zh) * | 2018-12-20 | 2021-05-04 | 厦门天马微电子有限公司 | 一种显示面板及显示装置 |
-
2019
- 2019-08-13 CN CN201910745902.0A patent/CN110571348A/zh active Pending
- 2019-11-06 WO PCT/CN2019/115907 patent/WO2021027102A1/zh active Application Filing
- 2019-11-06 US US16/625,807 patent/US11196014B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108054292A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-05-18 | 云谷(固安)科技有限公司 | 封装结构及包括封装结构的柔性显示装置 |
CN108257982A (zh) * | 2018-01-23 | 2018-07-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性衬底基板及其制造方法、柔性面板、和电子设备 |
CN109065758A (zh) * | 2018-08-10 | 2018-12-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示装置及其制造方法 |
CN109461830A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-03-12 | 云谷(固安)科技有限公司 | 一种柔性显示面板、显示设备及其制备方法 |
CN109524563A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-03-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板及其制备方法、显示面板 |
CN110071230A (zh) * | 2019-05-30 | 2019-07-30 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种柔性基板及其制作方法、显示面板 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111146342A (zh) * | 2020-01-22 | 2020-05-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性衬底基板、显示面板及显示装置 |
US11963434B2 (en) | 2020-01-22 | 2024-04-16 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Flexible base substrate, display panel and display device |
CN111987238A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-11-24 | Tcl华星光电技术有限公司 | 显示面板及其制备方法 |
CN111900191A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-11-06 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 柔性衬底、显示面板及其制备方法 |
CN113285046A (zh) * | 2021-05-21 | 2021-08-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 衬底基板、衬底基板制造方法与显示面板 |
WO2023226121A1 (zh) * | 2022-05-24 | 2023-11-30 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 背板、背光模组及显示面板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210288276A1 (en) | 2021-09-16 |
WO2021027102A1 (zh) | 2021-02-18 |
US11196014B2 (en) | 2021-12-07 |
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---|---|---|---|
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