CN110520798B - 物体交换装置、物体处理装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、物体交换方法、以及物体处理方法 - Google Patents

Abstract

为了缩短基板交换所耗费的时间，物体交换装置具备：第一支承部(68)，其支承物体(P1)的第一面；第二支承部(152)，其从所述第一支承部接收所述物体，并支承所述物体的与所述第一面不同的第二面；以及驱动部(43)，其对将所述物体交接到了所述第二支承部的所述第一支承部(68)，向与所述物体不同的其他物体(P2)被搬入至所述第一支承部的物体交换位置进行驱动。

Description

物体交换装置、物体处理装置、平板显示器的制造方法、元件 制造方法、物体交换方法、以及物体处理方法

技术领域

本发明涉及物体交换装置、物体处理装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、物体交换方法、以及物体处理方法。

背景技术

在制造液晶显示元件、半导体元件等电子元件的光刻工序中，使用利用能量射束将形成于掩膜(或标线片)的图案转印至玻璃基板(或晶圆)上的曝光装置。

作为这种曝光装置，已知有如下的曝光装置：使用规定的基板搬送装置将基板载台装置上的完成曝光的玻璃基板搬出之后，使用上述基板搬送装置将其他玻璃基板搬入至基板载台装置上，由此依次交换保持于基板载台装置的玻璃基板，并对多个玻璃基板连续地进行曝光处理(例如，参照专利文献1)。当对多个玻璃基板连续地进行曝光时，也为了提升整体的产能，优选迅速地交换基板载台装置上的玻璃基板。

专利文献1：美国专利申请公开第2010/0266961号说明书。

发明内容

根据第一方式，提供一种物体交换装置，其具备：第一支承部，其支承物体的第一面；第二支承部，其从所述第一支承部接收所述物体，并支承所述物体的与所述第一面不同的第二面；以及驱动部，其对将所述物体交接到了所述第二支承部的所述第一支承部，向供与所述物体不同的其他物体被搬入至所述第一支承部的物体交换位置进行驱动。

根据第二方式，提供一种物体处理装置，其具备：上述的物体交换装置；和处理部，其在与所述物体交换位置不同的处理位置，对所述第一支承部上的所述物体或所述其他物体的所述第二面进行规定处理。

根据第三方式，提供一种平板显示器的制造方法，其包括：使用上述的物体处理装置来对物体进行曝光的步骤；和对已曝光的所述物体进行显影的步骤。

根据第四方式，提供一种元件制造方法，其包括：使用上述的物体处理装置来对物体进行曝光的步骤；和对已曝光的所述物体进行显影的步骤。

根据第五方式，提供一种物体交换方法，其包括：接收通过第一支承部支承了第一面的物体，并通过第二支承部支承所述物体的与所述第一面不同的第二面的步骤；和对将所述物体交接到了所述第二支承部的所述第一支承部，向供与所述物体不同的其他物体被搬入至所述第一支承部的物体交换位置进行驱动的步骤。

根据第六方式，提供一种物体处理方法，其包括：上述的物体交换方法；和在与所述物体交换位置不同的处理位置，对所述第一支承部上的所述物体或所述其他物体的所述第二面进行规定处理的步骤。

此外，也可以适当对后述的实施方式的结构进行改良，另外，也可以将至少一部分代替为其他构成物。进一步，关于其配置没有特别限定的构成要件并不限于在实施方式中公开的配置，而能够配置于可以实现其功能的位置。

附图说明

图1是示意性地表示第一实施方式所涉及的液晶曝光装置的结构的图。

图2是图1的液晶曝光装置(局部省略)的俯视图。

图3的(a)～图3的(c)是用于说明图1的液晶曝光装置所具有的基板搬入装置的动作的图。

图4的(a)～图4(c)是用于说明第一实施方式中的基板交换动作的图(其1)。

图5的(a)～图5的(c)是用于说明第一实施方式中的基板交换动作的图(其2)。

图6的(a)及图6的(b)是用于说明第一实施方式的变形例1中的基板交换动作的图。

图7的(a)是示意性地表示第一实施方式的变形例2所涉及的液晶曝光装置的结构的图，图7的(b)是从-Z侧观察图7的(a)的液晶曝光装置(局部省略)的俯视图。

图8是示意性地表示第一实施方式的变形例3所涉及的液晶曝光装置的结构的图。

图9的(a)是示意性地表示第二实施方式所涉及的液晶曝光装置的结构的图，图9的(b)及图9的(c)是用于说明第二实施方式中的基板交换动作的图。

图10的(a)是示意性地表示第三实施方式所涉及的液晶曝光装置的结构的图，图10的(b)是用于说明第三实施方式中的基板交换动作的图(其1)。

图11的(a)及图11的(b)是用于说明第三实施方式中的基板交换动作的图(其2)。

图12是示意性地表示第四实施方式所涉及的液晶曝光装置的结构的图。

图13的(a)及图13的(b)是用于说明第四实施方式的变形例1中的基板交换动作的图。

具体实施方式

《第一实施方式》

首先，基于图1～图5的(c)对第一实施方式进行说明。

在图1中，示意性地示出第一实施方式所涉及的液晶曝光装置10的结构。另外，在图2中，示出第一实施方式所涉及的液晶曝光装置10的俯视图(局部省略)。液晶曝光装置10例如是将液晶显示装置(平板显示器)等所使用的矩形(方形)的玻璃基板P(以下，简称为基板P)作为曝光对象物的步进扫描方式的投影曝光装置、即所谓的扫描器。

液晶曝光装置10具有：照明***12、保持形成有电路图案等图案的掩膜M的掩膜载台14、投影光学***16、一对载台底座18、保持表面(图1中朝+Z侧的面)涂布有光刻胶(感应剂)的基板P的基板载台装置20、悬垂支承装置150、基板搬入装置130、以及它们的控制***等。以下，将在曝光时掩膜M与基板P相对于投影光学***16分别进行相对扫描的方向设为X轴方向，将在水平面内与X轴正交的方向设为Y轴方向，将与X轴及Y轴正交的方向设为Z轴方向来进行说明，并且将绕X轴、Y轴、及Z轴的旋转(倾斜)方向分别设为θx、θy、及θz方向来进行说明。另外，将与X轴、Y轴、及Z轴方向相关的位置分别设为X位置、Y位置、及Z位置来进行说明。

照明***12例如与美国专利第5,729,331号说明书等所公开的照明***同样地构成。照明***12将从未图示的光源(例如水银灯)射出的光作为曝光用照明光(照明光)IL分别经由未图示的反射鏡、分色镜、快门、波长选择滤波器、各种透镜等而照射于掩膜M。作为照明光IL，例如可使用i线(波长365nm)、g线(波长436nm)、h线(波长405nm)等光(或上述i线、g线、h线的合成光)。

掩膜载台14保持光透射型的掩膜M。掩膜载台14例如经由包含线性马达的驱动***(未图示)，相对于照明***12(照明光IL)而在X轴方向(扫描方向)上以规定的长行程驱动掩膜M，并且在Y轴方向、及θz方向进行微幅驱动。掩膜M的水平面内的位置信息例如通过包含激光干涉仪或者编码器的掩膜载台位置测量***(未图示)来求出。

投影光学***16配置在掩膜载台14的下方。投影光学***16例如为与美国专利第6，552，775号说明书等公开的投影光学***同样的结构的所谓多透镜型的投影光学***，例如具备形成正立正像的双侧远心的多个光学***。

在液晶曝光装置10中，若通过来自照明***12的照明光IL而对位于规定的照明区域内的掩膜M进行照明，则通过穿过掩膜M的照明光，并经由投影光学***16而在基板P上的曝光区域形成该照明区域内的掩膜M的图案的投影像(部分的图案的像)。而且，掩膜M相对于照明区域(照明光IL)沿扫描方向相对移动，并且基板P相对于曝光区域(照明光IL)沿扫描方向相对移动，由此进行基板P上的一个照射区域的扫描曝光，并将形成于掩膜M的图案(与掩膜M的扫描范围对应的图案整体)转印至该照射区域。这里，掩膜M上的照明区域与基板P上的曝光区域(照明光的照射区域)通过投影光学***16而相互变成光学共轭的关系。

一对载台底座18由分别沿Y轴方向延伸的部件构成，并在X轴方向分离配置。载台底座18经由多个防振装置17而设置在无尘室的地板11上。

(基板载台装置20)

基板载台装置20例如与国际公开第2016/169176号所公开的基板载台装置同样地构成。基板载台装置20具有X粗略移动载台40、Y粗略移动载台30、重量抵消装置50、基板台60、基板保持件68、以及基板载体70。

X粗略移动载台40及Y粗略移动载台30是用于对基板台60在X轴方向及Y轴方向分别以规定的长行程进行驱动的装置。X粗略移动载台40通过X驱动机构43在X轴方向以规定的行程被驱动。另外，Y粗略移动载台30通过Y驱动机构33在Y轴方向以规定的行程被驱动。

重量抵消装置50产生重力方向朝上的力来支承包含基板台60及基板保持件68的***的自重。作为重量抵消装置50的结构，例如能够使用与美国专利申请公开第2010/0018950号说明书所公开的重量抵消装置同样的结构。

基板台60由以X轴方向为长边方向的俯视时为矩形的部件构成。基板台60的中央部经由球面轴承装置(未图示)而被重量抵消装置50从下方支承。

基板台60经由多个弯曲部分(flexure)而与X粗略移动载台40机械式连接。基板台60通过该多个弯曲部分，而相对于X粗略移动载台40在与XY平面平行的方向(X轴、Y轴、θz方向)上受到限制，并且相对于X粗略移动载台40在与XY平面交叉的方向(Z轴、θx、θy方向)上变成可在微小范围内相对移动的状态。基板台60例如经由四个弯曲部分中的任一个而被X粗略移动载台40牵拉，由此与该X粗略移动载台40一体地在X轴及Y轴方向中的至少一方移动。

基板台60经由多个Z音圈马达(voice coil motor)64而相对于X粗略移动载台40在Z轴方向、θx方向、及θy方向(以下，称为Z·倾斜方向)被微幅驱动。Z音圈马达64可以与基板台60的四角部对应地，例如设置有四个，但并不限于此，只要至少设置于不在同一直线上的三处即可。基板台60的Z·倾斜方向的位置信息是使用包含固定于基板台60的下表面的探针(probe)、和固定于重量抵消装置50的目标物的多个Z传感器并通过未图示的主控制装置来求出的。Z传感器绕与Z轴平行的轴线而以规定间隔例如配置有四个(至少三个)。未图示的主控制装置基于上述多个Z传感器的输出，进行基板台60(即基板P)的Z·倾斜位置控制。

在基板台60的下表面以悬臂支承状态固定有多个(例如四个)导板66。例如四个导板66分别从基板台60的+X侧、-X侧、+Y侧、及-Y侧各自的端部朝向基板台60的外侧呈放射状(+字形)突出地配置。导板66的上表面的平面度被精加工得非常高。

支承基板P的基板保持件68由以X轴方向为长边方向的俯视时为矩形的板状的部件构成，并固定在基板台60的上表面上。基板保持件68的长边方向及宽度方向各自的尺寸比基板台60的长边方向及宽度方向各自的尺寸长，且设定成与基板P的长边方向及宽度方向各自的尺寸相同程度(实际上略短)。基板P载置在基板保持件68的上表面上。在基板保持件68的上表面形成有多个未图示的微小的孔部。

在基板保持件68连接有供给加压气体(例如空气)的加压气体供给装置、及真空抽吸装置(均未图示)。基板保持件68经由多个微小的孔部的一部分而对基板P的下表面喷出从加压气体供给装置供给的加压气体(压缩空气)，由此使气体介于基板P的下表面与基板保持件68的上表面之间(即，形成气体膜)。另外，基板保持件68使用真空抽吸装置，经由剩余的微小的孔部而抽吸基板保持件68的上表面与基板P的下表面之间的气体，而对基板P作用重力方向朝下的力(预负荷)，由此对上述气体膜赋予重力方向的刚性。

而且，基板保持件68一边通过加压气体的压力及流量与真空抽吸力的平衡，在重力方向(Z轴方向)上经由微小的间隙而使基板P悬浮来以非接触方式支承，一边对基板P作用控制其平面度的力(例如矫正或修正平面度的力)。因此，基板保持件68在Z·倾斜方向限制基板P，而在水平面内的三个自由度方向不限制基板P。另外，在基板保持件68中，能够通过加压气体的喷出(供气)与真空抽吸(吸气)的平衡调整(以下称为空气调整)，而控制基板P与基板保持件68的间隔。另外，该空气调整能够与基板保持件68的上表面的位置对应地进行控制。此外，基板保持件68以能够支承基板P的下表面中的、至少与基板P上的照射区域(即，掩膜M的图案被转印的区域)对应的部分的方式配置。因此，用于支承基板P的基板保持件68的上表面优选设为至少能够支承形成在基板P上的一个照射区域的大小。此外，在本实施方式中，一边通过加压气体的喷出与真空抽吸的并用来使重力方向朝下的力作用于基板P，一边非接触支承该基板P，但并不限定于此，例如也可以一边使气体在基板P与基板保持件68之间以高速穿过，利用伯努利效应(Bernoulli effect)来使重力方向朝下的力作用于基板P，一边非接触支承该基板P。

基板载体70具有基座72及载体主体74。如图2所示，基座72由俯视时(从+Z侧观察)为矩形的框状的部件构成。在形成于基座72的俯视时为矩形的开口部内配置有基板台60。

在基座72的下表面，与固定于上述基板台60的例如四个导板66对应地，固定有四个空气轴承78。例如四个空气轴承78分别与轴承面(气体喷出面)所对应的导板66的上表面对置配置，并将加压气体(例如压缩空气)从上述轴承面喷出至对应的导板66的上表面。基座72通过从例如四个空气轴承78分别喷出至对应的导板66的加压气体的静压，并经由微小的间隙而悬浮于上述例如四个导板66上。

在规定基座72的开口部的壁面，例如，安装有沿X轴方向及Y轴方向驱动基板载体70的驱动机构(例如，电磁力驱动方式的音圈马达)。

如图2所示，载体主体74例如由+X侧敞开的俯视时为U字形的部件构成。载体主体74载置在基座72的上表面上，并固定于该基座72。在载体主体74的内侧配置有基板保持件68。另外，在载体主体74的内壁面与基板保持件68的侧面之间，形成有即使基板载体70相对于基板台60在水平面内的三个自由度方向(X轴、Y轴、θz方向)被微幅驱动，也不相互接触的程度的间隙。

如图1所示，在载体主体74上载置基板P。基板P的+X侧、-X侧、+Y侧、及-Y侧各自的端部附近设为不转印掩膜图案的区域(以下，称为空白区域)，在基板P载置在载体主体74上的状态下，上述空白区域被载体主体74从下方支承。另外，在载体主体74的上表面形成有多个未图示的微小的孔部。载体主体74与未图示的真空抽吸装置连接，能够经由上述多个孔部而吸附保持基板P的空白区域。

如上述那样，基板保持件68在Z·倾斜方向限制基板P，而在水平面内的三个自由度方向(X方向、Y方向、θz方向)不限制基板P。因此，使用基板载体70，在三个自由度方向驱动基板P。未图示的主控制装置通过沿X轴方向及Y轴方向驱动上述的基板载体70的驱动机构(例如电磁力驱动方式的音圈马达)，相对于基板台60在X轴方向及Y轴方向分别对基板载体70进行微幅驱动。另外，未图示的主控制装置通过沿X轴方向或Y轴方向驱动基板载体70的驱动机构(例如电磁力驱动方式的音圈马达)，相对于基板台60在θz方向上对基板载体70进行微幅驱动。

在上述的基板载台装置20中，基板保持件68与基板载体70相互非接触地配置，且为物理式(机械式)分离的构造，能够不驱动基板保持件68而使基板载体70及基板P微幅驱动。即，基板载体70能够相对于基板保持件68使基板P相对驱动。由此，即使非接触保持基板P，也能够高精度地进行定位。

(悬垂支承装置150)

悬垂支承装置150与基板搬入装置130一起用于保持于基板保持件68的基板P的从基板保持件68的搬出动作。悬垂支承装置150以在使基板载台装置20位于基板交换位置的状态下，位于基板保持件68的上方的方式配置。

悬垂支承装置150具备非接触支承装置152。在本第一实施方式中，非接触支承装置152安装于安装有投影光学***16的基准平板100(在图1中未图示。参照图4的(a)等)。

在非接触支承装置152的下表面形成有多个未图示的微小的孔部，在非接触支承装置152连接有供给加压气体(例如空气)的加压气体供给装置、及真空抽吸装置(均未图示)。非接触支承装置152经由上述多个微小的孔部的一部分而对基板P的上表面喷出从加压气体供给装置供给的加压气体(压缩空气)，并使用上述真空抽吸装置经由剩余的微小的孔部而抽吸非接触支承装置152的下表面与基板P的上表面之间的气体。进而，非接触支承装置152通过加压气体的压力及流量与真空抽吸力的平衡，在重力方向(Z轴方向)经由微小的间隙而以非接触方式支承基板P。此外，在本实施方式中，一边通过加压气体的喷出与真空抽吸的并用来使重力方向朝上的力作用于基板P，一边非接触支承该基板P，但并不限于此，例如也可以一边使气体在基板P与非接触支承装置152之间以高速穿过，利用伯努利效应来使重力方向朝上的力作用于基板P，一边非接触支承该基板P。即，只要以基板P的上表面与非接触支承装置152不接触的方式进行支承，则支承方法不限。

另外，悬垂支承装置150在非接触支承装置152的+X侧、-X侧、+Y侧、及-Y侧的端部附近具备用于限制被非接触支承的基板P的朝与XY平面平行的方向的不经意的移动的基板止动装置(未图示)。这是因为，非接触支承装置152在Z·倾斜方向限制基板P，而在水平面内的三个自由度方向(X方向、Y方向、θz方向)无法限制基板P，从而被非接触支承的基板P移动。基板止动装置以包围基板P的外周的方式配置。基板止动装置的数量只要能够限制基板P的不经意的移动即可，并未被特别限定。

此外，在本第一实施方式中，配置有一台非接触支承装置152，但非接触支承装置152的大小、数量、及配置并不限于此。非接触支承装置152只要能够在完成曝光的基板与基板保持件68上之间形成如新的基板P被搬入至基板保持件上那样的空间即可，例如能够根据基板P的大小等适当进行变更。

(基板搬入装置130)

基板搬入装置130进行针对空的(未保持基板P)基板保持件68的基板P的搬入。另外，基板搬入装置130进行由上述的悬垂支承装置150支承的完成曝光的基板P的搬出。如图1所示，基板搬入装置130配置在基板载台装置20的+X侧的区域，并设置在地板11上。由此，由基板搬入装置130产生的振动不传递至基板载台装置20。基板载台装置20与基板搬入装置130收纳于液晶曝光装置10所具有的未图示的腔室内。

基板搬入装置130具有基板移动装置136、导气装置138、以及导气装置驱动机构133。

基板移动装置136在基板保持件68上的基板P的交换动作时使搬入对象、或搬出对象的基板P移动。基板移动装置136例如与国际公开第2014/024483号所公开的基板移动装置同样地构成。基板移动装置136具备X驱动机构140、支柱142、以及吸附垫144。X驱动机构140在X轴方向上，例如以与基板P的X轴方向的尺寸相同程度的行程对吸附垫144进行直线驱动。作为X驱动机构140，例如只要使用线性马达、进给螺杆装置、带驱动装置等即可。

吸附垫144由XZ截面为倒L字形的部件构成，与XY平面平行的部分形成为俯视时矩形的板状。吸附垫144与未图示的真空装置连接，与上述XY平面平行的部分的上表面作为基板吸附面发挥功能。吸附垫144的与YZ平面平行的部分的一面与支柱142的上端部附近的一面(朝向-X侧的面)对置。吸附垫144被安装成能够经由固定于上述支柱142的一面(-X侧面)的Z轴驱动机构146而相对于支柱142在Z轴方向移动。另外，吸附垫144通过Z致动器148(例如气缸等)，在上表面(基板吸附面)比基板保持件68及两个导气装置138各自的上表面向+Z侧突出的位置、与比基板保持件68及两个导气装置138的上表面下降的位置之间沿Z轴方向被驱动。

本实施方式中的导气装置138由以X轴方向为长边方向的长方体的部件构成。导气装置138通过导气装置驱动机构133，在X轴方向以规定的行程被适当驱动。另外，导气装置138能够通过Z致动器137(例如气缸等)沿Z轴方向进行驱动。

如图2所示，导气装置138以能够大致均等地支承基板P的下表面的方式，以规定间隔相互分离来配置。在本第一实施方式中，通过两台导气装置138从下方支承基板P。此外，导气装置138的大小、数量及配置、以及由导气装置138形成的基板引导面的形状等例如能够根据基板P的大小等适当进行变更。

如图2所示，在导气装置138的上表面形成有多个微少的孔部，在导气装置138可选择地连接有未图示的加压气体供给装置及真空抽吸装置(均未图示)。导气装置138能够通过从上述加压气体供给装置经由上述多个孔部供给的加压气体，而悬浮支承(非接触支承)载置于其上表面的基板P，及能够通过从上述真空抽吸装置经由上述多个孔部(或其他孔部)供给的真空抽吸力，而吸附保持载置于其上表面的基板P。也可以以Y方向的尺寸比基板P略短的大小构成导气装置138，并在Y方向将基板移动装置136设置于导气装置138的两旁。其结果为，能够避免在将基板移动装置136设置于导气装置138的中央的情况下，加压气体未吹到基于X驱动机构140的基板P的中央部而使基板P弯曲的情况。

这里，使用图3的(a)～图3的(c)对使用了基板搬入装置130的基板P的搬入动作进行说明。在第一实施方式所涉及的液晶曝光装置10中，基板P向基板保持件68的搬入动作在基板保持件68位于规定的基板交换位置的状态下进行。基板交换位置例如设定于X粗略移动载台40的可动域的+X侧端部附近。

在使用基板搬入装置130来将基板P向基板载台装置20搬入时，以基板保持件68的上表面的Z位置与两个导气装置138的上表面的Z位置变得大致相同的方式(或者以基板保持件68侧略微变低的方式)，对基板保持件68的Z位置进行定位。由此，通过两个导气装置138所形成的基板引导面与基板保持件68的上表面形成连续的引导面。

基板搬入装置130沿-X方向使吸附保持基板P的+X侧的端部附近的在Y轴方向的中央部的吸附垫144驱动。由此，基板P沿着上述引导面移动。

而且，如图3的(b)所示，若基板P的+X侧的端部到达规定的位置，则如图3的(c)所示，吸附垫144解除基板P的吸附保持，并沿+X方向被驱动。此外，也可以在图3的(a)所示的基板P的移动过程中解除利用吸附垫144进行的基板P的吸附保持，将该吸附垫144与基板P分离，并通过惯性力来使基板P移动。

在如上述那样构成的液晶曝光装置10(参照图1)中，在未图示的主控制装置的管理下，通过未图示的遮罩装载机(mask loader)进行掩膜M向掩膜载台14上的装载，并且通过基板搬入装置130进行基板P向基板保持件68上的装载。之后，通过主控制装置，并使用未图示的对准检测***来执行对准测量，在该对准测量结束后，在设定在基板P上的多个照射区域依次进行步进扫描方式的曝光动作。此外，该曝光动作与以往进行的步进扫描方式的曝光动作相同，因此省略其详细的说明。而且，通过悬垂支承装置150使曝光处理已结束的基板P从基板保持件68退避，并且通过基板搬入装置130将接下来进行曝光的其他基板P搬送至基板保持件68。由此，进行基板保持件68上的基板P的交换，而对多个基板P连续地进行曝光动作等。

以下，使用图4的(a)～图5的(c)对第一实施方式所涉及的液晶曝光装置10中的基板保持件68上的基板P的交换动作进行说明。此外，将基板保持件68上的完成曝光的基板设为基板P1，将向基板保持件68上搬送的新的基板设为基板P2。以下的基板交换动作在未图示的主控制装置的管理下进行。此外，为了简化图示，在图4的(a)～图5的(c)中，基板载台装置20、基板搬入装置130、及悬垂支承装置150分别被简化(一部分的要素未图示)示出。

如图4的(a)所示，若已结束曝光处理的基板载台装置20到达基板交换位置，则基板保持件68减弱真空抽吸力，并且基板载体70解除利用载体主体74进行的基板P1的吸附保持。

接下来，如图4的(b)所示，基板保持件68使从加压气体供给装置供给的加压气体的压力和/或流量增加，并以基板P1的下表面与基板保持件68的距离扩大的方式，对基板P1的下表面赋予悬浮力(levitation force)。由此，基板P1在基板保持件68上悬浮。已悬浮的基板P1通过悬垂支承装置150的非接触支承装置152的真空抽吸而被悬垂支承装置150接收。由此，基板P1的下表面从基板保持件68的上表面分离。

另一方面，在基板搬入装置130中，从两个导气装置138对基板P2的下表面喷出加压气体，而使该基板P2在两个导气装置138上悬浮。另外，吸附垫144吸附保持基板P2的下表面。

之后，如图4的(c)所示，吸附垫144沿-X方向被驱动。由此，基板P2沿着由两个导气装置138的上表面及基板保持件68的上表面形成的引导面移动。

如图5的(a)所示，若在基板P2搬入至基板保持件68上之后，载体主体74吸附保持基板P2，则如图5的(b)所示，为了针对基板P2的曝光动作，基板载台装置20从基板交换位置朝向规定的曝光动作开始位置移动。

若基板载台装置20离开基板交换位置，则如图5的(b)所示，基板搬入装置130的导气装置138及吸附垫144被上升驱动。此时，吸附垫144被定位于吸附垫144的上表面能够吸附保持基板P1的下表面的高度(Z位置)。

之后，如图5的(c)所示，吸附保持基板P1的下表面的吸附垫144沿+X方向被驱动，由此，基板P1沿着由非接触支承装置152的下表面及两个导气装置138的上表面形成的引导面移动。即，基板搬入装置130能够搬出基板P1。由此，基板搬入装置130作为基板搬出装置发挥功能，进一步能够进行基板的搬入动作及搬出动作，因此可总称为基板搬送装置。

之后，基板P1通过未图示的外部搬送机器人的手部件被搬出至液晶曝光装置10(参照图1)的外部。

如以上详细说明的那样，根据本第一实施方式，液晶曝光装置10具备：基板保持件68，其支承基板P1的下表面；悬垂支承装置150(非接触支承装置152)，其从基板保持件68接收基板P1，并支承基板P1的上表面；以及X驱动机构43，其对基板保持件68向基板P2被搬入至基板保持件68的基板交换位置进行驱动。由此，在使完成曝光的基板P1在基板交换位置待机(接下来从预定曝光的基板P2的搬入路径退避)的状态下，进行基板P2的搬入动作，在进行该基板P2的向基板载台装置20的交接之后，将基板P1从上述待机位置搬出，因此例如与完成曝光的基板P1的搬出动作完成之后，开始基板P2的向基板载台装置20的搬入动作的情况相比，能够缩短基板交换所耗费的时间。

此外，在上述说明中，在基板载台装置20到达基板交换位置之后，基板保持件68减弱真空抽吸力，并对基板P1的下表面赋予悬浮力，但并不限于此。基板保持件68也可以在基板载台装置20到达基板交换位置之前(例如，在基板保持件68的+X侧端部到达非接触支承装置152的X轴方向的中央附近的情况下)，减弱真空抽吸力，并对基板P1的下表面赋予悬浮力。由此，能够在基板载台装置20到达基板交换位置之前，开始基板P1向非接触支承装置152的交接，而能够进一步缩短基板交换所耗费的时间。此外，基板保持件68减弱真空抽吸力，并对基板P1的下表面赋予悬浮力的时机能够在基板P1能够不与基准平板100等其他构成部件接触地被非接触支承装置152适当接收的范围内适当决定。

另外，根据本第一实施方式，基板保持件68以基板P1被非接触支承装置152支承的方式，对基板P1赋予悬浮力。由此，基板保持件68能够使用已具备的装置(加压气体供给装置)，使基板P1移动至非接触支承装置152可以支承基板P1的位置为止，因此能够简化基板载台装置20的结构。

另外，在本第一实施方式中，基板保持件68以基板P1的下表面与基板保持件68之间的距离扩大的方式，对基板P1赋予悬浮力。若基板P1的下表面从基板保持件68分离，则能够搬入新的基板P2，因此能够进一步缩短基板交换所耗费的时间。

另外，在本第一实施方式中，基板搬入装置130将基板P2搬入至基板保持件68与基板P1之间，以便基板P2被基板保持件68支承。由此，即使不搬出基板P1，也能够将基板P2搬入至基板保持件68，因此能够缩短基板交换所耗费的时间。

另外，在本第一实施方式中，基板保持件68对基板P1或基板P2赋予可悬浮支承基板P1或基板P2的力，基板搬入装置130将被悬浮支承的基板P2搬入至基板保持件68。由此，能够不损伤基板P1及P2地进行交换。

另外，在本第一实施方式中，基板搬入装置130将基板P1从非接触支承装置152搬出。由此，不需要另外设置基板搬出用的装置，能够简化液晶曝光装置10的结构。

另外，在本第一实施方式中，液晶曝光装置10具备基板载体70，基板载体70保持由基板搬入装置130搬入至基板保持件68并被基板保持件68悬浮支承的基板P2，并使基板P2相对于基板保持件68相对驱动。由此，能够高精度地对被悬浮支承的基板P2进行定位。

另外，在本第一实施方式中，非接触支承装置152支承被解除了基于基板载体70的保持的基板P1。由此，能够将基板P1从基板保持件68交接至非接触支承装置152。

另外，在本第一实施方式中，非接触支承装置152控制基板P1的上表面与非接触支承装置152之间的气体，并非接触支承基板P1的上表面。由此，能够不损伤完成曝光的基板P1的曝光面地支承基板P1。

(变形例1)

在第一实施方式的变形例1所涉及的液晶曝光装置10a中，基板搬入装置130a还具备供给加压气体(例如空气)的加压气体供给装置(未图示)。关于其他结构与第一实施方式所涉及的液晶曝光装置10相同，因此省略详细的说明。

参照图6的(a)及图6的(b)，对本变形例1中的基板交换动作进行说明。

在液晶曝光装置10a中，若基板载台装置20到达基板交换位置，则如图6的(a)所示，基板搬入装置130a对基板保持件68上的基板P1的+X侧端部下表面吹送加压气体AIR1，由此对基板P1的下表面赋予向上的力。即，基板搬入装置130a对基板P1的+X侧端部被交接至非接触支承装置152的操作进行辅助。由此，基板P1以从+X侧端部至-X侧端部的顺序被非接触支承装置152支承。

若基板P1的+X侧端部的下表面从基板保持件68的上表面分离，则如图6的(b)所示，基板搬入装置130将基板P2从+X侧朝向-X侧搬入至基板保持件68。基板保持件68从基板P1被交接至非接触支承装置152的部位起，减少加压气体的压力及/或流量，并且开始气体的抽吸，而非接触支承基板P2。由此，能够从基板P1被交接至非接触支承装置152的部位(从基板P1与基板保持件68分离的部位)起，逐渐将板P2搬入至基板保持件68。基板保持件68也可以从基板P1被交接至非接触支承装置152的部位起，减少加压气体的压力及/或流量，在基板P2整体被搬送至基板保持件68上之后，开始气体的抽吸，而非接触支承基板P2。

如以上详细地进行说明的那样，根据第一实施方式的变形例1，基板搬入装置130a将基板P2向支承有基板P1的一部分(在本变形例1中为-X侧端部)的基板保持件68搬入。由此，即使在基板P1的一部分被基板保持件68支承的状态下，也能够开始基板P2的向基板保持件68的搬入，因此能够进一步缩短基板交换所耗费的时间。

另外，在本变形例1中，基板搬入装置130a从在基板保持件68中支承基板P1的一端部(+X侧端部)的一侧向支承另一端部(-X侧端部)的一侧搬入基板P2。由此，即使在基板P1的另一端部被支承的状态下，也能够开始基板P2的搬入，因此能够进一步缩短基板交换所耗费的时间。

另外，在本变形例1中，基板搬入装置130a以一边将基板P2搬入至基板保持件68，一边基板P1被交接至非接触支承装置152的方式对基板P1的下表面(第一面)赋予力。由此，能够一边将基板P1交接至非接触支承装置152，一边将基板P2搬入至基板保持件68，因此能够进一步缩短基板交换所耗费的时间。

此外，在上述变形例1的基板搬入装置130a中，导气装置138也可以具备加压气体供给装置(未图示)，吹出对基板P1的下表面赋予力的加压气体。

另外，在上述变形例1中，基板搬入装置130a也可以从基板载台装置20到达基板交换位置之前，对基板P1的下表面吹送加压气体AIR1。

(变形例2)

在图7的(a)及图7的(b)中示出了上述第一实施方式的变形例2所涉及的液晶曝光装置10b的结构。变形例2的液晶曝光装置10b所具备的悬垂支承装置150a具备多个(例如四个)基板搬运装置158。关于其他结构与第一实施方式所涉及的液晶曝光装置10相同，因此省略详细的说明。

基板搬运装置158具备保持基板P1的下表面的一部分的保持部158a、和沿Y轴方向及Z轴方向使保持部158a驱动的驱动部件158b。驱动部件158b安装于基准平板100。保持部158a例如是与未图示的真空装置连接的吸附垫。

在变形例2的液晶曝光装置10b中，若基板载台装置20到达基板交换位置，则驱动部件158b沿-Z方向驱动保持部158a，并以保持部158a的上表面的Z位置比基板P1的下表面的Z位置略低的方式进行对位。此时，保持部158a的基板P1侧的端部的Y位置被调整成不触碰基板P1那样的位置。

之后，以保持部158a能够保持基板P1的下表面的方式，通过驱动部件158b沿Y轴方向驱动保持部158a之后，沿+Z方向驱动保持部158a，而由保持部158a保持基板P1的一部分。由此，基板P1的一部分由悬垂支承装置150a保持。之后，驱动部件158b以基板P1的另一部分被非接触支承装置152非接触支承的方式，沿+Z方向(朝向基板交换位置侧)进一步驱动保持部158a。由此，基板P1从基板保持件68分离，因此基板搬入装置130能够将基板P2搬入至基板保持件68上。

之后，基板P1的上表面通过非接触支承装置152被非接触保持。此时，保持部158a作为保持基板P1的下表面的落下防止部发挥功能，以使非接触支承装置152非接触支承的基板P1不落下。

此外，驱动部件158b也可以不仅沿Y轴方向及Z轴方向使保持部158a驱动，也可以沿X轴方向使保持部158a驱动。在基板载台装置20到达基板交换位置之前，驱动部件158b对保持部158a沿-Z方向进行驱动，以保持部158a的上表面的Z位置比基板P1的下表面的Z位置略低的方式进行对位，并对保持部158a向Y轴方向进行驱动，保持基板P1的一部分。之后，也可以一边以朝向基板交换位置的方式使基板保持件68向X轴方向驱动，一边对保持有基板P1的一部分的保持部158a向+Z方向且+X方向进行驱动。另外，也可以使保持部158a的长度具有与基板P1相同程度的长度，且不向+X方向驱动，而以使基板P1在保持部158a上滑动的方式进行驱动。由此，若基板保持件68到达基板交换位置，则变成在基板保持件68上没有基板的状态，因此能够搬入基板P2。由此，能够缩短基板交换所耗费的时间。

如以上详细地进行说明的那样，根据第一实施方式的变形例2，悬垂支承装置150a具有保持基板P1的一部分的保持部158a、和以基板P1的一部被悬垂支承装置150a保持的方式驱动保持部158a的驱动部件158b。进一步，驱动部件158b以基板P1的另一部分被悬垂支承装置150a(非接触支承装置152)支承的方式，对保持基板P1的一部分的保持部158a向基板交换位置侧进行驱动。由此，即使不在基板保持件68中增加从加压气体供给装置供给的加压气体的压力及流量来使基板P1悬浮较高，也能够使基板P1从基板保持件68分离，并使基板P1被非接触支承装置152支承。

另外，悬垂支承装置150a具备以使非接触支承的基板P1不落下的方式保持基板P1的下表面侧的保持部158a。由此，能够防止非接触支承装置152所非接触支承的基板P1落下，而损坏新的基板P2等的情况。

此外，在上述第一实施方式的变形例2中，保持部158a兼具落下防止部，但悬垂支承装置150a也可具备不同于保持部158a的以使非接触支承的基板P1不落下的方式保持基板P1的下表面侧的落下防止装置。

(变形例3)

在上述第一实施方式及其变形例1、2中，在安装有投影光学***16的基准平板100安装有悬垂支承装置，但悬垂支承装置也可以与基准平板100分离配置。

在图8中示意性地示出第一实施方式的变形例3所涉及的液晶曝光装置10c的结构。在变形例3所涉及的液晶曝光装置10c中，如图8所示，悬垂支承装置150b具备悬垂支承装置安装框151，并与安装有投影光学***16的基准平板100分离配置。由此，能够防止来自悬垂支承装置150b的振动传递至投影光学***16。关于其他结构，与第一实施方式所涉及的液晶曝光装置10相同，因此省略详细的说明。

《第二实施方式》

接下来，关于第二实施方式，使用图9的(a)～图9的(c)来进行说明。此外，在以下进行说明的第二实施方式中，对于与上述第一实施方式及其变形例相同结构的要素，标注与上述第一实施方式相同的附图标记并省略其说明。此外，在本第二实施方式中，基板载台装置20(基板保持件68)通过X驱动机构43被向基板交换位置驱动。

图9的(a)是示意性地表示第二实施方式所涉及的液晶曝光装置10d的结构的图。如图9的(a)所示，在第二实施方式中，悬垂支承装置150c与安装有投影光学***16的基准平板100分离地配置。悬垂支承装置150c具备用于使非接触支承装置152上下移动的驱动装置153。驱动装置153安装于悬垂支承装置安装框151。

接下来，参照图9的(b)及图9的(c)，对第二实施方式中的基板交换动作进行说明。

在第二实施方式所涉及的液晶曝光装置10d中，若保持完成曝光的基板P1的基板载台装置20被向基板交换位置驱动，则基于驱动装置153的非接触支承装置152的下降开始。此外，基板载台装置20被向基板交换位置驱动的时机与非接触支承装置152的下降开始的时机可以相同，也可以不同。只要直至基板载台装置20的+X侧端部到达基板交换位置的-X侧端部为止，非接触支承装置152下降至从基板保持件68接收基板P1的位置即可。

而且，例如，若基板P1的+X侧端部与基板交换位置的-X侧端部、或非接触支承装置152的-X侧端部重叠，则基板保持件68减弱真空抽吸力。由此，如图9的(b)所示，基板P1的+X侧端部被交接至已下降的非接触支承装置152并被支承。即，非接触支承装置152在基板保持件68正向基板交换位置移动的过程中，从基板保持件68接收基板P1。若基板P1的+X侧端部被非接触支承装置152支承，则通过驱动装置153而使非接触支承装置152开始上升，另一方面，基板保持件68继续向基板交换位置的移动。因此，在基板保持件68向基板交换位置驱动的方向，基板保持件68与非接触支承装置152之间的距离连续地变化。而且，伴随着基板载台装置20向基板交换位置移动，基板P1以从+X侧端部向-X侧端部的顺序被交接至非接触支承装置152并被支承。

通过上述的控制，当基板载台装置20到达基板交换位置(悬垂支承装置150c的下方)时，如图9的(c)所示，基板P1已从基板载台装置20退避。由此，能够立即将新的基板P2搬入至基板保持件68，而能够进一步缩短基板交换所耗费的时间。

如以上详细地进行说明的那样，根据第二实施方式，液晶曝光装置10d具备：基板保持件68，其支承基板P1的下表面；悬垂支承装置150c(非接触支承装置152)，其从基板保持件68接收基板P1，并支承基板P1的上表面；以及X驱动机构43，其对将基板P1交接到了非接触支承装置152的基板保持件68向基板P2被搬入至基板保持件68的基板交换位置进行驱动。由此，能够使基板保持件68上的基板P1退避至非接触支承装置152，而在基板交换位置上将新的基板P2搬入至基板保持件68，因此与排出基板P1后搬入新的基板P2的情况相比，能够缩短基板交换的周期时间。

另外，在本第二实施方式中，非接触支承装置152在通过X驱动机构43将基板保持件68向基板交换位置驱动过程中，从基板保持件68接收基板P1。由此，能够直至基板保持件68到达基板交换位置(悬垂支承装置150c的下方)为止，使基板P1向非接触支承装置152退避，在基板保持件68到达基板交换位置之后，立即将新的基板P2搬入至基板保持件68。因此，能够进一步缩短基板交换所耗费的时间。

另外，在本第二实施方式中，非接触支承装置152以从位于基板交换位置侧的基板P1的一端部(在本第二实施方式中为+X侧端部)向另一端部(-X侧端部)的顺序支承基板P1。由此，非接触支承装置152能够与基板保持件68向基板交换位置的移动连动地顺畅地接收基板P1。

另外，在本第二实施方式中，悬垂支承装置150c具备驱动装置153，驱动装置153以在从板保持件68向非接触支承装置152交接基板P1的方向(Z轴方向)，基板保持件68与非接触支承装置152的相对距离变短的方式，对非接触支承装置152进行驱动。由此，能够稳定地将基板P1从基板保持件68交接至非接触支承装置152。

进一步，在本第二实施方式中，在基板保持件68向基板交换位置驱动的方向，基板保持件68与非接触支承装置152之间的距离连续地变化。由此，能够直至基板保持件68到达基板交换位置(悬垂支承装置150c的下方)为止，如图9的(c)所示，使基板P1从基板保持件68退避。由此，能够立即将新的基板P2搬入至基板保持件68，而能够进一步缩短基板交换所耗费的时间。

此外，在上述第二实施方式中，以基板保持件68与非接触支承装置152的相对距离变短的方式，通过驱动装置153使非接触支承装置152下降，但并不限于此。例如，也可以以基板保持件68与非接触支承装置152的相对距离变短的方式，通过驱动装置使基板保持件68上升。另外，也可以通过驱动装置153使非接触支承装置152下降，并且通过驱动装置使基板保持件68上升。

另外，在上述第二实施方式中，也可以在基板载台装置20到达基板交换位置之后，使非接触支承装置152下降，并将基板P1从基板保持件68交接至非接触支承装置152。

另外，在上述第二实施方式中，也可以将驱动装置153安装于基准平板100。

另外，也可以在将基板P2搬入至基板保持件68上之后，为了基板载台装置20朝向曝光开始位置而向-X方向进行驱动之后，以变成与导气装置138大致相同的高度的方式，通过驱动装置153将被非接触支承装置152支承的基板P1向-Z方向进行驱动。其结果为，能够不对基板移动装置136与导气装置138向+Z方向进行驱动，而搬出被非接触支承装置152支承的基板P1。

《第三实施方式》

图10的(a)是示意性地表示第三实施方式所涉及的液晶曝光装置10e的结构的图。如图10的(a)所示，在第三实施方式所涉及的悬垂支承装置150d中，非接触支承装置152a的+X侧端部下表面的Z位置变得比-X侧端部下表面的Z位置低。另外，在非接触支承装置152a的+X侧的端部安装有基板止动装置154。进一步，在本第三实施方式中，基板搬入装置130b具备使导气装置138的-X侧的端部上下移动的驱动装置145。驱动装置145例如为气缸。

参照图10的(b)～图11的(b)对第三实施方式所涉及的液晶曝光装置10e中的基板交换动作进行说明。

在第三实施方式所涉及的液晶曝光装置10e中，如图10的(b)所示，若非接触支承装置152a支承完成曝光的基板P1，则通过基板搬入装置130b将新的基板P2搬入至基板保持件68上。此时，被非接触支承装置152a支承的完成曝光的基板P1通过重力的作用而始终朝+X侧移动，并与基板止动装置154接触。因此，能够省略-X侧的基板止动装置。

若将新的基板P2搬入至基板保持件68上，则如图11的(a)所示，吸附垫144向+X方向移动。而且，基板搬入装置130b通过驱动装置145使导气装置138的-X侧的端部上升。

之后，如图11的(b)所示，若打开基板止动装置154，则基板P1通过基板P1的自重与重力而被向+X方向搬出。此外，此时，可以一边利用吸附垫144保持基板P1一边使基板P1移动，也可以不使用吸附垫144。

如以上详细进行说明的那样，根据第三实施方式，由非接触支承装置152a支承的基板P1通过基板P1的自重与重力被从非接触支承装置152a搬出。由此，能够简化用于将基板P1从非接触支承装置152a搬出的机构。

此外，在上述第三实施方式中，也可以将非接触支承装置152a安装于基准平板100。

此外，也可以在将新的基板P2向基板保持件68上搬入时，对驱动装置145向-Z方向进行驱动，由此使导气装置138倾斜。其结果为，能够利用重力而容易地进行基板P2向基板保持件68上的搬入。

《第四实施方式》

图12是示意性地表示第四实施方式所涉及的液晶曝光装置10f的结构的图。第四实施方式变更非接触支承装置的形状。在第四实施方式所涉及的悬垂支承装置150e中，如图12所示，非接触支承装置152b呈沿Y轴方向弯曲的半圆柱形，Y轴方向中央部变得最低(在-Z轴方向上最突出)。因此，被非接触支承装置152b支承的基板P1如用箭头所示那样始终欲靠近Y轴方向中央，因此能够省略Y轴方向的基板止动装置。此外，在该情况下，需要X轴方向的基板止动装置。

(变形例1)

图13的(a)是示意性地表示第四实施方式的变形例1所涉及的液晶曝光装置10g的结构的图。在变形例1所涉及的液晶曝光装置10g中，悬垂支承装置150f具备在X轴方向引导非接触支承装置152c的引导机构159。进而，非接触支承装置152c的形状变成不仅在Y轴方向弯曲，在X轴方向也弯曲的曲率大的球体的一部分。

使用图13的(a)及图13的(b)对该变形例1所涉及的液晶曝光装置10g中的基板交换动作进行说明。

若非接触支承装置152c支承完成曝光的基板P1，则通过基板搬入装置130将新的基板P2搬入至基板保持件68上。此时，如图13的(a)及图13的(b)中用箭头所示那样，被非接触支承装置152c支承的基板P1始终欲靠近中央部，因此能够省略X轴方向及Y轴方向的基板止动装置。

若非接触支承装置152c支承完成曝光的基板P1，则如图13的(b)所示，基板搬入装置130进行基板P2向基板保持件68的搬入。此时，非接触支承装置152c通过引导机构159向基板搬入装置130的上方移动。

如以上详细地说明的那样，根据第四实施方式的变形例1，非接触支承装置152c在支承基板P1的上表面的状态下搬出基板P1。由此，能够在基板搬入装置130中省略用于从非接触支承装置152c搬出基板P1的机构。

此外，在上述第四实施方式的变形例1中，也可以使用第一及第二实施方式所涉及的非接触支承装置152来代替非接触支承装置152c。即，非接触支承装置的下表面也可以为平面。

此外，在上述第一～第四实施方式及其变形例中，基板P1及基板P2的尺寸越大(例如500mm以上)，则缩短基板交换所耗费的时间的效果变得更显著。

此外，也可以将上述第一～第四实施方式及其变形例适当组合。例如，也可以将第二实施方式与第一实施方式的变形例2组合，以第二实施方式所涉及的悬垂支承装置150b具备基板搬运装置158的方式构成。该情况下，基板搬运装置158的驱动部件158b只要安装于悬垂支承装置安装框151即可。

另外，例如，也可以将第一实施方式与第三实施方式组合，以+X侧端部的Z位置变得比-Z侧端部的Z位置低的方式使第一实施方式的非接触支承装置152倾斜。另外，也可以将第一实施方式与第四实施方式或第四实施方式的变形例1组合，将第一实施方式的非接触支承装置152的形状设为在Y轴方向弯曲的半圆柱形，也可以设为不仅在Y轴方向弯曲，在X轴方向也弯曲的曲率大的球体的一部分。另外，也能够将引导机构159安装于基准平板100，在第一实施方式的非接触支承装置152支承基板P2的状态下搬出基板P2。

此外，在上述第一～第四实施方式及其变形例中，以液晶曝光装置为例进行了说明，但并不限于此。也可以将第一～第四实施方式及其变形例应用于检测基板P的表面的检查装置。

另外，上述第一～第四实施方式及其变形例所涉及的液晶曝光装置将液晶显示装置所使用的玻璃基板作为曝光对象物，但并不限于此。液晶曝光装置10也能够将半导体元件等所使用的晶圆等作为曝光对象物。

另外，上述第一～第四实施方式及其变形例所涉及的液晶曝光装置具备一个基板载台装置，但也能够将第一～第四实施方式及其变形例的结构应用于具备多个基板载台装置的曝光装置。

另外，在上述第一～第四实施方式及其变形例中，基板载体70所具备的载体主体74形成为俯视时为U字形(参照图2)，但并不限于此。载体主体74只要能够在其上表面吸附保持基板，则也可以形成为俯视时为矩形的框状，也可形成为俯视时为三角形的框状。另外，载体主体74例如也可以包含在X轴方向或Y轴方向上夹持基板保持件68而设置的一对截面为矩形的部件，也可以由一根棒状的部件构成，并在X轴方向或Y轴方向上仅吸附保持基板P的一端部附近。另外，基板载体70例如也能够为与美国专利第8，699，001号说明书等公开的基板载体同样的结构，也可以为具有吸附基板的端部的吸附部与安装有上述吸附部的主体部的结构。吸附部的数量不限。另外，吸附部也可以设置成相对于主体部能够在X方向、Y方向、Z方向相对驱动。

《元件制造方法》

接下来，对在光刻工序中使用了上述各实施方式所涉及的液晶曝光装置10、10a～10g的微型元件的制造方法进行说明。在上述实施方式的液晶曝光装置10、10a～10g中，在板(玻璃基板)上形成规定的图案(电路图案、电极图案等)，由此能够得到作为微型元件的液晶显示元件。

〈图案形成工序〉

首先，使用上述的各实施方式所涉及的曝光装置，执行将图案像形成于感光性基板(涂布有光刻胶的玻璃基板等)的所谓的光刻工序。通过该光刻工序，在感光性基板上形成包含许多电极等的规定图案。之后，被曝光的基板经过显影工序、蚀刻工序、光刻胶剥离工序等各工序，由此在基板上形成规定的图案。

〈彩色滤光片形成工序〉

接下来，形成呈矩阵状排列有多个对应于R(Red)、G(Green)、B(Blue)的三个点的组合的彩色滤光片，或形成在水平扫描线方向上排列有多个R、G、B的三根条纹的滤光片的组合的彩色滤光片。

〈单元(cell)组装工序〉

接下来，使用在图案形成工序中得到的具有规定图案的基板及在彩色滤光片形成工序中得到的彩色滤光片等来组装液晶面板(液晶单元)。例如，将液晶注入至在图案形成工序中得到的具有规定图案的基板与在彩色滤光片形成工序中得到的彩色滤光片之间，而制造液晶面板(液晶单元)。

〈模块组装工序〉

之后，安装使组装后的液晶面板(液晶单元)的显示动作进行的电路、背光源等各部件而作为液晶显示元件来完成。

该情况下，在图案形成工序中，使用上述各实施方式所涉及的液晶曝光装置以高产能且高精度进行板的曝光，结果为，能够提高液晶显示元件的生产率。

此外，援引在目前为止的说明中引用的所有的公报、国际公开公报、美国专利申请公开说明书及美国专利说明书的公开来作为本说明书的记载的一部分。

上述的实施方式为本发明的适当的实施例。但是，并不限定于此，在不脱离本发明的主旨的范围内能够实施各种变形。

附图标记说明

10、10a～10g…液晶曝光装置；43…X驱动机构；68…基板保持件；70…基板载体；130、130a、130b…基板搬入装置；150、150a～150f…悬垂支承装置；152、152a～152c…非接触支承装置；153…驱动装置；158a…保持部；158b…驱动部件；P、P1、P2…基板。

Claims (46)

1.一种物体交换装置，其中，具备：

第一支承部，其支承物体的第一面；

第二支承部，其从所述第一支承部接收所述物体，并支承所述物体的与所述第一面不同的第二面；

驱动部，其对将所述物体交接到了所述第二支承部的所述第一支承部，向供与所述物体不同的其他物体被搬入至所述第一支承部的物体交换位置进行驱动；以及

搬入装置，其将所述其他物体沿着与所述第一面对置的所述第一支承部上的载置面搬入至所述第一支承部，

所述第二支承部支承所述物体的另一部分，

所述搬入装置将所述其他物体向支承被所述第二支承部支承了另一部分的所述物体的一部分的所述第一支承部搬入。

2.根据权利要求1所述的物体交换装置，其中，

所述第二支承部在通过所述驱动部对所述第一支承部向所述物体交换位置驱动过程中，从所述第一支承部接收所述物体。

3.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

所述第二支承部以从位于所述物体交换位置侧的所述物体的一端部侧向另一端部侧的顺序支承所述物体。

4.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

所述第二支承部具有：保持部，其保持所述物体的一部分；和驱动部件，其以所述物体的一部分被所述第二支承部支承的方式驱动所述保持部。

5.根据权利要求4所述的物体交换装置，其中，

所述驱动部件以所述物体的另一部分被所述第二支承部支承的方式，对保持所述物体的一部分的所述保持部向所述物体交换位置侧进行驱动。

6.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

所述第一支承部以所述物体被所述第二支承部支承的方式，对所述第一面赋予悬浮力。

7.根据权利要求6所述的物体交换装置，其中，

所述第一支承部以所述第一面与所述第一支承部之间的距离扩大的方式，对所述物体赋予所述悬浮力。

8.根据权利要求1所述的物体交换装置，其中，

所述搬入装置将所述其他物体以被所述第一支承部支承的方式搬入至所述第一支承部与所述物体之间。

9.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

所述搬入装置以一边将所述其他物体搬入至所述第一支承部，一边所述物体被交接至所述第二支承部的方式对所述第一面赋予力。

10.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

所述搬入装置从在所述第一支承部中支承所述物体的一端部的一侧向支承另一端部的一侧搬入所述其他物体。

11.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

所述第一支承部赋予能够悬浮支承所述物体或所述其他物体的力，

所述搬入装置将被悬浮支承的所述其他物体搬入至所述第一支承部。

12.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

将所述其他物体搬入到了所述第一支承部的所述搬入装置将所述物体从所述第二支承部搬出。

13.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

还具备保持装置，所述保持装置保持通过所述搬入装置搬入至所述第一支承部且被所述第一支承部悬浮支承的所述其他物体，并使所述其他物体相对于所述第一支承部相对驱动。

14.根据权利要求13所述的物体交换装置，其中，

所述第二支承部支承被解除了基于所述保持装置的保持的所述物体。

15.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

被所述第二支承部支承的所述物体通过所述物体的自重与重力而被从所述第二支承部搬出。

16.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

所述第二支承部在支承所述第二面的状态下搬出所述物体。

17.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

所述第二支承部控制所述第二面与所述第二支承部之间的气体，非接触支承所述物体的所述第二面。

18.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

在所述第一支承部向所述物体交换位置驱动的方向上，所述第一支承部与所述第二支承部之间的距离连续地变化。

19.根据权利要求17所述的物体交换装置，其中，

所述第二支承部具有落下防止部，所述落下防止部以使所述非接触支承的所述物体不落下的方式保持所述第一面侧。

20.根据权利要求1或2所述的物体交换装置，其中，

还具备驱动装置，所述驱动装置以在将所述物体从所述第一支承部向所述第二支承部交接的方向上，所述第一支承部与所述第二支承部的相对距离变短的方式，对所述第一支承部和所述第二支承部中的任一个支承部进行驱动。

21.一种物体处理装置，其中，具备：

权利要求1～20中的任一项所述的物体交换装置；和

处理部，其在与所述物体交换位置不同的处理位置，对所述第一支承部上的所述物体或所述其他物体的所述第二面进行规定处理。

22.根据权利要求21所述的物体处理装置，其中，

所述驱动部对支承进行了所述规定处理的所述物体的所述第一支承部，从所述处理位置向所述物体交换位置进行驱动。

23.根据权利要求21所述的物体处理装置，其中，

所述处理部是使用能量射束来对所述物体的所述第二面进行扫描曝光，将规定图案形成在所述第二面上的图案形成装置。

24.根据权利要求23所述的物体处理装置，其中，

所述驱动部在所述扫描曝光中对所述第一支承部上的所述物体进行驱动。

25.根据权利要求23所述的物体处理装置，其中，

所述驱动部在所述扫描曝光中对所述第一支承部上的被搬入的所述其他物体进行驱动。

26.一种物体处理装置，其中，具备：

权利要求13所述的物体交换装置；和

处理部，其在与所述物体交换位置不同的处理位置，使用能量射束来对保持于所述保持装置的所述物体或所述其他物体的所述第二面进行扫描曝光，将规定图案形成在所述第二面上，

所述保持装置在所述扫描曝光中相对于所述第一支承部被相对驱动。

27.根据权利要求21所述的物体处理装置，其中，

所述处理部是对所述物体的第二面进行检查的检查装置。

28.根据权利要求21所述的物体处理装置，其中，

所述物体及所述其他物体是显示器装置的显示面板所使用的基板。

29.根据权利要求28所述的物体处理装置，其中，

所述物体及所述其他物体是尺寸为500mm以上的基板。

30.一种平板显示器的制造方法，其中，包括：

使用权利要求28所述的物体处理装置来对所述物体进行曝光的步骤；和

对已曝光的所述物体进行显影的步骤。

31.一种元件制造方法，其中，包括：

使用权利要求28所述的物体处理装置来对所述物体进行曝光的步骤；和

对已曝光的所述物体进行显影的步骤。

32.一种物体交换方法，其中，包括：

接收通过第一支承部支承了第一面的物体，并通过第二支承部支承所述物体的与所述第一面不同的第二面的步骤；

对将所述物体交接到了所述第二支承部的所述第一支承部，向供与所述物体不同的其他物体被搬入至所述第一支承部的物体交换位置进行驱动的步骤；以及

通过搬入装置将所述其他物体沿着与所述第一面对置的所述第一支承部上的载置面搬入至所述第一支承部的步骤，

在进行所述支承时，所述第二支承部支承所述物体的另一部分，

在进行所述搬入时，将所述其他物体向支承被所述第二支承部支承了另一部分的所述物体的一部分的所述第一支承部搬入。

33.根据权利要求32所述的物体交换方法，其中，

在进行所述支承时，在所述第一支承部向所述物体交换位置驱动过程中，从所述第一支承部接收所述物体。

34.根据权利要求32或33所述的物体交换方法，其中，

在进行所述支承时，以从位于所述物体交换位置侧的所述物体的一端部侧向另一端部侧的顺序支承所述物体。

35.根据权利要求32或33所述的物体交换方法，其中，

还包括以保持于保持部的所述物体的一部分被所述第二支承部支承的方式驱动所述保持部。

36.根据权利要求35所述的物体交换方法，其中，

在进行所述驱动时，以所述物体的另一部分被所述第二支承部支承的方式，对所述保持部向所述物体交换位置侧进行驱动。

37.根据权利要求32或33所述的物体交换方法，其中，

还包括以所述第一支承部上的所述物体被所述第二支承部支承的方式，对所述第一面赋予悬浮力的步骤。

38.根据权利要求37所述的物体交换方法，其中，

在进行所述赋予时，以所述第一面与所述第一支承部之间的距离扩大的方式，对所述物体赋予所述悬浮力。

39.根据权利要求34所述的物体交换方法，其中，

在进行所述搬入时，将所述其他物体以被所述第一支承部支承的方式，搬入至所述第一支承部与所述物体之间。

40.根据权利要求32或33所述的物体交换方法，其中，

在进行所述搬入时，以一边将所述其他物体搬入至所述第一支承部，一边所述物体被交接至所述第二支承部的方式对所述第一面赋予力。

41.根据权利要求32或33所述的物体交换方法，其中，

还包括通过保持装置保持由所述搬入装置搬入至所述第一支承部并被所述第一支承部悬浮支承的所述其他物体，并使所述其他物体相对于所述第一支承部相对驱动的步骤。

42.根据权利要求32或33所述的物体交换方法，其中，

在进行所述支承时，控制所述第二面与所述第二支承部之间的气体，非接触支承所述物体的所述第二面。

43.一种物体处理方法，其中，包括：

权利要求32～42中的任一项所述的物体交换方法；和

在与所述物体交换位置不同的处理位置，对所述第一支承部上的所述物体或所述其他物体的所述第二面进行规定处理的步骤。

44.根据权利要求43所述的物体处理方法，其中，

在进行所述驱动时，对支承进行了所述规定处理的所述物体的所述第一支承部，从所述处理位置向所述物体交换位置进行驱动。

45.根据权利要求43所述的物体处理方法，其中，

在进行所述规定处理时，使用能量射束来对所述物体的所述第二面进行扫描曝光，将规定图案形成在所述第二面上。

46.一种物体处理方法，其中，包括：

权利要求41所述的物体交换方法；和

在与所述物体交换位置不同的处理位置，使用能量射束来对保持于所述保持装置的所述物体或所述其他物体的所述第二面进行扫描曝光，将规定图案形成在所述第二面上的步骤，

在进行所述相对驱动时，在所述扫描曝光中，相对于所述第一支承部对所述其他物体进行相对驱动。

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