CN110402333A

CN110402333A - 流体设备

Info

Publication number: CN110402333A
Application number: CN201880015834.6A
Authority: CN
Inventors: 有川达浩
Original assignee: Itakugakari
Current assignee: Itakugakari; Eagle Industry Co Ltd
Priority date: 2017-03-21
Filing date: 2018-03-13
Publication date: 2019-11-01
Anticipated expiration: 2038-03-13
Also published as: JPWO2018173845A1; EP3604822A1; EP3604822B1; JP6931386B2; CN110402333B; WO2018173845A1; US11035387B2; EP3604822A4; US20200011384A1

Abstract

提供能够提高移动部件在容器内的动作性的流体设备。该流体设备(1)具有：容器(2)，其能够收纳流体；第一流体出入路(24)，其设置于该容器(2)，能够供第一流体(F1)出入；第二流体出入路(26)，其设置于容器(2)，能够供第二流体(F2)出入；以及移动部件(3)，其受到第一流体(F1)的压力而能够在容器(2)内移动，该流体设备(1)从第一流体(F1)向第二流体(F2)进行能量传递，该流体设备(1)具有能够伸缩的第一波纹管(4)，该第一波纹管(4)的一端(4b)被移动部件(3)封闭成密闭状态，另一端(4a)以密闭状态固定在容器(2)内，内部(40)与第一流体出入路(24)连通。

Description

流体设备

技术领域

本发明涉及例如应用于车辆、建筑机械、工业机械等机械并传递工作流体的能量的液压缸等流体设备。

背景技术

在车辆、建筑机械、工业机械等机械中，使用组装了利用工作流体的压力来进行能量的传递(动力的传动)的液压缸(流体设备)的流体压力回路来简化动力的传递***。液压缸通过第一工作流体使缸内的活塞(移动部件)移动，从而经由活塞使压力作用于与第一工作流体相反的一侧的液压室的第二工作流体，进行动力的传递。

专利文献1所公开的流体压力缸(流体设备)主要由圆筒状的缸管(容器)、设置于该缸管的内部的活塞(移动部件)、与该活塞连结的杆以及将杆支承为能够相对于缸管滑动的缸盖构成。在活塞的外周形成有收纳槽，通过在该收纳槽中安装与缸管的内周滑动接触的一个密封圈和夹持该密封圈的两个备用磨损环，缸管的内部呈大致密闭状地被分隔成杆侧的流体压力室和端侧的流体压力室。由此，流体压力缸在缸管的内部从流体压力回路经由端口将工作流体分别导入到被活塞分隔的各流体压力室来使活塞进行往复移动，由此借助活塞对第一工作流体或第二工作流体作用压力，进行动力的传递，从而能够使杆相对于缸管进行伸缩工作。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-197908号公报(第四页，第二图)

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1中，在从流体压力回路经由端口将工作流体导入到各流体压力室来使活塞进行往复移动时，会在缸管的内周与密封圈和备用磨损环之间产生由滑动引起的摩擦，因此活塞的动作性存在改善的余地。

本发明是着眼于这样的问题点而完成的，其目的在于提供能够提高移动部件在容器内的动作性的流体设备。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的流体设备具有：容器，其能够收纳流体；第一流体出入路，其设置于该容器，能够供第一流体出入；第二流体出入路，其设置于所述容器，能够供第二流体出入；以及移动部件，其受到所述第一流体的压力而能够在所述容器内移动，该流体设备从所述第一流体向所述第二流体进行能量传递，该流体设备的特征在于，

该流体设备具有能够伸缩的第一波纹管，该第一波纹管的一端被所述移动部件封闭成密闭状态，另一端以密闭状态固定在所述容器内，该第一波纹管的内部与所述第一流体出入路连通。

根据该特征，通过将一端被移动部件封闭的第一波纹管将另一端以密闭状态固定在容器内，能够将容器内相对于第一流体出入路出入的第一流体和相对于第二流体出入路出入的第二流体在第一波纹管的内外以密闭状态分隔开，因此能够防止在容器内混入第一流体和第二流体，并且能够减小由容器与移动部件之间的滑动引起的摩擦，从而提高移动部件在容器内的动作性。

所述流体设备的特征在于，

所述第一流体和所述第二流体是非压缩性流体。

根据该特征，通过在容器内在第一波纹管的外部出入非压缩性的第二流体，能够获得利用了随着移动部件的移动而在容器与移动部件之间移动的非压缩性的第二流体的流体阻力的阻尼效果，因此能够使移动部件在容器内的移动稳定。

所述流体设备的特征在于，

该流体设备具有能够伸缩的第二波纹管，该第二波纹管的直径比所述第一波纹管的直径小，该第二波纹管的一端被所述移动部件封闭，另一端以密闭状态固定在所述容器内，在该第二波纹管的内部密封有压缩性流体。

根据该特征，通过第二波纹管构成为其直径比第一波纹管的直径小，简单地获得如下构造：第一波纹管的外部和第二波纹管的外部位于伸缩方向上，使第二流体移动到第一波纹管的外部。

所述流体设备的特征在于，

所述第二波纹管固定于所述移动部件的中央。

根据该特征，通过第二波纹管固定于移动部件的中央，能够抑制移动部件的倾斜，从而将移动部件更加稳定地支承在容器内。

所述流体设备的特征在于，

所述移动部件具有与所述容器的内周抵接的引导部。

根据该特征，能够通过引导部来防止移动部件的倾斜并且沿着容器的内周引导移动部件的移动，因此能够提高移动部件在移动时的直进性。

所述流体设备的特征在于，

在所述引导部的比所述第一波纹管靠外侧的位置设置有沿厚度方向贯通的连通路。

根据该特征，通过随着移动部件的移动而经由沿引导部的厚度方向贯通的连通路使第二流体移动，能够减小第二流体的流体阻力从而提高移动部件的动作性。

所述流体设备的特征在于，

所述移动部件配置于所述第一波纹管的内部。

根据该特征，由于能够在第一波纹管和第二波纹管的一部分在伸缩方向上重叠的状态下支承移动部件，因此不用缩短第一波纹管和第二波纹管的伸缩长度，就能够紧凑地构成容器。

所述流体设备的特征在于，

所述第一流体和所述第二流体是不同的流体。

根据该特征，由于能够防止在容器内混入第一流体和第二流体，该第一流体和第二流体是不同的流体，因此能够将流体设备应用于使用不同的流体的流体压力回路之间。

附图说明

图1是示出应用了实施例1的液压缸的液压装置的局部剖视示意图。

图2是示出实施例1的液压缸中的不驱动负载W的非驱动状态的剖视图。

图3是示出实施例1的液压缸中的驱动负载W的驱动状态的剖视图。

图4是示出实施例2的液压缸中的不驱动负载W的非驱动状态的剖视图。

图5示出实施例2的液压缸中的驱动负载W的驱动状态的剖视图。

图6是示出实施例3的液压缸中的不驱动负载W的非驱动状态的剖视图。

图7是示出液压缸的变形例的剖视图。

具体实施方式

根据实施例对用于实施本发明的流体设备的方式进行以下说明。

实施例1

参照图1至图3对实施例1的流体设备进行说明。

如图1所示，本实施例的液压缸1(流体设备)例如组装到建筑机械的液压装置H中，经由作为设置于后述的油口部件22的贯通孔的第一流体出入路24与构成液压回路C1的压力配管11连接，并且经由作为设置于后述的罩部件23的贯通孔的第二流体出入路26与构成液压回路C2的压力配管12连接。液压泵14对液压回路C1的液压贮存器13中储存的工作油F1(第一流体、非压缩性流体)进行升压来驱动未图示的行驶用的液压马达等。另外，液压缸1利用工作油F1进行工作，在液压回路C2中与驱动杆等负载W的工作油F2(第二流体，非压缩性流体)之间进行能量的传递。

首先，对液压缸1的构造进行详细地说明。如图2所示，液压缸1主要由金属制的缸容器2(容器)、受到上述的工作油F1、F2的压力而能够在缸容器2内移动的移动部件3、将该移动部件3支承在缸容器2内的能够伸缩的第一波纹管4和第二波纹管5构成。另外，图2所示的液压缸1处于在液压回路C2中不驱动负载W的非驱动状态。另外，关于利用了液压缸1中的工作油F1、F2间的能量传递的负载W的驱动的详细内容在后面进行说明。

缸容器2主要由两端开放的圆筒状的外壳21、以封闭外壳21的一端(液压回路C1侧，参照图1)的方式被焊接固定的油口部件22、以封闭外壳21的另一端(液压回路C2侧，参照图1)的方式被焊接固定的罩部件23构成。

油口部件22在径向大致中央设置有第一流体出入路24，该第一流体出入路24是用于使工作油F1从构成液压回路C1的压力配管11(参照图1)相对于设定在第一波纹管4的内侧的第一液室40流出和流入的贯通孔，呈大致杯形状的金属制的支承件25以倒立状态焊接固定在油口部件22的半径方向的大致一半的位置。

另外，在支承件25的底板25a的径向大致中央形成有沿厚度方向贯通的连通孔25b，油口部件22的第一流体出入路24与设置于第一波纹管4的内侧的第一液室40经由该连通孔25b而连通。

罩部件23在径向大致中央设置有用于向设置在后述的第二波纹管5的内侧的气室60注入氮气等气体(压缩性流体)的气体封入口27。在气体注入之后，气体封入口27被气体塞28封闭。

另外，在罩部件23外径侧设置有第二流体出入路26，该第二流体出入路26是用于使工作油F2从构成液压回路C2(参照图1)的压力配管12相对于设定在第二波纹管5的外侧的第二液室50流出和流入的贯通孔。

移动部件3是通过在金属制的圆盘的外周部外嵌呈环状的树脂制的引导部件31(引导部)而构成的。在引导部件31的比第一波纹管4靠外侧的位置设置有沿厚度方向呈槽状形成的在周向上12等分的连通路31b，相对于后述的第二液室50流出和流入的工作油F2能够经由连通路31b而在缸容器2内移动。另外，连通路31b的配置和数量也可以为12等分以外的情况。

另外，移动部件3构成为其直径为与构成缸容器2的外壳21的内径大致相同的尺寸。因此，在移动部件3在轴向上移动时，引导部件31的外周面31a相对于外壳21的内壁面21a滑动，由此能够防止移动部件3的倾斜，并且移动部件3沿着外壳21的内壁面21a被顺畅地引导移动。另外，引导部件31的原材料除了摩擦系数低且耐磨损性优异的树脂以外也可以是金属。另外，引导部件31也可以仅外周面31a由摩擦系数低的原材料构成。

在构成移动部件3的油口部件22侧的第一面部3a焊接固定有金属制的圆板被冲压加工成截面曲柄形状而得的环状的密封保持架32，在移动部件3的第一面部3a与密封保持架32之间保持有呈圆盘状的密封部件33。另外，在构成移动部件3的罩部件23侧的第二面部3b形成有径向大致中央朝向罩部件23侧呈圆形突出的突出面部3c。

第一波纹管4是两端开放的呈大致圆筒状的能够伸缩的金属波纹管，以封闭固定端4a(另一端)的方式焊接固定在油口部件22的内表面，并且以封闭自由端4b(一端)的方式焊接固定在移动部件3的第一面部3a的外径侧。另外，第一波纹管4被构成移动部件3的引导部件31保持为：将自由端4b夹持在引导部件31与移动部件3的第一面部3a之间的状态。

第二波纹管5是两端开放的呈大致圆筒状的能够伸缩的金属波纹管，以封闭固定端5a(另一端)的方式焊接固定在罩部件23的内表面，并且以封闭构成上端的自由端5b(一端)的方式焊接固定在形成于移动部件3的第二面部3b的突出面部3c。另外，第二波纹管5构成为其直径比第一波纹管4的直径小。并且，第一波纹管4和第二波纹管5夹着移动部件3而沿伸缩方向串联且同心地配置在缸容器2的中心轴线A(参照图2)上。

缸容器2的内部空间为如下构造：以密闭状态分别分隔成设定在第一波纹管4的内侧且与油口部件22的第一流体出入路24连通的第一液室40、设定在第一波纹管4和第二波纹管5的外侧且与罩部件23的第二流体出入路26连通的第二液室50、以及设定在第二波纹管5的内侧的气室60。

由第一波纹管4的内周面4c、油口部件22的内表面以及移动部件3的第一面部3a(密封保持架32、密封部件33)划分出第一液室40，工作油F1能够从构成液压回路C1的压力配管11(参照图1)经由第一流体出入路24而流出和流入。

由第二波纹管5的外周面5d、外壳21的内壁面21a、罩部件23的内表面、移动部件3的第二面部3b以及引导部件31划分出第二液室50，工作油F2能够从构成液压回路C2的压力配管12经由第二流体出入路26而流出和流入。另外，如上所述，由于在构成移动部件3的引导部件31的外径侧设置有连通路31b，因此经由第二流体出入路26相对于第二液室50流出和流入的工作油F2能够在缸容器2内经由连通路31b相对于第一波纹管4的外侧(第一波纹管4的外周面4d与外壳21的内壁面21a之间)移动。

由第二波纹管5的内周面5c、罩部件23的内表面以及移动部件3的第二面部3b的突出面部3c划分出气室60，该气室60封入有气体。

接着，对液压缸1中的工作油F1、F2间的能量传递进行详细地说明。另外，对在液压回路C2中负载W连接有通过工作油F2而工作的未图示的负载缸从而负载W被该负载缸驱动的例子进行说明。

在液压缸1中，通过液压泵14使液压回路C1的工作油F1升压，从而工作油F1从构成液压回路C1的压力配管11经由油口部件22的第一流体出入路24流入到第一液室40(参照图3的箭头)，移动部件3受到流入到第一液室40的工作油F1的压力而向罩部件23侧移动，从而引起第一波纹管4的伸长和第二波纹管5的收缩。此时，随着移动部件3向罩部件23侧的移动，工作油F2从第二液室50经由引导部件31的连通路31b而向第一波纹管4的外侧(第一波纹管4的外周面4d与外壳21的内壁面21a之间)移动(参照图3的箭头)。

另外，液压缸1通过移动部件3向罩部件23侧的移动和第二波纹管5的收缩而减少设定在第二波纹管5的外侧的第二液室50的体积，将第二液室50内的工作油F2经由罩部件23的第二流体出入路26而排出到构成液压回路C2的压力配管12(参照图3的箭头)。由此，在液压回路C2中，处于从液压缸1向负载缸供给工作油F2来驱动负载W的驱动状态。

此时，在缸容器2内，第二液室50内的工作油F2的压力与气室60内的气压均衡，不会对收缩状态下的第二波纹管5沿径向施加过大的应力，从而能够维持第二波纹管5的形状并且抑制破损。

液压缸1从图3所示的驱动状态起切换液压回路C1中的设置于液压泵14的下游侧的未图示的阀而使工作油F1的压力降低，由此工作油F2从与液压回路C2连接的负载缸经由压力配管12和罩部件23的第二流体出入路26而流入到第二液室50(参照图2的箭头)，移动部件3的第二面部3b侧受到流入到第二液室50的工作油F2的压力从而移动部件3向油口部件22侧移动而引起第二波纹管5的伸长和第一波纹管4的收缩。此时，因在设定在第二波纹管5的内侧的气室60内被压缩的气体的气压而在使第二波纹管5伸长的方向上作用复原力，因此移动部件3容易向油口部件22侧移动。另外，此时，随着移动部件3向油口部件22侧的移动，工作油F2经由引导部件31的连通路31b而从第一波纹管4的外周面4d与外壳21的内壁面21a之间移动到第二液室50(参照图2的箭头)。

另外，液压缸1通过移动部件3向油口部件22侧的移动和第一波纹管4的收缩而减小设定在第一波纹管4的内侧的第一液室40的体积，将第一液室40内的工作油F1经由支承件25的连通孔25b和油口部件22的第一流体出入路24而排出到构成液压回路C1的压力配管11(参照图2的箭头)。由此，在缸容器2内，安装在移动部件3的第一面部3a的密封部件33与设置在油口部件22的支承件25的底板25a紧密接触，成为图2所示的非驱动状态。

此时，在缸容器2内，密封部件33与支承件25的底板25a紧密接触而形成环状的密封部S，封闭支承件25的连通孔25b。由此，在第一液室40内封住一部分的工作油F1，该被封住的工作油F1的压力与流入到第二液室50的工作油F2的压力均衡，因此不会对收缩状态下的第一波纹管4施加过大的应力，从而能够维持第一波纹管4的形状并且抑制破损。

如以上说明的那样，液压缸1通过工作油F1的压力使缸容器2内的移动部件3在轴向上移动，从而能够经由移动部件3在工作油F1、F2间作用压力来进行能量的传递。

另外，在缸容器2内能够将相对于第一流体出入路24流出和流入的工作油F1与相对于第二流体出入路26流出和流入的工作油F2在第一波纹管4的内外以密闭状态分隔开，因此能够防止在气缸容器2内混入工作油F1、F2并且能够减小由缸容器2与移动部件3之间的滑动引起的摩擦从而提高移动部件3在缸容器2内的动作性。

另外，在缸容器2内作为非压缩性流体的工作油F2从第二流体出入路26相对于第二液室50流出和流入，由此能够获得利用了在随着移动部件3的移动而经由设置在比第一波纹管4靠外侧的引导部件31的连通路31b在缸容器2内移动时产生的工作油F2的流体阻力的阻尼效果，因此能够使移动部件3在缸容器2内的移动稳定。

并且，在缸容器2内经由设置于引导部件31的连通路31b使工作油F2移动，由此能够减小工作油F2的流体阻力从而减小移动部件3的移动所需的工作油F1、F2的压力，因此能够提高移动部件的动作性。另外，由于能够通过变更设置于引导部件31的连通路31b的大小来调整经由连通路31b移动的工作油F2的流体阻力，因此能够控制移动部件3在缸容器2内的移动速度。

另外，通过第二波纹管5构成为其直径比第一波纹管4的直径小，能够容易获得如下构造：第一波纹管4的外部和第二波纹管5的外部位于伸缩方向上，在第二液室50中使工作油F2在夹着移动部件3和引导部件31的第一波纹管4的外部与第二波纹管5的外部之间移动。并且，通过第二波纹管5构成为其直径比第一波纹管4的直径小，能够构成为使移动部件3的第二面部3b侧对从第二流体出入路26相对于第二液室50流出和流入的工作油F2的受压面积变大，并且能够构成为使移动部件3的第一面部3a侧对从第一流体出入路24相对于第一液室40流出和流入的工作油F1的受压面积变大，因此能够提高移动部件3对工作油F1、F2的压力的响应性。

另外，由于移动部件3被在伸缩方向上串联且同心地配置的第一波纹管4和第二波纹管5支承在缸容器2内，因此能够将移动部件3稳定地支承在缸容器2内。并且，通过被密封在设定于第二波纹管5的内侧的气室60的气体的气压，容易维持第二波纹管5的形状，因此能够将移动部件3更加稳定地支承在缸容器2内。

另外，通过第二波纹管5固定在移动部件3的大致中央，能够抑制移动部件3的倾斜从而将移动部件3更加稳定地支承在缸容器2内。这样，通过将移动部件3稳定地支承于第一波纹管4和第二波纹管5，能够提高移动部件3在缸容器2内移动时的直进性。

另外，如上所述，由于能够将缸容器2的内部空间在第一波纹管4的内外以密闭状态分隔开，因此不用提高缸容器2(外壳21的内壁面21a)与移动部件3(引导部件31的外周面31a)之间的密闭性，就能够防止在第一液室40与第二液室50之间混入工作油F1、F2。

具体而言，例如像作为上述的背景技术而进行了说明的那样，通过在移动部件3的外周部设置与外壳21的内壁面21a滑动接触的未图示的密封部件等，从而通过移动部件3将缸容器2的内部空间呈大致密闭状地分隔成第一液室40和第二液室50来防止工作油F1、F2的混入，在这种情况下，若想要提高密封部件的密闭性以便防止工作油F1、F2的混入，则会产生外壳21的内壁面21a与移动部件3的密封部件的摩擦。在该情况下，由于移动部件在缸容器2内反复移动而使得密封部件磨损，因此有可能密封部件的密闭性降低而引起工作油F1、F2的混入。另外，在该情况下，由于产生了移动部件3相对于外壳21的内壁面21a的滑动阻力，因此不仅需要增大为了使移动部件3移动所需的工作油F1、F2的压力，还需要定期地分解液压缸1而更换磨损了的密封部件，维护性也降低。

另一方面，本实施例的液压缸1能够形成为如下的液压缸1：由于将缸容器2的内部空间在第一波纹管4的内外以密闭状态分隔开，因此能够防止在第一液室40与第二液室50之间混入工作油F1、F2，通过减小移动部件3(引导部件31的外周面31a)相对于外壳21的内壁面21a的摩擦，能够提高移动部件3在缸容器2内的动作性，并且移动部件3长期不被磨损。另外，由于除了能够防止混入工作油F1、F2之外还能够防止混入密封部件的磨损粉末，因此能够以高精度维持负载W的驱动。

另外，由于能够防止在缸容器2内混入工作油F1、F2，因此即使在工作油F1、F2的种类不同的情况下，也能够在液压回路C1、C2间应用液压缸1。

实施例2

接下来，参照图4和图5对实施例2的流体设备进行说明。另外，对与上述实施例所示的构成部分相同的构成部分标注相同的标号而省略重复的说明。

如图4和图5所示，在实施例2中的液压缸101(流体设备)中，移动部件103配置在第一波纹管4的内部，在移动部件103的第二面部103b的外径侧焊接固定有与引导部件131的内周部嵌合的圆筒状的连结部件136的一端。

另外，第一波纹管4的自由端4b以被夹持在引导部件131与连结部件136的另一端之间的状态被焊接固定。

由此，通过配置在第一波纹管4的内部的移动部件103的突出面部103c封闭第二波纹管5的自由端5b，从而能够在第一波纹管4与第二波纹管5的一部分在伸缩方向上重叠的状态下支承移动部件103，因此不用缩短使移动部件103在轴向上移动时的第一波纹管4和第二波纹管5的伸缩长度，也能够紧凑地构成缸容器102。

另外，如图4所示，在液压缸101的非驱动状态下，在缸容器102内，安装在移动部件103的第一面部103a的密封部件33与油口部件122的第一流体出入路124的内表面紧密接触而形成环状的密封部S，从而封闭第一流体出入路124。由此，在第一液室40内封住一部分的工作油F1，该被封住的工作油F1的压力与流入到第二液室50的工作油F2的压力均衡，因此不会对收缩状态下的第一波纹管4施加过大的应力，从而能够维持第一波纹管4的形状并且抑制破损。

实施例3

接下来，参照图6对实施例3的流体设备进行说明。另外，对与上述实施例所示的构成部分相同的构成部分标注相同的标号而省略重复的说明。另外，对于实施例3的液压缸，仅图示非驱动状态而省略驱动状态的图示。

如图6所示，在实施例3中的液压缸201中，罩部件223在径向大致中央设置有第二流体出入路226，该第二流体出入路226用于使作为非压缩性流体的工作油F2从构成液压回路C2(参照图1)的压力配管12相对于设定在第二波纹管5的内侧的第二液室250流出和流入。

另外，在罩部件223的外径侧设置有用于向设定在第二波纹管5的外侧的气室260注入氮气等气体的气体封入口227，在气体注入之后，气体封入口227被气体塞228封闭。

由此，在液压缸201的非驱动状态下，能够在呈密闭状设定在第二波纹管5的内侧的第二液室250内由形成在移动部件3的径向大致中央部的突出面部3c承受用于使移动部件3向油口部件22侧移动的工作油F2的压力，因此能够使工作油F2的压力高效地作用，从而提高移动部件3在缸容器202内的动作性。

另外，由于气室260介于第一液室40与第二液室250之间，因此工作油F1和工作油F2不容易混合。即，即使第一波纹管4或第二波纹管5的密封不充分，工作油F1和工作油F2也不容易混合。

以上，根据附图对本发明的实施例进行了说明，但具体的结构不限于这些实施例，不脱离本发明的主旨的范围内的变更和追加也包含在本发明中。

另外，在上述实施例中，作为在液压缸1中使用的工作流体而以工作油F1、F2为例进行了说明，但也可以至少一方的工作流体是压缩性的流体。

另外，在上述实施例中，对在缸容器2、102、202内设置有第一波纹管4和第二波纹管5的情况进行了说明，但只要在缸容器内设置有至少一个波纹管，并能够通过该波纹管将相对于第一流体出入路和第二流体出入路流出和流入的工作流体以密闭状态分隔开即可。

另外，在上述实施例中，对在第二波纹管5的内部封入气体的方式进行了说明，但只要在第二波纹管的内部设置对收缩的第二波纹管施加复原力的复原单元即可，例如也可以在第二波纹管的内部设置弹簧等从而在第二波纹管伸长的方向上施加复原力。

另外，在上述实施例中，对在构成移动部件3的金属制的圆盘的外周部外嵌有分体的引导部件31的方式进行了说明，但也可以是，引导部与构成移动部件的金属制的圆盘的外周部一体构成。

另外，在上述实施例中，对随着移动部件3、103的移动而引导部件31、131的外周面相对于外壳21的内壁面21a滑动的方式进行了说明，但也可以通过使引导部件的外周面离开外壳的内壁面来减少外壳的内壁面与引导部件的外周面之间的滑动。

另外，在上述实施例中，对在引导部件31设置有连通路31b的情况进行了说明，但连通路只要位于比第一波纹管4靠外侧的位置，则也可以设置在构成移动部件3的金属制的圆盘上。

另外，连通路31b不限于槽状，也可以构成为贯通孔或缝状。

另外，对缸容器2的外壳21、油口部件22以及罩部件23分别由单独的部件形成的例子进行了说明，但也可以使外壳21与油口部件22或罩部件23为一个部件。

另外，也可以在油口部件22一体设置具有唇形密封部135的密封部件133(参照图7)而代替支承件25，也可以使移动部件3的第一面部3a与唇形密封135直接紧密接触。

另外，第一波纹管4和第二波纹管5不限于金属制，例如也可以由树脂等构成。

标号说明

1：液压缸；2：缸容器；3：移动部件；4：第一波纹管；4a：固定端(另一端)；4b：自由端(一端)；5：第二波纹管；5a：固定端(另一端)；5b：自由端(一端)；11、12：压力配管；21：外壳；22：油口部件；23：罩部件；24：第一流体出入路；26：第二流体出入路；27：气体封入口；31：引导部件(引导部)；31b：连通路；40：第一液室；50：第二液室；60：气室；101：液压缸(流体设备)；201：液压缸(流体设备)；C1、C2：液压回路；F1、F2：工作油；H：液压装置；S：密封部；W：负载。

Claims

1.一种流体设备，其具有：容器，其能够收纳流体；第一流体出入路，其设置于该容器，能够供第一流体出入；第二流体出入路，其设置于所述容器，能够供第二流体出入；以及移动部件，其受到所述第一流体的压力而能够在所述容器内移动，该流体设备从所述第一流体向所述第二流体进行能量传递，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的流体设备，其特征在于，

所述第一流体和所述第二流体是非压缩性流体。

3.根据权利要求1或2所述的流体设备，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的流体设备，其特征在于，

所述第二波纹管固定在所述移动部件的中央。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的流体设备，其特征在于，

所述移动部件具有与所述容器的内周抵接的引导部。

6.根据权利要求5所述的流体设备，其特征在于，

7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的流体设备，其特征在于，

所述移动部件配置在所述第一波纹管的内部。

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的流体设备，其特征在于，

所述第一流体和所述第二流体是不同的流体。