CN110304484A - 搬运***及张力调节单元 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种抑制搬运***中的蜿蜒的搬运***及张力调节单元。张力调节单元(310)包括张力调节辊(312)，张力调节辊(312)的旋转轴(314)能够平移，并且张力调节辊(312)的旋转轴(314)能够摆动。根据作为目标的搬运状态与实际的搬运状态的偏离，控制张力调节辊(312)的摆动。

Description

搬运***及张力调节单元

本申请主张基于2018年3月20日申请的日本专利申请第2018-053248号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种搬运***。

背景技术

卷对卷搬运***用于涂布装置或印刷机等。卷对卷搬运***中设置有对搬运物(web，卷状物)施加张力的张力调节***。随着卷状物的薄膜化和印刷等加工的高精度化，张力调节***被要求以更高的精度均匀地进行张力控制。以往，有人提出了如专利文献1中所记载的张力调节***。

上述以往的张力调节***通过气压式致动器来驱动对卷状物施加张力的张力调节辊，因此几乎不会产生伴随杆体的往复移动的摩擦阻力。因此，能够抑制致动器的驱动力的传递损失，且能够以较高的精度调整张力调节辊对卷状物施加的张力。

专利文献1：日本特开2010-13211号公报

专利文献2：日本特开2017-007782号公报

专利文献3：日本特开2004-292068号公报

在卷对卷搬运***中，搬运物的蜿蜒会影响加工精度，因此要求抑制蜿蜒。

发明内容

本发明是鉴于这种情况而完成的，其一实施方式的例示性目的之一在于提供一种能够抑制蜿蜒的搬运***。

本发明的一方式涉及一种搬运***。搬运***具备张力调节单元，该张力调节单元包括张力调节辊，张力调节辊的旋转轴能够平移，并且张力调节辊的旋转轴能够摆动，根据作为目标的搬运状态与实际的搬运状态的偏离，可控制张力调节辊的摆动。

另外，在方法、装置等之间相互替换以上构成要件的任意组合或本发明的构成要件或表述，也作为本发明的实施方式同样有效。

发明效果

根据本发明，能够抑制蜿蜒。

附图说明

图1为实施方式的搬运***的立体图。

图2(a)、图2(b)为说明搬运状态的具体例的图。

图3(a)、图3(b)为说明图1的搬运***的动作的图。

图4(a)、图4(b)为表示张力调节***的控制***的图。

图5(a)、图5(b)为说明基于标记检测的偏离检测的图。

图6(a)、图6(b)为表示张力调节***的另一控制***的图。

图7为表示第1实施方式的张力调节***的结构的示意图。

图8为张力调节单元的立体图。

图9为张力调节单元的俯视图。

图10为表示张力调节单元的图。

图11为表示控制装置的功能及结构的框图。

图12为表示第2实施方式的张力调节单元的立体图。

图13为表示第2实施方式的张力调节单元的图。

图14为表示第1实施方式的变形例的张力调节***的张力调节单元的俯视图。

图中：200-搬运***，202-辊，204-马达，206-搬运物，300-张力调节***，310-张力调节单元，312-张力调节辊，320-控制器，330-传感器。

具体实施方式

以下，将对各附图中所示的相同或等同的构成要件、部件、工序标注相同的符号，并适当地省略其重复的说明。并且，为了便于理解，各附图中的部件的尺寸经过适当地放大、缩小之后显示出来。并且，在各附图中省略显示了用来说明实施方式中的不重要的一部分的部件。

图1为实施方式的搬运***200的立体图。搬运***200具备至少一个辊(旋转体)202和对辊202进行驱动的马达204。通过马达204使辊202旋转，由此将作为对象的搬运物(卷状物)206沿着指定的路径进行搬运。搬运物206为纸或薄膜之类的带状或薄片状的基材，且沿着搬运路径连续存在。

在搬运路径上设置有用于调节搬运物206的张力的张力调节***300。张力调节***300具备张力调节单元310及控制器320。张力调节单元310包括张力调节辊312。张力调节辊312被支承成绕旋转轴314转动自如。旋转轴314能够平移，并且能够摆动。

成为旋转轴314的基准的方向为搬运物206的宽度方向，将其作为X轴。平移运动的方向为搬运物206的长度方向(搬运方向)，将其作为Y轴。摆动运动的旋转轴(Z轴)与通过平移运动能够移动旋转轴314的平面(X-Y平面)垂直。即，在平移运动、摆动运动中的任一运动中，旋转轴在X-Y平面移动。将绕Z轴的摆动也称为平摆(Yawing)。

控制器320检测搬运物206的张力，并且使张力调节辊312的旋转轴314平移运动，以使检测出的张力接近目标值。图1的例子中，若使张力调节辊312向Y轴正方向位移，则张力变小，若向Y轴负方向位移，则张力增大。

张力调节***300根据作为目标的搬运状态与实际的搬运状态的偏离，控制张力调节辊312的摆动。

图2(a)、图2(b)为说明搬运状态的具体例的图。如图2(a)所示，搬运状态能够设为搬运物206的搬运方向(送出方向)。如虚线所示，可以将搬运物206的中心线(或者成为边缘的边)的方向作为搬运方向。该例中，目标搬运方向成为Y轴方向。

如图2(b)所示，搬运状态能够设为指定的Y坐标(y₀)中的搬运物206的指定位置P(例如中心或者边缘)的X坐标。

搬运状态并不限定于在此说明的状态，只要是与搬运物206的蜿蜒具有相关性的状态即可。另外，“蜿蜒”通常是指如蛇那样弯曲的、将很多S字形连在一起的形状，但是当仅着眼于1个张力调节单元310时，搬运对象沿着1个方向弯曲，不一定限定于蜿蜒，希望注意到这一点。

以上为搬运***200的基本结构。接着，对其动作进行说明。图3(a)、图3(b)为说明图1的搬运***200的动作的图。图3(a)、图3(b)中显示从上方观察图1的搬运***200的俯视图。

在此，将成为控制对象的搬运状态设为搬运方向。将搬运物206的实际的搬运方向(行进方向)作为搬运物206的中心线来掌握，并使用单点划线表示。如图3(a)所示，在搬运物206蜿蜒时，搬运物206的行进方向会从成为目标的搬运方向(Y轴方向)脱离。搬运***200使张力调节辊312绕Z轴旋转，以修正搬运方向的误差Δθ。图3(b)显示使张力调节辊312旋转之后的情况。该例中，在逆时针方向产生了误差Δθ，因此为了抵消该误差，只要使张力调节辊312沿着顺时针方向旋转即可。通过使张力调节辊312的旋转轴旋转，能够使搬运物206的实际的行进方向接近成为目标的方向，从而能够抑制蜿蜒。

图4(a)、图4(b)为表示张力调节***300的控制***的图。图4(a)的张力调节***300具备设置于张力调节辊312的下游、即比张力调节辊312更靠搬运物206的行进方向(Y轴正方向)侧的位置的传感器330。传感器330检测指定的Y坐标(y₀)中的边缘E的位置(X方向的位移Δx)来作为搬运物206的搬运状态。控制器340根据位移Δx来控制张力调节辊312的平摆。例如控制器340反馈控制张力调节辊312的平摆角以使位移Δx接近目标值。

图4(b)的张力调节***300具备设置于张力调节辊312的上游、即比张力调节辊312更靠与搬运物206的行进方向相反的一侧(Y轴负方向)的位置的传感器330。传感器330检测指定的Y坐标(y₀)中的边缘E的位置(X方向的位移Δx)来作为搬运物206的搬运状态。控制器340根据位移Δx来控制张力调节辊312的平摆。例如控制器340也可以根据位移Δx来反馈控制张力调节辊312的平摆角

图4(a)、图4(b)的例子中，根据搬运物206的边缘的位置控制了张力调节辊312的平摆，但并不限定于此。也可以对搬运物206标注标记，根据标记所通过的位置来检测搬运物206的搬运方向的偏离。

图5(a)、图5(b)为说明基于标记检测的偏离检测的图。该例中，在搬运物206的边缘附近的两处标注有标记M₁，M₂。通过传感器检测两个标记M₁，M₂所通过的位置，由此能够检测搬运物206的搬运方向。

基于标记M₁，M₂的搬运方向的计算方法并无特别限定。例如，设M₁，M₂的Y坐标为y₁，y₂。当将两个标记M₁，M₂的距离设为L时，

Lsinθ＝(y₁-y₂)成立，

因此倾斜角θ能够由下式求出：

θ＝arcsin{(y₁-y₂)/L}

也可以检测M₁，M₂的X坐标x₁，x₂。当将两个标记M₁，M₂的距离设为L时，

Lcosθ＝(x₁-x₂)成立，

因此倾斜角θ能够由下式求出：

θ＝arccos{(x₁-x₂)/L}

控制器320可以控制张力调节辊312的摆动，以使倾斜角θ接近零。

控制器320也可以进行位置控制来代替倾斜角θ的控制。即，也可以控制张力调节辊312的摆动，以使两个标记M₁、M₂这两者通过各自的目标位置。

也可以将用于检测搬运状态的传感器内置于张力调节单元310。由此，能够在张力调节***300的内部进行封闭处理。

图6(a)、图6(b)为表示张力调节***300的另一控制***的图。在该张力调节***300中，传感器330测定搬运物206的厚度在宽度方向上的分布(不均匀性)。图6(a)、图6(b)中示出测定3处的厚度的例子，但测定点的个数不受限定。

考虑在静态状态下的厚度为恒定的搬运物206。如图6(a)所示，搬运物206不蜿蜒而直行时，张力T在宽度方向上的分布实质上为恒定，因此厚度也接近恒定(d₁＝d₂＝d₃)。如图6(b)所示，搬运物206蜿蜒时，张力T的宽度方向分布变得不均匀，因此厚度也变得不均匀(d₁≠d₂≠d₃)。即，搬运物206的厚度的分布与搬运状态具有相关性。因此控制器320能够根据厚度的分布(d₁，d₂……)检测搬运状态，从而能够控制张力调节辊312的摆动。

以下，对张力调节***300的具体的结构例进行说明。

(第1实施方式)

图7为表示第1实施方式的张力调节***100的结构的示意图。张力调节***100被组装于卷状物处理***内。卷状物处理***使卷状物2经由多个旋转体4沿着指定的移动路径移动，且对移动中的卷状物2实施指定的处理。卷状物2为纸或薄膜之类的带状或薄片状的基材，且沿着移动路径连续存在。张力调节***100调整该卷状物2的张力。

张力调节***100具备：张力检测器10、控制装置12及张力调节单元14。张力检测器10检测卷状物2的张力。作为张力检测器，通常使用差动变压器或测压元件，但张力检测器属公知的装置，因此在此不做详述。控制装置12控制张力调节单元14。张力调节单元14对卷状物2施加张力，以使卷状物2的张力达到所期望的张力。

图8～图10为表示张力调节单元14的图。图8为张力调节单元14的立体图。图9为张力调节单元14的俯视图。图10为沿着图9的A-A线的剖视图。张力调节单元14包括：座架20、第1轴杆支承部22a～第4轴杆支承部22d、辊可动部25、张力调节辊28、连结部30以及致动器32。

第1轴杆支承部22a～第4轴杆支承部22d分别设置于座架20的四个角落上。第1静压气体轴承23a朝X方向(指定的水平方向)插通于第1轴杆支承部22a。同样地，第2静压气体轴承23b、第3静压气体轴承23c、第4静压气体轴承23d分别朝X方向插通于第2轴杆支承部22b、第3轴杆支承部22c、第4轴杆支承部22d。

辊可动部25支承张力调节辊28使其能够旋转，并且通过第1轴杆支承部22a～第4轴杆支承部22d被支承成能够在X方向上移动。辊可动部25包括：第1轴杆24a～第2轴杆24b(以下，也将这些轴杆统称为“轴杆24”)、第1张力调节辊支承部26a～第2张力调节辊支承部26b以及连接部件27。

第1轴杆24a被配置成中心轴实质上与X方向平行，其一端插通第1轴杆支承部22a的第1静压气体轴承23a，其另一端插通第2轴杆支承部22b的第2静压气体轴承23b。压缩空气被供给到第1静压气体轴承23a与第1轴杆24a之间的间隙，由此在第1静压气体轴承23a与第1轴杆24a之间的间隙产生静压。同样地，压缩空气也被供给到第2静压气体轴承23b与第1轴杆24a之间的间隙，由此在第2静压气体轴承23b与第1轴杆24a之间的间隙产生静压。利用这些静压将第1轴杆24a支承在Y方向(实质上与X方向正交的其他水平方向)及Z方向(铅垂方向)上，并且保持成与第1轴杆支承部22a及第2轴杆支承部22b不接触的状态。

第2轴杆24b被配置成中心轴实质上与X方向平行，其一端插通第3轴杆支承部22c的第3静压气体轴承23c，另一端插通第4轴杆支承部22d的第4静压气体轴承23d。压缩空气被供给到第3静压气体轴承23c与第2轴杆24b之间的间隙，由此在第3静压气体轴承23c与第2轴杆24b之间的间隙产生静压。同样地，压缩空气也被供给到第4静压气体轴承23d与第2轴杆24b之间的间隙，由此在第4静压气体轴承23d与第2轴杆24b之间的间隙产生静压。利用这些静压将第2轴杆24b支承在Y方向及Z方向上，并且保持成与第3轴杆支承部22c及第4轴杆支承部22d不接触的状态。

第1张力调节辊支承部26a包括：第1支架40a及第1滚动轴承41a。第1轴杆24a沿着X方向插通于第1支架40a，且固定于第1支架40a。因此，第1支架40a，即第1张力调节辊支承部26a与第1轴杆24a一起移动。第2张力调节辊支承部26b包括：第2支架40b及第2滚动轴承41b。第2轴杆24b沿着X方向插通于第2支架40b，且固定于第2支架40b。因此，第2支架40b，即第2张力调节辊支承部26b与第2轴杆24b一起移动。

第1滚动轴承41a朝Y方向插通于第1支架40a。第2滚动轴承41b朝Y方向插通于第2支架40b。张力调节辊28的一端插通于第1滚动轴承41a，张力调节辊28的另一端插通于第2滚动轴承41b。因此，张力调节辊28经由各滚动轴承被各支架(具体而言，为各张力调节辊支承部)支承成能够进行旋转。另外，也可以使用静压气体轴承和其他轴承，来代替第1滚动轴承41a和第2滚动轴承41b。

连接部件27为细长板状的部件，一端固定于第1张力调节辊支承部26a，另一端固定于第2张力调节辊支承部26b。因此，若随着可动杆50(后述)朝X方向的移动而使得连接部件27朝X方向移动，则第1张力调节辊支承部26a及第2张力调节辊支承部26b将会沿着轴杆24的延伸方向朝X方向移动。

张力调节辊28为圆柱状的部件，其旋转轴R被支承成实质上与Y方向平行。卷状物2卷绕在张力调节辊28上。若通过致动器32使辊可动部25朝X方向移动，则张力调节辊28也随此朝X方向移动，从而调整卷状物2的张力。本实施方式中，若使张力调节辊28朝致动器32这一侧移动，则施加于卷状物2上的推压力变大，从而卷状物2的张力也变大。另一方面，若使张力调节辊28朝与致动器32相反的一侧移动，则施加于卷状物2上的推压力变小，从而卷状物2的张力变小。

连结部30具有中央部收缩的铰链形状。连结部30中隔着收缩部30a而其一端侧与连接部件27相连接，另一端侧与致动器32的可动杆50相连接。即，连结部30连结连接部件27与致动器32的可动杆50。

致动器32为直动式致动器。致动器32通过使可动杆50朝X方向移动而经由连结部30使辊可动部25及张力调节辊28朝X方向移动。在本实施方式中，致动器32为利用压缩空气来使得可动杆50与缸体52保持在非接触状态下进行移动的气压式致动器。在致动器32的内部设置有能够检测缸体52内的压力的压力检测器。另外，作为气压式致动器例如有住友重机械机电株式会社(Sumitomo Heavy Industries,Ltd.Mechatronics division)制造的Airsonic(商标名)。

接着，对张力调节辊28、张力调节辊支承部26、连结部30、及致动器32的位置关系进行说明。张力调节辊28的旋转轴R所在的高度(即Z方向的位置)实质上与轴杆24的中心轴所在的高度一致。并且，张力调节辊28的旋转轴R所在的高度实质上与连结部30的中心轴以及致动器32的可动杆50的中心轴一致。而且，通过可动杆50的中心轴与连结部30的中心轴的直线，即致动器32经由连结部30施加到辊可动部25乃至张力调节辊28的合力通过张力调节辊28的重心G。即，在张力调节辊28上施加通过张力调节辊28的重心G并且与引导张力调节辊28朝X方向移动的轴杆24平行的方向的力。

图11为表示控制装置12的功能及结构的框图。在此所显示的各框，从硬件方面来看，能够通过以计算机的CPU(central processing unit，中央处理单元)为代表的元件或机械装置来实现，从软件方面来看，可通过计算机程序等来实现，但是，在此描绘出通过这些软硬件的配合来实现的功能框图。因此，本领域技术人员应当理解，这些功能框图能够通过硬件与软件的组合，以各种形态来实现的事实。

控制装置12具备：获取部60及致动器控制部62。获取部60从致动器32的压力检测器获取缸体52内的压力测定值。致动器控制部62根据获取部60所获取的测定值，计算出可动杆50对张力调节辊28施加的作用力，并通过该作用力计算出卷状物2的张力。致动器控制部62控制致动器32，以使根据这种方式计算出的卷状物2的张力成为所期望的张力。致动器32若从致动器控制部62接收到指示，则使可动杆50移动。辊可动部25及张力调节辊28随此移动，且施加到卷状物2的张力发生变化。

另外，获取部60可以从张力检测器10获取卷状物2的张力测定值。致动器控制部62可以根据获取部60所获取的测定值来控制致动器32，以使卷状物2的张力成为所期望的张力。

根据以上所说明的实施方式的张力调节***100，致动器32经由连结部30对辊可动部25施加的力的延长线通过张力调节辊28的重心G。因此，经由连结部30及辊可动部25施加于张力调节辊28的力(合力)通过张力调节辊28的重心G。由此，能够抑制为了使张力调节辊28移动而由致动器32施加的力量的传递损失，其结果，能够精确地控制卷状物2的张力。

并且，根据本实施方式的张力调节***100，张力调节辊28的旋转轴R的高度实质上与引导辊可动部25及张力调节辊28朝X方向移动的轴杆24的中心轴的高度一致。由此，能够进一步抑制为了使张力调节辊28移动而由致动器32施加的力量的传递损失。

并且，根据本实施方式的张力调节***100，辊可动部25与致动器32通过具有铰链形状的连结部30而连结。即，辊可动部25与致动器32通过具有旋转自由度的连结部30而连结。而且，根据本实施方式的张力调节***100，辊可动部25的轴杆24通过静压气体轴承而被支承成不与轴杆支承部接触的状态。因此，在辊可动部25的轴杆24与静压气体轴承之间存在间隙，且辊可动部25可在该间隙的范围内摆动。辊可动部25例如可绕Z方向进行摆动。

在此，有时会在卷状物2上存在歪斜的部分，在该歪斜的部分通过张力调节辊28时，卷状物2的宽度方向的张力会变得不均匀，且对张力调节辊28施加向相对于X方向呈倾斜的方向拉拽的力量。此时，若张力调节辊28无法绕Z方向进行摆动，则卷状物2的宽度方向的一端侧的张力变高，即卷状物2的宽度方向上的张力变得不均匀。相对于此，根据本实施方式的张力调节***100，如上所述，辊可动部25与致动器32通过具有旋转自由度的连结部30而连结，并且辊可动部25通过静压气体轴承而被支承成不与轴杆支承部接触的状态。因此，辊可动部25能够在轴杆24与静压气体轴承之间的间隙的范围内，绕Z方向进行摆动，张力调节辊28也能够随此绕Z方向进行摆动。因此，能够使得卷状物2在宽度方向上的张力比较均匀。

并且，第1实施方式的张力调节***100中，作为静止体的第1轴杆支承部22a～第4轴杆支承部22d具有静压气体轴承。在此，若在可动的部件上设置静压气体轴承，则有可能使对静压气体轴承供给空气的配管的移动受阻。相对于此，在本实施方式的张力调节***100中，由于在静止体上设置有静压气体轴承，因此能够抑制这种问题的发生。

(第2实施方式)

第2实施方式的张力调节***与第1实施方式的张力调节***100同样地具备张力检测器10、控制装置12及张力调节单元14。

图12、图13为表示第2实施方式的张力调节单元14的图。图12为张力调节单元14的立体图。图13为张力调节单元14的俯视图。图12、图13分别与图8、图9对应。在本实施方式中，张力调节单元14包括：座架20、第1轴杆支承部22a～第4轴杆支承部22d、辊可动部25、张力调节辊28、第1连结部130a～第2连结部130b及第1致动器132a～第2致动器132b。

第1连结部130a、第2连结部130b分别具有与第1实施方式的连结部30相同的结构。第1连结部130a的一端侧与第1轴杆24a连接，另一端侧固定于第1致动器132a的可动杆50。第2连结部130b的一端侧与第2轴杆24b连接，另一端侧固定于第2致动器132b的可动杆50。

第1致动器132a、第2致动器132b分别具有与第1实施方式的致动器32相同的结构。第1致动器132a与第2致动器132b被配置成，经由辊可动部25传递到张力调节辊28的第1致动器132a与第2致动器132b的合力通过张力调节辊28的重心G。

在第1致动器132a、第2致动器132b的内部设置有能够检测各可动杆的伸缩量(例如各可动杆的位置)的位置检测器。另外，位置检测器也可以设置于第1致动器132a、第2致动器132b的外部。

控制装置12包括：获取部60及致动器控制部62。获取部60在本实施方式中，从各致动器的位置检测器获取各可动杆的位置测定值。致动器控制部62根据获取部60所获取的测定值，控制第1致动器132a及第2致动器132b，以使卷状物2的张力达到所期望的张力。致动器控制部62尤其根据来自各致动器的位置检测器的测定值来控制各致动器，以使各致动器的可动杆的伸缩量实质上相同。第1致动器132a若从致动器控制部62接收到指示，则经由第1轴杆24a使第1张力调节辊支承部26a移动。同样地，第2致动器132b若从致动器控制部62接收到指示，则经由第2轴杆24b使第2张力调节辊支承部26b移动。张力调节辊28随着各张力调节辊支承部的移动而移动，且施加到卷状物2的张力发生变化。

根据以上所说明的第2实施方式的张力调节***，可获得与第1实施方式的张力调节***100的作用效果相同的作用效果。

并且，根据第2实施方式的张力调节***，通过在Y方向(即卷状物2的宽度方向)上配置于不同位置的两个致动器来使辊可动部25移动。因此，能够更准确地控制张力调节辊28。例如，与通过一个致动器来使辊可动部移动的情况相比，能够更可靠地确保张力调节辊28的旋转轴R与Y方向平行，并且还能够使张力调节辊28朝X方向移动。由此，能够使得卷状物2的宽度方向的张力更加均匀。

(第3实施方式)

第3实施方式的张力调节***与第2实施方式的张力调节***同样地具备张力检测器10、控制装置12及张力调节单元14。该张力调节***能够用于上述的蜿蜒控制。

张力检测器10在本实施方式中检测卷状物2的宽度方向上的两端的张力。张力检测器10将检测出的卷状物2的宽度方向两端的张力发送到控制装置12。张力调节单元14基本上具有与第2实施方式的张力调节单元14相同的功能及结构。但是，本实施方式中，在第1致动器132a、第2致动器132b的内部设置有能够检测各缸体52内的压力的压力检测器。

控制装置12包括：获取部60及致动器控制部62。获取部60从第1致动器132a、第2致动器132b的各压力检测器获取各缸体52内的压力测定值。致动器控制部62根据获取部60所获取的测定值来计算出各可动杆50对张力调节辊28施加的作用力，并通过该作用力来计算出卷状物2的宽度方向的两端的张力。致动器控制部62控制第1致动器132a及第2致动器132b，以使根据这种方式计算出的卷状物2的两端的张力都能够成为所期望的张力。致动器控制部62尤其以使来自各致动器的压力检测器的测定值实质上相同的方式来控制各致动器。

另外，获取部60可从张力检测器10获取卷状物2的宽度方向两端上的张力测定值。致动器控制部62可根据获取部60所获取的测定值来控制各致动器，以使卷状物2的宽度方向的两端的张力实质上相同。

第1致动器132a若从致动器控制部62接收到指示，则经由第1轴杆24a使第1张力调节辊支承部26a移动。第2致动器132b若从致动器控制部62接收到指示，则经由第2轴杆24b使第2张力调节辊支承部26b移动。即，各张力调节辊支承部通过各致动器而受到个别控制而移动。张力调节辊28随着各张力调节辊支承部的移动而移动，且施加到卷状物2的张力发生变化。

根据以上所说明的第3实施方式的张力调节***，可获得与第2实施方式的张力调节***的作用效果相同的作用效果。

并且，根据第3实施方式的张力调节***，第1轴杆24a与第1致动器132a通过具有铰链形状的第1连结部130a而连结。同样地，第2轴杆24b与第2致动器132b通过具有铰链形状的第2连结部130b而连结。即，各轴杆与各致动器通过具有旋转自由度的连结部而连结。而且，根据第3实施方式的张力调节***，辊可动部25通过静压气体轴承而被支承成不与第1轴杆支承部22a～第4轴杆支承部22d接触的状态。因此，在辊可动部25与各轴杆支承部的静压气体轴承之间存在间隙，辊可动部25可在该间隙的范围内进行摆动。辊可动部25尤其可绕Z方向进行摆动。而且，根据第3实施方式的张力调节***，张力调节单元14具备两个致动器，且能够个别控制辊可动部25的各张力调节辊的移动。

即，根据第3实施方式的张力调节单元14，通过两个致动器，能够产生张力调节辊的旋转轴的平移运动和摆动运动。

如参考图1进行的说明，能够通过两个致动器使辊可动部25，具体而言使张力调节辊28绕Z方向积极地进行摆动，由此抑制蜿蜒，以使搬运状态接近目标状态。

在将第3实施方式的张力调节单元14用于蜿蜒控制的情况下，也可以利用在两个致动器中获取的压力的测定值来检测搬运状态。

以上，对实施方式的张力调节***进行了说明。该实施方式仅为例示而已，这些各构成要件和各处理工艺的组合存在各种变形例，并且，这种变形例也在本发明的范围内的事实是被本领域技术人员认可的。以下将说明变形例。

(变形例1)

在第1、第2实施方式中，对连结部具有铰链形状的情况进行了说明，但并不限于此，连结部只要是具有旋转自由度的构造即可。图14为表示第1实施方式的变形例的张力调节***的张力调节单元的俯视图。图14与图9对应。在本变形例中，连结部30的一端侧与致动器32的可动杆50连接。连结部30的另一端侧具有球面形状，且与连接部件27抵接。根据本变形例，可获得与第1实施方式的张力调节***的作用效果相同的作用效果。

(变形例2)

在第1、第2实施方式中，对辊可动部通过静压气体轴承而被支承成能够在X方向上移动的情况进行了说明，但并不限于此。辊可动部也可以被滚动轴承、或者其他轴承所支承。

(变形例3)

对第1实施方式中的张力调节单元具备一个致动器，第2实施方式中的张力调节单元具备两个致动器的情况进行了说明，但并不限于此。张力调节单元也可以具备三个以上的致动器。另外，当具备多个致动器时，也可以构成为这些致动器的合力的延长线通过重心G。并且，也可以构成为这些致动器的合力的延长线实质上与引导辊可动部及张力调节辊28朝X方向移动的轴杆24的高度一致。

上述实施方式与变形例的任意组合作为本发明的实施方式也同样有效。通过组合而成的新的实施方式兼具被组合的实施方式及变形例各自的效果。

Claims (8)

1.一种搬运***，其特征在于，具备：

张力调节单元，该张力调节单元包括张力调节辊，所述张力调节辊的旋转轴能够平移，并且所述张力调节辊的所述旋转轴能够摆动，

根据作为目标的搬运状态与实际的搬运状态的偏离，抑制所述张力调节辊的摆动。

2.根据权利要求1所述的搬运***，其还具备测定所述实际的搬运状态的传感器，

根据所述传感器的输出，控制所述张力调节辊的摆动。

3.根据权利要求2所述的搬运***，其中，

所述传感器配置于所述张力调节辊的下游，

根据所述传感器的输出，反馈控制所述张力调节辊的摆动。

4.根据权利要求2所述的搬运***，其中，

所述传感器配置于所述张力调节辊的上游，

根据所述传感器的输出，反馈控制所述张力调节辊的摆动。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的搬运***，其中，

所述传感器检测搬运物的边缘的位置。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的搬运***，其中，

所述传感器检测标注于搬运物的标记的位置。

7.根据权利要求2至4中任一项所述的搬运***，其中，

所述传感器检测搬运物的厚度。

8.一种张力调节单元，其特征在于，具备：

张力调节辊；

致动器，使所述张力调节辊的旋转轴平移及摆动；

传感器，检测实际的搬运状态；及

控制部，控制所述张力调节辊的摆动，以使所述实际的搬运状态接近作为目标的搬运状态。