CN110289171B - 一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法。该方法在含有硝酸铝、聚乙醇离子活性剂的混合水溶液中，添加一定量的草酸或草酸盐，从而可以取代磷酸及磷酸盐的缓蚀效果。本发明的铝电解电容器电极箔的制造方法采用草酸及草酸盐取代磷酸及磷酸盐的缓蚀作用，可节省全部的磷酸成本，减少环境污染，通过控制相关扩孔阶段的溶液组分及工艺条件，改善扩孔阶段的孔洞均匀性，降低铝箔在无磷扩孔的情况下发生的强烈自腐蚀反应，得到铝表面腐蚀均匀并一致性高的中高压腐蚀箔，电极箔的比容高、弯折强度好，比表面积提高8～13％；厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值达0.78～0.81μF/cm2、折弯强度达到55～65回/N。
Description
技术领域
本发明涉及腐蚀箔电极技术领域，更具体地，涉及一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法。
背景技术
对于电容器而言，电极箔是最重要组成部分，要求电极箔具有高强度、低损耗、长寿命、低漏电流等特性。电极箔的腐蚀过程是以电子光箔为原材料，通过电化学方法刻蚀电极光箔使表面形成孔洞，从而增加光箔的比表面积，提高腐蚀容量。目前国内已有的中高压腐蚀箔制造方法中，扩孔工序一般为硝酸和磷酸混合液的电化学扩孔电解液或硝酸、磷酸、聚乙醇离子活性剂混合液的电化学扩孔电解液。上述电化学扩孔的扩孔液中其都存在较多的磷酸，作为扩孔电解液的缓蚀剂。随着中国经济的持续快速发展，城市进程和工业化进程的不断增加，环境污染日益严重，国家对环保的重视程度也越来越高，工业污水必须经过处理达到国家规定的标准后，才能排放，而扩孔溶液的组成是以硝酸溶液中添加一定量的磷酸缓蚀剂，这样会带来以下问题：磷是引起水体富营养化的关键营养物质，而且会使水体含氧量急剧下降，随着国家对环保的要求越来越严格，对于电子箔溶液的组成，无磷扩孔将成为必然的发展趋势。现有技术CN108183033A公开了一种铝电解电容器用阳极箔腐蚀工艺，该工艺中公开了在发孔腐蚀液中添加草酸等络合剂来改善隧道孔内的游离铝离子的传质速率，防止铝离子在隧道孔内富集，水解，但是在其公开的扩孔工业中仍需要使用磷酸，不能实现无磷扩孔。
因此，本领域所期待的是研发出一种无磷扩孔的铝电解电容器电极箔的制备方法。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有铝电解电容器电极箔扩孔中扩孔液含磷的缺陷和不足，提供一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法。本发明的制造方法能够提高铝箔腐蚀发孔隧道孔分布的均匀性、降低铝箔在无磷扩孔情况下而发生强烈的自腐蚀，因而可以进一步提高铝箔的比电容和抗折弯性能。
本发明上述目的通过以下技术方案实现：
一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法，包括如下步骤：
S1.前处理：将铝箔放入碱溶液中浸泡，浸泡温度为40～45℃、碱的质量分数为0.3～1％；
S2.一级直流电解腐蚀：将S1的前处理的铝箔放入硫酸和盐酸的混合溶液中进行一级直流电解腐蚀，其中硫酸的质量分数为20～40％，盐酸的质量分数为0.5～1％；
S3.二级直流电解腐蚀：将S2的一级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行二级直流电解腐蚀，其中硝酸的质量分数为1～5％，聚乙醇的质量分数为0.05％～0.1％，草酸或草酸盐的质量分数为0.05％～3％；
S4.三级直流电解腐蚀：将S3的二级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行三级化学腐蚀，其中硝酸的质量分数为1～5％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.02～0.1％，草酸或草酸盐的质量分数为0.05～3％；
S5.后处理：将S4的三级直流电解腐蚀的铝箔硝酸浸泡处理，浸泡温度为45℃～65℃，硝酸质量分数为0.5～3％，烘干即得无磷扩孔铝电解电容器电极箔。
本发明的铝电解电容器电极箔制造方法针对现有的扩孔方法中不可避免的要用到磷所带来的环境污染问题，采用一种无磷扩孔方法，该方法在含有硝酸铝、聚乙醇离子活性剂的混合水溶液中，添加一定量的草酸或草酸盐，从而可以取代磷酸及磷酸盐的缓蚀效果。在无磷缓蚀剂的情况下也能够提高铝箔腐蚀发孔隧道孔分布的均匀性、降低铝箔在无磷扩孔的情况下发生的强烈自腐蚀反应，可以进一步提高铝箔的比电容和抗折弯性能。
本发明在采用草酸或草酸盐取代磷酸及磷酸盐的缓蚀作用的同时，还通过控制相关扩孔阶段的溶液组分及工艺条件，改善扩孔阶段的孔洞均匀性。发明人无意中发现，通过协调配伍扩孔溶液的组成，在铝箔表面制造均匀的缺陷点，便于发孔阶段的孔洞萌生；二级采用分段无磷扩孔，对每段无磷扩孔液的组成含量进行调节并配合不同的工艺条件，从而到达了取代磷酸作为扩孔液中缓蚀剂的效果。
通过本发明所得到的铝电解电容器用电极箔，孔径分布、孔面积及最小孔间距呈最佳的正态分布，实现了铝电解电容器用电极箔腐蚀起点的均匀发孔，并大幅度提高铝电解电容器用电极箔的比容值，使所制成的铝电解电容器的比表面积提高8～13％；厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值达0.78～0.81μF/cm2、折弯强度达到55～65回/N。
优选地，S3中所述二级直流电解腐蚀的草酸或草酸盐的质量分数为0.05～0.2％。
优选地，S3中所述三级直流电解腐蚀的聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.05～0.1％，草酸或草酸盐的质量分数为0.05～0.2％。
优选地，S2中一级直流电解腐蚀的硫酸的质量分数为30％，盐酸的质量分数为0.8％。
优选地，S3中二级直流电解腐蚀的硝酸的质量分数为3％，聚乙醇的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1％。
优选地，S4中三级直流电解腐蚀的硝酸的质量分数为2％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1％。
优选地，S2中一级直流电解腐蚀的温度为65～75℃，时间为60～90s。
优选地，S3中二级直流电解腐蚀的温度为65～75℃，时间为4～5min。
优选地，S4中三级直流电解腐蚀的温度为65～75℃，时间为4～6min。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
(1)本发明的铝电解电容器电极箔的制造方法采用草酸及草酸盐取代磷酸及磷酸盐的缓蚀作用，可节省全部的磷酸成本，减少环境污染。
(2)本发明的铝电解电容器电极箔的制造方法还通过控制相关扩孔阶段的溶液组分及工艺条件，改善扩孔阶段的孔洞均匀性，降低铝箔在无磷扩孔的情况下发生的强烈自腐蚀反应，得到铝表面腐蚀均匀并一致性高的中高压腐蚀箔。
(3)本发明的制造方法制备的铝电解电容器电极箔的比容高、弯折强度好，现对于于含磷扩孔比表面积提高8～13％；厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值达0.78～0.81μF/cm2、折弯强度达到55～65回/N。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本发明作进一步的说明，但实施例并不对本发明做任何形式的限定。除非另有说明，本发明实施例采用的原料试剂为常规购买的原料试剂。
其中，520V的比容值的检测、折弯强度的检测和比表面积的检测根据日本JCC和KDK的检测方法进行检测。比表面的检测方法:是通过检测比容的方法来体现的，比容越高，比表面积就越大。本发明的比表面积提高为相对于同条件下的含磷扩孔制造方法的提供比率。
实施例1
一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法，包括如下步骤：
S1.前处理：将铝箔放入碱溶液中浸泡，浸泡温度为40℃、碱的质量分数为0.5％；
S2.一级直流电解腐蚀：将S1的前处理的铝箔放入硫酸和盐酸的混合溶液中进行一级直流电解腐蚀，其中硫酸的质量分数为20％，盐酸的质量分数为0.5％，一级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为80s；
S3.二级直流电解腐蚀：将S2的一级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行二级直流电解腐蚀，其中硝酸的质量分数为1％，聚乙醇的质量分数为0.05％，草酸或草酸盐的质量分数为0.05％，二级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为4min；
S4.三级直流电解腐蚀：将S3的二级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行三级化学腐蚀，其中硝酸的质量分数为1％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.02％，草酸或草酸盐的质量分数为0.05％，二级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为4min；
S5.后处理：将S4的三级直流电解腐蚀的铝箔硝酸浸泡处理，浸泡温度为45℃，硝酸质量分数为0.5％，烘干即得无磷扩孔铝电解电容器电极箔。
经检测得到：厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值为：0.78μF/cm2、折弯强度55回/N，比表面积提高8％。
实施例2
一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法，包括如下步骤：
S1.前处理：将铝箔放入碱溶液中浸泡，浸泡温度为40℃、碱的质量分数为0.5％；
S2.一级直流电解腐蚀：将S1的前处理的铝箔放入硫酸和盐酸的混合溶液中进行一级直流电解腐蚀，其中硫酸的质量分数为40％，盐酸的质量分数为1％，一级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为80s；
S3.二级直流电解腐蚀：将S2的一级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行二级直流电解腐蚀，其中硝酸的质量分数为5％，聚乙醇的质量分数为0.1％，草酸或草酸盐的质量分数为3％，二级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为4min；
S4.三级直流电解腐蚀：将S3的二级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行三级化学腐蚀，其中硝酸的质量分数为5％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.1％，草酸或草酸盐的质量分数为3％，三级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为5min；
S5.后处理：将S4的三级直流电解腐蚀的铝箔硝酸浸泡处理，浸泡温度为45℃，硝酸质量分数为3％，烘干即得无磷扩孔铝电解电容器电极箔。
经检测得到：厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值为：0.78μF/cm2、折弯强度56回/N，比表面积提高10％。
实施例3
一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法，包括如下步骤：
S1.前处理：将铝箔放入碱溶液中浸泡，浸泡温度为40℃、碱的质量分数为0.5％；
S2.一级直流电解腐蚀：将S1的前处理的铝箔放入硫酸和盐酸的混合溶液中进行一级直流电解腐蚀，其中硫酸的质量分数为30％，盐酸的质量分数为0.8％，一级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为80s；
S3.二级直流电解腐蚀：将S2的一级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行二级直流电解腐蚀，其中硝酸的质量分数为3％，聚乙醇的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.2％，二级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为4min；
S4.三级直流电解腐蚀：将S3的二级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行三级化学腐蚀，其中硝酸的质量分数为5％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.1％，草酸或草酸盐的质量分数为3％，三级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为5min；
S5.后处理：将S4的三级直流电解腐蚀的铝箔硝酸浸泡处理，浸泡温度为45℃，硝酸质量分数为3％，烘干即得无磷扩孔铝电解电容器电极箔。
经检测得到：厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值为：0.80μF/cm2、折弯强度60回/N，比表面积提高11％。
实施例4
一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法，包括如下步骤：
S1.前处理：将铝箔放入碱溶液中浸泡，浸泡温度为40℃、碱的质量分数为0.5％；
S2.一级直流电解腐蚀：将S1的前处理的铝箔放入硫酸和盐酸的混合溶液中进行一级直流电解腐蚀，其中硫酸的质量分数为30％，盐酸的质量分数为0.8％，一级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为80s；
S3.二级直流电解腐蚀：将S2的一级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行二级直流电解腐蚀，其中硝酸的质量分数为3％，聚乙醇的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.2％，二级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为4min；
S4.三级直流电解腐蚀：将S3的二级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行三级化学腐蚀，其中硝酸的质量分数为2％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.05％，草酸或草酸盐的质量分数为0.2％，三级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为5min；
S5.后处理：将S4的三级直流电解腐蚀的铝箔硝酸浸泡处理，浸泡温度为45℃，硝酸质量分数为1％，烘干即得无磷扩孔铝电解电容器电极箔。
经检测得到：厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值为：0.81μF/cm2、折弯强度63回/N，比表面积提高12％。
实施例5
一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法，包括如下步骤：
S1.前处理：将铝箔放入碱溶液中浸泡，浸泡温度为40℃、碱的质量分数为0.5％；
S2.一级直流电解腐蚀：将S1的前处理的铝箔放入硫酸和盐酸的混合溶液中进行一级直流电解腐蚀，其中硫酸的质量分数为30％，盐酸的质量分数为0.8％，一级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为80s；
S3.二级直流电解腐蚀：将S2的一级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行二级直流电解腐蚀，其中硝酸的质量分数为3％，聚乙醇的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1％，二级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为4min；
S4.三级直流电解腐蚀：将S3的二级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行三级化学腐蚀，其中硝酸的质量分数为2％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1％，三级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为5min；
S4.后处理：将S4的三级直流电解腐蚀的铝箔硝酸浸泡处理，浸泡温度为45℃，硝酸质量分数为1.5％，烘干即得无磷扩孔铝电解电容器电极箔。
经检测得到：厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值为：0.81μF/cm2、折弯强度65回/N，比表面积提高13％。
对比例1
一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法，包括如下步骤：
S1.前处理：将铝箔置于碱性溶液中，浸渍后取出酸洗；
S2.一级直流电解腐蚀：将经过前处理的铝箔放入浓度为硫酸和盐酸混合液中进行一级直流发孔腐蚀；
S3.二级直流电解腐蚀：将上述经过一级直流电解发孔腐蚀的铝箔放入硝酸溶液、含浓度为0.02wt％的聚乙醇离子活性剂，再添加浓度为0.1wt％磷酸混合溶液中进行二级直流电解扩孔腐蚀；
S4.三级直流电解腐蚀：将上述经过二级直流电解扩孔腐蚀的铝箔放入硝酸溶液、含浓度为0.02wt％的聚乙醇离子活性剂，再添加浓度为0.1wt％磷酸混合溶液中进行三级直流扩孔腐蚀；
S4.后处理：将上述经过三级直流扩孔腐蚀的铝箔放置在温度45℃、浓度1.5wt％的硝酸水溶液中浸泡1分钟，取出水洗、纯水洗涤、烘干。
经检测得到：厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值为：0.78μF/cm2、折弯强度46回/N。
对比例2
一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法，包括如下步骤：
S1.前处理：将铝箔放入碱溶液中浸泡，浸泡温度为40℃、碱的质量分数为0.5％；
S2.一级直流电解腐蚀：将S1的前处理的铝箔放入硫酸和盐酸的混合溶液中进行一级直流电解腐蚀，其中硫酸的质量分数为30％，盐酸的质量分数为0.3％，一级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为80s；
S3.二级直流电解腐蚀：将S2的一级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行二级直流电解腐蚀，其中硝酸的质量分数为3％，聚乙醇的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1％，二级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为4min；
S4.三级直流电解腐蚀：将S3的二级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行三级化学腐蚀，其中硝酸的质量分数为2％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1％，三级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为5min；
S4.后处理：将S4的三级直流电解腐蚀的铝箔硝酸浸泡处理，浸泡温度为45℃，硝酸质量分数为1.5％，烘干即得无磷扩孔铝电解电容器电极箔。
经检测得到：厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值为：0.69μF/cm2、折弯强度48回/N。
对比例3
一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法，包括如下步骤：
S1.前处理：将铝箔放入碱溶液中浸泡，浸泡温度为40℃、碱的质量分数为0.5％；
S2.一级直流电解腐蚀：将S1的前处理的铝箔放入硫酸和盐酸的混合溶液中进行一级直流电解腐蚀，其中硫酸的质量分数为30％，盐酸的质量分数为0.5％，一级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为80s；
S3.二级直流电解腐蚀：将S2的一级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行二级直流电解腐蚀，其中硝酸的质量分数为3％，聚乙醇的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.03％，二级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为4min；
S4.三级直流电解腐蚀：将S3的二级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行三级化学腐蚀，其中硝酸的质量分数为2％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1％，三级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为5min；
S4.后处理：将S4的三级直流电解腐蚀的铝箔硝酸浸泡处理，浸泡温度为45℃，硝酸质量分数为1.5％，烘干即得无磷扩孔铝电解电容器电极箔。
经检测得到：厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值为：0.75μF/cm2、折弯强度50回/N。
对比例4
一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法，包括如下步骤：
S1.前处理：将铝箔放入碱溶液中浸泡，浸泡温度为40℃、碱的质量分数为0.5％；
S2.一级直流电解腐蚀：将S1的前处理的铝箔放入硫酸和盐酸的混合溶液中进行一级直流电解腐蚀，其中硫酸的质量分数为30％，盐酸的质量分数为0.5％，一级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为80s；
S3.二级直流电解腐蚀：将S2的一级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行二级直流电解腐蚀，其中硝酸的质量分数为3％，聚乙醇的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1％，二级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为4min；
S4.三级直流电解腐蚀：将S3的二级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行三级化学腐蚀，其中硝酸的质量分数为2％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为4％，三级直流电解腐蚀的温度为70℃，时间为5min；
S4.后处理：将S4的三级直流电解腐蚀的铝箔硝酸浸泡处理，浸泡温度为45℃，硝酸质量分数为1.5％，烘干即得无磷扩孔铝电解电容器电极箔。
经检测得到：厚度123um的光箔经腐蚀后，520V的比容值为：0.65μF/cm2、折弯强度46回/N。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种无磷扩孔铝电解电容器电极箔的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1.前处理：将铝箔放入碱溶液中浸泡，浸泡温度为40～45℃、碱的质量分数为0.3～1％；
S2.一级直流电解腐蚀：将S1的前处理的铝箔放入硫酸和盐酸的混合溶液中进行一级直流电解腐蚀，其中硫酸的质量分数为20～40％，盐酸的质量分数为0.5～1％；
S3.二级直流电解腐蚀：将S2的一级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行二级直流电解腐蚀，其中硝酸的质量分数为3％，聚乙醇的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1～0.2％；
S4.三级直流电解腐蚀：将S3的二级直流电解腐蚀的铝箔放入硝酸、聚乙醇离子活性剂和草酸或草酸盐的混合溶液中进行三级化学腐蚀，其中硝酸的质量分数为2％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.05～0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1～0.2％；
S5.后处理：将S4的三级直流电解腐蚀的铝箔硝酸浸泡处理，浸泡温度为45℃～65℃，硝酸质量分数为0.5～3％，烘干即得无磷扩孔铝电解电容器电极箔。
2.如权利要求1所述制造方法，其特征在于，S2中一级直流电解腐蚀的硫酸的质量分数为30％，盐酸的质量分数为0.8％。
3.如权利要求1所述制造方法，其特征在于，S3中二级直流电解腐蚀的硝酸的质量分数为3％，聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1％。
4.如权利要求1所述制造方法，其特征在于，S4中三级直流电解腐蚀的硝酸的质量分数为2％、聚乙醇离子活性剂的质量分数为0.08％，草酸或草酸盐的质量分数为0.1％。
5.如权利要求2所述制造方法，其特征在于，S2中一级直流电解腐蚀的温度为65～75℃，时间为60～90s。
6.如权利要求3所述制造方法，其特征在于，S3中二级直流电解腐蚀的温度为65～75℃，时间为4～5min。
7.如权利要求4所述制造方法，其特征在于，S4中三级直流电解腐蚀的温度为65～75℃，时间为4～6min。
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