CN110208284B - 一种多通道缺陷合并分析的方法及*** - Google Patents

一种多通道缺陷合并分析的方法及*** Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种多通道缺陷合并分析的方法及***，涉及光学检测技术领域，该方法为：将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储；分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储；将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息；根据单个通道或者多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。本发明能显示单个通道或者多个通道组合形成的缺陷点，用户能直观辨别误检缺陷点或者漏检缺陷点。

Description

一种多通道缺陷合并分析的方法及***
技术领域
本发明涉及光学检测技术领域，具体涉及一种多通道缺陷合并分析的方法及***。
背景技术
自动光学检测(Automated Optical Inspection，AOI)，为高速高精度光学影像检测***。在液晶玻璃基板的缺陷检测领域，AOI设备完成一次对液晶玻璃基板的扫描后，不同通道得到的图像(即使用不同颜色的光照得到的图像)会分别对应生成一个初始缺陷点列表，每个初始缺陷点列表均包含不同缺陷点的坐标信息，通过循环遍历初始缺陷点列表，分析不同缺陷点的坐标，当任意两个缺陷点之间距离小于一个设定的阈值时，两个缺陷点则认定为是一个缺陷点，将两个缺陷点合并，形成最终缺陷点列表并存入数据库中。
缺陷点合并的原因为：根据检测相机的取像特点，最终形成的图像实际上是由很多的帧图拼接而成，相邻两幅帧图拼接时会有一定大小的重合区域，由于拼接时必然会产生位置误差，则在重合区域内的同一个缺陷点就会产生错位，变成两个缺陷，所以需要对初始缺陷点列表中的缺陷点进行合并。
其中，每个通道的图像上存在亮或暗的噪声像素点，这些无法避免的噪声像素点由成像***本身造成的，在微米级别的缺陷检测中，这些噪声像素点和液晶面板上的真实缺陷体现在图像的信号强度上是相当的，很难区分真假。
基于上述内容，现有技术方案存在如下问题：
1、由于不同通道的检测能力是不同的，得到的最终缺陷点列表也是不同的，即不同通道检测到的缺陷点(包括误检缺陷点或漏检缺陷点)的数量和位置是存在差异的，现有技术不具有区分、利用缺陷点通道信息的能力，无法呈现多个通道综合检测到的缺陷点，用户不能直观辨别哪些是误检缺陷点或者漏检缺陷点，用户体验较差。
2、当缺陷点较多时(例如上万个)，采用循环遍历的方法合并初始的缺陷点列表中的缺陷点，需要至少几千万次遍历，需要花费非常多的时间成本。
发明内容
针对现有技术中存在的缺陷，本发明的目的在于提供一种多通道缺陷合并分析的方法及***，能够快速显示单个通道或者多个通道组合形成的缺陷点，帮助用户能直观辨别误检缺陷点或者漏检缺陷点。
为达到以上目的，本发明采取的技术方案是：一种多通道缺陷合并分析的方法，包括以下步骤：
将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储；
分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储；
将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息；
根据单个通道或者多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。
在上述技术方案的基础上，将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设第一阈值的缺陷点合并，包括以下步骤：
根据每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点的坐标，确定缺陷点的分布区域，并使用预设的第一步距将该区域划分成相同大小的第一网格；
将每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点分成多个第一类组别，使每个第一类组别中缺陷点之间的间隔距离小于预设的第一阈值，且每个第一类组别中所有缺陷点位于同一个第一网格或者与该第一网格相邻的第一网格中，将每个第一类组别内的所有缺陷点合并。
在上述技术方案的基础上，将每个第一类组别内的所有缺陷点合并，包括以下步骤：
每个第一类组别内合并后的缺陷点坐标为该第一类组别内所有缺陷点坐标形成矩形区域的中心，合并后的缺陷点面积为该第一类组别内所有缺陷点的面积之和。
在上述技术方案的基础上，将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，包括以下步骤：
根据各个通道的最终缺陷点子表间的所有缺陷点的坐标，确定缺陷点的分布区域，并使用预设的第二步距将该区域划分成相同大小的第二网格；
将各个通道的最终缺陷点子表间的所有缺陷点分成多个第二类组别，使每个第二类组别中缺陷点之间的间隔距离小于预设的第二阈值，且每个第二类组别中所有缺陷点位于同一个第二网格或者与该第二网格相邻的第二网格中，将每个第二类组别内的所有缺陷点合并。
在上述技术方案的基础上，将每个第二类组别内的所有缺陷点进行合并，包括以下步骤：
每个第二类组别内合并后的缺陷点坐标为该第二类组别内面积最大的缺陷点的坐标，合并后的缺陷点面积为该第二类组别内面积最大的缺陷点的面积。
在上述技术方案的基础上，所述多个通道的组合包括多个通道之间的与、或以及非组合。
在上述技术方案的基础上，所述通道数包括但不限于三个。
在上述技术方案的基础上，使用一个字符串记录最终缺陷点表中的每个缺陷点，所述字符串包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息。
本发明的目的在于还提供一种多通道缺陷合并分析的***，包括：
分表模块，其用于将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储；
第一合并模块，其用于分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储；
第二合并模块，其用于将不同通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，其中最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息；
显示模块，其用于根据单个通道或者多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。
在上述技术方案的基础上，所述第二合并模块还用于使用一个字符串记录最终缺陷点表中的每个缺陷点，使所述字符串包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息。
与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明的多通道缺陷合并分析的方法及***，将多个通道检测得到的缺陷点经过两次合并形成最终缺陷点表，利用合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息，将单个通道或者多个通道组合的缺陷点进行显示，用户能够根据需求选择需要显示的缺陷点，帮助用户能直观辨别误检缺陷点或者漏检缺陷点，提升用户体验和检测结果的准确性。
附图说明
图1为本发明实施例中多通道缺陷合并分析的方法的流程图；
图2为本发明实施例中第一通道的缺陷点显示的效果图；
图3为本发明实施例中第二通道的缺陷点显示的效果图；
图4为本发明实施例中第三通道的缺陷点显示的效果图；
图5为本发明实施例中通道组合(第一通道OR第二通道OR第三通道)的缺陷点显示的效果图；
图6为本发明实施例中通道组合(第一通道AND第二通道AND第三通道)的缺陷点显示的效果图；
图7为本发明实施例中多通道缺陷合并分析的方法的缺陷点合并的流程图；
图8为本发明实施例中缺陷点合并时的示意图；
图9为本发明实施例中缺陷点合并时的无向图；
图10为本发明实施例中多通道缺陷合并分析的***的示意图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本发明作进一步详细说明。
参见图1所示，本发明实施例提供一种多通道缺陷合并分析的方法，包括以下步骤：
步骤S101，将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储。具体地，本发明实施例的通道为三个，包括第一通道、第二通道以及第三通道，初始缺陷点列表中记录有三个通道检测到的所有缺陷点信息，缺陷点信息包括缺陷点的坐标以及缺陷点的通道信息，缺陷点的通道信息是指该缺陷点由哪一个通道检测得到的。将三个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应三个通道的初始缺陷点子表，将三个通道的初始缺陷点子表存储在数据库中。
步骤S102，分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储。具体地，使用坐标计算每个通道的初始缺陷点子表内缺陷点之间的距离，将三个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到三个通道的最终缺陷点子表，将三个通道的最终缺陷点子表存储在数据库中，每个最终缺陷点子表中记录每个缺陷点的坐标以及缺陷点的通道信息。
步骤S103，将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息。具体地，三个通道的最终缺陷点子表中缺陷点的坐标可以理解为是同一坐标系标定的，使用的坐标计算三个通道的最终缺陷点子表中所有缺陷点之间的距离，将三个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到一个最终缺陷点表，将最终缺陷点表存储在数据库中，最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息，即最终缺陷点表中的每个缺陷点记录有合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点来自哪一个或者哪几个通道。本发明实施例中预设的第二阈值和预设的第一阈值相等。本发明实施例使用一个字符串记录标识最终缺陷点表中的每个缺陷点，字符串包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息，即最终缺陷点表中的每个缺陷点记录有合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点来自哪一个或者哪几个通道。通过字符串记录的方式使得缺陷点信息提取和检索方便、高效。
步骤S104，根据单个通道或者多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。
具体地，根据单个通道，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示如下：
(1)选择第一通道
参见图2所示，具体含义为：在选择该通道条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点有来自于第一通道。
(2)选择第二通道
参见图3所示，具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点有来自于第二通道。
(3)选择第三通道
参见图4所示，具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点有来自于第三通道。
具体地，根据多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示如下：
本发明实施例中将第一通道、第二通道以及第三通道的进行与、或以及非组合。组合包括但不限于以下几种(下述AND表示逻辑与，OR表示逻辑或，NOT表示逻辑非)：
(4)选择第一通道OR第二通道
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点来自于第一通道或者第二通道。
(5)选择第一通道OR第三通道
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点来自于第一通道或者第三通道。
(6)选择第二通道OR第三通道
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点来自于第二通道或者第三通道。
(7)选择第一通道AND第二通道
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点同时来自于第一通道和第二通道。
(8)选择第一通道AND第三通道
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点同时来自于第一通道和第三通道。
(9)选择第二通道AND第三通道
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点同时来自于第二通道和第三通道。
(10)选择第一通道OR第二通道OR第三通道
参见图5所示，以第一通道、第二通道以及第三通道都检测的A、B区域作为参考，具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点来自于第一通道、或者第二通道、或者第三通道。通过对比图2、图3、图4以及图5可知，在选择该通道组合条件下，只要是通过第一通道、第二通道以及第三通道在A、B区域检测到的缺陷点，图5中都能够显示。
(11)选择第一通道AND第二通道AND第三通道
参见图6所示，以第一通道、第二通道以及第三通道都检测的A、B区域作为参考，具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点同时来自于第一通道、第二通道和第三通道。通过对比图2、图3、图4以及图6可知，在选择该通道组合条件下，只有通过第一通道、第二通道以及第三通道在A、B区域都同时检测到的缺陷点，才会在图6中显示，大大提升用户直观辨别误检缺陷点或者漏检缺陷点的效率。
(12)选择第一通道AND第二通道NOT第三通道：
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点同时来自于第一通道和第二通道，且不来自于第三通道。
(13)选择第一通道AND第三通道NOT第二通道
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点同时来自于第一通道和第三通道，且不来自于第二通道。
(14)选择第二通道AND第三通道NOT第一通道：
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点同时来自于第二通道和第三通道，且不来自于第一通道。
(15)选择第一通道NOT第二通道NOT第三通道；
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点只来自于第一通道，且不来自于第二通道和第三通道。
(16)选择第二通道NOT第一通道NOT第三通道；
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点只来自于第二通道，且不来自于第一通道和第三通道。
(17)选择第三通道NOT第一通道NOT第二通道；
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点只来自于第三通道，且不来自于第一通道和第二通道。
(18)选择(第一通道AND第二通道)OR(第一通道AND第三通道)OR(第二通道AND第三通道)
具体含义为：在选择该通道组合条件下显示的每一个缺陷点中，合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点同时来自于任意两个通道。
与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明的多通道缺陷合并分析的方法，将多个通道检测得到的缺陷点经过两次合并形成最终缺陷点表，利用合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息，将单个通道或者多个通道组合的缺陷点进行显示，用户能够根据需求选择需要显示的缺陷点，帮助用户能直观辨别误检缺陷点或者漏检缺陷点，提升用户体验和检测结果的准确性。
作为优选的实施方式，参见图7所示，将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设第一阈值的缺陷点合并，具体包括以下步骤：
步骤S201，根据每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点的坐标，确定缺陷点的分布区域，并使用预设的第一步距将该区域划分成相同大小的第一网格。
具体地，遍历初始缺陷点子表内的所有缺陷点，统计所有缺陷点坐标X、Y，找出坐标极值点MaxX、MinX，MaxY、MinY，形成分布区域范围(MinX，MinY),(MaxX，MinY),(MinX，MaxY)，(MaxX，MaxY)，根据预设的第一步距将缺陷点的分布区域划分成相同大小的二维网格，预设的第一步距优先取值为1mm。
步骤S202，将每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点分成多个第一类组别，使每个第一类组别中缺陷点之间的间隔距离小于预设的第一阈值，且每个第一类组别中所有缺陷点位于同一个第一网格或者相邻的第一网格中，将每个第一类组别内的所有缺陷点合并。
具体地，在每个缺陷点所在网格及相邻的网格中，将该缺陷点及与该缺陷点距离小于预设的第一阈值的缺陷点连接形成无向图，这里预设的第一阈值远小于预设的第一步距。
将所有缺陷点从0至n进行编号，设置一个用于标记组别编号的数组{a0，a1，…，ai，…，an}，元素ai的值表示第i号缺陷点所在的组别编号值；
将数组中的元素的值初始化，遍历数组中的组别编号值，将位于同一无向图的缺陷点对应的组别编号值依次递归设置为N，N从0开始取值，最后将相同组别编号值所对应的缺陷点进行合并。
进一步地，参考图8和图9所示，假设有八个缺陷点需要合并，数组中的所有组别编号值初始化为-1：{-1，-1，-1，-1，-1，-1，-1，-1}，表示缺陷点编号为0～7的八个缺陷点的组别编号均为-1，遍历数组中的组别编号值，将0号缺陷点所在无向图内中所有和0号缺陷点相连的缺陷点(包括0号缺陷点)在数组中的组别编号值置为0，得到{0，0，0，0，-1，-1，-1，-1}。使N＝N+1＝1，继续遍历数组，得到下一个组别编号值为-1的点，即点4，将在无向图中所有和4相连的点(包括点4)在数组中的组别编号值置为1，得到{0，0，0，0，1，1，1，1}，分组完成，其中点0，1，2，3属于组别0，点4，5，6，7属于组别1，最后遍历数组，将相同组别编号值所对应的缺陷点进行合并。
与现有的循环遍历合并方法比较，每个缺陷点只需在自身所在网格及相邻的网格中寻找合并的缺陷点，大大降低了遍历次数，点的数量越多，本发明实施例中的计算优势越明显。
作为优选的实施方式，将每个第一类组别内的所有缺陷点合并，包括以下步骤：
每个第一类组别内合并后的缺陷点坐标为该第一类组别内所有缺陷点坐标形成矩形区域的中心，合并后的缺陷点面积为该第一类组别内所有缺陷点的面积之和。通过这样的合并方式，使得合并的缺陷点坐标和尺寸更加准确。
作为优选的实施方式，将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，包括以下步骤：
根据各个通道的最终缺陷点子表间的所有缺陷点的坐标，确定缺陷点的分布区域，并使用预设的第二步距将该区域划分成相同大小的第二网格；
将各个通道的最终缺陷点子表间的所有缺陷点分成多个第二类组别，使每个第二类组别中缺陷点之间的间隔距离小于预设的第二阈值，且每个第二类组别中所有缺陷点位于同一个第二网格或者相邻的第二网格中，将每个第二类组别内的所有缺陷点合并。
具体地，各个通道的最终缺陷点子表间的缺陷点合并，其合并方式与每个通道的初始缺陷点子表内的缺陷点合并类似，预设的第二步距与预设的第一步距相等，预设的第二阈值与预设的第一阈值相等。
作为优选的实施方式，将每个第二类组别内的所有缺陷点进行合并，包括以下步骤：
每个第二类组别内合并后的缺陷点坐标为该第二类组别内面积最大的缺陷点的坐标，合并后的缺陷点面积为该第二类组别内面积最大缺陷点的面积。由于是不同通道的最终缺陷点子表间的缺陷点合并，通过这样的合并方式，使得合并的缺陷点坐标和尺寸误差较小。
参见图10所示，本发明实施例还提供一种多通道缺陷合并分析的***，包括：
分表模块，其用于将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应不同通道的初始缺陷点子表并存储。
第一合并模块，其用于将每个通道的初始缺陷点子表内的间隔预设距离的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储。
第二合并模块，其用于将不同通道的最终缺陷点子表间的间隔预设距离的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，其中最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息。本发明实施例中第二合并模块还用于使用一个字符串记录标识最终缺陷点表中的每个缺陷点，使字符串包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息。通过字符串记录的方式使得缺陷点信息提取和检索方便、高效。
显示模块，其用于根据不同通道的组合将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。
与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明的多通道缺陷合并分析的***，将多个通道检测得到的缺陷点经过两次合并形成最终缺陷点表，利用合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息，将单个通道或者多个通道组合的缺陷点进行显示，用户能够根据需求选择需要显示的缺陷点，帮助用户能直观辨别误检缺陷点或者漏检缺陷点，提升用户体验和检测结果的准确性。
本发明不局限于上述实施方式，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围之内。本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

Claims (9)

1.一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于，包括以下步骤：
将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储；
分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储；其中，所述将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，包括：根据每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点的坐标，确定缺陷点的分布区域，并使用预设的第一步距将该区域划分成相同大小的第一网格；将每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点分成多个第一类组别，使每个第一类组别中缺陷点之间的间隔距离小于预设的第一阈值，且每个第一类组别中所有缺陷点位于同一个第一网格或者与该第一网格相邻的第一网格中，将每个第一类组别内的所有缺陷点合并；
将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息；
根据单个通道或者多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。
2.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于，将每个第一类组别内的所有缺陷点合并，包括以下步骤：
每个第一类组别内合并后的缺陷点坐标为该第一类组别内所有缺陷点坐标形成矩形区域的中心，合并后的缺陷点面积为该第一类组别内所有缺陷点的面积之和。
3.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于，将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，包括以下步骤：
根据各个通道的最终缺陷点子表间的所有缺陷点的坐标，确定缺陷点的分布区域，并使用预设的第二步距将该区域划分成相同大小的第二网格；
将各个通道的最终缺陷点子表间的所有缺陷点分成多个第二类组别，使每个第二类组别中缺陷点之间的间隔距离小于预设的第二阈值，且每个第二类组别中所有缺陷点位于同一个第二网格或者与该第二网格相邻的第二网格中，将每个第二类组别内的所有缺陷点合并。
4.如权利要求3所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于，将每个第二类组别内的所有缺陷点进行合并，包括以下步骤：
每个第二类组别内合并后的缺陷点坐标为该第二类组别内面积最大的缺陷点的坐标，合并后的缺陷点面积为该第二类组别内面积最大的缺陷点的面积。
5.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于：所述多个通道的组合包括多个通道之间的与、或以及非组合。
6.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于：所述通道数包括但不限于三个。
7.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于：
使用一个字符串记录最终缺陷点表中的每个缺陷点，所述字符串包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息。
8.一种用于如权利要求1所述方法的多通道缺陷合并分析的***，其特征在于，包括：
分表模块，其用于将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储；
第一合并模块，其用于分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储；其中，所述将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，包括：根据每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点的坐标，确定缺陷点的分布区域，并使用预设的第一步距将该区域划分成相同大小的第一网格；将每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点分成多个第一类组别，使每个第一类组别中缺陷点之间的间隔距离小于预设的第一阈值，且每个第一类组别中所有缺陷点位于同一个第一网格或者与该第一网格相邻的第一网格中，将每个第一类组别内的所有缺陷点合并；
第二合并模块，其用于将不同通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，其中最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息；
显示模块，其用于根据单个通道或者多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。
9.如权利要求8所述的一种多通道缺陷合并分析的***，其特征在于：
所述第二合并模块还用于使用一个字符串记录最终缺陷点表中的每个缺陷点，使所述字符串包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息。
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