CN110202709A - 一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,包括主机体,所述主机体内开设有工作腔,所述工作腔内设有夹紧柱,所述夹紧柱的外周上设有可固定单晶棒料的夹紧机构,所述夹紧柱的下侧固设有支撑块,所述工作腔的底壁上滑动设有滑板,所述支撑块固设在所述滑板上,本发明可使单晶棒料的切割工序和水洗脱胶工序集成在一起,让单晶棒料的加工变得更加简单,且其能够节省很多不必要的人工劳动力,其中,夹紧机构能够在棒料切割的时候夹紧更加稳定,移动机构能够在棒料一次切割完成后,自动往切割点送料,使切割工序更加的高效。
Description
技术领域
本发明涉及单晶技术领域,具体为一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置。
背景技术
目前单晶产品越来越被广泛使用,其中有一种单晶棒料的成型加工需要进行切割工序和水洗脱胶工序,需要很多设备和人工劳动力,对切割而言,目前市面上的设备,在低成本高性能的前提下,很少有自动送料以及自动切割的,都需要人工手动协助,且自动切割往往需要多个电机同时控制不同的运动,另外,一般的夹紧装置稳定性差,对水洗脱胶而言,现有的单晶棒料水洗脱胶设备在切割物水洗脱胶时,胶水和碎屑在脱胶后通常会堆积在脱胶台的底部,长时间会影响后续的脱胶。
发明内容
本发明的目的在于提供一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,用于克服现有技术中的上述缺陷。
根据本发明的实施例的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,包括主机体,所述主机体内开设有工作腔,所述工作腔内设有夹紧柱,所述夹紧柱的外周上设有可固定单晶棒料的夹紧机构,所述夹紧柱的下侧固设有支撑块,所述工作腔的底壁上滑动设有滑板,所述支撑块固设在所述滑板上,所述工作腔的下侧靠左位置开设有移动槽,所述移动槽内设有可控制所述滑板左右滑动的移动机构,所述工作腔的顶壁上铰接设有两组左右对称的第一金属套,所述工作腔内设有支撑架和动力箱,所述支撑架和所述动力箱的顶面上均铰接有滑杆,两组所述滑杆左右对称,所述滑杆均与所述第一金属套滑动连接,所述滑杆的顶面与所述第一金属套之间均安装有第一弹簧,所述支撑架的下侧设有可以用于切割单晶棒料成圆片状的切割机构,所述动力箱的右侧连接设有可以控制所述动力箱和所述支撑架上下移动的升降机构,所述动力箱内开设有动力腔,所述动力腔内设有可以给所述切割机构和所述升降机构提供动力的动力机构,所述工作腔的下侧靠右位置连通设有清洗腔,所述清洗腔内设有可以接收单晶棒料被切割形成的单晶圆片,并进行水洗脱胶的清洗机构。
进一步的技术方案,所述夹紧机构包括固定套,所述固定套固设在所述夹紧柱的外周上,所述固定套的左侧固设有两组上下对称的气缸,所述气缸的右侧均动力连接有推动杆,所述推动杆向右延伸部分均贯穿所述固定套的内壁,且其右侧面均铰接有第一连杆,所述第一连杆的另一侧面均铰接有第二连杆,所述第二连杆的弯曲部分均与所述夹紧柱铰接,且其右侧面均固设有夹紧套,所述工作腔的底壁上固设有辅助台,所述辅助台位于所述夹紧柱右侧。
进一步的技术方案,所述移动机构包括第一电机,所述移动槽的下侧连通齿轮腔,所述第一电机固嵌在所述齿轮腔的底壁里,所述齿轮腔内设有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮与所述第一电机动力连接,所述齿轮腔的后壁上转动设有第二锥齿轮和第一齿轮,所述第一齿轮位于所述第二锥齿轮后侧,所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合,所述第一齿轮向上延伸部分伸入所述移动槽内,所述滑板下侧面带有齿牙,所述第一齿轮与所述滑板下侧面啮合。
进一步的技术方案,所述切割机构包括固设在所述动力箱的左侧面的矩形块,所述矩形块的左侧面转动设有两组前后对称的从动轮,所述支撑架转动安装有切割轴,所述切割轴的外周上固设有切割线轮,所述切割线轮与两组所述从动轮之间安装有金刚切割线,所述切割轴向右延伸部分贯穿所述支撑架和所述动力箱的内壁,并伸入所述动力腔内。
进一步的技术方案,所述升降机构包括皮带轴,所述皮带轴转动设在所述动力箱的右侧面上,所述皮带轴向左延伸部分伸入所述动力腔内,所述工作腔的顶壁上固设有两组左右对称的第二金属套,所述第二金属套均滑动连接有滑块,所述滑块与所述第二金属套之间均安装有第二弹簧,两组所述滑块之间转动设有从动轴,所述工作腔的顶壁上固设有固定柱,所述固定柱的左侧转动连接有传动轴,所述工作腔的上侧开设有传动腔,所述传动腔与所述工作腔之间连通设有连接腔,所述传动腔的右壁上转动设有横轴,所述皮带轴、所述从动轴、所述传动轴和所述横轴之间安装有第一皮带,所述第一皮带贯穿所述连接腔。
进一步的技术方案,所述支撑架的上侧面固设有第一螺套,所述动力箱的上侧面固设有第二螺套,所述工作腔和所述传动腔之间的内壁里转动设有第一螺杆和第二螺杆,所述第一螺杆位于所述第二螺杆左侧,所述第一螺杆和所述第二螺杆向上延伸部分均伸入所述传动腔内,所述第一螺杆的上侧面固设有第一带轮,所述第二螺杆的外周上固设有第二带轮,所述第一带轮和所述第二带轮之间安装有第二皮带,所述第一螺杆和所述第二螺杆向下延伸部分均伸入所述工作腔内,所述第一螺杆与所述第一螺套螺纹配合,所述第二螺杆与所述第二螺套螺纹配合,所述第二螺杆的上侧面固设有第三锥齿轮,所述横轴的左侧面固设有第四锥齿轮,所述第三锥齿轮与所述第四锥齿轮啮合。
进一步的技术方案,所述动力机构包括固设在所述动力腔右壁上的第二电机,所述第二电机的左侧动力连接有棘轮组件,所述动力腔的左壁转动设有齿轮轴,所述齿轮轴与所述棘轮组件固定连接,所述齿轮轴的外周上固设有第二齿轮,所述切割轴的右侧面固设有第三齿轮,所述第三齿轮与所述第二齿轮啮合,所述皮带轴的左侧面固设有第四齿轮,所述第四齿轮与所述棘轮组件啮合。
进一步的技术方案,所述清洗机构包括水洗轮,所述水洗轮转动设在所述清洗腔的底壁上,所述水洗轮的顶面固设有海绵,所述清洗腔的底壁里固嵌有第三电机,所述第三电机与所述水洗轮动力连接,所述水洗轮内壁里设有五组均匀排布的排胶孔,所述清洗腔左右两侧壁上均固设有辅助块,所述辅助块的下侧均转动安装有转盘,所述转盘的下侧固定安装有毛刷,所述清洗腔的下侧连通设有,所述的下侧连通安装有排污管,所述排污管可与外界连通,所述排污管的下侧面固设有排污阀,所述存污腔的右侧连通设有充液管,所述充液管与外界连通,且其位于外界部分固定安装有充液阀。
本发明的有益效果是:本发明可使单晶棒料的切割工序和水洗脱胶工序集成在一起,让单晶棒料的加工变得更加简单,且其能够节省很多不必要的人工劳动力,其中,夹紧机构能够在棒料切割的时候夹紧更加稳定,移动机构能够在棒料一次切割完成后,自动往切割点送料,使切割工序更加的高效,切割机构、升降机构和动力机构能够相互联动,仅用一个电机即可控制启动向下切割、停止切割和向上回收三种运动,让装置在稳定可靠的同时,其成本得到有效的控制,动力机构的水洗脱胶功能优化程度更高,水洗轮和排胶孔能够防止胶质堵塞。
附图说明
图1是本发明的内部整体结构示意图;
图2是本发明中金刚切割线的安装示意图;
图3是本发明图1中A-A方向的示意图;
图4是本发明图1中B的放大示意图。
具体实施方式
下面结合图1-4对本发明进行详细说明,为叙述方便,现对下文所说的方位规定如下:下文所说的上下左右前后方向与图1本身投影关系的上下左右前后方向一致。
参照图1-4,根据本发明的实施例的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,包括主机体12,所述主机体12内开设有工作腔11,所述工作腔11内设有夹紧柱18,所述夹紧柱18的外周上设有可固定单晶棒料13的夹紧机构101,所述夹紧柱18的下侧固设有支撑块17,所述工作腔11的底壁上滑动设有滑板16,所述支撑块17固设在所述滑板16上,所述工作腔11的下侧靠左位置开设有移动槽15,所述移动槽15内设有可控制所述滑板16左右滑动的移动机构102,所述工作腔11的顶壁上铰接设有两组左右对称的第一金属套20,所述工作腔11内设有支撑架23和动力箱29,所述支撑架23和所述动力箱29的顶面上均铰接有滑杆22,两组所述滑杆22左右对称,所述滑杆22均与所述第一金属套20滑动连接,所述滑杆22的顶面与所述第一金属套20之间均安装有第一弹簧21,所述支撑架23的下侧设有可以用于切割单晶棒料13成圆片状的切割机构103,所述动力箱29的右侧连接设有可以控制所述动力箱29和所述支撑架23上下移动的升降机构104,所述动力箱29内开设有动力腔35,所述动力腔35内设有可以给所述切割机构103和所述升降机构104提供动力的动力机构105,所述工作腔11的下侧靠右位置连通设有清洗腔57,所述清洗腔57内设有可以接收单晶棒料13被切割形成的单晶圆片,并进行水洗脱胶的清洗机构106。
另外,在一个实施例中,所述夹紧机构101包括固定套73,所述固定套73固设在所述夹紧柱18的外周上,所述固定套73的左侧固设有两组上下对称的气缸75,所述气缸75的右侧均动力连接有推动杆74,所述推动杆74向右延伸部分均贯穿所述固定套73的内壁,且其右侧面均铰接有第一连杆76,所述第一连杆76的另一侧面均铰接有第二连杆77,所述第二连杆77的弯曲部分均与所述夹紧柱18铰接,且其右侧面均固设有夹紧套78,所述工作腔11的底壁上固设有辅助台14,所述辅助台14位于所述夹紧柱18右侧,通过所述气缸75的运转,可使所述推动杆74向右移动,从而可使所述夹紧套78可夹紧所述单晶棒料13,所述辅助台14可支撑所述单晶棒料13。
另外,在一个实施例中,所述移动机构102包括第一电机19,所述移动槽15的下侧连通齿轮腔80,所述第一电机19固嵌在所述齿轮腔80的底壁里,所述齿轮腔80内设有第一锥齿轮81,所述第一锥齿轮81与所述第一电机19动力连接,所述齿轮腔80的后壁上转动设有第二锥齿轮82和第一齿轮83,所述第一齿轮83位于所述第二锥齿轮82后侧,所述第二锥齿轮82与所述第一锥齿轮81啮合,所述第一齿轮83向上延伸部分伸入所述移动槽15内,所述滑板16下侧面带有齿牙,所述第一齿轮83与所述滑板16下侧面啮合,通过所述第一电机19的运转,可使所述短轴79转动,进而可使所述第一齿轮83带动所述滑板16左右滑动。
另外,在一个实施例中,所述切割机构103包括固设在所述动力箱29的左侧面的矩形块28,所述矩形块28的左侧面转动设有两组前后对称的从动轮27,所述支撑架23转动安装有切割轴24,所述切割轴24的外周上固设有切割线轮25,所述切割线轮25与两组所述从动轮27之间安装有金刚切割线26,所述切割轴24向右延伸部分贯穿所述支撑架23和所述动力箱29的内壁,并伸入所述动力腔35内,通过所述切割轴24的转动,可使所述切割线轮25转动,从而可使所述金刚切割线26传动,进而使所述金刚切割线26具有切割的效果。
另外,在一个实施例中,所述升降机构104包括皮带轴36,所述皮带轴36转动设在所述动力箱29的右侧面上,所述皮带轴36向左延伸部分伸入所述动力腔35内,所述工作腔11的顶壁上固设有两组左右对称的第二金属套54,所述第二金属套54均滑动连接有滑块53,所述滑块53与所述第二金属套54之间均安装有第二弹簧55,两组所述滑块53之间转动设有从动轴72,所述工作腔11的顶壁上固设有固定柱39,所述固定柱39的左侧转动连接有传动轴40,所述工作腔11的上侧开设有传动腔71,所述传动腔71与所述工作腔11之间连通设有连接腔56,所述传动腔71的右壁上转动设有横轴51,所述皮带轴36、所述从动轴72、所述传动轴40和所述横轴51之间安装有第一皮带38,所述第一皮带38贯穿所述连接腔56,通过所述皮带轴36的转动,可使所述第一皮带38传动,从而可使所述横轴51转动,当所述皮带轴36向下移动时,所述从动轴72可通过所述第二弹簧55的弹性作用也同时向下移动,且所述第一皮带38在此时仍可传动。
另外,在一个实施例中,所述支撑架23的上侧面固设有第一螺套42,所述动力箱29的上侧面固设有第二螺套47,所述工作腔11和所述传动腔71之间的内壁里转动设有第一螺杆43和第二螺杆48,所述第一螺杆43位于所述第二螺杆48左侧,所述第一螺杆43和所述第二螺杆48向上延伸部分均伸入所述传动腔71内,所述第一螺杆43的上侧面固设有第一带轮44,所述第二螺杆48的外周上固设有第二带轮46,所述第一带轮44和所述第二带轮46之间安装有第二皮带45,所述第一螺杆43和所述第二螺杆48向下延伸部分均伸入所述工作腔11内,所述第一螺杆43与所述第一螺套42螺纹配合,所述第二螺杆48与所述第二螺套47螺纹配合,所述第二螺杆48的上侧面固设有第三锥齿轮49,所述横轴51的左侧面固设有第四锥齿轮50,所述第三锥齿轮49与所述第四锥齿轮50啮合,通过所述横轴51的转动,可使所述第二螺杆48传动,从而可使所述第二皮带45传动,进而可使所述第一螺杆43转动,所述第一螺杆43和所述第二螺杆48的同时转动,可使所述第一螺套42和所述第二螺套47同时上下移动,进而可使所述支撑架23和所述动力箱29同时上下移动,则可使所述切割机构103具有向下切割的作用。
另外,在一个实施例中,所述动力机构105包括固设在所述动力腔35右壁上的第二电机33,所述第二电机33的左侧动力连接有棘轮组件32,所述动力腔35的左壁转动设有齿轮轴31,所述齿轮轴31与所述棘轮组件32固定连接,所述齿轮轴31的外周上固设有第二齿轮30,所述切割轴24的右侧面固设有第三齿轮41,所述第三齿轮41与所述第二齿轮30啮合,所述皮带轴36的左侧面固设有第四齿轮34,所述第四齿轮34与所述棘轮组件32啮合,当所述第二电机33反转时,可使皮带轴36反转,进而可使所述支撑架23和所述动力箱29向上移动,当所述第二电机33正转时,可使所述皮带轴36正转,同时可使所述齿轮轴31转动,所述齿轮轴31转动可使所述切割轴24转动,进而可达到向下切割的效果。
另外,在一个实施例中,所述清洗机构106包括水洗轮62,所述水洗轮62转动设在所述清洗腔57的底壁上,所述水洗轮62的顶面固设有海绵61,所述清洗腔57的底壁里固嵌有第三电机64,所述第三电机64与所述水洗轮62动力连接,所述水洗轮62内壁里设有五组均匀排布的排胶孔63,所述清洗腔57左右两侧壁上均固设有辅助块58,所述辅助块58的下侧均转动安装有转盘59,所述转盘59的下侧固定安装有毛刷60,所述清洗腔57的下侧连通设有65,所述65的下侧连通安装有排污管66,所述排污管66可与外界连通,所述排污管66的下侧面固设有排污阀67,所述存污腔65的右侧连通设有充液管68,所述充液管68与外界连通,且其位于外界部分固定安装有充液阀69,通过所述充液管68可往所述存污腔65和所述清洗腔57内注入清水和脱胶剂,通过所述排污管66可排出污水,通过所述第三电机64的运转,可使所述水洗轮62转动,从而可达到水洗脱胶的效果,所述排胶孔63可过滤脱胶的废物,使其落入所述存污腔65中,所述海绵61具有缓冲的作用。
当使用时,把单晶棒料13右侧放置在辅助台14上,左侧放置在两组夹紧套78之间,启动气缸75,可使夹紧套78夹紧单晶棒料13,打开充液阀69,往清洗腔57和存污腔65内注入清水和脱胶剂,启动第三电机64,使水洗轮62转动并具有水洗效果,此时,正转第二电机33,当第二电机33正转时,可使皮带轴36正转,同时可使齿轮轴31转动,所述齿轮轴31可使所述切割轴24转动,切割轴24的转动可使切割线轮25转动,从而可使金刚切割线26传动,进而使金刚切割线26具有切割的效果,皮带轴36的转动可使第一皮带38传动,从而可使横轴51转动,当皮带轴36向下移动时,从动轴72可通过第二弹簧55的弹性作用也同时向下移动,且第一皮带38在此时仍可传动,横轴51的转动可使第二螺杆48传动,从而可使第二皮带45传动,进而可使第一螺杆43转动,第一螺杆43和第二螺杆48的同时转动,可使第一螺套42和第二螺套47同时向下移动,进而可使支撑架23和动力箱29同时向下移动,则可达到向下切割的效果,切割完成后,反转第二电机33,则停止切割,且支撑架23和动力箱29同时向上移动,打开第一电机19,通过第一电机19的运转,可使短轴79转动,进而可使第一齿轮83带动滑板16向右滑动一段距离,完成后再次正转第二电机33,进行二次切割。
本发明的有益效果是:本发明可使单晶棒料的切割工序和水洗脱胶工序集成在一起,让单晶棒料的加工变得更加简单,且其能够节省很多不必要的人工劳动力,其中,夹紧机构能够在棒料切割的时候夹紧更加稳定,移动机构能够在棒料一次切割完成后,自动往切割点送料,使切割工序更加的高效,切割机构、升降机构和动力机构能够相互联动,仅用一个电机即可控制启动向下切割、停止切割和向上回收三种运动,让装置在稳定可靠的同时,其成本得到有效的控制,动力机构的水洗脱胶功能优化程度更高,水洗轮和排胶孔能够防止胶质堵塞。
本领域的技术人员可以明确,在不脱离本发明的总体精神以及构思的情形下,可以做出对于以上实施例的各种变型。其均落入本发明的保护范围之内。本发明的保护方案以本发明所附的权利要求书为准。
Claims (8)
1.一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,包括主机体,其特征在于:所述主机体内开设有工作腔,所述工作腔内设有夹紧柱,所述夹紧柱的外周上设有可固定单晶棒料的夹紧机构,所述夹紧柱的下侧固设有支撑块,所述工作腔的底壁上滑动设有滑板,所述支撑块固设在所述滑板上,所述工作腔的下侧靠左位置开设有移动槽,所述移动槽内设有可控制所述滑板左右滑动的移动机构,所述工作腔的顶壁上铰接设有两组左右对称的第一金属套;
所述工作腔内设有支撑架和动力箱,所述支撑架和所述动力箱的顶面上均铰接有滑杆,两组所述滑杆左右对称,所述滑杆均与所述第一金属套滑动连接,所述滑杆的顶面与所述第一金属套之间均安装有第一弹簧,所述支撑架的下侧设有可以用于切割单晶棒料成圆片状的切割机构,所述动力箱的右侧连接设有可以控制所述动力箱和所述支撑架上下移动的升降机构,所述动力箱内开设有动力腔,所述动力腔内设有可以给所述切割机构和所述升降机构提供动力的动力机构,所述工作腔的下侧靠右位置连通设有清洗腔,所述清洗腔内设有可以接收单晶棒料被切割形成的单晶圆片,并进行水洗脱胶的清洗机构。
2.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述夹紧机构包括固定套,所述固定套固设在所述夹紧柱的外周上,所述固定套的左侧固设有两组上下对称的气缸,所述气缸的右侧均动力连接有推动杆,所述推动杆向右延伸部分均贯穿所述固定套的内壁,且其右侧面均铰接有第一连杆,所述第一连杆的另一侧面均铰接有第二连杆,所述第二连杆的弯曲部分均与所述夹紧柱铰接,且其右侧面均固设有夹紧套,所述工作腔的底壁上固设有辅助台,所述辅助台位于所述夹紧柱右侧。
3.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述移动机构包括第一电机,所述移动槽的下侧连通齿轮腔,所述第一电机固嵌在所述齿轮腔的底壁里,所述齿轮腔内设有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮与所述第一电机动力连接,所述齿轮腔的后壁上转动设有第二锥齿轮和第一齿轮,所述第一齿轮位于所述第二锥齿轮后侧,所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合,所述第一齿轮向上延伸部分伸入所述移动槽内,所述滑板下侧面带有齿牙,所述第一齿轮与所述滑板下侧面啮合。
4.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述切割机构包括固设在所述动力箱的左侧面的矩形块,所述矩形块的左侧面转动设有两组前后对称的从动轮,所述支撑架转动安装有切割轴,所述切割轴的外周上固设有切割线轮,所述切割线轮与两组所述从动轮之间安装有金刚切割线,所述切割轴向右延伸部分贯穿所述支撑架和所述动力箱的内壁,并伸入所述动力腔内。
5.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述升降机构包括皮带轴,所述皮带轴转动设在所述动力箱的右侧面上,所述皮带轴向左延伸部分伸入所述动力腔内,所述工作腔的顶壁上固设有两组左右对称的第二金属套,所述第二金属套均滑动连接有滑块,所述滑块与所述第二金属套之间均安装有第二弹簧,两组所述滑块之间转动设有从动轴,所述工作腔的顶壁上固设有固定柱,所述固定柱的左侧转动连接有传动轴,所述工作腔的上侧开设有传动腔,所述传动腔与所述工作腔之间连通设有连接腔,所述传动腔的右壁上转动设有横轴,所述皮带轴、所述从动轴、所述传动轴和所述横轴之间安装有第一皮带,所述第一皮带贯穿所述连接腔。
6.根据权利要求5所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述支撑架的上侧面固设有第一螺套,所述动力箱的上侧面固设有第二螺套,所述工作腔和所述传动腔之间的内壁里转动设有第一螺杆和第二螺杆,所述第一螺杆位于所述第二螺杆左侧,所述第一螺杆和所述第二螺杆向上延伸部分均伸入所述传动腔内,所述第一螺杆的上侧面固设有第一带轮,所述第二螺杆的外周上固设有第二带轮,所述第一带轮和所述第二带轮之间安装有第二皮带,所述第一螺杆和所述第二螺杆向下延伸部分均伸入所述工作腔内,所述第一螺杆与所述第一螺套螺纹配合,所述第二螺杆与所述第二螺套螺纹配合,所述第二螺杆的上侧面固设有第三锥齿轮,所述横轴的左侧面固设有第四锥齿轮,所述第三锥齿轮与所述第四锥齿轮啮合。
7.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述动力机构包括固设在所述动力腔右壁上的第二电机,所述第二电机的左侧动力连接有棘轮组件,所述动力腔的左壁转动设有齿轮轴,所述齿轮轴与所述棘轮组件固定连接,所述齿轮轴的外周上固设有第二齿轮,所述切割轴的右侧面固设有第三齿轮,所述第三齿轮与所述第二齿轮啮合,所述皮带轴的左侧面固设有第四齿轮,所述第四齿轮与所述棘轮组件啮合。
8.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述清洗机构包括水洗轮,所述水洗轮转动设在所述清洗腔的底壁上,所述水洗轮的顶面固设有海绵,所述清洗腔的底壁里固嵌有第三电机,所述第三电机与所述水洗轮动力连接,所述水洗轮内壁里设有五组均匀排布的排胶孔,所述清洗腔左右两侧壁上均固设有辅助块,所述辅助块的下侧均转动安装有转盘,所述转盘的下侧固定安装有毛刷,所述清洗腔的下侧连通设有,所述的下侧连通安装有排污管,所述排污管可与外界连通,所述排污管的下侧面固设有排污阀,所述存污腔的右侧连通设有充液管,所述充液管与外界连通,且其位于外界部分固定安装有充液阀。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110586501A (zh) * | 2019-09-28 | 2019-12-20 | 广州凤天包装材料有限公司 | 一种适用性高的水泥包装异常处理装置 |
CN112024490A (zh) * | 2020-08-31 | 2020-12-04 | 杭州中为光电技术有限公司 | 高效的圆晶棒升降式除尘设备 |
CN113878631A (zh) * | 2021-10-13 | 2022-01-04 | 程学祥 | 一种自动修正书本的设备 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113163614A (zh) * | 2021-03-26 | 2021-07-23 | 苏州晓岩居贸易有限公司 | 一种便于维修的数字电视芯片***及其使用方法 |
CN113772197A (zh) * | 2021-09-13 | 2021-12-10 | 南通市华冠电器有限公司 | 全自动尼龙轧带机 |
CN114326173B (zh) * | 2021-12-15 | 2023-05-09 | 华玻视讯(珠海)科技有限公司 | 一种液晶屏生产用胶体定型固化设备 |
CN114643638B (zh) * | 2022-03-24 | 2024-06-21 | 湖南德力电力建设集团有限公司线路器材制造分公司 | 一种水泥电线杆生产用蒸养装置 |
CN114850878B (zh) * | 2022-04-29 | 2023-04-14 | 南通鲜派食品有限公司 | 一种食品用铁罐加工用剪板机 |
CN115262136A (zh) * | 2022-08-17 | 2022-11-01 | 吴相民 | 一种布匹清洗装置 |
CN115890938B (zh) * | 2022-11-02 | 2023-10-31 | 无锡展照精密机械科技有限公司 | 一种冷却液循环利用的金刚线切片设备 |
CN116237856B (zh) * | 2023-03-01 | 2023-10-20 | 东莞金坤新材料股份有限公司 | 一种智能温控冷却式磁性体多线切割设备 |
CN116462417B (zh) * | 2023-03-15 | 2024-05-28 | 惠州吉祥达机械设备有限公司 | 一种手机后盖玻璃的磨砂加工装置 |
CN118386329B (zh) * | 2024-06-26 | 2024-08-23 | 汇精(厦门)电子科技有限公司 | 一种光学胶切割用高效模切机 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105479604A (zh) * | 2015-12-28 | 2016-04-13 | 浙江芯能光伏科技股份有限公司 | 一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置 |
CN106346622A (zh) * | 2016-11-16 | 2017-01-25 | 盛江 | 一种电池生产工艺用单晶硅棒切片设备 |
CN107433277A (zh) * | 2017-10-12 | 2017-12-05 | 江苏秉宸科技有限公司 | 一种单晶硅棒切割后的水洗脱胶台 |
CN108437243A (zh) * | 2018-03-16 | 2018-08-24 | 福州天瑞线锯科技有限公司 | 一种多工位环形线锯切割机 |
CN109049374A (zh) * | 2018-09-10 | 2018-12-21 | 张玉锦 | 一种led灯生产用单晶棒切割装置 |
US20190184603A1 (en) * | 2017-12-14 | 2019-06-20 | Sk Siltron Co., Ltd. | Ingot clamping device and wire sawing apparatus for slicing ingot having the same |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48104255U (zh) * | 1972-03-11 | 1973-12-05 | ||
JPH064219B2 (ja) * | 1985-02-07 | 1994-01-19 | 住友金属工業株式会社 | ワイヤ式切断加工装置の溝ロ−ラ駆動方法 |
JPH0647234B2 (ja) * | 1987-05-06 | 1994-06-22 | 株式会社山名製作所 | 硬脆物質の切断装置 |
KR20010021539A (ko) * | 1997-07-07 | 2001-03-15 | 존 비. 호드스덴 | 다이아몬드 함유 와이어를 이용하여 작업물을 얇게절단하기 위한 장치 및 방법 |
JPH11283942A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-10-15 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウェーハの回収方法および回収設備 |
-
2019
- 2019-07-09 CN CN201910617045.6A patent/CN110202709A/zh not_active Withdrawn
- 2019-11-06 JP JP2019201757A patent/JP2021013006A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105479604A (zh) * | 2015-12-28 | 2016-04-13 | 浙江芯能光伏科技股份有限公司 | 一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置 |
CN106346622A (zh) * | 2016-11-16 | 2017-01-25 | 盛江 | 一种电池生产工艺用单晶硅棒切片设备 |
CN107433277A (zh) * | 2017-10-12 | 2017-12-05 | 江苏秉宸科技有限公司 | 一种单晶硅棒切割后的水洗脱胶台 |
US20190184603A1 (en) * | 2017-12-14 | 2019-06-20 | Sk Siltron Co., Ltd. | Ingot clamping device and wire sawing apparatus for slicing ingot having the same |
CN108437243A (zh) * | 2018-03-16 | 2018-08-24 | 福州天瑞线锯科技有限公司 | 一种多工位环形线锯切割机 |
CN109049374A (zh) * | 2018-09-10 | 2018-12-21 | 张玉锦 | 一种led灯生产用单晶棒切割装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110586501A (zh) * | 2019-09-28 | 2019-12-20 | 广州凤天包装材料有限公司 | 一种适用性高的水泥包装异常处理装置 |
CN110586501B (zh) * | 2019-09-28 | 2020-05-26 | 广西虎鹰水泥有限公司 | 一种水泥包装异常处理装置 |
CN112024490A (zh) * | 2020-08-31 | 2020-12-04 | 杭州中为光电技术有限公司 | 高效的圆晶棒升降式除尘设备 |
CN112024490B (zh) * | 2020-08-31 | 2024-05-28 | 杭州中为光电技术有限公司 | 高效的圆晶棒升降式除尘设备 |
CN113878631A (zh) * | 2021-10-13 | 2022-01-04 | 程学祥 | 一种自动修正书本的设备 |
CN113878631B (zh) * | 2021-10-13 | 2023-07-25 | 广州一龙印刷有限公司 | 一种自动修正书本的设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021013006A (ja) | 2021-02-04 |
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