CN110193481B - Pm刮拭治具 - Google Patents
Pm刮拭治具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110193481B CN110193481B CN201910454506.2A CN201910454506A CN110193481B CN 110193481 B CN110193481 B CN 110193481B CN 201910454506 A CN201910454506 A CN 201910454506A CN 110193481 B CN110193481 B CN 110193481B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bulges
- edge
- scraping
- notch
- scraping plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007790 scraping Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 12
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 claims description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 239000010931 gold Substances 0.000 abstract description 8
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 210000003811 finger Anatomy 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 210000004935 right thumb Anatomy 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/10—Cleaning by methods involving the use of tools characterised by the type of cleaning tool
- B08B1/16—Rigid blades, e.g. scrapers; Flexible blades, e.g. wipers
- B08B1/165—Scrapers
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
本发明提供了一种PM刮拭治具，包括：刮擦板，其上边缘开设有一用于刮擦口金边缘的光阻的缺口；支撑机构，其与所述刮擦板的下边缘连接。本发明通过采用该缺口来对口金边缘的光阻进行擦除，具有擦除效果好，避免光阻残留的有益效果。
Description
技术领域
本发明涉及显示面板加工领域，特别涉及一种PM刮拭治具。
背景技术
在阵列基板的制作工艺中，通常要采用光阻层来形成图案以便于后续的光刻操作。在完成光刻操作后，需要采用右手拇指和食指夹成V型从右到左方向擦口金边缘多次后再擦拭边缘内侧，其为单纯人工擦拭清洁,容易光阻残留。
在现有的模式下，作业上操作性存在些缺陷，急需及时改进。
发明内容
本发明提供一种PM刮拭治具，可以避免口金边缘的光阻残留。
本发明提供了一种PM刮拭治具，包括：
刮擦板，其上边缘开设有一用于刮擦口金边缘的光阻的缺口；
支撑机构，其与所述刮擦板的下边缘连接。
在本发明所述的PM刮拭治具中，所述缺口包括一底边、两个竖直侧边以及两个倾斜边；
所述底边与所述刮擦板的上边缘平行，所述两个竖直侧边的下端分别与所述底边的两端垂直连接，所述两个倾斜边的下端分别与所述两个竖直侧边的上端连接，所述两个倾斜边的上端分别与所述上边缘连接，所述倾斜边的上端朝向远离所述缺口的中轴线的方向倾斜。
在本发明所述的PM刮拭治具中，所述竖直侧边与对应倾斜边的夹角为135度。
在本发明所述的PM刮拭治具中，所述支撑机构包括支撑柱以及连接座，所述支撑柱的顶端与所述连接座的底部连接，所述刮擦板安装于所述连接座上。
在本发明所述的PM刮拭治具中，所述连接座包括基座以及设置于所述基座上的两个第一凸起以及两个第二凸起，所述两个第一凸起间隔设置以在其间形成一第一夹缝，所述两个第二凸起间隔设置以在其间形成一第二夹缝；
所述第一夹缝以及所述第二夹缝相互正对，所述刮擦板卡接在所述第一夹缝以及所述第二夹缝中。
在本发明所述的PM刮拭治具中，所述两个第一凸起上分别开设有相互正对的第一螺纹孔，所述两个第二凸起上分别开设有相互正对的第二螺纹孔，所述刮擦板上设置有第一通孔以及第二通孔；
所述支撑机构还包括第一螺栓以及第二螺栓，所述第一螺栓螺接在两个所述第一螺纹孔以及所述第一通孔中，所述第二螺栓螺接在两个所述第二螺纹孔中以及所述第二通孔中。
在本发明所述的PM刮拭治具中，所述基座以及设置于所述基座、所述第一凸起以及所述第二凸起为一体成型结构。
在本发明所述的PM刮拭治具中，所述支撑柱上设置有防滑纹。
在本发明所述的PM刮拭治具中，所述缺口的内侧壁上设置有用于增强摩擦力的摩擦机构。
在本发明所述的PM刮拭治具中，所述摩擦机构为波纹结构。
本发明的PM刮拭治具包括刮擦板，其上边缘开设有一用于刮擦口金边缘的光阻的缺口；支撑机构，其与所述刮擦板的下边缘连接，由于通过采用该缺口来对口金边缘的光阻进行擦除，提高擦除效率，具有擦除效果好，避免光阻残留的有益效果，进而提升PM效率及成功率。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明一些实施例中的一种PM刮拭治具的结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
请同时参阅图1，图1是本发明一些实施例中的一种PM刮拭治具的结构图，该PM刮拭治具用于擦除口金上的光阻。该PM刮拭治具包括：刮擦板10以及支撑机构20。支撑机构20与所述刮擦板10的下边缘连接。
其中，该刮擦板10大致呈矩形块状，该刮擦板10的上边缘开设有一用于刮擦口金边缘的光阻的缺口11。缺口11的形状与口金的边缘轮廓形状相互适配。具体地，该缺口11包括一底边111、两个竖直侧边112以及两个倾斜边113；所述底边111与所述刮擦板10的上边缘平行，所述两个竖直侧边112的下端分别与所述底边111的两端垂直连接，所述两个倾斜边113的下端分别与所述两个竖直侧边112的上端连接，所述两个倾斜边113的上端分别与所述上边缘连接，所述倾斜边113的上端朝向远离所述缺口11的中轴线的方向倾斜。竖直侧边112与对应倾斜边113的夹角为135度。缺口11的内侧壁上设置有用于增强摩擦力的摩擦机构。摩擦机构为波纹结构，或者该摩擦机构为多个微型凸点构成的阵列。
其中，支撑机构20包括支撑柱21以及连接座22，所述支撑柱21的顶端与所述连接座22的底部连接，所述刮擦板10安装于所述连接座22上。连接座22包括基座221以及设置于所述基座221上的两个第一凸起2211以及两个第二凸起2212，所述两个第一凸起2211间隔设置以在其间形成一第一夹缝，所述两个第二凸起2212间隔设置以在其间形成一第二夹缝；第一夹缝以及所述第二夹缝相互正对，刮擦板10卡接在所述第一夹缝以及所述第二夹缝中。
具体地，该两个第一凸起2211上分别开设有相互正对的第一螺纹孔，所述两个第二凸起2212上分别开设有相互正对的第二螺纹孔，所述刮擦板10上设置有第一通孔以及第二通孔；支撑机构20还包括第一螺栓23以及第二螺栓24，所述第一螺栓螺23接在两个所述第一螺纹孔以及所述第一通孔中，所述第二螺栓螺接24在两个所述第二螺纹孔中以及所述第二通孔中。基座221以及所述第一凸起2211以及所述第二凸起2212为一体成型结构。支撑柱21上设置有防滑纹。
本发明的PM刮拭治具包括刮擦板，其上边缘开设有一用于刮擦口金边缘的光阻的缺口；支撑机构，其与所述刮擦板的下边缘连接，由于通过采用该缺口来对口金边缘的光阻进行擦除，具有擦除效果好，避免光阻残留的有益效果，进而提升PM效率及成功率。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (3)
1.一种PM刮拭治具，其特征在于，包括：
刮擦板，其上边缘开设有一用于刮擦口金边缘的光阻的缺口；以及
支撑机构，其与所述刮擦板的下边缘连接；
其中所述缺口包括一底边、两个竖直侧边以及两个倾斜边；
所述支撑机构包括支撑柱、连接座、第一螺栓以及第二螺栓，所述支撑柱的顶端与所述连接座的底部连接，所述刮擦板安装于所述连接座上，所述支撑柱上设置有防滑纹；
所述连接座包括基座以及设置于所述基座上的两个第一凸起以及两个第二凸起，所述两个第一凸起间隔设置以在其间形成一第一夹缝，所述两个第二凸起间隔设置以在其间形成一第二夹缝；
所述第一夹缝以及所述第二夹缝相互正对，所述刮擦板卡接在所述第一夹缝以及所述第二夹缝中；
所述两个第一凸起上分别开设有相互正对的第一螺纹孔，所述两个第二凸起上分别开设有相互正对的第二螺纹孔，所述刮擦板上设置有第一通孔以及第二通孔；
所述第一螺栓螺接在两个所述第一螺纹孔以及所述第一通孔中，所述第二螺栓螺接在两个所述第二螺纹孔中以及所述第二通孔中；
所述底边与所述刮擦板的上边缘平行，所述两个竖直侧边的下端分别与所述底边的两端垂直连接，所述两个倾斜边的下端分别与所述两个竖直侧边的上端连接，所述两个倾斜边的上端分别与所述上边缘连接，所述倾斜边的上端朝向远离所述缺口的中轴线的方向倾斜；
所述缺口的内侧壁上设置有用于增强摩擦力的摩擦机构；以及
所述摩擦机构包括波纹结构或多个微型凸点阵列结构。
2.根据权利要求1所述的PM刮拭治具，其特征在于，所述竖直侧边与对应倾斜边的夹角为135度。
3.根据权利要求1所述的PM刮拭治具，其特征在于，所述基座以及设置于所述基座、所述第一凸起以及所述第二凸起为一体成型结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910454506.2A CN110193481B (zh) | 2019-05-29 | 2019-05-29 | Pm刮拭治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910454506.2A CN110193481B (zh) | 2019-05-29 | 2019-05-29 | Pm刮拭治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110193481A CN110193481A (zh) | 2019-09-03 |
| CN110193481B true CN110193481B (zh) | 2021-03-23 |
Family
ID=67753338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910454506.2A Active CN110193481B (zh) | 2019-05-29 | 2019-05-29 | Pm刮拭治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110193481B (zh) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4489480B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2010-06-23 | 東京応化工業株式会社 | スリットノズル洗浄装置 |
| JP5841449B2 (ja) * | 2012-02-10 | 2016-01-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 拭き取りパッド及びこのパッドを用いたノズルメンテナンス装置並びに塗布処理装置 |
| CN203372672U (zh) * | 2013-06-24 | 2014-01-01 | 武汉钢铁(集团)公司 | 用于开启棒条闸门的装置 |
| CN108704897B (zh) * | 2018-05-21 | 2021-04-23 | 昆山龙腾光电股份有限公司 | 涂布机喷嘴的清洁装置以及清洁方法 |
| CN108983561A (zh) * | 2018-08-03 | 2018-12-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 涂布口金组件及涂布口金*** |
-
2019
- 2019-05-29 CN CN201910454506.2A patent/CN110193481B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110193481A (zh) | 2019-09-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6573157B1 (en) | Method of manufacturing semiconductor device, narrow pitch connector, electrostatic actuator, piezoelectric actuator, ink jet head, ink jet printer, micromachine, liquid crystal panel, and electronic device | |
| US20100289997A1 (en) | Display device | |
| US20090039907A1 (en) | Probe card for semiconductor test | |
| JP2008110533A (ja) | スクリーンマスク | |
| JP4571517B2 (ja) | プローブ組立体 | |
| CN110193481B (zh) | Pm刮拭治具 | |
| JP2013161871A (ja) | 印刷装置及びそれを用いた太陽電池セルの製造方法 | |
| JP2004156993A (ja) | プローブ及びこれを用いた電気的接続装置 | |
| US20080218191A1 (en) | Probe assembly with rotary tip | |
| WO2007083606A1 (ja) | 印刷用マスクおよびこれを用いた太陽電池の製造方法 | |
| JP2007139712A (ja) | プローブホルダおよびプローブユニット | |
| CN109677108A (zh) | 一种smt印刷机锡膏防外溢刮刀结构 | |
| KR100703043B1 (ko) | 검사용 프로브 기판 및 그 제조 방법 | |
| KR101306654B1 (ko) | 프로브 모듈 및 그 제조 방법, 상기 프로브 모듈을 갖는프로브 카드 및 그 제조 방법 | |
| KR101865756B1 (ko) | 짧은 스크럽마크를 위한 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법 | |
| US7794234B2 (en) | Electrical connector having a connect portion connecting two contact portions having projections and a drainage at least partially between the projections | |
| JP2010002391A (ja) | コンタクトプローブ及びその形成方法 | |
| JP2003043064A (ja) | 接触子製造用金型及びその製造方法並びに接触子の製造方法 | |
| JP4571007B2 (ja) | 通電試験用プローブ | |
| KR101098229B1 (ko) | 전자소자의 불량여부를 검사하는 접속소자 및 이의 제조방법 | |
| JP5276836B2 (ja) | プローブカード | |
| JP2003254995A (ja) | コンタクトプローブ | |
| KR100917793B1 (ko) | 프로브 핀에 대한 정렬장치 | |
| KR100887708B1 (ko) | 멤스 프로브 카드 및 그 제조방법 | |
| CN217892200U (zh) | 网版印刷用刮条及印刷组件 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Applicant after: TCL China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. Address before: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Applicant before: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. |
|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |