CN110174633A - 一种器件参数的测量方法、***及终端设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了器件参数的测量方法、***及终端设备，方法包括：获取待测器件的测量数据和负载牵引测量***的误差参数，所述测量数据为所述负载牵引测量***中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波；利用所述测量数据和所述负载牵引测量***的误差参数，计算所述待测器件的参数。通过获取矢量网络分析仪测量待测器件的实时测量数据，可以实时计算待测器件的参数，不受阻抗调配器机械重复性的影响，提高了待测器件的参数的测量准确度。

Description

一种器件参数的测量方法、***及终端设备

技术领域

本发明属于半导体技术领域，尤其涉及一种器件参数的测量方法、***及终端设备。

背景技术

目前的负载牵引测量***由于其测量模型的原因，即需要在自校准过程中用矢量网络分析仪对各频点处的源、负载阻抗状态进行预表征，然后存入软件内部，待实际测试过程中再将阻抗调配器配置到相同的阻抗状态下，并将已存数据调出来。目前，使用负载牵引测量***对待测器件的进行测量，由于负载牵引测量***的机械重复性对测试精度影响很大，导致负载牵引测量***对待测器件的测量不准确，导致最后计算的待测器件的参数不准确。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种器件参数的测量方法、***及终端设备，以解决目前器件的参数测量不准确的问题。

本发明实施例的第一方面提供了一种器件参数的测量方法，包括：获取待测器件的测量数据和负载牵引测量***的误差参数，所述测量数据为所述负载牵引测量***中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波；

利用所述测量数据和所述负载牵引测量***的误差参数，计算所述待测器件的参数。

本发明实施例的第二方面提供了一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述器件参数的测量方法的步骤。

本发明实施例的第三方面提供了一种***，包括：矢量网络分析仪、源端阻抗调配器、负载端阻抗调配器、源端双定向耦合器、负载端双定向耦合器和以上所述的终端设备；

所述源端阻抗调配器的第一端用于连接源端信号源，所述源端阻抗调配器的第二端连接所述源端双定向耦合器的第一端，所述源端双定向耦合器的第二端直接连接同轴或波导待测器件，或连接第一探针，所述第一探针用于连接待测器件；

所述负载端阻抗调配器的第一端用于连接负载端信号源，所述负载端阻抗调配器的第二端连接所述负载端双定向耦合器的第一端，所述负载端双定向耦合器的第二端直接连接同轴或波导待测器件，或连接第二探针，所述第二探针用于连接待测器件；

所述源端双定向耦合器的第三端和第四端、所述负载端双定向耦合器的第三端和第四端分别连接所述矢量网络分析仪的四个内部接收机的端口；

所述终端设备与所述矢量网络分析仪相连。

本发明实施例的第四方面提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上所述器件参数的测量方法的步骤。

本发明通过获取矢量网络分析仪测量待测器件的实时测量数据，可以实时计算待测器件的参数，不受阻抗调配器机械重复性的影响，提高了待测器件的参数的测量准确度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的一个实施例提供的器件参数的测量方法的流程示意图；

图2为本发明的一个实施例提供的8-term***误差模型的结构示意图；

图3为本发明的一个实施例提供的输入反射系数测量模型的结构示意图；

图4为本发明的一个实施例提供的输出端负载反射系数测量模型的结构示意图；

图5为本发明的一个实施例提供的功率校准时输出端测量模型的结构示意图；

图6为本发明的一个实施例提供的***的结构示意图；

图7为本发明的一个实施例提供的***中终端设备的结构示意图；

图8为本发明的另一个实施例提供的***的结构示意图；

图9是本发明的一个实施例提供的终端设备的示意图。

其中：1、矢量网络分析仪；2、源端阻抗调配器；3、负载端阻抗调配器；4、源端双定向耦合器；5、负载端双定向耦合器；6、待测器件；7、第一源端隔离器；8、第一源端衰减器；9、源端放大器；10、第二源端隔离器；11、第二源端衰减器；12、第三源端衰减器；13、第二负载端衰减器；14、第三负载端衰减器；15、第一负载端隔离器；16、第一负载端衰减器；17、移相器；18、负载端放大器；19、环形器；20、功率计；21、终端设备；110、源端连接电路；120、负载端连接电路。

具体实施方式

以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定***结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本发明实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本发明。在其它情况中，省略对众所周知的***、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本发明的描述。

本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“包括”以及其他任何变形，是指“包括但不限于”，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含一系列步骤或单元的过程、方法或***、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。此外，术语“第一”、“第二”和“第三”等是用于区别不同对象，而非用于描述特定顺序。

为了说明本发明所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。

实施例1：

图1示出了本发明一实施例所提供的器件参数的测量方法的实现流程图，为了便于说明，仅示出了与本发明实施例相关的部分，详述如下：

如图1所示，本发明实施例所提供的一种器件参数的测量方法，包括：

S101，获取待测器件的测量数据和负载牵引测量***的误差参数，所述测量数据为所述负载牵引测量***中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波；

S102，利用所述测量数据和所述负载牵引测量***的误差参数，计算所述待测器件的参数。

在本实施例中，测量数据为所述负载牵引测量***中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的实时电压波。

在本发明的实施例中，在S101之前还包括：

S1101，获取所述负载牵引测量***的校准参数和矢量网络分析仪的误差参数，所述校准参数是基于预设的测量模型校准所述负载牵引测量***获得的；

S1102，利用所述校准参数和所述矢量网络分析仪的误差参数，得到所述负载牵引测量***的误差参数。

在本发明的实施例中，矢量网络分析仪的误差参数包括e₀₀，e₁₁，e₀₁e₁₀，e22，e33，e23e32，e10e32；

所述矢量网络分析仪的误差参数是利用校准件校准所述矢量网络分析仪获得8-term误差模型后，得到e₀₀，e₁₁，e₀₁e₁₀，e₂₂，e₃₃，e₂₃e₃₂，e₁₀e₃₂。

如图2所示，在本实施例中，通过对常规在片矢量误差模型进行分析，在矢网内部接收机与被测件之间建立8-term误差模型(可通过12-term求解或直接求解8-term误差模型)，X和Y为误差网络，8-term误差模型中的误差参数，不随源端/负载端阻抗调配器的改变而发生改变，改变的是矢网内部接收机实时测得的电压波a_1m，b_1m，a_2m，b_2m。

在本发明的实施例中，负载牵引测量***的误差参数包括e₀₀，e₁₁，e₀₁e₁₀，e₂₂,e₃₃，e₂₃e₃₂，e₁₀e₃₂,|e₃₂|²和|e₁₀|²。

在本发明的实施例中，S1102包括：

S2201，基于e₁₁，根据预设的功率校准时输出端测量模型和预设的输入反射系数测量模型，得到|e₁₀|²；

S2202，基于e₁₀e₃₂，根据预设的输出端测量模型，得到|e₃₂|²，也可根据所述8-term误差模型，结合所述|e₁₀|²得到|e₃₂|²。

在本发明的实施例中，S2201包括：

如图4和图5，输出端测量模型可等效为功率校准时输出端测量模型，以及输出端负载反射系数测量模型两个独立的单端口模型。

当探针端连接直通Thru，负载端阻抗调配的输出端接功率计进行功率校准时，由图3所示输入反射系数测量模型的信流图，

可得，

其中，为功率校准时的连接源端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；a₁为直通输入端输入电压波；b₁为直通输入端反射电压波；为负载端接功率计时直通输入端的输入反射系数。

在本实施例中，a₁为直通输入端口1的电压波；b₁为直通输入端口4的电压波。端口1为第一探针与直通的连接处，端口4为源端双定向耦合器的第二端(也就是输出端)与第一探针的连接处。

由图5所示功率校准时输出端测量模型的流程图所示，

b_t＝S_22ca_t+S_21cb₂；

|b_t|²(1-|Γ_pm|²)＝P_CAL；

连接直通状态时，

可得，

其中，b_t为功率计输入电压波；S_22c为输出探针端面与功率计连接端面的输出反射系数；a_t为功率计端面反射电压波；S_21c为输出探针端面与功率计连接端面的传输反射系数；b₂为直通输出电压波；Γ_pm为功率计探头的反射系数；P_CAL为功率校准时功率计的读数；为功率校准时直通输出电压波。

在本发明的实施例中，S2202包括：

校准时，由图4所示输出端负载反射系数测量模型的信流图，可得

其中，为功率校准时的连接负载端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；为功率校准时的连接负载端双定向耦合器的第四端的接收机测量的电压波；为功率校准时直通输出电压波；

此时应注意的是，|e₃₂|²亦可通过下式求解：

在本发明的实施例中，负载牵引测量***的校准参数包括为功率校准时的连接源端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波，为负载端接功率计时直通输入端的输入反射系数，b_t为功率计输入电压波，S_22c为输出探针端面与功率计连接端面的输出反射系数；a_t为功率计端面反射电压波；S_21c为输出探针端面与功率计连接端面的传输反射系数，Γ_pm为功率计探头的反射系数；P_CAL为功率校准时功率计的读数；为功率校准时直通输出电压波。

在本发明的实施例中，S102包括：

S201，根据预设的输入反射系数测量模型、所述***误差参数和所述测量数据，计算待测器件的输入反射系数；

S202，根据预设的输出端负载反射系数测量模型、所述***误差参数和所述测量数据，计算待测器件的负载反射系数；

S203，根据所述***误差参数、所述测量数据和所述待测器件的输入反射系数，计算待测器件的输入功率；

S204，根据所述***误差参数、所述测量数据和待测器件的负载反射系数，计算待测器件的输出功率；

S205，根据所述待测器件的输入功率和所述待测器件的输出功率，计算功率增益。

在本发明的实施例中，S201包括：

可推导出

其中，为放置被测件时矢量网络分析仪内部接收机b_1m/a_1m；Γ_in为待测器件的输入反射系数；a₁为待测器件输入端输入电压波；b₁为待测器件输入端反射电压波；a_1m为测量时连接源端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；b_1m为测量时连接源端双定向耦合器的第四端的接收机测量的电压波。

在本发明的实施例中，S202包括：

其中，Γ_L为待测器件的负载反射系数；a_2m为测量时连接负载端双定向耦合器的第四端的接收机测量的电压波；b_2m为测量时连接负载端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；a₂为待测器件输出端输入电压波；b₂为待测器件输出端输出电压波；e₂₂，e₃₃，e₂₃，e₃₂为输出端误差参数，

在本实施例中，a₂为待测器件输出端口2的电压波。

在本发明的实施例中，S203包括：

当接入被测器件时，即测试时，由图3所示输入反射系数测量模型的信号流图可知，

a_1me₁₀+b₁e₁₁＝a₁；

其中，P_in为待测器件的输入功率。

在本发明的实施例中，S204包括：

当探针端接待测器件，即测试时，由图4测试时输出端测量模型所示；

b_2m＝e₃₃a_2m+e₃₂b₂；

其中，P_L为待测器件的输出功率。

在本发明的实施例中，S205包括：

其中，G_OP为功率增益。

应理解，上述实施例中各步骤的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。

实施例2：

如图6所示，本发明的一个实施例提供的***，其包括：

矢量网络分析仪1、源端阻抗调配器2、负载端阻抗调配器3、源端双定向耦合器4、负载端双定向耦合器5和终端设备21；

所述源端阻抗调配器2的第一端用于连接源端信号源，所述源端阻抗调配器2的第二端连接所述源端双定向耦合器4的第一端，所述源端双定向耦合器4的第二端连接第一探针，所述第一探针用于连接待测器件6；

所述负载端阻抗调配器3的第一端用于连接负载端信号源，所述负载端阻抗调配器3的第二端连接所述负载端双定向耦合器5的第一端，所述负载端双定向耦合器5的第二端连接第二探针，所述第二探针用于连接待测器件6；

所述源端双定向耦合器4的第三端和第四端、所述负载端双定向耦合器5的第三端和第四端分别连接所述矢量网络分析仪1的四个内部接收机的端口。

所述终端设备21与所述矢量网络分析仪1相连。

如图7所示，所述终端设备21用于执行图1所对应的实施例中的方法步骤，终端设备21包括：数据获取模块2100和计算模块2200；

数据获取模块2100，用于获取待测器件的测量数据和负载牵引测量***的误差参数，所述测量数据为所述负载牵引测量***中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波；

计算模块2200，用于利用所述测量数据和所述负载牵引测量***的误差参数，计算所述待测器件的参数。

在本发明的实施例中，源端阻抗调配器2的第一端和负载端阻抗调配器3的第一端可以分别与矢量网络分析仪1相连，由矢量网络分析仪1内部信号源提供源端信号和负载端信号。

如图8所示，在本发明的实施例中，还包括源端信号源装置和负载端信号源装置，源端阻抗调配器2的第一端与源端信号源装置相连，负载端阻抗调配器3的第一端与负载端信号源装置相连。

在本发明的实施例中，还包括源端连接电路110、第二源端衰减器11和第三源端衰减器12；

所述源端阻抗调配器2通过所述源端连接电路110连接所述源端信号源，其中，源端的阻抗调配器的第一端连接所述源端连接电路110的第二端，所述源端连接电路110的第一端用于连接源端信号源；

其中，所述源端连接电路110包括：第一源端隔离器7、第一源端衰减器8、源端放大器9和第二源端隔离器10；

所述第一源端隔离器7的第一端为所述源端连接电路110的第一端，用于连接源端信号源；所述第一源端隔离器7的第二端连接所述第一源端衰减器8的第一端，所述第一源端衰减器8的第二端连接所述源端放大器9的第一端；所述源端放大器9的第二端连接所述第二源端隔离器10的第一端，所述第二源端隔离器10的第二端为所述源端连接电路110的第二端；所述第二源端衰减器11的第一端连接所述源端双定向耦合器4的第三端，所述第二源端衰减器11的第二端连接矢量网络分析仪1的内部的第一接收机的端口，所述第三源端衰减器12的第一端连接所述源端双定向耦合器4的第四端，所述第三源端衰减器12的第二端连接矢量网络分析仪1的内部的第二接收机的端口。

如图8所示，在本发明的实施例中，还包括负载端连接电路120、第二负载端衰减器13和第三负载端衰减器14；

所述负载端阻抗调配器3通过所述负载端连接电路120连接所述负载端信号源，其中，负载端的阻抗调配器的第一端连接所述负载端连接电路120的第二端，所述负载端连接电路120的第一端用于连接负载端信号源；

其中，所述负载端连接电路120包括：第一负载端隔离器15、第一负载端衰减器16、移相器17、负载端放大器18和环形器19；

所述第一负载端隔离器15的第一端为所述负载端连接电路120的第一端，用于连接负载端信号源；所述第一负载端隔离器15的第二端连接第一负载端衰减器16的第一端，所述第一负载端衰减器16的第二端连接所述移相器17的第一端，所述移相器17的第二端连接所述负载端放大器18的第一端，所述负载端放大器18的第二端连接所述环形器19的第一端，所述环形器19的第二端为所述负载端连接电路120的第二端，所述环形器19的第三端连接负载，所述第二负载端衰减器13的第一端连接所述负载端双定向耦合器5的第三端，所述第二负载端衰减器13的第二端连接矢量网络分析仪1内部的第三接收机的端口，所述第三负载端衰减器14的第一端连接所述负载端双定向耦合器5的第四端，所述第三负载端衰减器14的第二端连接矢量网络分析仪1内部的第四接收机的端口。

如图8所示，在本发明的实施例中，还包括用于校准负载牵引测量***的功率计20，所述功率计20与所述负载端阻抗调配器3的第一端相连。

在本实施例中，功率计20测量的是负载端阻抗调配器3输出端的功率，功率计20只是在功率校准时使用，在不校准时不使用，此时待测器件6连接为直通；

在功率校准时，也可以通过测量源端双定向耦合器4的第二端处的功率进行校准。

在本发明的实施例中，与数据获取模块2100相连的还包括：

参数获取模块，用于获取所述负载牵引测量***的校准参数和矢量网络分析仪的误差参数，所述校准参数是基于预设的测量模型校准所述负载牵引测量***获得的；

误差参数计算模块，用于利用所述校准参数和所述矢量网络分析仪的误差参数，得到所述负载牵引测量***的误差参数。

在本发明的实施例中，矢量网络分析仪的误差参数包括e₀₀，e₁₁，e₀₁e₁₀，e22，e33，e23e32，e10e32；

所述矢量网络分析仪的误差参数是利用校准件校准所述矢量网络分析仪获得8-term误差模型后，得到e₀₀，e₁₁，e₀₁e₁₀，e₂₂，e₃₃，e₂₃e₃₂，e₁₀e₃₂。

在本发明的实施例中，负载牵引测量***的误差参数包括e₀₀，e₁₁，e₀₁e₁₀，e₂₂,e₃₃，e₂₃e₃₂，e₁₀e₃₂,|e₃₂|²和|e₁₀|²。

在本发明的实施例中，误差参数计算模块包括：

第一计算单元，用于基于e₁₁，根据预设的功率校准时输出端测量模型和预设的输入反射系数测量模型，得到|e₁₀|²；

第二计算单元，用于基于e₃₃，根据预设的输出端测量模型，得到|e₃₂|²；

其中，所述功率校准时输出端测量模型为：所述测试时输出端测量模型为：

其中，为功率校准时的连接源端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；为负载端接功率计时直通输入端的输入反射系数；S_22c为输出探针端面与功率计连接端面的输出反射系数；S_21c为输出探针端面与功率计连接端面的传输反射系数；Γ_pm为功率计探头的反射系数；P_CAL为功率校准时功率计的读数。

在本发明的实施例中，计算模块2200包括：

第三计算单元，用于根据预设的输入反射系数测量模型、所述***误差参数和所述测量数据，计算待测器件的输入反射系数；

第四计算单元，用于根据预设的测试时输出端测量模型、所述***误差参数和所述测量数据，计算待测器件的负载反射系数；

第五计算单元，用于根据所述***误差参数、所述测量数据和所述待测器件的输入反射系数，计算待测器件的输入功率；

第六计算单元，用于根据所述***误差参数、所述测量数据和待测器件的负载反射系数，计算待测器件的输出功率；

第七计算单元，用于根据所述待测器件的输入功率和所述待测器件的输出功率，计算功率增益。

在本发明的实施例中，第三计算单元包括：

其中，a_1m为测量时连接源端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；b_1m为测量时连接源端双定向耦合器的第四端的接收机测量的电压波；e₀₀，e₁₁，e₀₁，e₁₀为***误差参数；a₁为待测器件输入端输入电压波；b₁为待测器件输入端反射电压波；Γ_in为待测器件的输入反射系数。

在本发明的实施例中，第四计算单元包括：

其中，Γ_L为待测器件的负载反射系数；a_2m为测量时连接负载端双定向耦合器的第四端的接收机测量的电压波；b_2m为测量时连接负载端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；a₂为待测器件输出端输入电压波；b₂为待测器件输出端输出电压波；e₂₂，e₃₃，e₂₃，e₃₂为***误差参数，

在本发明的实施例中，第五计算单元包括：

其中，P_in为待测器件的输入功率。

在本发明的实施例中，第六计算单元包括：

其中，P_L为待测器件的输出功率。

在本发明的实施例中，第七计算单元包括：

其中，G_OP为功率增益。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，仅以上述各功能模块的划分进行举例说明，实际应用中，可以根据需要而将上述功能分配由不同的功能模块完成，即所述终端设备的内部结构划分成不同的功能模块，以完成以上描述的全部或者部分功能。实施例中的各功能模块可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中，上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。另外，各功能模块的具体名称也只是为了便于相互区分，并不用于限制本申请的保护范围。上述终端设备中模块的具体工作过程，可以参考前述方法实施例1中的对应过程，在此不再赘述。

实施例3：

图9是本发明一实施例提供的终端设备的示意图。如图9所示，该实施例的终端设备21包括：处理器910、存储器911以及存储在所述存储器911中并可在所述处理器910上运行的计算机程序912。所述处理器910执行所述计算机程序912时实现如实施例1中所述的各实施例中的步骤，例如图1所示的步骤S101至S102。或者，所述处理器910执行所述计算机程序912时实现如实施例2中所述的各***实施例中的终端设备的功能，例如图7所示模块2100至2200的功能。

所述终端设备21是指具有数据处理能力的终端，包括但不限于计算机、工作站、服务器，甚至是一些性能优异的智能手机、掌上电脑、平板电脑、个人数字助理(PDA)、智能电视(Smart TV)等。终端设备上一般都安装有操作***，包括但不限于：Windows操作***、LINUX操作***、安卓(Android)操作***、Symbian操作***、Windows mobile操作***、以及iOS操作***等等。以上详细罗列了终端设备21的具体实例，本领域技术人员可以意识到，终端设备并不限于上述罗列实例。

所述终端设备可包括，但不仅限于，处理器910、存储器911。本领域技术人员可以理解，图9仅仅是终端设备21的示例，并不构成对终端设备21的限定，可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件，例如所述终端设备21还可以包括输入输出设备、网络接入设备、总线等。

所称处理器910可以是中央处理单元(Central Processing Unit，CPU)，还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(Digital Signal Processor，DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、现成可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。

所述存储器911可以是所述终端设备21的内部存储单元，例如终端设备21的硬盘或内存。所述存储器911也可以是所述终端设备21的外部存储设备，例如所述终端设备21上配备的插接式硬盘，智能存储卡(Smart Media Card,SMC)，安全数字(Secure Digital,SD)卡，闪存卡(Flash Card)等。进一步地，所述存储器911还可以既包括所述终端设备21的内部存储单元也包括外部存储设备。所述存储器911用于存储所述计算机程序以及所述终端设备21所需的其他程序和数据。所述存储器911还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。

实施例4：

本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现如实施例1中所述的各实施例中的步骤，例如图1所示的步骤S101至步骤S102。或者，所述计算机程序被处理器执行时实现如实施例2中所述的各***实施例中的终端设备的功能，例如图7所示的模块2100至2200的功能。

所述的计算机程序可存储于一计算机可读存储介质中，该计算机程序在被处理器执行时，可实现上述各个方法实施例的步骤。其中，所述计算机程序包括计算机程序代码，所述计算机程序代码可以为源代码形式、对象代码形式、可执行文件或某些中间形式等。所述计算机可读介质可以包括：能够携带所述计算机程序代码的任何实体或装置、记录介质、U盘、移动硬盘、磁碟、光盘、计算机存储器、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、电载波信号、电信信号以及软件分发介质等。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，实施例1至4可以任意组合，组合后形成的新的实施例也在本申请的保护范围之内。某个实施例中没有详述或记载的部分，可以参见其它实施例的相关描述。

本领域普通技术人员可以意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、或者计算机软件和电子硬件的结合来实现。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本发明的范围。

在本发明所提供的实施例中，应该理解到，所揭露的终端设备和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的***/终端设备实施例仅仅是示意性的，例如，所述模块或单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个***，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通讯连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通讯连接，可以是电性，机械或其它的形式。

以上所述实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种器件参数的测量方法，其特征在于，包括：

获取待测器件的测量数据和负载牵引测量***的误差参数，所述测量数据为所述负载牵引测量***中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波；

利用所述测量数据和所述负载牵引测量***的误差参数，计算所述待测器件的参数。

2.如权利要求1所述的器件参数的测量方法，其特征在于，在获取待测器件的测量数据和负载牵引测量***的误差参数之前，还包括：

获取所述负载牵引测量***的校准参数和矢量网络分析仪的误差参数，所述校准参数是基于预设的测量模型校准所述负载牵引测量***获得的；

利用所述校准参数和所述矢量网络分析仪的误差参数，得到所述负载牵引测量***的误差参数。

3.如权利要求2所述的器件参数的测量方法，其特征在于，所述矢量网络分析仪的误差参数包括e₀₀，e₁₁，e₀₁e₁₀，e₂₂，e₃₃，e₂₃e₃₂，e₁₀e₃₂；

所述矢量网络分析仪的误差参数是利用校准件校准所述矢量网络分析仪获得8-term误差模型后，得到e₀₀，e₁₁，e₀₁e₁₀，e₂₂，e₃₃，e₂₃e₃₂，e₁₀e₃₂。

4.如权利要求3所述的器件参数的测量方法，其特征在于，所述负载牵引测量***的误差参数包括e₀₀，e₁₁，e₀₁e₁₀，e₂₂,e₃₃，e₂₃e₃₂，e₁₀e₃₂，|e₃₂|²和|e₁₀|²；

所述利用所述校准参数和所述矢量网络分析仪的误差参数，得到负载牵引测量***的误差参数，包括：

基于e₁₁，根据预设的功率校准时输出端测量模型和预设的输入反射系数测量模型，得到|e₁₀|²；

基于e₃₃或e₁₀e₃₂，根据预设的输出端测量模型，得到|e₃₂|²；

其中，所述功率校准时输出端测量模型为：所述输出端测量模型为：

也可通过8-term误差模型结合所述的|e₁₀|²，求得，

其中，为功率校准时的连接源端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；为负载端接功率计时直通输入端的输入反射系数；S_22c为输出探针端面与功率计连接端面的输出反射系数；S_21c为输出探针端面与功率计连接端面的传输反射系数；Γ_pm为功率计探头的反射系数；P_CAL为功率校准时功率计的读数，为功率校准时的连接负载端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；为功率校准时的连接负载端双定向耦合器的第四端的接收机测量的电压波；为功率校准时直通输出电压波。

5.如权利要求1所述的器件参数的测量方法，其特征在于，所述利用所述测量数据和所述***误差参数，计算待测器件的参数，包括：

根据预设的输入反射系数测量模型、所述***误差参数和所述测量数据，计算待测器件的输入反射系数；

根据预设的输出端测量模型、所述***误差参数和所述测量数据，计算待测器件的负载反射系数；

根据所述***误差参数、所述测量数据和所述待测器件的输入反射系数，计算待测器件的输入功率；

根据所述***误差参数、所述测量数据和待测器件的负载反射系数，计算待测器件的输出功率；

根据所述待测器件的输入功率和所述待测器件的输出功率，计算功率增益。

6.如权利要求5所述的器件参数的测量方法，其特征在于，所述计算待测器件的输入反射系数，包括：

其中，a_1m为测量时连接源端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；b_1m为测量时连接源端双定向耦合器的第四端的接收机测量的电压波；e₀₀，e₁₁，e₀₁e₁₀为***误差参数；a₁为待测器件输入端输入电压波；b₁为待测器件输入端反射电压波；Γ_in为待测器件的输入反射系数；

计算待测器件的负载反射系数，包括：

其中，Γ_L为待测器件的负载反射系数；a_2m为测量时连接负载端双定向耦合器的第四端的接收机测量的电压波；b_2m为测量时连接负载端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；a₂为待测器件输出端输入电压波；b₂为待测器件输出端输出电压波；e₂₂，e₃₃，e₂₃e₃₂为***误差参数，

所述计算待测器件的输入功率，包括：

其中，P_in为待测器件的输入功率；

计算待测器件的输出功率，包括：

其中，P_L为待测器件的输出功率。

7.如权利要求6所述的器件参数的测量方法，其特征在于，所述计算功率增益，包括：

其中，G_OP为功率增益。

8.一种终端设备，其特征在于，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至7任一项所述器件参数的测量方法的步骤。

9.一种***，其特征在于，包括：矢量网络分析仪、源端阻抗调配器、负载端阻抗调配器、源端双定向耦合器、负载端双定向耦合器和如权利要求8所述的终端设备；

所述源端阻抗调配器的第一端用于连接源端信号源，所述源端阻抗调配器的第二端连接所述源端双定向耦合器的第一端，所述源端双定向耦合器的第二端直接连接同轴或波导待测器件，或连接第一探针，所述第一探针用于连接待测器件；

所述负载端阻抗调配器的第一端用于连接负载端信号源，所述负载端阻抗调配器的第二端连接所述负载端双定向耦合器的第一端，所述负载端双定向耦合器的第二端直接连接同轴或波导待测器件，或连接第二探针，所述第二探针用于连接待测器件；

所述源端双定向耦合器的第三端和第四端、所述负载端双定向耦合器的第三端和第四端分别连接所述矢量网络分析仪的四个内部接收机的端口；

所述终端设备与所述矢量网络分析仪相连。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述器件参数的测量方法的步骤。