CN110168712B - 用于半导体或显示***领域的移送位置测量用试验模型及精密移送测量方法 - Google Patents

用于半导体或显示***领域的移送位置测量用试验模型及精密移送测量方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了用于半导体或显示***领域的移送位置测量用试验模型，包括模型本体、针孔影像测量部件、狭缝影像测量部件以及中央处理部件，从而能够防止检测对象体碰撞保管盒内的狭缝的方式测量狭缝的高度，即使未形成为的基准点，也利用提起针孔来判断在制造装置中，检测对象体是否正常向需要移送的位置移送。

Description

用于半导体或显示***领域的移送位置测量用试验模型及精密移送测量方法
技术领域
本发明涉及用于半导体或显示***领域的移送位置测量用试验模型及利用所述移送位置测量用试验模型的精密移送测量方法。
背景技术
数万个至数十亿个电子部件半导体元件形成于极小的芯片。
用于形成这种半导体元件的重要材料为晶元。其中，晶元为通过硅、砷化镓(GaAs)等成长来获得的单结晶等的圆板形状的板。
这种晶元经过用于制造半导体元件的多种制造工序来在表面形成晶体管和二极管等的材料并可排列几百个芯片。
在这种制造工序过程中，为了与各个制造步骤对应地移送晶元而使用移送机器人。
其中，以往，开发了用于判断是否利用试验晶元来将晶元移送到适当位置的方法或装置，作为这种例提出的文献为韩国公开专利第10-2010-0054908号(发明的名称：通过摄像头视野的汽车教学原点测量方法)及韩国公开专利第10-2003-00806976号，(发明的名称：用于晶元测试的卡盘高度测量的夹具)。
但是，包括上述专利文献的以往的晶元的移送方法或装置，需要单独形成对于晶元是否适当向移送装置移送的基准点。
其中，在未形成基准点的装置需要制造额外的基准点，由此，制造成本及时间会增加。
并且，以往，具有确认与晶元的种类对应地提供的夹具是否准确位于适当位置的方法，但是，在这种方法中，首先，需要额外生产与晶元的种类对应的夹具。
并且，例如，在通过相同狭缝分割的晶元用运行容器保管晶元的状态下，当将保管的晶元从移送机器人取出时，防止晶元的侧面受损，但是，尚未开发以防止这种晶元的侧面的方式进行检测的装置。
并且，在移送晶元的过程中，在需要检测向制造装置施加的振动，或者制造装置周边的温度湿度的情况下，以往，可检测这种条件的单元需要并不形成于所述制造装置，因此，需要与所述制造装置单独形成检测单元，发生基于单独形成的费用上升及空间效率性。
并且，在所述装置及方法中，通常，适用于基于蓝牙通信的***，与宽广的设备环境相比，无法进行短距离通信，而且也无法传送大量的数据。
并且，在所述内容中仅限定说明了晶元，但是需要具备当使用四角形状的照片蒙版(Photo mask)或液晶面板(LCD Panel)等的其他制造工序的移送也是否正常移送的试验装置。
发明内容
技术问题
本发明为利用影像测量装置来确认检测对象体是否正常移动的试验装置，以防止检测对象体碰撞保管和内的狭缝的方式测量狭缝的高度，利用未形成额外的基准点的提起针孔来判断在制造装置中，检测对象体是否正常向需要移送的位置移送的用于半导体或显示***领域的移送位置测量用试验模型及利用所述移送位置测量用试验模型的精密移送测量方法。
解决问题的手段
本发明一实施方式的移送位置测量用试验模型适用于包括如下装置的在半导体或显示***领域中使用的设备：保管盒，用于装载检测对象体；对象体固定装置，包括用于固定所述检测对象体的固定单元；以及移送机器人，用于向所述固定单元移送所述保管盒中的所述检测对象体，其特征在于，包括：模型本体，大小与所述检测对象体的大小相同；针孔影像测量部件，可识别或拍摄形成于所述固定单元的多个引导针孔；狭缝影像测量部件，在所述模型本体保管在所述保管盒的状态下，可识别或拍摄以可测量配置于所述模型本体上端的所述保管盒的狭缝与所述模型本体之间的间隔的方式配置于所述模型本体上端的所述保管盒的所述狭缝；以及中央处理部件，可向预先准备的影像处理计算机传送由所述针孔影像测量部件测量的信息。
本发明的利用所述移送位置测量用试验模型的精密移送测量方法，其中，所述移送位置测量用试验模型适用于包括如下装置的在半导体或显示***领域中使用的设备：保管盒，用于装载检测对象体；对象体固定装置，包括用于固定所述检测对象体的固定单元；以及移送机器人，用于向所述固定单元移送所述保管盒中的所述检测对象体，所述移送位置测量用试验模型包括：模型本体，大小与所述检测对象体的大小相同；针孔影像测量部件，可识别或拍摄形成于所述固定单元的多个引导针孔；狭缝影像测量部件，在所述模型本体保管在所述保管盒的状态下，可识别或拍摄以可测量配置于所述模型本体上端的所述保管盒的狭缝与所述模型本体之间的间隔的方式配置于所述模型本体的上端的所述保管盒的所述狭缝；以及中央处理部件，可向预先准备的影像处理计算机传送由所述针孔影像测量部件或所述狭缝影像测量部件测量的信息，所述利用移送位置测量用试验模型的精密移送位置测量方法的特征在于，包括：步骤(1)，保管在所述保管盒的所述移送位置测量用试验模型放置于所述移送机器人；步骤(2)，所述步骤(1)中的所述移送机器人向所述固定单元的上端部移送所述移送位置测量用试验模型；步骤(3)，对于所述步骤(2)中的向所述固定单元的上端部移送的所述移送位置测量用试验模型而言，所述针孔影像测量部件识别或拍摄所述固定单元的所述引导针孔；步骤(4)，向所述中央处理部件传送在所述步骤(3)中识别或拍摄的影像；步骤(5)，向所述影像处理计算机传送在步骤(4)中向所述中央处理部件传送的所述影像；以及步骤(6)，根据在所述步骤(5)中向所述影像处理计算机传送的所述影像来判断所述移送位置测量用试验模型是否可放置于所述固定单元的预先指定的位置，可掌握所述移送位置测量用试验模型的中心是否与所述引导针孔的中心准确地对齐。
发明效果
本发明的用于半导体或显示***领域的移送位置测量用试验模型及利用所述移送位置测量用试验模型的精密移送测量方法适用于包括如下装置的在导体或显示***领域中使用的设备：保管盒，用于装在检测对象体；对象体固定装置，包括用于固定所述检测对象体的固定单元；以及移送机器人，用于向所述固定单元移送所述保管盒中的所述检测对象体，所述移送位置测量用试验模型包括：模型本体，与所述检测对象体的大小相同；针孔影像测量部件，可识别或拍摄形成于所述固定单元的多个引导针孔；狭缝影像测量部件，在所述模型本体保管在所述保管盒的状态下，识别或拍摄以测量配置于所述模型本体上端的所述保管盒的狭缝和所述模型本体之间的间隔的方式配置于所述模型本体上端的保管盒的所述狭缝；以及中央处理部件，可向预先准备的影像处理计算机传送由所述针孔影像测量部件或所述狭缝影像测量部件测量的信息，利用影像测量装置来确认检测对象体是否正常移动的试验装置，以防止检测对象体碰撞保管盒内的狭缝的方式测量狭缝的高度，即使未形成为的基准点，也利用提起针孔来判断在制造装置中，检测对象体是否正常向需要移送的位置移送。
附图说明
图1为简要示出准备使用本发明第一实施例的移送位置测量用试验模型的移送机器人及处理腔室的环境的立体图。
图2为从上方观看本发明第一实施例的移送位置测量用试验模型的图。
图3为在正面观察本发明第一实施例的移送位置测量用试验模型的俯视图。
图4为从上方观看本发明第一实施例的处理腔室内部的图。
图5为简要示出本发明第一实施例的针孔影像测量部件识别引导针孔并且为移送位置测量用试验模型的中心与形成于固定单元的所述引导针孔的中心不相同的状态的图。
图6为简要示出本发明第一实施例的孔影像测量部件识别引导针孔且为移送位置测量用试验模型的中心与形成于固定单元的所述引导针孔的中心不相同的状态的图。
图7为简要示出本发明第一实施例的移送位置测量用试验模型在适当位置识别引导针孔的状态的图。
图8为简要示出本发明第一实施例的狭缝影像测量部件识别一侧狭缝和另一侧狭缝的状态的图。
图9为利用本发明第一实施例的移送机器人来将保管盒的移送位置测量用试验模型安全地向保管盒外侧引出或者向内部放入的位置准确确认的方法的流程图。
图10为测量通过本发明第一实施例的移送机器人向固定单元移送的移送位置测量用试验模型的中心是否与形成于固定单元的所述引导针孔的中心准确地相同的夹具位置的方法。
图11为本发明第一实施例的图8的A部分的放大图。
图12为从正面观看形成有本发明第二实施例的污染检测用摄像头的移送位置测量用试验模型的俯视图。
图13为本发明第三实施例的针孔拍摄用图像传感器与固定单元相接触的状态的放大图。
图14为本发明第四实施例的屏幕部件与固定单元相接触的状态的放大图。
图15为从上方观察包括本发明第五实施例的前方摄像头部件的移送位置测量用试验模型的图。
具体实施方式
以下，参照附图，说明本发明实施例的用于半导体或显示***领域的移送位置测量用试验模型及利用所述移送位置测量用试验模型的精密移送测量方法。
图1为简要示出准备使用本发明实施例的移送位置测量用试验模型的移送机器人及处理腔室的环境的立体图。图2为从上方观看第一实施例的移送位置测量用试验模型的图。图3为在正面观察本发明第一实施例的移送位置测量用试验模型的俯视图。图4为从上方观看本发明第一实施例的处理腔室内部的图。图5为简要示出本发明第一实施例的针孔影像测量部件识别引导针孔并且为移送位置测量用试验模型的中心与形成于固定单元的所述引导针孔的中心不相同的状态的图。图6为简要示出本发明第一实施例的孔影像测量部件识别引导针孔且为移送位置测量用试验模型的中心与形成于固定单元的所述引导针孔的中心不相同的状态的图。图7为简要示出本发明第一实施例的移送位置测量用试验模型在适当位置识别引导针孔的状态的图。图8为简要示出本发明第一实施例的狭缝影像测量部件识别一侧狭缝和另一侧狭缝的状态的图。图9为利用本发明第一实施例的移送机器人来将保管盒的移送位置测量用试验模型安全地向保管盒外侧引出或者向内部放入的位置准确确认的方法的流程图。图10为测量通过本发明第一实施例的移送机器人向固定单元移送的移送位置测量用试验模型的中心是否与形成于固定单元的所述引导针孔的中心准确地相同的夹具位置的方法。图11为本发明第一实施例的图8的A的放大图。
参考图1至图11，用于半导体或显示***领域的移送位置测量用试验模型100为适用于包括如下装置的半导体或显示***领域中所使用的设备：保管盒10，用户装载检测对象体50；对象体固定装置25，包括用于固定所述检测对象体50的固定单元27；以及移送机器人30，用于向所述固定单元27移送所述保管盒10的所述检测对象体50，包括：模型本体110，与所述检测对象体50的大小相同；针孔影像测量部件120，可识别或拍摄形成于所述固定单元27的多个引导针孔22；以及中央处理部件140，向预先准备的影像处理计算机60传送由所述针孔影像测量部件120测量的信息。
移送位置测量用试验模型100适用于包括如下装置的半导体或显示***领域中使用的设备：保管盒10，用于装载检测对象体50；对象体固定装置25，包括用于固定所述检测对象体50的固定单元27；以及移送机器人30，用于向所述固定单元27移送所述保管盒10的所述检测对象体50，其特征在于，包括：模型本体110，大小与所述检测对象体50的大小相同；狭缝影像测量部件130，在所述模型本体110保管在所述保管盒10的状态下，能够识别或拍摄以能够测量配置于所述模型本体110上端的所述保管盒10的狭缝11、12与所述模型本体110之间的间隔的方式配置于所述模型本体110的上端的所述保管盒10的所述狭缝11、12；以及中央处理部件140，用于向预先准备的影像处理计算机60传送由所述针孔影像测量部件120测量的信息。
所述移送位置测量用试验模型100可包括模型本体110、针孔影像测量部件120、中央处理部件140或模型本体110、狭缝影像测量部件130和中央处理部件140，均可包括模型本体110、针孔影像测量部件120、狭缝影像测量部件130及中央处理部件140。以下，为了方便说明，以均包括模型本体110、针孔影像测量部件120、狭缝影像测量部件130及中央处理部件140的所述移送位置测量用试验模型100为例进行说明。
参照图1至图11，本实施例的所述移送位置测量用试验模型100包括模型本体110、针孔影像测量部件120、狭缝影像测量部件130及中央处理部件140。
这种所述移送位置测量用试验模型100还可包括检测部件150。
所述移送位置测量用试验模型100利用影像测量装置方法来确认检测对象体50是否正常移动的试验装置，可检测所述检测对象体50是否正常移送。
所述检测对象体50在本实施例中通常为由圆形薄板形成的晶元形状，但是，根据目的，也可以为矩形的光罩或液晶面板。
这种所述移送位置测量用试验模型100适用于包括如下装置的半导体或显示***领域中使用的设备：保管盒10，用于装载检测对象体50；对象体固定装置25，包括用于固定所述检测对象体50的固定单元27；以及移送机器人30，用于向所述固定单元27移送所述保管盒10的所述检测对象体50。
所述保管盒10为分成相同宽度的狭缝11、12，相同宽度的每个所述狭缝11、12分别保管单个的所述检测对象体50，所述检测对象体50向其他装置移送之前保管的移送容器(FOUP，Front Opening Unified Pod)。
所述对象体固定装置25配置于安装在作为所述检测对象体50来进行工序的空间的处理腔室20，形成有固定所述检测对象体50的所述固定单元27。
例如，当所述检测对象体50为晶元时，这种所述固定单元27可以为通过静电力来固定所述检测对象体50的静电吸盘(ESC，Electro static chuck)或基于啮合的固定方式的夹紧(Clamping)装置等。
在这种所述固定单元27的下部形成引导针孔22，在所述引导针孔22，所述固定单元27延伸规定长度，由此与所述检测对象体50的底部面相接触来支撑所述检测对象体50。
通常，这种所述固定单元27存在3个以上，且需要与多个所述固定单元27的中心放置于所述固定单元27的所述检测对象体50的中心相同，才能够使所述检测对象体50准确地形成，从而在工序过程中减少不良品。
而且，若多个所述固定单元27的中心不与放置于所述固定单元27的所述检测对象体50的中心相同，则所述检测对象体50非正常形成，从而在工序过程中发生大量的不良品。
所述模型本体110代替所述检测对象体50来确认所述检测对象体50是否正常移动而具有与所述检测对象体50的相同的尺寸，例如，若所述检测对象体50为晶元并呈圆形薄板，则所述模型本体110也成圆形薄板。
当这种所述模型本体110的边缘保管在所述保管盒10时，可放置于所述狭缝11、12。
所述针孔影像测量部件120可识别或拍摄形成于所述对象体固定装置25的多个所述引导针孔22，由分别测量多个所述引导针孔22的多个针孔摄像头121、122、123形成。
所述针孔拍摄用摄像头121、122、123中预先设定有所述引导针孔的识别范围或拍摄范围，图5所示的附图标记124、125、126为所述针孔拍摄用摄像头121、122、123识别分别对应的所述引导针孔22的识别范围或拍摄范围。
在本实施例中，所述引导针孔22形成3个，为了识别这种所述引导针孔22，所述针孔影像测量部件120可包括第一针孔拍摄用摄像头121、第二针孔拍摄用摄像头122和第三针孔拍摄用摄像头123。但是，所述引导针孔22也可以形成多个，所述针孔拍摄用摄像头121、122、123也可以形成多个。
详细地，所述第一针孔拍摄用摄像头121识别或拍摄与第一范围124相对应的部分，所述第二针孔拍摄用摄像头122识别或拍摄与第二范围125相对应的部分，所述第三针孔拍摄用摄像头123识别或拍摄与第三范围126相对应的部分。
在所述形成的状态下，通过所述移送机器人30，若向所述对象体固定装置25的上端部移送所述移送位置测量用试验模型100，则所述针孔拍摄用摄像头121、122、123拍摄所述第一范围124、第二范围125及第三范围126。
其中，所述各个范围124、125、126为与其相对应的所述引导针孔22相邻的位置。
如上所述，若从所述中央处理部件140向影像处理计算机60传送拍摄的所述影像，则所述影像处理计算机60计算所述引导针孔22的位置值并利用这种所述引导针孔22的位置值来计算所述引导针孔的中心23。
其中，所述第一范围124及所述第二范围125及所述第三范围126在拍摄的所述影像中识别所述引导针孔22是利用区分颜色明暗的视觉(Vision)技术。
所述引导针孔22呈现出比周边相对阴暗的颜色，因此，在各个所述第一范围124、所述第二范围125及所述第三范围126中拍摄的影像中，可将相对阴暗部分判断为所述引导针孔22的位置。
其中，将在各个所述第一范围124、所述第二范围125及所述第三范围126中拍摄的所述引导针孔22的位置以位置值输出，利用各个所述位置值来计算所述引导针孔的中心23。
若如上所述的所述引导针孔的中心23与所述移送位置测量用试验模型100的中心127相同，则所述移送位置测量用试验模型100准确地向所述固定单元27移送。
但是，如图5或图6所示，若利用所述视觉技术来获得的所述引导针孔的中心23不与所述移送位置测量用试验模型的中心127相同，则判断为所述移送位置测量用试验模型100不准确地向所述固定单元27移送。进而，在所述影像处理计算机60中求出连接所述移送位置测量用试验模型的中心127和所述引导针孔的中心23两点的线段的倾斜度，由此，可计算所述移送位置测量用试验模型100准确地向所述固定单元27移送的修改的位置值。
具体地，例如，当将所述移送位置测量用试验模型100的中心127的坐标值定为(0，0)时，所述第一范围124中测量的所述引导针孔22的位置值的(x1,y1)被测量为(-2.3)，所述第二范围125中测量的所述引导针孔22的位置值的(x2,y2)被测量为(2,5)，所述第三范围126中测量的所述引导针孔22的位置值的(x3,y3)为(0,-2)时，所述引导针孔22的位置值的(x0,y0)通过求出重量中心的方式的来求出。若使用所述式来求出所述引导针孔22的位置值，则通过求出(0,2)，从而可求出所述引导针孔的中心23。进而，若所述移送位置测量用试验模型100的中心127的坐标值的(0,0)和计算的所述引导针孔的中心23的坐标值的(0,2)通过线段连接来求出倾斜度并求出距离，则可计算所述移送位置测量用试验模型100向所述固定单元27准确地移送的修改的位置值。
在本实施例中，所述引导针孔22为3个，所述针孔拍摄用摄像头121、122、123也被限制为3个，即使识别2个以上的所述引导针孔22也可以计算其中心，因此，所述引导针孔22和所述针孔拍摄用摄像头可以存在不同数量来计算中心。
所述狭缝影像测量部件130在所述模型本体110存储在所述保管盒10的状态下以测量配置于所述模型本体110上端的所述保管盒10的狭缝11、12和所述模型本体110之间的间隔的方式识别或拍摄配置于所述模型本体110上端的所述保管盒10的所述狭缝11、12，形成于所述模型本体110的直径线。
详细地，所述狭缝影像测量部件130包括可分别识别配置于所述模型本体110的两侧上端的一侧狭缝11和另一侧狭缝12的一侧狭缝摄像头131和另一侧狭缝摄像头132，所述一侧狭缝摄像头131和所述另一侧狭缝摄像头132中分别预先设定有所述一侧狭缝11和所述另一侧狭缝12的识别范围或拍摄范围。
通常，一对所述一侧狭缝11和所述另一侧狭缝12位于水平线，与此对应地，所述一侧狭缝摄像头131和所述另一侧狭缝摄像头132存在于相同的水平线。
在本实施例中，一侧方向为以图8所示的所述移送位置测量用试验模型100的中心127为基准，形成所述一侧狭缝摄像头131的侧。
附图标记133为所述一侧狭缝摄像头131可识别或拍摄的一侧识别范围，附图标记134为所述另一侧狭缝摄像头132可识别或拍摄的另一侧识别范围。
如上所述，如图8所示，若在所述保管盒10保管的所述移送位置测量用试验模型100的底部面***所述移送机器人30，则将所述移送位置测量用试验模型100举起规定高度，所述一侧狭缝摄像头131识别或拍摄配置于所述模型本体110的一侧上端的一侧狭缝11，并向所述中央处理部件140传送拍摄的影像。并且，所述另一侧狭缝摄像头132识别或拍摄配置于所述模型本体110的另一侧上端的所述另一侧狭缝12，并向所述中央处理部件140传送拍摄的影像。
接着，利用所述中央处理部件140的无线保真通信来向所述影像处理计算机60传送所述影像。
接着，利用所述影像，利用后续的计算法并利用所述狭缝影像测量部件130来求出所述狭缝11、12和所述移送位置测量用试验模型100的间隔。
接着，利用所述中央处理部件140的无线保真通信来向所述影像处理计算机60传送影像。
接着，利用所述影像，利用后续的计算法并利用所述狭缝影像测量部件130来求出所述狭缝11、12和所述移送位置测量用试验模型100的间隔。
图11所示的H为使用利用所述狭缝影像测量部件130测量的值来通过如下演算而成的值，所述狭缝11、12和所述移送位置测量用试验模型100的间隔值与预先存储于所述影像处理计算机60的正常比较值H'进行比较。
即，判断作为所述测量演算的高度值的所述H的值是否与所述预先输入的所述H'的值相同，从而判断是否利用所述移送机器人30来安全地向所述保管盒10的外侧取出或向内部放入所述保管盒10的所述移送位置测量用试验模型100。
h1为利用所述影像处理计算机60的视觉技术来对在所述一侧狭缝摄像头131中拍摄的一侧识别范围133的所述影像进行处理来提取的所述一侧狭缝11底部面和所述模型本体110之间的垂直间隔值。
d1为从所述保管盒10的内部面至所述一侧狭缝摄像头131的水平距离，所述值为预先输入在所述影像处理计算机60的值。
h4为所述一侧狭缝11高度的一半值，所述值预先输入在所述影像处理计算机60的值。
h5为从所述模型本体110的上端部向所述一侧测量摄像头131的中央的垂直距离，所述值为预先向所述影像处理计算机60输入的值。
Θ为在90°中，除从所述一侧测量摄像头131拍摄的方向的虚拟中央线至所述模型本体110的拍摄的角度之外的演算值，所述值预先输入在所述影像处理计算机60。
h2为从所述h1去除的高度值，利用预先输入的θ来通过h2＝d1*tan(180-θ)的式求出的间隔，用于所述式的所述d1及所述θ为预先输入的值，因此，所述h2也为预先输入的值。
h3从h1去除所述h2的值，通过式h3＝h1-h2求出。
将如上所述的值代入以下数学式来计算所述H。
H＝h3+h4+h5
若比较所述演算的所述H值与预先输入的所述值，则所述移送位置测量用试验模型100通过所述移送机器人30从所述保管盒10取出或者放入所述保管盒10时，判断为进行安全的工作。
在本实施例中，举了利用所述一侧狭缝摄像头131的测量方法的例，但是，所述另一侧狭缝摄像头132也适用与所述一侧狭缝摄像头131的方式相同的测量方法。
如上所述，若比较在所述一侧狭缝摄像头侧计算的所述H值和在所述另一侧狭缝摄像头侧测量的计算值H，则可判断对于所述移送位置测量用试验模型100的一侧和另一侧的倾斜度是否平行。
并且，在所述一侧狭缝摄像头131测量的计算的所述H值和在另一侧狭缝摄像头132中测量计算的H值的差也可以计算，基于此，可判断所述移送位置测量用试验模型100是否准确地移动。
所述中央处理部件140可向预先准备的所述影像处理计算机60传送由所述针孔影像测量部件120或所述狭缝影像测量部件130测量的信息，提供可存储所述信息的存储空间，内置有可向所述影像处理计算机60传送所述信息的无线保真通信模块(未图示)。
如上所述，当向所述影像处理计算机60传送所述信息时，可通过无线保真来进行通信，与基于以往的蓝牙(bluetooth)的通信相比，可以进行远程通信且可迅速传送大量数据。
在本实施例中，所述针孔影像测量部件120或所述狭缝影像测量部件130中拍摄的影像及在所述检测部件150中测量的测量值向所述中央处理部件140传送并向所述影像处理计算机60传送。但是，所述针孔影像测量部件120的各个摄像头121、122、123、所述狭缝影像测量部件130的各个摄像头131、132及所述检测部件150的各个传感器均内置有能够个别进行无线保真通信的无线保真芯片，即使不经过所述中央处理部件140，分别测量或者拍摄的信息也以独立的形态向所述影像处理计算机60传送。
并且，在本实施例中，用于确认所述移送位置测量用试验模型100是否正常移动的演算在所述影像处理计算机60中实现，但是，所述中央处理部件140自身进行演算，仅有演算的值向所述影像处理计算机60发送。
在本实施例中，在所述中央处理部件140和所述影像处理计算机60之间的通信过程中，可进行无线保真通信，但是，也可以使用蓝牙、射频(RF)等其他无线通信。
所述检测部件150可测量所述移送位置测量用试验模型100的周边环境的变化和所述移送位置测量用试验模型100自身的倾斜度。
其中，所述移送位置测量用试验模型100自身的倾斜度也可以为所述移送位置测量用试验模型100的倾斜度。
这种所述检测部件150形成于所述模型本体110，可测量所述模型本体110自身的振动的振动传感器、测量所述移送位置测量用试验模型100自身的倾斜度的倾斜度传感器、可测量所述模型本体110周边的温度湿度的温度湿度传感器、测量所述移送位置测量用试验模型100周边的气体与否的气体传感器、测量所述移送位置测量用试验模型100周边的气压的气压传感器等多种传感器形成为一体模块来内置于所述检测部件150，在这种各个传感器中测量的测量值向所述中央处理部件140传送来向影像处理计算机60或其他通信装置传送。
如上所述，在所述移送位置测量用试验模型100移送的过程中，测量所述移送位置测量用试验模型100或接触的装置的振动，可测量所述移送位置测量用试验模型100的周边温度湿度等，因此，发生周边环境条件恒定维持或者突然的冲击或外部环境变化。
以下，说明利用所述移送位置测量用试验模型100的精密移送测量方法。在执行这种说明的过程中，将省略与所述本发明中已经记载的内容重复的说明。
以下，说明准确地测量利用所述移送机器人30来向外侧取出所述保管盒10的所述移送位置测量用试验模型检测对象体50或者向内部放入的夹具位置的方法(步骤S100)。
首先，所述移送机器人30举起在所述保管盒10保管的所述移送位置测量用试验模型100(步骤S110)。
之后，所述步骤S110中，所述狭缝影像测量部件130识别或拍摄举起的所述移送位置测量用试验模型100的所述模型本体110和所述模型本体110上端的所述狭缝11、12(步骤S120)。
其中，在所述步骤S120中，向所述中央处理部件140传送识别或拍摄的影像(步骤S130)。
接着，在所述步骤S130中，向所述影像处理计算机60传送向所述中央处理部件140传送的所述影像(步骤S140)。
接着，在所述步骤S140中，通过向所述影像处理计算机60传送的所述影像计算所述模型本体110和所述狭缝11、12的间隔来测量所述模型本体110的位置(步骤S150)。
如上所述，通过计算所述模型本体110和所述狭缝11、12之间的间隔来测量所述模型本体110的位置，当所述移送位置测量用试验模型100通过所述移送机器人30从所述保管盒10取出时，以防止碰撞所述保管盒10内的狭缝11、12的方式测量狭缝11、12的间隔。
即，所述移送位置测量用试验模型100代替所述检测对象体50以防止碰撞所述保管盒10内的狭缝11、12的方式测量狭缝11、12之间的间隔，之后，当通过所述移送机器人30取出所述保管盒10内的所述检测对象体50时，稳定地向外侧取出所述保管盒10或者向内部放入来进行测量。
以下，说明测量使通过所述移送机器人30向所述固定单元27移送的所述移送位置测量用试验模型100中心127与形成于所述固定单元27的所述引导针孔的中心23相同的夹具位置的方法(步骤S200)。
首先，在所述保管盒10保管的所述移送位置测量用试验模型100向所述处理腔室20移送而放置于所述移送机器人30(步骤S210)。
之后，在所述步骤S210中，放置于所述移送机器人30的所述移送位置测量用试验模型100向所述固定单元27的上端部移送(步骤S220)。
之后，在所述步骤S220中，在向所述固定单元27的上端部移送的所述移送位置测量用试验模型100中，所述针孔影像测量部件120识别或拍摄所述固定单元27的所述引导针孔22(步骤S230)。
在这种步骤S230中，向所述中央处理部件140传送识别或拍摄的影像(步骤S240)。
之后，在步骤S240中，向所述影像处理计算机60传送向所述中央处理部件140传送的所述影像(步骤S250)。
之后，在步骤S250中，通过所述影像处理计算机60传送的影像判断所述移送位置测量用试验模型100是否放置于所述固定单元27的预先指定的位置(步骤S260)。
以往，为了确认所述移送位置测量用试验模型100是否向所述固定单元27的适当位置移送而额外形成基准点，如上所述，所述针孔影像测量部件120识别一般形成于所述固定单元27的所述引导针孔22来判断所述引导针孔的中心23与所述移送位置测量用试验模型100中心127是否一致及测量所述移送位置测量用试验模型100的移送位置，因此，无需额外形成所述基准点。
发明的实施方式
以下，参照附图，说明本发明另一实施例的移送位置测量用试验模型。在执行这种说明的过程中，将省略与在所述本发明第一实施例中预先记载的内容重复的说明。
图12为从正面观看形成有本发明第二实施例的污染检测用摄像头的移送位置测量用试验模型的俯视图。
参照图12，在本实施例的所述移送位置测量用试验模型200的模型本体210上端部形成污染检测用摄像头260。
所述污染检测用摄像头260不遮挡针孔影像测量部件220及狭缝影像测量部件230拍摄的范围，形成于所述模型本体210的上端部，当进行工作时，可拍摄所述模型本体210的上端部前方，向中央处理部件传送拍摄的影像，或者向影像处理计算机传送。
如上所述，读取所述污染检测用摄像头260拍摄的影像来确认所述移送位置测量用试验模型100周边的污染的物质。例如，若通过所述污染检测用摄像头260拍摄腔室，则可确认是否向内部进入污染物质。
图13为本发明第三实施例的针孔拍摄用图像传感器与固定单元相接触的状态的放大图。
参照图13，在本实施例的移送位置测量用试验模型的针孔影像测量部件形成针孔拍摄用图像传感器328。
所述针孔拍摄用图像传感器328形成于所述模型本体310的底部面，拍摄固定单元27接触的状态，将光转换为电信号。
如图13所示，若所述针孔拍摄用图像传感器328拍摄所述固定单元27与所述针孔拍摄用图像传感器328面接触的状态，则光无法向所述针孔拍摄用图像传感器328和所述固定单元27面接触的部分的所述针孔拍摄用图像传感器328投射，光只能向周边投射。因此，所述固定单元27面接触的部分相对变暗。因此，利用视觉技术来将阴暗部分以位置值输出，将所述值判断为所述固定单元27的位置。
通过所述方式，其他多个所述固定单元27也可以输出位置值，利用这种所述位置值来计算与所述固定单元27的中心相同的引导针孔的中心，利用计算的值来判断所述移送位置测量用试验模型是否准确地向所述固定单元27移送。
图14为本发明第四实施例的屏幕部件与固定单元相接触的状态的放大图。
参照图14，本实施例的移送位置测量用试验模型的针孔影像测量部件包括形成于模型本体410的底部面，底部面与固定单元27相接触，可将接触的部分以坐标值输出的屏幕部件429。
所述屏幕部件429可以为触摸屏，若在不同位置的多个所述固定单元27触摸所述屏幕部件429，则所述部分分别以坐标值输出，利用输出的坐标值来计算所述固定单元27的中心，判断计算的所述固定单元27的中心和所述移送位置测量用试验模型的中心是否一致来判断所述移送位置测量用试验模型是否准确地向所述固定单元27移送。
图15为从上方观察包括本发明第五实施例的前方摄像头部件的移送位置测量用试验模型的图。
参照图15，本实施例的所述移送位置测量用试验模型500包括模型本体510、针孔影像测量部件520、狭缝影像测量部件530、中央处理部件540和前方摄像头部件560。
所述前方摄像头部件560以能够观测所述移送位置测量用试验模型500的移动路径的方式安装于所述模型本体510，优选地，如图15所示，安装于所述模型本体510直径上的两端部。
所述前方摄像头部件560拍摄所述移送位置测量用试验模型500的前方，并使工作人员确认拍摄的影像地向预先准备的影像***传送。其中，所述影像***可以为智能手机的应用或具有可确认拍摄影像的监控器的***等。
如上所述，可利用所述前方摄像头部件来实时观测所述移送位置测量用试验模型500的移动路径，因此，可实时确认所述移送位置测量用试验模型500是否准确移动。因此，通过所述移送位置测量用试验模型500的移动路径测量判断放置有所述移送位置测量用试验模型500的机器人是否正常工作。
以上，本发明与特定实施例相关地示出并说明，只要是本发明所属技术领域的普通技术人员，在不超出以上的发明要求保护范围中记载的发明的思想及区域的范围内可对本发明进行多种修改及变形。但是，这种修改及变形及结构均属于本发明的发明要求保护范围内。
产业上的可利用性
根据本发明一实施方式的用于半导体或显示***领域的移送位置测量用试验模型及利用所述移送位置测量用试验模型的精密移送测量方法，通过利用影像测量装置来确定检测对象体是否正常移动的试验装置，以防止检测对象体不会碰撞保管盒内的狭缝的方式调节狭缝的高度，即使不形成额外的基准点，利用提起针孔来在制造装置中判断检测对象体是否正常向需要移送的位置移送，因此，产业上可利用性高。

Claims (5)

1.一种移送位置测量用试验模型，适用于包括如下装置的、在半导体或显示***领域中使用的设备：保管盒，用于装载检测对象体；对象体固定装置，包括用于固定所述检测对象体的固定单元；以及移送机器人，用于向所述固定单元移送所述保管盒中的所述检测对象体，其特征在于，包括：
模型本体，大小与所述检测对象体的大小相同；
针孔影像测量部件，能够识别或拍摄形成于所述固定单元的多个引导针孔；
狭缝影像测量部件，在所述模型本体保管在所述保管盒的状态下，能够识别或拍摄以能够测量配置于所述模型本体上端的所述保管盒的狭缝与所述模型本体之间的间隔的方式配置于所述模型本体上端的所述保管盒的所述狭缝；及
中央处理部件，用于向预先准备的影像处理计算机传送由所述针孔影像测量部件和所述狭缝影像测量部件分别测量的信息；
所述狭缝影像测量部件包括能够分别识别配置于所述模型本体的两侧上端的一侧狭缝和另一侧狭缝的一侧狭缝摄像头和另一侧狭缝摄像头，
所述一侧狭缝摄像头和所述另一侧狭缝摄像头存在于相同的水平线，
若在所述保管盒保管的所述移送位置测量用试验模型的底部面***所述移送机器人时将所述移送位置测量用试验模型举起规定高度，则所述一侧狭缝摄像头拍摄配置于所述模型本体的一侧上端的所述一侧狭缝，另一侧狭缝摄像头拍摄配置于所述模型本体的另一侧上端的所述另一侧狭缝，
通过利用所述狭缝影像测量部件测量的值来演算的值，判断所述狭缝和所述移送位置测量用试验模型的间隔值(H)与预先输入的正常比较值(H')是否相同，从而判断是否利用所述移送机器人来向所述保管盒的外侧取出或向内部放入所述保管盒的所述移送位置测量用试验模型，
所述间隔值(H)由式H＝h3+h4+h5演算，
其中，h4为所述一侧狭缝高度的一半值，且为预先储存于所述影像处理计算机的值，
h5为从所述模型本体的上端部向所述一侧狭缝摄像头的中央的垂直距离，且为预先储存于所述影像处理计算机的值，
h3为通过式h3＝h1-h2求出的值，
其中，h1为利用所述影像处理计算机的视觉技术来对在所述一侧狭缝摄像头中拍摄的一侧识别范围的所述影像进行处理来提取的所述一侧狭缝底部面和所述模型本体之间的垂直间隔值，
h2为从所述h1去除的高度值，且为利用预先输入的θ来通过式h2＝d1*tan(90-θ)求出的值，
其中，d1为从所述保管盒的内部面至所述一侧狭缝摄像头的水平距离，且为预先储存于所述影像处理计算机的值，
θ为在90°中，除从所述一侧狭缝摄像头拍摄的方向的虚拟中央线至所述模型本体的拍摄的角度之外的演算值，且为预先输入在所述影像处理计算机的值，
通过比较以上述的方式演算的在所述一侧狭缝摄像头侧的所述间隔值(H)和所述另一侧狭缝摄像头侧的间隔值(H)，判断对于所述移送位置测量用试验模型的一侧和另一侧的倾斜度是否平行，其中，所述另一侧狭缝摄像头侧的间隔值(H)为利用与在所述一侧狭缝摄像头侧求出间隔值(H)的演算方式相同的演算方式演算出的值。
2.根据权利要求1所述的移送位置测量用试验模型，其特征在于，所述针孔影像测量部件由用于分别测量在所述固定单元形成的多个所述引导针孔的多个针孔拍摄用摄像头构成，
在所述针孔拍摄用摄像头中预先设定有所述引导针孔的识别范围或拍摄范围。
3.根据权利要求2所述的移送位置测量用试验模型，其特征在于，所述针孔拍摄用摄像头形成于所述模型本体的底部面，且被形成为与预先设定的所述引导针孔的拍摄范围对应，并能够拍摄所述针孔拍摄用摄像头与所述固定单元相接触的状态。
4.根据权利要求1所述的移送位置测量用试验模型，其特征在于，所述针孔影像测量部件包括屏幕部件，所述屏幕部件形成于所述模型本体的底部面，能够与所述固定单元相接触，通过坐标值来输出所接触的部分。
5.根据权利要求1所述的移送位置测量用试验模型，其特征在于，所述移送位置测量用试验模型包括检测部件，所述检测部件能够测量所述移送位置测量用试验模型的周边环境的变化和所述移送位置测量用试验模型自身的倾斜度。
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