CN109884504A - 一种量子芯片电容检测方法 - Google Patents

一种量子芯片电容检测方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109884504A
CN109884504A CN201910195191.4A CN201910195191A CN109884504A CN 109884504 A CN109884504 A CN 109884504A CN 201910195191 A CN201910195191 A CN 201910195191A CN 109884504 A CN109884504 A CN 109884504A
Authority
CN
China
Prior art keywords
conductor wire
quantum chip
pole plate
substrate
wire
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910195191.4A
Other languages
English (en)
Inventor
杨夏
李军英
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hefei Native Quantum Computing Technology Co Ltd
Original Assignee
Hefei Native Quantum Computing Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hefei Native Quantum Computing Technology Co Ltd filed Critical Hefei Native Quantum Computing Technology Co Ltd
Priority to CN201910195191.4A priority Critical patent/CN109884504A/zh
Publication of CN109884504A publication Critical patent/CN109884504A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

本发明公开了一种量子芯片电容检测方法,包括提供基板、量子芯片、bonding机、金属线和电容检测装置,在所述基板的表面设置安放区,在所述安放区的两边缘处分别设置第一导电线和第二导电线;将所述量子芯片固定在所述基板的所述安放区中;采用bonding机将两条金属线分别bonding在所述量子芯片的所述第一极板与所述第一导电线之间以及所述量子芯片的所述第二极板与所述第二导电线之间,将电容检测装置的正极接线柱和负极接线柱分别连接基板上的所述第一导电线的端口和所述第二导电线的端口;接通电容检测装置的电源,检测量子芯片的电容,采用本发明检测方法,它能够使得量子芯片电容在测试时,与测试器件的连接更加稳定,提高测试效率。

Description

一种量子芯片电容检测方法
技术领域
本发明属于电容检测领域,特别是一种量子芯片电容检测方法。
背景技术
量子芯片是量子计算机的基本构成单元,是以量子态的叠加效应为原理,以量子比特为信息处理的载体的处理器,量子芯片主要包含超导量子芯片、半导体量子芯片、量子点芯片、离子阱及NV(金刚石)色心等。
量子芯片在出厂时需要测试其实际电容,根据实际电容与量子芯片的设计电容之间的误差大小来判断量子芯片是否合格。目前,常规的做法是直接在量子芯片的两个极板上焊接铜丝并连接电容电桥进行测试,但是由于量子芯片的体积较小,直接采用铜丝焊接极板的方式,焊接难度大,焊接后连接的稳定性不好,且容易崩断,使得量子芯片电容检测的效率低下。
发明内容
本发明的目的是提供一种量子芯片电容检测方法,以解决现有技术中的不足,它能够使得量子芯片电容在测试时,与测试器件连接更加稳定,提高测试效率。
本发明采用的技术方案如下:
一种量子芯片电容检测方法,包括以下步骤:
提供基板、量子芯片、bonding机、金属线和电容检测装置,在所述基板的表面设置安放区,在所述安放区的两边缘处分别设置第一导电线和第二导电线,其中:所述量子芯片包括相对设置的第一极板和第二极板;
将所述量子芯片固定在所述基板的所述安放区中;
采用bonding机在所述第一极板和所述第一导电线之间bonding一根所述金属线,使得所述第一极板和所述第一导电线导通,在所述第二极板与所述第二导电线之间bonding一根所述金属线,使得所述第二极板和所述第二导电线导通;
将所述电容检测装置的正极接线柱和负极接线柱分别连接基板上的所述第一导电线和所述第二导电线;
接通电容检测装置的电源,检测量子芯片的电容。
进一步的:
所述金属线采用金属铝丝线。
进一步的:
所述金属铝丝线的直径25μm,长度3mm。
进一步的:
所述电容检测装置为变压器比率臂电容电桥。
进一步的:
所述在所述基板的表面设置安放区,在所述安放区的两边缘处分别设置第一导电线和第二导电线,具体包括:
在所述安放区的两相对边缘处分别设置第一导电线和第二导电线,所述第一导电线和所述第二导电线平行设置;
或在所述安防区的两相邻边缘处分别设置第一导电线和第二导电线,所述第一导电线和所述第二导电线交叉设置。
进一步的:
将所述量子芯片固定在所述基板上的所述安放区中,具体包括:
将所述量子芯片通过粘贴的方式固定在所述基板表面的安放区。
进一步的:
所述采用bonding机在所述第一极板和所述第一导电线之间bonding一根所述金属线使得所述第一极板和所述第一导电线导通,在所述第二极板与所述第二导电线之间bonding一根所述金属线,使得所述第二极板和所述第二导电线导通,具体包括:
设置各所述金属线均位于所述第一极板和所述第二极板连线的延长线上。
有益效果:
与现有技术相比,本发明通过在基板上设置两个导电线,即第一导电线和第二导电线,采用bonding机在所述第一极板和所述第一导电线之间bonding一根所述金属线,使得所述第一极板和所述第一导电线导通,在所述第二极板与所述第二导电线之间bonding一根所述金属线,使得所述第二极板和所述第二导电线导通,再使用电容检测装置检测量子芯片的电容,由于此时连接更加稳定,不易脱落,使得检测更加方便高效,大大提高了量子芯片电容的检测效率。
附图说明
图1是本发明第一种实施中采用的基板结构示意图;
图2是本发明另一种实施中采用的基板结构示意图。
具体实施方式
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能解释为对本发明的限制。
实施例1
量子芯片是量子计算机的基本构成单元,是以量子态的叠加效应为原理,以量子比特为信息处理的载体的处理器,量子芯片主要包含超导量子芯片、半导体量子芯片、量子点芯片、离子阱及NV(金刚石)色心等。
量子芯片在出厂时需要测试其实际电容,根据实际电容与量子芯片的设计电容之间的误差大小来判断量子芯片是否合格。
结合附图1,本发明提供了一种量子芯片电容检测方法,包括以下步骤:
提供基板1、量子芯片2、bonding机(图未示)、金属线3和电容检测装置(图未示),在所述基板1的表面设置安放区13,在所述安放区13的两边缘处分别设置第一导电线11和第二导电线12,其中:所述量子芯2片包括相对设置的第一极板21和第二极板22;
将所述量子芯片2固定在所述基板1的所述安放区13中;
采用bonding机在所述第一极板21和所述第一导电线11之间bonding一根金属线3,使得所述第一极板21和所述第一导电线11导通,在所述第二极板22与所述第二导电线12之间bonding一根金属线3,使得所述第二极,22和所述第二导电线12导通。
将电容检测装置的正极接线柱和负极接线柱分别连接基板1上的所述第一导电线11和所述第二导电线12;
接通电容检测装置的电源,检测量子芯片2的电容。
与现有技术相比,本发明通过在所述基板1上设置安放区13,安防区13的两边缘处设置两个导电线,即第一导电线11和第二导电线12,采用bonding机将两根金属导电线3bonding在粘贴在基板1上的量子芯片2的第一极板21和第一导电线11以及第二极板22和第二导电线12之间,再使用电容检测装置检测量子芯片2的电容,由于此时连接更加稳定,不易脱落,使得检测更加方便高效,大大提高了量子芯片2电容的检测效率。
实施例2
具体的:结合附图1,本发明提供了一种量子芯片电容检测方法,包括以下步骤:
步骤S1:提供基板1、量子芯片2、bonding机(图未示)、金属线3和电容检测装置(图未示),在所述基板1上设置安放区13,所述安放区13的两边缘处设置两条导电线,分别为第一导电线11和第二导电线12,其中:所述第一导电线11和所述第二导电线12在所述基板1上之间的区域形成所述量子芯片2的即为安放区13,所述量子芯片2包括第一极板21和第二极板21;
其中:在所述基板1上设置的两条导电线,分别为第一导电线11和第二导电线12,具体的,可在所述安放区13的两相对边缘处分别设置所述第一导电线11和所述第二导电线12,并将第一导电线11和所述第二导电线12均设置为直线,且使所述第一导电线11和第二导电线12在所述基板1上并排平行设置,如此设置,更加简单方便,易于制作,所述第一导电线11和所述第二导电线12之间区域即为安放区13;
结合附图2,可选的另一种方式,所述第一导电线11和所述第二导电线12的设置方式也可为,在所述安防区的13两相邻边缘处分别设置第一导电线11和第二导电线12,将所述第一导电线11和所述第二导电线12均设置为直线,且使得所述第一导电线11和所述第二导电线12在所述基板1上交叉设置,此时,所述第一导电线11和所述第二导电线12以交叉点为中心,形成4个可以放置所述量子芯片2的安放区13,可以便于对多个量子芯片2进行检测,进一步的,所述基板1的形状也可设置为方形或者圆形。
其中,所述bonding机是指能够实现Wire-Bonding的机器,Wire-Bonding(即压焊、帮定、键合或丝焊)是指使用金属线(如金线),利用热压或超声能源,完成微电子器件中固态电路内部互连接线的连接,即芯片与电路或引线框架之间的连接。
其中,所述金属线3可以采用金属铝丝线,采用铝线,可以在超导状态下稳定工作,根据实际情况,铝线的直径设置为25μm,长度设置为3mm;
其中,所述电容检测装置可以采用变压器比率臂电容电桥,具体型号可使用2700AULTRA PRECISION 50Hz-20KHz CAPACITANCE BRIDGE。
步骤S2:将所述量子芯片2固定在所述安放区13。
具体的,将所述量子芯片2固定在所述基板1的所述安放区13中的方式,可直接所述基板1的表面安放区13上涂胶,再将所述量子芯片2粘贴在安放区13中,操作方便,效率高。
步骤S3:采用bonding机在所述第一极板21和所述第一导电线11之间bonding一根金属线3,使得所述第一极板21和所述第一导电线11导通,在所述第二极板21与所述第二导电线22之间bonding一根金属线3,使得所述第二极板21和所述第二导电线22导通。
具体的,采用bonding机将两条金属线3分别bonding在所述量子芯片2的所述第一极板21与所述第一导电线11之间以及所述量子芯片2的所述第二极板22与所述第二导电线12之间,使得各条金属线3分别位于所述第一极板21和所述第二极板22连线的延长线上,这样可以最大程度的减少bonding的金属线3的长度,金属线3越短,产生电感的可能性越小,对检测结果的影响越小。
步骤S4:将电容检测装置的正极接线柱和负极接线柱分别连接基板1上的所述第一导电线11和所述第二导电线12。
更进一步的,可在所述第一导电线11和所述第二导电线12的位于所述基板1边缘的端点处设置端口,以方便所述电容检测装置的正极接线柱和负极接线柱的连接。
步骤S5:接通电容检测装置的电源,检测量子芯片2的电容。
具体的,在接通电容检测装置的电源后,需要等待一段时间,等待稳定后,再检测量子芯片2的电容。
具体的,所述电容检测装置可以使用变压器比率臂电容电桥,具体型号可使用2700A ULTRA PRECISION 50Hz-20KHz CAPACITANCE BRIDGE,其接通电源后,需要等待20min稳定后,再进行检测。
通过采用上述发明方法,量子芯片与检测装置的连接更加稳定,不易脱落,使得检测更加方便高效,大大提高了量子芯片电容的检测效率
以上依据图式所示的实施例详细说明了本发明的构造、特征及作用效果,以上所述仅为本发明的较佳实施例,但本发明不以图面所示限定实施范围,凡是依照本发明的构想所作的改变,或修改为等同变化的等效实施例,仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时,均应在本发明的保护范围内。

Claims (7)

1.一种量子芯片电容检测方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供基板、量子芯片、bonding机、金属线和电容检测装置,在所述基板的表面设置安放区,在所述安放区的两边缘处分别设置第一导电线和第二导电线,其中:所述量子芯片包括相对设置的第一极板和第二极板;
将所述量子芯片固定在所述基板的所述安放区中;
采用bonding机在所述第一极板和所述第一导电线之间bonding一根金属线,使得所述第一极板和所述第一导电线导通,在所述第二极板与所述第二导电线之间bonding一根所述金属线,使得所述第二极板和所述第二导电线导通;
将所述电容检测装置的正极接线柱和负极接线柱分别连接基板上的所述第一导电线和所述第二导电线;
接通电容检测装置的电源,检测量子芯片的电容。
2.根据权利要求1所述的量子芯片电容检测方法,其特征在于:
所述金属线采用金属铝丝线。
3.根据权利要求1所述的量子芯片电容检测方法,其特征在于:
所述金属铝丝线的直径25μm,长度3mm。
4.根据权利要求1所述的量子芯片电容检测方法,其特征在于:
所述电容检测装置为变压器比率臂电容电桥。
5.根据权利要求1所述的量子芯片电容检测方法,其特征在于:所述在所述基板的表面设置安放区,在所述安放区的两边缘处分别设置第一导电线和第二导电线,具体包括:
在所述安放区的两相对边缘处分别设置第一导电线和第二导电线,所述第一导电线和所述第二导电线平行设置;
或在所述安防区的两相邻边缘处分别设置第一导电线和第二导电线,所述第一导电线和所述第二导电线交叉设置。
6.根据权利要求1所述的量子芯片电容检测方法,其特征在于:将所述量子芯片固定在所述基板上的所述安放区中,具体包括:
将所述量子芯片通过粘贴的方式固定在所述基板表面的安放区。
7.根据权利要求1-6任一所述的量子芯片电容检测方法,其特征在于,所述采用bonding机在所述第一极板和所述第一导电线之间bonding一根所述金属线,使得所述第一极板和所述第一导电线导通,在所述第二极板与所述第二导电线之间bonding一根所述金属线,使得所述第二极板和所述第二导电线导通,具体包括:
设置各所述金属线均位于所述第一极板和所述第二极板连线的延长线上。
CN201910195191.4A 2019-03-14 2019-03-14 一种量子芯片电容检测方法 Pending CN109884504A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910195191.4A CN109884504A (zh) 2019-03-14 2019-03-14 一种量子芯片电容检测方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910195191.4A CN109884504A (zh) 2019-03-14 2019-03-14 一种量子芯片电容检测方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109884504A true CN109884504A (zh) 2019-06-14

Family

ID=66932424

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910195191.4A Pending CN109884504A (zh) 2019-03-14 2019-03-14 一种量子芯片电容检测方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109884504A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112444713A (zh) * 2019-08-28 2021-03-05 合肥本源量子计算科技有限责任公司 一种量子芯片检测方法

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85202256U (zh) * 1985-06-12 1986-06-11 福建省计量科学技术研究所 直读式变压器电容电桥
CN101105504A (zh) * 2006-07-10 2008-01-16 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 探针卡装置
CN101285863A (zh) * 2007-04-10 2008-10-15 系新科技股份有限公司 电路基板的测量方法及装置
CN101384914A (zh) * 2006-02-23 2009-03-11 松下电器产业株式会社 半导体集成电路及其检查方法
CN103630824A (zh) * 2012-08-28 2014-03-12 上海华虹宏力半导体制造有限公司 芯片同测***
CN103969511A (zh) * 2014-05-27 2014-08-06 上海先进半导体制造股份有限公司 硅片上各芯片的电容参数的测量方法
CN204758704U (zh) * 2015-06-22 2015-11-11 南通金泰科技有限公司 测算无源rfid芯片内部谐振电容的装置
CN105388387A (zh) * 2015-11-25 2016-03-09 天津市捷威动力工业有限公司 软包装锂离子电池负极与壳体短路的检测装置及检测方法
CN205809182U (zh) * 2016-07-04 2016-12-14 中国振华集团云科电子有限公司 芯片电容温度特性测试夹具
CN106783654A (zh) * 2016-11-28 2017-05-31 西安科锐盛创新科技有限公司 裸芯片测试用保护结构的制作方法
CN207571216U (zh) * 2017-11-24 2018-07-03 长兴衡鑫仪表科技有限公司 一种片式电阻器测试工装
CN108445293A (zh) * 2018-05-29 2018-08-24 合肥本源量子计算科技有限责任公司 一种量子芯片端口阻抗测试装置及测量方法
CN108761310A (zh) * 2018-05-25 2018-11-06 合肥本源量子计算科技有限责任公司 一种量子芯片的测试方法

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85202256U (zh) * 1985-06-12 1986-06-11 福建省计量科学技术研究所 直读式变压器电容电桥
CN101384914A (zh) * 2006-02-23 2009-03-11 松下电器产业株式会社 半导体集成电路及其检查方法
CN101105504A (zh) * 2006-07-10 2008-01-16 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 探针卡装置
CN101285863A (zh) * 2007-04-10 2008-10-15 系新科技股份有限公司 电路基板的测量方法及装置
CN103630824A (zh) * 2012-08-28 2014-03-12 上海华虹宏力半导体制造有限公司 芯片同测***
CN103969511A (zh) * 2014-05-27 2014-08-06 上海先进半导体制造股份有限公司 硅片上各芯片的电容参数的测量方法
CN204758704U (zh) * 2015-06-22 2015-11-11 南通金泰科技有限公司 测算无源rfid芯片内部谐振电容的装置
CN105388387A (zh) * 2015-11-25 2016-03-09 天津市捷威动力工业有限公司 软包装锂离子电池负极与壳体短路的检测装置及检测方法
CN205809182U (zh) * 2016-07-04 2016-12-14 中国振华集团云科电子有限公司 芯片电容温度特性测试夹具
CN106783654A (zh) * 2016-11-28 2017-05-31 西安科锐盛创新科技有限公司 裸芯片测试用保护结构的制作方法
CN207571216U (zh) * 2017-11-24 2018-07-03 长兴衡鑫仪表科技有限公司 一种片式电阻器测试工装
CN108761310A (zh) * 2018-05-25 2018-11-06 合肥本源量子计算科技有限责任公司 一种量子芯片的测试方法
CN108445293A (zh) * 2018-05-29 2018-08-24 合肥本源量子计算科技有限责任公司 一种量子芯片端口阻抗测试装置及测量方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112444713A (zh) * 2019-08-28 2021-03-05 合肥本源量子计算科技有限责任公司 一种量子芯片检测方法
CN112444713B (zh) * 2019-08-28 2021-10-08 合肥本源量子计算科技有限责任公司 一种量子芯片检测方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN218730911U (zh) 一种内绝缘的双面散热封装结构
CN102468122A (zh) 半导体器件失效分析样品制作方法及分析方法
CN205984975U (zh) 一种滤除瞬态高压脉冲的超薄整流桥
CN109817612B (zh) 一种改善焊接型碳化硅功率模块电热性能的封装结构
CN103852707B (zh) 一种功率半导体芯片测试工装
CN109884504A (zh) 一种量子芯片电容检测方法
CN204706557U (zh) 一种智能功率模块
CN106104290A (zh) 高灵敏磁传感器及其制作方法
CN109031102A (zh) 一种芯片测试装置
CN105277864B (zh) 半导体芯片的试验装置、试验方法及试验电路
CN212625492U (zh) 一种led芯片检测装置
CN216411361U (zh) 一种用于并行测试igbt芯片和frd芯片的测试夹具
CN108400131A (zh) 内串联结构二极管管堆
CN103779343A (zh) 功率半导体模块
WO2022156132A1 (zh) 芯片测试板及芯片测试方法
CN209543219U (zh) 一种基于三维立体封装的计算机模块
CN207651047U (zh) 一种贴片芯片实验用面包板
CN203746841U (zh) 功率半导体模块
CN213934111U (zh) 一种半导体激光器芯片老化装置
CN206179859U (zh) 串联二极管的封装结构
CN205984974U (zh) 一种超薄低热阻的全波整流桥新结构
CN201716338U (zh) 一种阻抗分析仪用测试夹具
CN221573933U (zh) 一种节能贴片式双芯整流器
TW201307860A (zh) 雙面導通晶片之即測接合方法
CN211957650U (zh) 一种工艺改善型二极管

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190614

RJ01 Rejection of invention patent application after publication