CN109855813A - 集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置及其运行方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,包括1台或多台简易检测单元,所述简易检测单元包括底盘,以及安装在底盘上用于固定stick组件的固定座、滑动座、快速夹具和夹紧气缸,底盘的表层设有多个安装槽和2条导轨,所述安装槽中安装待检测的stick组件,底盘的底面安装有控制氦检抽气的氦检口阀门、控制氮气进入的氮气进口阀,以及用于保压之后排出氮气的氮气出口阀。本发明还提供了集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置的运行方法。本发明集保压和氦气检漏于一体,且可根据需要检测的stick数量和效率情况,选择多个检测口,或选择多台简易检测单元串联,同时对多个stick进行检测,具有节省测试时间,提高工作效率,降低人工成本等优点。
Description
技术领域
本发明涉及检测设备技术领域,具体地,涉及集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置及其运行方法。
背景技术
由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展,及我国政府大力提倡科技兴国,国内半导体、光伏制造业发展迅猛。光伏产业在近两年快速发展,是未来新能源产业的主力军。在半导体、光伏相关产业常用的制程中,在一些非高精度要求的前提下,需要大量使用stick,stick称为调压阀组,或特气使用终端,主要用于半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体的设备上,满足工艺机台对流体的使用要求。传统的stick检测方式只能一个一个单独检测,而在需要检测的stick数量非常多的情况下,必然所需的测试的时间非常长,用工成本太高,这急需研发一种可对多个stick同时检测的设备来提高工作效率。
发明内容
针对现有技术中的缺陷,本发明的目的是提供集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置及其运行方法,本发明集保压和氦气检漏于一体,且可根据需要检测的stick数量和效率情况,选择多个检测口,或选择多台简易检测单元串联,同时对多个stick进行检测,具有节省测试时间,提高工作效率,降低人工成本等优点。
根据本发明的一个方面,提供集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,包括1台或多台简易检测单元,所述简易检测单元包括作为整台装置的基准台面的底盘(1),所述底盘(1)的表层设有多个安装槽和2条导轨,所述安装槽中安装待检测的stick组件(2),所述安装槽的后端设有控制stick组件(2)安装到位的固定座(3),其前端设有夹紧stick组件(2)的前后口的滑动座(4),所述滑动座(4)的前侧壁设有推动其移动的快速夹具(5),所述底盘(1)的底层还设有多个用于夹紧stick组件(2)的表口的夹紧气缸(6),所述夹紧气缸(6)与stick组件(2)一一对应;所述夹紧气缸(6)采用双动型压缩空气式夹紧气缸;
所述stick组件(2)的进出口连接的输气支管分别连接到进气主管和输气主管(13)上,所述输气主管(13)上安装有用于查看测试后整个管路压力的压力表(10);
所述底盘(1)的底面安装有氦检口阀门(7)、氮气进口阀(8)和氮气出口阀(9),分别朝向不同的三个方向,所述氦检口阀门(7)与输气主管(13)连接,控制氦检抽气,所述氮气进口阀(8)与进气主管的一端连接,控制氮气的进入,所述氮气出口阀(9)与进气主管的另一端连接,用于保压之后排出氮气或者连接另一个简易检测单元。
优选的,所述简易检测单元通过两个相邻简易检测单元的氮气出口阀(9)和氮气进口阀(8)进行串联连接组合。可根据需要检测的stick数量和效率情况,选择多个检测口,或选择多台检测装置串联使用。
优选的,所述stick组件(2)和夹紧气缸(6)均设有5组。
优选的,所述滑动座(4)呈矩形结构,其底部的两端分别设置有1个与导轨配合滑动的滑动块。
优选的,所述快速夹具(5)设有2组,分别设置在推动滑动座(4)的两端,通过扳动把手推动滑动座(4)夹紧stick组件(2)的前后口。
优选的,所述stick组件(2)的前后口与固定座(3)和滑动座(4)之间的间隙处设置有第一密封圈密封。
优选的,所述stick组件(2)的表口与夹紧气缸(6)之间的间隙处设置有第二密封圈密封。
优选的,所述导轨、固定座(3)、快速夹具(5)和夹紧气缸(6)均通过螺丝与底盘(1)连接固定。
优选的,所述底盘(1)的底层的四个角上均设有支撑装置的支脚(11)。
为了实现上述目的,本发明还提供了一种集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置的运行方法,包括以下步骤:
步骤一,将stick组件(2)放入底盘(1)上的安装槽内,推动快速夹具(5),促使滑动座(4)滑动夹紧stick组件(2)的两端,接入夹紧气缸(6)所需的气源,夹紧stick组件(2)的表口;
步骤二,关闭氮气出口阀(9)和氦检口阀门(7),连通氮气进口阀(8),接入测试用的氮气,记录此时压力表(10)的读数;
步骤三,通氮气24小时后,观察所述压力表(10)的读数是否有变化,若没有变化,则保压测试通过;若读数改变,则保压测试未通过;
步骤四,保压测试通过后,打开氮气出口阀(9),排出管路中的氮气;
步骤五,关闭氮气进口阀(8)和氮气出口阀(9);从氦检口阀门(7)处接入氦检仪,打开氦检口阀门(7),做氦气检测。
与现有技术相比,本发明具有如下的有益效果:
(1)本发明所涉及的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置及其运行方法,集保压和氦气检漏于一体,且可对多个stick同时进行检测,节省了测试时间,大大提高了工作效率,降低了人工成本;
(2)本发明所涉及的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置及其运行方法,装置结构简单、设计巧妙、效果显著;
(3)本发明所涉及的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置及其运行方法,stick组件安装更换简单便捷,实用性强,易于工程应用;
(4)本发明所涉及的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置及其运行方法,可根据需要检测的stick数量和效率情况,选择多个检测口,或选择多台检测装置串联使用,灵活多变,应用范围广;
(5)本发明所涉及的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置及其运行方法,操作步骤简单,运行安全,测试结果精准可靠;
(6)本发明所涉及的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置及其运行方法,成本低,性价比高,适合大范围推广。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置的结构示意图;
图1中:1为底盘、2为stick组件、3为固定座、4为滑动座、5为快速夹具、6为夹紧气缸、7为氦检口阀门、8为氮气进口阀、9为氮气出口阀、10为压力表、11为支脚、12为进气主管、13为输气主管。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明,但不以任何形式限制本发明。应当指出的是,对本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。
实施例
本实施例涉及集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,其结构见附图1所示:包括1台或多台简易检测单元,所述简易检测单元包括作为整台装置的基准台面的底盘1,所述底盘1的表层设有多个安装槽和2条导轨,所述安装槽中安装待检测的stick组件2,所述安装槽的后端设有控制stick组件2安装到位的固定座3,其前端设有夹紧stick组件2的前后口的滑动座4,所述滑动座4的前侧壁设有推动其移动的快速夹具5,所述底盘1的底层还设有多个用于夹紧stick组件2的表口的夹紧气缸6,所述夹紧气缸6与stick组件2一一对应;所述夹紧气缸(6)采用双动型压缩空气式夹紧气缸;
所述stick组件2的进出口连接的输气支管分别连接到进气主管12和输气主管13上,所述输气主管13上安装有用于查看测试后整个管路压力的压力表10;
所述底盘1的底面安装有氦检口阀门7、氮气进口阀8和氮气出口阀9,分别朝向不同的三个方向,所述氦检口阀门7与输气主管13连接,控制氦检抽气,所述氮气进口阀8与进气主管12的一端连接,控制氮气的进入,所述氮气出口阀9与进气主管12的另一端连接,用于保压之后排出氮气或者连接另一个简易检测单元。
进一步的,所述简易检测单元通过两个相邻简易检测单元的氮气出口阀9和氮气进口阀8进行串联连接组合。可根据需要检测的stick数量和效率情况,选择多个检测口,或选择多台检测装置串联使用。
进一步的,所述stick组件2和夹紧气缸6均设有5组。
进一步的,所述滑动座4呈矩形结构,其底部的两端分别设置有1个与导轨配合滑动的滑动块。
进一步的,所述快速夹具5设有2组,分别设置在推动滑动座4的两端,通过扳动把手推动滑动座4夹紧stick组件2的前后口。
进一步的,所述stick组件2的前后口与固定座3和滑动座4之间的间隙处设置有第一密封圈密封。
进一步的,所述stick组件2的表口与夹紧气缸6之间的间隙处设置有第二密封圈密封。
进一步的,所述导轨、固定座3、快速夹具5和夹紧气缸6均通过螺丝与底盘1连接固定。
进一步的,所述底盘1的底层的四个角上均设有支撑装置的支脚11。
第二方面,本实施例还提供了一种集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置的运行方法,包括以下步骤:
步骤一,将stick组件2放入底盘1上的安装槽内,推动快速夹具5,促使滑动座4滑动夹紧stick组件2的两端,接入夹紧气缸6所需的气源,夹紧stick组件2的表口;
步骤二,关闭氮气出口阀9和氦检口阀门7,连通氮气进口阀8,接入测试用的氮气,记录此时压力表10的读数;
步骤三,通氮气24小时后,观察所述压力表10的读数是否有变化,若没有变化,则保压测试通过;若读数改变,则保压测试未通过;
步骤四,保压测试通过后,打开氮气出口阀9,排出管路中的氮气;
步骤五,关闭氮气进口阀8和氮气出口阀9;从氦检口阀门7处接入氦检仪,打开氦检口阀门7,做氦气检测。
以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是,本发明并不局限于上述特定实施方式,本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改,这并不影响本发明的实质内容。
Claims (10)
1.集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,其特征在于,包括1台或多台简易检测单元,所述简易检测单元包括作为整台装置的基准台面的底盘(1),所述底盘(1)的表层设有多个安装槽和2条导轨,所述安装槽中安装待检测的stick组件(2),所述安装槽的后端设有控制stick组件(2)安装到位的固定座(3),其前端设有夹紧stick组件(2)的前后口的滑动座(4),所述滑动座(4)的前侧壁设有推动其移动的快速夹具(5),所述底盘(1)的底层还设有多个用于夹紧stick组件(2)的表口的夹紧气缸(6),所述夹紧气缸(6)与stick组件(2)一一对应;
所述stick组件(2)的进出口连接的输气支管分别连接到进气主管和输气主管(13)上,所述输气主管(13)上安装有用于查看测试后整个管路压力的压力表(10);
所述底盘(1)的底面安装有氦检口阀门(7)、氮气进口阀(8)和氮气出口阀(9),分别朝向不同的三个方向,所述氦检口阀门(7)与输气主管(13)连接,控制氦检抽气,所述氮气进口阀(8)与进气主管的一端连接,控制氮气的进入,所述氮气出口阀(9)与进气主管的另一端连接,用于保压之后排出氮气或者连接另一个简易检测单元。
2.根据权利要求1所述的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,其特征在于,所述简易检测单元通过两个相邻简易检测单元的氮气出口阀(9)和氮气进口阀(8)进行串联连接组合。
3.根据权利要求1所述的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,其特征在于,所述stick组件(2)和夹紧气缸(6)均设有5组。
4.根据权利要求1所述的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,其特征在于,所述滑动座(4)呈矩形结构,其底部的两端分别设置有1个与导轨配合滑动的滑动块。
5.根据权利要求1所述的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,其特征在于,所述快速夹具(5)设有2组,分别设置在推动滑动座(4)的两端。
6.根据权利要求1所述的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,其特征在于,所述stick组件(2)的前后口与固定座(3)和滑动座(4)之间的间隙处设置有第一密封圈密封。
7.根据权利要求1所述的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,其特征在于,所述stick组件(2)的表口与夹紧气缸(6)之间的间隙处设置有第二密封圈密封。
8.根据权利要求1所述的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,其特征在于,所述导轨、固定座(3)、快速夹具(5)和夹紧气缸(6)均通过螺丝与底盘(1)连接固定。
9.根据权利要求1所述的集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置,其特征在于,所述底盘(1)的底层的四个角上均设有支撑装置的支脚(11)。
10.集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置的运行方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一,将stick组件(2)放入底盘(1)上的安装槽内,推动快速夹具(5),促使滑动座(4)滑动夹紧stick组件(2)的两端,接入夹紧气缸(6)所需的气源,夹紧stick组件(2)的表口;
步骤二,关闭氮气出口阀(9)和氦检口阀门(7),连通氮气进口阀(8),接入测试用的氮气,记录此时压力表(10)的读数;
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CN111157191A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-05-15 | 江苏亿阀股份有限公司 | 一种控制阀多项检测设备 |
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CN109855813B (zh) | 2024-04-19 |
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