CN109822238B - 一种加工转台精度校正方法、装置、***和存储介质 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种加工转台精度校正方法、装置、***和存储介质。该方法包括如下步骤：确定加工转台的当前台面从第1工位旋转至第2工位时驱动电机的旋转角度θ，其中，所述加工转台包括等间隔分布的N个工位；当所述当前台面需从第n工位旋转至第n+1工位时，控制所述驱动电机驱动所述当前台面在所述第n+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度为nθ，其中，n＝2,…,N‑1；确定所述当前台面从第N工位旋转至所述第1工位时所述驱动电机的旋转角度；根据所述旋转角度θ和所述旋转角度
确定所述驱动电机的校正旋转角度。本发明提供的技术方案可以提高加工转台精度校正的便捷程度与效率。
Description
技术领域
本发明涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种加工转台精度校正方法、装置、***和存储介质。
背景技术
多台面旋转加工工作台广泛应用于加工***中，特别是在激光加工中的应用日益广泛。位于台面上的工件可随之转动至不同工位，例如对工件进行定位的定位工位以及对工件进行加工的加工工位等。多个台面上可分别放置工件，同时进行不同的加工步骤，提高整体加工效率。但是，由于工作台台面的旋转主要是由电机驱动的，而电机通常存在定位精度的问题，因此，在工作台台面旋转的过程中，将会出现台面无法准确与相应工位对齐的情况，进而影响加工精度。故，需要对加工工作台进行校正，也就是对驱动加工工作台旋转的电机进行校正。
目前，对多台面旋转加工工作台驱动电机的校正主要基于激光干涉仪实现。具体地，使用激光干涉仪测量驱动电机旋转过程中的精度误差，以此生成精度补偿表，进而对驱动电机的精度进行校正。但是，激光干涉仪体积较大、携带不便，且安装、调试需要非常长的时间，另外，通常在将驱动电机安装于加工工作台之后，并没有足够的空间安装激光干涉仪，如果对加工工作台部分部件进行拆除，则有可能引入其他误差。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供一种加工转台精度校正方法、装置、***和存储介质。
第一方面，本发明提供一种加工转台精度校正方法，包括如下步骤：
确定加工转台的当前台面从第1工位旋转至第2工位时驱动电机的旋转角度θ，其中，所述加工转台包括等间隔分布的N个工位。
当所述当前台面需从第n工位旋转至第n+1工位时，控制所述驱动电机驱动所述当前台面在所述第n+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度为nθ，其中，n＝2,…,N-1。
确定所述当前台面从第N工位旋转至所述第1工位时所述驱动电机的旋转角度
根据所述旋转角度θ和所述旋转角度
确定所述驱动电机的校正旋转角度。
第二方面，本发明提供一种加工转台精度校正装置，包括：
第一处理模块，用于确定加工转台的当前台面从第1工位旋转至第2工位时驱动电机的旋转角度θ，其中，所述加工转台包括等间隔分布的N个工位。
第二处理模块，当所述当前台面需从第n工位旋转至第n+1工位时，控制所述驱动电机驱动所述当前台面在所述第n+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度为nθ，其中，n＝2,…,N-1。
第三处理模块，确定所述当前台面从第N工位旋转至所述第1工位时所述驱动电机的旋转角度
第四处理模块，根据所述旋转角度θ和所述旋转角度
确定所述驱动电机的校正旋转角度。
第三方面，本发明提供一种计算机可读存储介质，所述存储介质上存储有计算机程序，当所述计算机程序被执行时，实现如上所述的设备状态控制方法。
第四方面，本发明提供一种加工转台精度校正装置，其安装有如上所述的存储介质。
第五方面，本发明提供一种加工转台精度校正***，包括如上所述的加工转台精度校正装置、包括驱动电机的加工转台以及用于获得包括所述加工转台的台面上标定点的图像的成像装置，所述加工转台精度校正装置分别与所述驱动电机和所述成像装置电连接。
本发明提供的加工转台精度校正方法、装置、***和存储介质的有益效果是，通常驱动加工转台台面旋转的驱动电机的重复定位精度较高，而绝对定位精度较低，也就是说，驱动电机驱动台面旋转一个完整周期后，回到初始工位的误差较小，而在旋转过程中从一个工位到另一个工位的各次旋转角度之间则可能存在较大误差。基于此，在精度校正过程中，首先确定当前台面从第1工位旋转至第2工位时驱动电机的首次旋转角度θ，并将其作为基准，通过修改驱动电机参数，使驱动电机在后续的各工位间的旋转角度均保持为θ，直至台面旋转至最后一个工位，即第N工位。由于加工转台的驱动电机的重复定位精度较高，也就是说，台面从第N工位再次回到第1工位时，台面与第1工位的对准误差将非常小，从而可通过360°减去之前旋转的总度数，得到当前台面从第N工位转至第1工位时驱动电机的旋转角度
在确定了旋转角度θ和旋转角度
后，可以确定驱动电机每次应旋转角度相对于校正前实际旋转角度的差值，进而对每次转动都进行相应补偿，可通过提前将补偿量写入电机驱动器等方式实现，从而完成驱动电机的精度校正，在保证重复定位精度的情况下，改善驱动电机的绝对定位精度。不仅操作便捷、快速，还可进一步使加工转台台面在转动后可与相应工位准确对齐，提高后续加工精度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例的加工转台精度校正方法的流程示意图；
图2为本发明实施例的加工转台的结构示意图；
图3为本发明实施例的加工转台的运动过程示意图；
图4为本发明实施例的加工转台的运动过程示意图；
图5为本发明实施例的加工转台的运动过程示意图；
图6为本发明实施例的加工转台精度校正***的电学框图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
如图1所示，本发明实施例提供的一种加工转台精度校正方法包括如下步骤：
100，确定加工转台的当前台面从第1工位旋转至第2工位时驱动电机的旋转角度θ，其中，所述加工转台包括等间隔分布的N个工位。
200，当所述当前台面需从第n工位旋转至第n+1工位时，控制所述驱动电机驱动所述当前台面在所述第n+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度为nθ，其中，n＝2,…,N-1。
300，确定所述当前台面从第N工位旋转至所述第1工位时所述驱动电机的旋转角度
400，根据所述旋转角度θ和所述旋转角度
确定所述驱动电机的校正旋转角度。
在本实施例中，通常驱动加工转台台面旋转的驱动电机的重复定位精度较高，而绝对定位精度较低，也就是说，驱动电机驱动台面旋转一个完整周期后，回到初始工位的误差较小，而在旋转过程中从一个工位到另一个工位的各次旋转角度之间则可能存在较大误差。基于此，在精度校正过程中，首先确定当前台面从第1工位旋转至第2工位时驱动电机的首次旋转角度θ，并将其作为基准，通过修改驱动电机参数，使驱动电机在后续的各工位间的旋转角度均保持为θ(由于绝对定位精度较低，每个工位之间的理论旋转角度一般都不会为θ，一般也会各不相等，需要通过修改驱动电机参数使其在后续的各工位间的旋转角度均保持为θ)，直至台面旋转至最后一个工位，即第N工位。由于加工转台的驱动电机的重复定位精度较高，也就是说，台面从第N工位再次回到第1工位时，台面与第1工位的对准误差将非常小，从而可通过360°减去之前旋转的总度数，得到当前台面从第N工位转至第1工位时驱动电机的旋转角度
在确定了旋转角度θ和旋转角度
后，可以确定驱动电机每次应旋转角度相对于校正前实际旋转角度的差值，进而对每次转动都进行相应补偿，可通过提前将补偿量写入电机驱动器等方式实现，从而完成驱动电机的精度校正，在保证重复定位精度的情况下，改善驱动电机的绝对定位精度。不仅操作便捷、快速，还可进一步使加工转台台面在转动后可与相应工位准确对齐，提高后续加工精度。
优选地，所述确定所述驱动电机的校正旋转角度的过程包括：
确定所述旋转角度θ和所述旋转角度
的差值δ，即
将所述校正旋转角度设定为r＝mθ-mδ/N，其中，m＝1,…,N-1，所述校正旋转角度为所述驱动电机驱动所述当前台面从第m工位旋转至第m+1工位时，所述当前台面在所述第m+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度。
由于m可为一个数组，故r＝mθ-mδ/N也可为多个校正旋转角度值。具体而言，是驱动电机在不同工位时相对于原始未校正角度调整之后的角度。可在精度校正后，将其存储于驱动电机的驱动器中，以使驱动电机在每次转动过程中都可根据实际情况进行相应调整，从而既保证驱动电机的重复定位精度，又保证其绝对定位精度。
优选地，所述确定所述驱动电机的校正旋转角度的过程还包括：
根据所述校正旋转角度控制所述驱动电机驱动所述当前台面依次从所述第1工位旋转至所述第N工位，同时检测所述当前台面与各工位间的对准误差，当所述对准误差小于或等于预设阈值时，确认所述校正旋转角度为r＝mθ-mδ/N。当所述对准误差大于预设阈值时，再次进行校正。
为了进一步保证加工转台精度校正的准确性，在获得与各工位对应的驱动电机的校正旋转角度后，可使驱动电机按此校正旋转角度带动台面进行一个完整周期的旋转，并检测台面与相应工位的对准误差，可通过例如激光打标与拍照比对的方式进行检测。如果对准误差在一定范围内，则说明通过前述方法获得的校正旋转角度可以起到良好的精度校正效果，此时将校正旋转角度值写入驱动电机的驱动器。如果对照误差大于预设阈值，则说明校正结果并不符合要求，需要重新校正或者进行故障排查。
优选地，所述控制所述驱动电机驱动所述当前台面在所述第n+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度为nθ的过程包括：
当所述当前台面从所述第n工位旋转至所述第n+1工位时，确定所述当前台面的相对旋转角度θ’，其中，所述相对旋转角度θ’为所述当前台面在所述第n+1工位时相对于在所述第n工位时的旋转角度(校正前的实际旋转角度)。
确定所述旋转角度θ和所述相对旋转角度θ’的相对差值Δθ，即，Δθ＝θ-θ’。
控制所述驱动电机驱动所述当前台面以所述相对差值Δθ进行旋转。
由于驱动电机绝对定位精度问题的存在，每次的相对旋转角度θ’通常也是不一样的，为了使驱动电机可带动台面每次以相同的旋转角度运动，在旋转过程中，当检测到实际旋转角度，也就是相对旋转角度θ’与作为基准的旋转角度θ之间存在相对差值Δθ时，通过修改驱动电机参数从而控制驱动电机进一步旋转，直至相对差值Δθ消失。
下面以具有四台面的加工转台为例对本发明的加工转台精度校正方法进行进一步说明。
如图2所示，加工转台共有四个台面，即台面1、台面2、台面3和台面4，相应地，还具有四个对应的工位，即第1工位I、第2工位II、第3工位III和第4工位IV，即，此时N＝4。驱动电机可驱动各转台顺时针旋转，每次旋转角度为360°/N，即为90°(理论值)，以台面1为例，也就是说，台面1可随驱动电机的转动从第一工位I依次旋转至第2工位II、第3工位III和第4工位IV，直至再次旋转回第1工位I。
如图3所示，在精度校正过程中，首先使驱动电机驱动台面1从第1工位I旋转至第2工位II。此时可通过驱动电机的编码器获得其旋转角度θ或其相应位置信息。由于具有四个等间隔分布的工位，各工位间的夹角应为90°，也就是理想情况下台面1此时的旋转角度应为90°，但由于驱动电机存在绝对定位精度较低的问题，所以在校正前，此时的旋转角度通常并不为90°。此时假设θ＝91°，也就是说，驱动电机此时的实际旋转角度为91°。
如图4所示，在驱动电机继续驱动台面1从第2工位II旋转至第3工位III的过程中，由于绝对定位精度的问题，驱动电机的旋转角度通常依然不是90°，通常也不会是与前次相同的91°。此时假设此次旋转角度，也就是从第2工位II旋转至第3工位III的相对旋转角度θ’为89.5°，由于此时旋转角度θ和相对旋转角度θ’的相对差值Δθ为91°-89.5°＝1.5°，说明驱动电机相对于起始位置的总旋转角度还未达到2θ，即182°。此时通过修改驱动电机参数，控制驱动电机继续转动1.5°，从而使驱动电机相对于起始位置的总旋转角度达到182°。此时n＝2。
如图5所示，在驱动电机继续驱动台面1从第3工位III旋转至第4工位IV的过程中，情况与从第2工位II旋转至第3工位III时类似，假设此次旋转角度，也就是从第3工位III旋转至第4工位IV的相对旋转角度θ’为88°，由于此时旋转角度θ和相对旋转角度θ’的相对差值Δθ为91°-88°＝3°，说明驱动电机相对于起始位置的总旋转角度还未达到3θ，即273°。此时通过修改驱动电机参数，控制驱动电机继续转动3°，最终控制驱动电机相对于起始位置的总旋转角度达到3θ，即273°。此时n＝3。
由于驱动电机的重复定位精度较高，也就是说，台面1从第1工位I依次旋转至第2工位、第3工位III、第4工位IV，并再次转回至第1工位I时，驱动电机此时的总旋转角度为较准确的360°。基于此，可以确定此时的旋转角度
则旋转角度θ和旋转角度
的差值δ＝91°-87°＝4°。
由于在驱动电机的驱动器中设置的角度值通常为在特定工位位置时，相对于初始位置的旋转角度或其相应位置信息，且此时，m＝[1,2,3]，校正旋转角度为mθ-mδ/N，即，三个校正旋转角度依次为91°-4°/4＝90°、2×91°-2×4°/4＝180°和3×91°-3×4°/4＝270°，由于驱动电机重复定位精度较为准确，此时还可确定
也就是说，在第1工位I至第2工位II的转动角度、第2工位II至第3工位III的转动角度和第3工位III至第4工位IV的转动角度经校正都满足精度要求后，第4工位IV至第1工位I的转动角度，也就是
无需专门校正，也会满足相应精度要求。经过精度校正后，驱动电机驱动台面旋转至任一工位时，台面均可与工位准确对齐。既保证了驱动电机的重复定位精度，又保证了其绝对定位精度。不仅操作便捷、快速，还可进一步使加工转台台面在转动后可与相应工位准确对齐，提高后续加工精度。
大多数情况下，θ是未知的，控制驱动电机旋转2θ和3θ通常可通过确定相对差值Δθ来实现。
优选地，确定所述相对差值Δθ的过程包括：
以预设参数在所述当前台面和与所述当前台面相邻的后续台面上分别设定标定点。
当所述当前台面旋转至所述第n工位时，获得包括所述标定点和所述当前台面的第一图像。
当所述后续台面旋转至所述第n工位时，也就是所述当前台面旋转至所述第n+1工位时，获得包括所述标定点和所述后续台面的第二图像。
确定在相同坐标系中，所述第一图像中的所述标定点和所述第二图像中的所述标定点之间的第一距离，并确定所述标定点和所述加工转台的旋转中心之间的第二距离，将所述第一距离与所述第二距离的商值作为所述相对差值Δθ。
加工转台可应用于激光加工等加工***中，则可设定第1工位I为上料工位，第2工位II为定位工位，第3工位III为加工工位，第4工位IV为下料工位。
以确定驱动电机驱动台面1从第2工位II旋转至第3工位III产生的相对差值为例。台面1位于第2工位上时，在台面1上确定一个标定点，例如可基于视觉定位***以预定的定位规则在台面1放置一个工件，此工件上预先加工出一个标定点，此标定点可以通过加工工位的激光加工***或其他加工***制得，此时获得包括标定点的第一图像。与此同时，在台面2上以相同定位规则放置一个具有相同标定点的工件，在台面1从第2工位II旋转至第3工位III时，相应地，台面2也从第1工位I旋转到了第2工位II，此时获得包括标定点的第二图像。
台面1和台面2上可以分别具有两个相同的工件，通过不同的第一图像和第二图像上标定点的相对位置确定相对差值。基于相同的原理测量，台面1和台面2上也可以放置同一相同的工件，也就是工件随台面1运动至加工工位形成第一标定点后，将具有第一标定点的工件从台面1取下，移至后续的台面2，并以相同定位规则放置，当工件随台面2再次运动至加工工位时，以相同加工方式在其上形成第二标定点，并获得工件图像。此时的工件图像相当于在相同坐标系下重叠具有第一标定点的第一图像以及具有第二标定点的第二图像，更便于确定相对差值。也就是说，可将图像具有相同坐标系理解为图像中的对应目标物体，例如工件，具有相同的尺寸、比例和方向等方位参数，从而方便对图像中的不同标识，例如不同标定点，进行准确比对。
不论是分别位于两张图像上的两个标定点，还是位于一张图像上的两个标定点，在进行比对时，如果二者不能完全重合，由于转台的运动方式为旋转运动，两个标定点也通常会位于以驱动电机转轴中心，也就是加工转台的旋转中心为圆心的同一圆弧上，二者距离圆心的距离均为圆弧的半径，即第二距离。
由于通常情况下相对差值较小，采用两个标定点之间的距离作为弧长，标定点距转台中心的距离作为半径，按照公式角度＝弧长/半径，便可确定相对旋转角度θ’与旋转角度θ之间的相对差值Δθ。
以此类推，可以获得驱动电机在每两个相邻工位间旋转存在的相对差值Δθ，可以依次对相对旋转角度θ’进行补偿性调整，最终实现全周期的精度校正。
如图6所示，本发明实施例提供的一种加工转台精度校正装置包括：
第一处理模块，用于确定加工转台的当前台面从第1工位旋转至第2工位时驱动电机的旋转角度θ，其中，所述加工转台包括等间隔分布的N个工位。
第二处理模块，当所述当前台面需从第n工位旋转至第n+1工位时，控制所述驱动电机驱动所述当前台面在所述第n+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度为nθ，其中，n＝2,…,N-1。
第三处理模块，确定所述当前台面从第N工位旋转至所述第1工位时所述驱动电机的旋转角度
第四处理模块，根据所述旋转角度θ和所述旋转角度
确定所述驱动电机的校正旋转角度。
在本发明另一实施例中，一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，当所述计算机程序被执行时，实现如上所述的设备状态控制方法。
在本发明另一实施例中，一种加工转台精度校正装置，安装有如上所述的计算机可读存储介质。其中，该装置可以为工控机等。
在本发明另一实施例中，一种加工转台精度校正***包括如上所述的加工转台精度校正装置、包括驱动电机的加工转台以及用于获得包括所述加工转台的台面上标定点的图像的成像装置，所述加工转台精度校正装置分别与所述驱动电机和所述成像装置电连接。
其中，所述成像装置可以为显微镜、CCD相机或其他成像测量工具。
所述驱动电机为DD直驱电机或伺服电机。DD直驱电机也可称为DD马达，其重复定位精度较高，一般在±1角秒左右，但绝对定位精度较低，一般在±15角秒以上，广泛应用于激光加工转台。
读者应理解，在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种加工转台精度校正方法，其特征在于，包括如下步骤：
确定加工转台的当前台面从第1工位旋转至第2工位时驱动电机的旋转角度θ，其中，所述加工转台包括等间隔分布的N个工位；以θ为基准，θ是未知的；
当所述当前台面需从第n工位旋转至第n+1工位时，控制所述驱动电机驱动所述当前台面在所述第n+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度为nθ，其中，n＝2,…,N-1；
确定所述当前台面从第N工位旋转至所述第1工位时所述驱动电机的旋转角度
根据所述旋转角度θ和所述旋转角度
确定所述驱动电机的校正旋转角度；
所述确定所述驱动电机的校正旋转角度的过程包括：
确定所述旋转角度θ和所述旋转角度
的差值δ；
将所述校正旋转角度设定为r＝mθ-mδ/N，其中，m＝1,…,N-1，所述校正旋转角度为所述驱动电机驱动所述当前台面从第m工位旋转至第m+1工位时，所述当前台面在所述第m+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度。
2.根据权利要求1所述的加工转台精度校正方法，其特征在于，所述确定所述驱动电机的校正旋转角度的过程还包括：
根据所述校正旋转角度控制所述驱动电机驱动所述当前台面依次从所述第1工位旋转至所述第N工位，同时检测所述当前台面与各工位间的对准误差，当所述对准误差小于或等于预设阈值时，确认所述校正旋转角度为r＝mθ-mδ/N。
3.根据权利要求1或2所述的加工转台精度校正方法，其特征在于，所述控制所述驱动电机驱动所述当前台面在所述第n+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度为nθ的过程包括：
当所述当前台面从所述第n工位旋转至所述第n+1工位时，确定所述当前台面的相对旋转角度θ’，其中，所述相对旋转角度θ’为所述当前台面在所述第n+1工位时相对于在所述第n工位时的旋转角度；
确定所述旋转角度θ和所述相对旋转角度θ’的相对差值Δθ；
控制所述驱动电机驱动所述当前台面以所述相对差值Δθ进行旋转。
4.根据权利要求3所述的加工转台精度校正方法，其特征在于，确定所述相对差值Δθ的过程包括：
以预设参数在所述当前台面和与所述当前台面相邻的后续台面上分别设定标定点，其中，两个标定点位于以所述加工转台的旋转中心为圆心的同一圆弧上；
当所述当前台面旋转至所述第n工位时，获得包括所述标定点和所述当前台面的第一图像；
当所述后续台面旋转至所述第n工位时，获得包括所述标定点和所述后续台面的第二图像；
确定在相同坐标系中，所述第一图像中的所述标定点和所述第二图像中的所述标定点之间的第一距离，并确定任一所述标定点和所述加工转台的旋转中心之间的第二距离，将所述第一距离与所述第二距离的商值作为所述相对差值Δθ。
5.一种加工转台精度校正装置，其特征在于，包括：
第一处理模块，用于确定加工转台的当前台面从第1工位旋转至第2工位时驱动电机的旋转角度θ，其中，所述加工转台包括等间隔分布的N个工位；以θ为基准，θ是未知的；
第二处理模块，当所述当前台面需从第n工位旋转至第n+1工位时，控制所述驱动电机驱动所述当前台面在所述第n+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度为nθ，其中，n＝2,…,N-1；
第三处理模块，确定所述当前台面从第N工位旋转至所述第1工位时所述驱动电机的旋转角度
第四处理模块，根据所述旋转角度θ和所述旋转角度
确定所述驱动电机的校正旋转角度；确定所述驱动电机的校正旋转角度的过程包括：
确定所述旋转角度θ和所述旋转角度
的差值δ；
将所述校正旋转角度设定为r＝mθ-mδ/N，其中，m＝1,…,N-1，所述校正旋转角度为所述驱动电机驱动所述当前台面从第m工位旋转至第m+1工位时，所述当前台面在所述第m+1工位时相对于在所述第1工位时的旋转角度。
6.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述存储介质上存储有计算机程序，当所述计算机程序被执行时，实现如权利要求1至4任一项所述的加工转台精度校正方法。
7.一种加工转台精度校正装置，其特征在于，安装有如权利要求6所述的存储介质。
8.一种加工转台精度校正***，其特征在于，包括如权利要求7所述的加工转台精度校正装置、包括驱动电机的加工转台以及用于获得包括所述加工转台的台面上标定点的图像的成像装置，所述加工转台精度校正装置分别与所述驱动电机和所述成像装置电连接。
9.根据权利要求8所述的加工转台精度校正***，其特征在于，所述驱动电机为DD直驱电机或伺服电机。
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