CN109821690B - 喷嘴清洁装置和涂布机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种喷嘴清洁装置和涂布机,其中喷嘴清洁装置用于清洁涂布机喷嘴,喷嘴清洁装置包括清洁器、回收罐、回收管道、抽真空管道以及背压抽气装置;所述清洁器具有溶剂回收口,所述回收管道一端连接所述溶剂回收口,另一端连接所述回收罐,所述抽真空管道的两端分别连接所述回收罐和所述背压抽气装置。
Description
技术领域
本发明涉及一种喷嘴清洁装置和应用该喷嘴清洁装置的涂布机。
背景技术
在显示面板的生产过程中,需要使用线性光刻胶涂布机进行光刻胶涂胶工艺。光阻涂布过程中普遍存在凝胶问题,即光阻涂布完成后,部分光刻胶残留在喷嘴尖端和周围。当喷嘴尖端处于不清洁状态下进行涂布会形成缺陷,严重影响产品良率。因此在进行每片玻璃的光刻胶涂布前,需要对喷嘴进行清洗。
目前比较有效的方式是通过喷嘴清洁装置喷洒出带有腐蚀性的溶剂对喷嘴进行清洗,而现有的喷嘴清洁装置通常通过真空泵提供动力进行溶剂残留液的吸取,由于溶剂具有挥发性和腐蚀性,真空泵很容易被溶剂挥发出来的腐蚀气体损毁。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种喷嘴清洁装置,旨在延长喷嘴清洁装置的使用寿命。
为实现上述目的,本发明提出的喷嘴清洁装置,包括清洁器、回收罐、回收管道、抽真空管道以及背压抽气装置;
所述清洁器具有溶剂回收口,所述回收管道一端连接所述溶剂回收口,另一端连接所述回收罐,所述抽真空管道的两端分别连接所述回收罐和所述背压抽气装置,所述背压抽气装置产生吸力将清洁涂布机喷嘴后的溶剂吸入回收罐。
可选地,所述背压抽气装置还包括空气压缩机、箱体以及容置于所述箱体内的鳍片组件,所述箱体开设有抽真空入口、压缩气体入口以及排气口,所述抽真空管道与所述抽真空入口连接,所述空气压缩机与所述压缩气体入口连接。
可选地,所述鳍片组件包括至少一组鳍片单元,每组所述鳍片单元包括多片均匀间隔设置的导流鳍片,两相邻所述导流鳍片之间形成两端贯通的流道,所述流道的入口朝向所述压缩气体入口设置,所述流道的出口朝向所述排气口设置。
可选地,每一所述导流鳍片在长度方向上呈弧形设置。
可选地,所述导流鳍片的材质为镀锌铁片或者塑料。
可选地,所述回收罐设置有排出阀门。
可选地,所述清洁器包括基座,所述基座开设有与所述涂布机喷嘴配合的凹槽,所述凹槽的底壁开设有所述溶剂回收口。
可选地,还包括溶剂储液罐,所述基座于所述凹槽的侧壁开设有溶剂出液口,所述溶剂储液罐与所述溶剂出液口连接。
可选地,所述溶剂储液罐和所述清洁器之间设置有快速接头,所述快速接头与所述溶剂出液口连通。
在一些实施例中,喷嘴清洁装置包括清洁器、回收罐、回收管道、抽真空管道以及背压抽气装置;
所述清洁器具有溶剂回收口,所述回收管道一端连接所述溶剂回收口,另一端连接所述回收罐,所述抽真空管道的两端分别连接所述回收罐和所述背压抽气装置,所述背压抽气装置产生吸力将清洁涂布机喷嘴后的溶剂吸入回收罐;
所述喷嘴清洁装置还包括空气压缩机,所述背压抽气装置包括箱体以及容置于所述箱体内的鳍片组件,所述箱体开设有抽真空入口、压缩气体入口以及排气口,所述抽真空管道与所述抽真空入口连接,所述空气压缩机与所述压缩气体入口连接;
所述鳍片组件包括至少一组鳍片单元,每组所述鳍片单元包括多片均匀间隔设置的导流鳍片,两相邻所述导流鳍片之间形成两端贯通的流道,所述流道的入口朝向所述压缩气体入口设置,所述流道的出口朝向所述排气口设置;所述导流鳍片在长度方向上呈弧形设置,所述回收罐设置有排出阀门。
本发明还提出一种涂布机,包括涂布机喷嘴,该涂布机还包括如上述的喷嘴清洁装置。
本发明技术方案通过在喷嘴清洁装置设背压抽气装置,背压抽气装置可通过耐腐蚀材质(如塑料、镀锌铁片)制作而成,通过背压抽气装置产生真空,从而为清洁器提供回收溶剂的吸力,相较于现有的喷嘴清洁装置直接通过真空泵提供溶剂回收吸力的方式,本发明的喷嘴清洁装置可避免因溶剂具有腐蚀性而造成重要部件如真空泵的损坏,如此可延长喷嘴清洁装置的使用寿命,降低其使用维护成本,同时本方案通过背压方式产生真空吸力的方式,具有更高的效率,也可以相应降低电能损耗。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本发明喷嘴清洁装置一实施例的结构示意图;
图2为图1中喷嘴清洁装置的清洁器的截面结构示意图;
图3为图1中喷嘴清洁装置的背压抽气装置的剖视结构示意图。
附图标号说明:
标号 | 名称 | 标号 | 名称 |
100 | 喷嘴清洁装置 | 511 | 抽真空入口 |
10 | 清洁器 | 513 | 压缩气体入口 |
11 | 基座 | 515 | 排气口 |
13 | 凹槽 | 53 | 导流鳍片 |
15 | 溶剂回收口 | 55 | 流道 |
17 | 溶剂出液口 | 60 | 空气压缩机 |
20 | 回收管道 | 70 | 快速接头 |
30 | 回收罐 | 80 | 储液罐 |
40 | 抽真空管道 | 90 | 排出阀门 |
50 | 背压抽气装置 | 200 | 涂布机喷嘴 |
51 | 箱体 |
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
需要说明,本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”、“固定”等应做广义理解,例如,“固定”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
另外,在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明提出一种喷嘴清洁装置100,用于清洁涂布机喷嘴200。
请结合参照图1至图3,在本发明一实施例中,该喷嘴清洁装置100包括清洁器10、回收罐30、回收管道20、抽真空管道40以及背压抽气装置50;清洁器10具有溶剂回收口15,回收管道20一端连接溶剂回收口15,另一端连接回收罐30,抽真空管道40的两端分别连接回收罐30和背压抽气装置50,背压抽气装置50产生吸力将清洁涂布机喷嘴200后的溶剂经由溶剂回收口15和回收管道20吸入回收罐30。
本发明在涂布机喷嘴200清洁过程中所采用的溶剂为N-甲基吡咯烷酮,通过在喷嘴清洁装置100设背压抽气装置50,背压抽气装置50可通过耐腐蚀材质(如塑料、镀锌铁片)制作而成,背压抽气装置50产生真空,从而为清洁器10提供回收溶剂的动力,相较于现有的喷嘴清洁装置100通过真空泵提供溶剂回收动力的方式,本发明的喷嘴清洁装置100可避免因溶剂具有腐蚀性而造成部件损坏,如此可延长喷嘴清洁装置100的使用寿命,降低其使用维护成本,同时本方案通过背压方式产生真空吸力的方式,具有更高的效率,也可以相应降低电能损耗。
请参照图2,具体地,所喷嘴清洁装置100包括空气压缩机60、箱体51以及容置于箱体51内的鳍片组件,箱体51开设有抽真空入口511、压缩气体入口513以及排气口515,抽真空管道40与抽真空入口511连接,空气压缩机60与压缩气体入口513连接。
本申请通过空气压缩机60向箱体51内输送压缩空气,压缩空气通过箱体51内的鳍片组件的导流作用,压缩空气的流速增加,压缩空气由排气口515排出时,箱体51内形成低压真空,如此清洁器10部分产生吸力,将清洗涂布机喷嘴200后的溶剂通过回收管道20吸入回收罐30,溶剂挥发产生的有腐蚀性的气体则继续顺着抽真空管道40进入箱体51,并在压缩空气的带动下由排气口515一同排出。本申请通过背压抽气装置50为清洁器10提供回收溶剂的吸力,结构简单的同时,效率较高,如此可降低整个喷嘴清洁装置100的成本。
所述鳍片组件包括至少一组鳍片单元,每组鳍片单元包括多片均匀间隔设置的导流鳍片53,两相邻导流鳍片53之间形成一两端贯通的流道55,流道55的入口朝向压缩气体入口513设置,流道55的出口朝向排气口515设置。本申请流道55的延伸方向为与压缩气体的流向相同,通过导流鳍片53的作用,压缩气体的流速加快,如此,箱体51内产生真空,并通过抽真空入口511产生吸力,将清洁器10内的溶剂吸入回收罐30内。
本申请可以在箱体51内呈矩阵设置有多组鳍片单元,相邻的鳍片单元之间的间距可以相同也可以不同,可选地,本申请相邻的鳍片单元之间的间距为是相同的。并设置有四组。抽真空入口511设置在箱体51的侧壁,压缩气体入口513设置在箱体51的顶壁,排气口515设置在箱体的底壁。本申请导流鳍片53在长度方向上呈弧形设置,呈厚度均匀的薄板状构造,并且每一导流鳍片53在面向抽真空入口511一侧为内凹,在背离抽真空入口511的一侧为外凸,则压缩空气流经导流鳍片53外凸一侧的流速要大于内凹一侧的流速,在内凹一侧产生低压,从而实现抽吸力,实现清洁器10一侧将溶剂吸入回收罐30内。
本申请导流鳍片53以及箱体51的材质为镀锌铁片或者塑料,如此导流鳍片53和箱体51不易被腐蚀,背压抽气装置50的使用寿命更长。
本申请在回收罐30设置有排出阀门90,可以理解的,还可以在回收罐30内设置液面检测传感器,通过液面检测传感器检测回收罐30内的溶剂的高度,当检测到回收罐30内液面高度到达设定的高度时,液面检测传感器发出控制信号并控制排出阀门90将回收罐30内的液体排出。
请参照图2,所述清洁器10包括基座11,基座11开设有与涂布机喷嘴200配合的凹槽13,凹槽13的底壁开设有溶剂回收口15。所述基座11的材料可为橡胶,通过在基座11设置凹槽13,在涂布机喷嘴200清洁过程中,溶剂和盛载于凹槽13内,涂布机喷嘴200清洁效率更高。清洁器10对涂布机喷嘴200清洁后,溶剂可顺着凹槽13流入溶剂回收口15,溶剂的回收更顺畅。
该喷嘴清洁装置100还包括溶剂储液罐80,基座11于凹槽13的侧壁开设有溶剂出液口17,溶剂储液罐80与溶剂出液口17连接。本申请于凹槽13的两侧壁均设置有出液口,通过对涂布机喷嘴200的两侧同时喷射溶剂,涂布机喷嘴200的清洁过程更迅速。
在一些实施例中,所述溶剂储液罐80和所述清洁器10之间设置有快速接头70,快速接头70与溶剂出液口17连通。通过快速接头70的设置,喷嘴清洁装置100的拆装更迅速。
本发明还提出一种涂布机,包括涂布机喷嘴200,该涂布机还包括喷嘴清洁装置100,该喷嘴清洁装置100的具体结构请参照上述实施例,由于本涂布机采用了上述所有实施例的全部技术方案,因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果,在此不再一一赘述。
以上所述仅为本发明的可选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是在本发明的发明构思下,利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (7)
1.一种喷嘴清洁装置,用于清洁涂布机喷嘴,其特征在于,包括清洁器、回收罐、回收管道、抽真空管道、背压抽气装置以及空气压缩机;
所述清洁器具有溶剂回收口,所述回收管道一端连接所述溶剂回收口,另一端连接所述回收罐,所述抽真空管道的两端分别连接所述回收罐和所述背压抽气装置,所述背压抽气装置包括箱体以及容置于所述箱体内的鳍片组件,所述箱体开设有抽真空入口、压缩气体入口以及排气口,所述抽真空管道与所述抽真空入口连接,所述空气压缩机与所述压缩气体入口连接,所述鳍片组件包括至少一组鳍片单元,每组所述鳍片单元包括多片均匀间隔设置的导流鳍片,每一所述导流鳍片在长度方向上呈弧形设置,并且每一所述导流鳍片在面向抽真空入口一侧为内凹,在背离抽真空入口的一侧为外凸,两相邻所述导流鳍片之间形成两端贯通的流道,所述流道的入口朝向所述压缩气体入口设置,所述流道的出口朝向所述排气口设置。
2.如权利要求1所述的喷嘴清洁装置,其特征在于,所述导流鳍片的材质为镀锌铁片或者塑料。
3.如权利要求1或2所述的喷嘴清洁装置,其特征在于,所述清洁器包括基座,所述基座开设有与所述涂布机喷嘴配合的凹槽,所述凹槽的底壁开设有所述溶剂回收口。
4.如权利要求3所述的喷嘴清洁装置,其特征在于,还包括溶剂储液罐,所述基座于所述凹槽的侧壁开设有溶剂出液口,所述溶剂储液罐与所述溶剂出液口连接。
5.如权利要求4所述的喷嘴清洁装置,其特征在于,所述溶剂储液罐和所述清洁器之间设置有快速接头,所述快速接头与所述溶剂出液口连通。
6.一种喷嘴清洁装置,用于清洁涂布机喷嘴,其特征在于,包括清洁器、回收罐、回收管道、抽真空管道以及背压抽气装置;
所述清洁器具有溶剂回收口,所述回收管道一端连接所述溶剂回收口,另一端连接所述回收罐,所述抽真空管道的两端分别连接所述回收罐和所述背压抽气装置,所述背压抽气装置产生吸力将清洁涂布机喷嘴后的溶剂吸入回收罐;
所述喷嘴清洁装置还包括空气压缩机,所述背压抽气装置包括箱体以及容置于所述箱体内的鳍片组件,所述箱体开设有抽真空入口、压缩气体入口以及排气口,所述抽真空管道与所述抽真空入口连接,所述空气压缩机与所述压缩气体入口连接;
所述鳍片组件包括至少一组鳍片单元,每组所述鳍片单元包括多片均匀间隔设置的导流鳍片,每一所述导流鳍片在长度方向上呈弧形设置,并且每一所述导流鳍片在面向抽真空入口一侧为内凹,在背离抽真空入口的一侧为外凸,两相邻所述导流鳍片之间形成两端贯通的流道,所述流道的入口朝向所述压缩气体入口设置,所述流道的出口朝向所述排气口设置;所述回收罐设置有排出阀门。
7.一种涂布机,包括涂布机喷嘴,其特征在于,还包括如权利要求1至6中任意一项所述的喷嘴清洁装置。
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE102019004176A1 (de) * | 2019-06-14 | 2020-12-17 | Voxeljet Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von 3D-Formteilen mittels Schichtaufbautechnik und Beschichter mit Unterdruckverschluss |
CN113070184B (zh) * | 2021-06-07 | 2021-09-07 | 成都拓米电子装备制造有限公司 | 一种狭缝挤出涂布头的清洁装置及清洁方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2441526A1 (fr) * | 2010-10-13 | 2012-04-18 | Exel Industries | Procédé et installation de nettoyage d'un circuit de pulvérisation, notamment de peinture, et de traitement des effluents chimiques générés |
CN103846183A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-06-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种涂布机喷嘴清洁装置 |
CN105518465A (zh) * | 2013-09-12 | 2016-04-20 | 株式会社日立高新技术 | 喷嘴清洗方法及自动分析装置 |
CN208184767U (zh) * | 2018-04-03 | 2018-12-04 | 浙江工业大学 | 一种自然风与射流式通风相结合的隧道竖井送风*** |
CN109243627A (zh) * | 2018-09-17 | 2019-01-18 | 中国核动力研究设计院 | 一种放射性包容*** |
Family Cites Families (1)
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---|---|---|---|---|
CN205110315U (zh) * | 2015-06-19 | 2016-03-30 | 德州市鑫华润科技股份有限公司 | 模具清洗剂回收装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2441526A1 (fr) * | 2010-10-13 | 2012-04-18 | Exel Industries | Procédé et installation de nettoyage d'un circuit de pulvérisation, notamment de peinture, et de traitement des effluents chimiques générés |
CN105518465A (zh) * | 2013-09-12 | 2016-04-20 | 株式会社日立高新技术 | 喷嘴清洗方法及自动分析装置 |
CN103846183A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-06-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种涂布机喷嘴清洁装置 |
CN208184767U (zh) * | 2018-04-03 | 2018-12-04 | 浙江工业大学 | 一种自然风与射流式通风相结合的隧道竖井送风*** |
CN109243627A (zh) * | 2018-09-17 | 2019-01-18 | 中国核动力研究设计院 | 一种放射性包容*** |
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