CN109813211A - 一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法 - Google Patents

一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109813211A
CN109813211A CN201910135095.0A CN201910135095A CN109813211A CN 109813211 A CN109813211 A CN 109813211A CN 201910135095 A CN201910135095 A CN 201910135095A CN 109813211 A CN109813211 A CN 109813211A
Authority
CN
China
Prior art keywords
signal
thickness
displacement
metal works
eddy current
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201910135095.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109813211B (zh
Inventor
李国民
郝兵杰
白坤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Huazhong University of Science and Technology
Original Assignee
Huazhong University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Huazhong University of Science and Technology filed Critical Huazhong University of Science and Technology
Priority to CN201910135095.0A priority Critical patent/CN109813211B/zh
Publication of CN109813211A publication Critical patent/CN109813211A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109813211B publication Critical patent/CN109813211B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/10—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

本发明属于信息测量相关技术领域，其公开了一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法，该方法包括以下步骤：(21)将涡流传感器设置于金属工件的一侧，且涡流传感器产生低频正弦激励信号；(22)涡流传感器未邻近金属工件时，采集涡流传感器的输出信号及电流信号；涡流传感器邻近金属工件时，再次采集数据；(23)对得到的多组已知厚度与位移的金属工件的测量数据对进行曲线拟合以求得涡流传感器的数学表达式；(24)对任意待测量的金属工件执行步骤(21)‑(22)，并将得到的数据带入数学表达式，以测得金属工件的位移及厚度。本发明通过特定的激励信号来同时测量位移及厚度，简单易实施，灵活性较高，应用范围较广。

Description

一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法
本申请为申请号为201710604578.1，申请日为2017年07月24，发明创造名称为“一种可同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器及方法”的申请的分案申请
技术领域
本发明属于信息测量相关技术领域，更具体地，涉及一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法。
背景技术
金属工件厚度的测量是工业生产制造过程中需要经常面对的问题，例如冶金行业的板带加工中对板材的厚度测量或者检验，化工生产设备中的受腐蚀的管道厚度监测，机械加工零件的非拆卸在线厚度测量，汽车、手机等金属壳体的厚度测量等等。
目前，市场上的测厚方法可分为三类，其一是利用千分尺等双面夹持设备进行测量，这种方法需要与金属两侧同时接触；其二是通过激光传感器等位移测量设备，通过测量金属两侧距离来进行厚度测量；其三是通过超声波测厚仪来进行单面接触式厚度测量。这些方法要么需要测量元件安装于金属两侧，要么需要测量元件与金属接触，然而在很多场合中，被测工件处于运动、遮挡或者高温状态，导致测量元件与被测元件不能够进行接触，测量无法正常进行，灵活性较低，限制了使用范围。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法，其基于现有测厚方法的工作特点，针对可同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器及方法进行了研究及设计。所述涡流传感器的主控组件可以产生同时包含高频信号及低频信号的激励信号、以及包含高频信号或者低频信号的激励信号，特定的激励信号可以产生仅对位移敏感的及同时对位移及厚度均敏感的电涡流，通过测量电涡流产生的磁场信息进行位移及厚度的解耦测量，简单易实施，且可实现目标测量。
为实现上述目的，本发明提供了一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法，该方法包括以下步骤：
(21)将能同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器设置于金属工件的一侧，且所述涡流传感器产生低频正弦激励信号；
(22)所述涡流传感器未邻近金属工件时，采集所述涡流传感器的输出信号及电流信号，以对所述输出信号及所述电流信号进行FFT分析来得到测量幅值及磁场对应激励电流的相位；所述涡流传感器邻近金属工件时，以同样方法再次获得对应的幅值及相位，并分别求取两次获得的幅值及相位在复数域上的差值，以得到电涡流产生的空间磁场幅值及相位；
(23)对由步骤(22)得到的多组已知厚度与位移的金属工件的测量数据对进行曲线拟合以求得所述涡流传感器的数学表达式，所述测量数据对为位移及厚度与空间磁场幅值及相配之间的数据对；
(24)对任意待测量的金属工件执行步骤(21)-(22)，并将得到的空间磁场幅值和相位带入所述数学表达式，以测得金属工件的位移及厚度。
进一步地，所述涡流传感器包括主控组件、闭环电流放大器及探头，所述闭环电流放大器电性连接所述主控组件及所述探头，所述主控组件用于产生激励信号，并将所述激励信号传输给所述闭环电流放大器，所述激励信号包括高频信号及低频信号，或者低频信号及高频信号中的任一种；所述闭环电流放大器用于将接收到的激励信号线性转换为驱动电流，并将所述驱动电流传输给所述探头；所述探头包括探头壳体、依次叠加于所述探头壳体内的信号放大模块及激励线圈、以及设置于所述激励线圈下方的磁传感器，所述激励线圈电性连接于所述闭环电流放大器，其用于在所述驱动电流的作用下产生变化磁场，所述变化磁场在待测量的金属工件表面及内部感应产生电涡流，所述电涡流在空间感应出磁场；所述磁传感器用于同时感测所述激励线圈产生的磁场及所述电涡流产生的磁场，并将感测到的磁场信号传输给所述信号放大模块，所述信号放大模块将接收到的磁场信号进行放大后传输到所述主控组件。
进一步地，所述磁传感器与所述探头壳体的中心轴间隔预定距离。
进一步地，所述磁传感器的数量为两个，两个所述磁传感器相对于所述探头壳体的中心轴对称设置。
进一步地，所述磁传感器为Z向敏感磁传感器。
进一步地，所述涡流传感器为叠加结构。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，本发明提供的可同时测量金属工件位移及厚度的方法具有以下有益效果：
1.所述磁传感器用于同时感测所述激励线圈产生的磁场及所述电涡流产生的磁场，并将感测到的磁场信号传输给所述信号放大模块，所述信号放大模块将接收到的磁场信号进行放大后传输到所述主控组件，进而依据所述磁传感器的输出信号及电流信号即可实现同时测量金属工件的位移及厚度；测量时所述磁传感器无需与金属工件接触，提高了应用范围，且灵活性较高。
2.所述激励信号包括高频信号及低频信号，或者低频信号及高频信号中的任一种，特定的激励信号可以产生仅对位移敏感的及对位移及厚度均敏感的电涡流，通过测量电涡流产生的磁场信息进行位移及厚度的解耦测量，简单易实施，且可实现多目标测量。
3.所述涡流传感器为叠加结构，结构紧凑，且减小了体积。
4.所述磁传感器的数量为两个，两个所述磁传感器相对所述探头壳体的中心轴对称设置且均与所述探头壳体的中心轴间隔设置，以增大电涡流产生的磁场信号，进而增加了磁传感器信号的输出灵敏度。
附图说明
图1是本发明较佳实施方式提供的可同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器的探头的结构示意图；
图2是采用图1中的可同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器来测量金属工件位移及厚度的方法的流程图；
图3是另一种采用图1中的可同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器来测量金属工件位移及厚度的方法的流程图。
在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中：1-磁传感器，2-激励线圈，3-信号放大模块，4-探头壳体。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
请参阅图1至图3，本发明较佳实施方式提供的可同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器，所述涡流传感器通过特定信号激励产生仅对位移信息敏感及同时对位移信息及厚度信息敏感的电涡流分布，通过测量电涡流产生的磁场信息进行位移及厚度的解耦测量。所述涡流传感器放置于金属工件一侧，且无需与工件相接触即可获得被测金属工件的厚度及被测金属工件的位移或者被测金属工件与所述涡流传感器之间的实时相对距离。
所述涡流传感器包括主控组件、闭环电流放大器及探头，所述闭环电流放大器电性连接所述主控组件及所述探头。所述主控组件用于产生激励信号，其包括DA模块及AD模块，所述DA模块电性连接于所述闭环电流放大器，所述AD模块电性连接于所述探头。所述闭环电流放大器用于将来自所述DA模块的电压形式的激励信号线性转换为驱动电流，并将所述驱动电流传输给所述探头。所述AD模块用于测量来自所述探头的信号。
所述探头包括磁传感器1、激励线圈2、信号放大模块3及探头壳体4，所述信号放大模块3及所述激励线圈2依次设置在所述探头壳体4内，所述磁传感器1设置在所述激励线圈2的下方，其位于所述探头壳体4外部且与所述探头壳体4的中心轴间隔一定距离。所述激励线圈2电性连接于所述闭环电流放大器，其在所述驱动电流的作用下产生变化磁场，所述变化磁场能够在金属工件表面及内部感应产生电涡流，所述电涡流又会在空间感应出磁场。所述磁传感器1用于同时感测所述激励线圈2产生的磁场及所述电涡流产生的磁场，并将感测到的磁场信号传输给所述信号放大模块3，所述信号放大模块3将接收到的磁场信号进行放大后传输到所述AD模块。本实施方式中，所述激励信号包括高频信号及低频信号；当然在其他实施方式中，通过调节所述主控组件，可以使得所述激励信号包括高频信号及低频信号中的任一种；所述激励线圈2中的电流信号作为基准信号，其通过采样电阻也被所述主控组件获得。
所述磁传感器1为Z向敏感磁传感器，其数量为两个，两个所述磁传感器1相对所述探头壳体4的中心轴对称设置且与所述中心轴存在一定距离，以增大电涡流产生的磁场信号，进而增加磁传感器信号输出灵敏度。本实施方式的两个磁传感器1可以互为备份，以增加所述涡流传感器的运行可靠性，或者两个所述磁传感器1同时测量以减小测量波动。本实施方式中，所述涡流传感器为堆叠式结构，有效地的减小了体积，同时使得结构紧凑。
本发明提供了两种可同时测量金属工件位移及厚度的方法，具体如下：
第一种方法，基于高低频的可同时测量金属工件位移及厚度的方法。
该方法利用了电涡流在金属中穿透深度的频率相关性，高频成分的电涡流完全分布于金属表面，只与金属位移相关；低频成分的电涡流可分布于金属的所有厚度处，同时受金属位移与厚度信息影响。采用如上所述的涡流传感器，可以使激励信号中同时包含高频信号及低频信号，从而使得所述涡流传感器在一次测量中同时得到位移与厚度信息。
第一种方法分为涡流传感器标定与测量两步，一旦标定完成即可进行连续多次测量。第一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法主要包括以下步骤：
(11)所述涡流传感器产生同时包含低频信号及高频信号的激励信号。低频信号与高频信号的定义为：
式中，σ为电导率，μ为磁导率，hmax和hmin分别为最大和最小测量厚度。其中，所述激励信号的种类可以为高低频正弦叠加信号、方波信号、脉冲信号及三角波信号中的任一种，凡是通过对信号进行傅里叶变换后，信号频率成分明显包含高频成分及低频成分的信号均可作为激励信号。
(12)在涡流传感器未靠近金属工件时，采集预定长度的涡流传感器的输出信号Be(t)与电流信号I(t)，以时域电流信号作为基准，取电流信号的过零点或上升、下降沿等作为时间零点，截取预定时间内的传感器输出信号。其中，电流信号通过测量采样电阻两端电压得到，为保证采样精度，信号的采样率不低于信号中所包含的最大频率的10倍频率。
(13)所述涡流传感器接近所述金属工件且不与所述金属工件接触以进行测量，采集得到所述涡流传感器的输出信号Bs(t)与电流信号I(t)，同样的，以时域电流信号为基准，截取同步骤(12)中相同长度的所述涡流传感器的输出信号。由于采用闭环电流放大器进行激励信号的处理，电流大小可以被精确控制，通过所述闭环电流放大器使该电流信号与步骤(12)中的电流信号保持一致。
(14)将步骤(13)和步骤(12)中截取得到的两组输出信号求取差值Bc(t)＝Bs(t)-Be(t)，即可得到涡流产生的空间磁场信号Bc(t)＝Bs(t)-Be(t)。
(15)分别将步骤(14)得到的空间磁场信号进行低通和高通滤波，得到滤波后低频信号BcL(t)和滤波后高频信号BcH(t)。滤波可通过软件，如MATLAB程序完成，也可以通过硬件滤波电路完成。滤波截止频率分别为步骤(11)中给出的ωl和ωh。
(16)分别对得到的滤波后低频信号及滤波后高频信号的绝对值进行预定长时域积分，以得到其中，CcL为滤波后低频信号的积分，简称低频积分；CcH为滤波后高频信号的积分，简称高频积分。
(17)采用由步骤(12)-(16)得到的多组已知厚度与位移的金属测量数据对(d，h)→(CcL，CcH)，进行三次多项式拟合，以建立所述涡流传感器的数学表达式：
式中，d表示金属工件位移(或与传感器的距离)，h表示金属工件的厚度。
(18)对于待检测的任意未知位移与厚度的金属工件，执行步骤(11)-(16)进行测量，以得到低频积分CtL和高频积分CtH，并代入步骤(17)中得到的数学表达式中进行反解，以实现同时测量获得金属工件的位移及厚度。首先，由高频测量数据可以求得金属工件的位移信息，进一步地，可以由已经测得的位移信息和低频测量数据得到金属工件的厚度信息。
式中，dest和hest分别表示由涡流传感器测量得到的待测量的金属工件的位移及厚度。
第二种方法，基于相位的可同时测量金属工件位移及厚度的方法。
第二种方法采用低频正弦激励，使电涡流穿透整个金属工件，此时可对由磁传感器测量得到的涡流磁场同时进行幅值和相位信息提取，其中涡流磁场幅值主要受金属位移影响，而涡流磁场相位则主要与金属厚度相关。通过建立幅值相位与位移厚度之间的映射关系，即可通过单频涡流激励同时得到位移与厚度信息。
第二种方法分为传感器标定与测量两步，一旦标定完成即可进行连续多次测量。第二种可同时测量金属工件位移及厚度的方法主要包括以下步骤：
(21)所述涡流传感器产生低频正弦激励信号，信号频率选择为：
式中，σ为电导率，μ为磁导率，hmax为最大测量厚度。信号的幅值应使得激励出的线圈磁场不超过磁传感器量程。
(22)在所述涡流传感器未靠近金属工件时，采集有限长度的涡流传感器的输出信号Be(t)与电流信号I(t)。其中，电流信号通过采集采样电阻两端电压得到。为保证采样精度，信号的采样率不低于信号中所包含的最大频率的10倍频率。对输出信号及电流信号分别进行FFT分析，得到其在激励频率上的幅值和相位信息。以电流信息作为基准信号，得到电流归一化后的测量幅值Me与磁场相对激励电流的相位Pe。
式中，为FFT幅值相位提取函数。
(23)所述涡流传感器接近所述金属工件表面时，采用与步骤(22)相同的方法进行测量并采用同样的方法对测量得到的信号进行处理，此时得到的幅值为Ms，相位为Ps。
(24)将步骤(23)和步骤(22)得到的两组幅值及相位求取复数域上的差值，可得到涡流产生的空间磁场幅值Mc和相位Pc。计算公式为：
Bc＝Ms∠Ps-Me∠Pe,Mc＝abs(Bc),Pc＝angle(Bc)
(25)对由步骤(22)-(24)得到的多组已知厚度与位移的金属测量数据对(d，h)→(Mc，Pc)进行曲面拟合，以得到所述涡流传感器的数学表达式：
式中，d代表金属工件位移(或与涡流传感器之间的距离)，h代表金属工件厚度；fd和fh分别为对距离d和厚度h的拟合函数，其可以是多项式拟合或是样条拟合，当采用3次多项式拟合时，拟合函数可以表示为：
其中aij及b均为拟合系数，至此标定过程完成。
(26)对于任意未知位移与厚度的金属工件，执行步骤(21)-(24)，并将得到的空间磁场幅值Mct和相位Pct代入步骤(25)得到的数学表达式进行求解，即可实现金属工件位移与厚度的同时测量。
本发明提供的可同时测量金属工件位移及厚度的方法，所述涡流传感器的主控组件可以产生同时包含高频信号及低频信号的激励信号、以及包含高频信号或者低频信号的激励信号，特定的激励信号可以产生仅对位移敏感的及对位移及厚度均敏感的电涡流，通过测量电涡流产生的磁场信息进行位移及厚度的解耦测量，简单易实施，且可实现目标测量。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
(21)将能同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器设置于金属工件的一侧，且所述涡流传感器产生低频正弦激励信号；
(22)所述涡流传感器未邻近金属工件时，采集所述涡流传感器的输出信号及电流信号，以对所述输出信号及所述电流信号进行FFT分析来得到测量幅值及磁场对应激励电流的相位；所述涡流传感器邻近金属工件时，以同样方法再次获得对应的幅值及相位，并分别求取两次获得的幅值及相位在复数域上的差值，以得到电涡流产生的空间磁场幅值及相位；
(23)对由步骤(22)得到的多组已知厚度与位移的金属工件的测量数据对进行曲线拟合以求得所述涡流传感器的数学表达式，所述测量数据对为位移及厚度与空间磁场幅值及相配之间的数据对；
(24)对任意待测量的金属工件执行步骤(21)-(22)，并将得到的空间磁场幅值和相位带入所述数学表达式，以测得金属工件的位移及厚度。
2.如权利要求1所述的可同时测量金属工件位移及厚度的方法，其特征在于：所述涡流传感器包括主控组件、闭环电流放大器及探头，所述闭环电流放大器电性连接所述主控组件及所述探头；所述主控组件用于产生激励信号，并将所述激励信号传输给所述闭环电流放大器，所述激励信号包括高频信号及低频信号，或者低频信号及高频信号中的任一种；所述闭环电流放大器用于将接收到的激励信号线性转换为驱动电流，并将所述驱动电流传输给所述探头；所述探头包括探头壳体、依次叠加于所述探头壳体内的信号放大模块及激励线圈、以及设置于所述激励线圈下方的磁传感器，所述激励线圈电性连接于所述闭环电流放大器，其用于在所述驱动电流的作用下产生变化磁场，所述变化磁场在待测量的金属工件表面及内部感应产生电涡流，所述电涡流在空间感应出磁场；所述磁传感器用于同时感测所述激励线圈产生的磁场及所述电涡流产生的磁场，并将感测到的磁场信号传输给所述信号放大模块，所述信号放大模块将接收到的磁场信号进行放大后传输到所述主控组件。
3.如权利要求2所述的可同时测量金属工件位移及厚度的方法，其特征在于：所述磁传感器与所述探头壳体的中心轴间隔预定距离。
4.如权利要求3所述的可同时测量金属工件位移及厚度的方法，其特征在于：所述磁传感器的数量为两个，两个所述磁传感器相对于所述探头壳体的中心轴对称设置。
5.如权利要求2-3任一项所述的可同时测量金属工件位移及厚度的方法，其特征在于：所述磁传感器为Z向敏感磁传感器。
6.如权利要求2-3任一项所述的可同时测量金属工件位移及厚度的方法，其特征在于：所述涡流传感器为叠加结构。
CN201910135095.0A 2017-07-24 2017-07-24 一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法 Active CN109813211B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910135095.0A CN109813211B (zh) 2017-07-24 2017-07-24 一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910135095.0A CN109813211B (zh) 2017-07-24 2017-07-24 一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法
CN201710604578.1A CN107270808B (zh) 2017-07-24 2017-07-24 一种可同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器及方法

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710604578.1A Division CN107270808B (zh) 2017-07-24 2017-07-24 一种可同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109813211A true CN109813211A (zh) 2019-05-28
CN109813211B CN109813211B (zh) 2020-09-08

Family

ID=60079044

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710604578.1A Active CN107270808B (zh) 2017-07-24 2017-07-24 一种可同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器及方法
CN201910135095.0A Active CN109813211B (zh) 2017-07-24 2017-07-24 一种可同时测量金属工件位移及厚度的方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710604578.1A Active CN107270808B (zh) 2017-07-24 2017-07-24 一种可同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (2) CN107270808B (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001343205A (ja) * 2000-03-28 2001-12-14 Toshiba Corp 渦電流損失測定センサ、膜厚測定装置、膜厚測定方法および記録媒体
JP2003114102A (ja) * 2001-10-04 2003-04-18 Dainippon Printing Co Ltd 膜厚測定方法及び装置
CN1860584A (zh) * 2003-07-31 2006-11-08 应用材料公司 用于原位轮廓测量的涡流***
CN101949683A (zh) * 2010-08-27 2011-01-19 电子科技大学 一种涡流位移检测方法
CN104006731A (zh) * 2014-06-12 2014-08-27 株洲时代电子技术有限公司 一种对中传感装置及其位移检测方法
CN106600808A (zh) * 2016-12-09 2017-04-26 深圳市倍量电子有限公司 硬币鉴别方法及其装置
CN106596712A (zh) * 2016-11-22 2017-04-26 西安交通大学 一种基于缺陷深度的选频带脉冲涡流无损检测方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5146673B2 (ja) * 2008-08-19 2013-02-20 住友金属鉱山シポレックス株式会社 Ａｌｃパネルの主筋かぶり厚検査方法
CN201527261U (zh) * 2009-11-09 2010-07-14 北京沃华创新科技有限公司 一种新型电涡流测厚仪
CN102841128B (zh) * 2012-08-20 2015-01-21 上海交通大学 用于生物组织识别的电涡流传感器
CN104154852B (zh) * 2014-08-20 2017-11-28 中国科学技术大学 基于电涡流传感器的导电膜厚度测量***及方法
CN105300266B (zh) * 2015-11-06 2018-03-30 中国矿业大学 一种汽车用镀锌板镀层厚度的电涡流检测装置与方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001343205A (ja) * 2000-03-28 2001-12-14 Toshiba Corp 渦電流損失測定センサ、膜厚測定装置、膜厚測定方法および記録媒体
JP2003114102A (ja) * 2001-10-04 2003-04-18 Dainippon Printing Co Ltd 膜厚測定方法及び装置
CN1860584A (zh) * 2003-07-31 2006-11-08 应用材料公司 用于原位轮廓测量的涡流***
CN101949683A (zh) * 2010-08-27 2011-01-19 电子科技大学 一种涡流位移检测方法
CN104006731A (zh) * 2014-06-12 2014-08-27 株洲时代电子技术有限公司 一种对中传感装置及其位移检测方法
CN106596712A (zh) * 2016-11-22 2017-04-26 西安交通大学 一种基于缺陷深度的选频带脉冲涡流无损检测方法
CN106600808A (zh) * 2016-12-09 2017-04-26 深圳市倍量电子有限公司 硬币鉴别方法及其装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
***等: "基于触发脉冲的涡轮机械叶尖间隙监测方法", 《振动、测试与诊断》 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN107270808A (zh) 2017-10-20
CN107270808B (zh) 2019-08-13
CN109813211B (zh) 2020-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3336533B1 (en) Defect measurement method and defect measurement device
Postolache et al. Detection and characterization of defects using GMR probes and artificial neural networks
Dziczkowski Elimination of coil liftoff from eddy current measurements of conductivity
WO2001067085A1 (en) Probe for eddy current testing
CN101460808A (zh) 确定在导电基底上导电涂层的层厚的方法
CN108037309B (zh) 颗粒速度分布的差分式平面电容传感器阵列测量方法
Lee et al. Multiparameter eddy-current sensor design for conductivity estimation and simultaneous distance and thickness measurements
CN107091672A (zh) 电磁流量计校准检验
JP2009505085A (ja) 磁気誘導式の流量測定装置
CN109668506A (zh) 一种基于涡流稳态特性的磁性金属材料厚度检测方法
CN102597791B (zh) 用于测量电气设备的损耗因子的仪器和方法
CN107270808B (zh) 一种可同时测量金属工件位移及厚度的涡流传感器及方法
CN102087245B (zh) 基于非晶合金的电磁检测传感器
CN107884473A (zh) 一种多频涡流检测***
CN112858470A (zh) 涡流检测装置和***
EP3322976B1 (en) Method and device for determining the wear of a carbon ceramic brake disc in a vehicle by impedance measurements
CN104134269B (zh) 一种硬币检测***
US10444194B2 (en) Method and apparatus for material identification of pipelines and other tubulars
CN207557052U (zh) 一种气固两相流局部颗粒速度的平面电容阵列测量装置
CN204129826U (zh) 一种硬币检测***
CN107727733A (zh) 一种基于脉冲涡流的电导率仪
CN207379978U (zh) 一种基于脉冲涡流的电导率仪
CN105182260B (zh) 磁导率的涡流检测装置以及基于该装置的检测方法及***
CN113607214B (zh) 一种金属管道参数确定方法及***
US20130124101A1 (en) Method for detecting magnetically marked objects and corresponding device

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant