CN109811295A - 一种精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺 - Google Patents

Abstract

本发明的一种精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺，其实现能在750℃的温度下对金属零件进行渗碳处理，采用其的渗碳工艺处理后的金属零件能得到均匀的渗层、较高的淬火硬度、较陡的渗层梯度和金属零件在回火处理且折弯试验后能得到较低的脆性，金属零件的折弯表面没有出现表面剥落、剥离和断裂的现象，使用该工艺的真空渗碳炉在对金属零件的渗碳加工过程中没有出现晶间氧化，其能提高工件材料的抗疲劳强度，且渗碳淬火后的金属零件表面不会产生黑色积碳，有利于后续的电镀加工，另，采用其生产出来的零件的渗碳层中还未见有点状或块状碳化物和未见有残余的奥氏体，其的渗碳层与基体具有良好的结合强度和良好的韧性，组织结构优良。

Description

一种精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺

技术领域

本发明涉及一种精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺。

背景技术

传统的真空渗碳炉已被广泛应用到制造业上，且传统的真空渗碳炉的渗碳工艺温度均在860℃以上。但随着科技的高速发展，传统的真空渗碳炉的渗碳工艺已无法满足现代工业的新要求，某些现代工业产品对渗碳后的金属零件有以下的新要求：一、对金属零件的制造有较高的精密度要求，比如有要求在渗碳淬火后变形较小，以保持较高的尺寸精度或符合较小的公差要求，减少后续加工制程，达到降低成本的目的；二、金属零件的表面在渗碳淬火回火后能保持干净，以满足后续电镀的要求。针对上述问题的不足，并为了满足现代电子行业对某些金属零件的要求和为了减少渗碳淬火的变形，申请人研发了一种精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺，其能在750℃的温度下对SPCC材料进行真空渗碳淬火处理，以期采用其加工出来的零件能实现较小的尺寸变形及拥有较高的表面强度。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺，采用其生产出来的零件能实现较小的尺寸变形及拥有较高的表面强度，其解决了传统的真空渗碳炉的渗碳工艺的温度均在860℃以上，采用其渗碳淬火处理后的零件无法做到变形较小、无法保持较高的尺寸精度或符合较小的公差要求、无法减少后续加工制程、无法降低成本、金属零件的表面在渗碳淬火回火后无法保持干净和无法在750℃的温度下能对SPCC材料进行真空渗碳淬火处理等不足的问题。本发明是通过以下技术方案来实现的：

一种精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺为，步骤一、首先将金属零件放到真空炉内，然后将真空炉加热至一定的温度后保持恒温状态，接着，往真空炉内输入氮气，直至真空炉内的气压达到100Pa压强，真空炉以保持恒定的温度和100Pa压强的恒定气压工作一段时间后才进入下一步骤操作。

作为优选，步骤二、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内输入乙炔气，该乙炔气以脉冲的形式输入到真空炉内，乙炔气脉冲的持续时间为2分钟，乙炔气输入真空炉的最大的气压为360Pa；真空炉在恒定的温度条件下以乙炔气作为渗碳介质来对金属零件进行渗碳，使乙炔气能与具有一定温度的金属零件的表面发生分解反应，金属零件的表面发生分解反应后会留下碳原子并富集，当金属零件吸收碳原子且达到一定浓度后会形成含碳饱和奥氏体。

作为优选，步骤三、当乙炔气脉冲充气结束后，真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第二次输入氮气，真空炉内以维持恒定的温度的方式能促使金属零件表面的含碳饱和奥氏体碳原子在恒定的温度下随着加工时间的延长而自动向金属零件体内进行扩散，从而形成深度渗碳，其使金属零件表面的材料状态能由含碳饱和奥氏体变为含碳非饱和奥氏体，直至下一次再以脉冲的形式往真空炉内输入乙炔气，使金属零件再次吸附碳原子后形成表面含碳饱和奥氏体，并再次向内部扩散。

作为优选，步骤四、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第二次输入乙炔气，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在恒定的温度环境及相同的加工时间下持续对金属零件表面再次进行渗碳，当金属零件表面再次形成含碳饱和奥氏体时才停止往真空炉内输送乙炔气。在步骤四中，相同的加工时间是指第一次往真空炉内输入乙炔气的加工时间。

作为优选，步骤五、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第三次输入氮气，真空炉采用保持恒定温度的方式来继续促进金属零件上的碳原子再次向内部扩散，即真空炉保持在恒定的温度条件下对金属零件上的碳原子再次进行扩散一段时间后才停止继续往真空炉内输送氮气。

作为优选，步骤六、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第三次输入乙炔气，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在恒定的温度环境及相同的加工时间下持续对金属零件进行真空渗碳，直至金属零件的表面再次形成含碳饱和奥氏体时才停止往真空炉内输送乙炔气。在步骤六中，相同的加工时间是指第一次往真空炉内输入乙炔气的加工时间。

作为优选，步骤七、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第四次输入氮气，真空炉采用保持恒定的温度的方式来继续促进金属零件上的碳原子向内部扩散，即真空炉保持在恒定的温度条件下对金属零件上的碳原子再次进行扩散一段时间后才停止继续往真空炉内输送氮气。

作为优选，步骤八、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第四次输入乙炔气，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在恒定的温度环境及相同的加工时间下持续对金属零件进行渗碳，直至金属零件的表面再次形成含碳饱和奥氏体后才停止往真空炉内输送乙炔气。在步骤八中，相同的加工时间是指第一次往真空炉内输入乙炔气的加工时间。

作为优选，步骤九、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第五次输入氮气，真空炉采用保持恒定温度的方式来继续促进金属零件上的碳原子向内部扩散，真空炉保持在恒定的温度条件下对金属零件上的碳原子再次进行扩散一段时间才停止继续往真空炉内输送氮气。

作为优选，步骤十、最后，真空炉以油为淬火介质对金属零件进行持续淬火一段时间，以使金属零件能达到生产所需的组织和硬度。

作为优选，在步骤一中，加热至一定的温度是指加热至750℃，工作一段时间是指工作30分钟。

作为优选，在步骤一至步骤九当中，恒定的温度是指750℃。

作为优选，在步骤一、步骤三、步骤五、步骤七和步骤九中，每次输入氮气是指往真空炉内输入氮气，直至真空炉内的气压达到100Pa压强。

作为优选，在步骤二、步骤四、步骤六和步骤八中，每次往真空炉内输入乙炔气的最大气压为360Pa。

作为优选，在步骤二、步骤四、步骤六和步骤八中，渗碳的时间设置为2分钟。

作为优选，在步骤三中，扩散的时间设置为6分钟；在步骤五中，扩散一段时间是指扩散10分钟；在步骤七中，扩散的时间设置为15分钟；在步骤九中，再次扩散一段时间是指扩散20分钟。

作为优选，在步骤十中，所述持续淬火一段时间是指淬火10分钟。

本发明的有益效果为：1、本发明实现能在750℃的温度下对金属零件进行渗碳处理，且采用其渗碳工艺处理后的金属零件能得到均匀的渗层、较高的淬火硬度、较陡的渗层梯度和金属零件在回火处理且折弯试验后能得到较低的脆性，金属零件的折弯表面没有出现表面剥落或剥离的现象，而金属零件在折弯90度后也没有出现断裂的现象。

1、使用该工艺的真空渗碳炉在对金属零件的渗碳加工过程中没有出现晶间氧化，其不但能实现提高工件材料的抗疲劳强度，而且金属零件在某些情况下可免除二次加工，使其能降低成本；且渗碳淬火后的金属零件表面不会产生黑色积碳，有利于后续的电镀加工。

2、采用本发明生产出来的零件的渗碳层中未见有点状或块状碳化物，未见有残余的奥氏体，组织优良；该工艺得到的渗碳层与基体具有良好的结合强度和良好的韧性，有利于服役使用。

附图说明

为了易于说明，本发明由下述的较佳实施例及附图作以详细描述。

图1为实施例一的精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺生产出来的金属零件进行90度折弯检测的折弯处组织的放大状态图。

图2为实施例二的精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺生产出来的金属零件进行90度折弯检测的折弯处组织的放大状态图。

图3为实施例一的精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺生产出来的金属零件进行渗层金相组织检测的渗碳层与基体金相组织的放大状态图。

图4是为实施例二的精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺生产出来的金属零件进行渗层金相组织检测的渗碳层与基体金相组织的放大状态图。

图5为实施例一的精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺生产出来的金属零件进行晶间氧化检测的放大状态图。

图6为实施例二的精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺生产出来的金属零件进行晶间氧化检测的放大状态图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施方式。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。

实施例一:

一种精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺为，步骤一、首先将金属零件放到真空炉内，并将真空炉加热至750℃，接着，往真空炉内输入氮气，直至真空炉内的气压达到100Pa压强，真空炉以750℃的恒定温度和100Pa压强的恒定气压持续工作30分钟才停止往真空炉内输入氮气。

在其中一实施例中，步骤二、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内输入乙炔气，乙炔气的最大压力维持在360Pa，使乙炔气能在恒定温度的条件下与具有750℃的金属零件的表面发生分解反应，金属零件的表面发生分解反应后会留下碳原子并逐渐富集，当金属材料的表面吸收碳原子后会形成含碳饱和奥氏体，而奥氏体化后的碳原子会向工件体内扩散并形成深度渗碳。在本步骤中，乙炔气的通入（或输入）时间持续为2分钟，其能使金属零件的表面形成充分的含碳饱和奥氏体。

在其中一实施例中，步骤三、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第二次输入氮气，氮气的压力维持在100Pa，真空炉内维持750℃的恒定温度能促进金属零件表面上的碳原子向金属零件内部进行扩散，这个扩散过程维持6分钟后，停止继续往真空炉内输送氮气。

在其中一实施例中，步骤四、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第二次输入乙炔气，乙炔气的压力维持在360Pa，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在750℃的恒定温度环境下再次对金属零件表面进行真空渗碳2分钟，以促使金属材料的表面吸收碳原子后形成含碳饱和奥氏体，接着，停止往真空炉内输送乙炔气。

在其中一实施例中，步骤五、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第三次输入氮气，氮气的压力维持在100Pa，真空炉采用保持750℃的恒定温度的方式来继续促进金属零件上的碳原子向金属零件内部进行扩散，并持续扩散10分钟后才停止继续往真空炉内输送氮气。

在其中一实施例中，步骤六、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第三次输入乙炔气，乙炔气的压力维持在360Pa，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在750℃的恒定温度环境下再次对金属零件表面进行真空渗碳2分钟，以促使金属材料的表面吸收碳原子后形成含碳饱和奥氏体，接着，停止往真空炉内输送乙炔气。

在其中一实施例中，步骤七、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第四次输入氮气，氮气压力维持在100Pa，真空炉采用保持750℃的恒定温度的方式来继续促进金属零件上的碳原子向金属零件内部进行扩散，并持续扩散15分钟后才停止继续往真空炉内输送氮气。

在其中一实施例中，步骤八、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第四次输入乙炔气，乙炔气的压力维持在360Pa，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在750℃的恒定温度环境下再次对金属零件表面进行真空渗碳2分钟，促使金属材料的表面吸收碳原子后形成含碳饱和奥氏体，接着，停止往真空炉内输送乙炔气。

在其中一实施例中，步骤九、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第五次输入氮气，氮气压力维持在100Pa，真空炉采用保持750℃的恒定温度的方式来继续促进金属零件上的碳原子向金属零件内部进行扩散，并持续扩散20分钟后才停止继续往真空炉内输送氮气。

在其中一实施例中，步骤十、最后，真空炉以淬火油为淬火介质对金属零件进行淬火10分钟，以使金属零件能达到生产所需的组织和硬度。

实施例二:

一种精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺为，步骤一、首先将金属零件放到真空炉内，然后将真空炉加热至750℃后保持恒温状态，接着，往真空炉内输入氮气，直至真空炉内的气压达到100Pa压强，真空炉以保持750℃的恒定温度和100Pa压强的恒定气压工作30分钟后才进入下一步骤操作。

在其中一实施例中，步骤二、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内输入乙炔气，该乙炔气以脉冲的形式输入到真空炉内，乙炔气脉冲的时间持续为2分钟，乙炔气输入真空炉的最大气压保持在360Pa；真空炉在保持在750℃的恒定温度的条件下以乙炔气作为渗碳介质来对金属零件进行渗碳，使乙炔气能与750℃的金属零件的表面发生分解反应，金属零件的表面发生分解反应后会留下碳原子并富集，当金属零件吸收碳原子且达到一定浓度后会形成含碳饱和奥氏体。

在其中一实施例中，步骤三、当乙炔气脉冲充气结束后，真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第二次输入氮气，氮气的压力维持在100Pa，真空炉内以维持750℃的恒定温度的方式来促使金属零件表面的含碳饱和奥氏体碳原子在750℃的恒定温度下随着加工时间的延长而自动向金属零件体内进行扩散，从而形成深度渗碳，其使金属零件表面的材料状态能由含碳饱和奥氏体变为含碳非饱和奥氏体，直至下一次再以脉冲的形式往真空炉内输入乙炔气，使金属零件再次吸附碳原子后形成表面含碳饱和奥氏体，并再次向金属零件的内部扩散。

在其中一实施例中，步骤四、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第二次输入乙炔气，乙炔气的压力维持在360Pa，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在750℃的恒定温度下持续对金属零件表面再次进行渗碳2分钟，当金属零件表面再次形成含碳饱和奥氏体时才停止往真空炉内输送乙炔气。

在其中一实施例中，步骤五、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第三次输入氮气，氮气的压力维持在100Pa，真空炉采用保持750℃的恒定温度来继续促进金属零件表面上的碳原子再次向金属零件的内部扩散，即真空炉保持在750℃的恒定温度的条件下对金属零件表面上的碳原子再次进行扩散10分钟后才停止继续往真空炉内输送氮气。

在其中一实施例中，步骤六、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第三次输入乙炔气，乙炔气的压力维持在360Pa，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在750℃的恒定温度下持续对金属零件进行真空渗碳2分钟，直至金属零件的表面再次形成含碳饱和奥氏体时才停止往真空炉内输送乙炔气。

在其中一实施例中，步骤七、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第四次输入氮气，氮气压力维持在100Pa，真空炉采用保持750℃的恒定温度来继续促进金属零件表面上的碳原子向金属零件内部扩散，即真空炉保持在750℃的恒定温度的条件下对金属零件表面上的碳原子再次进行扩散15分钟后才停止继续往真空炉内输送氮气。

在其中一实施例中，步骤八、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第四次输入乙炔气，乙炔气的压力维持在360Pa，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在750℃的恒定温度环境下持续对金属零件进行渗碳2分钟，直至金属零件的表面再次形成含碳饱和奥氏体后才停止往真空炉内输送乙炔气。

在其中一实施例中，步骤九、真空炉以750℃的恒定温度继续保温，接着，往真空炉内第五次输入氮气，氮气压力维持在100Pa，真空炉采用保持750℃的恒定温度来继续促进金属零件表面上的碳原子向金属零件内部扩散，真空炉保持在750℃的恒定温度的条件下对金属零件表面上的碳原子再次进行扩散20分钟才停止继续往真空炉内输送氮气。

在其中一实施例中，步骤十、最后，真空炉以油为淬火介质对金属零件进行持续淬火10分钟，以使金属零件能达到生产所需的组织和硬度。

参照图1-图2所示，将采用本发明的实施例一和实施例二生产出来的金属零件分别进行90度折弯检测(金相检测)，从图1-图2可以看到，实施例一和实施例二生产出来的金属零件折弯处的渗层组织在折弯后保持了原有的结构特征，金属零件的折弯表面均没有出现表面剥落或剥离的现象，折弯90度后的金属零件均也没有出现断裂的现象。此外，采用本发明的渗碳工艺处理后的金属零件能得到均匀的渗层、较高的淬火硬度、较陡的渗层梯度和金属零件在回火处理且折弯试验后能得到较低的脆性。

参照图3-图4所示，将采用本发明的实施例一和实施例二生产出来的金属零件分别进行渗碳层及基体金相组织检测，从图3-图4可以看到，采用本发明的实施例一和实施例二生产出来的金属零件的金相组织均未见点状或块状的碳化物和未见残余奥氏体，其金相组织优良，采用本发明生产的零件的渗碳层与基体具有良好的结合强度和良好的韧性，有利于服役使用。

参照图5-图6所示，将采用本发明的实施例一和实施例二生产出来的金属零件在浅层渗碳淬火后分别进行晶间氧化检测，从图5-图6可以看到，其均未见有晶间氧化，即使用该工艺的真空渗碳炉在对金属零件的渗碳加工过程中没有出现晶间氧化，其不但能实现提高工件材料的抗疲劳强度，而且金属零件在某些情况下可免除二次加工，使其能降低成本；渗碳淬火后的金属零件表面不会产生黑色积碳，有利于后续的电镀加工。

将采用本发明的实施例一和实施例二生产出来的金属零件进行维氏硬度检测，实施例一生产出来的金属零件在渗碳淬火处理后的表面硬度值为776HV50gf，实施例二生产出来的金属零件在渗碳淬火处理后的表面硬度值为813HV50gf，即采用本发明生产出来的金属零件在渗碳淬火处理后的表面硬度值在776HV50gf以上，上述的HV50gf是指显微硬度测试结果，证明采用本发明生产的金属零件能得到较高的淬火硬度。

本发明能实现在750℃的温度下对金属零件进行渗碳淬火处理，采用其的渗碳工艺处理后的金属零件能得到均匀的渗层、较高的淬火硬度、较陡的渗层梯度和良好的外观，并且，对经渗碳淬火后的金属零件在回火处理后进行折弯试验，证实了其的渗碳层具有良好的附着力，金属零件的折弯表面不会出现表面剥落或剥离的现象，且在90度折弯后也不会出现断裂的现象，表明经该工艺得到的金属零件具有较好的韧性；真空渗碳炉在对金属零件的渗碳淬火加工过程中没有发生晶间氧化，其不但实现能提高金属零件的抗疲劳强度，而且，工件渗碳淬火后表面没有产生黑色积碳，有利于后续的电镀生产；经金相检查证实，在750℃的温度下对金属零件进行渗碳处理后得到的金属零件，渗层均匀，渗碳层组织中未见有点状或块状碳化物，未见有残余的奥氏体，渗碳层与基体具有良好的结合强度和良好的韧性。

本发明不局限于上述最佳实施方式，任何人在本发明的启示下得出的其他任何与本发明相同或相近似的产品，均落在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺，其特征在于：该精密零件的真空渗碳炉750℃低温渗碳工艺为：

步骤一、首先将金属零件放到真空炉内，然后将真空炉加热至一定的温度后保持恒温状态，接着，往真空炉内输入氮气，直至真空炉内的气压达到100Pa压强，真空炉以保持恒定的温度和100Pa压强的恒定气压工作一段时间后才进入下一步骤操作；

步骤二、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内输入乙炔气，该乙炔气以脉冲的形式输入到真空炉内，乙炔气脉冲的持续时间为2分钟，乙炔气输入真空炉的最大的气压为360Pa；真空炉在恒定的温度条件下以乙炔气作为渗碳介质来对金属零件进行渗碳，使乙炔气能与具有一定温度的金属零件的表面发生分解反应，金属零件的表面发生分解反应后会留下碳原子并富集，当金属零件吸收碳原子且达到一定浓度后会形成含碳饱和奥氏体；

步骤三、当乙炔气脉冲充气结束后，真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第二次输入氮气，真空炉内以维持恒定的温度的方式能促使金属零件表面的含碳饱和奥氏体碳原子在恒定的温度下随着加工时间的延长而自动向金属零件体内进行扩散，从而形成深度渗碳，其使金属零件表面的材料状态能由含碳饱和奥氏体变为含碳非饱和奥氏体，直至下一次再以脉冲的形式往真空炉内输入乙炔气，使金属零件再次吸附碳原子后形成表面含碳饱和奥氏体，并再次向内部扩散；

步骤四、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第二次输入乙炔气，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在恒定的温度环境及相同的加工时间下持续对金属零件表面再次进行渗碳，当金属零件表面再次形成含碳饱和奥氏体时才停止往真空炉内输送乙炔气；

步骤五、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第三次输入氮气，真空炉采用保持恒定温度的方式来继续促进金属零件上的碳原子再次向内部扩散，即真空炉保持在恒定的温度条件下对金属零件上的碳原子再次进行扩散一段时间后才停止继续往真空炉内输送氮气；

步骤六、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第三次输入乙炔气，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在恒定的温度环境及相同的加工时间下持续对金属零件进行真空渗碳，直至金属零件的表面再次形成含碳饱和奥氏体时才停止往真空炉内输送乙炔气；

步骤七、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第四次输入氮气，真空炉采用保持恒定的温度的方式来继续促进金属零件上的碳原子向内部扩散，即真空炉保持在恒定的温度条件下对金属零件上的碳原子再次进行扩散一段时间后才停止继续往真空炉内输送氮气；

步骤八、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第四次输入乙炔气，真空炉以乙炔气作为渗碳介质且在恒定的温度环境及相同的加工时间下持续对金属零件进行渗碳，直至金属零件的表面再次形成含碳饱和奥氏体后才停止往真空炉内输送乙炔气；

步骤九、真空炉以恒定的温度继续保温，接着，往真空炉内第五次输入氮气，真空炉采用保持恒定温度的方式来继续促进金属零件上的碳原子向内部扩散，真空炉保持在恒定的温度条件下对金属零件上的碳原子再次进行扩散一段时间才停止继续往真空炉内输送氮气；

步骤十、最后，真空炉以油为淬火介质对金属零件进行持续淬火一段时间，以使金属零件能达到生产所需的组织和硬度。

2.根据权利要求1所述的一种精密零件的真空渗碳炉低温渗碳工艺，其特征在于：在步骤一中，加热至一定的温度是指加热至750℃，工作一段时间是指工作30分钟。

3.根据权利要求1所述的一种精密零件的真空渗碳炉低温渗碳工艺，其特征在于：在步骤一至步骤九当中，恒定的温度是指750℃。

4.根据权利要求1所述的一种精密零件的真空渗碳炉低温渗碳工艺，其特征在于：在步骤一、步骤三、步骤五、步骤七和步骤九中，每次输入氮气是指往真空炉内输入氮气，直至真空炉内的气压达到100Pa压强。

5.根据权利要求1所述的一种精密零件的真空渗碳炉低温渗碳工艺，其特征在于：在步骤二、步骤四、步骤六和步骤八中，每次往真空炉内输入乙炔气的最大气压为360Pa。

6.根据权利要求1所述的一种精密零件的真空渗碳炉低温渗碳工艺，其特征在于：在步骤二、步骤四、步骤六和步骤八中，渗碳的时间设置为2分钟。

7.根据权利要求1所述的一种精密零件的真空渗碳炉低温渗碳工艺，其特征在于：在步骤三中，扩散的时间设置为6分钟；在步骤五中，扩散一段时间是指扩散10分钟；在步骤七中，扩散的时间设置为15分钟；在步骤九中，再次扩散一段时间是指扩散20分钟。

8.根据权利要求1所述的一种精密零件的真空渗碳炉低温渗碳工艺，其特征在于：在步骤十中，所述持续淬火一段时间是指淬火10分钟。