CN109760394A - 一种用于晶圆加工中的环保型底材 - Google Patents

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夏枝巧
朱秀梅
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Abstract

本发明公开了一种用于晶圆加工中的环保型底材，涉及晶圆加工领域，要解决的是晶圆加工的纵向横向扩张不均匀、晶圆切割时有塑胶丝污染晶圆等问题。本产品包括上层、中层和下层，所述上层的下表面与中层的上表面相贴合，中层的下表面与下层的上表面相贴合，上层、中层和下层采用三层共挤的工艺制作，上层、中层和下层均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。本产品设计合理，通过在上层和中层使用聚乙烯及聚丙烯的共聚物,既可以改善聚乙烯因软化点低造成丝状物的污染,亦可改善聚丙烯不具柔软性；本产品采用三层共挤的生产方法,精密的控制生产条件,采用流延的生产方法可以使得生产出的UV膜纵向及横向扩张(延伸)均匀，使用效果好。

Description

一种用于晶圆加工中的环保型底材
技术领域
本发明涉及晶圆加工领域，具体是一种用于晶圆加工中的环保型底材。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。
晶圆加工时需要将晶圆采用固定装置固定于切割机台上进行切割，当切割完毕后，经由紫外线(UV光线以下称紫外线)照射，此时胶带由极高黏着力急速降低近乎于零，以便于进行下一个制程挑拣。但是目前国内的固定装置会导致晶圆加工的纵向横向扩张不均匀，而且晶圆切割时有塑胶丝污染晶圆，容易造成电路短路。国外的底材目前仅有日本琳得科株式会社的PVC材料的产品,客户在使用时先加热使材料***,以便于进行贴合，PVC存在着在低温时材料***以致无法使用的困挠。在回收后掩埋或焚烧处理时会释放出有毒致癌气体二噁英，对人和环境都有很大的影响。
人们在进行相关领域的研究，获得更好的产品。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于晶圆加工中的环保型底材，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种用于晶圆加工中的环保型底材，包括上层、中层和下层，所述上层的下表面与中层的上表面相贴合，中层的下表面与下层的上表面相贴合，上层、中层和下层采用三层共挤的工艺制作，上层、中层和下层均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。
作为本发明进一步的方案：上层的高度为上层、中层和下层总高度的12-18％。
作为本发明进一步的方案：中层的高度为上层、中层和下层总高度的60-70％。
作为本发明进一步的方案：上层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:3.8-4.4的共聚物制作。
作为本发明进一步的方案：中层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:3.3-4.8的共聚物制作。
作为本发明进一步的方案：下层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:9-19的共聚物制作。
作为本发明进一步的方案：上层、中层和下层的总高度为0.06-0.45mm。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本产品设计合理，通过在上层和中层使用聚乙烯及聚丙烯的共聚物,既可以改善聚乙烯因软化点低造成丝状物的污染,亦可改善聚丙烯不具柔软性；
本产品采用三层共挤的生产方法,精密的控制生产条件,采用流延的生产方法可以使得生产出的UV膜纵向及横向扩张(延伸)均匀，使用效果好。
附图说明
图1为用于晶圆加工中的减粘膜的结构示意图。
其中：1-上层，2-中层，3-下层。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
实施例1
一种用于晶圆加工中的环保型底材，包括上层、中层和下层，所述上层的下表面与中层的上表面相贴合，中层的下表面与下层的上表面相贴合，上层、中层和下层采用三层共挤的工艺制作，上层、中层和下层均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。上层的高度为上层、中层和下层总高度的12％，中层的高度为上层、中层和下层总高度的60％。上层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:4的共聚物制作。中层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:4的共聚物制作。下层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:9的共聚物制作。
对实施例1的产品进行性能测试，结果见表1。
表1
实施例2
一种用于晶圆加工中的环保型底材，包括上层、中层和下层，所述上层的下表面与中层的上表面相贴合，中层的下表面与下层的上表面相贴合，上层、中层和下层采用三层共挤的工艺制作，上层、中层和下层均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。上层的高度为上层、中层和下层总高度的15％。中层的高度为上层、中层和下层总高度的60％。上层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:4的共聚物制作。中层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:4的共聚物制作。下层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:19的共聚物制作。上层、中层和下层的总高度为0.27mm。
对实施例2的产品进行性能测试，结果见表2。
表2
实施例3
一种用于晶圆加工中的环保型底材，包括上层、中层和下层，所述上层的下表面与中层的上表面相贴合，中层的下表面与下层的上表面相贴合，上层、中层和下层采用三层共挤的工艺制作，上层、中层和下层均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。上层的高度为上层、中层和下层总高度的15％。中层的高度为上层、中层和下层总高度的60％。上层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:4的共聚物制作。中层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为3:17的共聚物制作。下层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:19的共聚物制作。
对实施例3的产品进行性能测试，结果见表3。
表3
本发明的工作原理是：本发明的产品中在上层及中层使用聚乙烯(PE)及聚丙烯(PP)的共聚物,既可以改善聚乙烯(PE)因软化点低造成丝状物的污染,亦可改善聚丙烯(PP)不具柔软性。本产品采用三层共挤的生产方法,精密的控制生产条件,采用流延的生产方法可以使得生产出的UV膜纵向及横向扩张(延伸)均匀。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (7)

1.一种用于晶圆加工中的环保型底材，包括上层、中层和下层，所述上层的下表面与中层的上表面相贴合，中层的下表面与下层的上表面相贴合，其特征在于，上层、中层和下层采用三层共挤的工艺制作，上层、中层和下层均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。
2.根据权利要求1所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述上层的高度为上层、中层和下层总高度的12-18％。
3.根据权利要求1或2所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述中层的高度为上层、中层和下层总高度的60-70％。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述上层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:3.8-4.4的共聚物制作。
5.根据权利要求1所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述中层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:3.3-4.8的共聚物制作。
6.根据权利要求1或4所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述下层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:9-19的共聚物制作。
7.根据权利要求1所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述上层、中层和下层的总高度为0.06-0.45mm。
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