CN109604834B - 激光加工装置和输出确认方法 - Google Patents

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Abstract

提供激光加工装置和输出确认方法，确认被分支成多个光路的各激光束的输出。激光加工装置(1)具有：振荡出照射至工作台(30)所保持的被加工物(W)的激光束的单元(60)；将激光束分支成第1光路和第2光路的单元(63)；和将所分支的激光束分别会聚至被加工物的加工面的单元(64)，分支单元(63)包含对第1光路和第2光路的激光束的输出进行调整的调整部(633)，激光加工装置具有：输出测量器(80)，其对从激光束产生单元(60)射出并通过了聚光器(64)的激光束的输出进行测量；和遮蔽部件定位单元，其配设在聚光器(64)与输出测量器(80)之间，将遮蔽部件(70)定位于仅对所分支的激光束中的第1光路的激光束进行遮蔽的第1激光束遮蔽位置和对所有的激光束都不进行遮蔽的退避位置。

Description

激光加工装置和输出确认方法
技术领域
本发明涉及将从激光束产生单元射出的激光束分支成多个光路而照射至被加工物的激光加工装置以及对所分支的各激光束的输出进行确认的方法。
背景技术
公知有如下的激光加工装置，其将从激光束产生单元射出的激光束用偏振板和偏振分束器等分支成两个光路，从而能够同时照射至被加工物的加工面的两个部位(例如，参照专利文献1)。这种激光加工装置例如能够同时在被加工物上形成两个相同品质的激光加工槽，因此能够提高生产率。
专利文献1：日本特开2015-167969号公报
但是，在上述的以往的激光加工装置中，有时由于部件的劣化导致偏振板的旋转角度发生偏移等，因而所分支的激光束的输出平衡偏移。当在输出平衡偏移的状态下对被加工物实施激光加工时，加工品质会根据每个激光束而不同，因此存在激光加工槽的深度等产生偏差的问题。
例如，在对形成于被加工物的间隔道的low-k膜照射激光束而形成将间隔道的宽度方向的两端的low-k膜去除的两条激光加工槽之后，利用切削刀具对已去除了两端的low-k膜的间隔道进行切削，在该情况下若激光加工槽的深度产生偏差、一方的激光加工槽比规定的深度浅地形成，则在之后的切削加工中存在下述问题：刀具弯曲行进、连同未被粗径的激光束分断的low-k膜一起产生剥离。
发明内容
由此，本发明的目的在于提供激光加工装置和输出确认方法，能够对分支成多个光路的各激光束的输出进行确认。
根据本发明的一个方式，提供激光加工装置，其中，该激光加工装置具有：保持工作台，其对被加工物进行保持；激光束产生单元，其产生照射至该保持工作台所保持的被加工物的激光束；分支单元，其将从该激光束产生单元射出的激光束至少分支成第1光路和第2光路；聚光器，其对该分支单元所分支的激光束进行会聚而分别会聚至被加工物的加工面；输出测量器，其对从该激光束产生单元射出并通过了该聚光器的激光束的输出进行测量；以及遮蔽部件定位单元，其配设于该聚光器与该输出测量器之间，能够将遮蔽部件定位于仅对该分支单元所分支的激光束中的该第1光路的激光束进行遮蔽的第1激光束遮蔽位置和对所有的激光束都不进行遮蔽的退避位置，该分支单元包含调整部，该调整部对至少被分支成第1光路和第2光路的激光束的输出平衡进行调整。
优选激光加工装置具有：拍摄单元，其对所述遮蔽部件进行拍摄；以及控制单元，其至少对所述激光束产生单元和所述遮蔽部件定位单元进行控制，该控制单元根据该遮蔽部件的位置对该遮蔽部件定位单元进行控制，该遮蔽部件的位置是根据该拍摄单元对所述遮蔽部件进行拍摄而得的拍摄图像而检测的。
另外，所述拍摄单元对所述保持工作台所保持的被加工物进行拍摄。
根据本发明的另一方式，提供输出确认方法，在利用分支单元将从激光束产生单元射出的激光束至少分支成第1光路和第2光路并且利用聚光器分别进行会聚而对保持工作台所保持的被加工物的加工面进行照射的激光加工装置中，对所分支的激光束的输出进行确认，其中，该输出确认方法具有如下的步骤：合计输出测量步骤，对从该激光束产生单元射出并由该聚光器会聚的至少第1光路和第2光路的激光束的合计输出进行测量；遮蔽步骤，利用遮蔽部件仅对从该激光束产生单元射出并由该聚光器会聚的第1光路的激光束进行遮蔽；非遮蔽激光束输出测量步骤，在实施了该遮蔽步骤的状态下对未被该遮蔽部件遮蔽的激光束的输出进行测量；以及激光束输出计算步骤，根据在该合计输出测量步骤中测量出的值和在该非遮蔽激光束输出测量步骤中测量出的值，分别计算出被分支成第1光路的激光束的第1输出和被分支成该第2光路的激光束的第2输出。
根据本发明的激光加工装置，将遮蔽部件定位于仅对分支成第1光路和第2光路的激光束中的第1光路的激光束进行遮蔽的第1激光束遮蔽位置，从而将第2光路的激光束照射至输出测量器而能够对第2光路的激光束的输出进行测量，将遮蔽部件定位于对所有的激光束都不进行遮蔽的退避位置，从而将所有的激光束照射至输出测量器而能够对所有的激光束的输出进行测量，因此根据这些测量值，能够对分支成多个光路的各激光束的输出进行确认。
另外，控制单元根据遮蔽部件的位置对遮蔽部件定位单元进行控制，该遮蔽部件的位置是根据拍摄单元对遮蔽部件进行拍摄而得的拍摄图像而检测的，从而能够以更短的时间将遮蔽部件定位于仅对第1光路的激光束进行遮蔽的第1激光束遮蔽位置。
根据本发明的输出确认方法，在合计输出测量步骤中，对分支成第1光路和第2光路的激光束的合计输出进行测量，在非遮蔽激光束输出测量步骤中，在利用遮蔽部件仅对第1光路的激光束进行遮蔽的状态下对未被遮蔽部件遮蔽的激光束的输出进行测量，然后在激光束输出计算步骤中，根据在合计输出测量步骤中测量出的值和在非遮蔽激光束输出测量步骤中测量出的值，计算出分支成第1光路的激光束的输出和分支成第2光路的激光束的输出，从而能够对分支成多个光路的各激光束的输出进行确认。
附图说明
图1是示出激光加工装置的一例的立体图。
图2是示出激光加工装置的光学***的一例的示意图。
图3是示出分支单元的一例的框图。
图4是示出遮蔽部件和安装部的一例的立体图。
图5是遮蔽部件处于退避位置时的光学***的示意图。
图6是对拍摄图像中所示的遮蔽部件的边缘定位于所分支的激光束间的中心的状态进行说明的说明图。
图7是遮蔽部件处于第1激光束遮蔽位置时的光学***的示意图。
标号说明
1：激光加工装置；10：基台；10A：柱；30：保持工作台；30a：保持面；32：旋转单元；33：固定夹具；20：Y轴移动单元；200：滚珠丝杠；201：导轨；202：脉冲电动机；203：可动板；21：X轴移动单元；210：滚珠丝杠；211：导轨；212：脉冲电动机；213：可动板；22：Z轴移动单元；220：滚珠丝杠；221：导轨；222：脉冲电动机；223：可动板；23：Y轴方向位置测量单元；230：标尺；24：X轴方向位置测量单元；240：标尺；60：激光束产生单元；600：壳体；601：激光振荡器；602：重复频率设定单元；609：照射头；61：反射镜；62：输出调整单元；63：分支单元；630：1/2波长板；631：偏振分束器；632：反射镜；633：调整部；64：聚光器；640：聚光透镜；80：输出测量器；800：被照射部分；70：遮蔽部件；70a：边缘；71：安装部；710：切口部；73：螺钉；9：控制单元；W：被加工物；Wa：加工面；G：拍摄图像；LB1：第1光路的激光束；LB2：第2光路的激光束。
具体实施方式
图1所示的激光加工装置1是对保持工作台30所保持的被加工物W照射激光束而实施加工的加工装置。在激光加工装置1的基台10上具有Y轴移动单元20，该Y轴移动单元20使保持工作台30在作为分度进给方向的Y轴方向上往复移动。Y轴移动单元20包含：滚珠丝杠200，其具有Y轴方向的轴心；一对导轨201，它们与滚珠丝杠200平行地配设；脉冲电动机202，其使滚珠丝杠200转动；以及可动板203，其内部的螺母与滚珠丝杠200螺合，可动板203的底部与导轨201滑动接触。并且，当脉冲电动机202使滚珠丝杠200转动时，与此相伴可动板203被导轨201引导而在Y轴方向上移动，借助X轴移动单元21而配设在可动板203上的保持工作台30随着可动板203的移动而在Y轴方向上移动。
在可动板203上具有X轴移动单元21，该X轴移动单元21使保持工作台30在作为加工进给方向的X轴方向上往复移动。X轴移动单元21包含：滚珠丝杠210，其具有X轴方向的轴心；一对导轨211，它们与滚珠丝杠210平行地配设；脉冲电动机212，其使滚珠丝杠210转动；以及可动板213，其内部的螺母与滚珠丝杠210螺合，可动板213的底部与导轨211滑动接触。并且，当脉冲电动机212使滚珠丝杠210转动时，与此相伴可动板213被导轨211引导而在X轴方向上移动，配设在可动板213上的保持工作台30随着可动板213的移动而在X轴方向上移动。
对被加工物W进行保持的保持工作台30其外形为圆形状，与未图示的吸引源连通而在作为水平面的保持面30a上对被加工物W进行吸引保持。保持工作台30能够通过配设于底面侧的旋转单元32绕铅垂方向(Z轴方向)的轴心旋转。在保持工作台30的周围，在周向上均等地配设有四个固定夹具33，在成为被加工物W支承于环状框架的状态的情况下，四个固定夹具33对该环状框架进行固定。
在基台10的后方(+Y方向侧)竖立设置有柱10A，在柱10A的前表面上借助Z轴移动单元22而配设有激光束产生单元60。Z轴移动单元22包含：滚珠丝杠220，其具有Z轴方向的轴心；一对导轨221，它们与滚珠丝杠220平行地配设；脉冲电动机222，其使滚珠丝杠220转动；以及可动板223，其内部的螺母与滚珠丝杠220螺合，可动板223的侧部与导轨221滑动接触。并且，当脉冲电动机222使滚珠丝杠220转动时，与此相伴可动板223被导轨221引导而在Z轴方向上移动，与此相伴激光束产生单元60在Z轴方向上移动。
激光束产生单元60具有固定于可动板223的壳体600。壳体600从可动板223沿Y轴方向水平突出，在壳体600的前端部，在X轴方向上并列设置有照射头609和拍摄单元50。从照射头609朝向-Z方向射出例如分支成两束的激光束LB1、LB2(参照图2)。
激光束产生单元60具有：配设在壳体600内的图2所示的YAG激光器等激光振荡器601；以及重复频率设定部602。从激光振荡器601水平射出的激光束LB是线偏振的激光束，被反射镜61向垂直方向下方反射。在激光振荡器601与反射镜61之间设置有用于调整照射至被加工物W的激光束LB的功率的输出调整单元62。
在反射镜61与保持工作台30之间设置有分支单元63和聚光器64。被反射镜61反射的激光束LB入射至分支单元63。分支单元63将所入射的激光束LB分支成第1光路OP1的激光束LB1和第2光路OP2的激光束LB2。聚光器64具有聚光透镜640，将被分支单元63分支的激光束LB1、LB2分别会聚至被加工物W的加工面Wa。反射镜61、分支单元63和聚光器64配置在图1所示的照射头609内。
如图3所示，分支单元63具有1/2波长板630、偏振分束器631、反射镜632、以及调整部633。1/2波长板630对所入射的激光束LB赋予1/2波长量的相位差。偏振分束器631将通过了1/2波长板630的激光束LB分支成具有相互垂直的偏振面S、P的两个激光束LB1、LB2。被偏振分束器631反射且分支成第1光路OP1的S偏振的激光束LB1被反射镜632向垂直方向下方反射，通过聚光透镜640而照射至被加工物W的加工面Wa。透过偏振分束器631而分支成第2光路OP2的P偏振的激光束LB2通过聚光透镜640而照射至被加工物W的加工面Wa。
调整部633具有用于改变1/2波长板630的旋转角度的电动机，通过驱动电动机，能够调整1/2波长板630的旋转角度而使1/2波长板630的射出光的偏振面旋转。并且，通过使1/2波长板630的射出光的偏振面旋转，能够使从偏振分束器631输出的S偏振的激光束LB1与P偏振的激光束LB2的强度比连续地变化。即，分支单元63利用调整部633来调整1/2波长板630的旋转角度，从而能够调整所分支的两个激光束LB1、LB2的输出平衡。
图1所示的拍摄单元50相对于照射头609为规定的位置关系而配设于壳体600的前端部，拍摄单元50是为了检测保持工作台30所保持的被加工物W的要实施激光加工的加工区域而对被加工物W进行拍摄的单元，并且也是用于对图1所示的遮蔽部件70进行拍摄的单元。拍摄单元50包含相机和将相机所拍摄的被摄体图像放大的显微镜，其中该相机具有：拍摄元件(例如CCD)，其具有二维排列的多个像素；以及拍摄光学***，其使被摄体图像通过图2所示的聚光透镜640而导入至拍摄元件的受光面。另外，拍摄单元50具有通过显微镜使相机的焦点自动地与被摄体一致的自动聚焦功能。另外，拍摄单元50的相机可以内置于照射头609内，并且该显微镜的光轴可以与聚光器64的光轴同轴。
如图1所示，激光加工装置1具有对保持工作台30的Y轴方向上的位置进行测量的Y轴方向位置测量单元23。Y轴方向位置测量单元23具有：标尺230，其沿着导轨201在Y轴方向上延伸；以及未图示的读取部，其固定于可动板203，沿着标尺230与可动板203一起移动并读取标尺230的刻度。读取部例如是对形成于标尺230的刻度的反射光进行读取的光学式的读取部，其对标尺230的刻度进行检测而对控制单元9输出脉冲信号。
另外，激光加工装置1具有对保持工作台30的X轴方向上的位置进行测量的X轴方向位置测量单元24，该X轴方向位置测量单元24包含标尺240和未图示的读取部等。
由CPU和存储器等存储元件构成的控制单元9例如对从Y轴方向位置测量单元23送出的脉冲信号进行计数，从而对保持工作台30的Y轴方向上的位置进行检测来控制Y轴移动单元20，对从X轴方向位置测量单元24送出的脉冲信号进行计数，从而对保持工作台30的X轴方向上的位置进行检测来控制X轴移动单元21。
另外，在本实施方式中，例如Y轴移动单元20的电动机202是通过从未图示的脉冲振荡器提供的驱动脉冲进行动作的脉冲电动机。由此，控制单元9对提供至Y轴移动单元20的驱动脉冲数进行计数，从而也能够对保持工作台30的Y轴方向上的位置进行检测。另外，例如控制单元9进行激光束产生单元60的控制。基于控制单元9的该控制的一例是激光振荡器601内部的Q开关的开/关(ON/OFF)的控制。
在可动板203上设置有输出测量器80，该输出测量器80对从图2所示的激光束产生单元60射出并通过了聚光器64的激光束LB1、LB2的输出进行测量。输出测量器80使由规定的金属构成的被照射部分800面向上方而固定于可动板203的柱10A侧的侧面的X轴方向中央部。输出测量器80是将激光束LB1、LB2照射至被照射部分800而产生的热转换成电压从而对所照射的激光束LB1、LB2的输出进行测量的热传感器。
如图1所示，在可动板213上配设有遮蔽部件70。遮蔽部件70设置于可动板213的柱10A侧的侧部的X轴方向的一个端部。遮蔽部件70是用于在使用输出测量器80对从照射头609射出的各激光束LB1、LB2的输出进行测量时仅对第1光路OP1的激光束LB1进行遮蔽的部件。例如，在Y轴移动单元20使可动板203停止在使两方的激光束LB1、LB2照射至输出测量器80的Y轴方向上的规定的位置的状态下，X轴移动单元21使可动板213在X轴方向上移动，从而将遮蔽部件70定位于仅对一方的激光束LB1进行遮蔽的第1激光束遮蔽位置和对两方的激光束LB1、LB2不进行遮蔽的退避位置。即，X轴移动单元21还作为遮蔽部件定位单元发挥功能。
或者也可以为如下的结构：遮蔽部件定位单元在控制单元9的控制下同时进行可动板213基于X轴移动单元21的移动和可动板203基于Y轴移动单元20的移动，从而将遮蔽部件70定位于仅对一方的激光束LB1进行遮蔽的第1激光束遮蔽位置和对两方的激光束LB1、LB2不进行遮蔽的退避位置。即，在本实施方式中，遮蔽部件定位单元由X轴移动单元21和Y轴移动单元20构成。
遮蔽部件70以能够更换的方式安装于与可动板213形成为一体的安装部71。安装部71从可动板213的侧部向上方突出。如图4所示，在安装部71中形成有在X轴方向上延伸至安装部71的大致中央的切口部710。切口部710在安装部71的Y轴方向上的中间位置贯通Z轴方向而形成。
遮蔽部件70是由不容易被规定的波长(例如为355nm)的激光束LB加工的陶瓷形成的板状部件。遮蔽部件70的边缘70a按照在切口部710的上方附近倾斜地横穿的方式，利用螺钉73被拧紧固定在安装部71的上表面上。例如，遮蔽部件70的边缘70a与Y轴所成的角度为大致45°。遮蔽部件70的边缘70a未进行倒角而带有棱角，因此在从上方观察遮蔽部件70的情况下，容易区分出边缘70a的边界。另外，遮蔽部件70的形状并不限于图4所示的例子。
下面对如上述那样构成的激光加工装置1中的输出确认动作(输出确认方法)进行说明。
(1)合计输出测量步骤
图1所示的Y轴移动单元20使可动板203在Y轴方向上移动，并且X轴移动单元21使可动板213在X轴方向上移动，从而按照使遮蔽部件70的边缘70a的一部分落入拍摄单元50的拍摄区域内的方式进行定位。Z轴移动单元22使可动板223在Z轴方向上慢慢移动而使拍摄单元50朝向遮蔽部件70的上表面按照规定的距离接近(或远离)，并且拍摄单元50进行动作而在多个高度位置依次进行基于相机的拍摄，形成各拍摄图像，根据该各拍摄图像的图像处理的结果，使拍摄单元50的相机的焦点自动地对焦在遮蔽部件70的上表面的高度位置。并且，在使拍摄单元50的相机的焦点对焦在遮蔽部件70的上表面的时刻，Z轴移动单元22停止可动板223的移动。
另外，在激光加工装置1中编入有与拍摄单元50的这种自动聚焦动作联动而对图5所示的聚光器64的聚光透镜640的聚光点的高度位置进行调整的程序，成为在拍摄单元50的相机的焦点对焦在遮蔽部件70的上表面的时刻、按照使聚光点的高度位置与遮蔽部件70的上表面的高度位置一致的方式对聚光透镜640进行调整的状态。
在拍摄单元50的相机的焦点对焦在遮蔽部件70的上表面的状态下，形成拍摄到遮蔽部件70的边缘70a的拍摄图像G，将所形成的拍摄到遮蔽部件70的一部分的拍摄图像G显示在图6所示的规定的分辨率的监视画面B上。显示在监视画面B上的虚线表示拍摄单元50的相机的基准线L1(在本实施方式中也是聚光透镜640的中心线)，按照基准线L1的交点始终显示在监视画面B的中心位置的方式进行设定。另外，拍摄图像G中的两个圆分别表示假想的分支后的激光束LB1、LB2。例如，Y轴方向上的激光束LB1、LB2间的中心(中点)的坐标位置Ym通过基准线L1相关联成为监视画面B的中心位置。
根据拍摄图像G来把握遮蔽部件70和假想的分支后的激光束LB1、LB2的位置关系，在控制单元9的控制下，图1所示的Y轴移动单元20使可动板203在Y轴方向上移动而按照被照射部分800位于照射头609的正下方的方式对输出测量器80进行定位，并且X轴移动单元21使可动板213在X轴方向上移动，从而将遮蔽部件70定位于对从照射头609朝向输出测量器80射出的第1光路OP1的激光束LB1和第2光路OP2的激光束LB2中的任意一个都不进行遮蔽的退避位置P2(参照图5)。然后，使激光束产生单元60进行动作即从激光振荡器601振荡出激光束LB并通过输出调整单元62对激光束LB的输出进行调整，将所分支的第1光路OP1和第2光路OP2的激光束LB1、LB2从聚光器64照射至输出测量器80，从而对两激光束LB1、LB2的合计输出进行测量。并且，记录通过输出测量器80测量得到的该合计输出。
另外，作为输出测量器80，使用具有测量功率的范围较宽这一特点的热传感器，因此在使聚光透镜640的聚光点的高度位置对焦在遮蔽部件70的上表面而不对焦在输出测量器80的被照射部分800的情况下，也能够准确地对两激光束LB1、LB2的合计输出进行测量。另外，在后述的非遮蔽激光束输出测量步骤中，也同样地能够准确地对第2光路OP2的激光束LB2的输出进行测量，因此不会产生测量错误。
(2)遮蔽步骤
接着，实施遮蔽步骤，利用遮蔽部件70仅对从激光束产生单元60射出并利用聚光器64进行会聚的第1光路OP1的激光束LB1进行遮蔽。例如，作业者观察监视画面B上的拍摄图像G而把握遮蔽部件70的中央附近的边缘70a的位置，按照使拍摄图像G中的遮蔽部件70的边缘70a与监视画面B的中心位置(基准线L1的交点)重叠的方式对控制单元9指定遮蔽部件70的边缘70a的规定的位置。这里，使用边缘70带有棱角的遮蔽部件70，从而能够使通过拍摄单元50形成的拍摄图像G中的遮蔽部件70的边缘70a的部分鲜明化，作业者能够容易且准确地进行边缘70a的位置的把握和对控制单元9的位置指定。
例如，当作业者从设置于监视画面B上的触摸面板或装置所具有的键盘等对控制单元9输入该指定时，控制单元9根据该指定，保持输出测量器80的被照射部分800位于照射头609的正下方的状态，同时通过图1所示的Y轴移动单元20使可动板203在Y轴方向上移动，并且通过X轴移动单元21使可动板213在X轴方向上移动，从而如图6所示，使遮蔽部件70的边缘70a与分支后的假想的激光束LB1、LB2间的中心(中点)的坐标位置Ym一致。即，如图7所示，成为将遮蔽部件70定位于仅对利用分支单元63分支的激光束LB中的第1光路OP1的激光束LB1进行遮蔽的第1激光束遮蔽位置P1的状态。
(3)非遮蔽激光束输出测量步骤
在实施了遮蔽步骤的状态下，从图7所示的激光振荡器601振荡出激光束LB并通过输出调整单元62调整激光束LB的输出，将通过分支单元63分支且未被遮蔽部件70遮蔽的第2光路OP2的激光束LB2从聚光器64通过安装部71的切口部710(参照图4)而照射至输出测量器80，从而对第2光路OP2的激光束LB2的输出进行测量。
(4)激光束输出计算步骤
接着，根据在合计输出测量步骤中测量的值(两激光束LB1、LB2的合计输出)和在非遮蔽激光束输出测量步骤中测量的值(第2光路OP2的激光束LB2的输出)，计算出分支成第1光路OP1的激光束LB1的输出值(第1输出)和分支成第2光路OP2的激光束LB2的输出值(第2输出)。即，计算出对在合计输出测量步骤中测量的值减去在非遮蔽激光束输出测量步骤中测量的值而得到的值，将该值作为分支成第1光路OP1的激光束LB1的输出值。
本来在激光加工装置1中，应该通过图3所示的调整部633对1/2波长板630的旋转角度的调整而使激光束LB分支后的两个激光束LB1、LB2的输出平衡成为期望的平衡。但是，例如由于调整部633的电动机的劣化等，可能产生两个激光束LB1、LB2的输出平衡未成为期望的平衡的情况。但是，如上述那样本实施方式的激光加工装置1将遮蔽部件70定位于对所有的激光束LB1、LB2不进行遮蔽的退避位置P2，从而将所有的激光束LB1、LB2照射至输出测量器80而能够对所有的激光束LB1、LB2的输出进行测量，并且将遮蔽部件70定位于仅对分支成第1光路OP1和第2光路OP2的激光束LB1、LB2中的第1光路OP1的激光束LB1进行遮蔽的第1激光束遮蔽位置P1，从而将第2光路OP2的激光束LB2照射至输出测量器80而能够对第2光路OP2的激光束LB2的输出进行测量，因此根据这些测量值，能够对分支成第1光路OP1和第2光路OP2的各激光束LB1、LB2的输出平衡进行确认。
另外，激光加工装置1的控制单元9根据遮蔽部件70的位置对遮蔽部件定位单元进行控制，该遮蔽部件70的位置是根据由拍摄单元50对遮蔽部件70进行拍摄而得到的拍摄图像G而检测的，由此，能够以更短的时间将遮蔽部件70定位于仅对第1光路的激光束LB1进行遮蔽的第1激光束遮蔽位置P1。
另外，根据本实施方式的输出确认方法，在合计输出测量步骤中，对分支成第1光路OP1和第2光路OP2的激光束LB1、LB2的合计输出进行测量，在非遮蔽激光束输出测量步骤中，在利用遮蔽部件70仅对第1光路OP1的激光束LB1进行遮蔽的状态下对未被遮蔽部件70遮蔽的激光束LB2的输出进行测量，然后在激光束输出计算步骤中，根据在合计输出测量步骤中测量的值和在非遮蔽激光束输出测量步骤中测量的值，计算出分支成第1光路OP1的激光束LB1的输出和分支成第2光路OP2的激光束LB2的输出，从而能够对所分支的各激光束LB1、LB2的输出进行确认。
另外，在本实施方式中，使用边缘70a带有棱角的遮蔽部件70，从而能够使通过拍摄单元50形成的拍摄图像G中的遮蔽部件70的边缘70a的部分鲜明化，能够将遮蔽部件70的边缘70a准确地定位于两激光束LB1、LB2间的中心。
另外，本发明的实施方式并不限于上述的实施方式，可以在不脱离本发明的技术思想的主旨的范围内进行各种变更、置换、变形。
例如，在上述实施方式中，在合计输出测量步骤之后实施遮蔽步骤和非遮蔽激光束输出测量步骤，但也可以在遮蔽步骤和非遮蔽激光束输出测量步骤之后实施合计输出测量步骤。
另外，通过反复实施本发明的输出确认方法，遮蔽部件70慢慢被激光束加工，因此在一定的时机将使用了多次的遮蔽部件70从安装部71取下，更换成新的遮蔽部件70。
另外，在上述实施方式中，采用分支单元63将从激光束产生单元60射出的激光束LB分支成第1光路OP1和第2光路OP2这两个光路的结构，但也可以采用分支成三个光路以上的结构。
另外，也可以对控制单元9输入程序，以便在(2)遮蔽步骤中不像上述实施方式那样使作业者介入观察拍摄图像G而把握遮蔽部件70的边缘70a的规定的位置从而对控制单元9进行指定等的作业者的作业，而是通过激光加工装置1自动地进行(2)遮蔽步骤。在该情况下，例如当按下激光加工装置1的规定的操作按钮时，自动实施拍摄单元50对遮蔽部件70的拍摄，接着通过图像处理检测到拍摄图像中的遮蔽部件70的边缘70a，并且通过遮蔽部件定位单元按照使所检测到的边缘70a的坐标位置与分支后的激光束LB1、LB2间的中心(中点)的坐标位置一致的方式对遮蔽部件70进行定位。

Claims (4)

1.一种激光加工装置，其中，
该激光加工装置具有：
保持工作台，其对被加工物进行保持；
激光束产生单元，其产生照射至该保持工作台所保持的被加工物的激光束；
分支单元，其将从该激光束产生单元射出的激光束分支成在第1光路上的第1激光束和在第2光路上的第2激光束；
聚光器，其对该分支单元所分支的激光束进行会聚而分别会聚至被加工物的加工面；
输出测量器，其对从该激光束产生单元射出并通过了该聚光器的激光束的输出进行测量；以及
遮蔽部件定位单元，其配设于该聚光器与该输出测量器之间，所述遮蔽部件定位单元包括遮蔽部件并且被构造成相对于所述第1光路和所述第2光路在仅对该第1光路上的第1激光束进行完全遮蔽的第1激光束遮蔽位置和对所有的第1激光束和第2激光束都不进行遮蔽的退避位置之间横向移动所述遮蔽部件，
该分支单元包含调整部，该调整部对至少被分支成第1光路和第2光路的第1激光束和第2激光束的输出平衡进行调整，
所述遮蔽部件的边缘带有棱角，所述遮蔽部件的边缘相对于所述遮蔽部件横向移动的方向倾斜地设置。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，
该激光加工装置还具有：
拍摄单元，其对所述遮蔽部件进行拍摄；以及
控制单元，其至少对所述激光束产生单元和所述遮蔽部件定位单元进行控制，
该控制单元根据该遮蔽部件的位置对该遮蔽部件定位单元进行控制，该遮蔽部件的位置是根据该拍摄单元对所述遮蔽部件进行拍摄而得的拍摄图像而检测的。
3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，
所述拍摄单元对所述保持工作台所保持的被加工物进行拍摄。
4.一种输出确认方法，在利用分支单元将从激光束产生单元射出的激光束至少分支成在第1光路上的第1激光束和在第2光路上的第2激光束并且利用聚光器分别进行会聚而对保持工作台所保持的被加工物的加工面进行照射的激光加工装置中，对所分支的第1激光束和第2激光束的输出进行确认，其中，
该输出确认方法具有如下的步骤：
合计输出测量步骤，对从该激光束产生单元射出并由该聚光器会聚的第1激光束和第2激光束的合计输出进行测量；
遮蔽步骤，使边缘带有棱角且边缘相对于遮蔽部件横向移动的方向倾斜地设置的遮蔽部件相对于所述第1光路和所述第2光路横向移动，利用遮蔽部件仅对从该激光束产生单元射出并由该聚光器会聚的第1光路的第1激光束进行完全遮蔽；
非遮蔽激光束输出测量步骤，在实施了该遮蔽步骤的状态下对未被该遮蔽部件遮蔽的第1激光束和第2激光束的输出进行测量；以及
激光束输出计算步骤，根据在该合计输出测量步骤中测量出的值和在该非遮蔽激光束输出测量步骤中测量出的值，分别计算出被分支成第1光路的第1激光束的第1输出和被分支成该第2光路的第2激光束的第2输出。
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