CN109580183B - 大数值孔径显微物镜波像差测量***和测量方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种大数值孔径显微物镜波像差测量***和测量方法，该***包括激光器、准直扩束***、中性滤光片、旋转毛玻璃、第一分光镜、第二分光镜、波前传感器、聚光镜、光阑、光电倍增管、校准平面镜及盖玻片。本发明公开了一种非相干式测量显微物镜波像差的方法，本发明可适用于任意大数值孔径(浸油/非浸油)显微物镜波像差测量；利用入射平行光束口径大于显微物镜出瞳，能保证任意大数值孔径显微物镜波像差测量；本发明采用非相干测量模式，可减少杂散条纹的影响，通过精确对焦功能，确保测量波像差无离焦因素影响，同时利用盖玻片自身反射，测量的波像差与显微物镜设计及真实使用状态一致，更能实现显微物镜的精准测量。

Description

大数值孔径显微物镜波像差测量***和测量方法
技术领域
本发明涉及光学测量技术领域，特别涉及一种大数值孔径显微物镜波像差测量***和测量方法。
背景技术
随着科学技术的快速发展，显微镜的应用领域愈来愈广。除了传统的教学、科研、医疗和工业等应用领域外，在微电子制造、新材料研发、生命科学研究和新药开发等领域都有新的应用。2014年诺贝尔化学奖授予美国科学家埃里克·贝齐格、威廉·莫纳和德国科学家斯特凡·黑尔等三位科学家，以表彰他们为发展超分辨率荧光显微镜所作的贡献，该奖项的颁布进一步推动了显微技术向超分辨领域的快速发展，也促进了高端显微***和仪器的研发。此外，生命科学和医疗健康行业在我国国民经济中的地位日益突出，以显微技术为基础的数字化病理切片仪、二代基因测试仪等先进医疗成像及诊断仪器的需求日益增大。这些因素使古老的显微技术换发了新的生机，显微领域的技术也需随时代而进步。显微镜***最核心的部件是显微物镜，其作用相当于航空飞机的发动机。显微物镜的质量决定了显微镜***的性能指标。
评价显微物镜成像质量最科学有效的方法是出瞳波像差测量，针对显微物镜波像差的测量，泰曼格林于20世纪提出四种基于泰曼格林干涉仪测量显微物镜波像差的方法(光学车间检测一书中有详细论述)，第一种利用凹面半球镜，一束大于出瞳的测量光束经显微物镜会聚，再经凹面半球镜共轭反射回去，这种方法对于长工作距、无盖玻片、非浸油的显微物镜非常准确，但对于有盖玻片、浸油的显微物镜，该方法适用性很差，一、半球镜须浸油，很难保证油均匀；二、凹面镜上面必须加盖玻片，盖玻片与物镜之间还需浸油，极短工作距造成该种方式下共轭点非常难找，不具备实际操作性。第二种方法将凹面半球镜变成凸面半球镜，该种方法可以将盖玻片和标准镜集成至一起，理论上解决了第一种方法盖玻片放置及油的不均匀性问题。但实际上对半球镜的加工提出了更高地要求，除了面型外，还有中心厚度要求。此外这种方法也很难寻找共轭点，操作起来复杂。
第三种方法，利用平面镜将测量光束反射回去，这种方法与带盖玻片显微镜真实波像差有差别，而且不易确定显微物镜焦平面。第四种方法需要一个参考显微物镜，参考显微物镜的数值孔径必须大于被测量显微物镜的数值孔径，测量方式有两种，一种默认参考显微物镜的波像差为零，测量结果即为待测显微物镜的波像差，一般以一个标准的显微物镜作为参考物镜，第二种通过三个显微物镜旋转180度比较测量，获得待测显微物镜的波像差，此方法对旋转精度有很高要求，两种测量方式的共轭点均不易寻找。
以上四种方法均建立在干涉的基础上，其核心为泰曼格林干涉仪，通过测量光束与参考光束干涉条纹获得显微物镜波像差，由于显微物镜本身内部含有多组镜片，因此除主要干涉条纹外，还有一些杂光条纹，杂光条纹也对测量结果造成影响。
国内针对显微物镜波像差测量的专利主要有三个：一个是中科院长春光机所巩岩、李晶申请的“一种大数值孔径物镜波像差检测装置及方法”(专利号201410374370.1)，中科院苏州医工所张运海申请的“物镜波像差检测***”(专利号201310246734.3)，南京东利来公司的“大数值孔径浸油镜头波像差检测装置”(专利号201720366532.6)，第一种采用的是哈特曼传感器方法，光路采用透射式光路，经扩散板发射的光看成一束标准球面波，改方法最大的缺陷就是数值孔径测量有限，目前国内外扩散板最大发射孔径为0.8，而且不能浸油，不能放置盖玻片，因此只能测量数值孔径低于0.8且不含盖玻片的干镜。张运海的专利与泰曼格林第四种类似，采用旋转物镜的办法，东利来公司的专利与泰曼格林第二种方法类似，这些方法对于测量大数值孔径(超过1.0)显微物镜波像差均存在以上说明的缺陷。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种大数值孔径显微物镜波像差测量***和测量方法。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种大数值孔径显微物镜波像差测量***，包括激光器、准直扩束***、中性滤光片、旋转毛玻璃、第一分光镜、第二分光镜、波前传感器、聚光镜、光阑、光电倍增管、校准平面镜及下表面镀有全反射膜的盖玻片；
其中，该***对显微物镜进行测量前，先不装显微物镜和所述盖玻片，将所述校准平面镜装入***；所述激光器发出的激光依次经该准直扩束***、中性滤光片、旋转毛玻璃后由该第一分光镜反射至该校准平面镜；所述校准平面镜的反射光再透射所述第一分光镜，透射所述第一分光镜的光中，一部分透射所述第二分光镜后到达所述波前传感器，另一部分经所述第二分光镜反射后再依次经所述聚光镜、光阑后到达所述光电倍增管；
其中，该***对显微物镜进行测量时，取下所述校准平面镜，将待测的显微物镜和盖玻片装入***；所述激光器发出的激光依次经该准直扩束***、中性滤光片、旋转毛玻璃后由该第一分光镜反射，经过所述显微物镜后到达所述盖玻片的下表面；所述盖玻片的反射光经所述显微物镜后再透射所述第一分光镜，透射所述第一分光镜的光中，一部分透射所述第二分光镜后到达所述波前传感器，另一部分经所述第二分光镜反射后再依次经所述聚光镜、光阑后到达所述光电倍增管。
优选的是，其中，采用旋转毛玻璃消除相干性。
优选的是，其中，所述波前传感器采用哈特曼传感器。
一种大数值孔径显微物镜波像差测量方法，其采用如前所述的大数值孔径显微物镜波像差测试***进行显微物镜的波像差测量。
优选的是，该方法包括以下步骤：
1)测量前，先不装显微物镜和所述盖玻片，将校准平面镜装入***，且保证校准平面镜与入射光束垂直，测量此时***的波像差W1；
2)取走校准平面镜，将盖玻片和待测的显微物镜装至***中，***中其他组件保持不变，且保证盖玻片与显微物镜齐焦面平行；
3)粗调焦：调节盖玻片与物镜之间的距离，通过波前传感器接受的光束直径大小的变化判断焦点位置；
4)精密调焦：粗调焦确定焦平面大概位置后，利用光电倍增管接受的能量变化进行精密调焦，再调节盖玻片与物镜之间的距离，能量最大的位置为焦点位置；
5)利用波前传感器测量此时***的波像差W2，W2减去W1再除以2即为显微物镜的波像差。
优选的是，步骤1)中，将校准平面镜装入***，还包括步骤1-2)：校正***光路，保证激光器、准直扩束***、第一分光镜、第二分光镜、显微物镜、校准平面镜、聚光镜、光阑、光电倍增管及波前传感器共光轴。
优选的是，所述步骤1-2)中，校正***光路时保证激光器发出的光经准直扩束***准直和扩束、中性滤光片虑光、旋转毛玻璃去相干后的平行光束相对于显微物镜齐焦面垂直入射，且保证校准平面镜与显微物镜齐焦面平行；且保证盖玻片与显微物镜齐焦面平行；且保证光阑处于聚光镜的后焦面中心。
本发明的有益效果是：本发明公开了一种非相干式测量显微物镜波像差的方法，本发明的方法采用哈特曼测量方式，可适用于任意大数值孔径(浸油/非浸油)显微物镜波像差测量；本发明采用反射式光路，利用入射平行光束口径大于显微物镜出瞳，能保证任意大数值孔径显微物镜波像差测量；本发明采用非相干测量模式，可减少杂散条纹的影响，通过精确对焦功能，确保测量波像差无离焦因素影响，同时利用盖玻片自身反射，测量的波像差与显微物镜设计及真实使用状态一致，更能实现显微物镜的精准测量。本发明的***结构简单，操作使用方便，具有很好的应用前景。
附图说明
图1为本发明的大数值孔径显微物镜波像差测量***测量状态的结构示意图；
图2为本发明的大数值孔径显微物镜波像差测量***装入校准平面镜时的结构示意图。
附图标记说明：
1—激光器；2—准直扩束***；3—中性滤光片；4—旋转毛玻璃；5—第一分光镜；6—第二分光镜；7—波前传感器；8—聚光镜；9—光阑；10—光电倍增管；11—校准平面镜；12—盖玻片；13—显微物镜。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
如图1-2所示，本实施例的一种大数值孔径显微物镜13波像差测量***，包括激光器1、准直扩束***2、中性滤光片3、旋转毛玻璃4、第一分光镜5、第二分光镜6、波前传感器7、聚光镜8、光阑9、光电倍增管10、校准平面镜11及下表面镀有全反射膜的盖玻片12。
其中，该***对显微物镜13进行测量前，先不装显微物镜13和盖玻片12，将校准平面镜11装入***。此时***走向光路为：激光器1发出的激光依次经该准直扩束***2、中性滤光片3、旋转毛玻璃4后由该第一分光镜5反射至该校准平面镜11；校准平面镜11的反射光再透射第一分光镜5，透射第一分光镜5的光中，一部分透射第二分光镜6后到达波前传感器7，另一部分经第二分光镜6反射后再依次经聚光镜8、光阑9后到达光电倍增管10；
其中，该***对显微物镜13进行测量时，取下校准平面镜11，将待测的显微物镜13和盖玻片12装入***。此时***走向光路为：激光器1发出的激光依次经该准直扩束***2、中性滤光片3、旋转毛玻璃4后由该第一分光镜5反射，经过显微物镜13后到达盖玻片12的下表面；盖玻片12下表面的全反射膜反射的反射光经显微物镜13后再透射第一分光镜5，透射第一分光镜5的光中，一部分透射第二分光镜6后到达波前传感器7，另一部分经第二分光镜6反射后再依次经聚光镜8、光阑9后到达光电倍增管10。
在一种实施例中，激光器1采用半导体激光器1。
在一种实施例中，波前传感器7采用哈特曼传感器。
本发明的大数值孔径显微物镜13波像差测量***，其测量原理如图1，半导体激光器1(波长与显微物镜13中心波长一致)发出的激光镜准直扩束后变成一束略大于显微物镜13出瞳的平行光束，中性滤光片3用于减弱激光能量，由于激光的相干性非常好，为了消除激光的相干性，在扩束后的平行光束中加旋转毛玻璃4以消除相干，消相干后的平行光束经分光镜反射进入显微物镜13，经显微物镜13聚焦至盖玻片12的下表面上，利用光电倍增管10对显微物镜13精确定焦，盖玻片12下表面镀全发射膜，聚焦于盖玻片12下表面的光束经盖玻片12反射通过物镜变成一束平行光，利用哈特曼传感器分割该平行光束并测量各分割区域的斜率，利用积分算法将各区域的斜率积分即获得显微物镜13出瞳波像差。
本发明还提供一种大数值孔径显微物镜13波像差测量方法，其基于上述的大数值孔径显微物镜13波像差测试***进行显微物镜13的波像差测量。
在一种实施例中，大数值孔径显微物镜13波像差测量方法包括以下步骤：
1)测量前，先不装显微物镜13和盖玻片12，将校准平面镜11装入***，如图2，且保证校准平面镜11与入射光束垂直，测量此时***的波像差W1；
其中，将校准平面镜11装入***，还包括***光路校正步骤，，保证激光器1、准直扩束***2、第一分光镜5、第二分光镜6、显微物镜13、校准平面镜11、聚光镜8、光阑9、光电倍增管10及哈特曼传感器共光轴。校正***光路时，共光轴核心保证点包括四点，1、保证激光器1发出的光经准直扩束***2准直和扩束、中性滤光片3虑光、旋转毛玻璃4去相干后的平行光束相对于显微物镜13齐焦面垂直入射；2、保证校准平面镜11与显微物镜13齐焦面平行；3、保证盖玻片12与显微物镜13齐焦面平行；4、保证光阑9处于聚光镜8的后焦面中心。
2)然后取走校准平面镜11，将盖玻片12和待测的显微物镜13装至***中，如图1，***中其他组件相对***光路校正后保持不变，且保证盖玻片12与显微物镜13齐焦面平行，并在物镜与盖玻片12中间浸油(不需要油的物镜则不添加)；
3)粗调焦：调节盖玻片12与物镜之间的距离，通过哈特曼传感器接受的光束直径大小的变化判断焦点位置；
4)精密调焦：粗调焦确定焦平面大概位置后，利用光电倍增管10接受的能量变化进行精密调焦，再调节盖玻片12与物镜之间的距离，能量最大的位置为焦点位置；
5)利用哈特曼传感器测量此时***的波像差W2，W2减去W1再除以2即为显微物镜13的波像差。
尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节。

Claims (6)

1.一种大数值孔径显微物镜波像差测量***，其特征在于，包括激光器、准直扩束***、中性滤光片、旋转毛玻璃、第一分光镜、第二分光镜、波前传感器、聚光镜、光阑、光电倍增管、校准平面镜及下表面镀有全反射膜的盖玻片；
其中，该***对显微物镜进行测量前，先不装显微物镜和所述盖玻片，将所述校准平面镜装入***；所述激光器发出的激光依次经该准直扩束***、中性滤光片、旋转毛玻璃后由该第一分光镜反射至该校准平面镜；所述校准平面镜的反射光再透射所述第一分光镜，透射所述第一分光镜的光中，一部分透射所述第二分光镜后到达所述波前传感器，另一部分经所述第二分光镜反射后再依次经所述聚光镜、光阑后到达所述光电倍增管；
其中，该***对显微物镜进行测量时，取下所述校准平面镜，将待测的显微物镜和盖玻片装入***；所述激光器发出的激光依次经该准直扩束***、中性滤光片、旋转毛玻璃后由该第一分光镜反射，经过所述显微物镜后到达所述盖玻片的下表面；所述盖玻片的反射光经所述显微物镜后再透射所述第一分光镜，透射所述第一分光镜的光中，一部分透射所述第二分光镜后到达所述波前传感器，另一部分经所述第二分光镜反射后再依次经所述聚光镜、光阑后到达所述光电倍增管。
2.根据权利要求1所述的大数值孔径显微物镜波像差测量***，其特征在于，其中，所述波前传感器采用哈特曼传感器。
3.一种大数值孔径显微物镜波像差测量方法，其特征在于，其采用如权利要求1-2中任意一项所述的大数值孔径显微物镜波像差测试***进行显微物镜的波像差测量。
4.根据权利要求3所述的大数值孔径显微物镜波像差测量方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
1)测量前，先不装显微物镜和所述盖玻片，将校准平面镜装入***，且保证校准平面镜与入射光束垂直，测量此时***的波像差W1；
2)取走校准平面镜，将盖玻片和待测的显微物镜装至***中，***中其他组件保持不变，且保证盖玻片与显微物镜齐焦面平行；
3)粗调焦：调节盖玻片与物镜之间的距离，通过波前传感器接受的光束直径大小的变化判断焦点位置；
4)精密调焦：粗调焦确定焦平面大概位置后，利用光电倍增管接受的能量变化进行精密调焦，再调节盖玻片与物镜之间的距离，能量最大的位置为焦点位置；
5)利用波前传感器测量此时***的波像差W2，W2减去W1再除以2即为显微物镜的波像差。
5.根据权利要求4所述的大数值孔径显微物镜波像差测量方法，其特征在于，步骤1)中，将校准平面镜装入***，还包括步骤1-2)：校正***光路，保证激光器、准直扩束***、第一分光镜、第二分光镜、显微物镜、校准平面镜、聚光镜、光阑、光电倍增管及波前传感器共光轴。
6.根据权利要求5所述的大数值孔径显微物镜波像差测量方法，其特征在于，所述步骤1-2)中，校正***光路时保证激光器发出的光经准直扩束***准直和扩束、中性滤光片滤光、旋转毛玻璃去相干后的平行光束相对于显微物镜齐焦面垂直入射，且保证校准平面镜与显微物镜齐焦面平行；且保证盖玻片与显微物镜齐焦面平行；且保证光阑处于聚光镜的后焦面中心。
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