CN109470357B - 检查*** - Google Patents
检查*** Download PDFInfo
- Publication number
- CN109470357B CN109470357B CN201811045315.2A CN201811045315A CN109470357B CN 109470357 B CN109470357 B CN 109470357B CN 201811045315 A CN201811045315 A CN 201811045315A CN 109470357 B CN109470357 B CN 109470357B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- detector
- light
- inspection
- reflection
- transport vehicle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 181
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 51
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 16
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 168
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000001141 propulsive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/497—Means for monitoring or calibrating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
- G01S17/93—Lidar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Iron Core Of Rotating Electric Machines (AREA)
- Eye Examination Apparatus (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
本发明提供一种能够使在预先设定的输送路径上行驶的输送车具备的检测器的检查的工作量简略化的检查***。检查***（1）以在预先设定的输送路径（R）上行驶的输送车（2）具备的检测器（3）为检查对象，具备检查检测器（3）的检测状态的检查装置（5）。检查装置（5）被配置在以下这样的位置：其是不与输送车（2）的行驶轨跡重叠的位置，并且在输送车（2）处于设定在输送路径（R）上的检查地点（IP）的状态下为检测器（3）的检测范围（IE）内。
Description
技术领域
本发明涉及以输送车具备的检测器为检查对象的检查***。
背景技术
例如，在下述的专利文献1（日本特开平10－325866号公报）中，公开了一种用来检查装备在无人的输送车（1）上的作为检测器的障碍物传感器（6）的技术。在专利文献1的技术中，通过使障碍物传感器（6）检测在三维方向上移动的模拟障碍物（110），来检查障碍物传感器（6）的检测范围。
专利文献1：日本特开平10－325866号公报。
但是，在专利文献1的技术中，在由作业者使具备作为检查对象的障碍物传感器（6）的输送车（1）移动到与输送路径不同的地点（120）后，进行该障碍物传感器（6）的检查，所述输送路径供输送车（1）为了输送物品而行驶。因此，在进行障碍物传感器（6）的检查时，发生由作业者进行的输送车（1）的移动的工作量，对于检查的工作量的简略化，还有改善的余地。
发明内容
所以，希望实现一种能够使在预先设定的输送路径上行驶的输送车具备的检测器的检查的工作量简略化的检查***。
有关本公开的检查***，是以在预先设定的输送路径上行驶的输送车具备的检测器为检查对象的检查***，具备检查前述检测器的检测状态的检查装置；前述检查装置被配置在以下这样的位置：其是不与前述输送车的行驶轨跡重叠的位置，并且在前述输送车处于设定在前述输送路径上的检查地点处的状态下为前述检测器的检测范围内。
根据本方案，用来检查输送车具备的检测器的检查装置被配置于在输送车处于设定在输送路径上的检查地点的状态下为该检测器的检测范围内的位置，所以能够在输送车处于输送路径上的状态下进行检测器的检查。进而，这样的检查装置被配置在不与输送车的行驶轨跡重叠的位置，所以在输送路径中行驶的输送车也不会与检查装置接触。因此，能够在使输送车沿输送路径行驶的同时，在任意的时间点进行检测器的检查。因而，能够使在输送路径上行驶的输送车具备的检测器的检查的工作量简略化。
有关本公开的技术的更多的特征和优点，根据参照附图描述的以下的例示性且非限定性的实施方式的说明，会变得更明确。
附图说明
图1是表示具备检查***的物品输送设备的布局的一例的俯视图。
图2是输送车的侧视图。
图3是输送车的主视图。
图4是表示由检查装置检查检测器的状态的说明图。
图5是检查装置的主视图。
图6是表示检查***的控制结构的块图。
图7是表示有关其他实施方式的检查***的控制结构的块图。
具体实施方式
检查***以在预先设定的输送路径上行驶的输送车具备的检测器为检查对象。这样的检测器例如为了输送车在输送路径上安全地行驶而使用。检查***能够用在借助输送车输送物品的物品输送设备中。以下，以将检查***应用到物品输送设备中的情况为例，对该检查***的实施方式进行说明。
1.第一实施方式
1－1.物品输送设备的结构
如图1所示，物品输送设备100具备沿着输送路径R行驶的多个输送车2。在本实施方式中，输送路径R被沿着支承在顶棚上的行驶轨道98（参照图2等）设定。并且，输送车2被构成为在这样的行驶轨道98上行驶的顶棚输送车，在物品输送设备100中，在工序之间输送材料及中间物。
另外，在以下的说明中，关于沿着输送路径R行驶的输送车2，将沿着其行进方向延伸的方向定义为“前后方向X”，并且以输送车2行进的朝向为基准来定义“前”及“后”。即，沿着行进方向前进的目标是“前”，其相反是“后”。此外，在水平面内，将与输送车2的行进方向正交的方向定义为“宽度方向Y”，将与行进方向及宽度方向Y的两者正交的方向定义为“上下方向Z”。另外，在本说明书中，与对于各部件的尺寸、配置方向、配置位置等有关的用语，作为也包含具有由误差（在制造上能够容许的程度的误差）带来的差异的状态的概念使用。
如图1～图3所示，物品输送设备100具备沿着输送路径R配设的行驶轨道98、和沿着行驶轨道98（输送路径R）行驶并输送物品W的输送车2。行驶轨道98设置有左右一对，被从顶棚悬挂支承。
如图1所示，输送路径R包括形成为直线状的直线区间RS和形成为弯曲状的曲线区间RC而构成。例如，物品输送设备100具有多个月台（ベイ）（工序），输送路径R包括针对每个月台设置的月台内路径、和将多个月台内路径彼此连接的月台间路径而构成。并且，月台间路径及月台内路径分别将多个直线区间RS与多个曲线区间RC组合而构成。
物品输送设备100具备处理装置96和载置台95。处理装置96可以是例如进行半导体基板的加工等的半导体处理装置等。载置台95被设置在与多个处理装置96分别邻接、并且与行驶轨道98在俯视中重复的位置。
物品输送设备100被设置在建筑物内。建筑物其四周被区划壁93包围（在图1中仅显示了一部分的区划壁93）。另外，在物品输送设备100中，也可以设置用来将设备内划区为多个区域的间隔壁、或用来将工序之间的半成品临时保管的自动仓库等。
输送车2在不同的载置台95彼此之间、或在设置有自动仓库的情况下在该自动仓库与载置台95之间输送物品W。在如前述那样物品输送设备100是半导体制造设备的情况下（处理装置96是半导体处理装置的情况下），物品W可以是例如收容半导体基板的容器（前开式晶圆传送盒；FOUP）等。
如图2及图3所示，输送车2具备行驶部21和输送主体部22。行驶部21具有车体主体21A、和旋转自如地支承在该车体主体21A上的多个车轮21B。车体主体21A设置有前后一对。车轮21B在前后一对的车体主体21A的各自上设置有左右一对，在行驶轨道98的上表面上转动。多个车轮21B（在本例中是4个）中的至少1个是被驱动马达21C旋转驱动的驱动轮，对输送车2赋予推进力。
行驶部21具有下部导引辊21D和上部导引辊21E。下部导引辊21D在比车体主体21A靠下方的位置，相对于该车体主体21A绕上下轴旋转自如地被支承。下部导引辊21D接触在行驶轨道98的侧面上而转动。上部导引辊21E在比车体主体21A靠上方的位置，相对于设置在该车体主体21A上的切换机构绕上下轴旋转自如地被支承。切换机构将上部导引辊21E的位置向左右（宽度方向Y）切换自如地构成。上部导引辊21E在输送路径R的分支点，对应于切换机构的状态，接触在导引轨道97的左右某个侧面上而转动。
在前后一对车体主体21A的各自上连结着连结轴21F，经由这些连结轴21F在行驶部21上悬挂支承着输送主体部22。输送主体部22具备壳体23和保持部24。在图2所示的例子中，在壳体23的内侧收容着保持部24。
壳体23具有相对于保持部24将行进方向的前方侧覆盖的前方壳体部23A、相对于保持部24将行进方向的后方侧覆盖的后方壳体部23B、和将保持部24的上方覆盖并将前方壳体部23A及后方壳体部23B连结的上方壳体部23C。前方壳体部23A从上方壳体部23C的前方侧的端部朝向下方延伸，后方壳体部23B从上方壳体部23C的后方侧的端部朝向下方延伸。壳体23向下方及左右两侧方开口，在宽度方向Y上观察形成为有棱角的U字状。
保持部24通过把持物品W来保持该物品W。保持部24在保持着物品W的状态下自如升降该物品W而构成。保持部24在上升位置被收容在壳体23的内侧，在此状态下，输送车2沿着输送路径R行驶。在输送车2处于移载部位（例如载置台95的上方位置或自动仓库的交接部的上方位置）的状态下，保持部24下降到下降位置，进行物品W的装卸。
如前述那样，输送车2具备检测器3。对于检测器3设定有检测范围IE。检测器3能够检测检测范围IE内的物体而构成。在本实施方式中，检测器3被设置在输送车2的前方部分上。在图示的例子中，检测器3被设置在壳体23的前方壳体部23A上。前述的检测范围IE被设定为朝向输送车2的前方预先设定的距离（例如，几米～几十米）的范围。
例如，检测器3构成为光学式的传感器。在本实施方式中，检测器3具有将光投光的投光部3A和将光受光的受光部3B。但是，并不限于这样的结构，检测器3只要能够检测检测范围IE中的物体就可以，例如也可以是超声波传感器等。
在本实施方式中，输送车2除了第1检测器31以外，还具备检测与第1检测器31不同的检测对象的第2检测器32作为检测器3。在图示的例子中，第1检测器31及第2检测器32两者被设置在壳体23的前方壳体部23A上。
在本例中，第1检测器31是用来检测具备该第1检测器31的输送车2的前方的其他输送车2的前方车传感器。并且，第1检测器31具有将光投光的第1投光部31A和将光受光的第1受光部31B。在图示的例子中，第1检测器31在前方壳体部23A的上部设置有1个。此外，如图3所示，第1检测器31设置在输送车2的宽度方向Y上的中央部分的1个部位处。并且，第1检测器31构成为，由第1投光部31A将光向前方投光。在本实施方式中，作为第1检测器31的照射范围E的第1照射范围31E为沿着宽度方向Y的直线状或带状的范围（参照图5）。第1检测器31借助第1投光部31A朝向设置在前方的输送车2的后方壳体部23B上的反射板4将光投光，借助第1受光部31B将来自反射板4的反射光受光。由此，第1检测器31检测前方的输送车2。
此外，在本例中，第2检测器32是用来检测输送车2的行驶轨跡上的障碍物的障碍物传感器。并且，第2检测器32具有将光投光的第2投光部32A和将光受光的第2受光部32B。第2检测器32构成为，由第2投光部32A将光向前方投光。在图示的例子中，第2检测器32被设置在比前方壳体部23A的设置有第1检测器31的位置靠下方的位置。此外，如图3所示，第2检测器32具有设置在输送车2的宽度方向Y上的两侧部分的2个部位处的横侧检测部32S、和设置在比其靠下方且在宽度方向Y上的中央部分的1个部位处的下侧检测部32L。在本实施方式中，作为第2检测器32的照射范围E的第2照射范围32E被设定为多个（在本例中是3个部位）范围。更详细地讲，多个第2照射范围32E中的2个是从2个横侧检测部32S投光的光的照射范围E，为沿着上下方向Z延伸的椭圆状（或带状）的范围（参照图5）。并且，多个第2照射范围32E中的1个是从下侧检测部32L投光的光的照射范围E，为沿着宽度方向Y延伸的椭圆状（或带状）的范围（参照图5）。
这样，在物品输送设备100中，借助输送车2具备的第1检测器31，能够检测前方的其他的输送车2。并且，在与前方的其他的输送车2的车间距离变得过近的情况下，能够将输送车2的行驶速度放慢等而避免向前方的其他的输送车2的追尾。此外，在物品输送设备100中，借助输送车2具备的第2检测器32，能够检测输送车2的行驶轨跡上的障碍物。并且，在检测到障碍物的情况下，能够使输送车2停止等而避免该输送车2与障碍物的接触。
1－2.检查***的结构
这里，在检测器3的检测状态是异常的情况下，有不能良好地检测检测对象的情况。例如，在构成为前方车传感器的第1检测器31的检测状态是异常而不能检测到前方的输送车2的情况下，具备这样的第1检测器31的输送车2有可能对前方的输送车2追尾。此外，在构成为障碍物传感器的第2检测器32的检测状态是异常、即使在输送车2的行驶轨跡上有障碍物也不能检测到该障碍物的情况下，具备这样的第2检测器32的输送车2有可能与障碍物接触。
所以，如图1所示，检查***1具备检查检测器3的检测状态的检查装置5。检查***1通过使用检查装置5，判定检测器3的检测状态是正常还是异常。在判定为检测器3的检测状态是异常的情况下，将该检测器3确定为维护的对象，进行必要的维护。
检查装置5被配置在不与输送车2的行驶轨跡重叠的位置、并且在输送车2处于设定在输送路径R上的检查地点IP的状态下为检测器3的检测范围IE内的位置。输送车2的行驶轨跡遍及输送路径R的整体，是在输送路径R上行驶的输送车2经过的区域。
在本实施方式中，检查装置5被配置于在输送车2处于特定的检查地点IP的状态下向该输送车2的前方延伸的延长线上。如图1所示，在本例中，检查装置5被配置在包含处于曲线区间RC的跟前（行进方向后侧）的直线区间RS的延长线与区划壁93的交点的位置。这样，检查装置5通过被安装到设置在不与输送车2的行驶轨跡重叠的位置处的区划壁93上，被配置在不与输送车2的行驶轨跡重叠的位置。
在本实施方式中，在将输送车2的行进方向设为“前”的情况下，检查地点IP被设定在输送路径R中的曲线区间RC的后侧。即，在沿输送路径R行驶的输送车2经过了检查地点IP的情况下，该输送车2然后经过曲线区间RC。根据以上，在检测范围IE被朝向输送车2的前方设定的结构中，能够将检查装置5配置到以下这样的位置：其是不与输送车2的行驶轨跡重叠的位置，并且在输送车2处于设定在输送路径R上的检查地点IP的状态下，为检测器3的检测范围IE内。
如图4及图5所示，检查装置5具备检查面5F。在本实施方式中，检查装置5具有将从投光部3A投光的光反射的反射部5R和不将光反射的非反射部5N。这里，反射部5R及非反射部5N两者被形成在检查面5F上。
在本实施方式中，检查***1在输送车2处于检查地点IP的状态下，根据受光部3B是否受光到由反射部5R反射的光，判定检测器3的检测状态是正常还是异常。由此，能够在具备作为检查对象的检测器3的输送车2的一侧，判定该检测器3的检测状态。
如图5所示，在本实施方式中，反射部5R具有将来自第1检测器31的第1投光部31A的光反射的第1反射区域51R、和将来自第2检测器32的第2投光部32A的光反射的第2反射区域52R。这样，检查装置5具备形成有非反射部5N和第1反射区域51R及第2反射区域52R的检查面5F。
如图5所示，第1反射区域51R和第2反射区域52R被配置在检查面5F上的相互不同的位置。在本实施方式中，第2反射区域52R被配置在检查面5F中的外缘部53上。在图示的例子中，外缘部53被形成在检查面5F中的、除了上缘部的一部分（中央部分）以外的外缘上，沿着宽度方向Y的两缘部和下缘部连续地形成。此外，在输送车2处于检查地点IP的状态下沿着前后方向X重叠观察输送车2和检查装置5的情况下，外缘部53被配置在不与输送车2（输送主体部22）重复的位置。此外，在本例中，第2反射区域52R被配置在从第1照射范围31E偏离的位置，所述第1照射范围31E是由第1检测器31的第1投光部31A投光的光的照射范围E。由此，能够降低由第1投光部31A投光的光被第2反射区域52R反射的可能性。
在本实施方式中，非反射部5N被配置在比第2反射区域52R更靠检查面5F的中央侧的位置。换言之，第2反射区域52R以从宽度方向Y的两侧及下侧将非反射部5N包围的方式形成。此外，在输送车2处于检查地点IP的状态下沿着前后方向X重叠观察输送车2和检查装置5的情况下，非反射部5N被配置为，其外形与输送主体部22的外形重复。
在本实施方式中，第1反射区域51R被配置在非反射部5N之中。在图示的例子中，第1反射区域51R被配置在检查面5F的上部的宽度方向Y的中央侧。此外，在输送车2处于检查地点IP的状态下沿着前后方向X重叠观察输送车2和检查装置5的情况下，第1反射区域51R被配置为与第1检测器31为相同的高度。此外，在本例中，第1反射区域51R被配置在从第2照射范围32E偏离的位置，所述第2照射范围32E是由第2检测器32的第2投光部32A投光的光的照射范围E。由此，能够降低由第2投光部32A投光的光被第1反射区域51R反射的可能性。
在本实施方式中，在输送车2处于检查地点IP的状态下，在第1检测器31的第1受光部31B受光到由第1反射区域51R反射的光的情况下，检查***1判定为第1检测器31的检测状态是正常。换言之，在第1受光部31B受光到由第1反射区域51R反射的光的情况下，检查***1判定为第1照射范围31E是正常。即，在本例中，如图5所示，在第1照射范围31E与第1反射区域51R重复的情况下，判定为“第1照射范围31E是正常”。另外，在第1照射范围31E不与第1反射区域51R重复的情况下，判定为第1照射范围31E是异常，即第1检测器31的检测状态是异常。
此外，在本实施方式中，在输送车2处于检查地点IP的状态下，在第2检测器32的第2受光部32B没有受光到光的情况下，检查***1判定为第2检测器32的检测状态是正常。换言之，在第2受光部32B没有受光到光的情况下，检查***1判定为第2照射范围32E是正常。即，在本例中，如图5所示，在第2照射范围32E的整体与非反射部5N重复的情况下，判定为“第2照射范围32E是正常”。另外，在第2照射范围32E的至少一部分与第2反射区域52R重复的情况下，判定为第2照射范围32E是异常，即第2检测器32的检测状态是异常。
1－3.检查***的控制结构
如图6所示，检查***1具备管理***整体的综合控制装置Ht、和控制输送车2的独立控制装置Hm。综合控制装置Ht及独立控制装置Hm能够相互通信而构成。这些控制装置例如具备微型计算机等处理器、存储器等周边电路等。并且，借助这些硬件与在计算机等处理器上执行的程序的协同动作，实现各功能。
在本实施方式中，独立控制装置Hm被装备在多个输送车2的各自中，并且进行该多个输送车2的各自的控制。例如，独立控制装置Hm控制输送车2的行驶、停止及物品W的移载等。
在本实施方式中，综合控制装置Ht进行包括多个输送车2的物品输送设备100的整体的控制。并且，综合控制装置Ht对于独立控制装置Hm（输送车2）进行输送指令等各种指令。在本例中，综合控制装置Ht对于独立控制装置Hm（输送车2），进行用来使检测器3检查的检查指令。在来自综合控制装置Ht的检查指令中，包括使输送车2行驶到检查地点IP的指令、和在检查地点IP使输送车2进行用于检查的动作的指令。从综合控制装置Ht接受到检查指令的独立控制装置Hm使本车（输送车2）行驶到检查地点IP。并且，在本例中，独立控制装置Hm在检查地点IP使本车（输送车2）停止的状态下，进行检测器3的检查。但是，并不限于这样的结构，检查***1也可以在输送车2在检查地点IP的前后行驶的状态（优选的是低速行驶的状态）下进行检测器3的检查。用于检查地点IP处的检查的动作具体而言如以下这样进行。即，首先，从投光部3A朝向检查装置5将光投光。然后，判定是否由受光部3B受光到由检查装置5反射的反射光。然后，根据该判定结果判定检测器3是否是正常。这样，在输送车2处于检查地点IP的状态下进行检测器3的检查。另外，来自投光部3A的光的投光既可以在输送车2的行驶中总是进行，也可以在输送车2停止在检查地点IP后开始投光。
在本实施方式中，检查***1还具备将检测器3的检查结果存储的存储装置M。存储装置M能够与综合控制装置Ht通信而构成。在输送车2处于检查地点IP的状态下检测器3的检查结束的情况下，从独立控制装置Hm向综合控制装置Ht发送检查结果。在本实施方式中，独立控制装置Hm将用来从多个输送车2中识别本车的识别信息与检测器3的检查结果一起向综合控制装置Ht发送。综合控制装置Ht将从独立控制装置Hm发送来的检查结果及识别信息向存储装置M发送。然后，存储装置M将从综合控制装置Ht发送来的检查结果及识别信息存储。由此，存储装置M将检查结果与对应于发送了该检查结果的独立控制装置Hm的输送车2的识别信息一起存储。
这样，在本实施方式中，构成为，能够在输送车2的一侧（独立控制装置Hm侧）取得检测器3的检查结果。并且，通过将输送车2的识别信息与检查结果一起发送，能够在将该检查结果与对应于进行了检查的检测器3的输送车2建立了关联的状态下进行各装置之间（在本例中是控制装置Ht、Hm及存储装置M）的信息的交换。另外，并不限定于上述那样的结构，独立控制装置Hm（输送车2）也可以能够在与存储装置M之间通信而构成。在此情况下，独立控制装置Hm（输送车2）也可以将检测器3的检查结果对于存储装置M直接发送。此外，除此以外，综合控制装置Ht也可以具有将从独立控制装置Hm发送来的检查结果存储的存储功能。在此情况下，也可以不具备存储装置M。
在检查地点IP进行检测器3的检查的结果判定为检测器3是正常的情况下，独立控制装置Hm（输送车2）适当地再开始与来自综合控制装置Ht的输送指令等对应的通常的运行。另一方面，在判定为检测器3是异常的情况下，综合控制装置Ht例如适当地使该输送车2朝向用于不进行物品W的输送等的输送车2的退避地点移动。但是，并不限于这样的结构，独立控制装置Hm（输送车2）也可以是，即使在判定为检测器3是异常的情况下，也在例如到输送中的物品的输送结束之前的期间中等，限定地再开始通常的运行。
2.其他实施方式
接着，对检查***的其他实施方式进行说明。
（1）在上述实施方式中，对检查装置5被配置在区划壁93上的例子进行了说明。但是，并不限定于这样的例子，检查装置5只要配置在不与输送车2的行驶轨跡重叠的位置就可以。例如，在物品输送设备100中设置有自动仓库及间隔壁的情况下，检查装置5也可以配置在自动仓库的外壁部或间隔壁上。
（2）在上述实施方式中，对第1检测器31是前方车传感器、第2检测器32是障碍物传感器的例子进行了说明。但是，并不限定于这样的例子，只要第1检测器31及第2检测器32的一方是用来检测前方的输送车2的前方车传感器、另一方是用来检测行驶轨跡上的障碍物的障碍物传感器就可以。即，也可以第1检测器31是障碍物传感器，第2检测器32是前方车传感器。
（3）在上述实施方式中，对于第1检测器31以在具备该第1检测器31的输送车2的前方行驶的其他的输送车2为检测对象、第2检测器32以输送车2的行驶轨跡上的障碍物为检测对象的例子进行了说明。但是，并不限定于这样的例子，第1检测器31及第2检测器32的检测对象可以匹配于设备的特性等而适当设定。
（4）在上述实施方式中，对输送车2构成为顶棚输送车的例子进行了说明。但是，并不限定于这样的例子，输送车2例如也可以是在地面上行驶的无人输送车。在此情况下，输送路径R既可以沿着地面上的行驶轨道设定，也可以不借助行驶轨道而例如使用磁力等仅设定在地面上。
（5）在上述实施方式中，对根据是否由受光部3B受光到由检查装置5反射的反射光、在输送车2中具备的独立控制装置Hm侧取得检测器3的检查结果的例子进行了说明。但是，并不限定于这样的例子，如图7所示，也可以是，检查装置5受光从输送车2的投光部3A投光的光，由此该检查装置5取得检测器3的检查结果。在此情况下，可以是，检查装置5和综合控制装置Ht能够通信地构成，构成为，从检查装置5向综合控制装置Ht发送检查结果。在此情况下，检查装置5例如适当地在与上述实施方式的第1反射区域51R对应的位置处具有用来将从第1检测器31的第1投光部31A投光的光受光的受光部，在与非反射部5N（或第2照射范围32E）对应的位置具有用来将从第2检测器32的第2投光部32A投光的光受光的受光部。此外，可以是，具有用来判定是否由这些受光部受光到来自第1投光部31A或第2投光部32A的光（检测器3是否正常）的判定部。在该结构中，在由各受光部受光到光的情况下，判定为各检测器3是正常，将其检查结果向综合控制装置Ht发送。此外，并不限于这样的结构，例如，用来将从第2检测器32的第2投光部32A投光的光受光的受光部也可以设置在与上述实施方式的第2反射区域52R对应的位置。在此情况下，判定部在由该受光部受光到从第2投光部32A投光的光的情况下，判定为第2检测器32是异常。
（6）另外，在上述各实施方式中公开的结构只要不发生矛盾，也可以与在其他实施方式中公开的结构组合而应用。关于其他的结构，在本说明书中公开的实施方式在全部的方面也都不过是单纯的例示。因而，在不脱离本公开的主旨的范围内能够适当进行各种各样的改变。
3.上述实施方式的概要
以下，对在上述中说明的检查***的概要进行说明。
一种以在预先设定的输送路径上行驶的输送车具备的检测器为检查对象的检查***，具备检查前述检测器的检测状态的检查装置；前述检查装置被配置在以下这样的位置：其是不与前述输送车的行驶轨跡重叠的位置，并且在前述输送车处于设定在前述输送路径上的检查地点处的状态下为前述检测器的检测范围内。
根据本方案，用来检查输送车具备的检测器的检查装置被配置于在输送车处于设定在输送路径上的检查地点的状态下为该检测器的检测范围内的位置，所以能够在输送车处于输送路径上的状态下进行检测器的检查。进而，这样的检查装置被配置在不与输送车的行驶轨跡重叠的位置，所以在输送路径中行驶的输送车也不会与检查装置接触。因此，能够在使输送车沿输送路径行驶的同时，在任意的时间点进行检测器的检查。因而，能够使在输送路径上行驶的输送车具备的检测器的检查的工作量简略化。
这里，优选的是，前述检测器具有将光投光的投光部和将光受光的受光部；前述检查装置具有将从前述投光部投光的光反射的反射部和不将光反射的非反射部；在前述检查地点，根据前述受光部是否受光到由前述反射部反射的光，判定前述检测状态是正常还是异常。
根据本方案，能够在具备检测器的输送车的一侧判定该检测器的检测状态是正常还是异常。因此，能够在检查***中容易地进行检测器的检查结果的信息与确定有关该检查结果的输送车的信息的关联建立。因而，容易实现检查***的简略化。
此外，优选的是，前述输送车除了作为前述检测器的第1检测器以外，还具备检测与前述第1检测器不同的检测对象的第2检测器；前述第2检测器具有将光投光的第2投光部和将光受光的第2受光部；前述反射部具有将来自作为前述第1检测器的前述投光部的第1投光部的光反射的第1反射区域、和将来自前述第2检测器的前述第2投光部的光反射的第2反射区域；在前述检查地点，在作为前述第1检测器的前述受光部的第1受光部将由前述第1反射区域反射的光受光的情况下，判定为前述第1检测器的前述检测状态是正常；在前述检查地点，在前述第2检测器的前述第2受光部没有受光到光的情况下，判定为前述第2检测器的前述检测状态是正常。
根据本方案，能够在一个检查地点使用一个检查装置，进行检测相互不同的检测对象的第1检测器和第2检测器的检查。此外，由于是以下这样的结构，所以能够降低发生因来自正确的反射区域的反射光以外的反射光带来的误判定的可能性：所述结构为，此时，关于第1检测器，在第1受光部受光到反射光的情况下判定为正常，关于第2检测器，在第2受光部没有受光到反射光的情况下判定为正常。
此外，优选的是，前述第1检测器及前述第2检测器的一方是用来检测前方的前述输送车的前方车传感器，另一方是用来检测前述行驶轨跡上的障碍物的障碍物传感器。
根据本方案，在1台输送车具备前方车传感器和障碍物传感器的情况下，能够简单且适当地检查这两者的传感器。
此外，优选的是，前述检查装置具备形成有前述非反射部和前述第1反射区域及前述第2反射区域的检查面；前述第2反射区域被配置在前述检查面中的外缘部上；前述非反射部被配置在比前述第2反射区域更靠前述检查面的中央侧的位置；前述第1反射区域被配置在前述非反射部之中。
根据本方案，能够在相互离开的位置配置将来自第1投光部的光反射的第1反射区域和将来自第2投光部的光反射的第2反射区域，并且在其之间配置非反射部。因此，例如能够降低发生因来自第1投光部的光被第2反射区域反射、或来自第2投光部的光被第1反射区域反射造成的误判定的可能性。
此外，优选的是，前述第1反射区域被配置在从由前述第2检测器的前述第2投光部投光的光的照射范围偏离的位置；前述第2反射区域被配置在从由前述第1检测器的前述第1投光部投光的光的照射范围偏离的位置。
根据本方案，能够抑制来自第2投光部的光被第1反射区域反射，并且能够抑制来自第1投光部的光被第2反射区域反射。由此，能够进一步降低发生因来自第1投光部的光被第2反射区域反射、或来自第2投光部的光被第1反射区域反射造成的误判定的可能性。
产业上的可利用性
有关本公开的技术能够在以输送车具备的检测器为检查对象的检查***中使用。
附图标记说明
1：检查***
2：输送车
3：检测器
3A：投光部
3B：受光部
5：检查装置
5F：检查面
5N：非反射部
5R：反射部
31：第1检测器
31A：第1投光部
31B：第1受光部
31E：第1照射范围
32：第2检测器
32A：第2投光部
32B：第2受光部
32E：第2照射范围
51R：第1反射区域
52R：第2反射区域
53：外缘部
E：照射范围
IE：检测范围
IP：检查地点
R：输送路径。
Claims (4)
1.一种检查***，以在预先设定的输送路径上行驶的输送车具备的检测器为检查对象，具备检查前述检测器的检测状态的检查装置，其特征在于，
前述检查装置被配置在以下这样的位置：其是不与前述输送车的行驶轨跡重叠的位置，并且在前述输送车处于设定在前述输送路径上的检查地点处的状态下为前述检测器的检测范围内，
前述检测器具有将光投光的投光部和将光受光的受光部；
前述检查装置具有将从前述投光部投光的光反射的反射部和不将光反射的非反射部；
在前述检查地点，根据前述受光部是否受光到由前述反射部反射的光，判定前述检测状态是正常还是异常，
前述输送车除了作为前述检测器的第1检测器以外，还具备检测与前述第1检测器不同的检测对象的第2检测器；
前述第2检测器具有将光投光的第2投光部和将光受光的第2受光部；
前述反射部具有将来自作为前述第1检测器的前述投光部的第1投光部的光反射的第1反射区域、和将来自前述第2检测器的前述第2投光部的光反射的第2反射区域；
在前述检查地点，在作为前述第1检测器的前述受光部的第1受光部将由前述第1反射区域反射的光受光的情况下，判定为前述第1检测器的前述检测状态是正常；
在前述检查地点，在前述第2检测器的前述第2受光部在前述第2投光部的投光时没有受光到光的情况下，判定为前述第2检测器的前述检测状态是正常。
2.如权利要求1所述的检查***，其特征在于，
前述第1检测器及前述第2检测器的一方是用来检测前方的前述输送车的前方车传感器，另一方是用来检测前述行驶轨跡上的障碍物的障碍物传感器。
3.如权利要求1或2所述的检查***，其特征在于，
前述检查装置具备形成有前述非反射部和前述第1反射区域及前述第2反射区域的检查面；
前述第2反射区域被配置在前述检查面中的外缘部上；
前述非反射部被配置在比前述第2反射区域更靠前述检查面的中央侧的位置；
前述第1反射区域被配置在前述非反射部之中。
4.如权利要求3所述的检查***，其特征在于，
前述第1反射区域被配置在从由前述第2检测器的前述第2投光部投光的光的照射范围偏离的位置；
前述第2反射区域被配置在从由前述第1检测器的前述第1投光部投光的光的照射范围偏离的位置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017173150A JP7006050B2 (ja) | 2017-09-08 | 2017-09-08 | 検査システム |
| JP2017-173150 | 2017-09-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109470357A CN109470357A (zh) | 2019-03-15 |
| CN109470357B true CN109470357B (zh) | 2022-06-21 |
Family
ID=65663054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811045315.2A Active CN109470357B (zh) | 2017-09-08 | 2018-09-07 | 检查*** |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7006050B2 (zh) |
| KR (1) | KR102535709B1 (zh) |
| CN (1) | CN109470357B (zh) |
| TW (1) | TWI786169B (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7040637B2 (ja) * | 2018-10-29 | 2022-03-23 | 村田機械株式会社 | 天井走行車、天井走行車システム、及び障害物の検出方法 |
| CN113734974B (zh) * | 2020-05-29 | 2022-11-11 | 长鑫存储技术有限公司 | 顶置缓冲器二重搬入检测***及方法 |
| CN117157221A (zh) * | 2021-06-16 | 2023-12-01 | 村田机械株式会社 | 有轨台车*** |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030007143A1 (en) * | 1999-02-10 | 2003-01-09 | Litel Instruments | In-situ source metrology instrument and method of use |
| US20090059235A1 (en) * | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Dongxia Qu | Rotationally Asymmetric Chaotic Optical Multi-Pass Cavity |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51101956U (zh) * | 1975-02-14 | 1976-08-16 | ||
| JPH09269829A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Mazda Motor Corp | 車両の安全センサの動作確認装置 |
| JP3642156B2 (ja) | 1997-05-26 | 2005-04-27 | 株式会社明電舎 | 障害物センサの検出範囲の検査装置 |
| JP3511606B2 (ja) * | 2002-04-22 | 2004-03-29 | 三菱電機株式会社 | 車載レーダ装置の位置調整装置および位置調整方法 |
| JP5896432B1 (ja) * | 2014-11-14 | 2016-03-30 | ニチユ三菱フォークリフト株式会社 | 検査装置および搬送システム |
| JP2017120510A (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
-
2017
- 2017-09-08 JP JP2017173150A patent/JP7006050B2/ja active Active
-
2018
- 2018-08-17 TW TW107128781A patent/TWI786169B/zh active
- 2018-09-05 KR KR1020180105810A patent/KR102535709B1/ko active IP Right Grant
- 2018-09-07 CN CN201811045315.2A patent/CN109470357B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030007143A1 (en) * | 1999-02-10 | 2003-01-09 | Litel Instruments | In-situ source metrology instrument and method of use |
| US20090059235A1 (en) * | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Dongxia Qu | Rotationally Asymmetric Chaotic Optical Multi-Pass Cavity |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109470357A (zh) | 2019-03-15 |
| TWI786169B (zh) | 2022-12-11 |
| JP7006050B2 (ja) | 2022-01-24 |
| KR102535709B1 (ko) | 2023-05-22 |
| KR20190028318A (ko) | 2019-03-18 |
| TW201920945A (zh) | 2019-06-01 |
| JP2019049447A (ja) | 2019-03-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102238291B1 (ko) | 물품 반송차 | |
| CN109470357B (zh) | 检查*** | |
| JP3594599B2 (ja) | 自動誘導ビークルを制御する方法および装置 | |
| JP6051993B2 (ja) | 自律移動式無人搬送車、及び、自律移動式無人搬送システム | |
| KR20170077823A (ko) | 물품 반송 설비 | |
| JP6136434B2 (ja) | 自律移動式無人搬送車 | |
| KR20010067411A (ko) | 자동반송시스템 | |
| KR20150097062A (ko) | 무인운반차의 복합항법 주행시스템 | |
| JP4340976B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
| JP4471118B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
| JP7207046B2 (ja) | 自律移動装置、誘導システムおよび自律移動装置の移動方法 | |
| KR20200107788A (ko) | 검사 시스템 | |
| JP2022028342A (ja) | 無人搬送車システム | |
| JP4798429B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
| KR20210144709A (ko) | 물체 검출 시스템, 반송 대차, 및 물체 검출 장치 | |
| JP5302530B2 (ja) | 物流機械の移動量検知装置 | |
| JP7511504B2 (ja) | 移動体、移動制御システム、移動体の制御方法及びプログラム | |
| US20240199097A1 (en) | Rail-guided carrier system | |
| JP6687313B1 (ja) | 搬送システム | |
| WO2022190324A1 (ja) | 移動システム及び管理装置 | |
| JP2022124865A (ja) | 移動体、移動制御システム、移動体の制御方法及びプログラム | |
| JP2005067870A (ja) | 物品搬送車 | |
| JP2023148135A (ja) | 自律走行装置および自律走行装置の制御方法 | |
| JP2023098265A (ja) | 移動体の制御方法、移動体、移動制御システム及びプログラム | |
| JP2022165832A (ja) | 移動体システム、移動体制御方法、及びプログラム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |