CN109444717B - 新型在片s参数误差校准方法和装置 - Google Patents

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Abstract

本发明适用于太赫兹在片测量技术领域，提供了一种新型在片S参数误差校准方法和装置。该方法包括：在测试***未连接探针时，在波导端面进行二端口校准；在测试***连接所述探针时，在两个探针端面分别进行一端口校准；在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准。本发明可以实现高频在片S参数校准过程中串扰误差的准确表征与修正，提高高频在片S参数测量误差修正的准确度。

Description

新型在片S参数误差校准方法和装置
技术领域
本发明属于太赫兹在片测量技术领域，尤其涉及一种新型在片S参数误差校准方法和装置。
背景技术
随着矢量网络分析技术的发展，在片S参数误差修正模型与校准方法一直在不断的被提出并且不断改进，在同轴、波导和低频的在片S参数测量领域都得到了较为广泛的应用。但随着测量频率的升高，在片S参数测量测试过程中两个探针之间的距离也离得越来越近，电磁波不仅会在被测件中传输，还会在被测件上方的空气中和被测件下方的衬底上传输，使信号在两个探针之间发生串扰，而且频率越高，测量过程中两探针离得越近，串扰误差也越大。
目前在片S参数误差模型，在对串扰误差进行修正时仅考虑两个探针之间的距离因素，串扰误差的修正不完善，使得在片S参数校准不精确，影响在片S参数测量的准确度。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例提供了一种新型在片S参数误差校准方法和装置，以解决现有技术中在片S参数测量误差修正对串扰项进行修正时仅考虑两个探针之间的距离因素，串扰误差修正不完善，影响在片S参数误差修正的准确度的问题。
本发明实施例的第一方面提供了一种新型在片S参数误差校准方法，包括：
在测试***未连接探针时，在波导端面进行二端口校准；
在测试***连接所述探针时，在两个探针端面分别进行一端口校准；
在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准。
可选的，所述根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准之后，还包括：
建立一个12项误差模型，根据所述12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数。
可选的，所述建立一个12项误差模型，包括：
获取进行二端口校准得到的第一组误差项，获取进行一端口校准得到的第二组误差项，第一组误差项和第二组误差项组成一个8项误差模型；
获取对被测件的串扰误差进行校准得到的4项串扰误差项；
根据所述8项误差模型和4项串扰误差项建立所述12项误差模型。
可选的，所述根据所述12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数，包括：
获取进行二端口校准得到的第一S参数，所述第一S参数为所述被测件与串扰误差网络并联再与所述探针级联的S参数；
根据所述第一组误差项和所述第二组误差项得到所述探针的S参数；
获取对所述被测件的串扰误差进行校准得到的串扰误差网络的S参数；
根据所述第一S参数、所述探针的S参数和所述串扰误差网络的S参数得到被校准后的所述被测件的S参数。
可选的，所述新型在片S参数误差校准方法还包括：
在所述被测件的长度改变时，重复执行所述在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准。
本发明实施例的第二方面提供了一种新型在片S参数误差校准装置，包括：
二端口校准模块，用于在测试***未连接探针时，在波导端面进行二端口校准；
一端口校准模块，用于在测试***连接所述探针时，在两个探针端面分别进行一端口校准；
串扰校准模块，用于在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准。
可选的，所述新型在片S参数误差校准装置还包括：
参数确定模块，用于建立一个12项误差模型，根据所述12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数。
可选的，所述参数确定模块具体用于：
获取进行二端口校准得到的第一组误差项，获取进行一端口校准得到的第二组误差项，第一组误差项和第二组误差项组成一个8项误差模型；
获取对被测件的串扰误差进行校准得到的4项串扰误差项；
根据所述8项误差模型和4项串扰误差项建立所述12项误差模型。
本发明实施例的第三方面提供了一种矢量网络分析仪，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上述任一项所述新型在片S参数误差校准方法的步骤。
本发明实施例的第四方面提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一项所述新型在片S参数误差校准方法的步骤。
本发明实施例与现有技术相比存在的有益效果是：本发明的新型在片S参数误差校准方法主要进行了3次校准，主要在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准，不仅考虑了探针距离因素，还考虑了被测件的反射系数因素，实现了串扰误差的准确表征与修正，同时结合对测试***未连接探针时的波导端面进行二端口校准，和对连接探针后的探针端面进行一端口校准，提高了在片S参数测量误差修正的准确度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的新型在片S参数误差校准方法的实现流程示意图；
图2是本发明实施例提供的3种校准件的结构示意图；
图3是本发明实施例提供的利用3种校准件进行误差校准的实验结果对比图；
图4是本发明实施例提供的建立一个12项误差模型的具体实现流程示意图；
图5是本发明实施例提供的12项误差模型的示意图；
图6是本发明实施例提供的根据12项误差模型得到被校准后的被测件的S参数的具体实现流程示意图；
图7是图1中步骤S101和步骤S102的校准平面示意图；
图8是本发明实施例提供的每个校准平面对应的S参数的示意图；
图9是本发明实施例提供的被测件和串扰校准件的结构示意图；
图10是本发明实施例提供的新型在片S参数误差校准装置的结构示意图；
图11是本发明实施例提供的矢量网络分析仪的示意图。
具体实施方式
以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定***结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本发明实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本发明。在其它情况中，省略对众所周知的***、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本发明的描述。
为了说明本发明所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。
实施例一
参见图1，提供了新型在片S参数误差校准方法的一个实施例实现流程示意图，详述如下：
步骤S101，在测试***未连接探针时，在波导端面进行二端口校准。
步骤S102，在测试***连接所述探针时，在两个探针端面分别进行一端口校准。
步骤S103，在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准。
传统的误差模型校准方法，都将串扰误差看成了数值固定的矢量误差项，但实际上，串扰误差的大小不仅与两个探针之间的距离有关，而且和实际被测件的反射系数有关。为了验证串扰误差的大小还与实际被测件的反射系数有关，本实施例利用三个商业在片S参数二端口器件进行了对比试验，如图2所示，三个商业在片S参数二端口器件分别为开路-开路对(Open-open pair)、短路-短路对(Short-short pair)和负载-负载对(Load-loadpair)的二端口器件，且三个二端口器件的长度相同(即探针间距相同)，其中开路-开路对的二端口器件的反射系数约等于1，短路-短路对的二端口器件的反射系数约等于0，负载-负载对的二端口器件的反射系数约等于-1。
如图3，为三个二端口器件测量得到的S21参数的对比实验图，S21参数代表了探针间的串扰误差，从图中我们可以看出，在两探针间距一定时，被测件的反射系数也会对串扰的大小产生影响。所以本实施例在被测件的衬底上制作与被测件长度相同的串扰校准件，通过根据串扰校准件对被测件进行串扰校准，实现了串扰误差的准确表征与修正，同时结合对测试***未连接探针时的波导端面进行二端口校准，和对连接探针后的探针端面进行一端口校准，提高了在片S参数测量误差修正的准确度。
可选的，所述串扰校准件可以为开路-开路校准件。本实施例对串扰校准件的具体结构不做限定，还可以为短路-短路对和负载-负载对类型的二端口器件等。
一个实施例中，所述根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准之后，还包括：建立一个12项误差模型，根据所述12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数。
可选的，参见图4，所述建立一个12项误差模型的具体实现流程可以包括：
步骤S401，获取进行二端口校准得到的第一组误差项，获取进行一端口校准得到的第二组误差项，第一组误差项和第二组误差项组成一个8项误差模型。
步骤S402，获取对被测件的串扰误差进行校准得到的4项串扰误差项。
步骤S403，根据所述8项误差模型和4项串扰误差项建立所述12项误差模型。
具体参见图5，本实施例对被测件的串扰误差进行校准，即在8项误差项模型(经过步骤S101和步骤S102得到)的基础上增加了4项串扰误差(分别为SCT,11，SCT,12，SCT,21和SCT,22)，构成了一种新的包含串扰误差修正的在片S参数误差模型。
由于串扰发生在两个探针头之间，因此所扩展的这四个串扰误差项可以看成两探针头形成的串扰误差网络CT与被测件DUT并联的一个虚拟“二端口器件”，如图7，串扰误差网络CT与被测件DUT并联组成一个虚拟“二端口器件”。此“二端口器件”拥有自己的S参数，电磁波在虚拟的“二端口器件”中传输参数的大小与其被测件的反射系数相关。在理想情况下，则SCT,11＝SCT,22＝1，SCT,12＝SCT,21＝0，12项误差模型就变成了传统的8项误差模型。
可选的，参见图6，所述根据所述12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数的具体实现流程包括：
步骤S601，获取进行二端口校准得到的第一S参数，所述第一S参数为所述被测件与串扰误差网络并联再与所述探针级联的S参数。
步骤S602，根据所述第一组误差项和所述第二组误差项得到所述探针的S参数。
步骤S603，获取对所述被测件的串扰误差进行校准得到的串扰误差网络的S参数。
步骤S604，根据所述第一S参数、所述探针的S参数和所述串扰误差网络的S参数得到被校准后的所述被测件的S参数。
具体的，应用12项误差模型对在片S参数测量***进行校准，关键是如何将串扰误差网络CT和被测件DUT分离。本发明实施例执行三次校准过程，参见图7，在平面I和平面II处可以利用波导校准件进行全二端口SOLT校准，得到第一S参数Sm，第一S参数Sm为被测件与串扰误差网络并联再与探针级联的S参数；利用商用校准件在平面III和平面IV处分别进行一端口SOL校准，得到第一探针A的S参数SPA和第二探针B的S参数SPB，参见图8示意图。其中，第一S参数Sm与第一探针A的S参数SPA、第二探针B的S参数SPB和虚拟的“二端口器件”的S参数SCT||DUT的关系可以表示为：
Sm＝SPA～SCT||DUT～SPB
式中符号“～”表示级联关系，符号“||”表示并联关系。然后可以通过去嵌入方法得到SCT||DUT，即虚拟的“二端口器件”的S参数SCT||DUT。具体的，先将第一探针A的S参数SPA和第二探针B的S参数SPB转换成T参数，即TPA和TPB，以及将第一S参数Sm转换成Tm。然后通过
TCT||DUT＝TPA -1*Tm*TPB -1
得到TCT||DUT，最后将TCT||DUT转换成S参数得到被测件与串扰误差网络并联的S参数SCT||DUT。
然后，利用串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准得到的串扰误差网络CT与串扰校准件并联的S参数SCT||open。
具体的，将被测件DUT在衬底上取下，在此衬底上制作一个与被测件DUT的长度相等的串扰校准件，示例性的，参见图9，本实施例可以利用半导体工艺以砷化镓为衬底，制作了一个10dB衰减器作为被测件DUT，另外制作了一个与被测件DUT相同长度的开路-开路对串扰校准件，其中被测件DUT的长度和串扰校准件的长度均为160μm。
然后串扰校准件两端级联探针进行二端口校准，已知第一探针A的S参数SPA和第二探针B的S参数SPB，可得串扰误差网络CT与串扰校准件并联的S参数SCT||open；又已知开路-开路对校准件(串扰校准件)的S参数Sopen，根据SCT||open和Sopen得到串扰误差网络的S参数SCT。具体的，先将串扰误差网络CT与串扰校准件并联的S参数SCT||open转换成Y参数，即YCT||open，以及将开路-开路对校准件的S参数Sopen转换成Yopen。然后通过
YCT＝YCT||open-Yopen
得到YCT；再将YCT转换成S参数得到串扰误差网络的S参数SCT。
最后，根据被测件与串扰误差网络并联的S参数SCT||DUT，以及串扰误差网络的S参数SCT，确定被测件DUT的S参数SDUT。具体的，将被测件与串扰误差网络并联的S参数SCT||DUT转换为Y参数YCT||DUT，将串扰误差网络的S参数SCT转换为Y参数YCT，根据
YDUT＝YCT||DUT-YCT
得到被测件DUT的Y参数YDUT，再将YDUT转换成S参数得到被测件DUT的S参数SDUT，此时被测件DUT的S参数SDUT已经基本修正了串扰误差。
一个实施例中，所述片S参数误差校准方法还包括：
在所述被测件的长度改变时，重复执行所述在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准。
上述新型在片S参数误差校准方法，主要进行了3次校准，主要在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准，不仅考虑了探针距离因素，还考虑了被测件的反射系数因素，实现了串扰误差的准确表征与修正，同时结合对测试***未连接探针时的波导端面进行二端口校准，和连接探针后在探针端面进行一端口校准，根据12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数，提高了在片S参数测量误差修正的准确度。
本领域技术人员可以理解，上述实施例中各步骤的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。
实施例二
对应于上述实施例一所述的新型在片S参数误差校准方法，图10中示出了本发明实施例二中新型在片S参数误差校准装置的结构框图。为了便于说明，仅示出了与本实施例相关的部分。
该装置包括：二端口校准模块110、一端口校准模块120和串扰校准模块130。
二端口校准模块110用于在测试***未连接探针时，在波导端面进行二端口校准。
一端口校准模块120用于在测试***连接所述探针时，在两个探针端面分别进行一端口校准。
串扰校准模块130用于在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准。
一个实施例中，所述新型在片S参数误差校准装置还包括：参数确定模块。
参数确定模块用于建立一个12项误差模型，根据所述12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数。
可选的，参数确定模块具体用于：获取进行二端口校准得到的第一组误差项，获取进行一端口校准得到的第二组误差项，第一组误差项和第二组误差项组成一个8项误差模型；获取对被测件的串扰误差进行校准得到的4项串扰误差项；根据所述8项误差模型和4项串扰误差项建立所述12项误差模型。
上述新型在片S参数误差校准装置主要进行了3次校准，主要串扰校准模块130在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准，不仅考虑了探针距离因素，还考虑了被测件的反射系数因素，实现了串扰误差的准确表征与修正，同时结合二端口校准模块110在测试***未连接探针时，在波导端面进行二端口校准，和一端口校准模块120在测试***连接探针时对探针端面进行二端口校准，最后参数确定模块根据12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数，提高了在片S参数测量误差修正的准确度。
实施例三
图11是本发明实施例三提供的矢量网络分析仪100的示意图。如图11所示，该实施例所述的矢量网络分析仪100包括：处理器140、存储器150以及存储在所述存储器150中并可在所述处理器140上运行的计算机程序151，例如新型在片S参数误差校准方法的程序。所述处理器140在执行所述计算机程序151时实现上述各个新型在片S参数误差校准方法实施例中的步骤，例如图1所示的步骤S101至S103。或者，所述处理器140执行所述计算机程序151时实现上述各装置实施例中各模块/单元的功能，例如图10所示模块110至130的功能。
示例性的，所述计算机程序151可以被分割成一个或多个模块/单元，所述一个或者多个模块/单元被存储在所述存储器150中，并由所述处理器140执行，以完成本发明。所述一个或多个模块/单元可以是能够完成特定功能的一系列计算机程序指令段，该指令段用于描述所述计算机程序151在所述矢量网络分析仪100中的执行过程。例如，所述计算机程序151可以被分割成二端口校准模块、一端口校准模块和串扰校准模块，各模块具体功能如下：
二端口校准模块110用于在测试***未连接探针时，在波导端面进行二端口校准。
一端口校准模块120用于在测试***连接所述探针时，在两个探针端面分别进行一端口校准。
串扰校准模块130用于在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准。
可选的，所述新型在片S参数误差校准装置还包括：参数确定模块。
参数确定模块用于建立一个12项误差模型，根据所述12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数。
可选的，参数确定模块具体用于：获取进行二端口校准得到的第一组误差项，获取进行一端口校准得到的第二组误差项，第一组误差项和第二组误差项组成一个8项误差模型；获取对被测件的串扰误差进行校准得到的4项串扰误差项；根据所述8项误差模型和4项串扰误差项建立所述12项误差模型。
所述矢量网络分析仪100可包括，但不仅限于处理器140、存储器150。本领域技术人员可以理解，图11仅仅是矢量网络分析仪100的示例，并不构成对矢量网络分析仪100的限定，可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件，例如矢量网络分析仪100还可以包括输入输出设备、网络接入设备、总线等。
所称处理器140可以是中央处理单元(Central Processing Unit，CPU)，还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(Digital Signal Processor，DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、现成可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
所述存储器150可以是矢量网络分析仪100的内部存储单元，例如矢量网络分析仪100的硬盘或内存。所述存储器150也可以是矢量网络分析仪100的外部存储设备，例如矢量网络分析仪100上配备的插接式硬盘，智能存储卡(Smart Media Card，SMC)，安全数字(Secure Digital，SD)卡，闪存卡(Flash Card)等。进一步地，所述存储器150还可以既包括矢量网络分析仪100的内部存储单元也包括外部存储设备。所述存储器150用于存储所述计算机程序以及矢量网络分析仪100所需的其他程序和数据。所述存储器150还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。
在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述或记载的部分，可以参见其它实施例的相关描述。
本领域普通技术人员可以意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、或者计算机软件和电子硬件的结合来实现。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本发明的范围。
所述集成的模块/单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明实现上述实施例方法中的全部或部分流程，也可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一计算机可读存储介质中，该计算机程序在被处理器执行时，可实现上述各个方法实施例的步骤。其中，所述计算机程序包括计算机程序代码，所述计算机程序代码可以为源代码形式、对象代码形式、可执行文件或某些中间形式等。所述计算机可读介质可以包括：能够携带所述计算机程序代码的任何实体或***、记录介质、U盘、移动硬盘、磁碟、光盘、计算机存储器、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、电载波信号、电信信号以及软件分发介质等。需要说明的是，所述计算机可读介质包括的内容可以根据司法管辖区内立法和专利实践的要求进行适当的增减，例如在某些司法管辖区，根据立法和专利实践，计算机可读介质不包括电载波信号和电信信号。
以上所述实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围，均应包括在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种新型在片S参数误差校准方法，其特征在于，包括：
在测试***未连接探针时，在波导端面进行二端口校准；
在所述测试***连接所述探针时，在两个探针端面分别进行一端口校准；
在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准；
建立一个12项误差模型，根据所述12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数；
其中，根据所述12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数包括：
获取进行二端口校准得到的第一S参数，所述第一S参数为所述被测件与串扰误差网络并联再与所述探针级联的S参数；
根据第一组误差项和第二组误差项得到所述探针的S参数；
获取对所述被测件的串扰误差进行校准得到的串扰误差网络的S参数；
根据所述第一S参数、所述探针的S参数和所述串扰误差网络的S参数得到被校准后的所述被测件的S参数。
2.如权利要求1所述的新型在片S参数误差校准方法，其特征在于，所述建立一个12项误差模型，包括：
获取进行二端口校准得到的第一组误差项，获取进行一端口校准得到的第二组误差项，第一组误差项和第二组误差项组成一个8项误差模型；
获取对被测件的串扰误差进行校准得到的4项串扰误差项；
根据所述8项误差模型和4项串扰误差项建立所述12项误差模型。
3.如权利要求1或2所述的新型在片S参数误差校准方法，其特征在于，所述新型在片S参数误差校准方法还包括：
在所述被测件的长度改变时，重复执行所述在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准。
4.一种新型在片S参数误差校准装置，其特征在于，包括：
二端口校准模块，用于在测试***未连接探针时，在波导端面进行二端口校准；
一端口校准模块，用于在测试***连接所述探针时，在两个探针端面分别进行一端口校准；
串扰校准模块，用于在被测件的衬底上制作与被测件的长度相等的串扰校准件，根据所述串扰校准件对被测件的串扰误差进行校准；
参数确定模块，用于建立一个12项误差模型，根据所述12项误差模型得到被校准后的所述被测件的S参数；
其中，所述参数确定模块具体用于：获取进行二端口校准得到的第一S参数，所述第一S参数为所述被测件与串扰误差网络并联再与所述探针级联的S参数，根据第一组误差项和第二组误差项得到所述探针的S参数，获取对所述被测件的串扰误差进行校准得到的串扰误差网络的S参数，根据所述第一S参数、所述探针的S参数和所述串扰误差网络的S参数得到被校准后的所述被测件的S参数。
5.如权利要求4所述的新型在片S参数误差校准装置，其特征在于，所述参数确定模块具体用于：
获取进行二端口校准得到的第一组误差项，获取进行一端口校准得到的第二组误差项，第一组误差项和第二组误差项组成一个8项误差模型；
获取对被测件的串扰误差进行校准得到的4项串扰误差项；
根据所述8项误差模型和4项串扰误差项建立所述12项误差模型。
6.一种矢量网络分析仪，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至3任一项所述方法的步骤。
7.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至3任一项所述方法的步骤。
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