CN109384242A - 一种超细熔融石英硅微粉的生产方法 - Google Patents

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郭涛
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Abstract

本发明公开了一种超细熔融石英硅微粉的生产方法,该产品属于石英精加工领域;本发明以优质高纯石英块为原料,通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产超细熔融石英硅微粉,该生产方法具有:生产工艺简单、生产成本低、无污水废气排放、可批量生产出超细熔融石英硅微粉,产品主要用大规模集成电路。

Description

一种超细熔融石英硅微粉的生产方法
技术领域
本发明属于石英石精加工领域,尤其涉及一种超细熔融石英硅微粉的生产方法。
背景技术
熔融石英是二氧化硅的非晶态,其二氧化硅的含量不得少于 99.8% ,生产时将精选的天然石英石在炉内高温熔融,熔融温度为1800℃-1900℃,熔融时间约12小时后成为熔融状态,冷却后成为固态熔融石英,熔融石英具有使用温度高、热膨胀系数低、耐磨性能好、硬度高、透光折射性好、压电性能优异等一系列优点。熔融石英的产品有:各种规格和不同用途的熔融石英砂、熔融石英块和熔融石英硅微粉。熔融石英硅微粉是由熔融石英石经破碎、磁选、研磨、分级等多道工艺加工而成的硅微粉,是一种无毒、无味、无污染的无机非金属材料,超细熔融硅微粉是一种粒度小于1.5微米的熔融硅微粉,在生产中因其较粒度更细,生产难度加大在2015年前国内尚无法生产,直至到进口了德国生产的纳米级超细磨后才能是硅微粉粒度达到1.5微米之下。本发明是一种超细熔融石英硅微粉,其二氧化硅的含量在99.99%以上,粒度在1.5微米以下,该产品系选用高纯天然石英,经高温熔炼,冷却后形成的熔融石英块进行一次普通研磨、一次经纳米级超细磨研磨加工而成的微粉,具有纯度高、热膨胀系数小、低放射性、耐化学腐蚀等优点,其外观为白色粉末,容重为200-230千克/立方米,主要用于超大规模集成电路。本发明以优质高纯石英块为原料,通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级纳米级超细磨研磨、分级等工艺加工而成,该工艺流程的主要优点是:工艺简单、无有毒有害气体和液体排放、可批量生产并生产出高质量的纳米级超细熔融石英硅微粉。
发明内容
本发明主要解决的问题是提供一种超细熔融石英硅微粉的生产方法,该方法以优质高纯石英块为原料,通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产超细熔融石英硅微粉。
本发明可以通过以下技术方案来实现:
(1)将优质高纯石英块送入破碎机破碎,得到直径小于3毫米的熔融石英砂。
(2)将熔融石英砂送入磁选机,将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除,磁选时间为0.3-0.4小时。
(3)将磁选后的熔融石英砂送到普通研磨机进行研磨,控制研磨机的进料和出料速度均衡,保持研磨时间为2.5-3.0小时。
(4)经第一级研磨机研磨后的粉体送至纳米级超细磨进行研磨,研磨时间为4.5-5.0小时,研磨后送振动筛进行筛分,粒度超过1.5微米的返回纳米级超细磨重复研磨,粒度低于1.5微米的出料包装即可。
优选的,所述的超细熔融石英硅微粉的粒度为1.5微米以下。
本发明的有益效果是:提供了一种超细熔融石英硅微粉的生产方法,该生产方法具有:生产工艺简单、生产成本低、无污水废气排放、可批量生产出纳米级超细熔融石英硅微粉,产品主要用大规模集成电路。
具体实施方式
下面结合具体的实施例,进一步详细描述本发明。
实施例1
将优质高纯石英块送入破碎机破碎,得到直径小于3毫米的熔融石英砂;将熔融石英砂送入磁选机,将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除,磁选时间为0.3小时;将磁选后的熔融石英砂送到研磨机进行研磨,控制研磨机的进料和出料速度均衡,保持研磨时间为2.5小时;经第一级研磨机研磨后的粉体送至纳米级超细磨进行研磨,研磨时间为4.5小时,研磨后送振动筛进行筛分,粒度超过1.5微米的返回纳米级超细磨重复研磨,粒度低于1.5微米的出料包装即可。
实施例2
将优质高纯石英块送入破碎机破碎,得到直径小于3毫米的熔融石英砂;将熔融石英砂送入磁选机,将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除,磁选时间为0.35小时;将磁选后的熔融石英砂送到研磨机进行研磨,控制研磨机的进料和出料速度均衡,保持研磨时间为2.75小时;经第一级研磨机研磨后的粉体送至纳米级超细磨进行研磨,研磨时间为4.75小时,研磨后送振动筛进行筛分,粒度超过1.5微米的返回纳米级超细磨重复研磨,粒度低于1.5微米的出料包装即可。
实施例3
将将优质高纯石英块送入破碎机破碎,得到直径小于3毫米的熔融石英砂;将熔融石英砂送入磁选机,将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除,磁选时间为0.4小时;将磁选后的熔融石英砂送到研磨机进行研磨,控制研磨机的进料和出料速度均衡,保持研磨时间为3.0小时;经第一级研磨机研磨后的粉体送至纳米级超细磨进行研磨,研磨时间为5.0小时,研磨后送振动筛进行筛分,粒度超过1.5微米的返回纳米级超细磨重复研磨,粒度低于1.5微米的出料包装即可。

Claims (2)

1.一种超细熔融石英硅微粉的生产方法,该方法以优质高纯石英块为原料,通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产纳米级超细熔融石英硅微粉,其特征是:
(1)将优质高纯石英块送入破碎机破碎,得到直径小于3毫米的熔融石英砂;
(2)将熔融石英砂送入磁选机,将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除,磁选时间为0.3-0.4小时;
(3)将磁选后的熔融石英砂送到研磨机进行研磨,控制研磨机的进料和出料速度均衡,保持研磨时间为2.5-3.0小时;
(4)经第一级研磨机研磨后的粉体送至纳米级超细磨进行研磨,研磨时间为4.5-5.0小时,研磨后送振动筛进行筛分,粒度超过1.5微米的返回纳米级超细磨重复研磨,粒度低于1.5微米的出料包装即可。
2.根据权利要求1所述的一种超细熔融石英硅微粉的生产方法,其特征是:所述的超细熔融石英硅微粉的粒度为1.5微米以下。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110510619A (zh) * 2019-09-11 2019-11-29 江苏凯达石英股份有限公司 活性超细熔融石英微硅粉的制备方法

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