CN109313867A - 基板保持装置 - Google Patents

Abstract

提供一种能够在不产生扭曲的情况下使基板弯曲的基板保持装置。用于吸附保持基板的基板保持装置包括：中央框架，所述中央框架包括吸附基板的吸附体；一对侧部框架，所述侧部框架分别设置在中央框架的两个外侧，中央框架位于其间，各自包括吸附基板的吸附体；以及连接部分，所述连接部分将中央框架和各个侧部框架连接，以便能够使二者围绕互相平行的轴进行回转，所述侧部框架包括滑动部分，该滑动部分在接近和远离中央框架的方向上滑动，在该滑动部分设置有所述侧部框架具有的吸附体。

Description

基板保持装置

技术领域

本发明涉及吸附和保持基板的基板保持装置。

背景技术

液晶显示装置、有机EL显示装置(EL：Electro-Luminescence)等显示装置被广泛应用于计算机的显示器、电视接收装置以及用于显示各种信息的信息显示器等。此外，在液晶显示装置、有机EL显示装置等显示装置中，还实现了使显示面弯曲为凸状或凹状的曲面显示器。

曲面显示器能够节省空间地设置在各种设置场所中。例如，在显示面是凸状的曲面显示器的情形下，能够卷绕设置于圆柱的外周面。此外，在显示面是凹状的曲面显示器的情形下，能够节省空间地设置于房间的角落处。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-8479号公报

发明内容

发明要解决的问题

上述曲面显示器是通过将平面状的显示面板放置在弯曲为凸状或凹状的背光底座上，从上方对显示面板加压以将其固定在背光底座上来制造的。

然而，依赖于加压力的增加和减小，有时曲率在显示面板的上边和下边不同步，存在显示面板发生扭曲、存在破损的危险等问题。

鉴于这种情况完成了本发明，本发明的目的是提供一种能够在不引起扭曲的情况下使基板弯曲的基板保持装置。

用于解决问题的手段

本申请的一个实施方式涉及的基板保持装置是吸附保持基板的基板保持装置，其包括：中央框架，所述中央框架具有吸附所述基板的吸附体；一对侧部框架，所述一对侧部框架使该中央框架介于其间而分别配置在该中央框架的两外侧，各自具有吸附所述基板的吸附体；以及连接部分，所述连接部分将所述中央框架和每个所述侧部框架连接，以便能够使二者围绕互相平行的轴进行回转，所述侧部框架包括滑动部分，所述滑动部分在接近和远离所述中央框架的方向上滑动，在所述滑动部分设置有所述侧部框架具有的所述吸附体。

发明的效果

根据本申请，能够在不引起基板的扭曲的情况下弯曲基板。

附图说明

图1是示出本实施方式涉及的基板保持装置的概略结构的立体图。

图2是示出本实施方式涉及的基板保持装置的概略结构的主视图。

图3是示出本实施方式涉及的基板保持装置的概略结构的俯视图。

图4是说明框架构件的连接状态的示意图。

图5是说明滑动框架的附接状态的示意图。

图6是示出驱动机构的局部放大图。

图7是用于说明本实施方式涉及的基板保持装置的驱动***的结构的框图。

图8是示出转动侧部框架的状态的基板保持装置的立体图。

图9是示出转动侧部框架的状态的基板保持装置的主视图。

图10是示出转动侧部框架的状态的基板保持装置的俯视图。

图11是说明与基板的弯曲相伴的外侧吸附单元的位置的变化的说明图。

具体实施方式

基于附图，对本发明的实施方式进行具体地说明。

图1是示出本实施方式涉及的基板保持装置的概略结构的立体图，图2是其主视图，图3是其俯视图。本实施方式涉及的基板保持装置1具有一种机构，该机构能够在吸附保持状态下将液晶显示面板等矩形平板状的基板2向上方抬起，在抬起的状态下使基板2弯曲。在图1至图3所示的示例中，示出了在吸附保持基板2的状态下刚吸附于液晶显示面板的显示面后的状态(液晶显示面板弯曲之前的状态)。在下文中，将通过使用图中所示的上下、左右、前后来描述基板保持装置1的构造。

本实施方式涉及的基板保持装置1具有：位于左右方向的中央的中央框架10；以及使中央框架10介于其间，分别位于中央框架10的左侧和右侧的侧部框架20L和20R。如下文所述，侧部框架20L相对于中央框架10可回转地进行连接。

此外，在下文中，当无需对位于中央框架10左侧的侧部框架20L和位于中央框架10右侧的侧部框架20R进行区分说明时，都表示为侧部框架20。

中央框架10是前后方向略长于左右方向的矩形框架，是将前后一对的短边用的框架构件11、11以及左右一对的长边用的框架构件12、12进行连接并组装成格子状的框架。

此外，尽管在该实施方式中将中央框架10作为矩形的框架进行说明，但并不限于矩形的框架，也可以是例如平面图中的十字状、H字状、椭圆状等的框架。

图4是说明框架构件11、12的连接状态的示意图。用于中央框架10的短边的框架构件11和用于中央框架10的长边的框架构件12是例如经挤出成型的铝构件。用于短边的框架构件11的截面大致为正方形，具有滑动槽110。滑动槽110呈从截面中心向四边加宽的梯形形状，具有连接螺母41可自由滑动地放入的中空部110a以及从左右均匀地突出以封闭中空部110a的上面的开口端110b、110b。用于长边的框架构件12与用于短边的框架构件11相同。

框架构件11、12通过连接螺母41、连接螺栓42和安装金属配件43相连接。连接螺母41具有：截面形状略小于滑动槽110的截面形状的板部411；具有比开口端110b、开口端110b的开口宽度稍窄的宽度并且在板部411的厚度方向上突出的凸部412；以及拧入连接螺栓的螺纹孔413。安装金属配件43具有矩形的板材大致垂直连接而形成的L字形的外形，在各板材中设置有连接螺栓的螺纹部分插通的插通孔431。

当连接框架构件11、12时，将连接螺母41***其中一个框架构件11的滑动槽110中，通过滑动连接螺母41来进行安装部位的定位。然后，使安装金属配件43的一个板材的侧面与框架构件11的安装面相接触，使连接螺栓42的螺纹部穿过安装金属构件43的插通孔431，拧紧并固定在连接螺母41的螺纹孔413中。如上所述，在连接螺母41的凸部412嵌入到由框架构件11的开口端110b、110b形成的开口部分中的状态下，形成了开口端110b、110b以及安装金属配件43被夹持在连接螺母41和连接螺栓42之间的构造。接下来，将另一个连接螺母41***到另一个框架构件12的滑动槽中，使连接螺母41滑动以进行安装部位的定位。然后，使安装金属配件43的另一个板材的侧面与另一个框架构件12的安装面相接触，连接螺栓42的螺纹部穿过安装金属构件4 3的插通孔，拧紧并固定在连接螺母41的螺纹孔413中。通过在各处进行这样的使用了连接螺母41、连接螺栓42和安装金属配件43的连接，组装成图1至3所示的中央框架。

中央框架10在一对左右框架构件12、12之间具有在左右方向的均等位置处布置的加强框架13、13。加强框架13具有与前述相同的大致呈正方形的截面形状，由在各侧面具有沿纵向的滑动槽的框架构件构成。加强框架13通过使用连接螺母41、连接螺栓42和安装金属配件43连接在一对前后框架构件11、11之间。

另外，在中央框架10的上面设置有在左右方向上横架的横向框架14、14。横向框架14具有与前述相同的大致呈正方形的截面形状，由在各侧面具有沿纵向的滑动槽的框架构件构成。横向框架14的长度约为用于短边的框架构件11的长度的约三分之一，通过使用联接螺母41、连接螺栓42和安装金属配件43连接至加强框架13的上面以及用于长边的框架构件12的上面。此外，横向框架14、14中的一个连接至比前后方向的中央更靠近前部的位置，另一个连接至比前后方向的中央更靠近后部的位置。

中央框架10包括安装于加强框架13的吸附单元50。在本实施方式中，各加强框架13具有两个吸附单元50、50。因此，中央框架10分别在前后方向和左右方向(图1中所示的示例中基板2的短边方向和长边方向)上的2处吸附基板2。

吸附单元50具有：连接至加强框架13的连接部分51、内部具有空气引导通路(未示出)的支柱部分52、具有与空气引导通路连通的中空部分的基座部分53以及安装于基座部分53的衬垫部分54。

连接部分51是长方体状的构件，在其上面设置有宽度略宽于加强框架13的宽度的呈矩形的沟槽部分。夹着沟槽在连接部分51的两侧设置有两个插通孔。当将吸附单元50安装于加强框架13时，两个连接螺母41分别将设置在加强框架13的左侧面和右侧面的滑动槽插通，通过滑动连接螺母41来定位吸附单元50相对于加强框架13的安装位置。然后，将加强框架13设置在连接部分51的沟槽部分，将连接螺栓42的螺纹部分穿过插通孔，使其拧入连接螺母41的螺纹孔413中以进行固定。通过在各处进行这样的使用了连接螺母41和连接螺栓42的连接，从而将两个吸附单元50分别安装于各加强框架13。此外，可考虑被吸附保持的基板2的尺寸、基板2的柔性、基板重量等，适当地改变吸附单元50的个数和安装位置。

吸附单元50的支柱部分52设置在连接部分51的下端，是在内部具有空气引导通路的棱柱形或圆柱形的构件。在支柱部分52的侧面设置有螺纹孔，该螺纹孔与空气引导通路连通，用于将真空配管用的连接塞55拧入该螺纹孔。通过拧入该螺纹孔的连接塞55，能够通过真空管道(未示出)将吸附单元50和真空发生器77(参见图7)连接。

基座部分53是例如圆筒状的构件，具有与支柱部分52的空气引导通路相连通的中空部分(未示出)。衬垫部分54被安装到基座部分53的下端。衬垫部分54是波纹管型的吸附垫。衬垫部分54具有由丁腈橡胶、硅橡胶、氟橡胶等合成树脂材料形成为中空状的蛇纹管部分541，在蛇纹管部分541的下端具有吸附面542。当衬垫部分54的吸附表面542接触到吸附保持对象的基板2的上表面后，通过真空发生器77对蛇纹管部分541所包围的空间进行减压，从而吸附单元50能够吸附保持基板2。此外，衬垫部分54被构造成能够随着被吸附保持的基板2的弯曲等而变形。

位于中央框架10的左侧和右侧的侧部框架20是前后方向比左右方向长的框架，是将前后一对用于短边的框架构件21、21和左右一对用于长边的框架构件22、22连接并组装成格子形状而成的矩形框架。此外，与中央框架10同样地，用于侧部框架20的框架构件21和22的截面形状大致呈正方形，在各侧面具有沿框架构件的长边方向的滑动槽。此外，侧部框架20的长边用的框架构件22具有与中央框架10的长边用的框架构件12相同的长度。通过使用连接螺母41、连接螺栓42和安装金属配件43对用于短边的框架构件21、21以及用于长边的框架构件22、22进行连接，从而能够组装侧部框架20。

在侧部框架20的上面设置有横架在左右方向上的横向框架23。横向框架23与侧部框架20的框架构件21、22同样地，截面形状大致呈正方形，由在各侧面具有沿长边方向的滑动槽的框架构件构成。横向框架23具有与侧部框架20的短边用的框架构件21大致相同的长度，其两端分别连接至用于长边的框架构件22、22的大致中央处。使用连接螺母41、连接螺栓42和安装金属配件43连接用于长边的框架构件22、22。

侧部框架20具有能够朝向用于短边的框架构件21的长边方向自由滑动地设置的滑动框架30。滑动框架30是将长度约为侧部框架20的短边长度的约1/3的前后一对框架构件31、31以及比侧部框架20的长边略短的左右一对框架构件32、32进行连接并组装成格子形状的矩形框架。

滑动框架30经由安装板45滑动自如地安装到侧部框架20。图5是说明滑动框架30的安装状态的示意图。安装板45由矩形的板体450构成，所述板体450具有滑动框架构件21的滑动槽210的中空部分210a的滑动销451以及连接螺栓的螺纹部分插通的插通孔452。板体450的高度约为框架构件21的高度的两倍，具有适当的宽度。此外，板体450的厚度略小于在侧部框架20的内周表面和滑动框架30的外周表面之间形成的间隙。滑动销451具有在板体45的上端附近的位置处朝板体450的厚度方向突出的圆柱状的轴部451a以及在轴部451a的突出端形成的滑动片451b。此处，轴部451a具有略小于框架构件21的滑动槽210具有的开口端210b、210b的开口宽度的直径，滑动片451b具有略小于滑动槽210的截面形状的截面形状。

在将滑动框架30安装于侧部框架20的情况下，在将安装板45的滑动片451b插嵌于框架构件21的滑动槽210的同时，使用连接螺母41和连接螺栓42将安装板45固定到滑动框架30。此外，通过将连接螺母41***滑动框架30的框架构件31所具有的滑动槽310中并拧紧连接螺栓42和连接螺母41，来将安装板45固定于滑动框架30。在将滑动框架30安装到侧部框架20的状态下，构成侧部框架20的框架构件21的内侧面与安装板45的靠近上端的一面相对，成为构成滑动框架30的框架构件31的外侧面与安装板45的下端附近的另一面相接触的状态。此外，除了安装板45之外，滑动框架30也可以通过设置在横向框架23下面的导轨安装至侧部框架20。在这种情况下，在各框架构件32的长边方向的中央处设置有具有滑动自如地嵌合于导轨的沟槽部分的导板。

侧部框架20包括安装于滑动框架30的吸附单元50。在本实施方式中，两个吸附单元50、50安装于滑动框架30的用于长边的框架构件32中的一个。因此，侧部框架20被构造成能够在前后方向(图1所示的示例中为基板的短边方向)上的两处吸附基板2。侧部框架20具有的吸附单元50与中央框架10具有的吸附单元50相同，在将框架构件32配置在吸附单元50的连接部分51具有的沟槽部分中后，能够使用连接螺母41和连接螺栓42将其固定于框架构件32。考虑被吸附保持的基板2的尺寸、基板2的柔性、基板重量等，可适当地改变吸附单元50的个数和安装位置。

侧部框架20相对于中央框架10可回转地进行连接。例如，中央框架10的用于长边的框架构件12和相邻的侧部框架20的用于长边的框架部件22在各自的下面通过铰链46相连接，侧部框架20被构造成可相对于中央框架10回转。

铰链46包括轴部461、可回转地连结到轴部461的轴向的中央部分的蝶片462以及可回转地连结到轴部461的轴向的两端部的蝶片463。在中央框架10和侧部框架20的用于长边的框架构件12、22的外侧面处于彼此接触的状态下，铰链46被配置成使得框架构件12、22的长边方向与铰链46的轴部分461互相平行。然后，将其中一个蝶片462固定在中央框架10的框架构件12的下面，将另一个蝶片463固定在侧部框架20的框架构件22的下面，从而将二者可回转地连接。此外，铰链46被固定于框架构件12、22的长边方向上的多个部位(例如，三个部位)。通过上述构造，侧部框架20、20分别在与中央框架10的框架构件12、12的长边方向平行的轴(相互平行的轴)的周围通过铰链46相连接。

此外，本实施方式涉及的基板保持装置1具有用于使侧部框架20相对于中央框架10回转的空压式的驱动机构60。图6是示出驱动机构60的构造的局部放大图。驱动机构60例如具有：气缸61；用于保持气缸61的气缸保持部分62；经由气缸保持部分62将气缸61的一端连接到中央框架10的连接部分63；以及将气缸61的另一端连接到侧部框架20的连接部分64。

气缸61是例如双动式气缸，其具有在内部具有两个气室的圆筒形的气缸主体611以及相对于气缸主体611进退的活塞杆612。就气缸61而言，如果向气缸主体611具有的两个气室中的一个供气并加压(另一个减压)，则活塞杆612在从气缸主体611露出的方向上移动并伸长。此外，就气缸61而言，当向另一个气室供气并加压(一个减压)时，活塞杆612在收容于气缸主体611的方向上移动并收缩。

气缸保持部分62具有：比气缸主体611稍长、沿气缸主体611的长边方向布置的框架构件621；沿正交的方向连结至该框架构架621的框架构件622；以及保持气缸主体611的一端侧和另一端侧的保持金属配件623、624。框架构件621、622与构成中央框架10等的框架构件11相同，截面大致呈正方形，在沿长边方向的各侧面具有滑动槽。框架构件621和622使用连接螺母41、连接螺栓42以及安装金属配件43，以彼此正交的方式相连结。保持金属配件623(624)是在平面图中大致呈L字形并且在侧视图中大致呈三角形的金属制板构件，具有：具备连接螺栓用的插通孔的矩形安装片623a(624a)以及具备用于气缸主体的插通孔的三角形的保持片623b(624b)。保持金属配件623、624被布置成使得用于气缸主体的插通孔彼此相对，其中一个保持金属配件623以与框架构件621正交的方式使用连接螺栓42连接到框架构件621的端部，另一个保持金属配件624使用连接螺栓42沿框架构件622进行连接。此外，保持金属配件623和624被定位成在其保持气缸主体611时使得气缸主体611的两端部由保持金属配件623和624向外侧突出，随后连接到框架构件621、622。气缸主体611的两端部具有螺纹槽部分(未示出)，通过将连接螺母625、625从保持金属配件623、624的外侧拧入这些螺纹槽部分中来将气缸61固定到气缸保持部分62。

连接部分63具有：固定在中央框架10具有的横框架14的中央框架侧金属配件631以及固定到气缸保持部分62的缸侧金属配件632。中央框架侧金属配件631是主视图大致呈三角形且侧视图大致呈L字形的金属制的板构件，具有：具备用于连接螺栓的插通孔的矩形安装片631a以及具备支撑销633插通的插通孔的三角形的支撑片631b。中央框架侧金属配件631使用连接螺栓42等连接到中央框架10具有的横框架14的端部。气缸侧金属配件632是呈矩形的金属制的板构件，具有支撑销633插通的插通孔和用于连接螺栓的插通孔。气缸侧金属配件632通过支撑销633被相对于中央框架侧金属配件631可回转地支撑的同时，使用连接螺栓等连接到气缸保持部分62的框架构件621。

连接部分64包括：固定到侧部框架20具有的横向框架23的侧部框架侧金属配件641和固定到活塞杆612的前端的固定配件642。侧部框架侧金属配件641是主视图大致呈三角形且侧视图大致呈L字形的金属制的板构件，包括：具有用于连接螺栓的插通孔的矩形安装片641a和具有支撑销643插通的插通孔的三角形支撑片641b。侧部框架侧金属配件641在侧部框架20具有的横向框架23的大致中央处使用连接螺栓42等进行连接。固定配件642具有柱形壳体，包括设置在壳体侧面的用于活塞杆612的固定孔以及设置在框体侧面的用于支撑销633的插通孔。固定配件642使用螺母644等将活塞杆62的前端部分固定于固定孔的内部的同时，利用支撑销643，相对于侧部框架侧金属配件641可回转地被支撑。

在本实施方式中，在气缸61收缩的状态下，气缸61以使得中央框架10侧高而侧部框架20侧低的倾斜姿态，通过连接部分63、64连接到中央框架10及侧部框架20。此外，在这种状态下，侧部框架20大致平行地与中央框架10连接，即侧部框架20相对于中央框架10的倾斜度为0度，侧部框架20中的一个框架构件22的外侧面和中央框架10中的一个框架构件12的外侧面互相抵接。

在本实施方式中，可通过使气缸61伸长，以铰链46的轴部461为回转中心，使侧部框架20向下侧回转，即，使侧部框架20相对于中央框架10倾斜。图7是说明根据本实施方式的基板保持装置1的驱动***的构造的框图。基板保持装置1包括：作为驱动气缸61的构造的连接到气体供应源70的驱动机构用调节器71和切换阀72。气体供应源70是诸如工厂压缩空气、压缩机等，其将诸如干燥空气、氮气等气体供应到驱动机构用调节器71以及稍后将描述的吸附单元用调节器75中。

驱动机构用调节器71连接在气体供应源70和切换阀72之间，调整由气体供应源70供给的气体的压力，将压力调整后的气体通过切换阀72供给到气缸61。气缸61是双动式气缸。利用通过切换阀72供应的气体对气缸主体611具有的两个气室中的一个加压(对另一个减压)时，活塞杆612在从气缸主体611露出的方向上移动，气缸61伸长。另外，利用通过切换阀72供应的气体对两个气室中的另一个加压(对一个减压)时，活塞杆612在收容于气缸主体611中的方向上移动，气缸61收缩。此外，活塞杆612的伸缩控制通过未图示的控制装置对切换阀72的电磁阀进行控制来进行。

另外，作为驱动前述吸附单元50的构造，基板保持装置1包括：连接到气体供应源70的吸附单元用调节器75、切换阀76以及真空发生器77。吸附单元用调节器75连接在气体供应源70和切换阀76之间，调整从气体供应源70供应的气体的压力，通过切换阀76和真空发生器77将压力调整后的气体供应到吸附单元50。

在通过吸附单元50吸附和保持基板2的情况下，关闭切换阀76的排气阀的同时，运转真空发生器77，对吸附单元50的衬垫部分54和基板2所包围的空间进行减压。另外，在采用吸附单元50进行的吸附完成的情况下，停止真空发生器77的运转的同时，打开切换阀76的排气阀，进行控制以将通过吸附单元用调节器75供应的气体送到衬垫部分54的内部空间，以恢复到大气压。此外，采用吸附单元50的吸附控制通过图中未示出的控制装置对切换阀76的排气阀及真空发生器77的运转装态进行控制来进行。

上述控制装置也可以通过对切换阀76及真空发生器77进行控制来进行基板保持装置1所具备的全部吸附单元50(图1的示例中为8个)的控制。另外，也可以将吸附单元50分成多个组，为每个组准备切换阀76和真空发生器77，使控制装置分别对每个组进行吸附控制。

下面，将根据图1至图3所示的状态(即，在维持通过基板保持装置1吸附保持的基板2的水平状态的同时将其抬起的状态)，对使侧部框架20相对于中央框架10进行回转的状态进行说明。

图8是基板保持装置1的立体图，其示出了使侧部框架20回转的状态，图9是其主视图，图10是其平面图。图8至图10示出了通过中央框架10和侧部框架20所包括的吸附单元50吸附保持的状态下将基板2抬起，随后使气缸61伸长，使侧部框架20回转的状态。

在气缸61伸长的情况下，随着连接部分63处的中央框架侧金属配件631与气缸侧金属配件632之间的相对角度以及连接部分64处的侧部框架侧金属配件641和固定配件642之间的相对角度改变，中央框架10依旧维持大致水平的状态，侧部框架20则向下侧回转。此时，气缸61相对于横向框架23的相对角度随着侧部框架20的回转而变小。图9中示出了气缸61相对于横向框架23的相对角度大致为0的状态，即横向框架23的长边方向与气缸61的气缸轴大致平行的状态。

由吸附单元50吸附和保持的基板2随着侧部框架20的回转而弯曲成圆弧形。另外，由于侧部框架20具有的吸附单元50(下文中称为外侧的吸附单元50)设置在滑动框架30，因此随着基板2的弯曲，可与滑动框架30一起在远离中央框架10的方向上移动。图11是说明与基板2的弯曲相伴的外侧的吸附单元50的位置变化的说明图。图11A示出了基板2被基板保持装置1吸附并保持水平的状态。此处，从中央框架10的水平方向的中心到侧部框架20的回转中心(铰链46的轴部461)的水平距离设为X0，从侧部框架20的回转中心到外侧的吸附单元50的中心轴的水平距离设为X1。

图11B示出了基板2弯曲的状态。此处，基板2形成具有R500的曲率的圆弧，外侧的吸附单元50的中心轴相对于垂直方向具有49.6度的倾斜度。此时，图11B中示出的周长L为L＝2×π×500×49.6/360＝432.8mm。此处，由于基板2处的吸附单元50的吸附位置不变，因此L＝X0+X1。

此外，当基板2弯曲成圆弧形时，将外侧的吸附单元50移动到从侧部框架20的回转中心到外侧的吸附单元50的中心轴的距离X2与X0相等的位置。此处，若X0＝X2＝280.5mm，则X1＝L-X0＝152.3(423.8-280.5)mm，因此，X2-X1＝128.2(280-152.3)mm。即，由图11所示的示例中，可知随着基板2的弯曲，外侧的吸附单元50与滑动框架30一起在远离中央框架10的方向上移动128.2mm。此外，外侧的吸附单元50的移动距离是根据吸附基板2时的侧部框架20和外吸的附单元50的位置关系、滑动框架30的可移动范围、基板2的弯曲状态而变化的，并不限于图11中的示例。

如上所述，在根据本实施方式的基板保持装置1中，通过使用中央框架10具有的吸附单元50和侧部框架20具有的吸附单元50吸附保持基板2，使侧部框架20、20围绕与中央框架10中的用于短边的框架构件12、12的长边方向平行的轴(即，彼此平行的轴)回转，从而能够使基板2弯曲，因此能够抑制在弯曲基板2时发生扭曲。

此次公开的实施方式的全部内容均为例示，应当认为所述内容为非限制性内容。本发明的范围不限于上述含义，而是由权利要求所表示，旨在包括与权利要求等同的含义和范围内的所有修改。

关于上述实施方式，进一步公开了以下附加说明。

本申请的基板保持装置是吸附和保持基板的基板保持装置，包括：中央框架，所述中央框架具有吸附所述基板的吸附体；一对侧部框架，所述一对侧部框架使该中央框架介于其间而分别配置在该中央框架的两外侧，各自具有吸附所述基板的吸附体；以及连接部分，所述连接部分将所述中央框架和每个所述侧部框架连接，以便能够使二者围绕互相平行的轴进行回转，所述侧部框架包括滑动部分，所述滑动部分在接近和远离所述中央框架的方向上滑动，在所述滑动部分设置有所述侧部框架具有的所述吸附体。

本申请的基板保持装置，其特征在于，随着由所述中央框架及所述侧部框架具有的吸附体所吸附的基板的弯曲，所述滑动部分在从所述中央框架分离的方向上滑动。

本申请的基板保持装置包括使所述侧部框架围绕所述轴回转的回转机构。

本申请的基板保持装置，其特征在于，所述回转机构包括：气缸，所述气缸包括沿轴向移动的杆和可进退地容纳该杆的气缸主体；中央框架侧连接部分，所述中央框架侧连接部分将所述气缸主体可回转地连接至所述中央框架；以及侧部框架侧连接部分，所述侧部框架侧连接部分将所述杆可回转地连接至所述侧部框架。

在本申请的基板保持装置中，所述吸附体是波纹管型吸附垫。

附图标记说明

1 基板保持装置

2 基板

10 中央框架

11 用于短边的框架构件

12 用于长边的框架构件

20L、20R 侧部框架

30 滑动框架(滑动部分)

46 铰链(连接部分)

50 吸附单元(吸附体)

60 驱动机构(回转机构)

61 气缸

63 连接部分

64 连接部分

Claims (5)

1.一种基板保持装置，是吸附和保持基板的基板保持装置，其特征在于，包括：

中央框架，所述中央框架具有吸附所述基板的吸附体；

一对侧部框架，所述一对侧部框架使该中央框架介于其间而分别配置在该中央框架的两外侧，各自具有吸附所述基板的吸附体；以及

连接部分，所述连接部分将所述中央框架和每个所述侧部框架连接，以便能够使二者围绕互相平行的轴进行回转，

所述侧部框架包括滑动部分，所述滑动部分在接近和远离所述中央框架的方向上滑动，在所述滑动部分设置有所述侧部框架具有的所述吸附体。

2.根据权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，随着由所述中央框架及所述侧部框架具有的吸附体所吸附的基板的弯曲，所述滑动部分在从所述中央框架分离的方向上滑动。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的基板保持装置，其特征在于，包括使所述侧部框架围绕所述轴回转的回转机构。

4.根据权利要求3所述得基板保持装置，其特征在于，所述回转机构包括：

气缸，所述气缸包括沿轴向移动的杆和可进退地容纳该杆的气缸主体；

中央框架侧连接部分，所述中央框架侧连接部分将所述气缸主体可回转地连接至所述中央框架；以及

侧部框架侧连接部分，所述侧部框架侧连接部分将所述杆可回转地连接至所述侧部框架。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板保持装置，其特征在于，所述吸附体是波纹管型吸附垫。