CN109261998B - 靶材溅射面加工的刀具以及加工方法 - Google Patents

Abstract

一种靶材溅射面加工的刀具以及加工方法，所述刀具包括：刀杆，具有相对设置的第一面和第二面；位于所述第一面上的刀头，固定于所述刀杆沿延伸方向的一端，所述刀头包括：固定座，与所述刀杆固定相连；刀片，与所述固定座相连，且所述刀片的刃口凸出于所述固定座表面。所述刀具在对待加工面进行加工时，仅能够在所述待加工面上形成一条连续的纹路，并且所形成纹路并不会出现交叉，所以连续且不交叉纹路的形成，能够有效提高所形成靶材溅射纹理的均匀性，有利于提高所形成靶材溅射面纹理的质量，改善靶材溅射面的粗糙度，使所形成产品达到质量要求。

Description

靶材溅射面加工的刀具以及加工方法

技术领域

本发明涉及靶材加工领域，特别涉及一种靶材溅射面加工的刀具以及加工方法。

背景技术

磁控溅射是一种利用带电粒子轰击靶材，使靶材原子从表面溢出并均匀沉积在基片上的镀膜工艺。磁控溅射具有溅射率高、基片温度低、基片与膜层之间结合力好和优异的膜层均匀性等优势。磁控溅射技术已经被广泛应用于集成电路、信息存储设备、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等电子以及信息产业的制造过程中。

随着电子产业高速发展，如集成电路制造过程中，芯片基片尺寸不断提高，而电子器件尺寸不断减小，集成电路电子器件集成度随之提高，制造技术对磁控溅射技术的工艺要求越来越严格。

磁控溅射过程中所使用靶材的质量是影响磁控溅射镀膜质量的关键因素之一。所以对于溅射靶材的质量要求高于传统材料行业的质量要求。溅射靶材的一般质量要求主要包括对于尺寸、平整度、纯度、成分含量、密度，晶粒尺寸与缺陷控制等方面的要求；此外，在面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成分与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等方面，溅射靶材具有更高的质量要求或者特殊的质量要求。而且随着技术的发展，靶材溅射面不再仅仅是平面结构的，还发展出了溅射面上具有纹理的靶材。

但是现有技术在靶材溅射面上所形成纹理的质量较差，难以满足产品的质量要求。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种靶材溅射面加工的刀具以及加工方法，以提高靶材溅射面上所形成纹理的纹路质量。

为解决上述问题，本发明提供一种靶材溅射面加工的刀具，包括：

刀杆，具有相对设置的第一面和第二面；位于所述第一面上的刀头，固定于所述刀杆沿延伸方向的一端，所述刀头包括：固定座，与所述刀杆固定相连；刀片，与所述固定座相连，且所述刀片的切削刃凸出于所述固定座表面。

可选的，所述刀头的数量为1个。

可选的，所述刀杆的材料为45#钢。

可选的，所述刀杆经淬火处理。

可选的，所述刀杆的硬度在255HB以上。

可选的，所述刀具还包括：位于所述第一面内的第一固定槽，设置于所述刀杆沿延伸方向的一端；所述刀头固定于所述第一固定槽内且至少所述刀片的切削刃凸出于所述第一面。

可选的，所述刀头为镗刀刀头。

可选的，所述固定座包括：用于与所述刀杆固定相连的固定部；凸起于所述固定部表面的操作部，沿垂直所述刀杆延伸方向，所述操作部设置于所述固定部靠近所述刀杆中心的一侧；所述刀片与所述操作部相连。

可选的，沿所述刀杆延伸方向，所述刀片位于所述固定座的操作部远离所述刀杆中心的一端。

可选的，所述刀杆上具有多个第一固定孔，沿垂直所述第一面指的方向，所述第一固定孔至少贯穿所述刀杆的部分厚度；所述固定座的固定部上具有多个第一连接孔，所述第一连接孔贯穿所述固定部；所述刀头还包括：多个第一连接件，位于所述第一连接孔和所述第一固定孔内，用于连接所述第一固定孔和所述第一连接孔。

可选的，所述第一固定孔为螺孔，所述第一连接件为螺栓。

可选的，所述第一固定孔为通孔，所述第一连接件包括螺栓和螺帽。

可选的，所述刀具还包括：位于所述第一面内的第二固定槽，设置于所述刀杆沿延伸方向的一端，与所述第一固定槽相对设置。

可选的，所述刀具还包括：配重件，固定于所述第二固定槽内。

可选的，第二固定槽底部具有多个第二固定孔，沿垂直所述第一面指的方向，所述第二固定孔至少贯穿所述刀杆的部分厚度

可选的，所述刀片刀尖半径为0.7mm到0.9mm范围内。

可选的，所述刀具还包括：刀柄，与所述刀杆相连。

可选的，所述刀杆中心位置具有安装孔，所述安装孔沿垂直所述第二面的方向至少贯穿所述刀杆的部分厚度；所述刀柄具有与所述刀杆相连的连接端和与所述连接端相对的安装端，所述刀柄的连接端位于所述安装孔内。

可选的，所述安装孔为螺孔，所述刀柄的连接端表面设置有与所述安装孔内螺纹相适应的外螺纹。

可选的，所述安装孔为通孔；所述连接端的端面内具有盲孔，所述盲孔内部具有螺纹；所述刀柄还包括：与所述盲孔内螺纹相适应的连接螺栓。

可选的，所述刀杆的第二面内具有限位槽，所述限位槽在所述第二面内平行所述刀杆延伸方向设置且贯穿所述安装孔；所述刀柄还包括：至少部分凸起于所述刀柄侧面的限位栓，用于设置于所述限位槽内。

相应的，本发明还提供一种靶材溅射面的加工方法，包括：提供待加工靶材，所述待加工靶材具有待加工面；使所述待加工靶材在平行所述待加工面的平面内旋转；提供刀具，所述刀具为本发明的靶材溅射面加工的刀具；在所述待加工靶材旋转的同时，使所述刀片的切削刃与所述待加工面相接触并使所述刀具沿所述待加工靶材旋转的径向做单向运动。

可选的，所述待加工面朝上水平设置；所述待加工靶材在水平面内旋转；所述刀具的刀杆水平设置。

可选的，所述待加工靶材以经过所述待加工面中心且垂直所述待加工面的轴线旋转。

可选的，在进行加工的过程中，所述刀具做直线运动。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

所述刀具包括刀杆以及位于所述刀杆第一面一端的刀头，所述刀头包括：固定座，与所述刀杆固定相连；刀片，与所述固定座相连，且所述刀片的切削刃凸出于所述固定座表面；采用所述刀具进行加工时，使所述刀片的切削刃与所述待加工面相接触并沿所述待加工靶材旋转的径向做单向运动以进行加工，因此在对所述待加工靶材进行加工时，所述刀具仅能够在所述待加工面上形成一条连续的纹路，并且所形成纹路并不会出现交叉，所以连续且不交叉纹路的形成，能够有效提高所形成靶材溅射纹理的均匀性，有利于提高所形成靶材溅射面纹理的质量，改善靶材溅射面的粗糙度，使所形成产品达到质量要求。

本发明可选方案中，所述刀片刀尖半径为0.7mm到0.9mm范围内，所述刀片刀尖半径如果太小，则采用所述刀片进行加工时，会影响残削排出，可能会出现崩角、崩刃的问题；所述刀片刀尖半径如果太大，则采用所述刀片进行加工时，会使所形成纹路上毛刺过多，影响所形成纹理的质量，不利于提高所形成产品质量。

本发明可选方案中，所述刀杆经淬火处理；对所述刀杆进行淬火处理，能够有效提高所述刀杆的硬度，从而提高所述刀杆的屈服极限、减小塑形形变，降低所述刀杆出现形变的几率，改善所述刀具的质量，提高所述刀具进行加工过程的稳定性。

附图说明

图1是本发明靶材溅射面加工刀具一实施例的结构示意图；

图2是图1所示实施例中刀杆第一面的俯视结构示意图；

图3是图1所示实施例中刀杆第二面的俯视结构示意图；

图4是图1所示实施例中刀头沿A方向的结构示意图；

图5是图4所示实施例中沿B方向的结构示意图；

图6是本发明靶材溅射面加工方法一实施例的流程示意图。

具体实施方式

由背景技术可知，现有技术在靶材溅射面上所形成纹理的质量较差，难以满足产品的质量要求。

在机械加工过程中，通常采用盘刀对待加工面进行表面处理，从而在待加工面上形成纹理。但是采用盘刀在靶材的溅射面形成的纹理常常难以满足靶材溅射面的质量要求。

经研究发现由于盘刀通常包括位于同一平面内的多个刀头，因此采用盘刀对靶材的溅射面进行加工时，多个刀头会同时对靶材溅射面进行切削，每个刀头都会形成一个独立的纹路；而盘刀除了整个刀身会在同一平面内发生移动之外，还会在平行所述靶材溅射面的平面内发生旋转，因此每个刀头都会形成一个独立的螺旋状纹路，所以采用盘刀对所述靶材溅射面进行加工会形成多条具有交叉的纹路；所述靶材表面纹路的交叉，影响纹路的均匀性，从而影响靶材溅射面上纹理的质量，影响靶材溅射面的粗糙度，从而造成产品难以达到质量要求的问题。

为解决所述技术问题，本发明提供一种靶材溅射面加工的刀具，所述刀具在对待加工面进行加工时，仅能够在所述待加工面上形成一条连续且不交叉的纹路，能够有效提高所形成靶材溅射纹理的均匀性，有利于提高所形成靶材溅射面纹理的质量，改善靶材溅射面的粗糙度，使所形成产品达到质量要求。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

参考图1，示出了本发明靶材溅射面加工刀具一实施例的结构示意图。

所述靶材溅射面加工的刀具包括：

刀杆110，具有相对设置的第一面111和第二面112；位于所述第一面111上的刀头120，固定于所述刀杆110沿延伸方向的一端，所述刀头120包括：固定座121，与所述刀杆110固定相连；刀片122，与所述固定座121相连，所述刀片122包括背向所述第一面111的切削刃。

本实施例中，所述刀具还包括：刀柄130，与所述刀杆110相连。具体的，通过机床140对所述刀具施加进给，从而使所述刀片122的切削刃122a对待加工面进行切削实现加工，所述刀柄130就是用于实现所述刀具与机床的连接，从而实现所述刀具的进给。

在进行加工时，通过所述刀头120的刀片122对待加工面进行切削，从而在待加工面内形成一条纹理；而且所形成纹理与所述刀具在待加工面上相对运动的轨迹相同，所以当所述刀具在待加工面上作单向运动时，所述刀具仅能够在所述待加工面上形成一条连续且不交叉的纹路。连续且不交叉纹路的形成，能够有效提高所形成靶材溅射纹理的均匀性，有利于提高所形成靶材溅射面纹理的质量，改善靶材溅射面的粗糙度，使所形成产品达到质量要求。

参考图1，结合参考图2和图3，其中，图2是图1所示实施例中刀杆第一面的俯视结构示意图，图3是图1所示实施例中刀杆第二面的俯视结构示意图。

所述刀杆110用于固定所述刀头120，并且控制所述刀头120的运动。

本实施例中，所述刀杆110呈长条状。具体的，所述刀杆110为400mm*80mm*30mm的长条形。所述刀杆110具有相背且平行设置的第一面111和第二面120。在进行加工时，所述第一面111朝向待加工靶材的待加工面，所述第二面112背向待加工靶材。

通过所述刀杆110实现所述刀头120的固定和运动控制，能够有效扩大所述刀具的加工面积，使所述刀具能够对大尺寸的靶材溅射面进行加工，从而有利于扩大所述刀具的适用范围，有利于提高产品质量。

需要说明的是，本实施例中，所述刀杆110的材料为45#钢，而且所述刀杆110经淬火处理。淬火处理能够有效提高所述刀杆110的硬度，从而提高所述刀杆110的屈服极限、减小塑形形变，降低所述刀杆110出现形变的几率，改善所述刀具的质量，提高所述刀具进行加工过程的稳定性。

具体的，本实施例中，所述刀杆110的硬度在255HB以上，即所述刀杆110的布氏硬度值在255以上。所述刀杆110的硬度如果太小，则可能所述刀杆110的屈服极限较小，所述刀杆110可能在加工过程中出现形变，从而不利于提高加工过程的工艺稳定性，而且不利于延长所述刀具的寿命。

如图2所示，所述刀具还包括：位于所述第一面111内的第一固定槽113，设置于所述刀杆110沿延伸方向的一端。

所述第一固定槽113用于为所述刀头120固定提供空间，还用于限定所述刀头120的位置，从而降低所述刀具组装的工艺难度，提高组装精度。

所述第一固定槽113在所述第一面110内的投影形状为长方形，以适应所述刀头120的形状。本发明其他实施例中，所述第一固定槽的形状还可以是其他适应所述刀头形状规则或者不规则的形状。

所述刀杆110上具有多个第一固定孔114，用于实现所述刀头120与所述刀杆110的连接，而且所述第一固定孔114的数量为多个，所以所述第一固定孔114还用于固定所述刀头120的位置。

本实施例中，所述刀头120固定于所述第一固定槽113内，所以所述第一固定孔114位于所述第一固定槽113底部；所述第一固定槽113底部所述第一固定孔114的数量为2个。

本实施例中，所述第一固定孔114为沿垂直所述第一面111方向贯穿所述刀杆110的螺孔。本发明其他实施例中，所述第一固定孔也可以是沿垂直所述第一面方向贯穿所述刀杆的通孔，或者是沿垂直所述第一面方向贯穿所述刀杆部分厚度的螺孔。

如图2所述，所述刀具还包括：位于所述第一面111内的第二固定槽115，设置于所述刀杆111沿延伸方向的另一端，与所述第一固定槽113相对设置。此外，本实施例中，所述刀具还包括：配重件(图中未示出)，固定于所述第二固定槽115内。

本实施例中，所述刀具在进行加工时，所述刀杆110水平设置，而且所述刀具还需要在水平面内运动，因此所述配重件的使用，能够平衡所述刀具的重量，特别是平衡位于所述刀头120的重量，从而提高所述刀杆110的稳定性，提高加工所形成纹理的均匀性。

需要说明的是，本实施例中，通过配重件的设置，提高所述刀具使用时的稳定性，这种做法仅为一实例。本发明其他实施例中，所述刀杆的重量远大于所述刀头的重量，所以所述配重件的省略并不会影响所述刀具的使用稳定性。

所述第二固定槽115用于为所述配重件提供空间，还用于限定所述配重件的位置，从而降低所述刀具组装的工艺难度，提高组装精度；利用所述第二固定槽115限定所述配重件的位置，能够有效改善所述刀具在进行加工时的稳定性，有利于提高所形成纹理的均匀性。

本实施例中，所述第二固定槽115在所述第一面110内的投影形状为长方形，以适应所述配重件的形状。本发明其他实施例中，所述第二固定槽的形状还可以是其他适应所述配重件形状规则或者不规则的形状。

本实施例中，所述刀杆110为长条状，所以所述第二固定槽115位于所述第一面111内，且与所述第一固定槽113以所述刀杆110的对称中心呈中心对称设置；所述第二固定槽115底部第二固定孔116的数量为2个。

具体的，所述第二固定槽115底部具有多个第二固定孔116，用于实现所述配重件和所述刀杆110的连接，而且所述第二固定孔116的数量为多个，所以所述第二固定孔116还用于固定所述配重件的位置。

本实施例中，所述第二固定孔116为沿垂直所述第一面111方向贯穿所述刀杆110的螺孔。本发明其他实施例中，所述第二固定孔也可以是沿垂直所述第一面方向贯穿所述刀杆的通孔，或者是沿垂直所述第一面方向贯穿所述刀杆部分厚度的螺孔。

如图3所示，所述刀杆110中心位置具有安装孔117，所述安装孔117沿垂直所述第二面112的方向至少贯穿所述刀杆110的部分厚度。

所述安装孔117为所述刀柄130的安装提供空间，从而实现所述刀柄130与所述刀杆110的连接。本实施例中，所述安装孔117为通孔，沿垂直所述第二面112的方向贯穿所述刀杆110；部分所述刀柄130贯穿所述安装孔117，通过连接螺栓实现与所述刀柄110的连接。

此外，本实施例中，所述刀杆110的第二面112内还设置有具有限位槽118，所述限位槽118在所述第二面112内平行所述刀杆110延伸方向设置且贯穿所述安装孔117。

所述限位槽118用于与所述刀柄130上的限位栓相配合从而实现所述刀杆110和所述刀柄130之间相对位置关系的固定，防止所述刀杆110以所述刀柄130为轴发生转动，提高所述刀具进行加工时的工艺稳定性，有利于形成高均匀度的纹路。

参考图1，结合参考图4和图5，其中，图4是图1所示实施例中刀头沿A方向的结构示意图，图5是图4所示实施例中沿B方向的结构示意图。

所述刀头120用于对待加工靶材进行加工，从而在待加工面上形成纹路。

本实施例中，所述刀杆110第一面111沿延伸方向的一端设置有所述第一固定槽113，所以所述刀头120固定于所述第一固定槽113内。所述第一固定槽113的侧壁与所述刀头120的侧壁相互接触，能够有效防治所述刀头120在加工过程中发生位移，有利于提高加工工艺稳定性，有利于获得高均匀性的纹路。

所述刀头120的数量为1个，因此所述刀头120上仅有1个刀片122会对待加工面进行切削，所以在加工时，所述刀具在待加工面上形成1条连续的纹路，所述纹路的形状与所述刀头120在待加工面上的相对运动相同。

本实施例中，所述刀头120为镗刀刀头，包括所述刀片122和所述固定座121；所述刀片122用于对待加工面进行切削以形成纹路；所述固定座121位于所述刀片122和所述刀杆110之间，用于使所述刀片122固定于所述刀杆110上。

所述刀片122包括背向所述第一面111的切削刃122a，因此所述切削刃122a能够凸出于所述第一面111，从而与所述待加工面接触，进而实现对所述待加工面的切削；而且所述刀具在进行加工时，所述刀杆110水平设置，所以所述第一面111与水平面平行，因此背向所述第一面111的切削刃122a与水平面平行或近似平行，从而能够有利于加工过程中所产生废削的排除，有利于加工的进行，有利于延长刀具的使用寿命，有利于提高加工质量。

如图4和图5所示，所述固定座121呈L形，包括：用于与所述刀杆110固定相连的固定部123；凸起于所述固定部123表面的操作部124，沿垂直所述刀杆110延伸方向，所述操作部124设置于所述固定部123靠近所述刀杆中心的一侧；所述刀片122与所述固定部123相连。

所述固定部123用于实现与所述刀杆110的连接；所述操作部124用于固定所述刀片122。所述操作部124凸起于所述固定部123的表面，从而使所述刀片122的切削刃122a能够凸起于所述固定部123表面，也是所述刀片的切削刃122a能够凸起于所述第一面111。

本实施例中，如图1所示，沿所述刀杆110延伸方向，所述刀片122位于所述固定座121的固定部123远离所述刀杆110中心的一端，因此所述刀片122的切削刃122a不仅凸起于所述第一面111，而且沿所述刀杆110延伸方向，所述刀片122的切削刃122a还凸出于所述刀杆110的端部。使所述刀片122的切削刃122a凸起于所述第一面111且凸出于所述刀杆110的端部的做法，能够使所述刀片122的切削刃122a暴露在外，从而有利于在加工过程中观察所述刀片122与待加工面接触的部位，有利于加工过程中对所述刀具的精确控制，有利于提高加工精度。

如图4和图5所示，所述固定座121的固定部123上具有多个第一连接孔(图中未示出)，所述第一连接孔贯穿所述固定部123；所述刀头120还包括：多个第一连接件125，位于所述第一连接孔和所述第一固定孔内，用于连接所述第一固定孔和所述第一连接孔。

本实施例中，所述第一固定孔114为螺孔，所以所述第一连接件125为螺栓。所述第一连接件125螺栓的螺纹与所述第一固定孔114内壁的螺纹相互咬合。本发明其他实施例中，所述第一固定孔也可以为通孔，所以所述第一连接件包括螺栓和螺帽，所述螺栓和螺帽的螺纹相互咬合。

本实施例中，所述第一连接孔与所述第一固定孔114一一对应，所以所说第一连接孔的数量也是2个。

所述刀片122的切削刃122a与待加工面相接触，对所述待加工面进行切削，以形成纹路。

本实施例中，所述刀片122刀尖半径R为0.7mm到0.9mm范围内。具体的，所述刀片122刀尖半径R为0.8mm。

所述刀片122刀尖半径R不宜太大也不宜太小。所述刀片122刀尖半径如果太小，则采用所述刀片122进行加工时，会影响残削排出，可能会出现崩角、崩刃的问题；所述刀片122刀尖半径如果太大，则采用所述刀片122进行加工时，会使所形成纹路上毛刺过多，影响所形成纹理的质量，不利于提高所形成产品质量。

本实施例中，所述刀片122的法向后角为7°。所述刀片122的法向后角不宜太大。所述刀片122的法向后角如果太大，则会增大所述刀片122与待处理表面之间的膜层，削弱所述刀片122切削刃122a的散热条件和强度，降低刀具耐用度，容易出现崩刃的问题。

此外，所述刀片122的刀片形状为内角为80°的菱形；公差为±0.13mm的非标设计刀片，切削刃122a长度为12mm，厚度为4.76mm。所以本实施例中，所述刀片122为CCGX120408型号的刀片。

需要说明的是，对型号为CCGX120408刀片的具体描述与现有技术相同，本发明在此不再赘述。

继续参考图1，所述刀柄130用于连接所述刀杆110和机床140，所述机床140通过所述刀柄130向所述刀具施加进给，使所述刀片122的刀片能够对所述靶材溅射面进行加工。

所述刀柄130具有与所述刀杆110相连的连接端131和与所述连接端131相对的安装端132，所述刀柄130的连接端131位于所述安装孔117内。

具体的，本实施例中，所述安装孔117为通孔，即所述安装孔117的侧壁没有螺纹。所述连接端131的端面内具有盲孔134，所述盲孔134内部具有螺纹；所述刀柄130还包括：与所述盲孔134内螺纹相适应的连接螺栓135。

本发明其他实施例中，所述安装孔还可以为螺孔，所以所述刀柄的连接端表面设置有外螺纹，所述外螺纹与所述安装孔内的螺纹相互咬合，从而实现所述刀杆和所述刀柄的连接。

需要说明的是，如图1所示，所述刀柄还包括：至少部分凸起于所述刀柄侧面的限位栓133，用于设置于所述限位槽118内。

当所述刀柄130的连接端贯穿所述安装孔117后，所述限位栓133位于所述限位槽118内，从而能够防止所述刀杆110以所述刀柄130为轴发生转动，提高所述刀具进行加工时的工艺稳定性，有利于形成高均匀度的纹路。

相应的，本发明还提供一种靶材溅射面的加工方法。

参考图6，示出了本发明靶材溅射面加工方法一实施例的流程示意图。

所述靶材溅射面加工方法包括如下基本步骤：

步骤S100，提供待加工靶材，所述待加工靶材具有待加工面；

步骤S200，使所述待加工靶材在平行所述待加工面的平面内旋转；

步骤S300，提供刀具，所述刀具为本发明靶材溅射面加工的刀具；

步骤S400，在所述待加工靶材旋转的同时，使所述刀片的切削刃与所述待加工面相接触并沿所述待加工靶材旋转的径向做单向运动以进行加工。

参考图6，结合参考图1，首先执行步骤S100，提供待加工靶材200，所述待加工靶材200具有待加工面210；之后，执行步骤S200，使所述待加工靶材210在平行所述待加工面210的平面内旋转。

本实施例中，所述待加工靶材200的形状为长方体。本发明其他实施例中，所述待加工靶材的形状也可以为其他适应溅射工艺环境规则或者不规则的形状。

所述待加工靶材200的待加工面210用于形成溅射面，所述待加工面210上需要形成纹理，以使所形成的溅射面具有一定的粗糙度，从而提高所形成靶材的性能，提高溅射工艺质量。本实施例中，所述待加工靶材200待加工面210的较大。具体的，所述待加工面210的尺寸大于100mm×100mm。

本实施例中，由于后续对所述待加工面210进行加工时，所述待加工靶材200需要旋转，而且所述待加工靶材200的待加工面210面积较大，因此所述待加工靶材200的待加工面210朝上水平放置，以提高靶材溅射面加工过程中所述待加工靶材200的旋转稳定性，以提高工艺精度，有利于高均匀度纹理的获得。

使所述待加工靶材200发生旋转，以使所述待加工靶材200的待加工面210与所述刀具发生相对位移，从而实现加工。

本实施例中，所述待加工靶材200以经过所述待加工面210中心且垂直所述待加工面210的轴线旋转，以降低所述待加工靶材200旋转运动的控制难度，能够有效提高所述待加工靶材200旋转的稳定性，有利于加工精度的提高，有利于改善纹理质量。

具体的，本实施例中，所述待加工面210朝上水平设置，所以所述待加工靶材200在水平面内旋转。因此所述待加工靶材200的旋转轴线为经过所述待加工面210中心的垂线。

此外，本实施例中，通过机床140进行加工，所以通过开启机床，使所述待加工靶材200发生旋转。所以执行步骤S100，提供待加工靶材200之后，将所述待加工靶材200固定于机床140上。

继续参考图6和图1，执行步骤S300，提供刀具，所述刀具为本发明靶材溅射面加工的刀具。

所述刀具为本发明靶材溅射面的刀具，所以所述刀具的具体技术方案，参考前述靶材溅射面加工刀具的实施例，本发明在此不再赘述。

为了使所述刀具实现对所述待加工面210的加工，所述刀具刀杆110的第一面111朝向所述待加工面210。本实施例中，所述待加工面210朝上水平设置，所以所述刀具的刀杆也水平设置，所述第一面111垂直朝下。

本实施例中，通过机床140进行加工，所以执行步骤S300提供所述刀具之后，将所述刀具安装至所述机床140上。需要说明的是，为了保证加工过程中，操作人员的安全性，本实施例中，在执行步骤S300提供所述刀具，并将所述刀具安装至所述机床140上之后，开启所述机床140以使所述待加工靶材200发生旋转。

此外，水平设置所述刀具刀杆的做法，还能够使所述刀头120上刀片122的切削刃122a尽量平行于所述待加工面210，从而能够便于所述刀具对所述待加工面210进行加工时废削的排出，从而有利于加工的进行，有利于延长刀具的使用寿命，有利于提高加工质量。

之后，步骤S400，在所述待加工靶材200旋转的同时，使所述刀片122的切削刃122a与所述待加工面210相接触并使所述刀具沿所述待加工靶材旋转的径向做单向运动以进行加工。

所述待加工靶材200的旋转使所述刀具和所述待加工面发生相对位移，所述刀片122的切削刃122a与所述待加工面210相互接触时，所述刀片122的切削刃122a会对所述待加工面210内的材料进行切削，从而在所述待加工面210内形成连续纹路。

所述刀具沿所述待加工靶材200旋转径向做单向运动，因此所以所述刀片122和所述待加工面210之间相互运动的运动轨迹并不会发生交叉，所以所述刀片122在所述待加工面210上所形成纹路也不会发生交叉，连续且不交叉纹路的形成，能够有效提高所形成靶材溅射纹理的均匀性，有利于提高所形成靶材溅射面纹理的质量，改善靶材溅射面的粗糙度，使所形成产品达到质量要求。

具体的，本实施例中，在进行加工过程中，所述刀具做直线运动。所述刀具的直线运动和所述待加工靶材的旋转运动相叠加，所述刀具在所述待加工面210上形成连续螺旋纹路。使所述刀具做直线运动的做法，能够降低所述刀具运动的控制难度，有利于降低工艺难度，提高加工精度，有利于良率的提高，有利于加工质量的提高。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (21)

1.一种靶材溅射面加工的刀具，其特征在于，包括：

刀杆，所述刀杆呈长条状，具有相对设置的第一面和第二面；

位于所述第一面上的刀头，固定于所述刀杆沿延伸方向的一端，所述刀头包括：固定座，与所述刀杆固定相连；刀片，与所述固定座相连，所述刀片包括背向所述第一面的切削刃；

所述刀具还包括：位于所述第一面内的第一固定槽，设置于所述刀杆沿延伸方向的一端；所述刀头固定于所述第一固定槽内且至少所述刀片的切削刃凸出于所述第一面；位于所述第一面内的第二固定槽，设置于所述刀杆沿延伸方向的另一端，与所述第一固定槽相对设置；配重件，固定于所述第二固定槽内；

所述固定座包括：用于与所述刀杆固定相连的固定部；凸起于所述固定部表面的操作部，沿垂直所述刀杆延伸方向，所述操作部设置于所述固定部靠近所述刀杆中心的一侧；所述刀片与所述操作部相连；沿所述刀杆延伸方向，所述刀片位于所述固定座的操作部远离所述刀杆中心的一端。

2.如权利要求1所述的刀具，其特征在于，所述刀头的数量为1个。

3.如权利要求1所述的刀具，其特征在于，所述刀杆的材料为45#钢。

4.如权利要求1所述的刀具，其特征在于，所述刀杆经淬火处理。

5.如权利要求1所述的刀具，其特征在于，所述刀杆的硬度在255HB以上。

6.如权利要求1所述的刀具，其特征在于，所述刀头为镗刀刀头。

7.如权利要求1所述的刀具，其特征在于，所述刀杆上具有多个第一固定孔，沿垂直所述第一面指的方向，所述第一固定孔至少贯穿所述刀杆的部分厚度；

所述固定座的固定部上具有多个第一连接孔，所述第一连接孔贯穿所述固定部；

所述刀头还包括：多个第一连接件，位于所述第一连接孔和所述第一固定孔内，用于连接所述第一固定孔和所述第一连接孔。

8.如权利要求7所述的刀具，其特征在于，所述第一固定孔为螺孔，所述第一连接件为螺栓。

9.如权利要求7所述的刀具，其特征在于，所述第一固定孔为通孔，所述第一连接件包括螺栓和螺帽。

10.如权利要求1所述的刀具，其特征在于，第二固定槽底部具有多个第二固定孔，沿垂直所述第一面指的方向，所述第二固定孔至少贯穿所述刀杆的部分厚度。

11.如权利要求1所述的刀具，其特征在于，所述刀片刀尖半径为0.8mm范围内。

12.如权利要求1所述的刀具，其特征在于，所述刀具还包括：刀柄，与所述刀杆相连。

13.如权利要求12所述的刀具，其特征在于，所述刀杆中心位置具有安装孔，所述安装孔沿垂直所述第二面的方向至少贯穿所述刀杆的部分厚度；

所述刀柄具有与所述刀杆相连的连接端和与所述连接端相对的安装端，所述刀柄的连接端位于所述安装孔内。

14.如权利要求13所述的刀具，其特征在于，所述安装孔为螺孔，所述刀柄的连接端表面设置有与所述安装孔内螺纹相适应的外螺纹。

15.如权利要求13所述的刀具，其特征在于，所述安装孔为通孔；所述连接端的端面内具有盲孔，所述盲孔内部具有螺纹；所述刀柄还包括：与所述盲孔内螺纹相适应的连接螺栓。

16.如权利要求15所述的刀具，其特征在于，所述刀杆的第二面内具有限位槽，所述限位槽在所述第二面内平行所述刀杆延伸方向设置且贯穿所述安装孔；

所述刀柄还包括：至少部分凸起于所述刀柄侧面的限位栓，用于设置于所述限位槽内。

17.一种靶材溅射面的加工方法，其特征在于，包括：

提供待加工靶材，所述待加工靶材具有待加工面；

使所述待加工靶材在平行所述待加工面的平面内旋转；

提供刀具，所述刀具如权利要求1至权利要求16任意一项权利要求所述；

在所述待加工靶材旋转的同时，使所述刀片的切削刃与所述待加工面相接触并使所述刀具沿所述待加工靶材旋转的径向做单向运动。

18.如权利要求17所述的加工方法，其特征在于，所述待加工面朝上水平设置；

所述待加工靶材在水平面内旋转；所述刀具的刀杆水平设置。

19.如权利要求17所述的加工方法，其特征在于，所述待加工靶材以经过所述待加工面中心且垂直所述待加工面的轴线旋转。

20.如权利要求17所述的加工方法，其特征在于，所述待加工面的尺寸大于100mm×100mm。

21.如权利要求17所述的加工方法，其特征在于，在进行加工的过程中，所述刀具做直线运动。

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