CN108994463A - 掩膜板组件、切割初始柔性显示面板的切割设备及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种掩膜板组件，所述掩膜板组件用于切割初始柔性显示面板的过程中，所述掩膜板组件包括至少一个掩膜板，所述掩膜板包括限位框和限位板，所述限位框环绕所述限位板设置，且所述限位板的一个侧面与所述限位框固定相连，所述限位板的其余侧面与限位框上与之相对的内侧面之间存在间隔，所述限位框和所述限位板上朝向一致的表面共同形成为限位面，所述限位面用于与所述初始柔性显示面板贴合。本发明还提供了一种用于切割初始柔性显示面板的切割设备以及方法，所述掩膜板组件可以防止初始柔性显示面板的切割区的边缘发生翘曲。

Description

掩膜板组件、切割初始柔性显示面板的切割设备及方法

技术领域

本发明涉及柔性显示面板的切割技术领域，具体地，涉及一种掩膜板组件、一种用于切割初始柔性显示面板的切割设备以及一种切割初始柔性显示面板的方法。

背景技术

柔性显示面板的生产工艺中包括切割工艺，现有技术中所采用的切割工艺，主要是将所述柔性显示面板直接吸附在切割机台上进行单束激光切割，切割完成后的柔性显示面板容易在切割区的边缘处发生翘曲、出现气泡，并且热影响区的尺寸和碳化区的尺寸较大，影响产品的良率，不利于实现所述柔性显示面板的窄边框化。

因此，如何设计一种切割初始柔性显示面板的方法，以使得通过该方法切割得到的所述柔性显示面板，边缘发生翘曲以及出现气泡的情况减少、热影响区以及碳化区尺寸变小、且具有较高的产品良率成为亟需解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种掩膜板组件、一种用于切割初始柔性显示面板的切割设备以及一种切割初始柔性显示面板的方法，所述掩膜板组件用于执行切割初始柔性显示面板，可以防止所述初始柔性显示面板的切割区的边缘发生翘曲。

为了解决上述技术问题，作为本发明第一个方面，提供了一种掩膜板组件，所述掩膜板组件用于切割初始柔性显示面板的过程中，其中，所述掩膜板组件包括至少一个掩膜板，所述掩膜板包括限位框和限位板，所述限位框环绕所述限位板设置，且所述限位板的一个侧面的至少一部分与所述限位框固定相连，所述限位板的其余侧面与限位框上与之相对的内侧面之间存在间隔，所述限位框和所述限位板上朝向一致的表面共同形成为限位面，所述限位面用于与所述初始柔性显示面板贴合。

优选地，所述掩膜板组件包括至少一对所述掩膜板。

优选地，所述初始柔性显示面板包括显示面板区、绑定区、切除区和切割区，所述绑定区与所述切除区形成闭环，以环绕所述显示面板区，所述切割区位于所述切除区和所述显示面板区之间，所述限位面位于所述限位框上的部分用于与所述切除区贴合、所述间隔用于与所述切割区对齐、所述限位面位于所述限位板上的部分用于与所述显示面板区贴合，所述限位面位于所述限位框上、且与所述限位板相连的部分与所述绑定区对应。

优选地，在同一对掩膜板中，其中一个所述掩膜板上设置有容纳槽，所述容纳槽对应所述绑定区。

优选地，所述掩膜板组件还包括至少一个支撑框，每对所述掩膜板都对应有所述支撑框，所述支撑框用于设置在同一对掩膜板之间，以对其中一个掩膜板进行支撑，且所述支撑框具有开口，所述开口用于容纳所述初始柔性显示面板，所述支撑框的厚度不小于所述初始柔性显示面板的厚度。

优选地，所述掩膜板组件还包括对位装置，所述对位装置用于将掩膜板与所述初始柔性显示面板进行对位，以使得掩膜板的间隔与所述初始柔性显示面板的切割区对齐。

优选地，所述对位装置包括摄像头，所述摄像头设置在所述限位框上，用于拍摄所述初始柔性显示面板上的标记位置的图像。

优选地，所述对位装置包括多个所述摄像头，且每个掩膜板上设置有至少两个所述摄像头。

优选地，制作所述掩膜板的材料包括不透明的金属或者不透明的金属化合物。

作为本发明第二个方面，提供了一种用于切割初始柔性显示面板的切割设备，所述设备包括激光发生装置和掩膜板组件，其中，所述掩膜板组件为本发明所提供的掩膜板组件，所述激光发生装置用于朝向所述间隔发射激光束。

优选地，所述激光发生装置包括激光源和至少一个光路引导单元，所述光路引导单元与所述掩膜板一一对应，

所述光路引导单元包括反光镜，所述激光源能够朝向所述反光镜发出激光，且所述反光镜能够将激光源发出的光引导至相应的掩膜板的间隔中，所述发光镜的反光面的角度能够调节，以使得相应的激光束能够沿所述间隔移动。

优选地，所述光路引导单元还包括聚焦透镜，所述聚焦透镜设置在所述反光镜与该反光镜对应的掩膜板之间，所述聚焦透镜用于对所述反光镜反射的激光束进行聚焦，且所述聚焦透镜能够随所述反光镜的转动而移动，并使得聚焦后的激光束能够沿所述间隔移动。

作为本发明第三个方面，提供了一种利用本发明所提供的切割设备切割初始柔性显示面板的方法，其中，所述方法包括：

将初始柔性显示面板与掩膜板的限位面相对设置；

对位所述初始柔性显示面板与所述掩膜板；

提供激光束，所述激光束射入所述间隔。

优选地，所述初始柔性显示面板包括显示面板区、绑定区、切除区和切割区，所述绑定区与所述切除区形成闭环，以环绕所述显示面板区，所述切割区位于所述切除区和所述显示面板区之间，其中，在对位所述初始柔性显示面板与所述掩膜板的步骤中，使得所述初始柔性显示面板的切割区与所述间隔对齐。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1为本发明所提供的掩膜板组件中，一对掩膜板中的一个的结构示意图；

图2为本发明所提供的掩膜板组件中，一对掩膜板中的另一个的结构示意图；

图3为采用本发明所提供的方法切割初始柔性显示面板时，掩膜板与初始柔性显示面板的位置关系示意图；

图4为本发明所提供的用于切割初始柔性显示面板的设备，执行切割时激光束的光路示意图；

图5为本发明所述初始柔性显示面板的结构示意图；

图6为本发明所提供的切割初始柔性显示面板的方法的流程示意图。

附图标记说明

100a、100b：掩膜板 101：限位框

102：限位板 103：间隔

104：摄像头 105：容纳槽

201：激光发生装置 202：反光镜

203：聚焦透镜 204：支撑框

300：初始柔性显示面板 301：预切除区

302：显示面板区 303：切除区

304：切割区 305：绑定区

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

经过本发明的发明人反复研究发现，现有技术中切割完成后的柔性显示面板容易在切割区的边缘处发生翘曲、出现气泡，并且热影响区的尺寸和碳化区的尺寸较大的原因在于：

现有技术中，在对初始柔性显示面板无任何遮挡的情况下，直接采用单束激光进行切割，在切割过程中，激光束照先射到所述柔性显示面板的上表面，此时，由于柔性显示面板自身结构中膜层结构复杂，且膜层堆叠较厚，所述柔性显示面板的下表面还未接触到激光束，换言之，需要一段时间激光束才能切割到所述柔性显示面板的下表面，从而导致所述柔性显示面板的上表面和下表面出现温度差，使得切割完成后的柔性显示面板容易在切割区的边缘由于热膨胀系数不同出现翘曲。此外，由于柔性显示面板自身结构中膜层结构复杂，且膜层堆叠较厚，采用上述单束激光进行切割时，切割精度也较难控制。

并且，采用单束激光进行切割时需要的能量相对较大，导致在柔性显示面板的切割区的边缘处，由于激光的烧灼造成的热影响区以及碳化区较大。

此外，由于单束激光进行切割时的能量相对较大，因此切割过程中，在所述柔性显示面板的切边缘会发生一定程度的熔融，熔融后的液态物质中会溶解一定的周围环境中的气体，当切割结束时，液态物质降温固化时对气体的溶解度降低，但是没有及时溢出的气体就被包裹在固体中，导致柔性显示面板的切割区的边缘有一定气泡出现，导致切割边的形状变化。

基于上述原因，本发明的发明人考虑在采用激光对柔性显示面板进行切割时，可以在所述柔性显示面板上设置一层掩膜板，利用掩膜板的保护和固定作用，防止在切割过程中柔性显示面板边缘发生翘曲，以至少解决上述技术问题之一。

有鉴于此，作为本发明的第一个方面，提供了一种掩膜板组件，所述掩膜板组件用于切割初始柔性显示面板的过程中，其中，所述掩膜板组件包括至少一个掩膜板，所述掩膜板包括限位框和限位板，所述限位框环绕所述限位板设置，且所述限位板的一个侧面的至少一部分与所述限位框固定相连，所述限位板的其余侧面与限位框上与之相对的内侧面之间存在间隔，所述限位框和所述限位板上朝向一致的表面共同形成为限位面，所述限位面用于与所述初始柔性显示面板贴合。

首先需要说明的是，所述掩膜板需要根据预期得到的柔性显示面板的参数(包括图形、尺寸等)进行设计，以使得所述掩膜板与所述柔性显示面板的匹配，从而利用所述掩膜板对所述初始柔性显示面板进行切割，得到预期的柔性显示面板。

其中，所述限位框和所述限位板可以单独制作，然后通过组装，使得所述限位板的一个侧面与所述限位框固定相连，所述限位板的其余侧面与限位框上与之相对的内侧面之间存在间隔，形成所述掩膜板，当然，也可以通过一次成型制作所述掩膜板。

为便于理解所述掩膜板的结构，下面结合图1进行描述，如图所示，在掩膜板100a中，限位框101环绕限位板102设置，图中虚线所示，即为限位框101的内侧面与限位板102上与该内侧面相对的侧面之间的间隔103。

如上所述，间隔103构成了掩膜板100a的透光区，掩膜板100a的间隔103以外的区域对激光有阻挡作用。

在执行切割工艺时，将初始柔性显示面板与所述掩膜板的限位面贴合。激光束穿过间隔103射到所述初始柔性显示面板的表面，以实现对所述初始柔性显示面板的切割，换言之，间隔103限定了激光束的切割路径，该路径与所述初始柔性显示面板的切割区位置对齐，基于此路径对所述初始柔性显示面板进行切割，就可以得到预期的柔性显示面板。

由于在切割过程中掩膜板与初始柔性显示面板相贴合，因此切割过程中产生的热量会传导至掩膜板上，实现更好的散热，从而可以降低切割过程中柔性显示面板的切割区温度。由于切割过程切割区温度降低，切割后获得的柔性显示面板的边缘处受热影响较小，因此，产生熔融气泡的可能性也被降低，从而有利于实现精确切割(即，无需预留过多边框)，进而实现窄边框的柔性显示装置。并且，在切割过程中，所述掩膜板可以对初始柔性显示面板起到限位作用，可以防止切割获得的柔性显示面板的边缘翘曲。

为了实现精确切割，优选地，所述初始柔性显示面板包括显示面板区、绑定区、切除区和切割区，所述绑定区与所述切除区形成闭环，以环绕所述显示面板区，所述切割区位于所述切除区和所述显示面板区之间，所述限位面位于所述限位框上的部分用于与所述切除区贴合、所述间隔用于与所述切割区对齐、所述限位面位于所述限位板上的部分用于与所述显示面板区贴合，所述限位面位于所述限位框上、且与所述限位板相连的部分与所述绑定区对应。

需要解释的是，在所述初始柔性显示面板的绑定区内形成有驱动电路。因此，在切割时无需将绑定区切除，正因如此，本发明所提供的掩膜板中，间隔103并非封闭边框。为了将初始柔性显示面板上的多余区域切除，在切割初始柔性显示面板时，需要预先将初始柔性显示面板上预切除区位置的面板切除。

为便于理解，结合图5对初始柔性显示面板进行描述，如图所示，初始柔性显示面板300包括两个预切除区301，两个预切除区301分别位于初始柔性显示面板300的角部，且分别与绑定区305、切除区303以及切割区304相邻，以使得在切除两个预切除区301位置的面板后，位于绑定区305的面板与位于切除区303的面板分离，同时，位于绑定区305的面板依然与位于显示面板区302的面板连接。

为了切除位于该预切除区301位置的面板，需要对所述初始柔性显示面板300切割两次，即沿横向切割口和纵向切割口切割，当初始柔性显示面板300与所述掩膜板贴合时，所述限位框与限位板固定相连处的延长线落在所述限位框上的位置与所述横向切割口对应，在初始柔性显示面板300所在平面内，与所述横向切割口垂直的所述间隔的延长线，落在所述绑定区的位置与所述纵向切割口对应。

在执行切割工艺时，可以先切除初始柔性显示面板300上预切除区301位置的面板，之后再沿所述间隔切割，或者，也可以先沿所述间隔切割，之后再切除初始柔性显示面板300上预切除区301位置的面板，以将所述切除区与所述显示面板区分离。上述两步的执行顺序不影响对初始柔性显示面板300的切割效果。

在本发明中，初始显示面板可以为具有触控层的显示面板，在对该初始显示面板进行切割时可以将触控层朝上设置，初始显示面板的背膜朝下设置。

本发明所提供的掩膜板组件中，掩膜板既可以单独使用、又可以成对使用。

当单独使用所述掩膜板时，将待切割的初始柔性显示面板设置在基台上，并将掩膜板的限位面朝向初始柔性显示面板设置，并且限位面与初始柔性显示面板贴合。

当成对使用所述掩膜板时，所述掩膜板组件包括至少一对所述掩膜板，具体地，可以将一个掩膜板设置在机台上，并且限位面朝上，将初始柔性显示面板设置在该限位面上，然后再将另一个掩膜板设置在柔性显示面板上，并且该另一个掩膜板的限位面与柔性显示面板的上表面贴合。

在这种实施方式中，一个掩膜板位于初始柔性显示面板的上方、一个掩膜板位于初始柔性显示面板的下方，可以同时向两个掩膜板的间隔中照射激光，从而实现上下两个方向同时切割初始柔性显示面板。在切割的过程中，初始柔性显示面板的上下表面同时受热、温差小，从而不会产生因上下表面温差而造成的翘曲。

与此同时，从所述初始柔性显示面板的上、下两侧同时采用较低能量的激光束进行切割，这样就既降低了激光束的能量，又保证了切割效率。

下面结合图3对上述实施方式进行详细描述，如图所示，初始柔性显示面板300设置在两个掩膜板100a之间，在执行切割工艺时，激光束从上、下两个方向同步通过间隔103所限定的切割路径，照射到初始柔性显示面板300的切割区，实现对初始柔性显示面板300的上、下两侧同步切割，其中，从上下两个方向到达所述切割区的激光束的能量相同。

由于用于双侧切割的激光束的能量小于单侧切割时采用单束激光束的能量，因此，切割过程中初始柔性显示面板300的切割区的边缘出现熔融的情况得到缓解，从而减少了气体溶解于熔融后液态物质中的情况，进而降低初始柔性显示面板300的切割区的边缘气泡数量，并且，激光束能量减小后，在切割过程中对初始柔性显示面板300的切割区的烧灼作用也相对减弱，从而使得所述柔性显示面板的切割区的边缘的碳化区、热影响区的尺寸减小。

并且，由于激光束从上、下两个方向对初始柔性显示面板300执行同步切割，且从上下两个方向到达所述切割区的激光束的能量相同，因此，初始柔性显示面板300的上、下面的切割区不会存在温度差，从而防止所述柔性显示面板的切割区的边缘由于热膨胀系数不同而发生翘曲，同时，两个掩膜板100a的限位面对初始柔性显示面板的夹持作用，也会在一定程度上防止所述柔性显示面板的切割区的边缘发生翘曲。

此外，上述双侧切割时，其中任意一侧激光束需要切割的初始柔性显示面板300的厚度，仅为单侧切割时激光束需要切割的初始柔性显示面板300的厚度的一半左右，加上所述掩膜板的间隔对切割路径的限定，使得切割精度更容易控制。

在本发明中，所述掩膜板组件还包括至少一个支撑框，每对所述掩膜板都对应有所述支撑框，所述支撑框用于设置在同一对掩膜板之间，以对其中一个掩膜板进行支撑，且所述支撑框的开口用于容纳所述初始柔性显示面板，所述支撑框的厚度不小于所述初始柔性显示面板的厚度。

为便于理解，下面结合图3对所述支撑框进行说明，在初始柔性显示面板300与位于其下方的掩膜板100a对位过程结束后，支撑框204设定在初始柔性显示面板300的边缘，以固定初始柔性显示面板300，防止其在切割过程中移动，保证激光束一直在所述切割区切割，从而保证柔性显示面板的产品良率。此外，支撑框204可以沿掩膜板100a的厚度方向调节高度，用于支撑位于初始柔性显示面板300上方的掩膜板100a，防止位于上方的掩膜板100由于自身重力压坏初始柔性显示面板300。

其中，优选地，支撑框204厚度与初始柔性显示面板300厚度相同，在保证位于初始柔性显示面板300上方的掩膜板100a的限位面与初始柔性显示面板300贴合的同时，也避免掩膜板100a压坏初始柔性显示面板300。

作为一种可替代的实施方式，所述掩膜板组件可以包括多个支撑柱，在执行切割工艺时，将支撑柱设置在两个掩膜板之间，支撑柱的高度与待切割的初始柔性显示面板的厚度相同。

考虑到所述初始柔性电路板的表面并非平整的，会存在一些容易损坏的结构，例如电路结构等，因此，为了避免所述掩膜板与所述初始柔性显示面板贴合时对所述电路结构造成损伤，发明人做出以下设计。

具体地，在本发明中，在同一对掩膜板中，其中一个所述掩膜板上设置有容纳槽，所述容纳槽的开口位于包括该容纳槽的掩膜板的限位面上，所述容纳槽对应所述绑定区中。

如上所述，所述掩膜板与所述初始柔性显示面板贴合时，所述容纳槽用于容纳设置在所述初始柔性显示面板表面上的电路结构，从而防止所述掩膜板对所述电路结构造成损伤。

作为一种实施方式，如图2所示，在掩膜板100b中包括容纳槽105，该容纳槽105为沿掩膜板100b厚度方向的形成的半刻蚀区域，且容纳槽105的设定位置避开间隔103，以避免影响切割工艺执行。此外，在制造掩膜板100b时，容纳槽105可以采用湿法刻蚀工艺形成。

如前所述，如图3所示的实施方式中，采用两个掩膜板100a对初始柔性显示面板300进行夹持，结合图2所示的实施方式，可以将两个掩膜板100a中的一个换成掩膜板100b，以进一步实现上述双侧切割的同时，保证所述初始柔性显示面板表面上的电路结构不受损伤。

在采用激光束对所述初始柔性显示面板执行切割的工艺步骤中，需要将所述掩膜板的限位面与所述初始柔性显示面板贴合，但是直接贴合后，所述掩膜板与所述初始柔性显示面板的位置关系存在偏差，并不能保证所述掩膜板的间隔与所述初始柔性显示面板的切割区对齐。为此，在本发明中，所述掩膜板组件还包括对位装置，所述对位装置用于将掩膜板与所述初始柔性显示面板进行对位，以使得掩膜板的间隔与所述初始柔性显示面板的切割区对齐。

在本发明中，所述对位装置包括摄像头，所述摄像头设置在所述限位框上，用于拍摄所述初始柔性显示面板上的标记位置的图像。

为了便于实现所述对位过程，在所述初始柔性显示面板的边缘设置有标记(Mark)，在对位过程中，所述摄像头(CCD)拍摄所述标记位置的图像，并将拍摄到的所述图像发送给切割设备(该切割设备用于执行对初始柔性显示面板的切割工艺)的控制器，所述控制器会根据所述图像判断所述掩膜板的间隔与所述初始柔性显示面板的切割区是否对齐，若未对齐，则所述控制器控制相应的对位执行器去执行对位，使得所述掩膜板的间隔与所述初始柔性显示面板的切割区对齐；若已经对齐，则省略控制器控制相应的对位执行器执行对位的步骤。

在本发明中，所述初始柔性显示面板为对母板宽切获得的显示面板。在宽切时需要用到宽切标记，宽切完成后，宽切标记仍然位于初始柔性显示面板上。在本发明中，为了简化工艺，可以将所述宽切标记用作上述标记。当摄像头拍摄的图像中存在所述标记时，认定掩膜板的间隔与初始柔性显示面板的切割区对齐。

进一步地，为了保证所述掩膜板与所述初始柔性显示面板的对位准确性，在本发明中，所述对位装置包括多个所述摄像头，且每个所述掩膜板上设置有至少两个所述摄像头。

需要说明的是，当每个所述掩膜板上的摄像头数量只有两个时，所述摄像头应该设置在所述限位框的边缘，并且保证两个所述摄像头之间的连线构成所述掩膜板的一条对角线。

当然，本发明并不限于此，所述摄像头的数量也可以超过两个，考虑到摄像头成本以及对位准确性，作为一种优选地实施方式，在如图1和图2所示的掩膜板中，摄像头104的数量为四个，且分别设置在所述限位框的角上，以使得四个摄像头104之间的连线包括两条对角线，所述对角线与所述掩膜板的对角线位置重合。

由于所述掩膜板需要具有良好的热传导性以及对激光的阻挡作用因此，在本发明中，制作所述掩膜板的材料包括不透明的金属或者不透明的金属化合物。

作为本发明的第二个方面，提供了一种用于切割初始柔性显示面板的切割设备，所述切割设备包括激光发生装置和掩膜板组件，其中，所述掩膜板组件为本发明所提供的所述掩膜板组件，所述激光发生装置用于朝向所述间隔发射激光束，以实现对所述初始柔性显示面板的切割。

如上所述，本发明采用所述激光发生装置和所述掩膜板组件对所述初始柔性显示面板进行切割，关于掩膜板结构已经在前文中详细描述，在此不再赘述。

由于掩膜板具有良好的导热性，因此，在所述掩膜板的保护下，在切割工艺执行过程中，由激光产生的部分热量会被所述掩膜板传递走，从而在一定程度上降低了所述柔性显示面板的上、下表面的温度差，进而在一定程度上防止所述柔性显示面板的切割区的边缘由于热膨胀系数不同发生翘曲，同时，由于所述掩膜板的限位面与所述柔性显示面板贴合，因此，所述限位面也会在所述柔性显示面板的切割区的边缘发生翘曲时，提供阻力，以进一步防止所述柔性显示面板的切割区的边缘发生翘曲。

此外，由于所述激光发生装置发射的激光束的方向与所述掩膜板的间隔的入口朝向存在不对应的情况，并且所述激光发生装置一般都是固定在某一个位置，不便于移动，因此，就需要对所述激光束的光路进行引导，以使得所述激光束能够射入所述掩膜板的间隔，实现对所述初始柔性显示面板的切割。

有鉴于此，在本发明中，所述激光发生装置包括激光源和至少一个光路引导单元，所述光路引导单元与所述掩膜板一一对应，所述光路引导单元包括反光镜，所述激光源能够朝向所述反光镜发出激光，且所述反光镜能够将激光源发出的光引导至相应的掩膜板的间隔中，所述发光镜的反光面的角度能够调节，以使得相应的激光束能够沿所述间隔移动。

如上所述，由于所述光路引导单元与所述掩膜板一一对应，因此，当所述激光发生装置仅包括一个光路引导单元时，对应的所述掩膜板也仅为一个，此时采用所述切割设备对所述初始柔性显示面板执行单侧切割。

对于上述单侧切割，由于掩膜板具有良好的导热性，因此，在所述掩膜板的保护下，在切割工艺执行过程中，由激光产生的部分热量会被所述掩膜板传递走，从而在一定程度上降低了所述柔性显示面板的上下表面的温度差，进而在一定程度上防止所述柔性显示面板的切割区的边缘由于热膨胀系数不同发生翘曲，同时，由于所述掩膜板的限位面与所述柔性显示面板贴合，因此，所述限位面也会在所述柔性显示面板的切割区的边缘发生翘曲时，提供阻力，以进一步防止所述柔性显示面板的切割区的边缘发生翘曲。

当所述激光发生装置包括两个光路引导单元时，对应的所述掩膜板为两个，此时采用所述切割设备对所述初始柔性显示面板执行双侧切割，两个掩膜板与初始柔性显示面板的位置关系如图3所示，初始柔性显示面板300设置在两个掩膜板100a之间，在执行切割工艺时，激光束从上、下两个方向同步通过间隔103所限定的切割路径，照射到初始柔性显示面板300的切割区，实现对初始柔性显示面板300的上、下两侧同步切割。

其中，作为一种实时方式，在上述执行双侧切割时，所述激光发生装置包括两个激光源，两个所述激光源发射的激光束的能量相同，其中一个激光源发射具有第一传播方向的第一激光束，另一个激光源发射具有第二传播方向的第二激光束，所述第一传播方向和所述第二传播方向不同。

进一步地，基于上述实施方式，结合图4对所述发光镜的反光面的角度能够调节，以将相应的激光束引导至间隔中不同的位置进行解释说明，其中，两个掩膜板、以及设置在两个掩膜板之间的初始柔性显示面板形成结构A：

如图4所示，所述激光发生装置发射出第一激光束和第二激光束，为了使得所述第一激光束从结构A的上侧射入所述掩膜板的间隔中，且使得所述第二激光束从结构A的下侧射入所述掩膜板的间隔中，本发明中，所述切割设备包括光路控制器和反光镜调节器，所述光路控制器向所述反光镜调节器发送偏转指令，所述反光镜调节器根据接收到的所述偏转指令调节反光镜202的反射面角度，以使得反光镜202引导所述第一激光束沿位于所述初始柔性显示面板的上方的掩膜板的间隔移动，且使得反光镜202引导所述第二激光束沿位于所述初始柔性显示面板的下方的掩膜板的间隔移动。

进一步地，在本发明中，如图4所示，所述光路引导单元还包括聚焦透镜203，聚焦透镜203设置在反光镜202与该反光镜202对应的掩膜板之间，聚焦透镜203用于对反光镜202反射的激光束进行聚焦，且聚焦透镜203能够随反光镜202的转动而移动，并使得聚焦后的激光束能够沿所述间隔移动。

容易理解的是，聚焦之后所述激光束的光线更集中，有利于提升所述激光束的切割精度和切割效率。

需要说明的是，所述光路控制器的执行指令可以根据切割工艺需求参数设定，所述参数包括由掩膜板的间隔形成的切割路径的各项数据。

在上述双侧切割工艺中，用于双侧切割的激光束的能量小于单侧切割时采用单束激光束的能量，因此，切割过程中初始柔性显示面板300的切割区的边缘出现熔融的情况得到缓解，从而减少了气体溶解于熔融后液态物质中的情况，进而降低初始柔性显示面板300的切割区的边缘气泡数量，并且，激光束能量减小后，在切割过程中对初始柔性显示面板300的切割区的烧灼作用也相对减弱，从而使得所述柔性显示面板的切割区的边缘的碳化区、热影响区的尺寸减小。

并且，由于激光束从上、下两个方向对初始柔性显示面板300执行同步切割，且从上下两个方向到达所述切割区的激光束的能量相同，因此，初始柔性显示面板300的上、下面的切割区不会存在温度差，从而防止所述柔性显示面板的切割区的边缘由于热膨胀系数不同而发生翘曲，同时，两个掩膜板100a的限位面对初始柔性显示面板的夹持作用，也会在一定程度上防止所述柔性显示面板的切割区的边缘发生翘曲。

此外，上述双侧切割时，其中任意一侧激光束需要切割的初始柔性显示面板300的厚度，仅为单侧切割时激光束需要切割的初始柔性显示面板300的厚度的一半左右，加上所述掩膜板的间隔对切割路径的限定，使得切割精度更容易控制。

在本发明中，执行上述切割工艺步骤之前，还包括执行对位的步骤，以保证切割的准确性，提升产品良率。有鉴于此，所述切割设备还包括对位控制器和对位执行器，所述对位控制器用于获取所述摄像头拍摄到的所述初始柔性显示面板上的标记位置的图像，并根据所述图像判断所述掩膜板的间隔与所述初始柔性显示面板的切割区是否对齐，若未对齐，则所述对位控制器控制相应的对位执行器去执行对位，使得所述掩膜板的间隔与所述初始柔性显示面板的切割区对齐；若已经对齐，则省略所述对位步骤。

需要说明的是，所述对位控制器的执行指令可以根据工艺需求设定。

作为本发明第三个方面，提供了一种利用本发明所提供的切割设备切割初始柔性显示面板的方法，其中，如图6所示，所述方法包括：

步骤S101、将初始柔性显示面板与掩膜板相对设置；

步骤S102、对位所述初始柔性显示面板与所述掩膜板；

步骤S103、提供激光束，所述激光束射入所述间隔。

如上所述，步骤S101至步骤S103执行于本发明所提供的所述切割设备中，其中，所述掩膜板为本发明所提供的所述掩膜板。

需要说明的是，所述切割初始柔性显示面板的方法还包括分离步骤，所述分离步骤用于将所述初始柔性显示面板的切除区与所述初始柔性显示面板的显示面板区分离。

以图5所示初始柔性显示面板为例，所述分离步骤可以在执行步骤S101之前进行，在初始柔性显示面板300上沿所述横向切割口和所述纵向切割口切割，形成预切除区301，之后执行步骤S101至步骤S103，实现所述切除区与所述显示面板区分离。当然，也可以先执行步骤S101至步骤S103，之后再对初始柔性显示面板300沿所述横向切割口和所述纵向切割口切割，形成预切除区301，以实现所述切除区与所述显示面板区分离。

首先，对于上述步骤S101，作为一种实施方式，可以将初始柔性显示面板设置在工艺腔室的基台上，然后，将掩膜板设置在所述初始柔性显示面板上方，且所述限位面与所述初始柔性显示面板上表面贴合。之后执行步骤S102进行对位，执行步骤S103进行切割。由此可知，通过执行上述步骤S101至S103，实现了对所述初始柔性显示面板的单侧切割。

由于掩膜板具有良好的导热性，因此，在所述掩膜板的保护下，在切割工艺执行过程中，由激光产生的部分热量会被所述掩膜板传递走，从而在一定程度上降低了所述柔性显示面板的上下表面的温度差，进而在一定程度上防止所述柔性显示面板的切割区的边缘由于热膨胀系数不同发生翘曲，同时，由于所述掩膜板的限位面与所述柔性显示面板贴合，因此，所述限位面也会在所述柔性显示面板的切割区的边缘发生翘曲时，提供阻力，以进一步防止所述柔性显示面板的切割区的边缘发生翘曲。

如上文中所述，所述初始柔性显示面板包括显示面板区、绑定区、切除区和切割区，所述绑定区与所述切除区形成闭环，以环绕所述显示面板区，所述切割区位于所述切除区和所述显示面板区之间。因此，在步骤S102中，使得所述初始柔性显示面板的切割区与所述间隔对齐。

进一步地，为了进一步优化对所述初始柔性显示面板的切割效果，本发明所述切割方法还能够执行对初始柔性显示面板的双侧切割，其中，在执行双侧切割工艺时，所述掩膜板组件包括至少一对所述掩膜板。

具体地，当执行双侧切割工艺时，步骤S101包括：

步骤S1011、将一对所述掩膜板中的一个设置在基台上，且该掩膜板的限位面朝上；

步骤S1012、将所述初始柔性显示面板设置在所述掩膜板的限位面上，将支撑框设置在所述初始柔性显示面板边缘，以固定所述初始柔性显示面板；

步骤S1013、将一对所述掩膜板中的另一个设置在所述初始柔性显示面板上，该掩膜板的限位面朝向所述初始柔性显示面板，利用所述支撑框支撑该掩膜板。

如上所述，执行上述步骤之后，所述初始柔性显示面板设置在两个所述掩膜板之间，进过对位后，上、下两个掩膜板的间隔与所述初始柔性显示面板的切割区对齐，之后，提供激光束射入所述间隔，以实现对所述切割区的切割。

为便于理解上述方法，以图3所示的实施方式为例进行说明，具体地，初始柔性显示面板300设置在两个掩膜板100a之间，在执行切割工艺时，激光束从上、下两个方向同步通过间隔103所限定的切割路径，照射到初始柔性显示面板300的切割区，实现对初始柔性显示面板300的上、下两侧同步切割，其中，从上下两个方向到达所述切割区的激光束的能量相同。

在上述双侧切割步骤中，用于双侧切割的激光束的能量小于单侧切割时采用单束激光束的能量，因此，切割过程中初始柔性显示面板300的切割区的边缘出现熔融的情况得到缓解，从而减少了气体溶解于熔融后液态物质中的情况，进而降低初始柔性显示面板300的切割区的边缘气泡数量，并且，激光束能量减小后，在切割过程中对初始柔性显示面板300的切割区的烧灼作用也相对减弱，从而使得所述柔性显示面板的切割区的边缘的碳化区、热影响区的尺寸减小。

并且，由于激光束从上、下两个方向对初始柔性显示面板300执行同步切割，且从上下两个方向到达所述切割区的激光束的能量相同，因此，初始柔性显示面板300的上、下面的切割区不会存在温度差，从而防止所述柔性显示面板的切割区的边缘由于热膨胀系数不同而发生翘曲，同时，两个掩膜板100a的限位面对初始柔性显示面板的夹持作用，也会在一定程度上防止所述柔性显示面板的切割区的边缘发生翘曲。

此外，上述双侧切割时，其中任意一侧激光束需要切割的初始柔性显示面板300的厚度，仅为单侧切割时激光束需要切割的初始柔性显示面板300的厚度的一半左右，加上所述掩膜板的间隔对切割路径的限定，使得切割精度更容易控制。

在执行双侧切割时，步骤S103具体包括：

步骤S1031、提供具有第一传播方向的第一激光束和具有第二传播方向的第二激光束，所述第一传播方向和所述第二传播方向不同；

步骤S1032、引导所述第一激光束沿位于所述初始柔性显示面板的上方的所述掩膜板的间隔移动，且引导所述第二激光束沿位于所述初始柔性显示面板的下方的所述掩膜板的间隔移动。

如上所述，上述步骤用于所述双侧切割工艺中，通过对激光束的光路引导，使得所述激光束穿过所述掩膜板的间隔照射到所述切割区，以实现对所述初始柔性显示面板的切割。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (14)

1.一种掩膜板组件，所述掩膜板组件用于切割初始柔性显示面板的过程中，其特征在于，所述掩膜板组件包括至少一个掩膜板，所述掩膜板包括限位框和限位板，所述限位框环绕所述限位板设置，且所述限位板的一个侧面的至少一部分与所述限位框固定相连，所述限位板的其余侧面与限位框上与之相对的内侧面之间存在间隔，所述限位框和所述限位板上朝向一致的表面共同形成为限位面，所述限位面用于与所述初始柔性显示面板贴合。

2.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，所述掩膜板组件包括至少一对所述掩膜板。

3.根据权利要求2所述的掩膜板组件，其特征在于，所述初始柔性显示面板包括显示面板区、绑定区、切除区和切割区，所述绑定区与所述切除区形成闭环，以环绕所述显示面板区，所述切割区位于所述切除区和所述显示面板区之间，所述限位面位于所述限位框上的部分用于与所述切除区贴合、所述间隔用于与所述切割区对齐、所述限位面位于所述限位板上的部分用于与所述显示面板区贴合，所述限位面位于所述限位框上、且与所述限位板相连的部分与所述绑定区对应。

4.根据权利要求3所示的掩膜板组件，其特征在于，在同一对掩膜板中，其中一个所述掩膜板上设置有容纳槽，所述容纳槽的开口位于包括该容纳槽的掩膜板的限位面上，所述容纳槽对应所述绑定区。

5.根据权利要求2所述的掩膜板组件，其特征在于，所述掩膜板组件还包括至少一个支撑框，每对所述掩膜板都对应有所述支撑框，所述支撑框用于设置在同一对相对设置的掩膜板之间，以对其中一个掩膜板进行支撑，且所述支撑框具有开口，所述开口用于容纳所述初始柔性显示面板，所述支撑框的厚度不小于所述初始柔性显示面板的厚度。

6.根据权利要求2所述的掩膜板组件，其特征在于，所述掩膜板组件还包括对位装置，所述对位装置用于将掩膜板与所述初始柔性显示面板进行对位，以使得掩膜板的间隔与所述初始柔性显示面板的切割区对齐。

7.根据权利要求6所述的掩膜板组件，其特征在于，所述对位装置包括摄像头，所述摄像头设置在所述限位框上，用于拍摄所述初始柔性显示面板上的标记位置的图像。

8.根据权利要求7所述的掩膜板组件，其特征在于，所述对位装置包括多个所述摄像头，且每个掩膜板上设置有至少两个所述摄像头。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的掩膜板组件，其特征在于，制作所述掩膜板的材料包括不透明的金属或者不透明的金属化合物。

10.一种用于切割初始柔性显示面板的切割设备，所述设备包括激光发生装置和掩膜板组件，其特征在于，所述掩膜板组件为权利要求1至9中任意一项所述的掩膜板组件，所述激光发生装置用于朝向所述间隔发射激光束。

11.根据权利要求10所述的切割设备，其特征在于，所述激光发生装置包括激光源和至少一个光路引导单元，所述光路引导单元与所述掩膜板一一对应，

所述光路引导单元包括反光镜，所述激光源能够朝向所述反光镜发出激光，且所述反光镜能够将激光源发出的光引导至相应的掩膜板的间隔中，所述发光镜的反光面的角度能够调节，以使得相应的激光束能够沿所述间隔移动。

12.根据权利要求11所述的切割设备，其特征在于，所述光路引导单元还包括聚焦透镜，所述聚焦透镜设置在所述反光镜与该反光镜对应的掩膜板之间，所述聚焦透镜用于对所述反光镜反射的激光束进行聚焦，且所述聚焦透镜能够随所述反光镜的转动而移动，并使得聚焦后的激光束能够沿所述间隔移动。

13.一种利用权利要求10至12中任意一项所述的切割设备切割初始柔性显示面板的方法，其特征在于，所述方法包括：

将初始柔性显示面板与掩膜板的限位面相对设置；

对位所述初始柔性显示面板与所述掩膜板；

提供激光束，所述激光束射入所述间隔。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述初始柔性显示面板包括显示面板区、绑定区、切除区和切割区，所述绑定区与所述切除区形成闭环，以环绕所述显示面板区，所述切割区位于所述切除区和所述显示面板区之间，其中，在对位所述初始柔性显示面板与所述掩膜板的步骤中，使得所述初始柔性显示面板的切割区与所述间隔对齐。