CN108931893A - 一种用于pcb生产线的ldi内层对位装置及对位方法 - Google Patents

一种用于pcb生产线的ldi内层对位装置及对位方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108931893A
CN108931893A CN201710392480.4A CN201710392480A CN108931893A CN 108931893 A CN108931893 A CN 108931893A CN 201710392480 A CN201710392480 A CN 201710392480A CN 108931893 A CN108931893 A CN 108931893A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pcb substrate
pcb
ldi
manipulator
inner layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710392480.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108931893B (zh
Inventor
蔡志国
罗宜清
王志
朱俊伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Lithography Laser Technology Co Ltd
Original Assignee
Suzhou Lithography Laser Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Lithography Laser Technology Co Ltd filed Critical Suzhou Lithography Laser Technology Co Ltd
Priority to CN201710392480.4A priority Critical patent/CN108931893B/zh
Publication of CN108931893A publication Critical patent/CN108931893A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108931893B publication Critical patent/CN108931893B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7073Alignment marks and their environment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

本发明公开了一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置,其包括依次连接的放板组件、标记组件、第一机械手、曝光机、第二机械手和收板组件;PCB基板经所述放板组件后,通过标记组件在其正反面同时打上对位Mark标记,然后通过第一机械手、曝光机以及第二机械手的配合实现PCB基板正反面图形的曝光,最后经收板组件进行收板,整个过程中正反面进行同时打上对位Mark标记后再进行抓取曝光,解决了传统装置单面标记曝光存在的误差较大的问题。

Description

一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置及对位方法
技术领域
本发明属于集成电路生产技术领域,具体涉及一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置及对位方法。
背景技术
传统的LDI内层对位是将待曝光的PCB板置于工作台上,曝光正面图形至PCB板上,在反面打印对位标记;将PCB板上下或左右翻面,使反面朝上,通过相机获取已经打印的对位标记,将反面图形曝光到PCB板上,实现两面的对位。此方法在曝光正面时没有进行任何的对位坐标计算,使每张板正面曝光的图形位置不同程度的发生变化;同一批次的产品到后面工序,钻通孔、盲孔时会很容易出现偏孔的现象;且采用该方法,如果是本设备打印的标记,移至到其它设备进行抓取,位置坐标不一样,偏差过大,无法满足工厂大批量连线生产的要求。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置,通过对PCB基板的正反面同时打印标记,解决了传统装置存在的误差较大的问题。
本发明的另一个目的是提供采用上述对位装置进行LDI内层对位的方法。
本发明所采用的技术方案是:
一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置,其包括依次连接的放板组件、标记组件、第一机械手、曝光机、第二机械手和收板组件;PCB基板经所述放板组件后,通过标记组件在其正反面同时打上对位Mark标记,然后通过第一机械手、曝光机以及第二机械手的配合实现PCB基板正反面图形的曝光,最后经收板组件进行收板。
本发明的特点还在于,
所述标记组件包括若干支架、滚动轮、至少一个X轴固定标记点、至少一个Y轴固定标记点、至少一个正面打印单元以及至少一个反面打印单元,所述滚动轮设置在支架上用于带动PCB基板向前移动,所述X轴标记点和Y轴标记点分别通过固定条固定在支架上,所述正面打印单元和反面打印单元分别设置在支架的上方和下方。
所述标记组件进一步包括X轴移动标记点。
所述标记组件进一步包括一对用于固定PCB基板的移动挡板,所述一对移动挡板沿PCB基板流向横跨在支架上。
所述正面打印单元和反面打印单元上下一一对应,且正面打印单元和反面打印单元之间的距离大于等于PCB基板的厚度。
还包括粘尘组件,所述粘尘组件设置在所述放板组件和标记组件之间。
一种LDI内层对位方法,具体按照以下步骤实施:
步骤1,PCB基板经放板组件移动至标记组件处;
步骤2,所述标记组件在PCB基板的正反面进行对位标定;
步骤3,第一机械手将标定后的PCB基板移至曝光机处,曝光机曝光正面图形到PCB基板的正面;
步骤4,将正面已曝光的PCB基板翻转,曝光反面图形到PCB基板的反面;
步骤5,通过第二机械手将正反面均已曝光的PCB基板移动至收板组件处,完成用于PCB生产线的LDI内层对位
本发明的特点还在于,
所述步骤2具体按照以下方法实施:
步骤2.1,PCB基板沿滚动轮移动至一对移动挡板之间;
步骤2.2,所述移动挡板通过检测自身与PCB基板之间的距离自动缩短平行间距,将PCB基板固定在一对移动挡板之间;
步骤2.3,X轴移动标记点根据后台所设置的PCB基板的大小进行自动调整;
步骤2.4,一一对应的正面打印单元和反面打印单元合并,完成PCB基板正反面的对位标定。
所述步骤3的具体实施方法为:第一机械手抓取正反面定位标定后的PCB基板,将其放在在曝光机下方,曝光机抓取PCB基板正面的标定点,并对需要曝光的数字图形进行平移以及旋转定位,将正面图形曝光在PCB基板的正面。
所述步骤4的具体实施方法为:第一机械手和第二机械手配合,将PCB基板进行翻转,使其未曝光的一面朝上,此时曝光机抓取PCB基板反面的标定点,并对需要曝光的数字图形进行平移以及旋转定位,将反面图形曝光在PCB基板的反面。
与现有技术相比,使用时,PCB基板经所述放板组件后,通过标记组件在其正反面进行对位标定,然后通过第一机械手、曝光机以及第二机械手的配合实现PCB基板正反面图形的曝光,最后经收板组件进行收板;整个过程中正反面进行对位后再标定,解决了传统装置存在的误差较大的问题。
附图说明
图1是本发明实施例提供一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置的结构示意图;
图2是本发明实施例提供一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置中标记组件的俯视图;
图3是本发明实施例提供一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置中标记组件的主视图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
本发明实施例提供一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置,如图1-3所示,其包括依次连接的放板组件1、标记组件2、第一机械手3、曝光机4、第二机械手5和收板组件6;这样,PCB基板经放板组件1后,通过标记组件2在其正反面同时打上对位Mark标记,然后通过第一机械手3、曝光机4以及第二机械手5的配合实现PCB基板正反面图形的曝光,最后经收板组件6进行收板。
标记组件2包括若干支架21、滚动轮22、至少一个X轴固定标记点23、至少一个Y轴固定标记点24、至少一个正面打印单元25以及至少一个反面打印单元26,滚动轮22设置在支架21上用于带动PCB基板向前移动,X轴标记点23和Y轴标记点24分别通过固定条固定在支架21上,正面打印单元25和反面打印单元26分别设置在支架21的上方和下方。
标记组件2进一步包括X轴移动标记点27,这样,可以适应不同大小的PCB基板。
标记组件2进一步包括一对用于固定PCB基板的移动挡板28,一对移动挡板27沿PCB基板流向横跨在支架21上,这样,通过移动挡板28将PCB基板固定,避免其在标定时晃动。
正面打印单元25和反面打印单元26上下一一对应,且正面打印单元25和反面打印单元26之间的距离不小于PCB基板的厚度。
还包括粘尘组件7,粘尘组件7设置在放板组件1和标记组件2之间,这样,通过粘尘组件7可以清理掉PCB基板上的一些灰尘。
本发明实施例还提供采用上述装置实现LDI内层对位的方法,具体按照以下步骤实施:
步骤1,PCB基板经放板组件1移动至标记组件2处;
步骤2,标记组件2在PCB基板的正反面进行对位标定;具体实施方法为:
步骤2.1,PCB基板沿滚动轮22移动至一对移动挡板28之间;
步骤2.2,移动挡板28通过检测自身与PCB基板之间的距离自动缩短平行间距,将PCB基板固定在一对移动挡板28之间;
步骤2.3,X轴移动标记点27根据后台所设置的PCB基板的大小进行自动调整;
步骤2.4,一一对应的正面打印单元25和反面打印单元26合并,完成PCB基板正反面的对位标定;
步骤3,第一机械手3抓取正反面定位标定后的PCB基板,将其放在在曝光机4下方,曝光机4抓取PCB基板正面的标定点,并对需要曝光的数字图形进行平移以及旋转定位,将正面图形曝光在PCB基板的正面;
步骤4,第一机械手3和第二机械手5配合,将PCB基板进行翻转,使其未曝光的一面朝上,此时曝光机4抓取PCB基板反面的标定点,并对需要曝光的数字图形进行平移以及旋转定位,将反面图形曝光在PCB基板的反面;
步骤5,通过第二机械手5将正反面均已曝光的PCB基板移动至收板组件6处,完成用于PCB生产线的LDI内层对位。
采用上述方案,与现有技术相比,使用时,PCB基板经所述放板组件后,通过标记组件在其正反面进行对位标定,然后通过第一机械手、曝光机以及第二机械手的配合实现PCB基板正反面图形的曝光,最后经收板组件进行收板;整个过程中正反面进行对位后再标定,解决了传统装置存在的误差较大的问题。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置,其特征在于,其包括依次连接的放板组件、标记组件、第一机械手、曝光机、第二机械手和收板组件;PCB基板经所述放板组件后,通过标记组件在其正反面同时打上对位Mark标记,然后通过第一机械手、曝光机以及第二机械手的配合实现PCB基板正反面图形的曝光,最后经收板组件进行收板。
2.根据权利要求1所述的一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置,其特征在于,所述标记组件包括若干支架、滚动轮、至少一个X轴固定标记点、至少一个Y轴固定标记点、至少一个正面打印单元以及至少一个反面打印单元,所述滚动轮设置在支架上用于带动PCB基板向前移动,所述X轴标记点和Y轴标记点分别通过固定条固定在支架上,所述正面打印单元和反面打印单元分别设置在支架的上方和下方。
3.根据权利要求2所述的一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置,其特征在于,所述标记组件进一步包括X轴移动标记点。
4.根据权利要求3所述的一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置,其特征在于,所述标记组件进一步包括一对用于固定PCB基板的移动挡板,所述一对移动挡板沿PCB基板流向横跨在支架上。
5.根据权利要求4所述的一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置,其特征在于,所述正面打印单元和反面打印单元上下一一对应,且正面打印单元和反面打印单元之间的距离大于等于PCB基板的厚度。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种用于PCB生产线的LDI内层对位装置,其特征在于,还包括粘尘组件,所述粘尘组件设置在所述放板组件和标记组件之间。
7.一种LDI内层对位方法,采用权利要求1-6所述的用于PCB生产线的LDI内层对位装置,其特征在于,具体按照以下步骤实施:
步骤1,PCB基板经放板组件移动至标记组件处;
步骤2,所述标记组件在PCB基板的正反面同时进行对位标定;
步骤3,第一机械手将标定后的PCB基板移至曝光机处,通过曝光机曝光正面图形到PCB基板的正面;
步骤4,第一机械手和第二机械手将正面已曝光的PCB基板翻转,曝光反面图形到PCB基板的反面;
步骤5,通过第二机械手将正反面均已曝光的PCB基板移动至收板组件处,完成用于PCB生产线的LDI内层对位。
8.根据权利要求7所述的一种LDI内层对位方法,其特征在于,所述步骤2具体按照以下方法实施:
步骤2.1,PCB基板沿滚动轮移动至一对移动挡板之间;
步骤2.2,所述移动挡板通过检测自身与PCB基板之间的距离自动缩短平行间距,将PCB基板固定在一对移动挡板之间;
步骤2.3,X轴移动标记点根据后台所设置的PCB基板的大小进行自动调整;
步骤2.4,一一对应的正面打印单元和反面打印单元合并,完成PCB基板正反面的对位标定。
9.根据权利要求8所述的一种LDI内层对位方法,其特征在于,所述步骤3的具体实施方法为:第一机械手抓取正反面定位标定后的PCB基板,将其放在在曝光机下方,曝光机抓取PCB基板正面的标定点,并对需要曝光的数字图形进行平移以及旋转定位,将正面图形曝光在PCB基板的正面。
10.根据权利要求8所述的一种LDI内层对位方法,其特征在于,所述步骤4的具体实施方法为:第一机械手和第二机械手配合,将PCB基板进行翻转,使其未曝光的一面朝上,此时曝光机抓取PCB基板反面的标定点,并对需要曝光的数字图形进行平移以及旋转定位,将反面图形曝光在PCB基板的反面。
CN201710392480.4A 2017-05-27 2017-05-27 一种用于pcb生产线的ldi内层对位装置及对位方法 Active CN108931893B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710392480.4A CN108931893B (zh) 2017-05-27 2017-05-27 一种用于pcb生产线的ldi内层对位装置及对位方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710392480.4A CN108931893B (zh) 2017-05-27 2017-05-27 一种用于pcb生产线的ldi内层对位装置及对位方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108931893A true CN108931893A (zh) 2018-12-04
CN108931893B CN108931893B (zh) 2024-06-21

Family

ID=64450779

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710392480.4A Active CN108931893B (zh) 2017-05-27 2017-05-27 一种用于pcb生产线的ldi内层对位装置及对位方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108931893B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113419405A (zh) * 2021-04-28 2021-09-21 厦门理工学院 一种卷对卷铜箔精密ldi曝光机

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09134859A (ja) * 1995-11-08 1997-05-20 Sanee Giken Kk 露光における位置合わせ方法および装置
CN105278261A (zh) * 2015-11-20 2016-01-27 合肥芯碁微电子装备有限公司 一种激光直写曝光机内层对位精度的测量方法
CN105278259A (zh) * 2015-07-27 2016-01-27 江苏影速光电技术有限公司 单机双台面多工位自动pcb板曝光设备及其曝光方法
CN205563072U (zh) * 2016-03-17 2016-09-07 苏州市惠利源科技有限公司 一种具有激光标记对位装置的pcb 板曝光机
CN106647188A (zh) * 2017-01-16 2017-05-10 上海誉刻智能装备有限公司 一种双面对准的曝光***
CN206892555U (zh) * 2017-05-27 2018-01-16 苏州微影激光技术有限公司 一种用于pcb生产线的ldi内层对位装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09134859A (ja) * 1995-11-08 1997-05-20 Sanee Giken Kk 露光における位置合わせ方法および装置
CN105278259A (zh) * 2015-07-27 2016-01-27 江苏影速光电技术有限公司 单机双台面多工位自动pcb板曝光设备及其曝光方法
CN105278261A (zh) * 2015-11-20 2016-01-27 合肥芯碁微电子装备有限公司 一种激光直写曝光机内层对位精度的测量方法
CN205563072U (zh) * 2016-03-17 2016-09-07 苏州市惠利源科技有限公司 一种具有激光标记对位装置的pcb 板曝光机
CN106647188A (zh) * 2017-01-16 2017-05-10 上海誉刻智能装备有限公司 一种双面对准的曝光***
CN206892555U (zh) * 2017-05-27 2018-01-16 苏州微影激光技术有限公司 一种用于pcb生产线的ldi内层对位装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113419405A (zh) * 2021-04-28 2021-09-21 厦门理工学院 一种卷对卷铜箔精密ldi曝光机

Also Published As

Publication number Publication date
CN108931893B (zh) 2024-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102890428A (zh) 一种实现pcb板两面曝光图形对准的方法
CN104407502B (zh) 一种激光直接成像设备生产内层无孔电路板的方法
CN103529654A (zh) 一种直写式光刻***中内层对位的方法
CN102681360A (zh) 激光成像***中实现电路板两面曝光图形对准的对位方法
CN101282617A (zh) 整卷不间断线路的柔性印刷线路板及生产工艺
CN105774237B (zh) 旋转对位装置、具有该装置的喷墨打印机以及打印方法
JP6385362B2 (ja) 以降の加工時に高精度位置合わせを得るためのマルチインクの印刷
CN206892555U (zh) 一种用于pcb生产线的ldi内层对位装置
CN106852033A (zh) 高精密度局部超高电流印制电路板加工方法
CN106647188B (zh) 一种双面对准的曝光***
US20140230677A1 (en) Method of aligning a stamp to a stamp backing plate
CN108931893A (zh) 一种用于pcb生产线的ldi内层对位装置及对位方法
TWI538586B (zh) 用於固定印刷品之設備、印刷裝置及印刷方法
CN106896653A (zh) 一种应用于直写曝光机制作内层无孔对位板的方法
CN211741830U (zh) 一种应用于内层板的曝光***
JP3096756U (ja) プラズマディスプレイパネルの製造装置
US20140230674A1 (en) System for mounting a flexographic printing plate
CN206557530U (zh) 一种曝光内层板的对位标定装置及应用其的曝光机
JPS5775889A (en) Method and device for screen printing
CN205439548U (zh) 网版自动对位的卷料丝网印刷***
US20140230676A1 (en) Flexographic plate mounting
CN209134695U (zh) 一种单面柔性线路板的丝印设备
CN111273525B (zh) 一种应用于内层板的曝光机及对位***的实时监测方法
JP4250448B2 (ja) 両面露光方法
US9132623B2 (en) Method of marking a transparent substrate for visual alignment

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant